Chuong 6 PLASMA LANH, UNG DUNG, KINH TE VA TRIEN VONG Ung dung ctia plasma chi yéu dya trén hai dac trumg cilia plasma [a c6 cdc hat tich dign o6 nang lugng cao va cé dign tir ur do. Véi dae trung thir ahat chita cée hat tich dign ¢6 nang Ivong cao, con nguéi da tan dung, plasma ac trumg nay dé thyre hin cae qua trinh bién tinh, dic bidt 1a bién tinh bé mat (dé thay ddi sy thm phii b& mit nhdm nang cao d6 bam dink trén bé mat d6 hoe nitrit héa nhdm thu duge bé mat siéu ctmg...). Ciing ¢6 thé iy dung nang lugng cao ctia cde hat dé thye hién cde qué trinh lam sach hay an mdn (vi du trong ché tao cdc ban chip dign tit, Khic 4n mon trong ché tao chip), dé phan hay vat chat (vi du phan hily rac thai, ké ca chat déo), hinh thank lép phi mang méng (vi dy phil kim loai lén nén silic hay lén nén chat déo), cat (cdt kim loai, cit trong ché tao chi tiét chink xdc) hay dé lam néng chay vat chat (han). Dac trumg thir hai cia plasma [a dign tir c6 thé duge sir dung dé phat sang, vi du nhu tia lade, anh sang huynh quang ... Chuong 6 cia cudén sach nay sé chi tép trung gidi thigu vé tmg dung cha qua trinh plasma nhiét do thap, hay con goi 4 plasma lanh. 6.1. Cac qua trinh plasma nhiét 46 thap tng dung trong cong nghé hién dai (2.8. 11, 12, 13, 17, 18, 19, 20, 21, 22, 30] 6.1.1. Mét sé céng nghé plasma cé y nghia kinh té quan trong Trong linh vac bién tinh bé mat vat ligw, mét cong nghé duge goi 14 qué trinh corona & ap suit thuong xuat hién khong 50 nam nvisc va cho thay c6 rdt nhiéu uu diém, Nhung sau do, qua trinh phong dién phat sdng & ap suat thap (tir 10 mtorr xt dén 10 torr) duge dura vao sir dung va chiém wu thé; ky thudt nay c6 thé con diac tiép tuc phar trién trong tuong lai. Hién nay, qué trinh plasma dp suat thap duge ung dung rong rdi va mang lai hiéu qua kinh té lan, Mac di vay, trong nhimg nim gan day, da xuat hién sur phat trién teé lai rét an cong cite cdc céng nghé plasma dp suat thudng, savi du nbu phéng dién phat sing ap sudt thu’mg qua dign méi (goi tat 18 DBD hode APGID - dielectric barrier atmospheric pressure glow discharge), trong tuong lai st ngay cang canh tranh véi ¢ qué trinh King dong, xi ly va khdc an mon & ap sual thdp, chi yéu la nbér higu qua kinh té cao vi khong phai su dung cc hé théng hit chan khong dat tién. Gia cong bing plasma lanh ap swt thudmg duge danh gi cua tuang lai gan. a cong nghé Co ba dang plasma dp sudt thudng nhu sau: = Phong dién corona (hao quang) due dac tring cho nhiing tia sang thing tir dau dién cure e6 dign thé cao phong vé bé mat vat ligu. San phim tao thanh cdc dang hogt déng cua sy phong dign nay khéng ding déu va t6: dung trong ky thudt cng nghiép ul tao ra nd qua thap dé ing = Phing dign lng lé (silent discharge- SD) throng duge sti dung dé xir ty bé mat polyme trung giai doan gan day. SD trong cde dang khac nhau 1a do phy thuge vige tao ra cde dang phan ung bang cach phd vd {ién nye cae chudi phan img héa hoc trong khoang thai gian ngin. Nhdng phan tir phong dign té vi va tia manh 1a khéng dng nhat va cé kha nang gay nén xir ly khang ding déu, tao nhing héc nha, 8 kim hay can yoi 1a 16 ché. ~ Phéng dign phat séng ap sudt thurémg qua dign mi (APGD) c6 uu diém La sit phéng dign ding bo va én dink. Trong giai doan gan day, APGD cing dat duge tir nhing didéu kign tuong ts nhu SD. Hign nay, APGD duge phat trién tir khi heli hode argon, 14 nhimg chat khi c6 dign 4p danh thing dig mdi thap. APGD cing dugc tao ra trong khéng khi bing cach sir dung nhiing hé théng rat dan gian dap img chi phi trong céng nghé dé giam Co rat nhiéu vi du ve dng dung cia cdc céng nghé plasma néu trén. Phan sat. day chi dé cép dén mot sé it nginh céng nghé ma linh vue gia céng plasma déng vai tr dae bist quan trong va cé tac ding dén su phdt trién bin phd cua mét linh vue san xuat déng thdi tac dong lon vé mat kinh t& Cac vi dn sau day ¢6 thé cho ching ta thay, cong cu “Trang thai thir tr ea vat chat” sé tré-nén manh mé nhu thé ndo 6 thé ky 21 6.1.2. Mt sé [inh vue &ng dung céng nghé plasma co tam kinh té quan trong 6.1.2.1. Linh vine Vi dién tie va Qui luét Moore C6 thé ndi rang, linh vue vi én tir la nganh som ap dung nhiing wu diém cua gia cong plasma, bat diu tr gida nhiing nam 1960. Thap ky 1970 [A nhang nam phat trién nhanh chong va réng ri cla céng nghé plasma trong ché tao vi dign tu, vi du phuong phap khdc axit khd cde mach dién v6i qui mé lan. Song hanh véi vige tme 54dung rong rai edng nghé plasma trong nganh vi dign tr la sy phat trign ctia cde phuong phap chuan dodn plasma va cae ky thudt nghién ciru phan tich bé mat nham tim higu tac dng cia qué trinh plasma dé kiém soat chat ché chat Ivong. Vi du, da 4p dung phuong phap quang phé phat xa phdi hgp cing voi céc phurong phdp phan tich bé mat hu quang phd dién tu quang tia X (XPS- X-ray photoelectron spectroscopy) hay quang phd dign tu Auger (AES- Auger electran spectroscopy) dé higu duc co ché va dong hive cla qua trinh khdc An man va ling dong. Nhéing nam dau cia thap ky 1986 [a nhitng nim dc biét quan trong cho vide hop Ij héa Ay thuat Khdc An man (khie axit). Trong H9i nghi Nghién ctu Gordon vé vai ted cia nguyén ti, gée va ion duomg trong qué trinh khde &n mon, céc nha nghién eum cua cong ty IBM va AT&T, vdi ning dar tiéu rat phong phii va “néng”, da thuyét phye duge moi rai tham dur vé sie quan trong va tinh khoa hoc chat ché cia ky thuat Ahae an man bang plasma trang ché (go chip dién ti. Ké tir nhang nam 1960, ngudi ta theo doi va thdy rang, viée thiét ké va san xudt Vi mach trong cdng nghiép dang thye su tan theo “Qui ludt Moore” va con c6 thé duoe cai thién hon nda. Nam 1965, Gordon Moore dir doan rang, sé lugng transitor cé thé ché 1a0 duge trén mat manh sificon nho khac an mon bing plasma sé tang gap doi sau mdi ndm. Sau mot s6 nam cho thay dr dodn nay la chinh xac va sau dé nd duge poi 1A Qui ludt Moure. Qui ludt Moore di tré: thanh chudn dé cdc céng ty phat trién nhiing con chip ngdy cdng manh hon véi gid thanh ngay cing ha. Nam 1975, dya vao inh hinh phat trién céng nghé, Moore da diéu chinh Iai qui fuat la: s6 transitor ma cdc nha céng nghigp co thé dua vio mét con chip may tinh sé ting gép déi sau mot doi nam. Thye té lai cho thay qui luat nay da ding trong nhiéu nam. Diu nay cé ngliia 1a, cut sau 18 thang cde nha céng nghiép Iai giam duge kich thuée sin phdm transitor xudng hai ln. Kich thudc transitor nhé nhat hién nay trong mot con chip [8 90 nm, 15 rang chi cé thé dat dirge nhéy hang loat nghién ctu va dau tu lén cho ca ba logi cong nghé gia céng plasma da néu 6 trén (khée 3n mon, PECVD va bién tinh hay lam sach bé mat). Cé thé gidm kich thude transitor: Nam 1971. mt processor Intel 4004 chtra 2.300 transitor. nhiing wi du sau day dé thay higu qua kinh té va ky thuat cba viée Dén nam 2008, Intel” Core™ 2 Duo processor da chia duge 410 trigu transitor. Nam 1965. mt transitor dan ¢6 gid hon 1 dé la. Nam 1975 pid da gidm manh xudng con | cent. Hign nay, Intel da san xuat va bin duge méi transitor vai gia (/10.000 cent. Intel cho rang, voi cong nghé Hi h-k silicon 45 nm, Intel s& cé thé tigp tye san xudt twin theo qui ludt Moore cho dén thap ky sav.Hinh 6.1. Ban vé géc Qui luft Moore [19] Hign nay, hai phan ba céc bude gia cOng trong sin xudt thiét bi ban din cé sy tham gia cla cong nghé plasma va xu hudng nay khong ngitng tang lén, ké ca trong nhiing nganh cong nghiép cé lién quan nhut cong nghé théng tin, ché to 6 t6 va dung cu dign tit gia dung ‘Trén hinh 6,2 la Anh hign vi dign tit quét (SEM) cia nhitng duéing khic vdi ti t@ khia canh cé dé chinh xéc rét cao duige khde an mon trén mt nén silicon bing phuigng phap “kh4c Jn mon ion hoat héa” khong ding huéng (RIE- anisotropic, plasma- assisted “reactive-ion etching”), mét vi du minh hoa vé ché tao vi dién ttt bang cong aghé plasma. Hinh 6.2. Anh SEM duéng khdc an mon c6 kich thé nanomet trén ban silicon [18] 56Co thé hunk dung ré rang, khong thé nao ché tao duge nhimg dudng khac an mén véi nhig mau hinh cé kich thudc nano nhd bé +A chinh xde nhu vay bang ky thujt khic an mon hda he wot etia nhding nam teiecte day Theo théng ké (16), mam 2002 viée san xuae cde thiét bi dién tu trén ton thé gidi 06 gid Ir] 977 Ui do fa My (USD), crong 46 chat bin din chiém 140,7 ti USD va cac thiét bj ban dan chiém 19,8 ti USD. M@r linh vyte céng nghiép khdc c6 1ign quan 1a sin suat cde thiét bi dign te lon (macro el nies) €6 téc dd tang trudng kha dn tugng. vi dy trong nbfin my vita qua, te dé tang truéng cia linh vye san xuat thiét bi quang dign photovoltaics dat khoang 20%, Trang sur ting trucing dé, vai tro cua cae qua trinh va cing nghé plasma cing ngay modt Lang Wong vide san xual, cong nhir trong gia con: ede 1é bao Uign mat wai, vi du ehé t40 mang mong vi tinh thé hode mang mong v6 dinb hinh silicon bang PECVD, 6.1.2.2. Linh vue ché tao 6 t6 Ché ta 6 18, mét linh vie khéc trong cong nghé hién dai anh hudng truc tiép dén dai séng va tién nghi cba con ngudi, cling duoc hudng ngay cang nhiéu loi ich etia céng nghé plasma. Véi cong nghé plasma, cd thé ché tao ra nhiing 6 t6 tét hon, tign nghi hon, than thign véi mdi trudng hon. Cé thé néu ra sau day mét sé vi du vé chi tiét 6 t6 ma chat lugng cua ching da va cé thé sé duge nang cao nha cong nghé plasma: déng co va bo phan truyén déng nhe hon va e6 dé bén chiu mai mon cao hom nh xtr ly bang Ilép phd bé mat cing hon. Nitrit héa thép bang plasma la mot vi du céng nghé hgp ly trong tuong lai gan. Ngoai ra, céng nghé phi lép cacbon cig ntur lp mong kim cuong cho phép ching ta c6 thé thiét ké va ché tao chi tict elyu ap suit rat cao cho dOng co diezen thé hé mai. Neoai cae chi iét kim loai. cde phin ben ngoai ca G 16 tir chat déo cing 06 thé duge phi ede lop bao vé nhur vay, Vi dy, son (han thién méi trrdng voi dung mdi lA nude chi cd thé bam dinh rat tt Jan bé mat chat déo co khéi tong nhe sau khi bé mat chat déo da duge xi ty so bd bing mot céng nghé plasma thich hop. Céc logi polyme ty nhién hoge polyme tong hop (vi du nu vai boc dém gh ctia xe) ting duge bién tinh bé mar dé cho chat Iugng cao hon va c6 thé dip ui de bi Jang. Trong nganh chi Ung duge nhang yeu . vi dy nbu hoan toan khéng tham nuve vi cé thé am sach sang, nhiing tng dung da dang cing rit ding ké. Vi du, cd thé phi lop mong chiu duge Ap sudt cao dé dén true 6 16 v6 thé cho anh sang gidng anh sang ban ngay. Ngoai ra, trong tuong lai, cae bé phan phan ing plasma sé duge Kip dat 6 hé théng thai khi cho cdc logi 6 t6 chay bang diezen hose bi ohm gidm th jeu 6 nhiém mdi trudng. 37Boe ghé. mbm hon, miu dep) truydn gg: gid ma sit 11g théng thing fin; min hign 8 plasma ué doc ikem chm aha: som tim ™ dink tét hon Lam sach khi tha [eS mhigm va it bul ___/ \ én sng hom nhs plasma Wb \ guang, Lip phin qumg: deve 'B6 dan ita plasma: nhe nhng, 0 v6 ching. an min cht thai sgch hom (Cac chi ti8t dic phun: it by mis man hon, it 6 nhiém mdi treémg, Hinh 6.3. Cac chi tiét 6 t6 c6 thé dat chat lugng tét hon nh& céng nghé plasma 6.1.2.3. Bién tinh bé mat polyme Polyme c6 nhiéu tinh chat rat tt, Tuy nhién polyme lai cé dac tring la c6 ning lugng bé mat thip (hay néi cach khdc 14 6 sifc cing bé mat thép). Dé la nguyén nhan vi sao chit léng Iai tao thinh giot trén bé mit polyme thay vi thim udt va cing 1a aguyén nhan khién cic ap méng phi lén bé mat polyme bam dinh rit kém. Nhung néu bé mat polyme dude hoat hoa va chitc héa bing cach dit vao mot modi truding plasma thich hgp, nang Ivgng bé mat sé ting lén va nhugc diém trén c6 thé gidi quyét duge. Nguyén ly trén c6 rat nhiéu ting dung trong cong nghiép dé mé rong pham vi ting dung va nang cao tinh chat cita cdc sin phim chat déo, vi du trong cic linh vuc bao bi, cham séc stic khod, dét ... Trong linh vuc dét, sit dung cong nghé plasma thay thé cho phuong php xi ly héa hoc wot doc hai dé xit ly vai dét cé thé gitip tao thanh bé mat vai khong thim nude, thém dau, gitt cho vai sach, déng thdi trinh dyge vin dé 6 nhiém modi truong. Trong truéng hgp soi xenlulo, vi dy nhut soi cotton, hoge mang polyctylen, xit ly bé mat bing plasma oxy cé thé ning cao mét cach co ban dé thm phil, tao diéu kién cho phan ti thuéc nhudm hode myc in bam dinh tét hon lén bé mat.Cé thé lay vi dy khae nita, céng nghé Ling dong hoi héa hye tang cudng bing plasma (PECVD) cé thé tao thanh nhitng lap mang chan khi hay chin hai sigu mong (thug c6 d@ day 20-50 nm), Nhing lop pha sigu mong nay, vi dy lap gm sir (Si02) hoc cacbon v6 dinh hinh, c6 thé lam giam manh téc d6 tham khi (vi du doi vai khi Op ho&e CO2) hode hoi (nhur hoi H;0, hei cic hgp chat thom) xuyén qua polyme bao bi diing dé dong goi thite an, dé udng (sta, nude hoa qua, bia...) hog duge phim, khién chit lugng bao quan duge ning len. Hinh 6.5, Thiét bj xt ly plasma corona mang polyetylen (a) cia hang Tantec Ine; (b) may xu ly Sherman Treater ctla hang Shearman Van dé bién tinh bé mat polyme sé duge tiép tuc dé cp sau hon & churong 7. so6.1.2.4. Cac tng dung trong linh ve Y sinh Tir nhimg nam cudi cia thap ky 1960, ky thudt plasma lanh duge quan vam nghién citu dé img dung nh mt cong cy nang cao su tuong hop etia vat ligu voi he théng sinh hoc, vai myc dich tao duge ede vat ligu cd bé mat da xir ly c6 tinh hoa hgp sinh hoe cao. Cong nghé plasma img dung trong chim sée sire khoé va ché cao vat ligu sinh hoe hign nay da thye sy phat trién, Nhiéu cdng nghé tiém nang va nhiéu logi be mat bién tinh da tao nén cdc vat ligu rat moi trong y sinh, trong do khéng it loai da duge thuong mai héa, vi dy chat ligu etia ring cy (dental implant) da duge bién tinh pha bé mat dé ring cdy hda hgp véi cae chat dich co thé nhu nude bot va dich cua md, Mat sé vi du khdc vé cdc sin phim cia céng nghé plasma trong linh vye y sinh bao gém cde Logi bé mat duge chite héa nhim nang cao kha nding bam dinh cho té bao séng; ede lop phi chéng bam ban nham ire ché hoan toan sir bam etia cae phan tir sinh hoc, té bao, vi khuan khong mong muén...; cdc lép lét dé cé dinh peptit, enzym, khang sinh va cc loai phan tu sinh hoc khéc; céng nghé an mon trong ché tao cdc hé vi-coxtign tir-sinh hoc (MEMS sinh hoc) va cdc hé vat ligu giai phong thude “thong minh” khac, Hién nay 44 6 mot sé sang tao cé tinh cach mang trong y sinh nhu ché tao “keo dinh té bao” va “chat chéng dinh té bdo” trén bé mat vat ligu thich hop bing cach sit dung céng nghé PEVD hogc bing nhimg qui trinh bién tinh khac. Cae san phim mang pha mdi duge tao ra trén bé mat vat ligu nén cé kha nang phan huy sinh hoc da duge thir nghigm trong linh vue cng nghé mé va té bo, nhim tao ra mét b6 khung hop cho té bao bam vao va sinh si, phat trién thank mé hoan chinh, Cé thé néu mot vi dy nhu sau: polystyren la mét polyme duge str dung trong thir nghigm san xudt té bao trong dia Petri; bién tinh polystyren bing plasma tgo diéu kign thugn lgi cho cdc té bao séng dinh vao d6 va sinh sdi trén bé mat polyme dA xir ly. So sinh véi ving khéng duge xir ly plasma khéng c6 té bao bam dinh, c6 thé thay higu qua cda xt ly plasma 1a da hinh thanh cac ving “dio” mang tinh chit “keo dinh té bao” dé gitt cac 18 bao bam lén va phat trién. Ngoai ra, khu vue duge xir ly plasma 6 hoat tinh cao con cé téc dung tiéu diét nhanh chong cac 16 bao séng déc hai (vi khudn, vi rut, bao ti...) hoac ede protein khong mong mudn nhu prion. Qua trinh dé cing giup nang cao higu qua khir tring, thay thé cho nhing phueng phap khir tring manh c6 thé gay pha hoy edu trie cia té bao nudi nh phuong phép khir tring bang chiéu xa hode st: dung hoa chat doc hai (vi dy etylen oxit),) (b) te:408302 Hinh 6.6. Anh hién vi cua té bao phat trién trén nén polyme da bién tinh bang plasma (a) va 4nh ToF-SIMS cila céc ving giau nito trén bé mat khong xi ly (b) Ngoai céc Hinh vuc ké trén, céng nghé plasma con duge me dung ngay cing nhigu trong eae Hinh vue khdc, vi du nhur trong ché tao may, ché tao may bay, trong, cong nghé thay tinh va quang hoc... 6.2. Plasma lanh - kinh té va trién vong trong twong lai [14,15,16,17] Hién nay, cde nude dat dén mite 46 tién b§ cao nhat vé khoa hoc va céng nghé plasma, cling nhu dat duige mire dau tur cao nhit cia tw nhn va Chih pho trong tinh vue nay I My, cde nude thuge Cong déng Chau Au (d%c bigt J CHLB Bite), Nhat Ban va Han Quéc. Tuy nhién, ahigu nude cng nghiép khdc cing da nhan thy tam quan trong ciia cdc qua trinh plasma trong tang truéng kinh té va nang cao chat lugng sin phim phuc vu doi séng nén a danh nhiéu sy quan tim, hd try cho nghién ctu khoa hgc va phat trién cong nghé lién quan dén plasma, vi dy nhu Trung Quoc. Tuy chua cé nhidu tai ligu théng ké, nhung dya vao khao sat cia cde nha cong nghigp va khoa hoc CHLB Bite, c6 thé thay duge mot phan tam quan trong cila cong nghé plasma trong nén kinh té, x4 hGi Dire. G c&c bang cia CHLB Bite c6 khoang 80 trigu dan, trong 46 ¢6 70 nghin dén 80 nghin vj tri lam vige fign quan trye tiép dén cong nghé plasma. Tuy nhién, vi céng nghé plasma déng vai trd chil lye trong sin xudt nhigu mat hang sin pham nén thyc té 66 khang $00,000 nhan cdng lam cae cong ¢ 6 lién quan dén plasma, chiém 7% viée lam trong cac nganh san xuat. Vé mat kinh té, riéng & CHLB Bite, hing nim cong nghé plasma dira lai 50 ti Euro (trong duong 64 ti USD). Trong nam 2005, téng doanh thu riéng cila viée ban cc nguén 61plasma va hé théng plasma cia Dire cho thé gidi dat 27 ti Euro (tuong duong 35 ti USD). Theo quan diém mdi hin nay, cng nghé plasma co thé tham nhdp vao nhieu link vue kinh té truyén théng va vao hau het cac nganh mai. Theo nghién etru tho ké eta Chinh phi CHLB Bite céng bi Lng cu’ng tai tro kinh phi cho cdc nghién eiru ciing nhur phat trién céng nghé plasma 2 ao thing 9 nam 2004, viée hd tg manh mé va la rat cn thids, Ngoai ra, dénh gid vé tong lai phat trién cia céng nghé plasma, cdc khdo sat ctia chuyén gia Dire va chuyén gia quéc té da chi ra 14 inh vue quan trong nhat trong nén kinh té tong lai cla Due lién quan dén cong nghé plasma va ude tinh phan tram tm quan trong ciia ching (t6i da 14 100%) (hinh 6.7), C6 thé thay ede linh vue plasma Ap suat thudng, xtr ly be mat polyme, qué trinh kha 4n mon/tgo vi cdu tric va img dung plasma trong diéu hanh qui trinh san xuat va lam sach bé mat, khi va chat long durgc danh gid 14 quan trong nhat. #0 | 20) 0 | 50 40 30 20 10 ° 10 12 in 6.7. 141 Jinh vye quan steing at trong nh inn é wong laicé su —_ céng nghé plasma theo quan diém cua cdc chuyén gia quéc té (mau xanh fa cua cdc nha khoa hoc céng nghiép Bike, mau tim 1a cua cac chuyén gia quéc té khac) [15] 1 plasma ap sudt thuemg; 2. lam sach bé mat, khi va cht féng; 3. xt ly polyme; 4. gidm gid thanh; 5. bao v6 chdng mén va chdng én mén: 6, dura vao qui trinh san xuat; 7. nqudn plasma xung: 8 lam bén ving va tang hiéu sudt ctia qua trinh; 9. céc qué trinh khac &n mn va tao vi cdu tric; 10. khiy tring bang plasma, 11. cdc qué trinh hoa hoc plasma, 12. ing dung trong bdo vé mdi truéng; 13. nguén chiéu sng va chiéu xa; 14. ché tao ngudén & dang médun va qui mé len Trén hinh 6.8 1a tng hop quan diém ca cde nha chuyén gia vé 14 Tinh vuc nghién ctru va phat trién c6 lign quan dén plasma quan trong nhat tong twong lai Theo quan diém nay, cdc linh vye nghién ciru, tim higu siu sae hon vé cde qua trinh héa hoe plasma, nghién ciru vé plasma 4p sudt thurng, mé hinh héa va cde qua trinh plasma va déng hoe dong chay, xir ly polyme s@ duge cdc nhd khoa hoc quan tam nghién ctu nhiéu nat. 621 2 3004 5 6 7 8 9 10 1 12 13 Hinh 6.8. 14 inh vire quan trong nhdt trong nghién ctru plasma trong twrong !ai theo quan diém cua cae chuyén gia quéc té (mau xanh la cia cae nha khoa hoc céng nghiép Dire, mau tim fa cla cdc chuyén gia quéc té khac) [15] 1. cac qua trinh hoa hoc plasma; 2. plasma ap suat thuting: 3. md hinh héa va md phéng déng hoc dang chdy va plasma: 4. 14m sach bé mat, khi va chat long: 5. xt ly polyme. 6 ngudn plasma xung: 7 lam ben vang va tng hiéu suat ctia qué trinh; 8 bao vé chéng mon va chdng an mon, 9. ché tao nguén & dang modun va qui md ton, 10 nguén chiéu sang va chiéu xa; 11. céc qua trinh khac n mon va tao vi cdu tric; 12. cdc qua trinh lai tao, 13, ng dung trong béo v6 mdi trréng, 14. khirtrting bang plasma Tir hai hinh 6.7 va 6.8, cé thé thay rB trong ede khao sat trén tm quan trong trong tueng lai gan ctia céc tinh vye plasma 4p suat thuémg, xt ly polyme va lam sach bé mat, lam sach chat khi va chat long. Bé t6m tit nguyen nhan vé vai tro cia cng nghé plasma trong nén kinh t&, c6 img dung céng nghé plasma trong nén kinh té die tinh c6 mOt khéng hai cua plasma sau day thé ndi ring, sy thanh cng trong v chi yéu xuat phat tir — Plasma {a m6t céng nghé c6 tinh thye thi cao, cho phép thye hign cde nhigm vu tao hinh voi chat lugng rat cao ma khéng thé thyc hign Ming cac phuang phap khac — Cée qua trinh plasma la qué trinh c6 thé kiém soat duge. Diéu nay cho phép san xuat dat duge chat lugng cao vii kha nang tai san xuat lon. Kha nang nay cing r quan trong cho viée tu dong héa qua trinh san xuat dé thich hyp vai vig cong nghiép véi qui ma lén ain NUL — Plasma 1a mét qua trinh than thign mdi trudng, cé kha nang thay thé din mét cach kinh té cde qué trinh héa hoc udt “truyén théng” gay 6 nhiém mdi trudng. Day la tim quan trong nhir hai dae tinh da néu 6 tren, inh ciing © ra, bén canh cée kha ning img dung cfing nhu wn, ngudn anh s m da néu, pl 5 ng co higu qua cao, Cuimg dé Anh sang cao hon do ede loa dén trén co sé plasma phat ra, ciing dong nghTa véi viée gidm tigu thy nang lueng cho chiéu sang, sé dem Iai Igi ich quan trong cho nén kinh té thé gidi. Hign nay ngay cing 6 nhieu qua trinh plasma duge thyc hién nhiét do thdp hon,Chuong 7 UNG DUNG PLASMA LANH TRONG NGHIEN CUU VAT LIEU POLYME Cée nghién ctru gin day vé ing dung plasma ngudi trong khoa hoe vat lidu polyme va v§l ligu soi cé ban chat polyme la rét rong. Tuy nhién, dya vao sé ligu cac tai | éu cdng bd, cé thé thay cde nghién etry duoe tap trung nhiéu trong cae finh vue chinh sau day: 1) Cai thién dé bén co hoc: vi du cé thé 1am ting dé bén va lam mém cotton hay ede loai polyme trén co sé xenlulo, lam giam d6 nhém bé mat cua len bing plasma oxy. tang dé bén co ctia len, Iya to tim bang plasma No. 2) Thay doi tinh chat dén dign- vi du chéng tinh dién cho si ta vedi core metyl dimetylsilan trong plasma. 3) Thay déi tinh chdt tham phi: vi du lam tang kha nang thd phi be mat cua cdc polyme (PA, PE, PP, PET. PTFE...) bang plasma oxy. khdng khi, nite, NH, tao d6 ki nude cho céc loai si cotton/PET bang plasma sifoxan. 4) Nhudm va in: vi du lam tang do p cita len va catton, tang kh nang bam eda mye in 1én PE bing plasma oxy, tng kha nding nhudm cia polyeste bing plasma SiCl, va cila polyamit bang plasma Ar. 5) Thay déi cde tinh chat khic’ vi du ting kha ning chéng c bing va ly plasma véi cdc monome ¢é chita clo 6) Polyme hitw co phi kim loan polyme hau co phii kim loai c6 ing dung trang nhigu finh vyre khéc nhau, kim logi e6 thé bam dinh rat che 1én polyme théng qua ti xi ly polyme bing plasma trudc khi phin xg kim loai cing bing plasma. 2) Compozit va ché tao vat liéw lbp: 120. lop vat lig ham phi va bam dinh tét gitta ede u nén bing xir ly plasma. va gitta soi véi 8) Cae ting dung trong sink hoe vay té: sgi cho té bao dé bam vi phat trong vide thir nudi edt té bao, lén men hode cy ghép; soi khéng cho té bao bam dé lam mang agin, ¢ dinh enzim, khang khuan. 649) Céc ing dung trong ming va cong nghé moi med” Vach khi dé thu oxy mang mong khuéch téa dung dich dé lam giau cn, ang 46 chon I9e cho mang sigu loc. (32, 33, 34, 36, 37] Trong chuong 7 nay sé dé cip ky hon dén mét sé linh vue ké trén 7.1. Polyme hitu co phu kim loai [22, 30, 41 - 49, 51 - 53] Polyme hién nay duge dng dung rat rong rai trong nhiéu {inh vue khac nhau no c6 rat nhidu wu diém vugt tri so vai cdc vat ligu khéc nhu nhe, ré, c6 tinh chat cor ly tt, cdch nhidt. nhin chung cach dién va dé gia céng, Tuy nhién, xét thea mgt sb linh vue ung dung. ching lai cé cde nhuge diém. d3e bigl & cdc tinh chat bé mat (khong dit d§ cig. kém bén, kém cr kem bam dinh voi nhiéu loai vat liéu khac), khong ed tinh din dign, khdng di d6 bang... Vit liu polyme c6 pha lap kim loai hode Iop 26m mony 1a mér gidi php két hop duge ede dae tinh mong mudn cia cd hai loai vat ligu. Tuy nbign, trong viée phil lop mong kim foai hay gém (én bé mat mat polyme, do cé bin chat rat khae biét trong cdu tric va tinh chit cia polyme. kim logi va pdm nén din dén sur khéc bid Jon vé nang lugng bé mat, khién cha d6 bam dinh cua kim loai hog gém lén bé mat polyme rat yéu. BE giai quyét van dé nay, vu ly plasma nén polyme true kbi phin xa lép kim logi hodc gém bang plasma 1a mot bude tién moi quan trong, dem Iai san phim c6 lugng bam dinh cat cao va than thign voi mdi truong, Trong sé nhimg nghién ciru sém nhat vé su dyng tuomg tc plasma-polyme che mu dich tang cong tinh bam dinh gidta cde pha polyme-kim loai cd thé ké dén cde nghién otfu si: dung plasma heli Ife eda Schonhorn va Hansen (43. 444]. Hai éng cho . OH va COOH én bé mat polyme. Katnani et al. [45] dd nghién ciru vé méi quan hé gidta dé bén kéo boc cia hip ring xtr ly plasma da lam xudt hign cde nhém C= cram phu trén nén PMDA-ODA polyimit duge sti ly voi plasma oxy trong thoi gian mm C=O va sy thay déi géc tiép xuc véi nude gidm xudng. Cac nghién cizu sau nay cho thay, xu ly khac nhau va nhan thay trén trén két qua XPS cd pic Cls thé hién cho ah polyme bang plasma da lam thay déi héa hoe bé mat cua nén polyme, xuat hign nhiéw lién két héa hoc, hap phy hon véi pha kim loai, déng thé cing taa nén dé vi nham cao khién dign ich rigng bé mgt duge phi kim foai cao hon, kim logi bam sdu theo ca ché co hoc vao bé mat han. Cae thay déi ve dé nham, tinh chat héa hoc... cla bé mat la do te dong tia tt c& cae thanh phan cé trong plasma nhu cdc thanh phan trung tinh co hoat tinh, cdc ion, din th va cd photon. Trén bang 7.1 14 mot sd 1a vé su thay déi tinh bam dinh cia hé kim loai-polyme khi si: dung céc plasma khéc nhauBang 7.1. Sy thay déi tinh bam dinh cua hé kim loai-polyme khi si dung céc plasma khac nhau [43-48] Polyme Xu ly ho mac Kim loai D4 bén kéo bée etia 1p phui kim loai palyme theo phurong phap béc 90°, (g/m) Khong xit ly xu ly Kapton 2001 =O DC phat sang Cr 20 50-67 (PMDA-ODA) Polyimit ©; RF plasma Fe <5 80* PET O, RF plasma Co <5 80* NH RF plasma Co — — Polyimit 0: RIBE cu 2 10 PRT Lade (248&308 nm) CoCr 3 >40 * Béc polyme, khong phai kim loai Polyimit (PI), mot vat ligu polyme cd hing sé dién mdi thip vai dé bén nhige cao, 1a mot trong cac loai polyme du c ding pho bién nhat trong cong nghiép dién tu dé ché tao cdc ban mach mém déo véi gid thanh ha, str dung trong dién thoai di dong. may in, may anh... Vi vay céng nghé kim loai héa bé mat PI rat quan trong. Crong nhiéu img dung, tam PI dugc phi kim loai, ma phd bién 1a Cu, theo hai kidu la hai ep hoac ba lop. Trong trudng hop ba lép. ngubi ta c6 thé phii Lot mot lop meng kim Lowi khdc nhu Cr, Ni hay Ti c6 téc dung ting cumg bam dink hon nifa cho lop Cu len PI dé tranh sy hinh thanh oxit dong teén bé nén pha. Day Ia viée khing don gin. So Hong Kim et al. [48] di khao sat 49 bam dinh ciia lop phi: méng Cu/Cr ln bé mat mang polyimit (PT) méng bing plasma DBP cia O) 6 4p suat thutng. Két gui thu duge vé géc tiép xtc va hién vi lye nguyén tir (AFM) cho thay di nham bé mat ang da lam gidm géc tiép xtc. DO nham bé mat trung binh RMS cia be mat polyimit ting tir 0,861 nm (khong xi IY) 1én 1,334, 1,676 va 2,383 nm néu xis ly voi cudmg d6 66plasma 1a SOW, 100W va 1SOW, két qua JA géc tiép xtc gidm tir 73,75° xudng tuong img 47.4949, 33.285° va 18,005°. Két qua khdo st XPS cho thay tuy khdng quan sat thay 6 cac lién ki hoa hoe mai trén b& mat, nhung ty 1g thanh phan cae lién két C-C tang, trong khi cua C-N giam xudng. Két qua cling cho thay cé sv hinh thanh ede lién két C-0-C, C=O hoe C-OH két hyp vai lop mang mang, Dd bam dinh (theo phuong phdp thir bée) pitta pha kim loai va mang PI tang manh va la mgt ham sé ca dd ham (hinh 7.1), Nhin chung. khi cudng d9 plasma tang thutmg Lm ting 4 bim dinh nhung Khi ting qud d6 cé thé Jam tu hai bé mat nén hoe 190 thanh edu tric c6 do nham khéng mang muén fam giam kha nang b4m dinh, al No treatment L #50w 7 2 100W sok & 1S0W € Bom I 5 2 60) L i I sob 8 3 2 or I en tr é 30- ' 20+ to] 0 pa 1 1 00 0s 10 15 20 2.5 D6 nham RMS, nm Hinh 7.1. 06 bén kéo béc cua lop phd Cu/Cr trén ba mat Pi la ham sé ciia 06 nhdm RMS Pey-Chun Chang et al. [47} di nghién cu nang cao tinh bam dinh cia iép nano TiO) véi nan PI trude khi phi Cu bing nhigu loai plasma khac nhau nhu Ar, hon hgp Ar/N) va hin hop Ar/O;. Viée xir ly da Jam thay déi co ban dé nhém cong nh héa hoc bé mat nén nhu trén bang 7.2 va 7.3. 676 nham bé mat cua lop nén lai tao PVTIO2 sau khi xu ly plasma voi ham lvgng TiO2 khac nhau (theo phuong phap AFM) Xirly plasma DO nham bé mat, nm Pr 1% 3% 3% % ™% Khéng xtr ly 0,28 034 038 0,51 0,57 0.63 Plasma Ar 0, 36 047 0.63 0,86 1,56 2.12 Plasma Ar/No 048 0,54 082 «1121.78 Plasma Ar/O: O71 10 197246 3.74 4,89 Bang 7.3. Thanh phan nguyén té va ti Ié nguyén tir cua lop nén lai tao PUTIO; ‘sau khi xir ly plasma (theo phwrong phap XPS) | Xurly plasma Thanh phan, % Ti lg nguyén tir c N oO Ti fOvIC) —NVMIC) [OvtN] Khéng xily 78,783.22, 17.48 0,520,222, 0,040 5.429 Plasma Ar 61.17 2,53 30,60 5.70 0,500 0,041——12,095 Plasma Ar/Nr 54,98 2,99 33,34 8,690,606 = 0.054 11,151 Plasma Ar/O: 34,67 2,62 33,98 8,73 0,622, 0,048 ‘12,969 Két qua cho thay plasma Ar/N) c6 higu qua cao nhat trong vige nang cao do bam dinh, Gia tr] bam dinh cao nhat cia lop nén lai tao PITIO2 (1% khdi long TiO») voi Cu dat 9,53 N/em, cao gap 10 ln so véi cia nén PI. Con vai plasma Ar/Os, tuy dd nham bé mat nén dat gid ti cao nhdt nhumg 46 bam dinh lai kém hon do cé sy hinh thanh oxit déng & bién gidi pha gitia nén PI/TIO: va Cu (hinh 7.2). Dong thai, ham lugng TiO; gin vao PI eiing Anh hudng man dén d> bam dinh, Ham long thich hop la 1%-3% khéi lurgng; v6i ham lugng cao hon, nén c6 9 cimg cao hon ahumng Iai don hon. 68Plasma Ar/O: Plasma Ar/N2 Plasma Ar Khong xit ly 6 bén bam dinh, (N/cm) Hinh 7.2. 86 bén bam dinh gitra lép nén lal tao PUTIO; va Cu vi céc plasma khéc nhau Polyolefin 18 m6t trong nhiing nhém chit déo duge sit dung rong rai nhat véi gid thanh thip nhuing chat lugng cao, Tuy nhign bé mat eta polyolefin, dc biét la cla polyetylen (PE) lai 1a mbt trong nhiing bé mat khé bém dinh nhét do tinh ki made va khdng phan cc. Vi vay, phi kim loai lén polyme ld PE hay cé chtta PE rét khé khin do dé bam dinh qué yéu. Ta Phuong Hoa va Nguyen Hoang An [53] da xt lf nén chat déo blend polyamit-polyethylen (PA/PE) bing plasma Argon nguén RF & ap suét 2.10% mbar véi thoi gian xit If khéc nhau trade khi phiin xa mot Isp mang mang titan. Khi khio sat mot s6 thay 46i vé tinh chat bé mat cia nén chit déo nhu do nhém bé mat (bing phuong phép Alpha-Step IQ surface profiler), hinh thai hoc bé mat (SEM) va héa hoc bé m§t (Raman Spectroscopy) da nh§n thay, xif ly plasma Ar & Ap suat thép da xudt hign bé mgt nham déu dn dan lén theo thoi gian xit ly (hinh 7.3), dita d nham trung binh R, (phutong phdp Alpha Step Surface Profiler) lén gan gp hai ln, tif 27 nm én 52 nm (hinh 7.4). Xi ly vi vay lam ting do nham, tao nén mot bé mat sach, c6 dign tich riéng lon hon; mat khdc bé mit fing ¢6 nhiéu nhém chite NH* va NH2" hon (hinh 7.5), Céc tinh chat trén tao diéu kign thuan loi cho viéc phii va bam dinh tét hon. 69@) Khéng xt iy c) 30W, 3 phut BOW, 4 phit Hinh 7.3. Anh SEM bé mét cia nén blend PA/PE trréc va sau xir ty plasma Ar a) Khong xirly, Ra = 27 nm 70Kufffencorpipna:Step 1Q b) 20W, 4 phit, Ra= 52 nm Hinh 7.4. 96 nhém cia bé mit nén PAIPE trirée va sau khi xi Jy plasma Ar 10000 4000 2000 ° 500 1000 4509-2000 2500 300035004000 8) Xirly 30, 4 phit; —_b) Khong xirly Hinh 7.5. Phé Raman cia bé mit PA/PE truée va sau xiv ly plasma Ar Lop titan méng cé do day 150 pm duge phiin xa lén nén da xit ly c6 d6 bam dinh (xdc dinh bing phuong phdp cross cutting) cao hon co bin so voi bé mat khong xt ly. ‘tang tif mic khéng chap nhin duge lén mite dd khé t6t (tif 20% len 78%). Sy thay Adi ‘trén phy thudc vio cudng dé va thai gian xit ly, déi véi blend PA/PE thi cuéng do 30W va 4 phut 1a kha thich hop. ‘Trong truding hgp xt ly plasma Ar ngudn RF nén blend polyamit/polypropylen {PA/PP) 6 dp suat thap, Ta Phuong Hoa et al. (52] cing nhan thay su thay d6i tinh 71char bé mat nhur dé nham trung binh va géc tiép xic dong véi etanvl phy thudc vac. cudng dé plasma va thai gian xtr ly (bang 7.4), tic [a véo diéu kign aw IY khde nhau. qué din dén lam tang d6 bam dinh ctia [6p titan [én nén polyme (theo phuong phap boc 6 vudng - cross cutting test) tir 18% lén 80%. Sy thay déi cde tinh chat bé khéng cht phy thuge vao diéu kién xu ly ma edn phy thude vito bin chat cia polyme Bang 7. cia bé mat nén PA/PP. khi xi? ly plasma Ar ngudn RF & 4p suat thép Su thay d4i a6 nham va géc tiép xde Gong voi etanol Tinh chat bé mae POW) (s) DO nhdm trung | Gée tiép wc (°) binh (am) 0 0 12.0 10 45 128 22,79 20 45 it 51.16 30 233 49.05 ao 45 25,2 33,85 60 19.9 16,38 Mét sé nghién city vé phiin xa lép titan 1én nén cdc polyme khac nhu polycacbonat (PC) va nén nhue ABS. xii ly bing plasma Ar va hén hop Ar/Oz nguén RF 6 dp suat thap [49] cting cho thay, 46 nham cia nén da aw ly tang lén dang ké, Nghidn ctw AEM cho thiy, sau khi xi ly bing plasma Ar 2 phut 6 30W, do nhdm trung binh Ra cua UC tang ce Inm (chua ati ly) [én 2nm, cdn ca ABS ting tir U1 nm lén 17 am, Plasma AO 26 higu qua cao hon va higu qua phy thudc vao néng d@ oxy trong chat khi (hinh 7.6). Ching lam ting dé nham trung binh cua PC Jen 6 nm va cda ABS lén 32 nm. Nang 46 oxy trong hdn hyp khi cang lan cho dé nham ecang cao trong trudng hyp etia PC. DO im dinh cia lép méng phan xa Ti day 150 ym tren nén PC tang cir 80% [én 100% va cba ABS tir 88% ién 100% (theo phuong phap héc eft 6 vudng). nr° 4 ° Hinh 7.6. Anh AFM vé hinh thal bé mat cua PC a) Khéng xi ly (Ra = tnm) b) Xtrly plasma Ar/O2, PAr = 5.10" mbar, PAr/O2 = 5.107 mbar; t = 60 gidy (Ra = 4 nm) ©) Xtr ly plasma Ar/Oz, PAr = 5.10” mbar, PAr/O; = 5.10' mbar; t = 60 gidy (Ra = 6 nm) 73Lép méng oxit kim loai cig va trong sudt trén nén polyme hitu co, cde polyme e6 dé trong suédt cao nhu polymethylmethacrylat (PMMA), PC.... c6 nbiéu tinh chat qui va c6 thé duge ung dung trong vat ligu ma sé chiéu va lép phit bao vé quang hoc, lam lap phii m vail ligu chéng phan dng khuéch tan trong bao bi thye pham va rat nhiéu tng dung khac trong san xuat cdc loai tim che nang va cong nghiép K.Koski et al.[46] da nghign cu tao [6p oxit nhém v6 dinh hinh 6 a6 day khéc nhau trong khoang 250 nm dén 3.0 um lén St phiin xa plasma DC. c4 va c tinh chat cua lép phi ahir 4 cing nano, modun dan hdi, lye bam dinh, mat dé lop pli, ti 1é AVO va Ar/AL, &> Khéng xr ly truée nén bang plasma Ar 6 Ap suat thap. trong sudt dige khao sat va cho thay, khi cé xu ly nén tude, chat lugng ctla lop phi tang én manh. Ngoai ra, con xay ra hién tuong két luéi va bicn tinh héa hoc nén do chiéu \@ VUV edia plasma. K qua phd XPS efing cho thay cé su dit gay Hién két C=O va C-H trén bé mat nén duge xt ly. Nagoai vige tao lép phti kim loai, xt ly plasma ciing giip tang dé bam dinh ctia ce méi dan gidta polyme va kim loai, Nabil Anagreh va Lutz Dorn [51] 48 tr ly ba mat polybutylen terephtalat (PBT) bang plasma Ar va Op & Ap sud( thap tude khi da PBT vdi tim nhém bing keo epoxy (EP) va polyurethan (PU). 6 trudng hop keo PUL dd bén méi dan chi ving nhe, nhung déi véi keo EP, dO bén mdi dan tang tir 3.5 jin dén 10 Lan toy thea mute dé xi ly. Nhin chung, céc méi dan bi pha hiy hau hét déu xé rich lop polyme. 7.2. Tao tinh chat m [40, $5. 36, 57, 58, 59, 60, 61, 62, 63] Bang cée phuong phap bién tinh, edy ion, ding tring hop ghép hay trang hop trong plasma, nguivi ta cé thé thay d6i co ban mét sé tinh chat tinh dn dign, dé cimg, kha nding chiu ma sat, kha nang chiu mdi (uidng va kha nang tuang hop sinh hoe .. cho bé mat polyme mat cho polyme nh 7.2.1, Thay déi 46 cteng, modun dan hdi va tinh chat ma sat Polyme duge ding rat rong rai trong hau hét cdc nganh cong nghigp bai cde tinh chdt qui ciing vi kha nang gia céng dé dang va da dang ciia ching. ‘Tuy nhién, trong nhang truémg hop ding dung nv Ii ing, banh rang, vong bi, khép néi thi tinh chat ma sat 1a mt trong nhimg diéu ding quan tam nhat vi né anh hudng dén chat Iuong cua ca hé théng. Vi vay, tro hing ndm gan day, viée ién cir nang cao co ban tinh cl héa, ly, co va tinh cht ma sat cho polyme dé cé thé str dung ching cho ng nghé cao dang rét duge quan tam, Mét trong nhéing phuong phép rit inh vye tiém nang la xtr ly be mat polyme bang chim ion trong mdi trudng plasma. Xu ly be 74mat bang cham ion ting cong bang plasma bao gdm hai ky thuat: cay ion nhing plasma (PI'- plasma immersion ion implantation) va cay iun ngudn plasma (PSU- plasma source ion implantation). CAy ion trong plasma rat higu qua trong thay di dé cling ya modun dan hi, lam cing va ein chdc bé mat polyme. D4 co mot sd nghién cru vé cdy ion cho polymellitic dianydrit oxydianillin (PMDA-ODA) va polyiznquinolin (PIQ) vi cdc loai ion C. N. O. Ne va Si, sti dung nang hrong thay déi trong khoang 180 dén 360 keV. Trang moi trudng hop, 40 cima déu Ging mdt cach co ban.. Polystyren (PS) cling duge nghién eitu cdy ion trong plasma Ar. Poly-2-vinylpiridin (PVP), polyacrylonitril (PAN) va PIQ dire cay voi Au, Ne. C, Li, He va H. Cae kat qui cho thay d6 cig etia bé mat da Ling 20 dén 30 Lan, Gan day. nghién cttu sit dyng phuong phap cay ion nhung plasma cho polyetylen phi cao (UHMWPE) voi nito da cho cde két qua kha quan, Lam bé mat, modun dan | mai mon eding nhu dé thim phti. Phuong phap bién tinh bé mat Pl’ vai nite cing lim ting dang ké dé chiu mai cia UNMWPE trong diéu kigt higu qua cita phuong phap PP v wt Ss tang dang ké dé cin ma sit trong mai trong nude. Trén bing 7.5 so sanh xi IY plasma binh thudmg, Bang 7.5. So sanh phuong phap PI voi x ly plasma binh thudng be mat UHMWPE [63] Wie by Dieu kien Dé cimg (MPa) Khéng xu ly Nhu mua vé 65.8 dar ly plasma Plasma RF, 25 phat 85,2 (+29%) pr 1S keV, 1017 ion em”, 100.6 (453%) 25 phat St dung PP dé xt ly be mat PI véi nito ciing da lam giam dang ké tug be mat, phuong phép XPS cho thay cé sy Hign dign cila cacbon v6 dink hinh trén bé mac xu ly PL’. Ngoai ra. c6 mot so nghién cou vé kha nang ting dé tham phi cia be mat polyme bang phuong phap PS rat thdp, chi 2-3° so voi 71-90" Khi khong xi ly. Tuy nhiéa, polyme cly CF, lai ki nuroc hon mau khong xi ly va dat géc tiép xde vei nude 14 100°. L. Polyme cay oxy bang PSH cho géc tiép xtc vei mide 7.2.2, Ché tao mang polyme dan dién Polythiophen (PTh) la mét trong nhiing logi polyme dan dign néu duge dép (kich thich) véi hyp chat oxy héa thich hgp. PTh, ed & dang duoe dép wung sinh hay dp anion. 4 mét trong nhing polyme dan bén vai mai trudng va ben mhiet, vi vay duge quan tam trong finh vue ché tao transitor, cde di ét phai Ang va sensor. Tring hop plasma [4 mét phurong phap “kho”, khdng phai ding dung moi, 6 thé thye hign 6 75nhigt d9 phong, cho phép ché tao mOt lop mong PTh trén nhau mot cach nhanh chéng va vi chat lugng cao. MS. Silverstein va L_Visoli-Fisher [56] da nghién iru tring hgp thiophen (Th) trong plasma RF & Ap suat thap va nhiét dé hai tam cue song song cila binh phan tmg, la 20°C, trén nén tam thiy tinh va silic, Th duge tron hgp voi cdc loai khi mang khac nhau la oxy va nite, Nén duge xtr ly tude bing plasma Ar, sau dé hit chin khong va dua Th cing ede khi mang vao dé tring hop plasma. Plasma da tao duge 6p mong PTh trong sudt (duge viet tit lA PPTh- plasma polymerized PTH) voi t6c do Ling dong mang 14 50 nm./phut, c6 d6 day 1a 0.0Sum (theo phuong phap a-Step 100) va ti trong la 1,75 g/ee, Mang méng sau dé duge d6p bang hoi |) trong 25 phat. u loai vat ligu nén khdc 2000; a | So pemiso: | Spero | | | eeptnron! 1500 |= perina| Nang lugng, eV Hinh 7.7. 86 thj hép thu quang hoc cua mang PPTh Ké qua khao sat cdu tric héa hoe (FTIR, XPS) ctia mang cho thay. cdu tric héa hoe ciia mang bao gdm vong thiophen mé va mot lung ding ké céc cu tric Khong no, oxy va nite. Cuong d@ plasma va khi mang khde nhau 6 anh hudng lon dén céu tao héa hoe cita bé mat mang (cé va khéng dép I), do dé cing anh hudng dén tinh chat quang (hinh 7,7) va dan dién (hinh 7.8) cia mang PPTh 6 cuéng 46 10W, ISOW, cO va khéng c6 mat cae khi mang Ar hay Nz. Ban chat cach dign cla mot sb mang thu duge doe do dac bing dic mumg dong-dién thé nhur trong hinh 7.8 va mang tao ra & LOW c6 mat khi Ar PPTH(IO, Ar) va & 1SOW PPTh (150), da dép 1; 66 do din dign tdi da gan nhu nhau la 10° Sem! 6 dign thé cao nat, tire 14 trong ving dan kim loai - ban din. 76PPTH(10,Ar) PPTH(150} PPTH(10,Ar), PPTH(150), obo yu ‘ugip Suog fea warwerl 2S Higu dién thé, V Hinh 7.8, Bac trung Déng - Bién thé ca mang PPTh trvde va sau khi dép lz Poly (etylen terephtalat) (PET) fd mét dai dign cia nhya nhigt déo durge img dung réng rai trong nhigu linh ve nhur vat ligu ma sét, vat ligu chju mai mon, vat ligu dgt, compozit, vat ligu y-sinh... vai dd bén héa hoc, dO bén co rat cao va kha ning twong hgp sinh hoc tuong déi tét. Dé tao tinh din dign cho PET nhim mé réng link vue img dung, cé thé ché tao 1ép polyme déng tring hgp ghép polyanilin (PANI), mot loai polyme din dign, én nén PET. Tuy nhién, véi cdc phuong phap hoa hoc. ham lugng PANI duge ghép lén mat PET rat han ché. Jiku Wang et al. (61, 62] da nghién cru giai phap ting ham lung ghép PANI bang cach dong tring hop ghép PANI lén nén PET da bién tinh, tire la thong qua mat Iép mong déng tring hgp ghép polyacrylic axit (PAAc) lén nén PET. Nén PET duge xir ly plasma Ar ngudn RF o ap suat thuomg. véi cutmg do 100W trong | phit va sau dé duge nhing vao dung dich axit axetic (AAc) dé déng tring hgp ghép AAc én nén PET. Lp ghép bing plasma cé kich thuée hat va dé nhvim (phuong php AFM) l6n hon hin so véi phuong phap yhép hoa hoc (RMS tang tir 71.4 A lén 141,5 A), tao thém diéu kién thugn Igi cho d6 bam cua lop mong méi sé ghép sau dé (xem hinh 7,9 véi dé nham trung binh bé mat RMS). V6i mot nén PET mang nhiéu nhém axit cia PAAc, ham ltrong PANI duge ghép tiép theo lén nén lai tao da ting lén vugt bac pho phan img axit-bazo, 7RMS: 71,4 A RMS: 141,5 A RMS: 854,6 A ) ) Hinh 7.9. Anh AFM vé hinh thai bé mat cia lop mang méng bién tinh va kh6ng bién tinh @) Mang PET, b) Mang PAAc-g-PET; ¢) Mang PANI-g-PAAc-g-PET Ngoai ra, trong nganh dét-may, dé ch6ng tinh dign cho cic loai sgi nhu Jen, sgi polyeste dé chéng tinh, cé thé bign tinh soi bing cach phi mot lép rat mong polypyrrol, mot loai polyme dan dign, gitip cho vai va len khong bj hitt byi va dinh vao co thé ngudi sit dung [84]. 7.2.3. Tao tinh twong hyp sinh hgc cho polyme [25, 37, 54, 57, 59, 60, 88, 89] Hang nim, trén thé gidi sit dung khodng 3 triéu tén chat déo trong linh wc y té, bao gém cdc loai bao bi y té, lam thudc, vat ligu thay thé sinh hoc nut mach mau nhan tao, vat ligu cay ghép... Cho cdc ting dung y-sinh, polyme cn c6 tinh tuong hop sinh hoc. Tinh tuong hgp sinh hoc 1a tinh chat gi thi cn dua vao ting dung cu thé, Vi du, néu vat ligu cén tiép xiie véi mau (nhuf mach méu nhan tao, bao bi chifa mau, stent, van tim nhan tao) thi phai c6 46 khang khudn tét va khong duge xay ra dong ty mdu, néu la vat ligu cy ghép thi phai twang thich v6i céc té bao va duge céc té bio chap nhin, néu [a vat ligu chéng bam bén (vi du lam 6ng thong dudng tiéu, kinh 4p trong, biosensor) thi phai c6 dac tinh ngan chin dutgc t€ bao phat trign... Néu khong dude bign d6i bé mat, polyme khé dap ting duge céc yeu cfu twong hgp sinh hoc. Céc lop phi polyme mong cé dic tinh thich hgp cé thé bién tinh polyme nén cé thé tré thanh hign thyc nh cOng nghé phi mang PECVD (Ling dong hoi héa hoc bing plasma). Trong cdc ting dung ky thuat y té thong thudng ngudi ta hay sit dung cdc loa polyme tro va cé cac tinh nang dac trung nhif cdc nhém amino bac mt, cacboxyl, epoxy hoae ancol. Vi du, dé cé duge chic epoxy, trong moi truéng plasma cusng do thap, c6 thé ding glycidyl metacrylat Lim nguyén ligu déu dé tao lap mang mong ling 78dong trén nén cé dae tinh bén ving va co chita chue epoxy. Hiéu sud nhom epoxy phu thudc manh vao cudng dé plasma (tuy nhién ham hong nay thudng chi can thap) [$9] Gan day, cé mét sé phuang phdp bién tinh tao sy twang hop sinh hoc duoc quan tim ghién ctr nhiéu va 6 ra rat cd tiém ning Gng dung rong rai. Dé 1a cdc loai J6p phu bién tinh c6 tinh chat cua teflon, silican va polyctylenoxit Lép phi gidng-tetlon bi vei cde vat tigu tiép xiic ue tiép voi mdu, tie dng cus sw hap phy protein ép xiic Véi mau, c4 hai loai bé mat rdt ua nude va rit ki nude déu co ich, Bing cach xtt fy plasma. thanh phan bé mat sé thay dai va co thé réx quan trong, Vi du, 48 cd duge dic tinh tuomg hop cao ciia be mat polyme khi an ché duge sy hap phy pratein. Mat loai mang vhép tuong hap vi mau rét 141 la lop mang gidng-teflon (tefton-like) vai thanh phan CF, (O< x 2) 1rén nén chat déo Dacron. Lép mong giéng-teflon, thu due bing cdch tring hop C2Fs trong plasma (2 ngudn RE, 6 dac tinh rit ki nude, rat it twong tac voi mau va giam dang ké két ty huyét khdi trén be mat vat iu. Tinh wong hop ciing nhu cac tinh chat lién quan khé cha mang [a ham sé cua thanh phan héa hoc, vi dy nhu ti lé F/C. Ti 1é F/C thu té cb thé diéu chinh duge bang cach thay ai ti 18 dong, chay cda khi Khi cdp C.Py/H) vao budng phan Gng plasma, ding thai. ciing da xac dinh duge la sur hap phy. mite dé si to huyét, protein cda mau , bao gdm ca viée tao huyét khéi. 6 Tién quan chat ché hinh thai bé mat mang mong [60, 89]. § FIC, d9 tham pha. cfing nhu \ \ CFs CF2 CF ee s* ie \ N.S Cre CF Cra ceo otro. a “ SND NYN GS Yorn (eFyn CF2n cr Oe. ce oc oy eke 4 of a ne CF CF: Cre aN RS 7 CF: Cr. Cry SS Roe A B Hinh 7.10. So dé cdu tao lop pha gidng-teflon: (A) C4u tnic mang lurs# v64 ti 16 F/C khde nhau (22 FIC > 0) va d6 két lur6i tom: (B) Céu tric mach tat tyr vod cdc nhom bé mat -CF3, 66 ti lé F/C cao, mat 66 két ludi va nang lrgng bé mat rat thdp 79Lép phii giéng-siticon M6t loai lop pho khac cing dang rat duge quan tam nghién city la lép phi gidng-silicon (silicone-like). N6 eé tinh chat rat uu vigt trong cde img dung nhu lop phi quang hoc (c6 d6 cimg, bén it tray xudc, chi sé khiic xa phi hop), bao vé chong An mon (cé dd tro vai héa chat), bao bi thy phim va thude (mém déo, c6 dé cin Or. 130 va chat thom cao), Mang gidéng-silicon thu duge qua phuong ph4p tring hop plasma phong dign phat sing RF véi hoi cia cée monome hilu co cé chia silicon, c6 hoe khong tn Lan vi chat khi khée (vi dy nhu O2) con duge dang dé pha vat ligu tiép xde vi mau. Dac bidt, bang cach diéu chinh cdc théng sé plasma khde nhau. cdc mang giéng-silicon cé thanh phan Si,CyH.O, khdc nhau con cé thé duge ding dé boc cdc hat cacbon hoat tinh trong thiét bj loc mau va mang mong. tir soi PP réng tron may oxy héa mau. Lop phii giéng-PEO Cho mue dich chéng bam ban, mot loai lép phi ¢6 dac tinh cita palyetylenoxit (PEO) duge phi trén nén PET cé rit nhidu img dung va c6 tén goi 1a lép phi gidng- PEO, Cé thé tao duge lop phi trén bang plasma phéng dign phat sing cudng 46 thap (SW, CW plasma va SOW plasma xung dign), Tinh chat chéng bam bain ciia lop phi 43 duge thir nghiém thanh céng véi protein mau (soi to huyét va anbumin) (60. 88] Cae lap phi bién tinh ¢@ tinh chat ai nude c6 thé thye hign duge bing cing nghé PECVD véi hoi ctia cée chat tetraetylen glycol dimetyl éte, hexametyldisiloxan, 37. 60. 89]. Gyu Ha Ryu et al. [58] da bién tinh bé mat cho poly(D,L-lactic-co-glycolic axit) (65/35) (PLGA), mt vat ligu lam dan bam trong nudi cay té bao, bing cach phi TiO,, str dung phuong phap phtin xa manetron @ ap sudt thdp véi khi O; va Ar, nhim nang cao kha nang tuong téc gitta bé mat PLGA véi té bao. Cac két qua khao sat géc tiép xtic, héa hoc bé mat (XPS) va tong tac té bao/bé mat PLGA (SEM, MTT) cho thay, PLGA bién tinh bang phi TiO, tré nén rit ai nude va tang duge kha nang tuong tic voi té bao. Hinh 7.1] 1 hinh anh vé sy khac biét ctia tinh di nude gitta be mat PLGA khéng bién tinh va etylen oxit, hydroxyletyl metacrylat, va trietylen glycol monoally! ete p xtic tinh cla gigt nude vei bé mat. D6 Ai nude t4i da cid bé mat bién tinh git khong thay ddi duge trong 60 gid. 80| Ton 36 hr 60 hr Khong pha Phi TiO: Hinh 7.11. D6 ai nuée cua bé mt PLGA khéng xtr ly va cé phi Ti02, dic trung bang géc tiép xc tinh 7.3. Tang kha nang in trén nén polyme [34, 41, 42, 50] Nhiéu logi polyme nhigt déo duge sit dung lim bao bi, dac bigt la PE, co ning lugng bé mat thap, khong thich hgp cho sy bam dinh cia muc in lén bé mat. Vi vay, bign tinh bé mat dé tao mot bé mat hoat tinh va c6 kha nang lién két t6t voi myc in truéc khi in Ién nén polyme Id buéc cin thidt. Trude day, phuong phap bién tinh “ust” ding cac héa chat 1A phé bién. Tuy nhién, phuong phap nay anh hudng lén dén moi truding va ddc hai cho cong nhan. Hign nay, xii ly plasma bé mat polyme bing plasma cho in An da duge thyc hign va tip tuc nghién citu, phé bién 1a diing plasma corona (trong khong khi) dé xit ly PE va PP. Ngoai ra, nhim mé rong kha ning ting dung, co nhiéu nghién cifu vé sit dung cac loai plasma khac dé xit ly polyme cho muc dich ting kha nang in trong nhing ting dung dic biét, vi du sit dung plasma heli vi song, xit ly 6 4p suit thap [40] Céc nghién citu vé sit dung plasma ngon duéc (plasma torch, pen-like) voi khi Ar & ap sudt thudng [50] va so sinh véi xit ly & ap sudt thép vi plasma RF cho thay, plasma ngon duéc cho higu qua ting nang lvgng bé mat rat cao, da lam giém manh géc tiép xtic tinh clia bé mat PE tit 88,7° xudng cn 27,1°, so v6i 43,3° khi xtt ly 4p suat thap (hinh 7.12). Sau xit ly, kha nang bat va gid myc in cita nén PE duge cai thign mot cach co ban (hinh 7.13). 81a3 v Khong xi ly Xirly & dp suét thép Xtrly plasma ngon dude Hinh 7.12. Géc tiép xdc tinh cia bé mat PE tree va sau khi xcrly plasma A: Khong xihly; B: Xoly Hinh 7.13, Khd nang bét myc in cia bé mat PE xir ly bing plasma ngon duéc 7.4, Ché tao polyme compozit [32, 33, 42, 64, 72, 74, 75, 80, 81, 86, 91, 92, 93, 94, 95] D6 bén cia mét vat ligu polyme compozit phu thudc chi yéu vao ba yéu t6: dd bén ciia nhya nén, do bén cia vat Léu gia cudng va muc dé lign két pha gitta nha nén va chat gia cng. Vi vay, vige tng cudng bam dinh gida nhya nén va vat ligu gia cuéng 14 rat quan trong dé cho chat Iugng vat ligu compozit cao hon, Plasma la mot cong nghé sach va khé duge ding rat higu qua dé bién tinh bé mat cho cdc vat ligu gia cuding, dic bigt IA soi gia cudng, trong ché tgo vat ligu polyme compozit. Cé nhiéu nghién citu cho thiy plasma co téc dyng hoat héa bé mat cia nhigu loai sgi, cd sgi tng hgp va sgi ty nhién 827.4.1. Xi ly cc loai s¢i gia cvdng téng hyp Polyetylen mach mé rong (ECPE) c6 nhigu tinh chat qui (vi dy modun cao, dé bén‘hoa tit) nhung kha nang (ign két dinh voi nén hau co nhu nha epoxy kém. HE dat duge sy bam dink gida hai pha «it hon, co thé xi ly loai soi poplyetylen nay bang plasma ammonia va oxy. Céc phutong phap phan tich cdu ric bé mat va thir cor hoe (kéo trurot) cho thay 6 méi lién quan mat thiét gida ham tony amin, thoi gian xu Iy vai dé bam dinh ECPE/epoxy. Bd bén kéo trugt (FSS) gida hai pha ti lé chugn voi ham long amin uén bé mat cho téi khi cao hon dé bén cia ban than soi. Gid tr nay thu duye khi théi gian ati ly LA 1 phot. Mae dis vei thai ian xif ly ting lén, ham luong nhém amm trén bé mat eting tng cao, nhung dd bim dinh khéng tng len sau f phat xirly. Wood va Ward [94] dé xudt mot kha nang vé cdc co ché lién quan dén viée lam ting d6 bén bam dinh gids soi PE vai nhua epoxy kai xtr ly soi bing plasma oxy nhu sau: Thét nhat, véi vige xi7 ly plasma uhanh, sur oxy héa bé mat sé lam tang tinh cham phi elia nhya lén bé mv’ gi. ‘Thi hai, cde tia UV ciia plasma sé Lam bé mat soi bén vitng hon ahd phan img két (udi. Thir ba, thdi gian xu ly plasma lau hon sé xay ra hign teng bao man tao nén hang vi nhém trén be mal sgi PE, tao nén whing dig chit chu bya bam len vitag hon. Tuong ty nhu trudng hop soi PE, plasma ammonia cing duee st: dung dé nghién cou bid n tinh soi hiu cor aramit kém hoat tinh (soi Kevlar) dé tim tang tinh bam dinh véi nhya epoxy brom hi: Squ Kevlar, khi duoc bién tinh bing plasma oxy, s@ cd chira cde nhém chite trén bé mat nhu cachosylic, hydroxy! va amino, la cde nhom cé kha nang phan img héa hac vai TiC, dé lam xue te hd tro danh cho trimg hop polyetylen [93]. Sau khi cho thém chat ding xtic tac (trietyl nhdm) va khi etylen vao, phan ung tring hop sé ady ra tran bé mat soi. Soi Kevlar sau khi da duge bién tinh lop polyetylen sé tr nén trong hop voi nhua nén polyetylen. Civ logi plasma ammonia v4 ony cling e6 tac dyng tat déi vai soi cacbon. ching lim ting lién két bam dinh pha gitta sgi va nhua bismaleimit (BMI). Trong dé plasma ammonia cho higu qua tat han, con plasma oxy ¢6 the dung tao do ham tot hun, Naudi ta cho rng. eo ché tang cudng dé bm dinh do xt ly bing hai loai plasma trén ciing khae nhau, Vai plasma oxy, co ché duge cho la: plasma oxy An man nhiéu hon nén da tao nén nhiéu vi nham hon [am diém chét cho nhua bam dinh, déng thoi cing lam tang tinh chim udt va lién két héa hoe khién dé bam dinh ting lén. Con 6 plasma ammonia thi cdc lign két hoa hoc cla cdc nhém amin voi bismalcimit va ang, lucmg bé mat cao 1 hai yéu 14 quan trong kiém soat dd him dinh soi cacbon/BMI tong compozit.7.4.2. Xie ly soi gia cw@ng ty nhién Compozit soi tw mhién duge coi 1a compozit sinh hoc va hign nay dang rat due quan tam nghién ctr, Ching cé rat nhidu tig ing img dung khong chi vi la Ioai vat ligu méi véi nguén nguyén ligu ty nhién va ti tao, than thign véi méi trudng, c6 thé phat trién bén viing, nhe, giam CO» trong ty nhién va co gid thanh ha, ma cdn vi ching 6 nhiéu tinh chat tong tu va co tiém nang thay thé compozit soi thiy tinh. Polyme compozit soi ty nhién hién dug? nghién efru tng dung trong nhiéu Vinh vue nhu xay dmg, ché tao 6 16, cae vat dung va nhiéu dng dung khdc. Tinh chat ctia polyme compozit sgi thuc vat phy thude vao nhidu yd d6 cb ban chat ca sgi va Tién két gitta soi va nya Cac loai soi ligno-xenlulo nha day. lanh. gai dau. dita dai, soi heniquen, dam but An BG, dita... hhudm: lam son gia cudng. Gan day. soi tre dang rét duge quan tam phat wién va duge coi Li duge sii dung, mét dai dign tiém nang co thé thay thé soi thiy tinh. Tuy nhién, soi thute vat 6 46 hit 4m cao, dd thim uét hém va do bam dinh dui mize can thiét voi nhua nén néu khong duge vir ly bé mat, do dé dé bi tach Jp theo thai gian. Mat khde, soi thye val ngoai cau v8 chinh 1A xenlulo, ic thanh phan khdc ahu hemi-xenlulo va lignin ciing la dae ting xdc dinh cdc tinh chat eita soi thc vat. Khéng nhu sgi tng hgp, cde thanh phan cing phy thude vao thé nhutng, khi hau, digu kién nudi trong, wdi cay... va anh huéng manh dén tinh chat cua tng nu, Chinh vi xu fy va bién tinh soi rét quan trong C6 nhiéu phuong phip xo ly soi thye vat nhu xii Iy kiém, axetyl héa, wih ly bing acrylonitril, izoxianat hodc déng tring hgp ghép, hay dimg céc hgp ct nbwrsilan... (74, 80}. Cho dé phap cho két qua xit ly vat lién két nay, cae phutong phap héa hoc “ust” vin 1a cde phuemg 1. tuy thién ching tn kém, khong than thign mdi trudmg va die hai cho con nguar. Vi thé, hién nay c@ nhigu nghién ciru sii dung cée phuong phap at ly nhu plasma dé xér ly soi thue vat cho muc dich lam polyme compozit. 7.4.2.1. Xu ly soi g trong ché tao polyme compozit nén polypropylen Polyme compozit sdi g6-polypropylen rat duge ua chudng vi nhe, than thi moi (rudng, c6 gid thanh ré va c6 kha ning cho chit luigng cao. Tuy nhién tinh chat co hoc cla ching cdn bj han ché, ma mét trong nhing nguyén nhan [a do su khong tong hop gita bé mat phan cuc éi mide cia gé va khéng phan cye ki nude cia polypropylen. Déng thoi su phan tan cila g6 trong PP cing rit kém do c6 tong tac manh gida cdc sgi, hdu qua cua cae lién két hydro ngoai phan ti. ec gia Xiao Yuan et al.[92] d& nghién ctru str dung plasma cao tan véi khi Ar va khang khi dé xii ly soi go nham nang cao kha nang tuong hop gi soi g6 va PP. Didu kién air ly kha nhe nang v6i nguén RF 13,56 MHz, & 40W, 60W va 120W trong ap suat thap. 84Jan voi soi PP dé tgo than mat, sau dé durae ép néng & 25 kPa, c6 hut chan khéng dé tao tém tién than prepreg. D9 ben va modun kéo ctia cde Soi g8 thang duge tro t4m compozit tang lén sau khi soi duge xt ly plasma. Dé bén kéo cua sgi tang 20% wrong trudng hop xit ly bang plasma khéng khi va 12% néu xis ly véi plasma Ar so voi soi nguyén thiy. Cac khao sat vé tinh chat co dong hoc (DMTA) cua vat ligu cing cho thy da ving én do xir ly plasma. Plasma khdng kbi cling tic ding manh hon va cho wid te] nh chat cor dng hoc ctia soi cao hon so véi plasma argon, Ngoai ra, be mat gily cia compozit duac khdo sat bang hign vi dign tir quét SEM cho théy tinh chat b& thudn Igi cho bam dinh cing (ang lén va lién két soi-nhura chat ché hon. Hea hoe bé mat soi gd cing duge phan lich bang phuong phap XPS da chtmg minh cho thay ti WG oxy/cacbon a3 ting én aha xt ly plasma. Ca hai loai plasma Ar va khong khi déu 6 tac dung tang cuding tinh chat bé mat cho sgi g6, nhumg dem lai thanh phan hda hoc khac nhau. Xt ly bang plasma khéng khi cho bé mat c6 ti 18 O/C cao hom plasma Ar va xuat hién N trén bé mat soi g3 (xem bang 7.6). Bang 7.6. Thanh phan nguyén té cua bé mat gé (theo phuong phap XPS) Diéu kién Tiléthanh phan Thanh phan nguyén 14 (%) Xurly oie Ne Cis Ols Nis Khéng xu ly 0,31 76,27 23,73 - Plasma Ar 0,42 70,40 2.60 - Plasma khong khi 0.51 0,02 65.66 32.8 4 7.4.2.2. Xt ly soi day va so# tre, ntra cho ché tao vat liéu polyme compozit Soi day di duge sit dyng tir liu. Né c6 modun dan hdi khodng 28 Gpa, rat gan véi gid tri cia soi thy tinh E. Nghién cisu cua Jochen Gasan va Voytek S. Gutowski [95] da dé cap dén viée xir ly soi day bang plasma phéng dign corona va tia chiév xa UV dé nang cao tinh chat cha compozit soi day/epoxy. Soi day da xi ly bang corona e6 thanh phan phan cue va ning Iugng tu do bé mat cao hon han va tng lén theo cu’mg dé plasma. Do viée xt ly corona cho vat thé theo ba chiéu kha kha khan nén d6i vi xo, d6 phan cye chi tang tuong d6i it, con dai véi sgi don thi tae dong vita plasma cao hon nén dé phan cuc cao hon. Ngai ra, 66 bén chac cua xo day cing bi gidm di khi xii ly corona. Vige xe ly bing tia UV 044i vai xo day va si don dan tdi lam uing 13 rét do phan cuc cba bé mat so voi xii ly bang corona, Tang thi gian aw ly hodc gidm khoang cdch gitta cdc dién yc tam tang manh dé phan eye ciia xo day nhung lam gidm di d9 bén cba xo. Vi vay, khi xt ly bang 85