 基本信息

学生姓名 学号 所在院系、导师姓名 学科（一级） 学科（二级）

王浩岚 SC22038038 物理学院，李思坤 光学工程 无
杂志名 2013 18 th
Asia and South Pacific Design Automation Conference
所选文献 L-shape based layout fracturing for e-beam lithography

1. 本学科领域文章结构、内容要件示及信息流程图

文章结构

1. Introduction
2. Methods(RM & DLF Algorithm)
3. Experimental Results
4. Conclusion

内容要件示及信息流程图

【Abstract / Summary】
1. Identify the Research Area
 Introduction of background information
2. Report Major Method
 Introduction of two proposed algorithms
3. Significance
 Refer to the promising experimental results

【Introduction】
【Methods】

【Results】
【Conclusion】

2. 文章部分内容要件分析及标注

文题： 内容要件 （能够准确反映文章的主要内容。文题一般由关键词组成）

内容构件 举例说明 (杂志/文献编号，如：2/3)1/1 备注

研究目的 提出了一种针对电子束光刻的版图分割方法
文
研究方法 无
题
研究结果 L-Shape Based Layout Fracturing for E-Beam Lithography
其他（请说 无
明）

备注 字数：7
语言特点：非完整句，名词为主；用了两个专业复合词 L-shape
和 E-Beam 而没有用其全称

摘要分析及标注： 内容要件（摘要内容应包括研究目的、方法、结果、结论（注意：不要
把结果与结论混为一谈）等。）

内容构件 举例说明 (杂志/文献编号，如：2/3)2/3 备注

 研究背景 (1) Layout fracturing is a fundamental step in mask data 可选要素
preparation and e-beam lithography (EBL) writing.
(2)To increase EBL throughput, recently a new L-shape
writing strategy is proposed, which calls for new L-
shape fracturing, versus the conventional rectangular
fracturing.
(3) Meanwhile, during layout fracturing, one must
minimize very small/narrow features, also called
slivers, due to manufacturability concern.
研究目的 (1) This paper addresses this new research problem of 必选要素
how to perform L-shaped fracturing with sliver
摘
minimization.
研究方法 (1) We propose two novel algorithms. The first one, 必选要素
rectangular
要
merging (RM), starts from a set of rectangular fractures
and merges
them optimally to form L-shape fracturing. The second
algorithm,
direct L-shape fracturing (DLF), directly and
effectively fractures
the input layouts into L-shapes with sliver
minimization.
研究结果 (1) The experimental results show that our algorithms are 必选要素
very effective.
研究结论 无 必选要素
研究意义 无 可选要素
字数 115

关键词 摘要后列出 3-6 个关键词（通常从文题及摘要中选取）。

L-shape fracturing, E-beam lithography, sliver minimization, manufacturability
注：说明标注文献出处

引言分析及标注： 内容要件 （提供研究背景及研究问题，即阐明研究什么问题，为什么

要研究这个（些）问题，关于这个问题前人有什么研究，这些研究有什么缺陷、矛盾之处
或可延伸之处，本研究如何针对这些缺陷、矛盾或可延伸之处设计自己的实验，为什么要
这样设计、操纵这几个变量，实验预期（假设）是什么，为什么这样预期。总之，必须以
明晰的语言说明研究的问题与理论框架、前人相关研究、当前实验设计与假设这三者之间
的逻辑关联和脉络。）

内容构件 举例说明 (杂志/文献编号，如： 备注

2/3) 1/2
1.研究领域 该文的研究领域在电子束光刻 可选要素
 说明本项研究所隶属的研究领域 上；进一步聚焦在 L-shape 电
 在所确定的研究领域中，确定你的研究方向 子书光刻的版图数据分割上；
 说明本项研究的具体问题 提出了两种全新的算法。
2.已有研究基础 之前的相关研究中，许多算法 必选要素（可成
3. 具体陈述本项研究已有的研究状况、程度及研 都可以有效地减少 EBL 写入时 为独立章节）
引 究进展 间。
3.有待解决的问题 之前的研究都是关于矩形波束 必选要素
4. 阐述深入研究的必要性及有待解决的问题 的，L-shape 电子束光刻相关
言 的优化算法还很少。
4.具体研究问题：提出本项研究的目的、特点 首次给出了对 L-shape 电子束 必选要素
光刻分割算法的系统性研究。
5.研究意义：说明问题的解决对本学科领域的意义 提出的算法在电子束曝光时的 可选要素
count reduction 和 sliver
minimization 方 面 都 取 得 了
进展。
方法分析及标注： 内容要件 （以明晰的语言说明被试如何选取，实验材料选取的标准和
材料制备过程，每个条件下的试测次数，实验过程，对被试的要求等。总之，尽可能细致
地描述实验材料和实验步骤，做到让读者可以完全重复该实验。）
内容构件 举例说明(杂志/文献编号，如：2/3)1/1 说明
算法思路 L-shape 是由两个矩形 merge 得来的；先用已有的分割算法将版 必选要素
图数据切分成矩形，再将得到的只含矩形的版图数据建模成一个
图。图的每个顶点代表一个矩形；若两个矩形可以合并成一个 L-
shape，则对应的顶点有边相连。求 sliver 最小的 L-shape 分割
方
方法就是找到图中的一个最大匹配。
实验过程 使用 c++编写分割算法。RM 所需的预分割算法采用了最先进的分 必选要素
割算法，LEDA 库被用来计算图的最大匹配。
法
实验设备 Intel Xeon 3.0GHz Linux machine with 32G RAM. 使用数据库 必选要素
为 ISCAS 85&89 benchmark, 光刻仿真对象为 Metal 1 Layer。

结果： 内容要件 （必须首先说明数据如何进行了预处理，按照什么标准删除数据或被试，

删除多少数据点。报告统计结果时，要说明使用何种统计方法，并对统计结果有简短的说
明性文字。）
 内容构件 举例说明(杂志/文献编号，如：2/3) 1/1 备注
数据处理 qRT-PCR analysis; (mean ±SEM, n = 4) 定量 PCR
结
统计结果 *p < 0.05, **p < 0.01, ***p < 0.001. 显著性星号标注
果
结果说明 与其他两种算法的可扩展性进行了比较 文字、图、表

讨论分析及标注： 内容要件 （如实验得到数据较多，需首先总结实验发现，并指出核心

结论。讨论应紧扣实验假设、实验发现，并把自己的发现放在理论框架、前人研究的背景
之上。讨论的内容与引言中的综述、问题提出有着一一对应的关系。对超出实验发现的推
测、猜想，应有明确的说明；对本研究的不足之处或可进一步探讨的地方，也可有明确的
论述。）

内容构件 举 例 说 明 ( 杂志 / 文献编号，如： 备注
2/3)1/1

1 报告主要工作内容 提出了基于 L-shape 的版图 可选要素

分割算法。
2 解释结果的意义、说明其重要性 RM 算法得到的是理论上的 必选要素
讨
最优解。这是文献发表之前
唯 一的对 EBL 种的 L-shape
分割的系统性的算法研究。
论
3 结合他人研究结果对本研究结果进行讨论 无 必选要素
4 说明研究的局限性 无 必选要素
5 说明未来的研究方向 无 可选要素
注：说明标注文献出处

说明：没有单独的结论部分，而是融合在结果当中。