ĐỀ CƯƠNG CHI TIẾT

HỌC PHẦN: KỸ THUẬT MÀNG MỎNG VÀ CÔNG NGHỆ NANO

Chương 1. Động học chất khí
1. Nêu định nghĩa về vận tốc căn quân phương trung bình, vận tốc có xác suất cao nhất
và vận tốc trung bình. Ý nghĩa và so sánh sự khác nhau của 3 vận tốc này.
2. Thiết lập công thức xác định Tần suất va chạm chất khí và quãng đường tự do trung
bình. Tính mật độ phân tử khí và quãng đường tự do trong các khí tại áp suất khí
quyển tại nhiệt độ phòng (điền vào bảng dưới đây

Molecular Kinetic n Z 
weight diameter
(pm)

1
 3. Dòng khí là gì? Phân biệt hai chế độ dòng khí. Xác định dòng khí J trong chế độ
Knudsen (phương trình Hertz-Knudsen)
4. Độ dẫn của cấu trúc dẫn khí trong chế độ Knudsen. So sánh độ dẫn của lỗ hổng và
ống trong chế độ dòng phân tử tại nhiệt độ phòng. Bán kính của cả hai đều là 0,5 cm;
chiều dài của ống là 10 cm. Biết tốc độ trung bình của phân tử khí là 475m/s. Áp dụng
cho chất khí là oxi, nitơ, hydro, HCl. Khi tăng bán kính của ống lên 2cm thì các kết
quả thay đổi như thế nào? (Chú ý đưa ra công thức và lập bảng tính).
Chương 2. Hấp phụ và ngưng tụ
1. Sự khác nhau cơ bản giữa Hấp phụ và Hấp thụ khí (Lập bảng so sánh: định nghĩa hiện
tượng, tốc độ phản ứng, nồng độ, ảnh hưởng của nhiệt độ, ứng dụng). Phân loại hấp
phụ hoá học và vật lý (lập bảng so sánh)
2. Phân biệt khí và hơi (lập bảng so sánh)
3. Áp suất hơi bão hoà. Giải thích giản đồ pha trong lý thuyết đẳng nhiệt Langmuir
4. Vì sao khí hấp phụ và thời gian lưu trú ở trạng thái hấp phụ. Một phân tử hấp phụ vật
lý tại nhiệt độ phòng có năng lượng khử hấp phụ lần lượt bằng 0,4; 0,8; 1,2; 2 eV.
Tính thời gian lưu trú của hạt ấy. Tại nhiệt độ 500K thì thời gian lưu trú này thay đổi
như thế nào?
5. Xác định nhiệt trong quá trình hấp phụ. Sử dụng máy bơm hấp phụ bẫy nitơ lỏng để
hút chân không trong chuông d.tích 5 lít và chất hấp phụ của bơm là vật liệu lọc phân
tử có diện tích bằng 300 acres (1 acres = 4047 m 2). Hỏi độ phủ bề mặt của chất hấp
phụ đó là bao nhiêu khi cho chạy máy bơm? Áp suất ở trong chuông là bao nhiêu khi
chuông chân không được hút? Cho rằng, mặt phẳng hấp phụ sạch và tất cả phân tử khí
đều được hấp phụ, mật độ nút hấp phụ của chất này là 1019 m-2.
Chương 3. Kỹ thuật chân không cao
1. Định nghĩa áp suất khí. Các dụng cụ đo áp suất và đơn vị áp suất.
2. Chân không và phân loại bậc chân không. Các đầu đo chân không.
Khi bốc bay màng nhôm lên đế thủy tinh để làm gương phản xạ cao (độ phản xạ tại
bước sóng sử dụng không dưới 99,9%) ứng dụng trong hệ dẫn sóng laser, màng nhôm
cần được bốc bay trong điều kiện áp suất không lớn hơn 1x10- 6 Torr. Hãy cho biết bậc
chân không lúc bốc bay và áp suất tương ứng tính theo đơn vị Pascal.
3. Đặc trưng của bơm chân không. Phân loại bơm chân không

2
 4. Tốc độ bơm chân không, áp suất trong chuông thay đổi như thế nào theo thời gian.
Một bơm khuếch tán thương mại có tốc độ bơm (đối với không khí bình thường) là
5600 l/s. Đường kính cổ bơm là 31 cm. So sánh tốc độ bơm thực tế với tốc độ bơm lý
thuyết.
5. Điều gì xảy ra khi chuông chân không có khe hở nhỏ? Giả sử chuông chân không có
một khe hở nhỏ với độ dẫn là 10 -4 l/s. Hỏi dòng phân tử khí lọt vào trong bơm có độ
lớn là bao nhiêu?
Chương 4. Chế tạo màng mỏng bằng kỹ thuật bốc bay
1. So sánh hai kỹ thuật chế tạo màng PVD và CVD. Phân loại các phương pháp tạo màng
hiện nay. ( Nhóm 1)
2. Nêu nguyên lý, cấu tạo, quy trình chế tạo, sản phẩm chế tạo, ưu và nhược điểm của
phương pháp Bốc bay nhiệt ( Nhóm 2)
3. Nêu nguyên lý, cấu tạo, quy trình chế tạo, sản phẩm chế tạo, ưu và nhược điểm của
phương pháp Bốc bay chùm tia điện tử ( Nhóm 2)
4. Nêu nguyên lý, cấu tạo, quy trình chế tạo, sản phẩm chế tạo, ưu và nhược điểm của
phương pháp Epitaxy chùm phân tử (Nhóm 3)
5. Nêu nguyên lý, cấu tạo, quy trình chế tạo, sản phẩm chế tạo, ưu và nhược điểm của
phương pháp Bốc bay bằng laser xung ( Nhóm 3)
Chương 5. Phương pháp phún x
1. Phún xạ là gì? Nêu các giai đoạn chính của quá trình phún xạ. ( Nhóm 4)
2. Nêu nguyên lý, cấu tạo, quy trình chế tạo, sản phẩm chế tạo, ưu và nhược điểm của
phương pháp phún xạ: DC (Nhóm 4)
3. Nêu nguyên lý, cấu tạo, quy trình chế tạo, sản phẩm chế tạo, ưu và nhược điểm của
phương pháp phún xạ: RF ( Nhóm 5)
4. Nêu nguyên lý, cấu tạo, quy trình chế tạo, sản phẩm chế tạo, ưu và nhược điểm của
phương pháp phún xạ: Magnetron ( Nhóm 5)
5. Cơ chế phún xạ và các yếu tố ảnh hưởng đến quá trình phún xạ. (Nhóm 6)
6. Ưu điểm, nhược điểm và ứng dụng của phương pháp phún xạ. ( Nhóm 6)
Chương 6. Công nghệ chế tạo vật liệu cấu trúc nano
1. Công nghệ khắc là gì? Phân loại và so sánh sự khác nhau cơ bản của các phương pháp
khắc
- Kĩ thuật khắc quang học (Lithography) Nhóm 7
- Kĩ thuật khắc bằng chùm điện tử (Electron beam lithography) Nhóm 7
- Kĩ thuật khắc bằng tia UV và tia X (Extreme ultra violet
and X ray lithography ) Nhóm 7
- Kĩ thuật khắc bằng chùm ion (Focused ion beam lithography) Nhóm 8
- Kĩ thuật khắc bằng in ấn nano (Nanoimprint lithography) Nhóm 8
- Kĩ thuật khắc bằng ion đánh dấu (Ion track lithography) Nhóm 8
2. Nêu các đặc điểm cơ bản của các phương pháp trên theo nội dung bảng dưới đây:

- Kĩ thuật khắc quang học (Lithography) Nhóm 9

- Kĩ thuật khắc bằng chùm điện tử (Electron beam lithography) Nhóm 9

3
- Kĩ thuật khắc bằng tia UV và tia X (Extreme ultra violet
and X ray lithography ) Nhóm 9
- Kĩ thuật khắc bằng chùm ion (Focused ion beam lithography) Nhóm 10
- Kĩ thuật khắc bằng in ấn nano (Nanoimprint lithography) Nhóm 10
- Kĩ thuật khắc bằng ion đánh dấu (Ion track lithography) Nhóm 10

STT Nội dung

1. Lịch sử, nguyên nhân ra đời
2. Cấu tạo
Nêu cấu tạo, sơ đồ kèm hình vẽ, video giới thiệu
3. Nguyên lý hoạt động
kèm theo hình vẽ, video
4. Qui trình thao tác, vận hành thiết bị
5. Ưu điểm
6. Nhược điểm
7. Các lưu ý

Nhóm Link
1
2
3
4
5
6

8
9
10