Cam Bien Oto PDF

GVHD: ThS V TH NG LONG ÁN T T NGHI P
CH NG 1
PHÂN TÍCH C S LÝ THUY T
1.1 Gi i thi u chung
Ngày nay, c m bi n là thi t b c s d ng r t ph bi n trong t t c các thi t b , t
dùng trong gia ình cho n các thi t b tiên ti n và trong ó có c ngành công
nghi p ô tô. Vì v y nghiên c u v c m bi n ng d ng nó cách hi u qu là v n
ang c quan tâm c bi t.
1.1.1 Công d ng c m bi n
C m bi n là thi t b ch u tác ng c a i l ng c n o không có tính ch t i n
u vào ký hi u là m và cho u ra m t i l ng mang b n ch t i n có th o
c ký hi u là s. i l ng i n s là hàm c a i l ng c n o m: s = F(m)
1.1.2 Phân lo i
C m bi n c phân lo i theo nhi u cách:
1. Theo nguyên lý chuy n i
Nguyên lý chuy n i v t lý;
Nguyên lý chuy n i hóa h c;
Nguyên lý chuy n i sinh h c.
2. Theo thông s! c a mô hình m ch thay th
C m bi n tích c"c: u ra là ngu n áp ho c ngu n dòng;
C m bi n th ng: c tr ng b i các thông s! R,C,L…tuy n tính hay
phi tuy n tính.
3. Theo tín hi u kích thích
C m bi n quang i n;
C m bi n nhi t i n;
C m bi n v trí, kho ng cách;
C m bi n v n t!c, gia t!c;
C m bi n o l #ng, th tích ch t l u;
C m bi n i n hóa;
C m bi n t ;
C m bi n l"c.
SVTH: HU NH H U LONG 1 12/8/2007

1.1.3 Yêu c u
Phân tích c$ s lý thuy t và mô ph%ng ho t ng m t s! c m bi n s d ng trong
ngành c$ khí ô tô.
1.2 M c tiêu tài
Phân tích c$ s lý thuy t và nguyên lý ho t ng c a các c m bi n.
&ng d ng c a các c m bi n trong ngành c$ khí.
Mô ph%ng ho t ng, ki m tra các c m bi n ã ch n.
K t lu n – xu t.
1.3 Gi i h n tài
Vì th#i gian th"c hi n án không cho phép nên án ch' gi(i h n trong các
c m bi n sau:
C m bi n v n t!c, l u l ng, áp su t và m c ch t l u.
C m bi n o chân không, )m và i n hoá.
C m bi n o b c x h t nhân và thành ph n khí.
1.4 C s lý thuy t các lo i c m bi n nghiên c u trong tài
1.4.1 C m bi n o v n t c, l u l ng và m c ch t l u
Ch t l u là các môi tr #ng v t ch t d ng l%ng ho c khí t n t i d (i nh*ng i u
ki n nhi t , áp su t và th tích c xác nh b i các nh lu t nhi t ng h c.
D (i tác d ng c a l"c bên ngoài, thí d s" chênh l ch áp su t, ch t l u có th
chuy n ng. Nghiên c u chuy n ng này là !i t ng c a c$ h c ch t l u.
L+nh v"c ng d ng c a ch t l u bao g m: hàng không, khí t ng h c, sinh lý h c.
áp ng các l+nh v"c ng d ng a d ng này, các c m bi n o v n t!c, l u l ng và
m c ch t l u c a ch t l u c,ng r t a d ng c v c u t o và ph $ng pháp o.
1.4.1.1 c tr ng c a dòng ch y
Chuy n ng c a ch t l u c t tr ng b i dòng ch y. Trên th"c t mu!n mô t v t
lý m t dòng ch y c a m t ch t l u c n ph i o v n t!c, kh!i l ng riêng, áp su t và
nhi t các i m khác nhau c a ch t l u ó. Nh*ng c tính khác c a ch t l u nh
nh(t, khuy ch tán nhi t, nhi t l ng riêng… c coi là không i.
Dòng ch y có th là m t pha ho c nhi u pha. Các dòng ch y nhi u pha th #ng có
b n ch t r t khác nhau: có th là t h p c a các pha h$i, khí, l%ng, thí d nh s"
hình thành các lu ng khí do gió gây nên ho c tr #ng h p các lu ng khói b!c lên t
nh*ng ám cháy.

Tính ch t v t lý c a dòng ch y t i m t i m có th thay i ho c không thay i

theo th#i gian. Khi tính ch t v t lý c a dòng ch y t i m t i m không thay i thì
ó là dòng ch y theo l(p, ng c l i, n u chúng thay i thì ó là dòng ch y r!i.
thu n l i cho vi c mô t và c bi t là cho vi c so sánh gi*a các dòng ch y khác
nhau, trong c$ h c ch t l u th òng s d ng các i l ng không th nguyên, i u
này cho phép gi m s! thông s! c a dòng ch y.
Tr ng h p dòng ch y không nén và ng nhi t:
Tr #ng h p này (kh!i l ng riêng và nhi t không i) thì ch' c n m t thông s!
không th nguyên c,ng xác nh dòng ch y, ó là thông s! Reynolds Re:
Re = UD/- (1.1)
V(i :
U – v n t!c c tr ng c a dòng ch y, trong tr #ng h p !ng thì v n t!c
trung bình c a dòng ch y U = Q/S;
D – kích th (c c tr ng (trong tr #ng h p !ng, D là #ng kính);
Q –l ul ng th tích;
S – ti t di n !ng;
-- nh(t ng h c.
!i v(i nh*ng i u ki n gi(i h n hoàn toàn gi!ng nhau v hình h c, hai dòng ch y
không nén và .ng nhi t c coi là gi!ng nhau n u chúng có thông s! Reynolds
b/ng nhau. Thí d : xét hai dòng ch y trong hai !ng có nhám b m t phía trong
thành !ng nh nhau và #ng kính t $ng ng b/ng D1 và D2. V n t!c dòng ch y (l u
l ng) là U1, U2 và nh(t là -1,-2. tho mãn i u ki n Re1 = Re2 thì:
U 1 D1 U 2 D2
=
ν1 ν2 (1.2)
Nh v y, n u bi t v n t!c u1 i m cách thành !ng c a !ng th nh t m t kho ng x1 thì
có th xác nh v n t!c u2 thành !ng c a !ng th hai m t kho ng x2 = x1(D2/D1) t
bi u th c:
u1 u
= 2
U1 U 2 (1.3)
C,ng nh v y, có th coi u1/U1 là hàm c a s! Reynolds:
u1
= f (Re )
U1 (1.4)

Ngh+a là m t cách t ng quát, m0i i l ng không th nguyên liên quan n dòng

ch y u có th bi u di1n d (i d ng hàm s! ph thu c vào s! Reynolds c a dòng
ch y ó.
Dòng ch y m t pha có th là dòng ch y theo l(p ho c dòng r!i, i u này ph thu c
vào s! Reynolds. Trong m t #ng !ng d2n có ti t di n tròn, dòng ch y tr thành
dòng r!i n u có s! Reynolds l(n h$n 220.
Trong tr #ng h p ph c t p h$n khi nhi t và kh!i l ng riêng thay i, s! thông
s! c n thi t mô t m t i l ng A b sung s3 t4ng lên. Thí d , v(i ch t khí có
v n t!c l(n:
A = f(Re,Ma) (1.5)
Trong ó Ma = U1/c, c = 5rT là v n t!c âm v(i 5 = Cp/Cv (t6 s! gi*a nhi t dung
riêng áp su t không i và th tích c! nh, trong không khí 5 =1,4). r là h/ng s!
c a ch t khí lý t ng và T là nhi t tuy t !i.
Trên th"c t , các c m bi n d"a trên m t nguyên t7c ho t ng nh ng v k8 thu t thì
không gi!ng nhau khi dùng cho dòng ch y là ch t khí ho c ch t l%ng. Trong
b ng 1.1 gi(i thi u m t s! i m khác nhau c a hai môi tr #ng này.
B ng 1.1
Kh!i l ng riêng 9 nh(t : T!c ch y
Ch t l%ng Không i t 800 n 1000 ≈ 1 ÷ 10 4 PI 0 ≤ U ≤ 200m / s

kg/m3
Ch t khí Ph thu c vào T và P, !i v(i ≈ 10 5 PI

không khí nhi t phòng PI: posieuille 0 ≤ U ≤ 200m / s
3
ρ ≈ 1kg / m
1.4.1.2 C m bi n và ph ng pháp o v n t c c a ch t l u
V n t!c c a các ch t l u th #ng c o gián ti p thông qua nh h ng c a nó n
các c tr ng v t lý c a v t trung gian ho c n hi n t ng v t lý trong ó v n t!c
là m t thông s! và v t trung gian là n$i x y ra hi n t ng. V t trung gian có th
chính là ch t l u ho c m t ph n t c u thành c a c m bi n.
Khi v t trung gian là b n thân ch t l u, v n t!c c a nó xác nh áp su t ng 9U2/2,
hi u ng Doppler tác ng b i laze ho c siêu âm và th#i gian truy n qua c a m t
ng v phóng x . Trong tr #ng h p này ph i s d ng các c m bi n thích h p v(i
i l ng o là áp su t, ánh sáng, siêu âm, tia phóng x .

Khi v t trung gian là m t ph n t c a c m bi n t trong ch t l u, v n t!c c a ch t

l u s3 xác nh m t trong các c tr ng v t lý nh nhi t c a dây d2n t trong
ch t l u và nuôi b/ng dòng m t chi u, ho c t!c quay c a m t chong chóng ho c
bánh xe t trong ch t l u.
a) Phong k dây và phong k màng m ng
Nguyên t c ho t ng
Khi t trong dòng ch y m t dây d2n ho c m t màng m%ng có nhi t cao h$n
nhi t c a ch t l u thì s3 x y ra s" trao i nhi t !i l u. S" trao i nhi t ph
thu c vào tính ch t v t lý c a dòng ch y, v n t!c c a ch t l u và s" chênh l ch
nhi t gi*a ph n t nóng và ch t l u.
Nhi t cân b/ng T0 c a dây ho c màng (c m bi n) xác nh b/ng cách o i n tr
R c a chúng. i n tr này ph thu c vào nhi t l ng Joule t%a ra và v n t!c c a
ch t l u.
Trên hình 1.1 bi u di1n các d ng dây d2n và các lo i màng m%ng th #ng s d ng
o v n t!c dòng ch y. Các kim lo i dùng cho m c ích này c n có h s! nhi t i n
tr R cao. Thí d : o v n t!c dòng ch y trong ch t khí dùng dây platin và wonfram
có #ng kính 0,6µm< D < 10mµ, trong ch t l%ng dùng màng m%ng platin.
Công su t Pj t%a ra trên i n tr nhi t T s3 b/ng:
2
Pj = R(T). Ι (1.6)
Trong ó I là dòng m t chi u ch y qua i n tr R.
Hình 1.1 Các d ng dây d n và màng m ng dùng o v n t c dòng ch y.

N u gi thi t s" trao i nhi t ch' x y ra do hi n t ng !i l u c a ch t l u nhi t

Ta thì công su t trao i c bi u di1n b i bi u th c:
Pc = h.Sl.(T – Ta) (1.7)
Trong ó h là h s! trao i nhi t và Sl là di n tích m t xung quanh c a c m bi n.
!i v(i dây d2n Sl = ;Dl, D là #ng kính và l là chi u dài. !i v(i màng m%ng
Sl = 2;Dl, D là chi u r ng và l là chi u dài.
Khi có cân b/ng nhi t, Pj = Pc , ngh+a là:
R(T ).I 2 = h.S L .(T − Ta ) (1.8)
V n t!c U c a ch t l u liên quan n h s! trao i nhi t. Nhi u công th c th"c
nghi m ã c a ra ph n ánh m!i liên h này, thí d công th c c a King:
h = a+b U (1.9)
Trong ó a,b là các h/ng s! ph thu c vào ch t l u và c m bi n. N u s d ng bi u
th c c a King ta s3 có:
( )
R(T ).I 2 = A + B U .(T −T a )
(1.10)
Trong ó A = a.Sl và B = b.Sl.
S o
1. Ch dòng không i
Hình 1.2 S o trong ch dòng không i.
Trong tr #ng h p này dòng ch y qua dây d2n c gi* giá tr không i
I = const (b/ng cách dùng ngu n dòng). Vì công su t nhi t trao i ph thu c vào
v n t!c U nên n u U thay i thì nhi t c,ng thay i theo. M c khác i n tr R
ph thu c vào nhi t , ngh+a là i n áp u ra c,ng ph thu c vào nhi t . S$
nguyên lý m ch o dùng dòng không i c bi u di1n trên hình 1.2.

Do dây d2n có nhi t dung nh t nh nên s3 phát sinh m t h/ng s! th#i gian.
Trong m ch này có ghép thêm m t ph n t bù tr quán tính nhi t c i thi n
th#i gian áp ng.
2. Ch nhi t không i
Trong tr #ng h p này nhi t
(và do ó i n tr ) c gi*
không i. S$ o bi u di1n
trên hình 1.3.
Trong s$ nhi t không i,
c m bi n óng vai trò là m t
nhánh c a c u Wheatstone. Dòng
i n c n thi t cân b/ng c u ph
thu c vào v n t!c c a ch t l u.
Dùng s$ trên ây có u i m Hình 1.3 S o trong ch nhi t không
i.
là quán tính nhi t nh% h$n tr #ng
h p dùng dòng không i.
b) Phong k ion
Có nhi u lo i c m bi n o t!c gió trên c$ s o dòng ion, chúng khác nhau ch
y u v hình d ng.
A4 A2(I2) I2
A2
u A0
A1(I1) A3 U
I1
(I1
Hình 1.4 Phong k ion: a) nguyên lý c u t o; b) m ch o.
Trên hình 1.4 bi u di1n s$ nguyên lý c a m t c m bi n o t!c gió b/ng cách

o dòng ion.

u o g m m t dây d2n có i n th cao, xung quanh nó là b!n i n c"c góp. Dây

d2n c t sao cho h (ng c a nó vuông góc v(i h (ng c a dòng ch y.
Trong không khí g n s i dây cao áp luôn có các ion, thí d ion (H2O)nH+. T!c
di chuy n c a các ion này gi*a các i n c"c t6 l v(i l(n c a i n tr #ng. Khi
không khí ng yên, dòng i n o các i n c"c b/ng nhau. Khi không khí chuy n
ng v(i v n t!c U, h tr nên b t !i x ng. Hi u s! dòng i n (I1 – I2) c a m t c p
i n c"c A1 và A2 liên quan n hình chi u c a U trên #ng th.ng A1 A2, trong khi
ó t ng (I1 + I2) h u nh không i.
nh y S c a c m bi n là hàm c a thông s! <:
∆σ
S=
∆U (1.11)
Trong ó < là thông s! c vi t d (i d ng:
I1 − I 2
σ=
I1 + I 2 (1.12)
Phong k ion c s d ng o t!c gió có giá tr n/m trong kho ng t 0 n
10 m/s. Trong vùng giá tr này c a t!c , áp ng c a c m bi n c coi là tuy n tính.
!i v(i dây #ng kính 100 :m dài 2 cm c bao quanh b i các i n c"c góp
#ng kính 1,2cm và n/m cách dây m t kho ng b/ng 1 cm, t c tuy n
tính cao, c n t i n áp kho ng 6000 V trên dây d2n. Dòng i n trong i n c"c góp
t t(i 1,5 :A, nh y c= 0,04 m/s.
c) Phong k dùng chén bán c u và cánh qu t
Phong k dùng chén bán c u
Hình d ng c a phong k dùng chén bán c u bi u di1n trên hình 1.5.
Phong k bán c u có c u t o g m t 3 n 4 chén bán c u c g7n vào cánh tay
òn có th quay quanh m t tr c.
Khi t máy o trong dòng ch y, các chén bán c u s3 quay quanh tr c c a máy o b i
vì h s! s c c n c a m t tr (c (m t lõm) và m t sau bán c u (m t l i) khác nhau.

Hình 1.5 Phong k dùng chén bán c u:

a) lo i 3 chén bán c u; b) s b trí c a lo i 4 chén bán c u.
tìm ph $ng trình cân b/ng ta xét hai bán c u 1 và 3 t vuông góc v(i v n t!c U
c a dòng ch y và coi l"c tác d ng lên hai bán c u 2 và 4 là nh nhau. Các bán c u 1
và 3 có v n t!c th.ng v và - v , th#i i m ang xét chung cùng h (ng v(i v n t!c
U c a dòng ch y. L"c c n !i v(i các bán c u:
1
F1 = ρC X S (U − ν )2
2 (1.13)
1
F3 = ρC ′X S (U − ν )2
2 (1.14)
Trong ó 9 là kh!i l ng riêng c a ch t l u, Cx và C’x là h s! l"c c n !i v(i hai
m t c u, S là di n tích c a m t c n chính c a bán c u (di n tích hình chi u c a bán
c u trên m t ph.ng vuông góc v(i v n t!c U ).
T bi u th c trên rút ra:
2 2
C X (U − ν ) = C ′X (U + ν )
(1.15)
Do ó:
C X + C ′X
U =ν
C X − C ′X
(1.16)
Minh h a b/ng s!: CX = 1,42; C’x = 0,38; U = 3,1-.

u o gió dùng cánh qu t (chong chóng)

u o gió dùng cánh qu t bi u di1n trên hình 1.6. Tr c c a u o c t song
song v(i h (ng c a t!c dòng ch y. N u b% qua ma sát thì có th coi nh cánh
qu t (b/ng m t cách nào ó) c g7n vào dòng ch y, khi ó:
U = h. N (1.17)
Trong ó U là v n t!c, N là s! vòng quay và h là h/ng s! c a u o. N u tính n
ma sát và ng =ng kh i ng thì bi u th c c a t!c gió s3 là:
U = a + bN (1.18)
Các h/ng s! a và b c tr ng cho cánh qu t và ch t l u. m c s! vòng quay
c a cánh qu t ng #i ta dùng m t trong ba cách d (i ây:
Hình 1.6 o t c gió b ng u o chong chóng.
Dùng m t nam châm nh% g7n trên cánh qu t, khi cánh qu t quay nam
châm i qua cu n dây và gây nên xung i n. m s! xung theo th#i gian
s3 tính c t!c quay c a cánh qu t.
Dùng c m bi n quang i n: khi cánh qu t quay nó s3 che ánh sáng, t o
nên xung i n.
Dùng m ch o thích h p o t ng s! ho c i n áp.
Tr (c khi o ph i chu)n u o b/ng m t trong hai cách: t u o trong dòng
ch y có v n t!c ã bi t tr (c ho c di chuy n u o v(i t!c quy nh tr (c trong
n (c ng yên.
Ph m vi o c a u o cánh qu t khác nhau !i v(i các ch t l u. Trong không khí
d i o n/m trong kho ng t 0,1 ên 30 m/s, trong ch t l%ng t 0,05 n 10 m/s.

1.4.1.3 o l u l ng
o l u l ng có t m quan tr ng c bi t trong các m ng l (i v n chuy n ch t l u
(!ng d2n khí, !ng d2n d u) và trong m i thi t b công nghi p khi c n kh!ng ch
l ng ch t l u tham gia vào các quá trình nh lò ph n ng hoá h c, nhà máy s n
xu t n4ng l ng, ng c$ !t trong.
a) L u l ng k i nt
Nguyên lý
Khi cho o n dây M1M2 chi u dài l chuy n ng t nh ti n trong tr #ng c m ng t
B v(i v n t!c U trong kho ng th#i gian dt, có th vi t bi u th c cho các i l ng
c$ b n sau ây:
Hình 1.7 S d ch chuy n c a m t o n dây d n trong tr ng c m ng t .
Di n tích c7t:
dSc = l.U sin.dt (1.19)
Ho c d (i d ng vect$:
dS c = l ∧ Udt
(1.20)
T thông b c7t :
dθ c = B.dS c .dt
(1.21)

Su t i n ng c m ng:
− dθ c
e= = B ∧ U .l
dt (1.22)
Khi U vuông góc v(i l và B vuông góc v(i m t ph.ng t o b i l và U ta có:
e = B. l. U (1.23)
Công th c này có th t ng quát hóa cho tr #ng h p ch t l u d2n i n ch y trong
#ng !ng #ng kính D có v n t!c U vuông góc v(i B : su t i n ng c m ng
d c theo #ng kính vuông góc v(i U và B có d ng:
e = BDU (1.24)
Trên th"c t v n t!c thay i tu> v trí c a i m trên bán kính !ng, nh ng nó phân
b! !i x ng quanh tr c c a !ng, cho nên U o c là v n t!c trung bình c a dòng
ch y. Trong nh*ng i u ki n nh v y, tín hi u e t' l v(i l u l ng.
C u t o c a c m bi n
T tr #ng 10-3÷ 10-2 T c t o ra b/ng cách dùng hai cu n dây t hai phía c a
#ng !ng. #ng !ng d2n làm b/ng v t li u không t tính, m t bên trong !ng
Cu n dây
i n c"c
Khuy ch
i vi sai
Cu n dây
Hình 1.8 L u l ng k i nt .
c ph ch t cách i n. Hai i n c"c l y tín hi u t hai u #ng kính vuông

góc v(i #ng s c c a t tr #ng. Các cu n dây c nuôi b/ng ngu n xoay chi u
t n s! 30 Hz.
Tín hi u thu c u ra có d ng:
e = UDB0 cos(ϖt + θ ) (1.25)
Trong ó B0 là tr c"c i c a c m ng t B0 = Bmax, ? là t n s! c a c m ng t .
Biên c a tín hi u t6 l v(i U và có tr c= mV.

Các c tr ng
Các ch t l u c n ph i có d2n i n không nh% h$n c= @ :Scm-1. Lý do là b i vì i n
tr trong c a c m bi n ph i nh% h$n r t nhi u so v(i i n tr vào c a thi t b o.
Ph m vi o c a l u l ng k i n t là hàm c a #ng kính !ng d2n. #ng kính
càng r ng thì gi(i h n th p và cao càng d ch chuy n v phía l u l ng l(n. Thí d :
D = 10 mm, l u l ng nh% nh t Qmin = 0,28 m3/h, l u l ng l(n nh t
Qmax = 2,8 m3/h.
D = 1 m, Qmin = 2800 m3/h, Qmax = m3/h, Qmax = 28000 m3/h.
chính xác c a l u l ng k t c= @1%.
&u i m c a l u l ng k i n t là ch0 vi c o c không ph thu c vào c
tính v t lý c a ch t l u (nh m t , nh(t, d2n i n v(i i u ki n nó ph i l(n
-1
h$n m t vài @ :Scm ). Ngoài ra, thi t b này có kh n4ng ch!ng 4n mòn b/ng cách
ch n l(p ph và kim lo i i n c"c thích h p (Ti, Pt).
b) L u l ng k c dùng chuy n i i n
L ul ng k phao n i
Hình 1.9 S nguyên lý c u t o c a l u l ng k phao n i.
L ul ng k lo i này có c u t o g m m t phao nh% t trong !ng th.ng ng hình nón.

A tr ng thái cân b/ng phao ch u tác d ng c a ba l"c ch y u là l"c )y Archimede,
l"c c n và tr ng l ng. Tr ng thái cân b/ng này c bi u di1n b i ph $ng trình:
ρSU 2
ρgV + C x . = ρ 0 gV
2 (1.26)
Trong ó:

V là th tích và 90 là kh!i l #ng riêng c a phao.

U là v n t!c và 9 là kh!i l ng riêng c a ch t l u.
Cx là h s! l"c c n và S là di n tích c a hình chi u c a phao trên m t
ph.ng vuông góc v(i v n t!c U , S = BD2/4.
g là gia t!c tr ng tr #ng.
M c ích c a vi c o và phát hi n m c ch t l u là xác nh m c ho c kh!i l ng
ch t l u trong các bình ch a. Có hai d ng o: o liên t c và xác nh theo ng =ng.
Khi o liên tuc, biên ho c t n s! c a tín hi u o cho bi t th tích ch t l u còn l i
trong bình ch a.
Khi xác inh theo ng =ng, c m bi n a ra tín hi u d ng nh phân cho bi t thông
tin v tình tr ng hi n t i m c ng =ng có t hay không.
V trí c a phao c xác nh sao cho v n t!c c a U c bi u di1n b i bi u th c
(t i u ki n cân b/ng c a các l"c tác d ng lên phao) :
2 gV ρ 0
U= −1
Cx S ρ
(1.27)
#ng kính D c a !ng d2n thay i tuy n tính theo chi u cao z:
D = D0 + az (1.28)
Cho nên bi u th c c a l u l ng có d ng:
π 2 gV ρ 0
Q=
4
[(D 0
2
+ az ) − D0
2
] Cx S ρ
−1
(1.29)
Nên s" thay ic a #ng kính !ng r t nh% thì trên th"c t bi u th c c a Q s3 là:
2 gV ρ 0
Q = πaz . − 1 = Kz
Cx ρ
(1.30)
o l u l ng, cách $n gi n nh t là chia tr"c ti p trên !ng th y tinh. ti n
x lý k t qu o, có th n!i phao v(i m t chi c c n nh% có liên h c$ v(i lõi c a
bi n th vi sai chuy n tín hi u c$ thành tín hi u i n. Tín hi u i n này s3 t6 l
v(i l u l ng c n o.
L ul ng k lá ch n
L u l ng k dùng lá ch7n bi u di1n trên hình 1.10. Lá ch7n ch u l"c tác ng c a
dòng ch y, tr ng l ng và ph n l"c c a lò xo. V trí cân b/ng c a lá ch7n ph thu c
vào l u l ng c a ch t l u. Tín hi u c$ trong tr #ng h p này có th chuy n thành
tín hi u i n b/ng cách dùng i n k có tr c g7n li n v(i tr c c a lá ch7n. &u i m
c a l u l ng k dùng lá ch7n là rC ti n và ch7c ch7n.

lò xo
lá ch7n
Hình 1.10 L u l ng k dùng lá ch n.
L ul ng k kh i l ng nhi t
c m bi n
không có có dòng ch y
dòng ch y
Hình 1.11 L u l ng k kh i l ng nhi t: a) s nguyên lý c u t o;

b) ng cong nhi t ; c) m ch t nóng và m ch o dùng chung hai i n tr nhi t
L u l ng k kh!i l ng nhi t có c u t o g m m t !ng d2n b/ng kim lo i m nh có

#ng kính nh%. Phía ngoài c a !ng kim lo i c cu!n m t s i dây !t b/ng i n
tr chính gi*a, hai c m bi n nhi t o T1 th ng ngu n ( u vào) và T2
h l u ( u ra) c t hai phía c a s i !t và !i x ng v(i nhau qua s i !t.
Khi không có dòng ch y l u l ng b/ng không (Q = 0), s" truy n nhi t ra hai phía c a
s i !t là nh nhau, hi u ng nung nóng s3 !i x ng và trong tr #ng h p này T1 = T2.
Khi l u l ng khác không, T1 gi m và T2 t4ng. S" khác nhau gi*a T1 và T2
(DT = T1- T2) t6 l v(i l u l ng Q.
Trên hình 1.11c bi u di1n c u t o c a l u l ng k kh!i l ng nhi t. Các c m
bi n nhi t có th là c p nhi t ho c nhi t k i n tr . N u là hai i n tr nhi t

thì chúng làm thành hai nhánh k nhau c a c u Wheatstone, hai nhánh khác là hai
i n tr có giá tr không i. i n áp không cân b/ng trên c u s3 là tín hi u o.
Tr #ng h p trên hình v3, ch c n4ng nung nóng và o DT th"c hi n b/ng hai i n
tr nhi t có dòng i n l(n ch y qua.
1.4.1.4 o và phát hi n m c ch t l u
M c ích c a vi c o và phát hi n m c ch t l u là xác nh m c ho c kh!i l ng
ch t l u trong các bình ch a. Có hai d ng o: o liên t c và xác nh theo ng =ng.
Khi o liên tuc, biên ho c t n s! c a tín hi u o cho bi t th tích ch t l u còn l i
trong bình ch a.
Khi xác inh theo ng =ng, c m bi n a ra tín hi u d ng nh phân cho bi t thông
tin v tình tr ng hi n t i m c ng =ng có t hay không. Thí d , n u phát hi n th y
m c cao thì c m bi n s3 phát ra tín hi u ng ng vi c ch t l u vào bình ch a.
Khi phát hi n th y ng =ng th p, tín hi u s3 phát l nh ng ng vi c hút ch t l u t
bình ch a m b o m c d" tr* t!i thi u. Thông th #ng ng #i ta hay k t h p c
hai lo i u o phát hi n ng =ng cao và ng =ng th p t" ng hóa quy trình cung
c p và hút ch t l u t bình ch a.
Có ba ph $ng pháp hay dùng trong k8 thu t o và phát hi n m c:
Ph $ng pháp th y t+nh dùng bi n i i n;
Ph $ng pháp i n d"a trên tính ch t i n c a ch t l u;
Ph $ng pháp b c x d"a trên s" t $ng tác gi*a b c x và ch t l u.
a) Ph ng pháp th y t nh
Trong ph $ng pháp này ch' s! do c m bi n cung c p là hàm liên t c ph thu c vào
chi u cao c a ch t l u trong bình ch a. Nó không ph thu c vào tính ch t i n c a
ch t l u nh ng ph thu c vào kh!i l ng riêng c a ch t l u.
Trên hình 1.12 bi u di1n ba cách khác nhau c a ph $ng pháp o th y t+nh.
Cách th nh t: m t phao n i trên m t ch t l u c g7n b/ng dây (qua m t ròng r c)
v(i m t c m bi n v trí. C m bi n v trí s3 cho tín hi u t6 l v(i m c c a ch t l u.
Cách th hai: m t v t hình tr c nhúng trong ch t l u, chi u cao c a hình tr
ph i b/ng ho c l(n h$n m c cao nh t c a ch t l u. Hình tr này c treo trên m t
c m bi n o l"c. Trong quá trình o c m bi n ch u s" tác ng c a m t l"c F t6 l
v(i chi u cao c a ch t l%ng:
F = p – 9gSh (1.31)
Trong ó p, S và h là tr ng l ng, ti t di n m t c7t ngang và chi u cao ph n ng p trong
ch t l%ng c a hình tr , 9 là kh!i l ng riêng c a ch t l%ng, g là gia t!c tr ng tr #ng.

S! h ng th hai 9gSh trong bi u th c là l"c )y Archimede tác d ng lên hình tr . Tín

hi u do c m bi n cung c p s3 t6 l v(i h – m c ch t l u còn l i trong bình.
c m bi n
v trí
c m bi n l"c
c m bi n áp
su t vi sai
Hình 1.12 ph ng pháp th y t nh: a) phao; b) hình tr treo;
c) c m bi n áp su t vi sai.
Cách th ba: s d ng c m bi n áp su t vi sai t áy c a bình ch a. T i áy bình

áp su t c bi u di1n b i bi u th c:
p = p0 + 9gh (1.32)
trong ó p0 là áp su t 'nh c a bình ch a, 9gh là áp su t thu6 l"c t i áy bình, 9 là
kh!i l ng riêng c a ch t l%ng, g là gia t!c tr ng tr #ng.
C m bi n óng vai trò v t trung gian có d ng m t màng m%ng. M t m t c a màng
ch u tác ng c a áp su t p và m t kia ch u tác ng c a áp su t p0. Do có s" chênh
l ch gi*a p và p0 nên hai m t c a màng ch u hai l"c tác ng khác nhau làm cho nó
b bi n d ng. S" bi n d ng này s3 cung c p tín hi u c$ c chuy n i thành tín
hi u i n có l(n t6 l v(i chi u cao h c a ch t l%ng trong bình ch a.
b) Ph ng pháp i n
ây là ph $ng pháp ph i s d ng n các c m bi n c thù. Các c m bi n này
chuy n i tr"c ti p m c thành tín hi u i n. Tuy th , yêu c u t ra là u o ph i
có c u t o $n gi n và d ch t o.
C m bi n d n
C m bi n lo i này ch' dùng cho ch t l u d2n i n, không có tính 4n mòn và không
l2n th v2n cách i n, thí d d u nh#n.

C u t o c a u o g m hai i n c"c hình tr , n u bình ch a b/ng kim lo i thì bình

là m t c"c và ch' c n thêm m t c"c hình tr . u o c nuôi b/ng ngu n i n áp
xoay chi u ~10V tránh hi n t ng phân c"c c a các i n c"c.
Trong ch o liên t c, u o t theo v trí th.ng ng, chi u dài c a u o
chi m c d i chi u cao c a m c c n o. Dòng i n ch y gi*a các i n c"c có biên
t6 l v(i chi u dài c a i n c"c b ng p trong ch t l u. l(n c a tín hi u c,ng
ph thu c vào d2n c a ch t l u.
Trong ch phát hi n theo ng =ng, i n c"c ng7n và t theo ph $ng n/m ngang,
v trí c a m0i i n c"c t $ng $ng v(i m t m c ng =ng. Khi m c ch t l%ng t
t(i i n c"c, dòng i n I có biên không i.
h
h
Hình 1.13 C m bi n d n o m c ch t l u: a) s hai i n c c;

b) s m t i n c c; c) phát hi n theo m c.
C m bi n t i n
Khi ch t l%ng là ch t cách i n, có th t o t i n b/ng hai i n c"c hình tr (ho c
m t i n c"c k t h p v(i thành bình kim lo i c a bình ch a).
Ch t i n môi gi*a hai i n c"c là ch t l%ng ph n ng p và không khí ph n khô.
Vi c o m c ch t l u c chuy n thành o i n dung c a t i n. i n dung này
thay i theo m c ch t l u trong bình ch a. i u ki n c n thi t áp d ng ph $ng
pháp này là h/ng s! i n môi c a ch t l u ph i l(n h$n h/ng s! i n môi c a không
khí, thông th #ng là g p ôi.
Trong tr #ng h p ch t l u d2n i n, ch' c n s d ng m t i n c"c bên ngoài có ph
v t li u cách i n, l(p ph óng vai trò l(p i n môi c a t , còn i n c"c th hai
chính là ch t l u.

c) Ph ng pháp dùng b c x
&u i m c a ph $ng pháp b c x là cho phép o mà không c n ti p xúc v(i ch t
l u. &u i m này r t thích h p khi o m c ch t l u nh*ng i u ki n kh7c nghi t
nh nhi t cao, áp su t cao ho c khi ch t l u có tính 4n mòn m nh.
nb
x lý
Detector
Hình 1.14 o m c ch t l u b ng b c x gama.
1.4.2 C m bi n o áp su t ch t l u
Áp su t tác ng nh m t bi n s! trong các hi n t ng liên quan n ch t l%ng ho c
ch t khí, do v y nó là thông s! quan tr ng trong nhi u l+nh v"c nh nhi t ng h c,
khí ng l"c h c, âm h c, c$ h c ch t l%ng, c$ h c t, lý sinh…
Trong s! các ngành công nghi p khác nhau, các c m bi n áp su t c ng d ng
nhi u nh t trong l+nh v"c công nghi p n4ng l ng. ó là vì trong các thi t b cung
c p n4ng l ng th y l"c, nhi t h t nhân, c n ph i o và theo dõi áp su t m t cách
liên t c, n u áp su t v t quá gi(i h n ng =ng nó s3 làm h%ng bình ch a và #ng
!ng d2n, th m chí có th gây n0 làm thi t h i nghiêm tr ng n c$ s v t ch t và
tính m ng con ng #i.
Áp su t là thông s! quang tr ng can thi p vào vi c ki m tra và i u khi n các b
ph n máy móc t" ng ho c do con ng #i i u khi n. o áp su t c,ng óng vai tr
áng k trong ho t ng c a ng #i máy. Trong tr #ng h p này áp su t c om t
cách tr"c ti p trong các b khiên ch ho c gián ti p thay th cho xúc giác c a
con ng #i (nh da nhân t o) khi c n xác nh hình d ng hay l"c c m n7m các v t.
T t c các ho t ng nói trên u c n n nhi u công c trong ó c m bi n áp su t
là m7c xích u tiên. Các c m bi n này s3 cung c p d* li u liên quan n áp su t

c a khí nén, h$i n (c, d u nh#n ho c c a các ch t l%ng khác nh/m xác nh s" v n
hành c a các c$ c u, h th!ng, máy móc.
Trên th"c t , các nhu c u o áp su t r t a d ng òi h%i các c m bi n o áp su t
ph i áp ng m t cách t!t nh t cho t ng tr #ng h p c th . Chính vì v y các c m
bi n o áp su t ch t l u c,ng r t a d ng. M t nguyên nhân khác d2n n s" a
d ng này là l(n c a áp su t c n o n/m trong m t d i giá tr r t r ng, t chân
không siêu cao n áp su t siêu cao.
l(n c a áp su t c bi u di1n b/ng giá tr tuy t !i (so v(i chân không) ho c
giá tr t $ng !i (so v(i áp su t khí quy n). Nó c,ng có th c bi u di1n b/ng s"
khác nhau gi*a hai áp su t. Trong m c này tr (c khi trình bày các c m bi n o áp
su t ch t l u s3 gi(i thi u v áp su t và $n v o áp su t.
1.4.2.1 Áp su t và nv o áp su t
N u cho m t ch t l%ng ho c ch t khí (g i chung là ch t l u) vào trong m t bình
ch a nó s3 gây nên l"c tác d ng lên thành bình g i là áp su t. Áp su t này ph
thu c vào b n ch t c a ch t l u, th tích mà nó chi m tr (c và sau khi a vào bình
và vào nhi t .
Áp su t p c a ch t l u c xác nh t l"c dF tác d ng vuông góc lên di n tích ds
c a thành bình:
dF
Ρ=
ds (2.1)
Th $ng s! này không ph thu c vào nh h (ng c a b m t ds mà ch' ph thu c
vào v trí c a nó trong ch t l u.
Nói chung các ch t l u luôn ch u tác ng c a tr ng l"c, b i v y trong tr #ng h p
c t ch t l u ch a trong m t !ng h t th.ng ng, áp su t i m M cách b m t
t" do m t kho ng b/ng h s3 b/ng áp su t khí quy n po c ng v(i tr ng l ng c a c t
ch t l u có chi u cao h tác d ng lên m t $n v di n tích b m t, ngh+a là:
P = po + 9gh (2.2)
Trong ó 9 là kh!i l ng riêng c a ch t l u, g là gia t!c tr ng tr #ng t i i m o áp
su t. N u ch t l%ng ch u s" tác ng c a m t gia t!c thì c n ph i tính n nh
h ng c a l"c quán tính n áp su t c n o.
Bi u th c p = dF/ds c,ng ng th#i xác nh $n v c a gia t!c. Trong h SI,
1 pascal (Pa) t $ng $ng v(i áp su t ng d ng o l"c 1 newton (N) tác d ng lên
b m t ph.ng có di n tích b/ng 1m2. Áp su t 1 Pa t $ng !i nh%, vì th trong o
c công nghi p ng #i ta th #ng s d ng $n v áp su t là bar (1 bar = 105Pa).

Áp su t khí quy n i u ki n bình th #ng t $ng $ng v(i áp su t o m t c t

th y ngân có chi u cao 760 mm gây nên 0 0C v(i gia t!c tr ng tr #ng
g = 9,8066 m/s2. Áp su t này b/ng 101325 Pa và th #ng c bi u di1n b/ng mbar,
1 mbar @100 Pa. Trong b ng trình bày m!i quan h t $ng !i gi*a các $n v o áp
su t th #ng s d ng.
B ng 1.2
$n v o pascal Bar Cm c t
kg cm 2 atmosphe mm Hg mbar
áp su t (Pa) (b) n (c
1 pascal 1 10 -5 1,02 10-5 0,9869 10-5 1,02 10 -5 0,75 10 -5 10-2
1 bar 105 1 1,02 0,9869 1020 750 1000
1kg/cm2 98 103 0,980 1 0,986 1000 735 980
1 atmosphe 101325 1,013 1,033 1 1033 760 1013
1gam/cm2 98 98 10-5 10-5 0,968 10-3 1 0,735 0,98
1mmHg 133,3 13,33 10-4 1,36 10-3 1,315 10-3 136 10-3 1 1,333
1mbar 100 1 10-3 1,02 10-3 0,9869 10-3 1,02 0,750 1
1.4.2.2 Nguyên t c o
a) Ch t l u không chuyên ng
Vi c o áp su t c a ch t l u không chuy n ng d2n n phép o l"c F tác d ng lên
di n tích s c a thành bình phân chia hai môi tr #ng, trong ó m t môi tr #ng ch a
ch t l u là !i t ng c n o áp su t. Có th chia ra ba tr #ng h p chính:
o áp su t l y qua m t l0 nh% có ti t di n hình tròn c khoan trên
thành bình.
o tr"c ti p s" bi n d ng c a thành bình do áp su t gây nên.
o b/ng m t c m bi n áp su t chuy n i tín hi u u vào (là áp su t)
thành tín hi u i n u ra ch a thông tin liên quan n giá tr c a áp su t
c n o và s" thay i c a nó theo th#i gian.
Trong cách o trích l y áp su t qua m t l0 nh% ph i s d ng m t c m bi n t g n sát
thành bình. Sai s! c a phép o s3 nh% v(i i u ki n là th tích ch t c a kênh d2n và c a
c m bi n ph i không áng k so v(i th tích t ng c ng c a ch t l u c n o áp su t.

Trong tr #ng h p o tr"c ti p, ng #i ta g7n lên thành bình các c m bi n o ng

su t o bi n d ng c a thành bình. Bi n d ng này là hàm c a áp su t. Ngoài ra
c,ng có th dùng m t !ng c bi t có kh n4ng bi n d ng d (i tác d ng c a áp su t
làm v t trung gian. Khi o áp su t trong m t #ng !ng d2n ch t l u, ng #i ta
t m t áp k d ng !ng n!i ti p v(i #ng d2n kh o sát. B/ng cách ch n v t li u
thích h p, có th s d ng !ng trong tr #ng h p có bi n d ng l(n và t4ng nh y
c a áp k .
Trong tr #ng h p o b/ng c m bi n áp su t, v t trung gian th #ng là các ph n t o
l"c có m t thông s!, thí d thông s! hình h c, có kh n4ng thay i d (i tác d ng c a
l"c F = p.s. Trên hình 1.15 bi u di1n m t !ng d ng hình tr b t kín m t u dùng
o áp su t. Khi áp su t tác ng lên thành !ng nó s3 làm thay i kích th (c c a !ng
theo h (ng c a tr c và #ng kính !ng. C m bi n áp su t có c u t o bao g m m t
!ng có trang b thêm b chuy n i i n (thí d c m bi n ng l"c) chuy n nh*ng
thay i kích th (c c a !ng d (i tác d ng c a áp su t c n o ( i l ng c$ trung
gian) thành tín hi u i n. Kích th (c c a !ng c xác nh theo ng l"c l(n nh t có
th ch p nh n c. C m bi n d ng !ng b t kín có th tích ch t c= vài cm3 nh ng
trên th"c t th tích này không thay i vì bi n d ng c a !ng r t nh%.
c m bi n
Hình 1.15 C m bi n o áp su t dùng ng b t kín m t u.
Ng #i ta c,ng có th s d ng v t trung gian là màng m%ng o áp su t. Khi ó s"

khác nhau v áp su t gi*a hai m t c a màng s3 t $ng ng v(i l"c t ng c ng F tác
ng lên màng và v(i bi n d ng c a nó (xác nh m i i m theo #ng kính, theo
ti p tuy n ho c i m gi*a c a màng) nh bi u di1n trên hình 1.16.

$ E
f
e
p
Hình 1.16 Bi n d ng c a màng hình tr c óng khung theo chu vi.
2
3
2
p R −r
2
( )
Ph $ng trình bi n d ng : z =
16
1−υ2
y
(e3
) (2.3)
3 p R4
Bi n d ng c a tâm màng: (r = 0) f =
8
(
1 −υ 2
y 2e 3
)
3 p R 2 − 3r 2
Bi n d ng theo #ng kính: ε1 =
8
(
1−υ 2
y e2
) !
3 p R2 − r 2
Bi n d ng theo ti p tuy n: ε 2 =
8
(
1−υ2
y e2
) "
e y
T n s! riêng: f 0 = 0, 47 #
R2 (
ρ 1−υ 2 )
: kh!i l ng riêng.
!i v(i cùng m t áp su t p, bi n d ng c a màng càng l(n thì bán kính r càng l(n và
b dày càng nh%. nh y c a màng c,ng t4ng khi bi n d ng t4ng lên. Hi n t ng
tr do bi n d ng không ph i là àn h i tuy t !i s3 nh h ng n tuy n tính c a
màng. M t khác, khi t6 s! R/e t4ng s3 làm cho t n s! riêng c a màng gi m i. B i
v y, thông th #ng t6 s! R/e c ch n dung hòa hai y u t!, m t m t là ng l"c
mà màng có th ch u "ng c và m t khác cho t n s! riêng c a màng càng l(n
càng t!t. Trên th"c t s" l"a ch n này ph thu c vào c tính c a v t li u ch t o
màng và công ngh x lý nhi t ã áp d ng cho nó.
Ngoài d ng !ng hình tr và màng ph.ng, v t trung gian dùng o áp su t ch t l u
có th là màng d ng sóng, piston k t h p v(i lò so, áp k giãn n=, !ng xi phông

(d ng x p thành n p), !ng hình cong b t m t u…Tùy t ng tr #ng h p c th mà

ng #i ta ch n v t trung gian cho thích h p v(i áp su t c n o.
b) Ch t l u chuy n ng
Khi nghiên c u ch t l u chuy n ng c n ph i tính n ba d ng áp su t cùng t n
t i: áp su t t+nh (ps) c a ch t l u không chuy n ng, áp su t ng (pd) do chuy n
ng v(i v n t!c v c a ch t l u gây nên và áp su t t ng c ng pt là t ng c a hai áp
su t trên:
Pt = ps + pd (2.8)
Áp su t t+nh ps c o b/ng m t trong các ph $ng pháp v a trình bày. Áp su t
ng tác d ng lên m t ph.ng t vuông góc v(i dòng ch y s3 làm t4ng áp su t t+nh
và có giá tr t6 l v(i bình ph $ng v n t!c, ngh+a là:
ρv 2
pd =
2 (2.9)
Trong ó 9 là kh!i l ng riêng c a ch t l u.
Vi c o các áp su t này trong ch t l u chuy n ng có th c th"c hi n b/ng
cách n!i v(i hai u ra c a ông Pitot hai c m bi n, m t c m bi n o áp su t t ng
c ng và m t c m bi n o áp su t t+nh. Khi ó áp su t ng s3 là hi u c a áp su t
t ng c ng và áp su t t+nh.
Hình 1.17 o áp su t ng b ng ng Pitot.
Có th trang b tr"c ti p m t 4ng ten là !ng Pitot v(i hai c m bi n áp su t kích

th (c nh% o áp su t ng. Các màng c a hai c m bi n này c t sao cho
m t màng vuông góc v(i dòng ch y và màng th hai song song v(i tr c c a !ng.
Trong m t lo i !ng $n gi n h$n áp su t t+nh c o b/ng cách khác: ng #i ta t

áp su t t ng c ng lên m t tr (c c a màng còn áp su t t+nh thì t lên m t sau c a

màng. Nh v y tín hi u do c m bi n cung c p s3 là s" khác nhau gi*a áp su t t ng
c ng và áp su t t+nh, b/ng cách này ng #i ta o c áp su t ng c a ch t l u.
th ch anh
màng
áp su t
t ng c ng
Ps
Hình 1.18 C m bi n o áp su t ng k t h p v!i b chuy n i áp i n.
1.4.2.3 V t trung gian
Vi c l"a ch n v t trung gian o áp su t ch t l u ph thu c vào b n ch t c a áp
su t c n o, l(n c a nó và ph $ng pháp chuy n i tín hi u (chuy n i d ch
chuy n hay bi n d ng thành tín hi u i n). V t trung gian c t tr ng b i
c ng (là t6 s! gi*a l"c tác d ng và d ch chuy n) và t n s! riêng c a nó. nh y
t6 l ngh ch v(i c ng r trong khi t n s! riêng fo l i t4ng khi c ng t4ng lên:
1 r
f0 =
2π M (2.10)
V(i M là kh!i l ng c a v t trung gian và các ph n t khác (nh màng, thanh
=…) liên k t c ng v(i nó.
Khi t4ng t6 s! r/M kh n4ng ch u rung ng và gia t!c c a v t trung gian s3 t4ng
lên. Ti p theo, b/ng cách nâng t n s! riêng c a v t trung gian, có th t4ng nhanh
c a áp ng. Ng c l i, nh y s3 gi m i b i vì c ng càng l(n thì v t bi n
d ng càng kém. S" gi m nh y này n m t m c nào ó s3 làm cho tín hi u
y u i so v(i nhi1u và làm sai l ch k t qu o áp su t c a ch t l u.
!i v(i m0i lo i v t trung gian t n t i m t m!i quan h b t bi n gi*a kh!i l ng M,
nh y S và t n s! riêng fo: MSfo = const. Thí d , trong các tr #ng h p c th , m!i
quan h này s3 là MSfo =0,043 !i v(i màng hình tròn, và MSfo =0,25 !i v(i v t
trung gian d ng thanh dài c! nh hai u. Trong m i tr #ng h p, c ng, nh y
và d ch chuy n có liên quan n ng l"c c"c i mà v t trung gian có th ch u "ng
c. Fng l"c này ph thu c vào v t li u ch t o v t trung gian. Vi c l"a ch n v t
li u ph i th%a mãn i u ki n là tuân th các c tr ng o l #ng c a c m bi n.

1.4.2.4 Ph ng pháp chuy n i tín hi u

a) Chuy n i b ng bi n thiên tr kháng
i n th k
C m bi n áp su t vi sai dùng i n th k chuy n i tín hi u c bi u di1n trên
i n th k
con ch y
h p
lò xo
bu ng giãn n=
Hình 1.19 C m bi n áp su t vi sai chuy n i tín hi u b ng i n th k .
hình 1.19. Con ch y c a i n th k c n!i v(i bu ng giãn n sao cho bi n d ng

c a v t trung gian này kéo theo d ch chuy n x c a con ch y.
!i v(i i n th k có i n tr t ng Rn c nuôi b/ng su t i n ng es, i n th
gi*a con ch y và m t u c a i n tr c bi u di1n b/ng bi u th c:
R(x )
Vm = e s .
Rn (2.11)
Trong ó R(x) là i n tr gi*a con ch y và m t u c a i n tr t ng. N u có s" t6
l thu n gi*a áp su t p c n o và biên d ng c a v t trung gian, gi*a bi n d ng c a
v t trung gian v(i d ch chuy n x c a con ch y và gi*a d ch chuy n c a con ch y v(i
i n tr R(x) thì ta s3 có bi u th c c a i n th Vm nh sau:
Vm = k.es.p (2.12)
Trong ó k là h/ng s! c tr ng cho c m bi n.
Các c tr ng o l #ng c a c m bi n dùng i n th k chuy n i tín hi u c
li t kê nh sau:

tuy n tính:± 0,5 n 1% c a d i o;

tr : ± 0,1 n ± 1% c a d i o;
phân gi i: t!t h$n 0,03 c a d i o;
nhanh: t!c áp ng t 15 n 100 ms;
Tín hi u u ra: c= m t vài vôn.
&u i m c a c m bi n lo i này là tín hi u ra l(n, có th s d ng k t h p v(i b
khuy ch i và có kh n4ng thích ng v(i s" thay i không tuy n tính. Nh c
m c a c m bi n là th#i gian s d ng b h n ch và nh y v(i rung ng.
C m bi n áp tr
C m bi n c ch t o trên silic lo i N. &u i m c a v t li u này là khi d ng
$n tinh th nó có tính àn h i t!t nên hi u ng tr c$ h c r t nh% và có th b% qua.
H$n n*a ây là v t li u bán d2n nên có th dùng làm ch t o c m biên b/ng
k8 thu t khuy ch tán planar. S$ nguyên lý c a c m bi n áp tr c bi u di1n
trên hình 1.26. Trong c m bi n này, silic lo i N m b o vi c chuy n i áp su t
tác ng lên nó thành ng su t n i. Các t p ch t lo i P c khuy ch tán vào nh*ng
vùng có nh h (ng so v(i tr c tinh th sao cho m b o nh y t!t nh t b/ng cách
k t h p các ng l"c sinh ra do bi n d ng silic. Trên hình 1.20b là tr #ng h p
màng nh h (ng (100) có g7n b!n c m bi n, trong ó hai c m bi n t tâm theo
h (ng (110) và hai c m bi n khác t g n bên t o thành v(i h (ng (100) m t góc
b/ng 600. V(i cách t c m bi n nh v y, s" thay i c a i n tr theo ng su t n i
!i v(i hai c p c m bi n s3 b/ng nhau nh ng có d u ng c nhau:
∆R1 = ∆R3 = − ∆R2 = − ∆R4 = ∆R (2.13)
Khi ó i n áp Vm o hai u #ng chéo c a c u c nuôi b/ng dòng m t chi u s3 là:
I
Vm = .(∆R1 − ∆R2 + ∆R3 − ∆R4 ) = I .∆R
4 (2.14)
dây d2n Au ti p xúc kim lo i
R4
R1
R3
R2
Si lo i N khuy ch tán
t p ch t lo i P JT
Hình 1.20 C m bi n áp i n:
a) s nguyên lý c u t o, b) v trí "t c m bi n trên màng.

S" thay i t $ng !i c a tr kháng ph thu c vào ng l"c < c bi u di1n b/ng
bi u th c:
∆R
= πσ
R0
(2.15)
Trong ó B là h s! áp tr c a tinh th (~ 4.10-10 m2/N), và bi u th c c a i n áp
c vi t l i d (i d ng:
Vm = .IR0< (2.16)
nh y c a c m bi n áp tr ph thu c vào l(n c a áp su t c n o. !i v(i d i
áp su t th p, nh y c a c m bi n thay i trong kho ng t 0,1 n 3 mV/mbar
ph thu c vào d ng hình h c c a màng và c #ng dòng i n. Trong d i áp su t t
hàng tr4m mbar n hàng tr4m bar, nh y thay i t trong kho ng 0,2 n 12,5
mV/bar (t $ng $ng v(i tín hi u u ra t 100 n 300 mV).
C m bi n áp tr lo i khuy ch tán có th làm vi c trong d i nhi t t -40 oC n
125 oC ph thu c vào t6 l pha t p. Ng #i ta c,ng có th bù tr nh*ng thay i
nhi t c a i n tr (c a c m bi n) b/ng cách a thêm vào b i u hòa m t thi t b
hi u ch'nh c i u khi n b/ng u o nhi t JT t trong màng (hình 1.20).
C m bi n áp su t dùng áp tr khuy ch tán tr"c ti p trên v t trung gian có tuy n
tính và tr n/m trong kho ng t ± 0,2 n ± 2% c a d i o, phân gi i t!t h$n
0,1% và chính xác t 0,1 n 0,5%. nhanh ph thu c vào t n s! riêng c a
màng. T n s! này ph thu c vào #ng kính và b dày c a màng và thay i trong
kho ng t 50 kHz n 1 MHz.
&u i m c a c m bi n lo i này là tín hi u ra t $ng !i l(n, kích th (c nh% và kh!i
l ng không áng k . Trên th"c t có th ch t o các màng có #ng kính c= mm,
không nh y c m v(i rung ng và va ch m m nh.
b) Chuy n i b ng hi u ng áp i n
Khi s d ng v t trung gian là m t c u trúc áp i n, ng #i ta có th chuy n i tr"c
ti p ng l"c d (i tác ng c a l"c F (do áp su t ch t l u gây nên) thành tín hi u
i n Q. Thí d , n u t o i n c"c kim lo i trên m t phi n m%ng c7t t tinh th th ch
anh theo h (ng vuông góc v(i m t trong ba tr c i n r i tác d ng lên nó m t l"c c$
h c (thí d l"c nén) thì s3 x y ra hi n t ng phân c"c i n: trên các b n c"c kim
lo i xu t hi n các i n tích Q. i n tích này t6 l v(i l"c tác d ng:
Q = kF (2.17)
Trong ó k là h/ng s! áp i n và F là l"c tác ng. Trong tr #ng h p th ch anh,
k = 2,32.10-12 culong/newton.

C u trúc c a ph n t áp i n d ng !ng cho phép t4ng i n tích b/ng cách $n gi n

hóa ki u k t h p các ph n t . !i v(i c u trúc lo i này, i n tích trên các b n c"c
c tính t bi u th c:
4dh
Q = kF
D −d2
2
(2.18)
Trong ó d và D là #ng kính trong và ngoài c a !ng, h là chi u cao c a ph n ph kim
lo i. ng c làm b/ng cách k t h p hai ph n t phân c"c ng c v(i m t !i x ng.
l(p ph kim
lo i bên trong
tr c i n
l(p ph kim
tr c quang lo i bên ngoài
Hình 1.21 Ph n t áp i n d ng ng.
Các c m bi n áp i n có th c gi m thi u kích th (c m t cách d dàng. Trong

tr #ng h p !ng d ng hình tr có th gi m #ng kính xu!ng vài milimet.
D i áp su t o c c a c m bi n áp i n n/m trong kho ng t vài mbar n hàng
ngàn bar. nh y c a c m bi n thay i trong kho ng t 0,05 pC/bar n 1pC/bar
ph thu c vào hình d ng c a ph n t áp i n và d i o. tuy n tính thay i trong
ph m vi t ÷0,1 n ÷1% c a d i o v(i tr1 nh% h$n 0,0001% và phân gi i
0,001%. l(n c a tín hi u u ra thay i t 5 n 100mV.
&u i m c a c m bi n áp su t dùng chuy n i tín hi u b/ng áp i n là áp ng t n
s! r t t!t, thích h p o áp su t thay i nhanh, kích th (c nh%, ít nh y c m v(i
gia t!c và không c n ngu n nuôi c m bi n.
Nh c i m c a c m bi n lo i này là nh y c m v(i thay i c a nhi t và c n s
d ng cáp n!i c bi t.
c) Chuy n i b ng dao ng c i n
Trong các c m bi n dùng chuy n i b/ng dao ng c$ i n, b ph n dao ng là
m t ph n t dao ng c$ có t n s! ph thu c vào l"c tác d ng lên nó. L"c do áp su t

gây nên có th tác ng tr"c ti p ho c gián ti p lên ph n t dao ng. Nó làm thay
i t n s! dao ng c$ và do v y làm bi n thiên t n s! do b dao ng phát ra.
Thông th #ng b dao ng bao g m m t v t trung gian ch u tác ng c a áp su t
c n o k t h p v(i m t ph n t dao ng c$ h c. ây là tr #ng h p dây ho c lá
thép dao ng c c4ng gi*a m t i m c! nh và m t i m khác n/m trên màng
ho c !ng xiphông (hình 1.28 a,b).
Các dao ng c duy trì nh# hai cu n dây. Khi ph n t dao ng b/ng thép dao
ng v(i t n s! f, nó làm cho t tr c a m ch bi n thiên tu n hoàn và gây nên m t
i n th c m ng cùng t n s! trong cu n o. i n th này c khuy ch i nuôi
cu n kích t o dao ng.
T n s! f c a dao ng c$ ph thu c vào ba y u t!:
Hình d ng và kích th (c (chi u dài l và ti t di n s m t c7t ngang) c a
ph n t dao ng;
Tính ch t v t lý c a v t li u ch t o ph n t dao ng (kh!i l ng riêng 9);
L"c tác d ng lên ph n t dao ng.
Trong tr #ng h p dây dao ng c c4ng gi*a m t i m c! nh và m t i m ch u
tác ng c a áp su t, bi u th c c a t n s! dao ng có d ng:
1 F
f =
2l ρ .s (2.19)
Trong ó F là l"c c4ng dây.
!i v(i tr #ng h p !ng dao ng, m!i quan h gi*a áp su t c n o và t n s! dao
ng c bi u di1n b/ng bi u th c:
P = A(f – f0) + B (f – f0)2 + C (f – f0)3 (2.20)
Trong ó f0 là t n s! dao ng khi ch a có s" tác ng c a áp su t và f là t n s! dao
ng khi áp su t tác ng b/ng p; A,B,C là các h/ng s! c a c m bi n.

n (c
cáp m m
cu n kích dây dao
và cu n o ng kh!i àn h i ph n t x!p
lá dao ng
áp su t
cu n o
!ng xi phông
chân không
cu n kích
tín hi u nhi t ô
tín hi u áp su t
nh d ng
tín hi u
Hình 1.22 C m bi n áp su t dùng chuy n i dao ng c i n:
a) dây dao ng, b) lá dao ng.
Trên hình 1.22a bi u di1n c m bi n d ng o áp su t ch t l u trong các khe hGp.

Áp su t c truy n qua ph n t x!p làm cho kh!i àn h i b bi n d ng d c và do
v y làm thay i s c c4ng c a dây và t n s! dao ng c a nó. Các d i o có th
thay i trong nh*ng kho ng giá tr khác nhau: 0 ÷ 2, 0÷ 5, 0 ÷ 10 và 0÷ 20 bar.
chính xác c a c m bi n c= 0,3% v(i phân gi i b/ng 0,1%.
Trên hình 1.22b bi u di1n c m bi n o áp su t tuy t !i dùng ph n t dao ng là lá
thép. Nó c ng d ng nhi u trong k8 thu t hàng không. Trong c m bi n này, !ng
xiphông kín ã c hút chân không ( làm áp su t so sánh gây nên l"c c4ng lá
thép dao ng.Giá tr c a áp su t c tính t giá tr c a t n s! và nhi t . D i áp
su t o c a c m bi n n/m trong kho ng t 0 n 3000 mbar. chính xác thay i
trong ph m vi t ÷0,01 n ÷ 0,02% ph thu c vào giá tr c a áp su t o.

&u i m c a c m bi n dùng dây, lá và !ng dao ng là o theo t n s!, l p l i,

phân gi i và chính xác cao. Tuy v y nh c i m c a lo i c m bi n này là s"
không tuy n tính, d i thông hGp và nh y v(i nhi t , dao ng và va ch m.
d) Ph ng pháp tranzito áp i n
Trong các tranzito áp i n NPN, khi dùng m t m,i nh n tác d ng l"c F lên êmit$,
d2n c a vùng chuy n ti p emit$-baz$ có th b thay i. Ng #i ta ã ng d ng
hi u ng này o áp su t ch t l u: trong m ch khuy ch i s d ng m t trong
nh*ng tranzito lo i này, tín hi u i n u ra t6 l v(i l"c tác d ng. Trên hình v3
bi u di1n m t c m bi n áp su t ch t l u trong ó s d ng m t màng g7n v(i m t
m,i nh n tác ng lên emit$ c a m t tranzito áp i n.
Các c m bi n d ng tranzito áp i n có th o áp su t ch t l u có giá tr n/m trong

kho ng t m t vài milibar n 1,5 bar. !i v(i i n áp nuôi b/ng 10 V, nh y
trung bình t 0,1 V/mbar.
1.4.3 C m bi n o chân không
1.4.3.1 D i chân không và các lo i chân không k
Theo truy n th!ng ng #i ta chia chân không thành b!n d i t $ng $ng v(i b!n
vùng áp su t. Trong m0i d i, m t s! c tr ng và tính ch t c a ch t khí có th thay
i khác nhau. T $ng ng v(i m0i d i chân không có m t lo i c m bi n d"a trên
m t tính ch t c bi t c a ch t khí trong d i ó. Trong b ng li t kê các d i áp su t
chân không.
Các c m bi n o chân không c chia thành ba nhóm chính:
C m bi n dùng hi u ng c$.

C m bi n d ng hi u ng nhi t.
C m bi n d"a trên các c tr ng i n c a ch t khí.
B ng 1.3
Chân không Chân không Chân không Chân không

th p trung bình cao siêu cao
D i áp su t Pa 105- 102 102- 10-4 10-4- 10-5 <10-5
mbar 103-1 1-10-3 10-3-10-7 <10-7
S! phân t
1019- 1016 1016-1013 1013-109 <109
trong 1 cm3
Quãng
#ng t"
10-6- 10-3 10-3- 1 1-104 >104
do trung
bình (cm)
1.4.3.2 Chân không k àn h i

a) Chân không k d ng ng Bourdon
V t trung gian trong tr #ng h p này là m t !ng tròn ho c dGt có thành m%ng, làm
b/ng kim lo i ho c th ch anh và c u!n d ng lò so xo7n !c. Ph n trong c a !ng
c n!i thông v(i th tích c n o áp su t, phía ngoài c a !ng là không khí ho c
môi tr #ng khép kín có áp su t không i ã bi t tr (c (g i là áp su t chu)n hay áp
su t so sánh). N u môi tr #ng bên ngoài là !ng chân không (~10-1 Pa) thì c m bi n
c g i là c m bi n áp su t tuy t !i.
Nguyên lý o nh sau: s" chênh l ch áp su t bên ngoài và bên trong !ng làm cho
!ng b bi n d ng; do m t u c a !ng xo7n !c c gá c! nh nên bi n d ng àn
h i s3 làm cho u kia c a !ng d ch chuy n, và d ch chuy n này t6 l v(i áp su t
trong !ng. D ch chuy n c a u !ng có th o b/ng cách n!i nó v(i i n th k
ho c v(i c m ng t bi n thiên.
b) C m bi n d ng màng m ng
Nguyên lý c a c m bi n d ng màng m%ng d"a trên s" bi n d ng c a màng m%ng
kín và ph.ng ho c màng d ng l n sóng d (i tác d ng c a s" chênh l ch áp su t
gi*a hai th tích khí ng4n cách b i màng m%ng, m t m t c a màng ch u tác d ng
c a áp su t c n o và m t kia n/m trong môi tr #ng so sánh có áp su t bi t tr (c.

Màng m%ng th #ng là các lá làm b/ng thép không r' ho c h p kim inconel, Pd,
ho c silic ã c gia công gi m tr c$ h c c a chúng.
C m bi n dùng u o áp tr
Trong c m bi n d ng này, bi n d ng c a màng c chuy n thành d ng tín hi u i n
b/ng m t u o bi n d ng lo i áp tr g7n trên b m t c a màng.
Màng là lá m%ng b/ng thép không r' #ng kính D = 12÷15 mm, chi u dày n/m
trong kho ng 10-2÷10-4 mm, ho c b/ng m t phi n silic. N u là lá thép m%ng, c m
bi n áp tr s3 c dán lên màng. N u là phi n silic, c m bi n áp tr s3 c ch t o
tr"c ti p trên b m t silic b/ng ph $ng pháp bay h$i trong chân không. Hai d ng c u
trúc này cho phép o phía áp su t cao (>105 Pa). Tuy nhiên c,ng t n t i nh*ng ki u
khác cho phép o áp su t th p h$n, t 2.10-4 ÷ 2.105 Pa v(i sai l ch tuy n tính
-6
~0,5% và phân gi i 10 , th#i gian áp ng n/m trong kho ng 20 ÷ 50 µs.
&u i m c a các u o chân không dùng c m bi n áp tr là có th s d ng chúng
trong môi tr #ng 4n mòn o áp su t tuy t !i ho c áp su t t $ng !i. Th tích
ch t và th tích ng c a chúng nh%, th tích ch t c= vài cm3 và th tích ng c=
ph n m #i mm3.
C m bi n t i n
C u t o c a c m bi n t i n g m m t màng M hình tròn làm b/ng kim lo i ph.ng,
c c4ng theo chi u bán kính gi m tr c$ h c. Màng này óng vai trò là m t
i n c"c và ng4n cách hai môi tr #ng (môi tr #ng c n o áp su t px và môi tr #ng
có áp su t chu)n pr so sánh), hai b n i n c"c A1 và A2 t trong hai môi tr #ng
khác nhau và !i x ng nhau qua M (hình 1.24a).
M
A2
A1 C1
+e
es
C2
Pr D0 D0 Px -e Vm
b)
a)
Hình 1.24 C m bi n t i n: a) s nguyên lý; b) m ch o.
S" bi n d ng c a màng d (i tác d ng c a chênh l ch áp su t p = px – pr t $ng

$ng v(i d ch chuy n d c a tâm màng M. d ch chuy n này t6 l v(i p. Bi n d ng
c a màng làm gi m i n dung C1 gi*a A1 và M và t4ng i n dung C2 gi*a M và A2
ho c ng c l i ph thu c vào d u c a p. C1 và C2 t o thành t vi sai và c kích

thích b/ng m t bi n th có i m gi*a n!i t d (i i n áp xoay chi u

± e = ± E. cos ωt (thí d ,E = 1,5 V, f = ω /2 = 10 kHz).
Tín hi u ra Vm l y tr"c ti p t màng, theo s$ m ch i n hình 11.2b c bi u

di1n b/ng bi u th c:
C1 − C 2
Vm = e. (3.1)
C1 + C 2
Khi có bi n d ng gây nên d ch chuy n d c a tâm màng so v(i v trí ban u, các
i n dung C1 và C2 t6 l (t $ng ng) v(i 1/(D0+d) và 1/(D0-d), cho nên tín hi u i n
s3 b/ng:
d d
Vm = −e. = − E. . cos ωt (3.2)
D0 D0
Vm t6 l v(i d ch chuy n d c a tâm màng, do ó nó t6 l v(i áp su t vi sai.

Ph m vi o c a c m bi n t i n n/m trong kho ng 10-2÷10-6 Pa. C m bi n này cho
chính xác cao (0,1÷0,3%), sai l ch tuy n tính nh% (0,02%).
Nh c i m c a c m bi n !i x ng là ch0 trong tr #ng h p o áp su t c a môi
tr #ng 4n mòn, i n c"c có th b h%ng. Ngoài ra, ho t ng c a c m bi n có th b
sai l ch n u nh trong môi tr #ng o xu t hi n ch t khí có d2n cao. Vì hai lý do
trên, ng #i ta a ra m t c u trúc khác trong ó c hai t C1 và C2 u n/m trong
cùng m t môi tr #ng (hình 1.25).
A2
M
A1
Pr Px
Hình 1.25 C m bi n t i n dùng hai b n c c không i x ng.
Trong tr #ng h p này, hai i n dung C1 và C2 thay i cùng chi u, tuy nhiên s"
thay i c a chúng không nh nhau vì các b n c"c A1 và A2 c b! trí không !i
x ng v(i tr c c a màng. Tín hi u i n t $ng ng v(i s" thay i khác nhau c a C1
và C2 không ph thu c vào h/ng s! i n môi c a ch t khí, ngay c trong i u ki n
áp su t cao, )m l(n, ho c có h$i c a ch t h*u c$, ch t b ion hóa và phóng x .

M ch o và i n áp nuôi dùng cho c m bi n này gi!ng nh tr #ng h p t i n !i

x ng. Các c tr ng c,ng t $ng t" nh tr #ng h p tr (c. Khi s d ng o áp su t
tuy t !i, c m bi n c óng kín phía các t i n.
1.4.3.3 Chân không k nhi t
Nguyên lý chung c a chân không k nhi t d ng dây nóng là d"a trên hi n t ng
thay i d2n nhi t c a ch t khí khi áp su t thay i trong kho ng 103 ÷ 10-1 Pa.
S truy n nhi t trong ch t khí
M t s! tính ch t c a ch t khí nh nh(t, d2n nhi t có liên quan n s" truy n
n4ng l ng và s" v n chuy n kh!i. Do các quá trình truy n n4ng l ng di1n ra thông
qua va ch m gi*a các phân t cho nên các tính ch t nêu trên s3 ph thu c vào giá tr
t $ng !i c a quãng #ng t" do c a các phân t , t c là ph thu c vào áp su t.
N u trong ch t khí xu t hi n gra ient nhi t theo m t h (ng nào ó (thí d h (ng
Ox) thì s3 xu t hi n lu ng nhi t Q theo h (ng ng c l i sao cho
dT
Q = −K
dt (3.3)
Trong ó K là h s! d2n nhi t c a ch t khí. Khi quãng #ng t" do trung bình r t
nh% so v(i kho ng cách l t ngu n phát nhi t (thành nóng) n n$i thu nhi t (thành
ngu i) << l , h s! K không ph thu c vào áp su t.
Khi quãng #ng t" do t4ng λ ≈ (10−3 ÷ 10−2 ) l t $ng $ng v$i áp su t 103 Pa, h s!
d2n nhi t b7t u ph thu c vào áp su t và gi m theo p. Khi H @ l, h s! K t6 l v(i
áp su t.
D"a vào tính ch t trên ây ng #i ta ã ch t o ra c m bi n chân không d ng dây nóng
hay còn quen g i là chân không k nhi t.
Nguyên t c ho t ng c a chân không k nhi t là:
Ph n t c$ b n c a chân không k nhi t là m t s i dây kim lo i c !t nóng b/ng
hi u ng Joule t trong m t !ng hình tr ng tâm, m t ngoài !ng ti p xúc v(i môi
tr #ng và th tích bên trong c a !ng thông v(i áp su t c n o (hình 1.26).
Nhi t c a s i !t ph thu c ch y u vào s" m t nhi t do d2n nhi t trong ch t
khí. S" m t nhi t này càng l(n khi áp su t càng cao. Trên th"c t , công su t cung
c p cho s i !t c gi* không i, vì v y vi c o nhi t c a dây cho phép xác
nh áp su t c a ch t khí. Nhi t c a dây c o b/ng i n tr (ph $ng pháp
Pir ni) ho c b/ng c p nhi t g7n trên s i !t.

v%
ro s i !t
giá = giá =
Hình 1.26 Chân không k nhi t.
Trong ch t+nh, công su t Pj c cung c p b i hi u ng Joule b chia thành:

PC1: công su t tiêu hao do d2n nhi t trong ch t khí;
PC2: công su t tiêu hao do d2n nhi t giá = s i !t;
Pr: công su t tiêu hao do b c x nhi t.
Vì v y:
Pj = PC1+ PC2 + Pr: (3.4)
Công su t m t mát do d2n nhi t c a ch t khí PC1 là hàm c a s" phân b! nhi t theo
#ng kính !ng và ph thu c vào r0 c a v%, vào nhi t dung và nhi t c a dây.
Trong ch t+nh, nhi t T0 c a !ng và nhi t Tf c a s i !t không i, b i v y
có th vi t bi u th c cho PC1 :
p
PC1 = a.K .(T f − T0 ) = a ′. (T f − T0 ) (3.5)
M
Trong ó:
p và M là áp su t và kh!i l ng phân t c a ch t khí;
a’ là h/ng s! ph thu c vào di n tích b m t ngoài c a s i !t (ngh+a là
ph thu c vào #ng kính r và chi u dài L c a nó).
Gi thi t nhi t c a giá = s i !t là ng u và b/ng nhi t T0, ng th#i s i
!t là .ng nhi t, gradient nhi t Tf - T0 theo chi u dài c a s i !t không áng
k so v(i toàn b chi u dài L c a nó. Khi ó s" tiêu hao công su t do d2n nhi t c a
giá = s i !t c bi u di1n b/ng bi u th c:
PC2 = b.Kf (Tf – T0) (3.6)
Trong ó Kf là d2n nhi t c a kim lo i làm s i !t, b là h/ng s! !i v(i m t s i
!t và giá = cho tr (c.
Tiêu hao công su t do b c x c xác nh b i nh lu t Stefan- Boltzman:

( 4
Pr = c.σ . ε f .T f − ε 0 .T0
4
) (3.7)
Trong ó:
Ef và E0 là h s! phát x c a dây nhi t Tf và c a v% nhi t T0;
< là h/ng s! Stefan c a v t en tuy t !i (< =5,7.10-8 w.m-2.K-2);
c là h/ng s! ph thu c vào di n tích m t ngoài c a s i !t.
Trong ba d ng tiêu hao công su t nhi t k trên, ch' có thành ph n PC1 ph thu c vào
áp su t c a ch t khí. PC2 và Pr có th gi m thi u b/ng cách gi m r, Kf và f. nh y
c a c m bi n càng cao khi (Tf – T0) càng l(n. Tuy nhiên, do Pr c,ng nh y v(i hi u
(Tf – T0) nên nhi t s i !t ph i gi* giá tr t $ng !i th p, t 100 0C n
200 0C trong khi nhi t T0 c a !ng th #ng là nhi t phòng.
a) Chân không k Pirani
Chân không k Pirani c i n th #ng có m t s i !t g m m t ho c nhi u ph n d ng
#ng th.ng t trong v% b c kim lo i ho c th y tinh. C m bi n càng nh y khi s i
!t càng dài và m nh. Vì th trong các u o hi n i s i !t làm b/ng dây d2n có
#ng kính nh%, c= ~10µm, c u!n hình xo7n !c ho c b/ng d i m nh. V t li u
làm dây là kim lo i ít b oxy hóa, nh Pt, W, Ni (hình 1.27).
M ch o dùng cho c m bi n Pirani là c u Wheatstone trong ó s i !t c a u o là
m t nhánh. M ch c nuôi b/ng m t trong hai ch :
Nuôi b/ng ngu n i n áp không i U = const. Khi ó tín hi u s3 là i n
áp không cân b/ng c a c u. Tr (c khi o c u c cân b/ng áp su t
chu)n (áp su t so sánh). Áp su t so sánh có th là áp su t không khí trong
phòng ho c m t áp su t bi t tr (c có giá tr nh% h$n áp su t làm vi c c a
c m bi n.
Nuôi b/ng i n áp bi n thiên sao cho nhi t c a dây không i.
T = const. Lúc ó c u s3 t" i u ch'nh b/ng m t khuy ch i vi sai có
khuy ch i l(n.
Trong s$ này tín hi u o Vm s3 là s" thay i c a i n áp nuôi c u so v(i tr ng
thái cân b/ng ã xác l p chân không cao.
gi m nh h ng nhi t T0 c a v% b c, có th thay i n tr Rt b/ng m t c m bi n
bù tr gi!ng nh c m bi n chính nh ng ph i c hàn kín trong chân không cao.

R1
R3
Vm
R2 =Rc R4
Hình 1.327 Chân không k Pirani: a) hình dáng bên ngoài; b) m ch o.
&u i m c a c m bi n dây nóng Pirani là ch7c ch7n và g n. Tuy nhiên, s d ng

c n ph i chu)n c m bi n cho t ng lo i khí. C m bi n dây nóng Pirani dùng o
chân không s$ c p. Nh c i m là không làm vi c c v(i nh*ng ch t khí d b
phân tích vì s i !t có nhi t cao.
1.4.3.4 Chân không k ion
Nguyên lý ho t ng c a c m bi n lo i này d"a trên hi n t ng ion hóa các phân t
ho c nguyên t c a ch t khí khi chúng va ch m v(i i n t ho c các ion khác. S!
ion c t o thành sau khi ion hóa ph thu c vào b n ch t và áp su t c a ch t khí.
Dòng ion thu qua m t i n c"c là i l ng o th c p ph n ánh l(n c a áp su t.
Có ba lo i u o ion hóa:
u o dùng catot ngu i ( u o penning) d"a trên hi n t ng ion hóa t"
phát và t" duy trì trong ch t khí (hi n t ng phóng i n).
u o catot nóng d"a trên hi n t ng ion hóa x y ra do các i n t phát
x t s i !t.
u o dùng ngu n phóng x , trong ó quá trình ion hóa x y ra d (i tác
d ng c a tia phóng x .
Trong nh*ng m c ti p theo, tr (c khi kh o sát các lo i c m bi n ion hóa o chân
không, s3 c p n hi n t ng ion hóa ch t khí do nh*ng nguyên nhân khác nhau
và m!i quan h gi*a áp su t và s" ion hóa ch t khí.

a) Ion hóa ch t khí

Khi cung c p n4ng l ng cho m t nguyên t trung hòa cô l p b/ng cách !t nóng,
va ch m ho c b c x , toàn b ho c m t ph n n4ng l ng có th b nguyên t h p
th làm chuy n m t i n t c a nguyên t t m c n4ng l ng th p lên m c n4ng
l ng cao h$n, k t qu là nguyên t tr ng thái b kích thích. N u n4ng l ng
l(n, nguyên t có th b m t m t i n t và tr thành ion d $ng.
N4ng l ng t $ng ng Wi làm cho nguyên t m t i n t g i là n4ng l ng ion
hóa (eV). Giá tr c a Wi ph thu c vào b n ch t c a nguyên t và thay i trong
kho ng t 24,5 eV ( !i v(i heli) n 3,9 eV ( !i v(i cezi). M t nguyên t , sau khi
ã m t m t i n t và tr thành ion d $ng, có th ti p t c m t thêm m t i n t th
hai, th ba và g i là nguyên t ion hóa hai, ba l n… N4ng l ng ion hóa nh*ng l n
sau l(n h$n b i vì ph i làm b t ra các i n t t nh*ng m c sâu h$n.
Ion hóa do va ch m v i i n t
Khi có va ch m àn h i gi*a i n t n4ng l ng W v(i nguyên t cô l p gi thi t là
b t ng và không tr ng thái b kích thích, m t ph n Wi c a n4ng l ng ó có th
b h p th ion hóa nguyên t , ph n còn l i t n t i d (i d ng ng n4ng c a i n
t và c a c p i n t -ion m(i hình thành. i u ki n ion hóa là W >> Wi. Tuy nhiên
không ph i t t c các va ch m gi*a i n t và nguyên t u gây ra hi n t ng ion
hóa. Ngay c khi i u ki n nêu trên c th"c hi n, s" phân chia n4ng l ng sau
khi va ch m có th x y ra m t cách khác nhau, nguyên t ch' b tr ng thái kích
thích và ph n n4ng l ng còn l i t n t i d ng ng n4ng. Xác su t ion hóa ph
thu c vào b n ch t c a ch t khí và n4ng l ng c a i n t s$ c p. Trên th"c t
ng #i ta xác nh h s! ion hóa Si c a m t ch t khí là s! c p i n t -ion t o ra b i
m t i n t s$ c p có n4ng l ng cho tr (c trên m t $n v quãng #ng m t $n
v áp su t. Hình 1.28 bi u di1n #ng cong thay i c a h s! ion hóa ph thu c
vào n4ng l ng c a i n t s$ c p và b n ch t c a ch t khí.

Si Si C2H2
10 NO
L’
Ar
Ne
1 H2
He
10-1
a)
L 10-2 b)
Wmin Wmax 10 102 103 104 W(eV)
Hình 1.28 H s ion hóa:

a) S ph thu c c a h s ion hóa vào n#ng l ng c a i n t s c p;
b) $nh h ng c a b n ch t ch t khí.
Khi áp su t l(n, p ≥ 1Pa, các ion và các i n t th c p có th ti p t c ion hóa các

nguyên t khác làm cho quan h gi*a dòng ion và áp su t tr nên không $n gi n.
Khi áp su t th p, p ≤ 10-1 Pa, quãng #ng t" do c a các i n t l(n nên có th b%
qua hi n t ng ion hóa th c p, dòng ion là hàm tuy n tính c a áp su t.
Ion hóa do phóng x
B c x c a m t s! ch t phóng x , thí d tia 5, có kh n4ng ion hóa phân t và
nguyên t c a ch t khí. N4ng l ng c a tia r t l(n (5,3 MeV !i v(i poloni và 4,8
MeV !i v(i ra i), cho nên khi va ch m àn h i v(i phân t c a ch t khí, m t hat
có th t o nên r t nhi u c p i n t -ion tr (c khi m t m t ph n áng k n4ng l ng
c a nó và b b7t gi* b i thành c a bình ch a ch t khí. S! c p i n t -ion l(n g p
104 l n so v(i tr #ng h p ion hóa do va ch m c a i n t
S! c p i n t -ion sinh ra d (i tác d ng c a b c x ph thu c vào ho t tính c a
ngu n, quãng #ng mà h t i qua trong ch t khí và là hàm c a b n ch t và áp su t
c a ch t khí. N u áp su t p ≤ 103 Pa, dòng ion t6 l v(i áp su t. V(i áp su t l(n
h$n, hi u su t ion hóa gi m i do hi n t ng trung hòa các ion khi chúng tái h p
v(i i n t .
b) Chân không k catot ngu i – Chân không k Penning
Chân không k catot ngu i có c u t o bao g m m t !ng trong ó có catot và anot
b/ng kim lo i ph.ng c t song song v(i nhau, gi*a chúng là hi u i n th cao c=
~ 2000V. Ngoài ra còn có m t i n tr c= MI m7c n!i ti p v(i u o h n ch
dòng. Nguyên lý c u t o c a chân không k catot ngu i bi u di1n trên hình 1.29.

% '
& &
( )
& &
Hình 1.29 Chân không k catot ngu i.
D (i áp su t p > 5.10-1 Pa và i n tr #ng l(n, gi*a anot và catot x y ra phóng i n

kèm theo hi n t ng phát quang t tr ng. S" phóng i n này c m i b i m t s!
i n t phát sinh do hi n t ng quang ion hóa các phân t khí khi có b c x chi u
qua !ng ho c do các i n t phát sinh nh*ng ch g gh r t nh% trên b m t catot
n$i có i n tr #ng cao h$n nh*ng ch0 khác. Nh*ng i n t c gi i phóng do ion
hóa khi va ch m và các i n t phát ra khi các ion p vào catot s3 duy trì ch
phóng i n này.
Khi p < 5.10-1 Pa, s" phóng i n ch m d t và dòng ion r t nh% vì quãng #ng t"
do c a các i n t trong ch t khí x p x' b/ng kho ng cách gi*a hai i n c"c nên
chúng không t o c p i n t -ion.
t4ng quãng #ng t" do c a i n t và do ó t4ng h s! ion hóa Si, Penning t
xung quanh !ng phóng i n m t nam châm v+nh c u t o t tr #ng B ~ 0,1 tesla
vuông góc v(i i n c"c. D (i tác d ng c a t tr #ng, các i n t chuy n ng theo
qu8 o xo7n !c và quãng #ng i trong !ng c a chúng t4ng lên r t nhi u làm t4ng
xác su t va ch m v(i phân t và nguyên t khí do ó có th duy trì phóng i n n
áp su t 10-5Pa.
Trên hình 1.30 bi u di1n nguyên lý c a chân không k Penning !i x ng. Chân
không k Penning !i x ng có hai catot ph.ng d ng +a, gi*a chúng t m t anot
hình tr là n$i s3 x y ra phóng i n. C m ng t B h (ng theo tr c c a h . Tín
hi u i n là dòng i trong m ch gi*a anot và catot và là k t qu t ng c ng c a dòng
i n t thu t i anot và dòng ion thu c t i catot. T6 s! gi*a dòng i n i và áp su t
khá ph c t p và ph thu c nhi u vào c u trúc u o và b n ch t c a ch t khí. Tuy
nhiên nh y S =i/p t $ng !i n nh kho ng 3 b c c a áp su t và t giá tr
-2
≈ 5.10 A/Pa. Th#i gian áp ng c= ~0,5 s (khi chân không k ã phóng i n).

A
K2
K1
Hình 1.30 Chân không k Penning i x ng.
c) Chân không k catot nóng.

u o catot nóng có 3 i n c"c d ng hình tr ng tr c, trong ó:
M t c"c là catot c !t nóng b/ng hi u ng Joule và phát x i nt
theo hi u ng nhi t ion.
M t anot t d (i i n áp d $ng so v(i catot t4ng t!c i n t và thu
nh n i n t .
M t c"c góp thu các ion d $ng hình thành khi i n t chuy n ng va
p v(i phân t khí.
Ng #i ta phân bi t hai lo i chân không k khác nhau ph thu c vào v trí t $ng !i
gi*a các i n c"c.
Trong lo i triot bình th #ng, l (i kim lo i hình tr óng vai tr anot và bao quanh
catot có d ng m t s i !t n/m d c theo tr c c a hình tr , gi*a chúng là c"c góp,
ngoài cùng là v% b/ng kim lo i bao quanh toàn b c u trúc (h 1.31).
Lo i triot th hai, triot Bayard-Alpert, có c u trúc hình h c ng c l i v(i lo i th
nh t, trong ó v trí c a catot và c"c góp (t $ng ng v(i anot d ng l (i) hoán v cho
nhau: c"c góp là m t s i dây kim lo i n/m d c theo tr c c a l (i (h.1.32). Lo i th
hai ho t ng t!t h$n lo i triot bình th #ng.

anot
s i !t
c"c góp (catot)
ion
Hình 1.31 Chân không k ion hóa catot nóng lo i triot bình th ng.
−5
Lo i chân không k th nh t thích h p o áp su t p ≥ 10 Pa, lo i th hai m
r ng ph m vi o v phía áp su t th p 10-9 ÷ 10-8 Pa.
Ch i n áp trên i n c"c c a chân không k nh sau: l (i óng vai trò anot
c t d (i i n áp 150 ÷ 200 V so v(i c"c góp n!i t qua d ng c o catot có
i n th 30÷ 50 V so v(i c"c góp. Các i n t xu t phát t catot c t4ng t!c do
hi u th gi*a l (i và catot, n4ng l ng c a chúng gi m d n và chúng s3 b b7t t i
l (i. Ph n khác có n4ng l ng l(n h$n chui vào kho ng không gian gi*a l (i và
c"c góp, ion hóa ch t khí t i ó và m t n4ng l ng. C,ng có m t s! i n t không
b va ch m và có n4ng l ng c"c i không th i qua #ng .ng th ng v(i i n
th catot và quay ng c l i. Khi quay tr l i nh v y chúng s3 ion hóa phân t ch t
khí và b b7t t i l (i. i u này làm cho quãng #ng c a i n t t4ng lên và s! c p
i n t - ion c,ng t4ng theo. Các ion hình thành gi*a l (i và c"c góp ch y v c"c
góp t o thành dòng góp ii. Các i n t b b7t t i l (i t o thành dòng ic, dòng này
b/ng dòng phát x c a catot. S! ion hình thành trong quá trình ion hóa t6 l v(i s!
i n t ã gây nên s" ion hóa và v(i s! phân t khí, do ó t6 l v(i áp su t c a môi
tr #ng o:
ii= S.ie.p (3.8)

c"c góp ion
l (i
(anot) s i !t
(catot)
Hình 1.32 Chân không k ion hóa catot nóng lo i triot Bayard-Alpert.
T6 s! ii/ie g i là h s! chân không c a triot bình th #ng, nó luôn nh% h$n 1. H s! S

là nh y c a chân không k ( c o b/ng Pa-1 ho c mbar -1) ph thu c vào kích
th (c hình h c c tr ng c a chân không k và b n ch t c a ch t khí (thông qua h
s! ion hóa). Tr #ng h p triot bình th #ng, trong khí nit$, S ≈ 102 ÷ 5.102 Pa-1 ph
thu c vào các model khác nhau, v(i triot B-A S @103÷3.103 Pa. C hai lo i chân
không k u không cho giá tr tuy t !i và ph i chu)n tr (c khi s d ng.
d) Chân không k ion hóa b ng ngu n phóng x
Ngu n phóng x th #ng là mu!i ra i ho c poloni ch t o d (i d ng màng m%ng
trên m t t m kim lo i và c ph b/ng m t l(p kim lo i m%ng ch!ng 4n mòn
và ng4n c n s" khuy ch tán ch t phóng x ra bu ng chân không. T m kim lo i có
ngu n phóng x c g7n vào c a m t h p kim lo i hình tr chính là bu ng ion
hóa. S$ nguyên lý c u t o c a chân không k lo i ion hóa b/ng ngu n phóng x
bi u di1n trên hình 1.33.
C"c góp ion có d ng m t dây m nh c n!i v(i c"c âm so v(i bình ion hóa
(50 – 100 V). Nó ph i c cách i n t!t b i vì dòng ion r t nh%. Gi(i h n o c a
chân không k ion dùng ngu n phóng x n/m trong kho ng 10-3 ÷ 10-2 Pa. Gi(i h n
trên c a d i o liên quan n hi n t ng tái h p i n t -ion, còn gi(i h n d (i là do
có s" t n t i c a dòng i n d c a các i n t th c p sinh ra khi các h t b7n phá
c"c góp. Chân không k phóng x tuy $n gi n nh ng ít c s d ng vì lý do nguy
hi m phóng x .

anot
c"c góp ion
s
cách
i n bu ng ion hóa
ngu n phóng x
Hình 1.33 Chân không k dùng ngu n phóng x .
1.4.4 C m bi n b c x h t nhân
M0i nguyên t! phóng x là m t ngu n b c x h t nhân. Nh*ng b c x này ph
thu c vào b n ch t c a ngu n và c t o thành t các h t mang i n tích (nh h t
J, K) và không mang i n tích (nh n$tron, photon). Nghiên c u s" t $ng tác c a
các b c x v(i v t ch t cho phép phát hi n nh*ng b c x ó và xác nh môi tr #ng
v t ch t mà chúng i qua.
M t h nghiên c u b c x h t nhân bao g m m t ngu n, m t detector là c m bi n
phóng x và v t nghiên c u t v trí thích h p. M t ph n c a chùm tia t(i v t
nghiên c u c truy n ho c tán x n c m bi n phóng x h t nhân và do v y s3
ph n ánh m t s! thông s! v t lý c a môi tr #ng nh b dày, m t , m c vv…
&u i m n i b t c a các u o phóng x h t nhân là cho phép ti n hành phép o
m t cách không tr"c ti p, o trên m t v t chuy n ng, o qua thành bình và o
trong nh*ng môi tr #ng 4c bi t khó ti p c n nh môi tr #ng có áp su t l(n, nhi t
cao, có 4n mòn hóa h c…
1.4.4.1 u o b!ng ion hóa ch t khí
a) Nguyên lý chung
Trong m t th tích ch a ch t khí có hai i n c"c t d (i hi u i n th không i.
B c x h t nhân chi u t(i làm ion hóa ch t khí và gi i phóng ra các i n tích c
thu l i các i n c"c. Các i n c"c này th #ng có d ng hình tr : v% u o óng
vai trò catot th #ng xuyên n!i t, trong khi ó anot là m t s i dây m nh ng tr c
c t d (i m t i n áp nh t nh.

N4ng l ng trung bình Wl c n thi t t o c p i n t -ion m t m t ph thu c vào

b n ch t c a ch t khí, m t khác, m c th p h$n, ph thu c vào n4ng l ng và
b n ch t c a h t chi u t(i. Thí d : t o c p ion b/ng h t c a poloni nh*ng môi
tr #ng khác nhau òi h%i n4ng l ng trung bình khác nhau:
35,6 eV trong không khí;
29,7 eV trong khí neon;
23,6 eV trong khí xenon.
N u h t m t m t n4ng l ng W khi i qua ph n th tích c a u o thì nó t o ra N0
c p i n t - ion:
W
N0 = (4.1)
Wl
Các h t i n tích này chuy n ng trong i n tr #ng E v(i t!c ph thu c vào
i n tr #ng, vào b n ch t và áp su t c a ch t khí. T!c c a i n t l(n h$n r t
nhi u so v(i t!c c a ion, ve >> vi, cho nên i n t t t(i anot tr (c khi ion di
chuy n c m t kho ng không áng k .
N u c p i n tr #ng m nh, các i n t thu c n4ng l ng l(n t o ra
nh*ng c p i n t - ion m(i (do va ch m v(i phân t khí): N i n t s3 gây ra dN
c p i n t - ion m(i trên quãng #ng dx:
dN = J.N.dx (4.2)
Trong ó J là h s! ph thu c vào áp su t p, i n tr #ng E và b n ch t c a ch t khí
theo bi u th c:
α Bp
= A. exp − (4.3)
p E
Trong ó A và B là các h/ng s!. Quá trình ion hóa th c p này x y ra trong không
khí ngay t khi t6 s! E/p >22,5 mV/cm.Pa (t $ng $ng 2300 V/cm áp su t
1 atm). !i v(i N0 c p i n t - ion t o thành trong th tích khí có ích c a u o,
s! i n tích N thu c i n c"c và biên tín hi u ra ph thu c vào i n áp trên
i n c"c. Tùy thu c vào giá tr c a V ng #i ta phân bi t các ch làm vi c khác
nhau c a u o (hình 1.34):
Vùng I: E t $ng !i nh%, m t ph n i n t và ion tái h p tr (c khi n c i n
c"c, N < N0.
Vùng II: t t c các i n tích hình thành u n c i n c"c và b thu gom ó
không ph thu c vào i n th V, N = N0. Ch này g i là ch bu ng ion hóa.

Vùng III: trong vùng này có s" nhân h t t i do va ch m, N = MN0, h s! nhân M

không ph thu c vào N0 và có th t t(i 103. ây là ch m t6 l .
Vùng IV: trong vùng này h s! nhân M ph thu c vào N0, ây là ch bán t6 l .
Vùng V: tín hi u ra c a u o không ph thu c vào N0, ây là ch m Geiger-Muller.
Vùng VI: trong vùng này ch ho t ng không n nh, x y ra hi n t ng phóng
i n khi i n th t giá tr i n th phóng i n.
N
IV V
VI
III
II
I
N0
V
Hình 1.34 Các ch làm vi c c a u o b c x h t nhân b ng ion hóa ch t khí.
b) Bu ng ion hóa
Khi ch t khí ch a trong u o ch u nh h ng c a lu ng h t b c x chi u liên t c,
t i anot s3 thu c dòng i n I. Dòng này t6 l v(i s! h t b c x t(i th tích khí
trong m t giây và v(i s! N0 c p i n t -ion do m t h t t o thành:
I = qe.n.N0 (4.4)
Trong ó qe = 1,6.10-19 C.
Trong tr #ng h p b c x tia X ho c tia J, dòng i n I có th bi u di1n d (i d ng
bi u th c:
k .v. p.D −3
I= .10 (4.5)
1,08
Trong ó:
I o b/ng A;
K là h/ng s! c a ch t khí, k = 1 !i v(i không khí;

V là th tích h*u ích c a c u o (th tích ch a ch t khí);

P là áp su t o b/ng atm;
D là li u l ng b c x trong m t $n v th#i gian và c o b/ng r$ghen/h.
Dòng i n I có giá tr n/m trong kho ng 10-15 ÷ 10-4 A và ph thu c vào D nh ng
không ph thu c vào i n th trong m t d i c= hàng tr4m vôn. Tín hi u o là tín
hi u i n áp Vm r$i trên i n tr Rm khi dòng i n này ch y qua. i n tr Rm ph i
có giá tr r t l(n, Rm > 1010I.
Khi ch t o bu ng ion hóa, tùy thu c vào b n ch t c a b c x c n phát hi n, ng #i
ta ch n ch t khí, áp su t và c a s chi u thích h p sao cho t hi u qu phát hi n
cao nh t. Hi u qu phát hi n c xác nh nh là t6 s! gi*a s! xung phát ra và s!
h t chi u t(i.
D (i ây gi(i thi u các thông s! ch t o bu ng ion hóa dùng cho m t s! lo i khí:
B c x J và K : không khí d (i áp su t p nh% h$n ho c b/ng áp su t khí
quy n, c a s m nh b/ng nhôm ho c beri;
B c x tia X: ch t khí n ng (Ar, Xe) v(i áp su t p nh% h$n ho c b/ng áp
su t khí quy n, c a s m nh b/ng beri;
B c x tia 5: ch t khí n ng,(Ar,Xe) d (i áp su t p l(n h$n ho c b/ng áp
su t khí quy n, thành bu ng có dày c= quãng #ng t" do trung bình
c a i nt .
có khái ni m c th , sau ây là m t thí d th"c t : bu ng ion hóa CRGA11 dùng
cho lu ng tia m nh (s n ph)m c a hãng R.T.C):
Th tích có ích: 10 cm3;
Khí i n y bu ng: Nit$, áp su t 1,05 bar;
i n áp phân c"c: 600V;
nh y (tia c a 600Co): 1,5.10-12 A/R.h-1;
Li u l ng c"c i: 1,08. R.h-1.
o dòng do bu ng ion hóa cung c p ng #i ta s d ng m ch chuy n i dòng -
i n áp (hình 1.35).

Rm
ch'nh 0
ch'nh d i o
500V
Hình 1.35 S ghép n i v!i bu ng ion hóa.
i u ki n c n thi t là dòng I ph i không quá nh%. D ng xung i n u ra ph thu c vào:

H/ng s! th#i gian RmC xác nh b i i n tr t i Rm và t ng i n dung c a
bu ng v(i i n dung u vào c a thi t b o.
Th#i gian gom i n t anot (t1 ≈ 10-6s) và gom ion d $ng catot
(t2 ≈ 10-3s).
&u i m c a bu ng ion hóa là th tích h*u ích l(n và tuy n tính áp
ng t!t. Hi u su t phát hi n s p x' 1 !i v(i tia J, 0,8 ÷ 0,9 !i v(i tia K
và 10-2 !i v(i tia 5.
c) ng mt l
Nguyên lý c a !ng m t6 l d"a vào vi c s d ng hi u ng nhân (do va ch m) s!
ion N0 hình thành khi có chùm tia b c x chi u vào ch t khí. H s! nhân M (n/m
trong kho ng 102 ÷ 103) ph thu c vào b n ch t c a ch t khí và t4ng theo áp su t và
i n áp. Quá trình khuy ch i này có th l(n cho phép phát hi n ch' m t b c
x duy nh t. Fng v(i N0 ion t o thành, i n tích thu c Q = MN0qe và i n áp
Vm = MN0qe/C, trong ó C là i n dung u ra c a !ng m. Thí d : M = 500,
N0 = 200, C = 10 pF, Vm = 1,6 mV.
Biên xung ra t6 l v(i n4ng l ng mà h t m t i khi nó i qua th tích h*u ích
c a u o. S" phân bi t biên c a xung ra cho phép l"a ch n h t trong s! các h t
t(i khác nhau, thí d cho phép phát hi n b c x J (N0 l(n) trong khí có m t các b c
x K và 5 (N0 nh%).
d) ng m Geiger-Muller
Khi i n tr #ng t vào m nh, các ion s$ c p nh n c n4ng l ng l(n
kích thích t o ra các ion th c p do va ch m. Các ion này l i phát ra photon (trong
gi i ph c"c tím UV). n l t mình, các photon UV này gây nên hi u ng ion hóa

ch t khí (hi u ng quang i n và phát x i n t t v t li u kim lo i làm catot. K t

qu là x y ra hi n t ng thác l,, c bi t d c theo dây anot, t o nên tín hi u u
ra có biên (t 1 n 10 V) không ph thu c vào s! ion s$ c p N0 t o thành khi
h t phóng x chi u t(i. ng m G-M ch' dùng phát hi n h t ch không dùng
o n4ng l ng c a h t.
d ng dòng thác l, có th p d ng m t trong hai cách:
Tr n vào ch t khí c a !ng m (th #ng là khí hi m) m t lo i khí khác,
thí d khí halogen, h p th b c x tia c"c tím và d ng dòng thác l,,
!ng m s3 t" ng7t.
M7c vào m ch anot m t i n tr Rl t $ng !i l(n, t 2 n 10 MI. Khi
x y ra hi n t ng thác l,, s t th trên Rl s3 làm i n áp gi*a catot và anot
xu!ng th p h$n i n áp ng =ng.
Ph thu c vào i n áp V t trên !ng m, ch G-M có th kéo dài hàng tr4m
vôn, ng =ng d (i n/m trong kho ng ~300÷400 V và gi(i h n trên trong ph m vi
~ 700÷900V. Trong d i i n áp này, !i v(i m t b c x h t nhân cho tr (c, t6 l
m n (s! xung trong m t giây) ít ph thu c vào i n áp V:
1 dn
= < 10 − 4 V −1 (4.6)
n dV
Nguyên lý c u t o c a !ng m G-M bi u di1n trên hình 1.36. i n tr anot R1,
ngoài tác d ng t7c hi n t ng thác l, nh v a gi(i thi u còn có tác d ng b o v .
i n tr catot R2 là i n tr o có giá tr ~0,1÷1 M. Biên xung i n áp V2 trên
hai u i n tr R2 c bi u di1n b/ng bi u th c:
R2
V2 = .E ( E − V S ) (4.7)
R1 + R2
Trong ó E là i n áp nuôi anot và Vs là i n áp ng =ng c a d i i n áp làm vi c.

catot
E
C1
R1 Cp1
anot
catot
C2 u ra
dây anot
c a s mica R2 Cp2
Hình 1.36 %ng m Geiger-Muller: a) s c u t o; b) m ch i n.

tránh bi n d ng xung ký sinh (CP1,CP2) c a i n c"c và dây d2n gây nên, ng #i

ta thêm vào m t m ch bù tr g m hai i n dung C1 và C2 c ch n sao cho:
(CP1+ C1)R1 = (CP2+ C2)R2 (4.8)
Xung ra c t tr ng b i th#i gian xung lên ng7n (~µs), th#i gian xung xu!ng d i
o c n d p t7t phóng i n (~50 ÷150 µs).
1.4.4.2 u o nh p nháy
u o nh p nháy là m t h bao g m b nh p nháy và b nhân quang (h. 1.37). B
nh p nháy c làm t m t v t li u cho phép chuy n i n4ng l ng c a h t t(i
thành photon ánh sáng và có b (c sóng gi*a xanh và c"c tím. Các photon t(i
photocatot c a b nhân quang làm phát x i n t ó, s! l ng c a chúng sau ó
c nhân lên do phát x th c p và c thu l i anot hình thành tín hi u i n
u ra c a u o nh p nháy.
S" phát sáng c a b nh p nháy là hi n t ng phát quang: n4ng l ng t(i làm cho
nguyên t ho c phân t chuy n sang tr ng thái kích thích, khi tr v tr ng thái c$
b n chúng phát ra photon.
v% ch7n
sáng
c as
ch7n sáng tín hi u
C
R
!ng nhân quang

ph n x
ánh sáng
Hình 1.37 u o nh p nháy.
Trong m t s! ch t h*u c$ (antraxen, toluen), phát quang là tính ch t phân t và xu t

hi n c tr ng thái r7n và tr ng thái l%ng. Trong nh*ng ch t vô c$ (sulphua k3m
ZnS, NaI) phát quang là hi n t ng ch' x y ra trong tinh th do có s" t n t i c a
khuy t t t là các tâm kích ho t (t p, b t !i x ng…). phát hi n các h t tích i n
ph i dùng ZnS và các v t li u h*u c$ nhG nh antraxen. Các h t c phát hi n
m t cách gián ti p b/ng hi u ng nh p nháy gây nên b i các i n t c gi i
phóng do hi u ng quang i n trong v t li u NaI và CsI. Ng #i ta c,ng phát hi n
các n$tron nhi t nh# h0n h p c a bor (10B) và sulfua k3m (ZnS), hi u ng nh p
nháy gây nên do các h t phát ra khi v t li u b h t n$tron nhi t b7n phá.

K t h p hi u ng nh p nháy và nhân quang

Gi thi t m t h t t(i truy n n4ng l ng W cho b nh p nháy, h t s3 làm phát x ns photon:
W W
ns = = rs . (4.9)
W1 hv
Trong ó rs là hi u su t phát quang. Trong s! ns photon này, ch' có nk photon n

c photocatot:
nk
= r0 (4.10)
ns
r0 g i là hi u su t chuy n i quang.
N u có nk photon n c catot, chúng s3 gây ra ne i n t phát x :
ne = çk.nk (4.11)
trong ó çk là hi u su t l ng t c a photocatot. Thông th #ng çk n/m trong kho ng
~10% ÷30% ph thu c vào thành ph n c u t o c a nó.
S! i n t thu c t i anot c tính b/ng bi u th c:
W
na = M .ne = M .η k .r0 .rs . (4.12)
hv
Trong ó M là h s! khuy ch i c a b nhân quang.
Thí d : !i v(i h t 5 MeV truy n n4ng l ng cho b nh p nháy làm b/ng sulfua
k3m, các h s! có giá tr nh sau:
rs= 28 %, hv = 3 eV (= 0,45 µm), ns = 4,7.105
r0= 30 , nk = 1,4.105,
çk =10 %, ne = 1,4.104,
M = 106, na = 1,4.1010.
c i thi n hi u su t chuy n i quang r0 c a u o nh p nháy (t(i 30 %) ph i k t
h p hai bi n pháp:
Gi m s" m t mát ánh sáng b/ng cách t4ng ph n x c a b m t b
nh p nháy;
m b o n!i v(i b nhân quang b/ng “ m quang” có chi c su t n/m
trong kho ng gi*a chi c su t c a b nh p nháy và chi c su t c a th y
tinh làm v% b nhân quang.

&u i m c a u o nh p nháy là t6 l m cao và hi u su t phát hi n l(n !i v(i

tia gama. Nh c i m c a u o lo i này là có c u t o ph c t p vì ph i dùng b
nhân quang.
1.4.5 C m bi n " #m
)m cao c a không khí và c a ch t khí nói chung có th có h u qu nghiêm tr ng
!i v(i các quá trình lý hóa và sinh lý. B i v y o )m là i u b7t bu c trong
nhi u thi t b và môi tr #ng làm vi c vì nh*ng lý do có th li t kê d (i ây.
Trong #i s!ng, )m t $ng !i c n ph i duy trì m b o c m giác d ch u cho
con ng #i thay i trong m t kho ng t $ng !i r ng: t 35% n 70%. N u )m
t $ng !i th p h$n 35%, b máy tiêu hóa b kích thích, còn n u l(n h$n 70% thì s" ra
m h$i s3 b gi m nghiêm tr ng. Nói chung )m nh h ng n tiêu th n4ng
l ng: )m càng cao thì càng t!n phí n4ng l ng có cùng i u ki n môi tr #ng.
Trong công nghi p, các i u ki n v )m r t khác nhau ph thu c vào s n ph)m
c th . Trong m t s! tr #ng h p, ph i duy trì )m không i trong môi tr #ng
làm vi c, thí d , trong công nghi p d t, b i vì s" thay i )m làm thay i các
c tính c a s i (nh s c c4ng c$ h c). Trong công nghi p th"c ph)m, i u ki n
b o qu n th"c ph)m t!i u ph thu c vào lo i s n ph)m, th #ng là nhi t
T = 0 0C và )m trong kho ng 85-90%. )m cao quá làm cho th"c ph)m b
h%ng, và th p quá làm gi m tr ng l ng do bay h$i n (c.
V n phát hi n v t h$i n (c: trong nhi u quá trình công nghi p, vi c tránh v t h$i
n (c trong không khí ho c trong các ch t khí (cacbon, etylen, khí t" nhiên…) là r t
quang tr ng, b i vì s" có m t c a h$i n (c m t l ng áng k có th gây nên
nh*ng ph n ng ph ho c gây nên quá trình ng ng t . Nhu c u phát hi n )m r t
nh% c ph n tri u th tích (ppm) c bi t quan tr ng !i v(i m t s! ng d ng công
nghi p nh n4ng l ng h t nhân, vi i n t , luy n kim, gia công nhi t, i n áp cao.
1.4.5.2 Phân lo i #m k
Có th phân chia )m k thành hai lo i chính:
Lo i th nh t d"a trên nguyên lý v t lý cho phép tr"c ti p xác nh
)m, thí d )m k ng ng t , )m k i n ly.
Lo i th hai có nguyên lý d"a trên vi c o tính ch t c a v t có liên quan
n )m, thí d )m k bi n thiên tr kháng.
Các lo i )m k khác nhau này, tùy theo nguyên t7c ho t ng, cho phép ti p c n v(i
m t trong nh*ng thông s! c a không khí )m ã mô t m c tr (c. Các thông s!
c a không khí )m và lo i )m k thích h p o chúng c li t kê nh sau:

Nhi t hóa s $ng Td o b/ng )m k ng ng t , )m k h p th , )m k

ôxit nhôm và )m k i n ly;
Nhi t )m Th o b/ng psychromet;
)m t $ng !i U o b/ng )m k bi n thiên i n tr và )m k bi n thiên
i n dung.
Nói chung r t khó so sánh các lo i )m k khác nhau b i vì chúng o các thông s!
khác nhau c a không khí )m. Tr (c khi ch n m t )m k c n ph i bi t thông s!
chính mu!n o ch n l"a thi t b cho phép o v(i sai l ch nh% nh t.
1.4.5.3 $m k ng ng t
a) Nguyên lý ho t ng và c u t o !m k
Khi làm l nh m t v t có th o nhi t m t cách liên t c cho n khi hình thành
l(p s $ng ho c l(p b4ng trên b m t c a nó. Ti p theo, n nh quá trình làm l nh
b/ng cách gi* tr ng thái cân b/ng gi*a không khí và l(p s $ng. Nhi t o c
chính là iêm s $ng Td (dew point) còn g i là i m b4ng giá Tf (frost point). B7t
u t i m s $ng này ng #i ta o áp su t h$i trong không khí )m.
Các )m k o i m s ong ch' áng tin c y khi chúng c t" ng hóa. Trên
hình 1.38 bi u di1n s$ nguyên lý và c u t o c a m t )m k t" ng theo nguyên
lý ng ng t .
Các ph n t c a )m k ng ng t bao g m:
G $ng b/ng kim lo i và h th!ng i u ch'nh nhi t c a g $ng;
C m bi n o nhi t c a g $ng ( i n tr platin ho c c p nhi t);
Ngu n phát chùm tia ánh sáng và u o quang.
Khi không có ng ng t h$i n (c, ngu n sáng chi u vào g $ng sao cho tia ph n
x không chi u n u o. Lúc này h th!ng i u khi n phát tín hi u làm l nh
g $ng (b/ng hi u ng Peltier ho c b/ng nit$ l%ng) cho n khi xu t hi n s" ng ng
t . Khi xu t hi n l(p s $ng trên b m t g $ng, ánh sáng b tán x n u thu
quang kích thích phát tín hi u nung nóng g $ng thông qua b i u khi n. Khi nhi t
g $ng t4ng, l(p s $ng bi n m t cùng v(i s" ch m d t hi n t ng tán x ánh
sáng và m t chu k> làm l nh m(i l i c b7t u. B/ng cách hi u ch'nh thích h p
có th nh n c l(p ng ng t có b dày c! nh và t o ra tr ng thái cân b/ng gi*a
h$i n (c và l(p ng ng t . C m bi n nhi t t phía sau g $ng cho phép xác nh
nhi t c a g $ng.

ngu n sáng g $ng
c m bi n B i u khi n
nhi t
ngu n nuôi làm ngu i

kh!i quang nung nóng
t bào quang d2n
c as
g $ng
khí
i n tr o nhi t
!t
làm ngu i
Hình 1.38 &m k ng ng t .
b) Các y u t nh h ng.
Gra ient nhi t và s" dò nhi t nh h ng r t m nh n chính xác c a u o.
Theo lý thuy t, nhi t hóa s $ng là nhi t c a b m t phân biên gi*a không khí
và n (c. Tuy nhiên trên th"c t luôn luôn t n t i gra ient nhi t gi*a b m t này
và c m bi n nhi t vì nó t sau g $ng. y là ch a k n sai s! gây nên b i
hi u ng d2n nhi t c a dây d2n. Tuy v y, ây là sai s! h th!ng và có th lo i b%
b/ng cách chu)n )m k .
Khi i m hóa s $ng th p h$n 0 0C, n (c có th t n t i d (i d ng b4ng ho c d (i
d ng ch t l%ng ch m ông. Do v y, v(i cùng t6 l tr n r có th có hai i m cân
b/ng t $ng ng v(i các áp su t riêng ph n khác nhau. Trong tr #ng h p này, v(i
cùng t6 l tr n r cho tr (c, nhi t hóa s $ng và nhi t b4ng giá có th khác
nhau. tránh hi n t ng này có th áp d ng bi n pháp làm l nh nhi t r t th p
ch7c ch7n là ã t c tr ng thái r7n sau ó nâng lên nhi t óng b4ng.

Quá trình chuy n tr ng thái gi*a n (c và b4ng không nh t thi t ph i x y ra xung

quanh i m 0 0C. M t s! máy o có th làm vi c trong n (c ch m ông nhi t
th p h$n -10 0C. Các thi t b t!t còn c trang b thêm b ph n quang sát quang
h c làm vi c bình th #ng ngay c nhi t hóa s $ng.
c) Các c tr ng
ây là lo i )m k duy nh t có ph m vi o r t r ng, t -70 0C n 100 0C, th m chí
có th m r ng gi(i h n trên cao h$n n*a cho nh*ng ng d ng c bi t. Thí d , m t
s! )m k có th làm vi c 180 0C o nhi t hóa s $ng c a axit ho c o
d (i áp su t cao.
chính xác khi o i m hóa s $ng Td ph thu c vào chính xác khi o nhi t
và vào sai s! h th!ng. M t s! )m k có chính xác n
0 0
± 0,2 C. !i v(i nh*ng ch t có i m hóa s $ng cao h$n 20 C, th#i gian áp ng
c= kho ng vài phút. A -80 0C ph i m t 3 gi# v(i l u l ng 10 l/h hình thành
m t l(p b4ng 0,3 µm, t $ng $ng v(i th#i gian áp ng i u ki n này.
&u i m n i b t c a )m k ng ng t là có th làm vi c trong môi tr #ng 4n mòn
(thí d khí nhiên li u). Tuy v y, s" ph c t p v c u t o, giá thành cao, nhu c u hi u
ch'nh th #ng xuyên là nh*ng nh c i m chính làm cho )m k lo i này ch' cs
d ng trong phòng thí nghi m.
1.4.5.5 $m k bi n thiên tr kháng
Lm k bi n thiên tr kháng có ph n t nh y là ch t hút )m. Khi s d ng ng #i ta o
s" thay i c a m t tính ch t v t lý c a nó (nh i n tr ho c i n dung) ph thu c
vào )m c a môi tr #ng. Các ph)n t nh y c a c m bi n có kích th (c r t nh%
cho phép o g n nh theo i m v(i th#i gian áp ng nh%.
Các ch t hút )m có kh n4ng ch a l ng n (c thay i ph thu c vào )m t $ng
!i c a không khí. N u mu!n ch t o c m bi n d"a trên nguyên t7c này c)n ph i s
d ng các ch t có tính ch t i n là hàm c a l ng n (c (t c là )m), hàm này ph i
n nh theo th#i gian, có tính thu n ngh ch và tuy n tính.
"m k t i n Al2O3
Trong )m k lo i này, l(p i n môi là Al2O3 c ch t o b/ng ph $ng pháp anot
hóa t m nhôm, và b n thân t m nhôm óng vai trò là i n c"c th nh t c a t i n.
i n c"c th hai là m t màng m%ng kim lo i c ch t o trên m t kia c a l(p i n
môi (h.1.39a).

i n c"c ngoài
R1
C0
R0
R2 C2
i n c"c trong
Hình 1.39 &m k t i n Al2O3: a) s c u t o; b) m ch t ng ng.
Các k t qu nghiên c u cho th y, n u chi u dày l(p Al2O3 nh% h$n 0,3 µm thì thay
i tr kháng c a t i n ch' ph thu c vào áp su t riêng ph n c a h$i n (c và
không ph thu c vào nhi t , do v y có th o )m tuy t !i c a môi tr #ng.
Quá trình anot hóa t o l(p i n môi c th"c hi n b/ng cách i n phân dung
d ch axit sunfuric H2SO4 trong n (c dùng nhôm làm anot. Oxy hình thành trên i n
c"c Al s3 oxy hóa b m t i n c"c này thành Al2O3. Oxit nhôm là ch t cách i n
nên s3 t o thành nhi u i m ánh th ng làm cho l(p này có c u trúc x!p.
Thí d : trong b ch a axit H2SO4 n ng 15% nhi t 10 0C i n phân d (i
i n áp 15 V, s3 nh n c l(p ôxít nhôm x!p ch a 7,7.1010 l0 h ng trên di n tích
0
1 cm2, #ng kính l0 h ng thay i trong kho ng 100 ÷ 300 Α . Nh v y, t $ng
ng v(i b m t ngoài b/ng 1 cm2 s3 có b m t h p th b/ng 0,2 cm2.
thay i hình d ng và s" phân b! l0 h ng (t c là thay i tính ch t c a l(p i n
môi !i v(i )m) có th tác ng b/ng nhi u cách nh :
Thay i nhi t và n ng dung d ch i n phân ch a trong b ;
Thay i i n áp ngu n;
Thay i th#i gian oxy hóa anot;
Thêm vào ion ph gia vào dung d ch.
Các )m k ch t o theo ch nêu trên thích h p v(i )m th p. !i v(i ch
ng d ng này, yêu c u l(p i n môi ph i càng m%ng càng t!t. Vì v y sau khi oxy
hóa anot, l(p i n môi c mài c$ h c v(i m c ích gi m b dày làm cho c m
bi n ch' nh y nhi t hóa s $ng c a môi tr #ng bao quanh.

i n c"c th hai ph trên l(p i n môi Al2O3 th #ng là m t trong các kim lo i nh
Al, Cu, Au, Pt, Pd ho c h p ch t Ni-Cr.
Các c tr ng o l #ng chính c a )m k t i n s d ng ch t i n môi là Al2O3 nh sau:
Lm k cho phép o nhi t hóa s $ng Td trong ph m vi thay i t
-80 0C n 70 0C;
C m bi n c ch t o s d ng tr"c ti p t i i m c n o )m;
Th#i gian áp ng c= vài giây.
&u i m c a c m bi n này là có th làm vi c trong d i áp su t r t r ng, t chân
không n hàng tr4m bar.
Tuy nhiên, c n tránh s d ng c m bi n trong môi tr #ng có ch a các ch t 4n mòn
(nh NaCl, l u hu>nh) vì chúng có th 4n mòn nhôm và làm h h%ng ph n t nh y
c m c a )m k .
1.4.5.6 $m k i n ly
a) Nguyên lý ho t ng và ph ng pháp ch t o
Lm k i n ly dùng o l ng h$i n (c r t nh% trong không khí ho c trong ch t
khí. Ph n t nh y c m c a )m k là m t chi c !ng dài 10 cm, bên trong !ng có l(p
P2O5 (anhydride phosphoric) c cu!n hai i n c"c b/ng platin ho c ro i. S$
nguyên lý c u t o c a )m k i n ly bi u di1n trên hình 1.40.
Khi ch t khí nghiên c u ch y qua !ng o, h$i n (c s3 b l(p anhydride photphoric
h p th thành H2PO3. i n áp m t chi u c= 70 V t gi*a hai i n c"c s3 gây nên
hi n t ng i n phân n (c gi i phóng O2, H2 và tái sinh P2O5.
Theo nh lu t Faraday v t6 s! gi*a i n l ng ch y qua các i n c"c và l ng
n (c b i n phân, c n 96500 culong (c) phân ly m t gam hóa tr (9g) c a n (c
(1 phân t gam H2O hóa tr 2 ch a 16g O2 và 2 g H2). N u g i dme/dt là kh!i l ng
n (c b gi* (c,ng là l ng n (c b i n ly) trong m t $n v th#i gian thì c #ng
dòng i n phân I s3 là:
96500 dme
I= (5.1)
9.10 −3 dt
Và
dme
= α .CV .QV (5.2)
dt
Trong ó:
Dòng i n o b/ng A, dme/dt o b/ng kg/s;

QV là l u l ng khí (m3/s) i qua u o;

CV là n ng h$i n (c (kg h$i n (c/m3 không khí);
J là h s! gi* phân t n (c trong l(p P2O5. N u t!c khí không i, !i
v(i m t c u trúc hình h c, h s! J không i, do ó có th xác nh b/ng
cách chu)n u o.
v% thép
u n!i i n không r' i n c"c
Hình 1.40 S nguyên lý c u t o c a 'm k i n ly.
Bi u th c c a dòng i n I cu!i cùng có th vi t thành:

96500
I= .α .CV .QV (5.3)
9.10 −3
Hay là
I = k.CV (5.4)
Trong ó
96500
k= .α .QV (5.5)
9.10 −3
!i v(i m t th tích không khí cho tr (c, dòng i n phân t6 l v(i n ng h$i
n (c bi u di1n b/ng kg h$i n (c/m3 không khí.
b) Các c tr ng
Lm k lo i này c bi t thích h p v(i các ch t khí ch a l ng h$i n (c r t nh%.
Gi(i h n d (i c a d i o b h n ch b i các v n h p th và nh h$i n (c trên
#ng d2n khí, thí d , các phép o công nghi p không th th"c hi n c khi nhi t
0
hóa s $ng h xu!ng t(i -70 C (v(i n ng 10 ÷20 ppm).

M c dù s d ng !ng d2n khí b/ng thép không r', các hi n t ng h p th v2n làm
t4ng th#i gian c n thi t t t(i tr ng thái cân b/ng (24 gi# !i v(i n ng nh%
0
h$n 10 ppm và Td <-70 C).
Th#i gian áp ng ph thu c ch y u vào h (ng thay i )m:
N u theo h (ng t4ng )m (gi*a 100 và 1000 ppm) th#i gian áp ng
nh% h$n 30 s);
N u theo h (ng gi m )m (gi*a 1000 và 100 ppm) th#i gian áp ng
t4ng lên và có th t t(i vài phút.
Theo nguyên lý làm vi c c a u o, ch t P2O5 c t" ng tái sinh th #ng xuyên.
Tuy v y th#i gian s!ng c a l(p này có gi(i h n cho nên ph i tái sinh nó theo chu k>.
T n s! tái sinh ph thu c vào i u ki n s d ng và s ch c a ch t khí phân tích.
Có th gi m t n s! này b/ng cách s d ng b l c b/ng thép không r' k t dính.
Lm k i n ly c s d ng o )m c a r t nhi u lo i khí nh nit$, hy ro,
metan, CO2, các ch t khí làm l nh (freon), không khí… M t s! ch t khí không dùng
c v(i )m k i n ly vì chúng làm h h%ng u o ho c làm thay i ho t ng
c a nó, thí d khí amoniac, h$i r u (các ch t này tác d ng v(i P2O5).
1.4.6 C m bi n i n hóa
C m bi n i n hóa là m t v t d2n i n c t trong môi tr #ng nghiên c u n$i s3
x y ra quá trình trao i i n tích gi*a các h t tích i n có m t trong môi tr #ng và
c m bi n. S" thay i n4ng l ng t" do phân biên (là k t qu c a quá trình v n
chuy n h t d2n) c c m bi n thu nh n và truy n qua h o d (i d ng tín hi u
i n (dòng i n ho c i n th ).
1.4.6.1 C m bi n i n th
Các c m bi n i n th d"a trên nguyên t7c xác nh s" khác nhau v i n th gi*a
i n c"c o và i n c"c so sánh (là i n c"c có i n th không i và có tính l p l i
khi nó c t trong môi tr #ng nghiên c u). S" khác nhau v i n th gi*a hai i n
c"c là hàm c a ho t c a các ion trong ch t i n phân n$i t c m bi n. i u ki n
ho t ng c a c m bi n i n th là không có dòng i n trong m ch o, vì th ng #i ta
còn g i nó là c m bi n có dòng i n b/ng 0.
a) Nguyên t c chung
o i n th là ph $ng pháp d"a trên vi c o s" khác nhau v th gi*a hai i n c"c
t trong m t dung d ch. Th c a m t i n c"c là hàm c a n ng ion có trong dung
d ch cho nên vi c o i n th c a các i n c"c cho phép xác nh n ng dung d ch
ho c theo di s" thay i c a n ng trong quá trình di1n ra ph n ng hóa h c.

Ph n ng oxy hóa kh là ph n ng trao i i n t tuân theo ph $ng trình:

1
Ox + ne ↔ Re d (6.1)
2
Trong ó Ox là ch t oxy hóa, và Red là ch t kh . Theo h (ng (1), ch t nh n i n t

óng vai trò ch t oxy hóa và nó b kh . Theo h (ng (2), ch t nh #ng i n t óng
vai trò ch t kh và nó b oxy hóa.
Khi nhúng m t i n c"c kim lo i không b 4n mòn vào trong dung d ch oxy hóa
kh , các i n t c trao i gi*a i n c"c và dung d ch gây nên ph n ng i n
hóa. Sau m t th#i gian s3 t t(i tr ng thái cân b/ng trong ó ph n ng trao i
Ox + ne MRed (6.2)
X y ra cùng t!c v(i ph n ng trao i ng cl i
Red - neMOx (6.3)
Vào th#i i m này thành ph n dung d ch g n i n c"c không thay i n*a và i n
c"c t c th cân b/ng E.
#nh lu$t Nernst
Nói chung trong m t dung d ch hòa tan, các ion ng x gi!ng nh các phân t trong
ch t khí lý t ng. N u áp su t th)m th u c a lo i ion này l(n h$n áp su t th)m th u
c a lo i ion khác thì s3 x y ra s" trao i i n t i n c"c bù tr cho s" chênh
l ch áp su t ó.
Gi s C1 và P1 là n ng và áp su t th)m th u c a ch t oxy hóa, C2 và P2 là n ng
và áp su t th)m th u c a ch t kh . N u P1>P2 thì ph n ng chi m u th trên
i n c"c là ph n ng (6.2). B i v y trên i n c"c s3 xu t hi n i n tích d $ng có
giá tr gi(i h n b i vì công w do ph n ng này cung c p s3 b bù tr hoàn toàn v(i
công c n ph i sinh ra l y t i n c"c d $ng m t i n t mang i n tích âm. !i
v(i m t ion có th bi u di1n b/ng bi u th c cân b/ng:
w = E.q (6.4)
Trong ó w là công do ph n ng cung c p, E là th cân b/ng và q là i n tích c a
i nt .
!i v(i m t ion-gam ta có:
W = E.N.q (6.5)
Ngh+a là W = E.F (6.6)
Trong ó N là s! Avoga ro (N = 6,02.1023) và F là h/ng s! Faraday (F = 96493
culong).

!i v(i c hai d ng c a ph n ng (6.1) nhi t không i s3 có m!i liên h :

RT
dW = dP (6.7)
p
Trong ó R là h/ng s! c a khí lý t ng, T là nhi t tuy t !i và P là áp su t liên

quan v(i n ng b i bi u th c:
P = k.C (6.8)
Do ó có th vi t
RT
dW = dC (6.9)
C
G i W1 và W2 là công th"c hi n ph n ng (1) và (2), khi ó
dW = dW1 + dW2 (6.10)
RT RT
dW = dC1 + dC 2 (6.11)
C1 C2
Do n ng t ng c ng luôn không i:
dC1 = -dC2 = dC (6.12)
RT RT
Và dW = dC + dC (6.13)
C1 C2
C1
Nên W = W0 + RT ln (6.14)
C2
t W0 = F.E0 (6.15)
RT C
Ta c: W = F . E0 + ln 1 (6.16)
F C2
So sánh hai bi u th c (6.6) và (6.16) ta tìm c bi u th c c a th cân b/ng:

RT C
E = E0 + ln 1 (6.17)
F C2
Khi trong ph n ng hóa h c có n i n t tham gia, bi u th c c a th cân b/ng s3 có d ng:

RT C
E = E0 + ln 1 (6.18)
nF C2
Các tính toán trên ây d"a trên gi thi t dung d ch là lý t ng. Tuy nhiên trên th"c
t h nghiên c u không ph i là lý t ng nh v2n th #ng x y ra. Trong nh*ng
tr #ng h p nh v y c n ph i thay n ng C b/ng ho t a theo bi u th c:
a = 5C (6.19)

Trong ó 5 là h s! c a ho t . Khi ó bi u th c c a h s! cân b/ng s3 tr thành:

RT a
E =E 0 + ln 1 (6.20)
nF a2
M t cách t ng quát, bi u th c c a nh lu t Nerst c vi t l i d (i d ng:

RT Ox
E = E0 + ln (6.21)
nF Re d
Trong ó (Ox) và (Red) là ho t c a ch t oxy hóa và ch t kh (t $ng ng), ngh+a là:

2,3RT Ox
E = E0 + log (6.22)
nF Re d
2,3RT
T6 s! g i là h s! Nernst, nó xác nh d!c c a áp ng i n c"c. d!c
nF
này có giá tr thay i ph thu c vào nhi t . A nhi t 25 0C h s! Nerst có gi tr
b/ng 59,16 mV.
i n c c so sánh
Trên th"c t không th o i n th c a m t i n c"c m t cách tr"c ti p: ch' có th
xác nh hi u i n th gi*a hai i n c"c kim lo i không b 4n mòn hóa h c ( i n
c"c ch' th ) và m t i n c"c so sánh (còn g i là i n c"c chu)n) có i n th không
i c g i là i m g!c.
Theo quy (c, ng #i ta s d ng i n c"c chu)n hydro xác nh i n th không.
Nó là m t i n c"c platin t trong dung d ch n (c c a các ion H+ có ho t b/ng
1 trong ó có dòng hy ro (v(i áp su t b/ng áp su t khí quy n) ch y qua và ti p xúc
v(i platin. Hi u i n th gi*a hai i n c"c này v(i dung d ch c c! nh giá tr
không. i n c"c chu)n hy ro ph i c s d ng c)n th n vì nó r t d b nhi1m b)n
và h h%ng, ng th#i vi c cân b/ng nó òi h%i nhi u th#i gian.
Trong th"c nghi m !i v(i các phép o thông th #ng ng #i ta dùng m t i n c"c
so sánh d s d ng h$n và có su t i n ng c xác nh chính xác, ó là i n
c"c calomel (h.1.41),sulfat th y ngân ho c clorua b c.
i n c"c so sánh calomel g m m t thân chính b/ng th y tinh i n y dung d ch
clorua kali bão hòa. Thân này cbt u phía d (i b/ng m t viên g!m x!p cho
phép ti p xúc tr"c ti p v(i dung d ch nghiên c u và thi t l p m!i liên h v i n.
Trong thân chính b/ng th y tinh có t ph n t so sánh là th y ngân ti p xúc v(i
clorua th y ngân:
Hg / Hg2Cl2 / KCl bão hòa (6.23)

u cách i n
l!i a dung
d ch vào
phích c7m i n
nút
dung d ch KCl
bão hòa
Calomel
(Hg2Cl2)
nút th y ngân
tinh th KCl d viên g!m x!p
Hình 1.41 i n c c so sánh Calomel
S" cân b/ng i n c"c calomel d"a trên ph n ng:

2HgN + 2Cl- O Hg2Cl2N + 2e (6.24)
Và i n th c a nó ch' ph thu c vào ho t c a các ion clo Cl-:
E = E0 – 0,058 log PCl-P (6.25)
Khi i n c"c c i n y clorua kali, i n th c a nó b/ng 244,4 mV 25 0C so
v(i i n th c a i n c"c chu)n hydro.
i n c"c so sánh dùng b c-clorua b c là m t dây b c ph clorua b c t trong dung
d ch ch a ion clo. Ho t ng c a i n c"c d"a trên ph n ng:
AgN + Cl- O AgClN + e (6.26)
Và i n th c a nó b/ng:
E = E0 – 0,058 log PCl-P (6.27)
i n th này ph thu c vào ho t c a ion clo trong i n c"c.
b) i n c c o th oxy hóa – kh
Khi o th oxy hóa – kh th #ng ph i s d ng i n c"c không b 4n mòn ho t ng
gi!ng nh v t cho và nh n i n t . N u i n c"c này c t trong m t dung d ch
ch a h s! oxy hóa – kh c n nghiên c u thì nó s3 có m t i n th v(i giá tr E xác
nh b i bi u th c (6.21). N u n ng ch t oxy hóa và ch t kh thay i thì vi c

o i n th c a i n c"c s3 cho phép theo dõi s" ti n tri n c a các ph n ng có kèm

theo s" thay i n ng c a m t trong nh*ng thành ph n tham gia ph n ng.
Vi c o hi u i n th gi*a i n c"c ch' th và i n c"c so sánh c th"c hi n b/ng
cách s d ng các milivôn k có tr kháng vào l(n. Các i n c"c ch' th hay s d ng
là các i n c"c kim lo i không b 4n mòn (vàng, platin, th y ngân, b c), cacbon
th y tinh hay graphit. Chúng có c u t o bao g m m t que b/ng platin (ho c vàng,
graphit…) n/m trong m t !ng th y tinh ho c polyme b o v sao cho ph n d (i c a
que (g i là ph n nh y c m) không b che ch7n có th ti p xúc v(i dung d ch.
i n c"c c n!i i n ra ngoài b/ng dây cáp d2n i n. Trên hình 1.42 bi u di1n
m t i n c"c kim lo i dùng o th oxy hóa kh .
i n c"c platin s d ng o i n th t -0,1 n 0,9 V, i n c"c vàng dùng cho
tr #ng h p khi i n th c n o n/m trong kho ng -1V÷ 0,3V. i n c"c b c cs
d ng th"c hi n các phép o trong dung d ch mà b c không tham gia vào các
ph n ng i n hóa, t c là trong dung d ch không ch a ion Ag+.
cáp i n
thân th y tinh
ph n nh y c m
(platin, vàng, graphit)
Hình 1.42 i n c c kim lo i.
c) i nc c o pH
pH (logarit c a ho t c a các ion H+) th hi n tính axit c a dung d ch. Trên
th"c t , vi c o pH th #ng xuyên c ti n hành trong nhi u l+nh v"c khác nhau
nh trong công nghi p hóa h c, nông nghi p, d c, hóa d u, sinh h c lâm sàng…
Ngay t n4m 1909 Haber ã nh n th y r/ng m t s! lo i th y tinh (có thành ph n
xác nh) là ch t d2n i n y u, i n th trên m t phân cách c a m t màng th y tinh
d2n i n v(i dung d ch n (c ph thu c vào pH c a dung d ch và tuân theo nh
lu t Nernst:
RT
E = E0′ + ln a H + (6.28)
F

Trong ó:
E 0′ là i n th chu)n c a i n c"c (v(i m t i n c"c so sánh cho tr (c);
aH là ho t theo ion H+ c a dung d ch nghiên c u.

i n c"c màng th y tinh có thành ph n chính là m t màng m%ng d ng hình c u,
hình tr ho c hình côn làm t th y tinh có thành ph n c bi t. Màng c hàn v(i
m t !ng th y tinh có i n tr cao. Th tích bên trong c a i n c"c (màng hình c u)
ch a dung d ch có pH ã bi t tr (c (th #ng pH~7) trong ó có t m t ph n t
so sánh n i (1.43).
cáp ng tr c
phích c7m
ng tr c
u cách i n
v% b c
ch t l%ng i n y (PH = 7)
ph n t so sánh
n i
ph n nh y c m
Hình 1.43 i n c c màng th y tinh.
o pH c a m t dung d ch, ch' c n 4t i n c"c màng th y tinh vào trong

dung d ch và o hi u i n th xu t hi n gi*a ph n t so sánh n i c a nó v(i i n
c"c so sánh cùng n/m trong dung d ch này. Mu!n v y, i n c"c th y tinh và i n
c"c so sánh c n!i v(i m t pH –met là m t milivôn k có tr kháng u vào r t
12
l(n (Ze Q 10 ) k t h p v(i m t m ch i n chuy n i tín hi u i n th thành i
l ng s! theo $n v pH.
1.4.7 C m bi n thành ph n khí
Các c m bi n o n ng c a m t thành ph n trong h0n h p khí phát tri n r t m nh,
c bi t liên quan n vi c ki m tra nhiên li u v(i m c ích ti t ki m n4ng l ng và
gi m ô nhi1m môi tr #ng. R t nhi u c m bi n thành ph n khí lo i m(i c nghiên
c u và ch t o phát hi n các phân t khí tiêu th ho c s n sinh ra trong quá trình
oxy hóa nhiên li u nh O2, CO, CO2, H2O, SO2, SO3, NOX, CHX…

Trong s! các c m bi n thành ph n khí, c m bi n oxy chi m v trí c bi t quan tr ng.

Vi c phân tích chính xác và nhanh chóng thành ph n oxy ã cho phép tri n khai ng
d ng r ng rãi các c m bi n oxy, c bi t các c m bi n dùng ch t i n phân r7n, trong
các l+nh v"c khác nhau nh công nghi p hóa ch t, luy n kim, công nghi p ch bi n
th"c ph)m, l+nh v"c hóa sinh, ki m tra môi tr #ng làm vi c trong các phòng thí
nghi m… Các c m bi n này dành c v trí u tiên áng k b i vì s" thành công v
m t k8 thu t và th $ng m i c a chúng có vai trò khích l trong nghiên c u các c m
bi n m(i, c bi t cho các lo i khí nh Cl2, SO2, HCl, H2S, H2…
Ho t ng c a các c m bi n o thành ph n khí ph i áp ng y các yêu c u sau ây:
Kh n4ng s d ng o liên t c (hay g n nh liên t c) tr"c ti p trong
môi tr #ng khí c n phân tích ho c o gián ti p trên m t lu n khí phân
nhánh v(i m c ích thay i m t s! thông s! v t lý c a nó (nh nhi t ,
áp su t, t!c l u thông, ho c tránh b i b)n…);
Không có các ch t gây ph n ng hóa h c;
Không có s" can thi p c a con ng #i t ng l n o (chu)n b m2u ho c
chu)n b phép o).
Xét trên nh*ng ch' tiêu này, ranh gi(i gi*a c m bi n và máy phân tích trong l+nh
v"c phân tích thành ph n khí không còn t n t i n*a.
Các c m bi n thành ph n khí có th phân thành các lo i sau:
C m bi n i n hóa dùng ch t i n phân r7n;
C m bi n i n;
C m bi n xúc tác;
C m bi n quang;
C m bi n thu n t .
1.4.7.1 C m bi n dùng ch t i n phân r n
Vi c s d ng ch t i n phân r7n trong m t c u trúc i n hóa o thành ph n khí
ã b7t u t th k6 20, song nh*ng phát minh quan tr ng trong l+nh v"c phân tích
khí ch' xu t hi n vào cu!i nh*ng n4m 50 và ph i i n th p k8 70 m(i ra #i các
c m bi n khí d (i d ng s n ph)m công nghi p. ó là các c m bi n dùng o áp
su t riêng ph n c a oxy trong kim lo i nóng ch y c s d ng r ng rãi trong
nghành công nghi p luy n kim. Trong nh*ng n4m cu!i th k6 20, vi c tìm ra các
v t li u m(i d2n i n b/ng ion O2- ã m ra nh*ng kh n4ng y tri n v ng cho vi c
nghiên c u và ch t o các c m bi n oxy v(i nh*ng tính n4ng u vi t h$n.

a) Nguyên lý v$t lý
#nh lu$t Nernst
S$ nguyên lý c a c m bi n i n hóa dùng ch t i n phân r7n d (i d ng c u trúc
X2(pss), C`/ PR/ C``, X2(p) (7.1)
bi u di1n trên hình 1.44.
Trong s$ này:
C` và C`` là hai i n c"c d2n i n b/ng i n t , tr$ v hóa h c và có
cùng b n ch t;
PR ( i n phân r7n) là v t li u không b th)m th u b i ch t khí, d2n i n
b4ng ion và ch a các ion X-n-;
X2 là ch t khí phân tích, d (i d ng nguyên ch t ho c hòa tan trong ch t
l%ng ho c tr ng thi cân b/ng v(i h khí hóa h c, ch t l%ng hay ch t r7n;
P và pss là áp su t c a ch t khí phân tích hai phía c a ch t i n phân r7n.
CHRT
I N PHÂN
R SN
C` C``
Hình 1.44 S nguyên lý c a c m bi n dùng ch t i n phân r n.
A m0i i n c"c s3 x y ra ph n ng d ng:

½ X2 (khí) + ne-( C) = X-n-( PR) (7.2)
Trong nh*ng i u ki n ho t ng lý t ng, gi*a hai i n c"c c a c u trúc này xu t
hi n m t hi u i n th ho c su t i n ng, Elt, tuân theo nh lu t Nernst:
RT p
Elt = ln (7.3)
2nF p ss
Trong ó:
R là h/ng s! c a ch t khí lý t ng (R = 8,32 J.mol-1. K-1);
F là h/ng s! Faraday (96500 c);

n là s! i n t trao i trong ph n ng i n c"c;

T là nhi t tuy t !i c a c u trúc.
Sau khi thay các h/ng s! vào công th c, bi u th c c a su t i n ng lý thuy t có d ng:
T p
Elt = 0,9926.10 − 4 log (7.4)
n p ss
T bi u th c c a Elt, n u bi t nhi t T và áp su t riêng ph n pss i n c"c so

sánh có th tính c áp su t c a khí c n o. Giá tr c a Elt n/m trong kho ng vài
ch c n hàng tr4m milivôn.
b) Các c tr ng
Các c tr ng o l %ng
Các c m bi n dùng ch t i n phân r7n phân tích thành ph n khí là các c m bi n
tích c"c. Trong quá trình c m bi n làm vi c ch phân lu ng ch' c n ki m tra
nhi t c a c m bi n. M!i quan h c$ b n c a các c m bi n lo i này là nh lu t
Nernst nh n c t lý thuy t. B i v y, m t khi ã bi t tr (c m t cách chính xác
giá tr c a áp su t so sánh thì không c n ph i chu)n c m bi n.
C m bi n cho tr"c ti p giá tr c a i n áp c= hàng tr4m milivôn. Vi c o i n áp
này ph i c th"c hi n m t cách chính xác (t(i ±0,1 mV), khi ó có th s d ng
c m bi n tr"c ti p trong các h th!ng i u ch'nh t" ng.
C m bi n có su t i n ng thay i theo logarit c a áp su t c a ch t khí c n phân
tích. Sai s! khi o su t i n ng s3 d2n n sai s! c a áp su t không ph thu c vào
giá tr c a áp su t.
Th#i gian áp ng c a c m bi n ph thu c vào tính ch t xúc tác c a v t li u i n c"c
và c a ch t i n phân, vào thành ph n c a ch t khí, nhi t và ôi khi vào hình h c
c a c u trúc c m bi n. Trong tr #ng h p c m bi n oxy, th#i gian áp ng c= vài giây
n u áp su t riêng ph n c a oxy trong khí phân tích l(n h$n 10-5 atm và c= vài phút
n u áp su t oxy nh% h$n 10-6 atm. Trong chân không th#i gian áp ng c a c m bi n
nh% h$n nhi u so v(i tr #ng h p c,ng áp su t riêng ph n ó hòa tan trong khí tr$.
Su t i n ng c a c m bi n thay i tuy n tính theo nhi t , b i v y nhi t ph i
n nh và c o v(i chính xác không kém h$n ± 1 0C.
Các c tr ng công ngh
A nhi t s d ng thông th #ng, c m bi n có tr kháng áng k . B i v y khi o
su t i n ng c a c m bi n nh t thi t ph i dùng các milivôn k có tr kháng vào
l(n (1010 ÷ 1012 I).Các ch t i n phân r7n r t nh y c m v(i va p. Vi c gi m thi u
kích th (c c a c m bi n cho phép lo i b% nh c i m ó c a ch t i n phân.

Các ch t i n phân r7n quen dùng ch' có d2n l(n khi chúng nhi t cao, cho
0
nên c m bi n th #ng có nhi t làm vi c l(n h$n 500 C. A nhi t này d dàng
x y ra các ph n ng oxy hóa, b i v y không th a oxy vào n u có m t các ch t khí
kh . Tuy nhiên, các c m bi n oxy v2n c dùng i u ch'nh các ng c$ n , m c
dù các khí thoát ra không tr ng thái cân b/ng. Trong nh*ng i u ki n nh v y, v2n
t n t i m!i quan h th"c nghi m t $ng !i ph c t p gi*a su t i n ng c a c m bi n
và thành ph n khí thoát ra cho phép hi u ch'nh ng c$ m t cách h p lý.
Các c m bi n oxy có th s d ng phân tích khí oxy tan trong khí tr$, trong các
-7
bu ng chân không (10 atm < p(O2) < 1 atm) ho c phân tích các h0n h p khí
-27 -11
CO/CO2 hay H2/H2O (10 atm < p(O2) < 10 atm) mà không c n có b t c s" thay
i nào trong c u trúc c a nó.
c) C u t o c m bi n
Trong b ng 1.4 gi(i thi u các c m bi n i n th dùng xác nh thành ph n khí và
nhi t làm vi c c a chúng.
Hình d ng và kích th (c c a c m bi n r t khác nhau ph thu c vào ch t i n phân.
Các ch t i n phân oxit th $ng m i t n t i d (i d ng !ng (có th có m t u b t
kín), ó là các dung d ch r7n trên c$ s diôxit zirconi (thí d nh ZrO2 –Y2O3 9%
hay ZrO2 –CaO 15%). Trên hình 1.45 bi u di1n d ng $n gi n nh t c a c m bi n
oxy s d ng ch t i n phân r7n là zirconi.
B ng 1.4
Nhi t làm vi c
Khí C u trúc c m bi n
(0C)
O2 Khí so sánh, Pt/ZrO2-Y2O3/Pt, O2

H2O-H2 Khí so sánh: không khí, H2O/H2, CO2/CO, Ni/NiO >500
CO2-CO Pd/PdO, Co/CoO.
Ag/SrCl2 –KCl –AgCl/RuO2, Pt,Cl2

Cl2 100÷450
H so sánh: Ag/Ag+
SO2 Ag/K2SO4 –AgSO4/Pt, SO2 + SO3 + O2

700÷800
SO3 Không khí, Pt/ZrO2 –CaO/K2SO4/Pt, SO3 +O2
Ag/AgI/Ag2S, S(h$i) 90÷400

SX
Ag/alumine – (Ag+)/Ag2S, S(h$i) 90÷800
CO2 Ag/K2CO3 –Ag2SO4/Pt,CO2 700÷800
NO2 Ag/Ba(NO3)2, AgCl/Pt, NO2 ~500
I2 Ag/RbAg4I5/Pt, I2 ~50

lò i n tr
zircon
u dán kín
Pt
Pt
c p nhi t
không khí
Hình 1.45 C m bi n oxy dùng không khí làm khí so sánh.
1.4.7.2 C m bi n tr kháng thay i

a) o d n kh i
A nhi t cao các oxit c a kim lo i chuy n ti p (Fe, Co, Ni) là các h p ch t có
thành ph n ph thu c vào nhi t và áp su t c a oxy. d2n c a chúng m t
nhi t cho tr (c có d ng:
σ = K . p 0±1 n
2
(7.6)
Trong ó n là s! nguyên có giá tr thay it 4 n 6 ph thu c vào b n ch t c a

oxit, nhi t và vùng áp su t c a oxy.
C m bi n d"a trên nguyên lý o d2n kh!i có c u t o g m m t dây d2n làm b/ng
oxit coban. Áp su t c o b/ng cách xác nh s" bi n thiên c a i n tr dây d2n.
C m bi n có th s d ng nh l ng oxy trong d i t 1 vpm n 100 % và c
nghiên c u ng d ng cho m c ích i u ch'nh ng c$ n .
b) o d nb m t
C m bi n lo i này d"a trên nguyên lý thay i d2n i n c a m t màng m%ng bán
d2n khi h p th ch t khí trên b m t. Các nhà nghiên c u ã th nghi m d ng oxit
titan TiO2 hi u ch'nh ng c$ n . A i m cân b/ng hóa h c, s" thay i c a áp
su t oxy riêng ph n trong lu ng khí th i c a ng c$ gây nên s" thay i áng k
c a i n tr màng oxit.
Các c m bi n trên c$ s ZnO ho c SnO2 ã c tri n khai r ng rãi m c s n
xu t công nghi p. Trên hình 1.46 bi u di1n d ng c m bi n thông d ng hi n nay.

i n tr
nung
!ng =
b/ng s
i n c"c
dây d2n i n
SnO2 thêu k t
Hình 1.46 C m bi n trên c s oxit bán d n.
Màng m%ng oxit thi c c ch t o trên d ng hình !ng làm b/ng Al2O3. Hai dây
d2n b/ng vàng c n!i v(i hai vòng b/ng kim lo i trên b m t d2n i n ra
ngoài. S i !t t phía trong c a hình !ng c dùng nung nóng c m bi n
0
n nhi t làm vi c (350 C). S" h p th khí trên b m t màng oxit bán d2n t o
nên i n tích không gian làm thay i m t h t d2n t $ng $ng v(i s" thay i
d2n b m t.
Các c m bi n này có tính l"a ch n th p và d2n b m t là hàm c a nhi t môi
tr #ng, )m và áp su t riêng ph n c a oxy. c i thi n tính l"a ch n c a c m
bi n ng #i ta ph i l"a ch n nhi t làm vi c thích h p và pha thêm vào l(p oxit
m t ch t xúc tác nh Pd, Cu, Ni, Pt. C m bi n c s d ng phát hi n CO, CH4,
H2S, và NOx.
Th#i gian áp ng c a c m bi n n/m trong kho ng t vài giây n vài phút. Gi(i
h n o c= 1 ppm.
Nh c i m c a c m bi n trên c$ s các oxit bán d2n là n nh theo th#i gian
th p, th #ng xuyên ph i chu)n l i ho c thay th . &u i m c a chúng là giá thành rC.
c) o i n dung
Các c m bi n t i n c s d ng ch y u nh l ng h$i n (c trong ch t khí.
Nguyên lý c a c m bi n t i n d"a trên hi n t ng thay i h/ng s! i n môi c a
ch t i n môi n/m gi*a hai b n c"c c a t khi nó b h p th h$i n (c (tham kh o
thêm c m bi n )m).

1.4.7.3 C m bi n áp i n th ch anh
Nguyên lý c a c m bi n áp i n th ch anh dùng o thành ph n khí r t $n gi n:
t n s! dao ng c a tinh th th ch anh gi m khi nó h p ph các ph n t khí trên b
m t. S" bi n thiên t n s! dao ng F c a th ch anh là hàm c a n ng khí h p ph :
F = K.C (7.7)
b dao mt n
ng s!
l(p ph
ngu n nuôi
tinh th
th ch anh
Hình 1.47 S c m bi n o thành ph n khí b ng dao ng th ch anh.
Trong ó C là n ng ch t khí phân tích và K là h/ng s! c tr ng c a tinh th th ch

anh. C m bi n có tính l"a ch n nh# vào vi c s d ng v t li u thích h p v(i ch t khí
nghiên c u ph thành l(p m%ng trên hai m t c a tinh th th ch anh (h.1.47).
B ph n chính c a thi t b là m t c m bi n áp i n c ch t o t m t t m tinh th
th ch anh lo i t n s! 9 MHz kích th (c m0i chi u t 10 n 16 mm, b dày
0,19 mm. Các i n c"c hình tròn có #ng kính n/m trong kho ng 3 ÷ 8 mm và
chi u dày 0,3 ÷ 1 :m. Hai m t c a t m th ch anh c ph hai l(p h p th ch n l c
!i v(i ch t khí phân tích và có n nh theo th#i gian. C m bi n c n!i v(i
m t b dao ng t n s! th p và thi t b m t n.
Các c m bi n lo i này ã c ch t o m t m c công nghi p t nh*ng n4m
1964. Chúng c s d ng r ng rãi cho nhi u m c ích trong các l+nh v"c khác
nhau nh :
Xác nh )m (l(p ph t m th ch anh làm t v t li u polyme có kh
n4ng hút )m t!t làm cho c m bi n có nh y cao: 1ppm trong 30 s, tính
ch n l c t!t và th#i gian làm vi c liên t c là 6 tháng);
Phân tích cacbua hydro;
Phát hi n thu!c tr sâu và các ch t khí nh SO2, NO2, NH3, HCl và H2S.

1.4.7.4 C m bi n xúc tác

C m bi n xúc tác c s d ng ch y u trong công nghi p phát hi n các ch t khí
d n và d cháy. C m bi n c ch t o t m t dây platin #ng kính 50 :m cu!n
hình lò so t chìm bên trong oxit ch u l a có x!p nh%, th #ng là alumin (h.1.48).
dây platin
ch t xúc tác
dây d2n
Hình 1.48 S c u t o c a c m bi n xúc tác.
Alumin c t)m trong các ch t xúc tác nh Pt, Pd, Ir ho c h0n h p Pd –ThO2. Các
ch t xúc tác này có tác d ng làm t4ng nh y c a c m bi n.
Thông th #ng c m bi n c l7p trong m ch c u Wheastone v(i ph n t khác
không nh y v(i ch t khí phân tích. Hai ph)n t này c nung nóng b/ng hi u ng
0
Joule n nhi t làm vi c (450 C). Khi có m t ch t khí d cháy, nhi t l ng cháy
làm t4ng nhi t c a c m bi n (ph n t nh y trong m ch c u) d2n n s" gia t4ng
i n tr c a nó. S" m t cân b/ng c a c u s3 cung c p tín hi u ch' th v hàm l ng
ch t khí d cháy trong h0n h p khí.
Các c m bi n này không có tính ch n l c và ph n ng v(i nhi u khí khác nhau nh
CH4, butan, H2, CO … v(i n ng th p h$n 5%.
1.4.7.5 C m bi n thu n t
a) Nguyên lý ho t ng
Khi m t ch t khí t trong gradient c a m t c m ng t B , nó ch u tác ng c a l"c
song song v(i t tr #ng có h (ng và c #ng ph thu c vào t c m χ :
χ
dF = .dV .grad B 2 (7.8)
2µ 0
Trong ó :0 là t th)m c a chân không và dV là vi phân c a th tích.

Ph n l(n các ch t khí là nh*ng ch t ngh ch t ( χ âm). Tuy nhiên, m t s! ch t khí
(nh O2, NO, NO2) có ít nh t m t i n t t" do và là ch t thu n t ( χ d $ng).
Chúng có kh n4ng t hóa m nh h$n nhi u so v(i các ch t khí khác (b ng 1.5). Khi

m t h0n h p các ch t khí khác nhau c t trong t tr #ng, ch' có các ch t khí
thu n t b t tr #ng tác ng.
B ng 1.5
Ch t O2 NO NO2 H2 N2 CO CO2 Ar CH4

khí
χ 100 45 4 -0,12 -0,36 -0,35 -0,63 -0,58 -0,37
M t tính ch t c bi t c a các ch t khí thu n t là t" c m c a chúng ph thu c

vào nhi t : χ t6 l ngh ch v(i nhi t tuy t !i. D"a trên tính ch t thu n t và
s" ph thu c c a χ vào nhi t ng #i ta ã ch t o ra các c m bi n thu n t o
thành ph n ch t khí.
b) C u t o
C m bi n t& ng
Các thi t b có bán trên th tr #ng khác nhau ph $ng pháp o l"c do t tr #ng tác
ng. Trên hình 1.49 bi u di1n s$ nguyên lý c u t o c a c m bi n t ng.
Trong m t bu ng làm b/ng thép có ch t khí phân tích th i qua, các i n c"c có ti t
di n hình tam giác t o nên m t t tr #ng không ng d ng. M t c u trúc ki u qu
t c m tay g m hai hình c u r0ng #ng kính 2 mm b/ng th ch anh i n y khí
nit$ c n!i c ng v(i nhau và treo b/ng m t s i dây silic trên có g7n m t chi c
g $ng nh%. V trí c a m0i qu c u t $ng $ng v(i m t u vào c a nam châm.
N u trong h0n h p khí có ch a O2, oxy s3 b hút v phía t tr #ng m nh h$n làm
cho các qu c u quay xung quanh s i dây treo chúng cho n khi l"c tác ng c a
t tr #ng cân b/ng v(i ng2u l"c xo7n c a s i dây. Tia sáng ph n chi u t chi c
g $ng nh% s3 ph n ánh v trí góc c a b ph n quay. Thang o, n$i v t sáng chuy n
ng theo góc quay c a g $ng, c chia theo hàm l ng oxy. Nh v y, b/ng
cách c tr"c ti p v trí c a v t sáng trên th (c o có th bi t c hàm l ng oxy
trong h0n h p khí.

*
*
èn
g $ng
Hình 1.49 Nguyên lý c u t o c a c m bi n t ng.
nh y c a c m bi n có th c c i thi n b/ng ph $ng pháp “s! không”: các qu

c u c a tr l i v trí cân b/ng c a chúng b/ng cách tác ng m t i n tr #ng
gi*a hai i n c"c. o hi u i n th gi*a hai i n c"c này s3 xác nh c hàm
l ng oxy. Thi t b c chu)n v(i khí nit$ và m t ch)t khí có hàm l ng bi t
tr (c, th #ng là không khí khô.
tránh nh h ng c a s" ph thu c nhi t c a χ , các phép o c ti n hành
0
nhi t 50 C.
&u i m c a thi t b :
Ho t ng m i v trí;
Có th s d ng thi t b d ng xách tay;
n nh c a i m không và c a thang n ng r t t!t;
Không c n dùng n s i dây !t nóng.
Các nh c i m chính là:
Th$i gian áp ng l(n (t 10 s n vài phút);
nh y th p (n ng khí ph i l(n h$n 100 vpm).
1.4.7.6 Máy phân tích quang
Nguyên lý ho t ng

S" h p th b c x i n t c a m t phân t khí x y ra không nh*ng do s" kích thích

i n t mà còn do bi n thiên n4ng l ng dao ng (dao ng t $ng !i c a các
nguyên t trong các liên k t hóa h c). Nh*ng bi n thiên c a n4ng l ng này u
l ng t hóa. Ch' có m t s! giá tr c bi t c a mômen góc quay ho c n4ng l ng
dao ng là có th , ó là các m c n4ng l ng dao ng và n4ng l ng quay. Tnh
h ng c a ánh sáng có b (c sóng khác nhau !i v(i các i l ng này c,ng s3 khác
nhau. S" h p th b c x ánh sáng trông th y, tia c"c tím và tia X gây nên s" bi n
thiên n4ng l ng i n t c a phân t . H p th tia h ng ngo i gây nên s" thay i
các tr ng thái dao ng và quay c a phân t .
Ph h p th c a m0i ch t khí là c tr ng riêng c a ch t khí ó. B i v y ph $ng
pháp ph h p th c s d ng xác nh b n ch t c a ch t khí nghiên c u. Vi c
o c #ng b c x i n t b h p th b i m t h0n h p khí s3 cho phép xác nh
n ng c a ch t khí trong h0n h p. Theo nh lu t Lambert-Beer, t6 l I/I0 c a
c #ng b c x b h p th trong m t th tích ch a h0n h p ch t khí ph thu c vào
tích s! c a kích th (c th tích khí (kích th (c theo ph $ng chi u), c a n ng ch t
khí c n phân tích trong h0n h p khí và h s! h p th theo hàm exponen, ngh+a là:
I
log = a.l.c (7.9)
I0
Trong ó:
l là kích th (c c a kh!i ch t khí theo ph $ng chi u sáng;
c là n ng c a ch t khí trong h0n h p;
a là h s! h p th .
Trên th"c t , khi áp d ng nh lu t Lambert-Beer c n tính n m t s! i m sau ây:
nh lu t Lambert-Beer ch' úng khi b c x là $n s7c;
H s! h p th a thay i theo b r ng c a d i b (c sóng s d ng;
M t s" thay i nh% c a nhi t c,ng s3 làm d ch chuy n d i h p th ;
nh lu t này không tính n nh h ng c a ch t khí không h p th có
m t trong h0n h p và áp su t t ng c ng c a h0n h p.
Các nguyên nhân v a nêu trên d2n n sai s! trong phép o ph h p th c a các
ch t khí.

CH NG 2
%NG D&NG C'A CÁC C(M BI N TRONG

NGÀNH C KHÍ ÔTÔ
2.1 C m bi n l u l ng
A ng c$ s d ng b ch hòa khí c i n, l ng x4ng c cung c p qua các gicl$
tùy theo s" chênh l ch áp su t trong #ng !ng n p, t c là tùy theo m c “hút
khí” c a ng c$. Vi c nh l ng nh th s3 không c hoàn h o. V(i HTPX, l u
l ng không khí th"c t n p vào xylanh là m t thông s! c4n b n c n c o liên
t c xác nh l ng nhiên li u t!i u c n cung c p cho ng c$.
2.1.1 H th ng phun x)ng v i l u l ng k
HTPX lo i này c trang b m t thi t b o l u l ng cho phép o tr"c ti p th
tích hay kh!i l ng không khí l u thông trong #ng !ng n p. Thông tin v l u
l ng khí c cung c p cho b i u khi n trung tâm d (i d ng tín hi u i n
làm c$ s tính toán th#i gian phun.
Hình 2.1 Mô hình h th!ng phun x4ng i n t

2.1.1.1 L u l ng k th tích:
Thi t b này làm vi c theo nguyên t7c o l"c c a dòng khí tác ng lên m t c a o
quay quanh m t tr c l7p trên #ng n p. Góc quay c a c a ph thu c l u l ng khí
n p và c xác nh b i m t i n th k . Nh v y, thi t b s3 cung c p m t tín
hi u i n t6 l v(i l u l ng khí cho b i u khi n trung tâm. t4ng chính xác
c a phép o, ng #i ta th #ng s d ng thêm m t nhi t k o nhi t không khí
trong quá trình n p.
Ví d : Bosch L –Jetronic, Bosch Motronic.
a) M t bên phía l7p m ch i n. b) M t bên phía n p.

1- bánh r4ng cu!n lò xo. 1- cánh gi m ch n.
2- lò xo h i v 2- bu ng gi m ch n.
3- khe d2n h (ng. 3- v%.
4- t m s g7n bi n tr . 4- cánh o.
5- c n g t.
6- ch i ti p xúc. c m bi n l u l ng
7- +a công t7c cam.
Hình 2.2 L u l ng k th tích.

2.1.1.2 L u l ng k kh i l ng ki u dây t nóng:

Ph n t o là m t dây platin #ng kính 70 :m, c c4ng bên trong o n !ng o
l7p phía sau b l c khí. Thành !ng bên trong còn c l7p các i n tr o và c m
bi n nhi t . Hai u !ng o có l (i b o v . Các linh ki n i n t c a thi t b c
l7p trong m t h p nh% g7n bên ngoài !ng o.
Hình 2.3 gi(i thi u s$ m ch o dùng c u i n tr . Dây !t nóng có i n tr Rh là
m t ph n c a c u o. C u c gi* cân b/ng thông qua m t m ch !t nóng dây
nh/m duy trì nhi t không i ( t c là i n tr c a dây). Khi có l u l ng không
khí, dây o s3 b làm ngu i b i dòng khí, nhi t và i n tr s3 gi m d2n n s"
m t cân b/ng trong c u i n tr . Khi ó m ch i u ch'nh s3 t" thay i c #ng
dòng i n !t nóng dây thi t l p l i s" cân b/ng ban u. Nh v y có m t quan
h gi*a c #ng dòng i n !t nóng dây o và l u l ng không khí.
Quá trình i u ch'nh này c th"c hi n khá nhanh (vài ms) do dây o có kích
th (c r t nh%. T ó, l u l ng k này có m t u i m quan tr ng: các xung ng
áp su t trên #ng n p, nh t là ch toàn t i, t n s! l(n h$n th#i gian áp ng c a
c u o và không gây nh h ng n phép o l u l ng. Nh# ó, l u l ng k lo i
này làm vi c khá n nh.
i n áp o Um c l y t i n tr o chính xác R3. Các giá tr i n tr c a dây o và R3
c ch n sao cho c #ng dòng i n !t nóng dây n/m trong ph m vi 500 – 1200 mA.
Ví d : Bosch LH –Jetronic.
iên tr bù nhi t
thành !ng n p
dây !t
) )
Hình 2.3 C m bi n l u l ng ki u dây !t nóng.

2.1.1.3 L u l ng k kh i l ng ki u t m t nóng:
Thi t b này ho t ng theo cùng m t nguyên lý nh lo i dùng dây !t. Tuy nhiên
ph n t o c s d ng ây là các t m có i n tr ph thu c nhi t , cho phép
t4ng chính xác và tu i th làm vi c c a l u l ng k .
Hình 2.4 trình bày s$ c u t o c a l u l ng k kh!i l ng dùng trên HTPX i n
t Pierburg Ecojet M. M t o n !ng o có l (i b o v hai u c t trong
#ng n p. Bên trong !ng này có m t !ng nh% có d ng ti t l u nh h ng khuy ch
tán c a b ch hòa khí, v(i hai t m o ch t o t h p kim g!m. M t t m o dùng
xác nh l u l ng, còn t m th hai cho phép xác nh nhi t khí n p. Hai t m o
này c m7c v(i hai i n tr khác t bên ngoài !ng trong h p riêng.
M ch o nhi t khí v(i t m o nhi t s3 i u ch'nh dòng i n !t nóng t m o
l u l ng sao cho nhi t c a t m này luôn c gi* kho ng 100 0C l(n h$n
nhi t không khí. C #ng dòng i n t6 l v(i l u l ng kh!i l ng c n o.
chính xác c a thi t b này khá cao, kho ng 2%.
Hãng Bosch c,ng a ra m t l u l ng k t $ng t", nh ng t m o c t m t
khu v"c ti t l u ph . K t c u này cho phép b o v thi t b o tránh hi n t ng cháy
ng c lên #ng n p khi có tr c tr c v góc ánh l a s(m. Ngoài ra, kh n4ng b i
bám b)n t m o c gi m b(t vì ch' có m t ph n khí n p i qua khu v"c o.
c u i n tr
thi t b o
nhi t
dòng khí !ng o
l (i b o v
t m o !t nóng
m ch r3
Hình 2.4 L u l ng k kh!i l ng ki u tâm !t nóng.

Các i m h n ch c a HTPX ki u l u l ng k là:

H th!ng n p ph i th t kín.
T4ng s c c n trên #ng n p (v(i lo i l u l ng k th tích).
Vi c tính toán l u l ng d b sai s! do tính ch t dao ng áp su t trên
#ng n p, nh t là ng c$ ít xylanh, làm vi c các ch t i nh%.
Giá thành ch t o, i u ch'nh b o d =ng l u l ng k cao.
2.1.2 H th ng phun x)ng v i l u l ng k dùng hi u ng Karman.
ul ng k ki u Karman – vortex (dùng sóng siêu âm)
Nguyên t7c chung c a lo i thi t b o này là t o ra nh*ng vòng xoáy l!c c a không
khí trong #ng n p khu v"c o. T n s! c a các chuy n ng xoáy l!c t6 l v(i
l u l ng không khí và s3 c xác nh b i m t thi t b dùng sóng siêu âm ho c
m t c m bi n áp su t
S$ nguyên lý làm vi c c a thi t b này c trình bày trên hình 2.5. Không khí
n p tr (c khi i vào khu v"c o c a qua m t b ph n d2n dòng d ng t ong,
có tác d ng làm ng nh t dòng ch y tránh các chuy n ng r!i ho c xoáy l!c ban
u làm nh h ng n chính xác c a phép o. Ti p ó, dòng khí n p s3 c
chia thành hai lu ng nh# m t b ph n phân dòng có ti t di n tam giác t gi*a
!ng n p. D (i tác d ng c a t m phân dòng này, các vòng xoáy Karman s3 c
luân phiên t o ra hai bên t m, v(i chi u xoáy ng c nhau. S! l ng các vòng
xoáy c t o ra t6 l v(i t!c dòng khí qua khu v"c o. M t máy phát t
thành !ng n p s3 phát sóng siêu âm có t n s! xác nh theo h (ng vuông góc v(i
dòng khí (h (ng kính c a !ng). M t thi t b l7p thành !ng !i di n s3 ti p nh n
các sóng truy n t(i và g i tín hi u o n b x lý i u khi n trung tâm.
Khi ch a có dòng ch y không khí, t c là khi ch a có các chuy n ng xoáy
Karman, th#i gian lan truy n c a sóng siêu âm qua !ng là không i. Ng c l i s"
có m t c a các vòng xoáy không khí s3 làm t4ng ho c gi m t!c lan truy n c a
sóng qua !ng, tùy theo chi u xoáy. Nh v y th#i gian lan truy n sóng t máy phát
n máy thu s3 có d ng hình sin. M ch o s3 g i m t xung vuông n b x lý i u
khi n trung tâm m0i khi tín hi u hình sin i qua m t c"c ti u. T n s! các xung
vuông t6 l v(i l u l ng khí n p, s3 c x lý xác nh th#i gian phun x4ng.
b phát sóng
b h (ng
dòng
b thu sóng
phân dòng Hình 2.5 Karman –vortex.

ul ng k ki u Karman –quang
T $ng t" nh ki u dùng sóng siêu âm, ây các dòng xoáy Karman i theo rãnh
h (ng làm rung m t g $ng m%ng c ph nhôm làm thay i h (ng ph n chi u
t èn LED n photo - transistor. Nh v y, t n s! óng m c a transistor này s3
thay i theo l u l ng khí n p và c g i v ECU xác nh l ng x4ng phun
c n thi t.
b h (ng
dòng
Hình 2.4 B o gió ki u Karman quang
+ m bi n m c
S d ng trong vi c c nh báo:
M c nhiên li u s d ng cho ng c$.
M c ch t l%ng trong h th!ng làm mát.
M c d u trong h th!ng bôi tr$n.
M t s! xe có èn ch' báo m c d u th p g m: m t b c m bi n m c d u n!i v(i èn
báo CHECK OIL LEVEL b ng i u khi n. Khi b n xoay chìa khóa ánh l a n
v trí CRANK OR START, b c m bi n này s3 ki m tra m c d u trong thùng. N u
d u y, èn ch' báo t7t khi chìa khóa ánh l a tr v RUN. N u ng c$ thi u t
m t lít d u tr lên, b c m bi n s3 b t sáng èn CHECK OIL LEVEL. Thay vì s
d ng tín hi u ánh sáng, các xe có b ng i u khi n i n t có th hi n th thông báo
CHECK OIL.

bi n tr tr t
c u phao Nhi t i n tr
phao
Hình 2.5 C m bi n m c nhiên li u.

2.3 C m bi n o chân không
C m bi n áp su t tuy t i
c s d ng o l u l ng không khí trong vi c o gián ti p trong h th!ng
phun x4ng i n t EFI.
L ng không khí i vào ng c$ ph i c o m t cách chính xác. ECM c n thông
tin này tính toán l ng nhiên li u. L u l ng không khí n p có th c o gián
ti p ho c tr"c ti p.
o gián ti p. Thông tin v t!c và t i ng c$ báo cho ECM l ng không khí i
vào ng c$, ây là ki u nh l ng t!c - t6 tr ng. T!c là t!c ng c$, t6
tr ng là t6 tr ng c a không khí ho c h0n h p không khí - nhiên li u trong b góp n p.
Trong nh l ng t!c t6 tr ng, hai tín hi u nh p ch y u !i v(i ECM là v trí
ti t l u ho c t!c ng c$, và chân không b góp n p ho c t i ng c$. Chân
không m t ph n ho c áp su t tuy t !i b góp n p c o b/ng b c m bi n áp
su t tuy t !i b góp n p.
o chân không b" góp và áp su t tuy t i.
Chân không b góp n p có th c o b/ng áp k chân không ho c áp k tuy t i
trong b góp n p. Hai áp k này có c u trúc t $ng t" nhau, g m m t màng àn h i
chia áp k thành hai bu ng. M t bu ng n!i v(i b góp n p. Trong áp k chân không,
bu ng th hai m ra khí quy n. Trong áp k tuy t !i bu ng th hai óng kín.

Áp k chân không so sánh áp su t khí quy n v(i chân không b góp n p, nh ng áp

su t khí quy n luôn bi n thiên. Áp k tuy t !i so sánh chân không ho c áp su t
tuy t !i trong b góp n p v(i bu ng óng kín có áp su t không i, i u này làm
cho áp k tuy t !i chính xác h$n so v(i áp k chân không.
B" c m bi n áp su t tuy t i.
Nhi u h th!ng phun nhiên li u và i u khi n ng c$ b/ng i n t có b c m bi n
áp su t tuy t !i b góp n p, b này có th c l7p riêng lC trên ng c$ ho c
bên trong ECM. B c m bi n áp su t tuy t !i o áp su t tuy t !i trong b góp n p
và g i thông tin này d (i d ng tín hi u i n áp cho ECM.
Hình 2.6 minh h a c u t o và s" v n hành c a b c m bi n áp su t tuy t !i. Vi
m ch c t o hình làm kín ph n chân không gi*a vi m ch này và t m , cho
phép vi m ch bi n d ng àn h i khi áp su t tuy t !i bi n thiên. Hai linh ki n bán
d2n trên vi m ch s3 c m bi n m c bi n d ng àn h i, b/ng cách thay i i n tr
t $ng ng, s" thay i này c ECM s d ng xác nh áp su t tuy t !i trong
b góp n p.
áp su t tuy t !i t
b góp n p i n tr bán
d2n
bu ng chân
vi m ch không
dây d2n
a) không t i
b) toàn t i
Hình 2.6 C m bi n áp su t chân không tuy t !i.

2.4 C m bi n o áp su t ch t l u
2.4.1 C m bi n áp su t d u bôi tr n
Dùng ki m tra áp l"c d u bôi tr$n trong h th!ng. Khi áp l"c d u thay i làm
màng b bi n d ng kéo theo v trí con tr t trên t m i n tr thay i, do ó c #ng
dòng i n i qua cu n dây thay i làm kim ng h d ch chuy n ch' th áp su t
t $ng ng.
i n tr
m t ng h
con tr t
30 60
màng 0
ngu n
công t7c ánh l a

cu n dây
Hình 2.7 C m bi n áp su t d u bôi tr$n.
2.4.2 C m bi n áp su t nhiên li u
C m bi n áp su t nhiên li u o t c th#i áp su t trong !ng phân ph!i và báo v ECU
v(i chính xác thích h p và t!c nhanh.
Nhiên li u ch y vào c m bi n thông qua m t u m và ph n cu!i c b t kín b i
m t màng c m bi n. Thành ph n chính c a c m bi n là m t thi t b bán d2n c
g7n trên màng c m bi n, dùng chuy n áp su t thành tín hi u i n. Tín hi u do
c m bi n t o ra c a vào m ch khuy ch i và a n ECU.
C m bi n ho t ng theo nguyên t7c:
Khi màng bi n d ng thì l(p i n tr t trên màng s3 thay i giá tr . S"
bi n d ng là do áp su t t4ng lên trong h th!ng, s" thay i i n tr gây
nên s" thay i i n th c a m ch c u i n tr .
i n áp thay i trong kho ng 0 – 70 mV và c khuy ch i b i m ch
khuy ch i n 0,5 – 4,5 V.

m ch i n
màng so
màng c a ph n t
c m bi n
#ng d2n
nhiên li u
Hình 2.8 C m bi n áp su t trên #ng phân ph!i.
2.4.3 C m bi n áp su t cho vi c ch#n oán "ng c

Cho n nay ch)n oán các thông s! bên trong ng c$ n ng #i ta nh n th y
c m bi n áp su t áp i n th ch anh là thích h p. Vi c o áp su t trong m t bu ng
n c a ng c$ có nh*ng òi h%i r t cao : s" thay i nhi t n 1800 0C và nhi t
b c x lên n 3000 0C. c bi t khi ng c$ quay nhanh s" thay i l"c nén r t
nhanh. S" òi h%i s c ch u "ng v va p, rung ng r t l(n. Áp su t trong bu ng
n thay i t 5 bar n áp su t n 140 bar. M t c m bi n áp su t lý t ng cho vi c
ch)n oán ng c$ c n ph i áp ng các yêu c u sau:
Tuy n tính và chính xác cao.
Có th o áp su t t+nh và n nh Zero cao.
nh y v(i gia t!c bé.
Có nh y v(i nhi t cao ( i u ó có ngh+a v(i s" thay i nhi t
0
n 1800 C không c có sai s!).
Có #i s!ng dài dù ph i ch u "ng s" thay i l"c nén cao.
Có kích th (c nh% và giá rC.
M t c m bi n nh th trong th"c t n nay ch a n$i nào ch t o c. Cho nh*ng
òi h%i nh trên ng #i ta ph i dùng nhi u bi n pháp c bi t v(i nhi u c m bi n
khác nhau.

2.5 C m bi n thành ph n khí

C m bi n Lambda
c ho t ng theo nguyên t7c o liên t c n ng khí x và hi u ch'nh liên t c
l u l ng x4ng phun ra theo k t qu o, thông qua b i u khi n trung tâm c a
HTPX i n t . Ph n t chính c a h th!ng là m t c m bi n h s! d l ng không
khí, th #ng g i là c m bi n Lambda, c l7p trên #ng x , sau ch n!i các !ng
x t xylanh t(i.
m d2n i n
U
+ -
thân
i n c"c ngoài
i n c"c trong
khí x
ch t i n phân khô
v trí t c m
bi n Lambda
trên ôtô
Hình 2.9 S$ c u t o và l7p t c a c m bi n Lambda.

Hình 2.9 gi(i thi u s$ c u t o c a m t c m bi n Lambda. Ph n t o là m t !ng
b/ng s c bi t m t u b t kín, v(i hai b m t là các i n c"c c t o thành b i
m t l(p platine r t m%ng và có c u trúc r ng, cho phép khí có th th)m th u qua.
M t i n c"c (m t ngoài !ng) ti p xúc v(i khí x t ng c$, i n c"c kia (m t

trong !ng) ti p xúc v(i không khí. M t !ng o h (ng v khí x c ph m t l(p
s r0ng nh/m b o v l(p platine kh%i s" xói mòn do các ch t c n, mu i trong khí
x . ng b o v có th ch u c nhi t t(i 1000 0C, c s3 r nh so le nh/m tránh
xung ng tr"c ti p c a dòng khí x vào ph n t o.
Nguyên lý o d"a trên s" so sánh hàm l ng oxy trong không khí và trong khí x .
ng s tr nên d2n i n khi c !t nóng n m t nhi t nh t nh. Tín hi u o
s3 xu t hi n khi có s" khác bi t v n ng oxy hai i n c"c (m t ti p xúc v(i
không khí và m t ti p xúc v(i khí x ). C m bi n c thi t k sao cho khi h s! d
l ng không khí b/ng 1, i n áp s3 có m t b (c nh y t ng t, do hi u ng xúc tác
c a b m t !ng phía ti p xúc v(i khí x .
Tín hi u t c m bi n Lambda c a n b x lý i u khi n trung tâm. M ch
hi u ch'nh, c gi(i thi u trên hình 2.10, ho t ng theo nguyên t7c thích ng, cho
phép hi u ch'nh l ng x4ng phun ra so v(i l ng x4ng c tính toán ban u,
nh/m duy trì h0n h p chu2n. làm vi c này, m t ng =ng i u ch'nh ( 500 mV)
c l p ch $ng trình trong b i u khi n trung tâm. Khi tín hi u do c m bi n
Lambda cung c p nh% h$n ng =ng này (h0n h p quá nh t), x4ng s3 c phun ra
nhi u h$n. Ng c l i n u tín hi u v t quá ng =ng i u ch'nh (h0n h p m), b
i u ch'nh s3 gi m l ng x4ng cung c p. Tuy nhiên, quá trình thay i này không
c quá t ng t tránh hi n t ng làm vi c “gi t c c” c a ng c$.
không
khí n p 1 khí x
x4ng Ve ! Us
Ud
Uv
"
Hình 2.9 S$ nguyên lý m ch i u ch'nh Lambda.

1- l u l ng k không khí; 2- ng c$; 3- bình xúc tác khí x ;
4- c m bi n Lambda; 5- vòi phun x4ng; 6- ECU.

Quá trình i u ch'nh Lambda c ti n hành khi ng c$ t tr ng thái làm vi c

bình th #ng, trong ph m vi h s! d l ng không khí ban u 0,8 – 1,2 và cho phép
duy trì H = 1 ± 1%, không ph thu c vào tu i th hay hao mòn c a ng c$. M t
m ch ki m tra cho phép phát hi n nh*ng s" c! c a c m bi n Lambda tránh
nh*ng i u ch'nh sai l c v m t phía (ch' làm m hay làm nh t h0n h p). Trong
tr #ng h p này, m ch i u ch'nh s3 b ng7t.
Trong quá trình kh i ng và ch y m máy, nhi t c m bi n Lambda còn quá
th p, m ch i u ch'nh Lambda ch a làm vi c, và h0n h p c làm m nh bình
th #ng. Khi ch y toàn t i hay gia t!c, ng c$ c n h0n h p m, và m ch i u
ch'nh Lambda s3 c ng7t t m th#i cho quá trình c làm m bình th #ng.
B ng 2.1 trình bày các c tính c$ b n c a 3 lo i c m bi n Lambda ang cs
d ng r ng rãi hi n nay.
B ng 2.1 Ba lo i c m bi n Lambda ch y u
C m bi n không C m bi n c t C m bi n t nóng
t nóng nóng dùng cho h*n h p nh t
Ph m vi i u ch'nh H=1 H=1 HQ1
0 0
Nhi t làm vi c 350 – 850 C 200 – 850 C 150 – 850 0C
ng c$ x4ng. Có th ng c$ x4ng dùng h0n
Fng d ng ng c$ x4ng c l7p khu v"c có h p nh t.
nhi t khí x th p ng c$ diezel và gas
X4ng s d ng Không pha chì Không pha chì T!i a 0,4g Pd/lit
Tu i th 80.000 km >160.000 km 80.000 km

CH NG 3
KI+M TRA VÀ MÔ PH,NG
3.1 L u ý khi ki m tra ch#n oán

a) Ph i i u ch'nh úng ng c$.
b) C n l u ý khi s d ng các ng h o.
Ph i n!i c"c d $ng c a ng h o vòng quay vào c"c IG c a gi7c ki m tra.
Ph i dùng bình i n làm ngu n c p i n cho èn báo góc ánh l a và
ng h o vòng quay …
c) Trong tr #ng h p ng c$ b% l a ph i tuân th các l u ý sau:
B o m các c c bình i n có ti p xúc t!t.
C)n th n khi tháo các dây cao áp.
Sau khi th"c hi n xong các công vi c s a ch*a, ph i b o m các c"c c a
cu n ánh l a và h th!ng ánh l a c n!i úng.
c) L u ý khi tháo l7p u c m bi n o n ng oxy trong khí x .
Không u c m bi n oxy b r$i ho c va p vào v t r7n.
Không c n (c b7n vào c m bi n oxy ho c dùng n (c làm ngu i
c m bi n.
3.2 Ch#n oán (EFI)
H p ECU phát hi n các h%ng hóc theo các tín hi u t các u c m bi n và b t sáng
èn báo “CHECK ENGINE” (ph i ki m tra ng c$) trên b ng ng h lái xe có
th phát hi n h%ng hóc theo các tín hi u ã c ghi l i trong h p ECU d (i d ng
mã hóa. Các tín hi u ã c mã hóa này có th c c b/ng cách tính s! l n
nháy c a èn báo “ CHECK ENGINE” khi ta u t7t các c"c TE-1 và E-1 l i. D"a
trên s! l n nháy c a èn báo em !i chi u v(i b ng mã ch)n oán có th xác nh
c d ng h%ng hóc. T t c có 14 mã ch)n oán, trong ó có m t mã báo ng c$
làm vi c bình th #ng, không có s" c!.
3.2.1 Tín hi u mã ch!n oán
có tín hi u mã ch)n oán ph i th"c hi n nh sau:
a) i u ki n ban u:
i n áp bình i n l(n h$n 11V.
B (m ga óng h t (ti p i m IDL c a c m bi n v trí b (m ga óng).

C n s! v trí trung gian.

Các ph t i ã t7t h t.
b) B t chìa khóa i n không kh i ng ng c$.
c) Dùng dây nôi chuyên d ng SST 09843-18020 n!i các c"c TE-1 và E-1 c a
gi7c ki m tra.
d) c mã ch)n oán b/ng cách tính l n nháy c a èn báo “CHECK
ENGINE”
Mã ch)n oán:
H th!ng bình th #ng c cách 0,25 giây èn l i nháy 1 l n.
Mã báo h%ng hóc:
èn báo s3 nháy v(i s! l n theo b ng mã báo h%ng hóc nh sau:
Kho ng cách gi*a xung th nh t và xung th hai là 1,5 giây.
Kho ng cách gi*a các d ng mã báo h%ng hóc là 2,5 giây.
Kho ng cách gi*a các chu k> tín hi u mã ch)n oán là 4,5 giây.
Các tín hi u mã ch)n oán s3 c liên t c l p l i m t khi các c"c TE-1 và E-1 v2n
còn c n!i t7t.
Khi có nhi u d ng h%ng hóc, các tín hi u mã ch)n oán s3 c l n l t thông báo
theo th t" l(n d n.
e) Sau khi ki m tra ch)n oán xong, tháo dây n!i SST ra kh%i gi7c ki m tra.
3.2.2 B ng mã ch!n oán
S!
hi u Lo i tín hi u Ch)n oán Khu v"c có h%ng hóc
mã
Trong quá trình i u ch'nh thành

- M ch c m bi n ôxy.
Tín hi u c a c m ph n c a h0n h p cháy, i n áp ra
- C m bi n ôxy.
bi n o n ng ôxy c a c m bi n ôxy không v t quá
- H p ECU.
m t s! giá tr nh t nh.
21
- M ch s i !t c a c m bi n
Tín hi u c a m ch
M ch s i !t c a c m bi n oxy b ôxy.
s i !t c a c m bi n
h ho c ch p (c"c HT-1) - S i !t c a c m bi n ôxy.
ôxy.
- H p ECU.

- M ch vòi phun.
- Vòi phun.
- Áp su t #ng !ng x4ng.
- Khi tín hi u c a c m bi n ôxy - M ch c m bi n ôxy.
Tín hi u c a c m
liên t c m c cao (h0n h p giàu) - C m bi n ôxy.
25 bi n ôxy khi h0n h p
ho c m c th p (h0n h p nghèo) - C m bi n chân không.
cháy nghèo quá.
trong quá trình làm vi c. - H th!ng d2n không khí
- Khi các tín hi u bù và các tín n p.
hi u i u khi n thích nghi c a quá - H p ECU.
trình tr n h0n h p liên t c m c
cao (h0n h p nghèo) ho c m c - M ch vòi phun.
th p (h0n h p giàu) - Vòi phun.
Tín hi u c a c m
- C m bi n ôxy b h m ch. - Áp su t #ng !ng x4ng.
26 bi n ôxy khi h0n h p
- C m bi n chân không.
cháy giàu quá.
- Vòi phun kh i ng l nh.
- H p ECU.
- M ch c m bi n chân
Tín hi u c a c m M ho c ch p m ch c m bi n áp không.
31
bi n chân không. su t c m !ng hút (PIM). - C m bi n chân không.
- H p ECU.
3.3 Ki m tra
3.3.1 C m bi n áp su t chân không
ECU
c m bi n chân không +B
(B1)
VCC VCC
PIM PIM
E2 E2
E21
E1

a) N i c cPIM – E2 v i vôn k (ki m tra tín hi u ra c a c m bi n chân không)
1. Không có i n áp t i c"c PIM và c"c E2 (E21) h p ECU (b t chìa khóa v v trí ON)
2. Ki m tra xem có i n áp gi*a c"c +B (+B1) c a hôp ECU v(i “mát” v% xe không” (b t
chìa khóa i n v ON)
có
3. Ki m tra dây d2n gi*a c"c E1 và “mát” v% xe.

không
không t!t
S a ch*a ho c thay th
không t!t
Ki m tra +B (+B1) v(i E1
t!t
không t!t
Ki m tra dây d2n gi*a c m bi n S a ch*a ho c thay th
chân không và h p ECU
t!t
Th dùng h p ECU khác

b) N i c c VCC – E2 (E21) v i vôn k (ki m tra i n áp ngu n c a c m bi n chân

không)
1. Không có i n áp t i c"c VCC và c"c E2 (E21) h p ECU (b t chìa khóa v v trí ON)
2. Ki m tra xem có i n áp gi*a c"c +B (+B1) c a hôp ECU v(i “mát” v% xe không” (b t
chìa khóa i n v ON)
có
3. Ki m tra dây d2n gi*a c"c E1 và “mát” v% xe.
không không t!t
không t!t
Ki m tra BATT v(i E1 S a ch*a ho c thay th
t!t
không t!t
Ki m tra dây d2n gi*a c m bi n S a ch*a ho c thay th
chân không và h p ECU
t!t
Th dùng h p ECU khác
3.3.1.1 Ki m tra i n áp ngu n c a c m bi n chân không

a. Tháo gi7c c7m c a c m bi n chân không.
b. B t khóa i n v ON.
c. Dùng vôn k o i n áp gi*a các c"c VCC và E2 t i gi7c c7m c a c m
bi n chân không.
i n áp : 4 – 6 V
3.3.1.2 Ki m tra tín hi u ra c a c m bi n chân không.
a. B t khóa i n v ON.
b. Tháo !ng chân không c a c m hút ra.
c. N!i vôn k vào các c"c PIM và E2 (E21) c a h p ECU và o i n áp ra
i u ki n áp su t khí quy n.
d. a chân không vào th c m bi n chân không, thay i chân không
d n d n t ng m c t 100 mmHg t(i 500 mmHg.

e. o s t i n áp t b (c (c) trên, t(i các b (c ti p theo, theo t ng m c

thay i chân không.
M c chân không 100 200 300 400 500
mmHg (Kpa) (13,3) (26,7) (40,0) (53,3) (66,7)
s t i n áp 0,3 ÷ 0,5 0,7÷ 0,9 1,1 ÷ 1,3 1,5 ÷ 1,7 1,9 ÷ 2,1
3.3.2 C m bi n ôxy
3.3.2.1 Ki m tra i n tr nung c a c m bi n oxy
Dùng ôm k o i n tr gi*a các c"c +B và HT.
i n tr 5,1 ÷ 6,3 ôm 20 0C.
N u i n tr o c không n/m trong m c quy nh, ph i thay c m bi n ôxy.
3.3.2.2 Ki m tra i n áp ph n h i (VF1)
a. Hâm nóng ng c$.
b. N!i vôn k vào các c"c VF1 và E1 c a gi7c ki m tra.
Làm nóng c m bi n ôxy b/ng cách cho ng c$
n máy t 2500 v/p trong kho ng 90 giây. Thay th ECU
N!i các c"c TE1 và E1 c a gi7c ki m tra. sau khi thay

Gi* s! vòng quay m c 2500 v/p c m bi n ôxy
Ki m tra s! l n kim ng h v n n4ng dao ng trong 10 giây.
ít h$n 8 l n 8l n
ho c không có
Làm nóng c m bi n ôxy vòng quay ng c$ h$n l n nào
2500 v/p trong kho ng 90 ti p. Gi* s! vòng
quay m c 2500 v/p.
bình th #ng
8l n
Ki m tra s! l n kim ng h v n n4ng dao ng ho c h$n
trong 10 giây.
không có
ít h$n 8 l n l n nào
Tháo dây n!i các c"c TE1 và E1 c a gi7c ki m tra.
Gi* s! vòng quay m c 2500 v/p.
o i n áp gi*a các c"c VF1 và E1
cao h$n 0V 0V
0 1 2 3

0 1 2 3
c và ghi l i mã ch2n oán
mã báo bình mã báo h%ng hóc

th #ng và 21 (ngo i tr 21)
S a ch a theo mã ã báo
mã báo h%ng hóc

(ngo i tr 21)
c và ghi l i mã ch2n oán
mã báo bình
th #ng và 21
Tháo c"c TE1 và E1 c a gi7c ki m tra. Gi* s!
vòng quay 2500 v/p.
0V 5V
Tháo !ng m m thông gió cácte
0V l(n h$n
0V
S a ch*a h0n h p quá giàu
2 3
0 1

0 1 2 3
Tháo gi7c c7m c a c m bi n nhi t n (c và

n!i b/ng i n tr 4-8 kI ho c phát m t tín hi u
mô ph%ng t $ng $ng.
N!i các c"c TE1 và E1 qua gi7c ki m tra
Làm nóng c m bi n ôxy b/ng cách cho ng c$

n máy 2500 v/p trong kho ng 90 giây. Gi*
vòng quay ng c$ 2500 v/p.
o i n áp gi*a các c"c VF1 và E1.
0V 5V
Thay th c m bi n ôxy S a ch*a h0n h p quá nghèo
3.3.3 C m bi n l u l ng khí
3.3.3.1 Ki m tra i n áp ph n h i
C"c ki m i n áp
H h%ng i u ki n
tra chu)n
VC – E2 - 5.1 – 10.8V
Không có Khóa i n ON Cánh o gió óng hoàn toàn 2.5 – 5.4 V
VS – E2 i n áp Cánh o gió m hoàn toàn 6.2 – 8.8 V
Không t i 3.9 – 5.8 V

ECU
E2
E2
VS
VS
VC
VC
+B
VB (+B1)
E1
c m bi n l u
l ng khí
Không có i n áp xác nh gi*a c"c VC ho c VS c a ECU và E2 (khóa i n On)
Ki m tra có i n áp gi*a c"c +B ho c +B1 c a ECU và i m n!i mát.

(khóa i n On)
không t!t
Ki m tra +B1 ho c +B
t!t và E1
Ki m tra dây n!i gi*a c"c E1 c a ECU và i m n!i mát.
t!t không t!t
Ki m tra c m bi n l u l ng khí
không t!t t!t
Thay th c m bi n l u l ng khí Ki m tra dây d2n gi*a ECU và AFM
t!t không t!t
Th ECU khác S a ho c thay th

3.3.3.2 Ki m tra i n tr
Ki m tra trên xe
C"c o i n tr I Nhi t 00C
VS – E2 20-300 -
VC – E2 100-300 -
VB – E2 200-400 -
10.000-20.000 -20
4000-7000 0
TA – E2 2000-3000 20
900-1300 40
400-700 60
FC – E1 Không xác nh -
Ki m tra c m bi n l u l ng
Các c"c ki m tra i n tr I m cánh o gió
Không xác inh óng hoàn toàn
FC – E1
0 Ngoài v trí óng
20 – 400 óng hoàn toàn
VS – E2
20 - 3000 M hoàn toàn
3.4 Mô ph-ng
3.4.1 t v n và l.a ch/n ph ng án.
Trong vi c tìm tòi nghiên c u thì hình nh ch a "ng trong nó nh*ng thông tin
quan tr ng, c bi t là trong ngành k8 thu t. Vi c mô t , trình bày m t chi ti t, m t
h th!ng không th ch' nói suông mà c n ph i dùng n hình nh minh h a,
xác nh v trí c a m t chi ti t trong m t h th!ng hay cách nó ho t ng trong h
th!ng ó và m t h th!ng c ho t ng nh th nào.
i u ó có ngh+a là ph i tìm ph $ng án a hình nh lên m t cách sinh ng, d
dàng và d th"c hi n. Qua ó giúp ng #i tra c u s d ng cách d dàng và nhanh
chóng hi u c. Hi n có nhi u ch $ng trình ph n m m mô ph%ng chi ti t và
trình di1n nh : Solidworks, Flash, Pro/Engineer, Autocad, Proshow Producer,
SwiSHmax, GIF Animator, Kool Moves… M0i ch $ng trình có m t th m nh riêng
và ph c v cho m t m c ích riêng, nên c n l"a ch n ch $ng trình v a áp ng là
mô ph%ng chi ti t d dàng, sinh ng và còn c h tr b i ch $ng trình khác.
Riêng tôi ã s d ng hai ph n m m chính là Flash MX và Solidworks vì:
Solidworks dùng mô ph%ng chi ti t d dàng, sinh ng.
Flash MX dùng trình chi u d dàng, Gp m7t, c nhi u ng #i s
d ng và có dung l ng nhG có th a lên m ng c.
Hai ch $ng trình này có th h tr cho nhau.

3.3.2 Gi i thi u v Flash MX

Giao di n trong Flash
Thanh menu
TimeLine
TimeLine là n$i quan tr ng nh t trong Flash, nó dùng i u khi n và là n$i xây d"ng
m i ho t ng c a các !i t ng trong ch $ng trình chúng ta c n thi t k .
B ng thu c tính
Là n$i th hi n nh*ng thu c tính c a các !i t ng nh : tên !i t ng, kích th (c,

màu s7c…
Chúng ta có th tìm th y thu c tính c a t t c các !i t ng trong Flash nh :
Movie, Graphic, Button… b ng thu c tính này.

3.3.3 Gi i thi u v Solidworks

ây là ch $ng trình mô ph%ng ph c v 7t l"c cho ngành k8 thu t, bao g m nh*ng
công c cho phép t o ra và ch'nh s a mô hình m t cách hi u qu v(i nhi u cách
th c khác nhau. Các v t th c mô ph%ng cách sinh ng, tr"c quan nh m t mô
hình th"c s".
Thanh công c
Vùng h a
Chi ti t c v3
Vùng qu n lý
C a s giao di n chính c chia thành hai vùng chính: vùng qu n lý và vùng

h a. Vùng qu n lý bao g m:
Feature Manager Design Tree: li t kê nh*ng c u trúc c a b n v3.
Property Manager: hi n th nh*ng thông tin liên quan nh góc l n, m!i liên h c$
h c c a các b ph n trong b n v3 l7p…
Configuration Manager: giúp ng #i s d ng t o ra, l"a ch n và hi n th hình d ng
nh*ng chi ti t $n ho c t p h p nh*ng chi ti t trong b n v3 l7p.
Vùng h a là vùng v3, ch'nh s a và hi n th b n v3 chi ti t, b n v3 l7p ho c
b n v3 k8 thu t.
3.3.4 Mô ph-ng th0 nghi m
Vì dung l ng báo cáo có h n nên trong s! các c m bi n ch' ch n c m bi n l u
l ng không khí ki u th tích mô ph%ng th nghi m, v(i các nút l nh c gi i
thích trên hình v3, nguyên lý ho t ng c a nó nh sau:

Các h t ch m % là không khí t b u l c khí vào s3 tác ng vào cánh o và làm

quay cánh o quanh m t tr c. Tùy theo l u l ng không khí vào nhi u hay ít mà
nâng c a cánh o s3 m t $ng t $ng ng.
Khi l u l ng không i thì cánh o s3 gi* nguyên v trí, cánh o c gi* n nh
b i cánh gi m ch n và bu ng gi m ch n.
ây là ki u mô ph%ng k t h p gi*a hai ph n m m Flash MX và Solidworks.
nút trình chi u
nút d ng
nút lùi nút t(i

K T LU1N – 2 XU3T
1. K T LU1N
Sau khi ã hoàn thành quá trình tìm hi u và th"c hi n tài “ phân tích c s lý
thuy t và mô ph-ng ho t "ng m"t s c m bi n s0 d ng trong ngành c khí
ôtô” tôi rút ra m t s! k t lu n nh sau:
a) tài mang tính giáo khoa và c s d ng làm giáo trình gi ng d y c a
tr #ng, nên òi h%i tính lý thuy t không nh*ng r ng mà ph i sâu. Giáo trình
c th"c hi n b i hai sinh viên làm vi c c l p, nh ng theo m t h th!ng
nh t quán, có th trình bày m t cách h p lý không ch' v n i dung và c
hình th c cùng nh*ng ph n m m ph c v . Qua ó giáo trình tr nên sinh
ng, d hi u và d s d ng trong sinh viên.
b) C m bi n ngày càng c s d ng r ng rãi trên ôtô và tr thành thi t y u
có th áp ng nh*ng yêu c u ngày càng kh7c khe v vi c s d ng ngu n
nhiên li u ngày m t khan khi m có hi u qu h$n c,ng nh yêu c u v b o v
môi tr #ng.
c) C m bi n c phân chia thành r t nhi u lo i, nhi u hình d ng, nhi u ch t
li u khác nhau ng v(i nh*ng yêu c u o c c th , nh ng nó u có nh*ng
quy lu t chung c a quá trình bi n i ho c tín hi u kích thích. M i c m bi n
l i có tính l"a ch n, chính xác, n nh theo th#i gian khác nhau. Vì
v y khi ch n l"a c n n7m rõ u nh c i m, tính n4ng và i u ki n c th
trong s d ng c m bi n làm vi c hi u qu và ti t ki m chi phí.
d) Vi c ch t o c m bi n òi h%i công ngh k8 thu t khá cao c,ng nh trình
k8 thu t i kèm. Vì v y vi c ch t o ch' có th c th"c hi n nh*ng n (c
tiên ti n v khoa h c k8 thu t và giá thành c m bi n còn khá cao. Cho n
bây gi# m t s! c m bi n v2n ch a c s n xu t v(i tính công nghi p thì
v2n ch a th n c v(i ng #i s d ng.
2. 2 XU3T
M c d u ch' mang tính ch quan c a cá nhân tôi, nh ng vì hy v ng s3 ph n nào ó
góp chung cho quá trình ào t o c a tr #ng n$i nuôi d =ng tôi m y n4m nay,
nên tôi m nh d ng xu t m t s! ý ki n sau:
a) Th t may m7n cho các sinh viên khóa sau vì tr #ng hi n nay ã mua v r t
nhi u trang thi t b d ng c d y h c và thí nghi m. Nh ng c n s(m hoàn
thành các ch $ng trình gi ng d y cho nh*ng tr ng b ó nó có th ph c v
cách t!i a cho sinh viên. Vì tôi th y h th!ng ánh l a i n t EFI v tr #ng

ã lâu mà n khi tôi ra tr #ng v2n ch a c th"c hành l n nào và có bi t

bao sinh viên khác mu!n tìm hi u k8 h$n mà v2n ch a có c$ h i.
b) Gi# th"c hành th"c s" c n thi t, chúng tôi c n nhi u h$n th#i gian th"c
hành và ki n th c y cho gi# th"c hành ó chúng tôi có th n7m r%
h$n v lý thuy t và th"c s" v*ng vàng t" tin khi b (c ra tr #ng.
c) Ki n th c chuyên môn th"c s" khó nh ng v2n ch a c quan tâm úng
m c c,ng nh nh*ng công ngh m(i thì sinh viên ch' c bi t qua thôi. Tôi
hy v ng tr #ng và b môn s3 gi i quy t s(m ch t l ng u ra cho sinh
viên c cao h$n.
d) Vi c trang b ki n th c tin h c cho sinh viên th"c s" c n thi t, nh ng tôi ngh+
r/ng h$i mu n. N u c trang b s(m h$n thì sinh viên có th s d ng cách
hi u qu h$n trong án t!t nghi p ra tr #ng và sau này.
ó là nh*ng gì tôi có th nh n ra c và có th mang nhi u tính ch quan.
Sau h t, tôi xin t% lòng bi t $n sâu s7c n th y ThS V, Th4ng Long, các th y cô ã
d y b o tôi trong su!t quá trình h c t p và các b n ã t n tình góp ý giúp = tôi r t
nhi u trong quá trình th"c hi n lu n v4n này.

TÀI LI4U THAM KH(O
1. Giáo Trình C m Bi n.
Phan Qu!c Phô – NXB Khoa H c Và K8 Thu t – 2006.
2. C m Bi n Và Fng D ng.
D $ng Minh Trí – NXB Khoa H c Và K8 Thu t – 2001.
3. HandBook Of Modern Sensors.
Jacob Fraden – Advanced Monitors Corporation San Diego – Califonia.
4. Th"c Hành S a Ch*a Và B o Trì ng C$ X4ng.
Tr n Th San – 0 D,ng – H S Ph m K8 Thu t Tp.Hcm – NXB à NUng.
5. Trang B i n Và i n T Trên Ôtô Hi n i.
PGS – TS 0 V4n D,ng – NXB HQG Tp. Hcm.
6. H Th!ng Phun X4ng i n T Dùng Trên Xe Du L ch.
Hoàng Xuân Qu!c – NXB Khoa H c Và K8 Thu t.
7. H (ng D2n S a Ch*a ng C$ TOYOTA 4A – F , 4A – GE.
TOYOTA MOTOR VIET NAM – 1996.
7. H (ng D2n S a Ch*a ng C$ 1Rz, 2Rz, 2Rz – e ToYoTa Hiace.
Võ T n ông - NXB Khoa H c Và K8 Thu t.
8. WORKSHOP MANUAL – ENGINE -4JA1-NA.4JA1-L MODELS
ISUZU Vi t Nam – 2000.
9. Thi t K C$ Khí V(i SolidWorks 2004.
Ph m Quang Huy – NXB Giao Thông V n T i.
10. Thi t K Web Và Làm Ho t Hình V(i macromedia FLASH MX
Phùng Th Nguy t - NXB Giao Thông V n T i.

M&C L&C
Trang
LVI NÓI WU
CH&XNG 1: PHÂN TÍCH CX SA LÝ THUYYT
1.1 Gi(i thi u chung 1
1.2 M c tiêu tài 2
1.3 Gi(i h n tài 2
1.4 C$ s lý thuy t các lo i c m bi n 2
1.4.1 C m bi n o v n t!c l u l ng và m c ch t l u 2
1.4.2 C m bi n o áp su t ch t l u 19
1.4.3 C m bi n o chân không 32
1.4.4 C m bi n b c x h t nhân 46
1.4.5 C m bi n )m 54
1.4.6 C m bi n i n hóa 61
1.4.7 C m bi n thành ph n khí 67
CH&XNG 2 : FNG DZNG C[A CÁC CTM BIYN TRONG NGÀNH
CX KHÍ ÔTÔ
2.1 C m bi n l u l ng 79
2.2 C m bi n m c ch t l u 84
2.3 C m bi n áp su t chân không 85
2.4 C m bi n o áp su t ch t l u 87
2.5 C m bi n thành ph n khí 89
CH&XNG 3 : KI\M TRA VÀ MÔ PH]NG
3.1 L u ý khi ki m tra ch)n oán 92
3.2 Ch)n oán 92
3.3 Ki m tra 94
3.3.1 C m bi n áp su t chân không 94
3.3.2 C m bi n ôxy 97
3.3.3 C m bi n l u l ng khí 99
3.4 Mô ph%ng 101
KYT LU^N – _ XURT 105
TÀI LI U THAM KHTO 107
MZC LZC 108

Cam Bien Oto PDF

Uploaded by

Document Information

Original Title

Copyright

Available Formats

Share this document

Share or Embed Document

Sharing Options

Did you find this document useful?

Is this content inappropriate?

Copyright:

Available Formats

Cam Bien Oto PDF

Uploaded by

Copyright:

Available Formats

GVHD: ThS V TH NG LONG ÁN T T NGHI P

SVTH: HU NH H U LONG 1 12/8/2007

SVTH: HU NH H U LONG 2 12/8/2007

Tính ch t v t lý c a dòng ch y t i m t i m có th thay i ho c không thay i

SVTH: HU NH H U LONG 3 12/8/2007

Ngh+a là m t cách t ng quát, m0i i l ng không th nguyên liên quan n dòng

Kh!i l ng riêng 9 nh(t : T!c ch y

Ch t l%ng Không i t 800 n 1000 ≈ 1 ÷ 10 4 PI 0 ≤ U ≤ 200m / s

Ch t khí Ph thu c vào T và P, !i v(i ≈ 10 5 PI

SVTH: HU NH H U LONG 4 12/8/2007

Khi v t trung gian là m t ph n t c a c m bi n t trong ch t l u, v n t!c c a ch t

Hình 1.1 Các d ng dây d n và màng m ng dùng o v n t c dòng ch y.

SVTH: HU NH H U LONG 5 12/8/2007

N u gi thi t s" trao i nhi t ch' x y ra do hi n t ng !i l u c a ch t l u nhi t

Hình 1.2 S o trong ch dòng không i.

SVTH: HU NH H U LONG 6 12/8/2007

Hình 1.4 Phong k ion: a) nguyên lý c u t o; b) m ch o.

Trên hình 1.4 bi u di1n s$ nguyên lý c a m t c m bi n o t!c gió b/ng cách

SVTH: HU NH H U LONG 7 12/8/2007

u o g m m t dây d2n có i n th cao, xung quanh nó là b!n i n c"c góp. Dây

SVTH: HU NH H U LONG 8 12/8/2007

Hình 1.5 Phong k dùng chén bán c u:

SVTH: HU NH H U LONG 9 12/8/2007

u o gió dùng cánh qu t (chong chóng)

Hình 1.6 o t c gió b ng u o chong chóng.

SVTH: HU NH H U LONG 10 12/8/2007

Hình 1.7 S d ch chuy n c a m t o n dây d n trong tr ng c m ng t .

SVTH: HU NH H U LONG 11 12/8/2007

c ph ch t cách i n. Hai i n c"c l y tín hi u t hai u #ng kính vuông

SVTH: HU NH H U LONG 12 12/8/2007

Hình 1.9 S nguyên lý c u t o c a l u l ng k phao n i.

L ul ng k lo i này có c u t o g m m t phao nh% t trong !ng th.ng ng hình nón.

SVTH: HU NH H U LONG 13 12/8/2007

V là th tích và 90 là kh!i l #ng riêng c a phao.

SVTH: HU NH H U LONG 14 12/8/2007

Hình 1.10 L u l ng k dùng lá ch n.

Hình 1.11 L u l ng k kh i l ng nhi t: a) s nguyên lý c u t o;

L u l ng k kh!i l ng nhi t có c u t o g m m t !ng d2n b/ng kim lo i m nh có

SVTH: HU NH H U LONG 15 12/8/2007

SVTH: HU NH H U LONG 16 12/8/2007

S! h ng th hai 9gSh trong bi u th c là l"c )y Archimede tác d ng lên hình tr . Tín

Cách th ba: s d ng c m bi n áp su t vi sai t áy c a bình ch a. T i áy bình

SVTH: HU NH H U LONG 17 12/8/2007

C u t o c a u o g m hai i n c"c hình tr , n u bình ch a b/ng kim lo i thì bình

Hình 1.13 C m bi n d n o m c ch t l u: a) s hai i n c c;

SVTH: HU NH H U LONG 18 12/8/2007

Hình 1.14 o m c ch t l u b ng b c x gama.

SVTH: HU NH H U LONG 19 12/8/2007

SVTH: HU NH H U LONG 20 12/8/2007

Áp su t khí quy n i u ki n bình th #ng t $ng $ng v(i áp su t o m t c t

1 pascal 1 10 -5 1,02 10-5 0,9869 10-5 1,02 10 -5 0,75 10 -5 10-2

1 bar 105 1 1,02 0,9869 1020 750 1000

1kg/cm2 98 103 0,980 1 0,986 1000 735 980

1 atmosphe 101325 1,013 1,033 1 1033 760 1013

1gam/cm2 98 98 10-5 10-5 0,968 10-3 1 0,735 0,98

1mbar 100 1 10-3 1,02 10-3 0,9869 10-3 1,02 0,750 1

SVTH: HU NH H U LONG 21 12/8/2007

Trong tr #ng h p o tr"c ti p, ng #i ta g7n lên thành bình các c m bi n o ng

Hình 1.15 C m bi n o áp su t dùng ng b t kín m t u.

Ng #i ta c,ng có th s d ng v t trung gian là màng m%ng o áp su t. Khi ó s"

SVTH: HU NH H U LONG 22 12/8/2007

SVTH: HU NH H U LONG 23 12/8/2007

(d ng x p thành n p), !ng hình cong b t m t u…Tùy t ng tr #ng h p c th mà