“Atom, molekul və ya makromolekul səviyyəsində 1-100 nm

miqyasında tədqiqat aparmaq və texnoloji prosesləri həyata keçirmək,

bu səviyyədə fundamental biliklər əldə etmək, yeni keyfiyyətlərə
malik materiallar yaratmaq, qurğular düzəltmək və tətbiq etmək.
“Mühəndislyin bir sahəsi, hansı ki, ölçüləri 100 nm-dən kiçik
olan cisimlər, qurğular, strukturlarla işləyir (xüsusilə molekullarla
manipulyasiya edir)
“Nanotexnologiya və ya bəzi hallarda deyildiyi kimi, molekulyar
istehsal mühəndisliyin bir sahəsi hansı ki, çox kiçik elektik
dövrələrini dizayn edir, istehsal edir, molekulyar səviyyədə mexaniki
qurğular yaradır.

Not for
distribution
 Uzunluq ölçülərində
Yuxarıda 1 km
n aşağı
Təyyarə daşıyan hərbi gəmi
Boeing 747
Maşın
1m İnsanlar
Laptop

Kəpənək
1 mm
Mikroprosessorun ölçüsü
Mikromaşınlar
Ağcaqanad
Gözün ayırdetmə
Hüceyrə
dərəcəsi
1 m Nüvə
Görünən işığın dalğa uzunluğu
~ 0.2 mm
Mikroelektronika çipində kiçik hissə
Nanostrukturlar və kvant qurğuları
Aşağıda
Zülallar http://www.dod.gov/news/Dec1997
n yuxarı
DNT-nin eni
e le c tron

ne utr on

/n12301997_9712302.html
Not for distribution
1 nm Atomun
pr oton

ölçüsü
 Ölçülər

Su molekulu

Karbon
nanoboru
DNT molekulu

Not for
distribution
 Nanometr nə qədər kiçik uzunluqdur?

150,000,000 km

Not for
distribution
 Səth həcmə qarşı
a

Almaz qəfəsi vahidi

Si nanokub

də:

Si təbəqə

Nanoölçülü materiallarda səth, sərhədd və fazalararası sərhədd mühüm rol

Not for
oynayır!
distribution
 Təkcə ölçü deyil…

Si:H səthində asılıb qalmış

birləşmələrin STM təsviri

Electron tunneling
Not for
distribution
 Təkcə ölçü deyil… …

Kvant nöqtələrinin müxtəlif

ölçülərdə Fluoressensiyası

Fonon tunnelləşməsi

Not for
distribution
 Nanotexnologiyanın inkişafı

Fundamental
biliklər

Səciyyələndirmə
və təcrübələr Modelləşdirmə
aparmaq
Sintez və
inteqrasiya
Nano-dan Makroya
Qeyriüzvü və üzvü
Optik mexanika ilə
Mexanika elektrik,
maqnitlə ...

Not for
distribution
 Nanoistehsal
Nanoistehsal aşağıda verilən iki yanaşmaya
əsaslanaraq aparılır:
“Top-Down”(Yuxarıdan aşağı) : nanoölçüdə monolit strukturlu
qurğuların istehsalı prosesi
Qurğuların
“Bottom-Up”(aşağıdan yuxarı): strukturlarının atom və
molekullardan, eləcə də digər
maddələrin vahidlərindən
istifadə etməklə yaratmaq.

Not for
distribution
 İnteqral sxemlər və nanotexnologiya

J.D. Plummer, M.D. Deal, and P.B. Griffin, “Silicon VLSI Technology – Fundamentals, Practice and Modeling” Prentice Hall, NJ
Not for
distribution
 Nanotexnologiya və mikroistehsal

Not for
distribution
 Top - Down Nanoistehsal

15

at input of Cryoamp (nV)

8T

Signal Amplitude
10 7T
6T
5T
4T
5
3T

-5

-10

Uzunluğu: 1.1 1.00 1.01 1.02 1.03 1.04

Frequency (GHz)
m
Eni: 12075nm
Qalınlığı: nm
SEM şəklində 3C-SiC-ın ikiqat sıxılmış şüalardan biri. Qurğu
top- down texnologiyası ilə yaradılmışdır.
Not for
distribution
 Nanostrukturlar nədir?

2 m

Si Nanoməftilləri

Çox laylı
nanoborular

http://www.aip.org/mgr/png/2003/186.htm
Si0.76Ge0.24 / Si0.84Ge0.16 superqəfəslər
Not for distribution
 Nazik təbəqələr

Nazik təbəqə
Bərk
kristal

Substrat
Sərbəst qala
d
bilən təbəqə
http://scsx01.sc.ehu.es/waporcoj/charl
as/cursodoctorado/12
Not for
distribution
 Nazik təbəqələrin tətbiqi

100 nm ölçüdə bərk oksidli

yanacaq elementləri üçün
YSZ təbəqə

http://www.bu.edu/mfg/pdf/Tuller.pdf Amorf Si TFT SiN passivləşdirilmiş pliamid

Not for folqa

distribution
 Nanoməftillər

n,

Si Nanoməftil topası

nam diametrli məftillərdir Abramson et al, JMEMS (2003) Si/SiGe Nanoməftillərwires

Not for Wu et al, Nanoletters, Vol. 2, 83 – 86 (2002)
distribution
 Nanoməftillərin tətbiqləri

http://www.photonics.com/spectra/tech/XQ
/ASP/techid.1525/QX/read.htm 5 nm Si nanowire FET
Cui et al, Nanoletters, Vol. 3, 149 – 152 (2003).

Not for
distribution
 Karbon Nanoborular
Karbon nanoboruların xassələri:
•Bir ölçülü heksogenal vərəqə təbəqə
burularaq boru formasına düşür
•Təqribən diametri 1 nm olur
• Uzunluğu 1 mkm olur
• Heç bir defekti olmur
• Sonu buckyballa qapana bilir
•Bir divarlı, çox divarlı formaları var, kəndir, Çox divarlı karbon
düyünlər, topa halında ola bilr nanoboru
• Struktura (xiralllıq, diametr)
xassələrinə təsir edir: Kreslo
– Yarımkeçiricilik metala qarşı
– İstilik, elektrik keçiriciliyi
– Mexaniki möhkəmlik, elastiklik Zigzag

http://physicsweb.org/article/world/11/1/9/1
http://www.aip.org/mgr/png/2003/186.htm Xira
Not for
l
distribution
 Digər Nanoborular…
Bor nitrid
nanoboruları
müxtəlif
formalar
ala
bili
Bor nitridi nanoboruları r
(qırmızı=bor,
göy=nitrid):

SiC
nanoborular
NASA Glenn
tərəfindən
alın
ıb:
http://www.grc.nasa.gov/WWW/RT2002/5000/5510lienhard.html
http://pubs.acs.org/cen/topstory/7912/7912notw1.html
Not for
distribution
 Nanohissəciklər/Kvant nöqtələri
Hissəciklərin və ya klasterlərin Radiusu

105 nm

104 nm böyük

103 nm

102 nm

10 nm Nanohissəciklər

1 nm Kvant nöqtələri

1A molekullar

Not for
distribution
 Nanohissəciklər/Kvant nöqtələri

Metal nanohissəciklər Gümüş nanohissəciklərinin

silisium təbəqə üzərində
qradiyenti

http://www.bnl.gov/bnlweb/pubaf/pr
/2002/bnlpr071802.htm
Bapat et al, J Appl Phys, Vol. 94,
1969 – 1974 (2003) Si nanohissəciklər; tək-
www.aveka.com kristal; heksagonal forma
Not for
distribution
 Yarımkeçirici Nanohissəciklər

UV işıqda kvant
nöqtələrindən müxtəlif dalğa
uzunluğunda flurosensiya

www.nanosysinc.com
Not for
distribution
 Nanohissəciklərin nümunələri

Not for
distribution
 Nanoquruluşlu böyük (kütləli)
materiallar

Not for
distribution
 Nanoquruluşlu böyük
Materialların tətbiqləri

İstiliyə davamlı
Nanokristal örtük YSZ

http://www.msd.anl.gov
/groups/im/highlights/th
ermal/thermalconductiv Sahə emissiyası üçün
ity.html
nanokristal örtüklü almaz
http://www.msd.anl.gov/groups/im/highlights/diamonde ucluğu
Not for
mission/emission.html
distribution
 Biz nəyi ölç ə bbilə
r i k?
Möhkəmlik
Defektləri
kristallığını
Atomun növləri
Səthin kələkötürlüyü
konsentrasiya
diffuziya Kompositləşmə struktur
seqreqasiya

Xassələri

elektrik/optik mexaniki
maqni Görünüş əmsalı Qadağan Məhsul Sərtliyi
t zonanı darlaığl
Sıxlıq eni Möhkəmlik Kələkötürlüyü
Həssaslıq daşyıcısıElektron Dielektrik həddi
vəziyyətlər sabiti Elastikli
Maqnit i Möhkəm k
keçiriciliyi lik
davamlılığ modulu
ı termal
keçiricilik Xüsusi istilik
Not for
distribution
 Atom Qüvvət Mikroskopu
Optik mikroskopda ölçüləri işığın dalğa
üzunluğunun yarısından kiçik olan
cisimləri görmək olmur.
Biz görmək üçün işıqdan və lnizadan
başqa nədən istifadə edə bilərik?

AQM əsas komponenləri:

•Tip(ucluq) (<~10 nm diametr)
kantilever üzərində
• Detektor (ümumi vəziyyətdə)
• Raster-skan (dartılmış ucluq)
• Qüvvə/hündürlük nəzarəti
•Təsvir üçün proqram təminatı

Eninə böyütmə 0.1 nm Vertical

AQM-də qrafitin
Vertikal böyütmə 0.02 nm təsviri
Not for
distribution
 AQM üsulları
contact mode non-contact mode

Səthdən ucluq angstremlərı Səthdən (cəlb edilən) Yüzlərlə

(dəf edilən) anqstrem uclu
Sabit qüvvə Dəyişən qüvvə ölçüsü
Yüksək böyütmə Az böyütmə
Səthi zədələyə bilər Zədələmir
Diski fırlatma üsulu Ucluğun dayanıqsız kontaktı
Dəyişən qüvvə ölçüsü
Yaxçılaşdırılmış böyütmə Zədələmir

Courtesy of F.
Not for Ernst
distribution
 AQM təsvirləri

Cu Nanoməftil

Si üzərində Ge adaları

K. Brunner et al.
R. Adelung et al. Courtesy of F.
Not for distribution Ernst
 Skan Elektron Mikroskou
3-D təsvirlərin almaq üçün SEM
–da işıq əvəzinə elektron
selindən istifadə olunur
SEM operasiyaları:
• Hava tam çıxarılır
(vakuum)
•e- topu yüksək enerjili elektron
seli buraxır
• e- seli linzalarla fokuslanır
•Skan makaraları elektron selini
nümunınin üzərinə fokuslayır
•Səthdən ikincili elektronlar
qopur
•Detektor elektronları sayır
•# e- ilə alınan təsvir Courtesy of F.

NoBt foör
ə ~5 nm Ernst
 SEM və AQM təsvirləri

SEM: Cu Nanoməftil

AQM: Cu Nanoməftil

R. Adelung et al. Courtesy of F.

Not for Ernst
distribution
 Transmissiya Elektron Mikroskopu
TEM mikroskopu slayd göstərən projektor kim
işləyir. Burada işıq əvəzinə elektron seli götürülür.
TEM –in işi :
• Hva sorulur vakum yaradılır
• e- topu yüksək enerjili e- seli şqalandırır. sample

• - seli linzalar vasitəsilə fokuslanır

e
• Elektron seli nümunəyə düşür və bəzi e- lens
ondan keçir
• Nümunəni keçən e- fokuslanır və
gücləndirilir
• Təsvirin kontrastı böyük bucaq altında difraksiya
etmiş elektronların hesabına alınır
• Şəkil linzalar vasitəsilə böyüdülür
• Fsforlu ekrana düşən şəkil işıqlanır və təsvir ekranda
görünür.
Ayirdetmə ~ <1 nm

Courtesy of F.
Not for Ernst
distribution
 Si üzərində Ge atomlarının TEM təsviri

HRTEM En kəsiyinin görünüşü

Courtesy of F.
Not for Ernst
distribution
 TEM müqayisəsi

Standart TEM Yüksək böyüdülmüş TEM

Courtesy of F.
Not for Ernst
distribution
 Karbon boruların tətbiqləri

Not for G. Dusburg, Infineon Technologies, Munchen Germany

distribution
 Karbon boruların tətbiqləri

Not for G. Dusburg, Infineon Technologies, Munchen Germany

distribution
 Karbon boruların tətbiqləri

Not for G. Dusburg, Infineon Technologies, Munchen Germany

distribution
 Karbon boruların tətbiqləri

Not for G. Dusburg, Infineon Technologies, Munchen Germany

distribution
 Birləşdirici naqillər üçün
materiallar
Karbon
Aluminum Mis boru

1999 Haçan?

Al müqaviməti Cu müqaviçəti Karbon boruların

= 2.6 μΩ-cm = 1.7 μΩ-cm çox aşağı
müqaviməti olur
Not for
distribution
 Karbon nanoboru birləşdirici
naqillərin hazırlanması

Həkk Fe başlanır
Çoxlaylı karbon
nanoboru böyüyür, CVD
etməklə katalizator istifadə olunur H2,C2H2
doldurulur 700 oC temperaturda

F. Kreupl et al.,
Microelectronic Engg.,
64, 399 (2002).

Not for
distribution
 Energetik tətbiqlər: Çevrilmə, Generasiya və
toplama

Cold Hidrogeni saxlamaq

üçün metal – üzvü
struktur

Hot
2 m
I
Dresselhaus group, MIT
Keyfiyyəti artırmaq üçün
materialı nanokompozitlə
əvəz edin

Abramson et al, JMEMS, in review. Rosi

et al, Science, Vol. 300, pp. 1127
-1129 (2003).

Not for
distribution
 Energetik tətbiqlər: Katalizatorlar

Məsaməli zeolit strukturlar

http://www.iaee.org/docum
ents/p03eagan.pdf

http://www.bza.org/zeolit
es.html Qalınlığı 2 atom tərtibində TiO2

Not for üzərində Au nanoklasterləri

distribution
Energetik tətbiqlər: LEDs

Nanoməftil

Kvant nöqtələri təbəqələri

 Energetik tətbiqlər: LEDs

Not for on
distributi
 Energetik tətbiqlər: Batareyalar

Not for
distribution
 Energetik tətbiqlər: Günəş batareyası

Nanoquruluşlu almaz
günəş istilik batareyaları

Branched tetrapod
http://www.spacer.com/news/solarcell-01b.html
Not for
distribution