Professional Documents
Culture Documents
Ảnh hưởng của thông số giá đỡ đến sai số con quay vi cơ trong điều kiện
rung góc chân đế
Tóm tắt [1,4] với chuyển động góc của phần tử cảm ứng trong
Bài viết nghiên cứu mô hình toán học dao động của hệ các đối tượng chuyển động được tạo ra từ một lớp
con quay vi cơ với dao động góc của phần tử cảm ứng silicon dày 300 micromet, sử dụng thuật in đá quang
trong điều kiện chân đế rung góc. Phương trình học (photolithography) được mô tả trên hình H. 1:
chuyển động được đưa ra dưới dạng hệ phương trình
vi phân Mathew-Hill. Áp dụng phương pháp trung
bình Krylov-Bogolyubov nghiên cứu động lực học
con quay theo biến chậm thấy rằng thông số giá đỡ
ảnh hưởng tới độ chính xác của con quay vi cơ trong
điều kiện rung góc chân đế.
Từ khóa: động lực học, con quay vi cơ, rung chấn
Abstract:
The article considered a mathematical model of
fluctuation of a micromechanical gyroscope with
angular fluctuations of a sensitive element in case of
the base's angular vibration. The motions equations
given in the form of Mathew-Hill's differential
equation. By Krylov-Bogolyubov's averaging method,
considering of dynamics of a sensitive element on H. 1 Cấu tạo con quay vi cơ loại RR.
slow variables showed an error of a micromechanical 1- Khung ngoài. 2- Khung trong. 3- Phần tử cảm ứng.
gyroscope caused by the base's angular vibration with 4- Điện cực tĩnh điện. 5- Thanh xoắn. 6- Chân đế.
uneven-stiffness of the torsion.
Keywords: dynamic, micromechanical gyroscope, Trong tài liệu [6] đã nghiên cứu ảnh hưởng của rung
vibration base. góc chân đế đến độ chính xác của con quay vi cơ.
Nghiên cứu trong bài viết này phát triển tiếp với việc
1. Phần mở đầu xét đến ảnh hưởng của các thông số của giá đỡ đến sai
số con quay vi cơ trong điều kiện rung góc chân đế.
Trong khoảng 30 năm trở lại đây, sự ra đời và phát
triển của công nghệ vi cơ điện tử (MEMS), một lĩnh
vực công nghệ cao đã tạo ra một cuộc cách mạng về 2. Động lực học phần tử cảm ứng con
khoa học công nghệ trong việc chế tạo các linh kiện quay vi cơ loại RR trong điều kiện
cảm biến và chấp hành ở phạm vi kích thước dưới rung góc chân đế
milimet. Cảm biến quán tính có triển vọng nhất là con 2.1. Mô hình toán học
quay hồi chuyển vi cơ (micro mechanical gyroscope -
gọi tắt là con quay vi cơ) đã và đang ngày càng được
sử dụng rộng rãi trong các hệ thống dẫn hướng và ổn
định chính xác như các vật thể bay, các ăng ten vệ
tinh, thiết bị quang điện tử, thiết bị gắn trên ô tô và cả
các thiết bị gia dụng. Chính vì vậy vấn đề nghiên cứu
nhằm nâng cao độ chính xác của con quay vi cơ đang
là một trong những vấn đề cấp thiết được nhiều nhà
khoa học trong và ngoài nước quan tâm.
Con quay vi cơ về bản chất là một hệ thống cơ điện
tử, được chế tạo trên cơ sở nguyên lý làm việc dao
động rung. Ở bài viết này tác giả nghiên cứu con quay
vi cơ loại RR theo mẫu phát minh của Boxenhorn B.
H. 2 Cấu tạo con quay vi cơ loại RR.
VCCA-2015
Hội nghị toàn quốc lần thứ 3 về Điều khiển và Tự động hoá - VCCA-2015
khung ngoài có trục Ox1 trùng với trục dao động quay ïï J b& &+ (J - J )b a&2 + (J + J - J )a&W+
của khung ngoài, Oy1 trùng với trục quay của khung ïï y x z x y z
ïï
trong, Oz1 tạo thành tam diện thuận. Hệ tọa độ ïïî + (J z - J x )b W + J y Wa + cb b + kb b&= 0.
&
2
Ox*y*z* gắn cứng với trục đối xứng chính của phần tử
Hệ phương trình (4) chính là mô hình vật lý mô tả
cảm ứng có trục Ox* trùng với trục quay ngoài, Oy*
chuyển động của phần tử cảm ứng con quay vi cơ. Để
trùng với trục quay của khung trong, Oz* tạo thành thuận lợi cho việc khảo sát mà không làm ảnh hưởng
tam diện thuận. W- Vận tốc góc của chân đế. a - Góc tới tính chất của hệ, ta đưa vào các biến không thứ
dao động của khung ngoài đối với chân đế con quay nguyên, nó giảm được các thông số của hệ phương
vi cơ. b - Góc dao động của phần tử cảm ứng (khung trình và giảm các hiệu ứng phi tuyến liên quan đến
trong) đối với khung ngoài. biên độ dao động của bộ phận cảm ứng, các sai số do
Quan hệ tương đối giữa các hệ trục tọa độ [2]: sản xuất. Ta đưa vào thời gian chậm không thứ
Oxyz ¾ a¾
x
® Ox1 y1 z1 ¾ y¾
b
® Ox* y* z* . nguyên t và thay thế các biến góc theo x,y, vận tốc
1
góc theo n bằng các biểu thức sau:
Từ tương quan giữa các hệ trục tọa độ, áp dụng công
thức tính động năng: a = e j1 x, b = e j2 y
1 1 cb ca
T = Ω*T ×J ×Ω* + Ωa T ×I ×Ωa , t = w t, ω = = ,
2 2 Jy Jx + Ix
trong đó: Ω* - vector vận tốc góc của phần tử cảm
ứng, J - ma trận momen quán tính của phần tử cảm W ka kb
en = j1 j2 , eg = = (5)
ứng con quay hồi chuyển đối với hệ trục Oxyz, Ω* - w ca (J x + I x ) cb J y
vận tốc của khung ngoài với hệ trục tọa độ Oxyz, I - Jx + Jy - Jz Jx + Jy - Jz
ma trận momen quán tính của khung trong và khung j1 = , j2 =
ngoài với hệ trục tọa độ Ox1 y1 z1 , với giả thiết rằng Jx + Ix Jy
các momen li tâm quán tính của phần tử cảm ứng và M Jx + Ix 1
khung bằng 0. me 3 2 = ,x =
ca Jx + Jy - Jz j2
Biểu thức động năng của hệ:
trong đó: w - tần số dao động riêng của phần tử cảm
T = éêJ x (a&cos b - Wcos a sin b ) +
1 2
ứng; g - hệ số hãm rung tương ứng của giá đỡ trong
2ë
2 2 và ngoài; j1 , j2 , x - những tham số không thứ nguyên
+ J y (Wsin a + b&) + J z (Wcos a cos b + a&sin b ) (1)
đặc trưng cho khối lượng và dạng hình học của phần
+ I x a&2 + I y W2 sin 2 a + I z W2 cos 2 a ù. tử cảm ứng con quay hồi chuyển vi cơ, m - mô men
ú
û cưỡng bức.
Hàm thế năng biến dạng đàn hồi: Thay biểu thức (5) vào hệ phương trình (4) ta được:
1 1 íï x&
П = ca a 2 + cb b 2 - M a (2) ïï &+ x = e (- g x&+ n y&+ (1- x )n&y - m),
2 2 ì (6)
ïï &
îï y + y = e (- g y - n x - x n x).
trong đó: ca , cb - hệ số độ cứng xoắn theo các góc & & & &
quay khi quay khung ngoài và khung trong tương ứng Hệ phương trình (6) là mô hình toán học mô tả
quanh Ox và Oy*, M - mô men cưỡng bức. chuyển động của phần tử cảm ứng con quay vi cơ.
Hàm hao tán năng lượng:
1 1 2.2. Bài toán rung góc chân đế
Ф = ka a&2 + kb b&2 (3) Nghiên cứu bài toán động lực học dao động cưỡng
2 2
bức của phần tử cảm ứng đặt trên chân đế dao động
trong đó: ka , kb - hệ số hãm rung theo các góc quay
rung góc với giả thiết vận tốc góc của chân đế có
khi quay khung ngoài và khung trong tương ứng dạng:
quanh Ox và Oy*. W= W0 + W1 sin 2w0 t (7)
Ứng dụng phương trình Lagrange dạng II và loại bỏ
những thành phần vô cùng bé bậc cao ta được hệ trong đó: W0 - vận tốc góc của chân đế, W1 - biên độ
phương trình: dao động rung góc của chân đế, 2w0 - tần số dao động
rung góc của chân đế.
Từ (5) và (7) thay thế vận tốc về dạng không thứ
nguyên ta được:
n = n0 + n1 sin 2mt (8)
VCCA-2015
trong đó: n 0 - vận tốc góc không thứ nguyên của chân x = q1 cos mt + p1 sin mt ,
đế, n1 - biên độ dao động rung góc không thứ nguyên x&= - q1 msin mt + p1 m cos mt ,
(11)
của chân đế, 2m - tần số dao động rung góc không thứ y = q2 cos mt + p2 sin mt ,
nguyên của chân đế, y&= - q2 msin mt + p2 m cos mt .
Ω Ω w Ở lân cận tham số chính cộng hưởng (10), hệ phương
en0 = j1 j2 0 , en1 = j1 j2 1 , m = 0
ω ω w trình (9) sau khi biến đổi sang các biến chậm
Thay biểu thức (8) vào hệ phương trình (6) ta được: p1 , q1 , p2 , q2 theo các công thức (11) được hệ phương
ïíï æ- g x&+ (n 0 + n1 sin 2mt ) y&+
ç
ö
÷ trình động lực học con quay theo biến chậm. Áp dụng
ïï x& &+ x = e çç ÷
÷
ïï ÷,
çèç+ 2m(1- x )n1 y cos 2mt - m0 sin mt ÷ phương pháp trung bình Krylov-Bogoliubov nghiên
ïì ø cứu hệ phương trình động lực học con quay theo biến
(9)
ïï æ- g y&- (n 0 + n1 sin 2mt ) x&- ÷
ö chậm với dao động rung góc chân đế xảy ra ở lân cận
ïï & ç
ç ÷
&
ïï y + y = e ççè- 2mxn x cos 2mt ÷
÷
. tần số cộng hưởng [3]. Để thuận lợi trong việc giải hệ
÷
ø
ïî 1 phương trình vi phân ta đưa vào đại lượng biên độ dao
Hệ phương trình (9) có dạng hệ phương trình vi phân động chân đế mới:
Mathew-Hill. Nghiên cứu hệ phương trình động lực æ Jy + Jz - Jx ö
÷
1 ç ÷ (12)
học của hệ trong trường hợp cộng hưởng khi giá trị n1* = (2x - 1)n1 , çç2x - 1 = > 0÷
÷
tần số dao động rung góc tiến gần đến hai lần giá trị 2 çè Jx + J y - Jz ÷
ø
tần số dao động riêng của phần tử cảm ứng: Nhận được hệ phương trình mới với biến chậm:
m- 1 = e l (10) íï q&
ïï 1 = e (- g q1 - 2l p1 + n 0 q2 - n1* p2 - m0 ) / 2,
trong đó: l - pha phân tách tần số (l ~ 1) . ïï &
ï p1 = e (- g p1 + 2l q1 + n 0 p2 - n1* q2 ) / 2,
Để nghiên cứu sự thay đổi chậm pha phân tách dao ì (13)
ïï q&2 = e (- g q2 - 2l p2 - n 0 q1 - n1* p1 ) / 2,
động của hệ ta chuyển đổi các biến x, x&, y, y& sang các ïï
ïï p& = e (- g p + 2l q - n p - n q ) / 2.
biến chậm p1 , q1 , p2 , q2 bằng công thức Van de Pol ïî 2 2 2 0 1 1* 1
[2]: Trong phần tiếp theo ta bỏ qua dấu (*) để trình bày
công thức đơn giản. Giải hệ phương trình vi phân
thuận (13) ta được bộ nghiệm như sau:
íï q1 (t ) =(( p20 + q10 )l 4 + ( p10 - q20 )l 5 )e1 + ((q10 - p20 )l 3 + ( p10 + q20 )l 6 )e2 +
ïï
ïï
ïï + ((q10 - p20 )l 2 - ( p10 + q20 )l 6 )e3 + (( p20 + q10 )l 1 + (q20 - p10 )l 5 )e4 +
ïï
ïï æl e l e l e l e l 11 ö
÷
ïï + ççç 4 1 + 3 2 + 2 3 + 1 4 - ÷
÷ m0 ,
ïï çè l 7 l8 l9 l 10 l 7 l 8l 9 l 10 ÷
ø
ïï
ïï p1 (t ) =(( p10 - q20 )l 1 - ( p20 + q10 )l 5 )e1 + (( p10 + q20 )l 2 + ( p20 - q10 )l 6 )e2
ïï
ïï + (( p10 + q20 )l 3 + (q10 - p20 )l 6 )e3 + (( p10 - q20 )l 4 + ( p20 + q10 )l 5 )e4
ïï
ïï
ïï æ l e l e l e l e l 12 ö
÷
ïï + ççç- 5 1 - 6 2 + 6 3 + 5 4 - ÷
÷ m0 ,
ï çè l 7 l8 l9 l 10 l 7 l 8 l 9 l 10 ÷
ø
ì
ïï q2 (t ) =((q20 - p10 )l 1 + ( p20 + q10 )l 5 )e1 + (( p10 + q20 )l 2 + ( p20 - q10 )l 6 )e2 +
ïï
ïï
ïï + (( p10 + q20 )l 3 + (q10 - p20 )l 6 )e3 + ((q20 - p10 )l 4 - ( p20 + q10 )l 5 )e4 +
ïï
ïï æl e l e l e l e l 12 ö
÷
ïï + ççç 5 1 - 6 2 + 6 3 - 5 4 + ÷
÷ m0 ,
ïï çè l 7 l8 l9 l 10 l 7 l 8 l 9 l 10 ÷
ø
ïï
ïï p2 (t ) =(( p20 + q10 )l 4 + ( p10 - q20 )l 5 )e1 + (( p20 - q10 )l 3 - ( p10 + q20 )l 6 )e2
ïï
ïï + (( p20 - q10 )l 2 + ( p10 + q20 )l 6 )e3 + (( p20 + q10 )l 1 + (q20 - p10 )l 5 )e4
ïï
ïï æl e l e l e l e l 14 ö
ïï + ççç 4 1 - 3 2 - 2 3 + 1 4 + ÷
÷ m0 .
ïï ÷ (14)
ïî
çè l 7 l8 l9 l 10 l 7 l 8 l 9 l 10 ÷
ø
trong đó:
VCCA-2011
Hội nghị toàn quốc lần thứ 3 về Điều khiển và Tự động hoá - VCCA-2015
2 2
- e ( g ± n12 - (2l + n 0 ) ) t / 2 - e ( g ± n12 - (2l - n 0 ) ) t / 2
e e
e1,4 = , e2,3 = ,
2 2
4 n12 - (2l + n 0 ) 4 n12 - (2l - n 0 )
2 2
l 1,4 = n12 - (2l + n 0 ) m n1 , l 2,3 = n12 - (2l - n 0 ) ± n1 , l 5,6 = 2l ± n 0 ,
2 2
l 7,10 =g ± n12 - (2l + n 0 ) , l 8,9 = g ± n12 - (2l - n 0 ) ,
l 11 = 4 n1l n 0 + g (g 2 - n12 + 4 l 2 + n 0 2 ), l 12 = 2l (g 2 - n12 + 4 l 2 - n 0 2 ),
l 13 = 2n 0 (g 2 - n12 - 4 l 2 + n 0 2 ), l 14 = 4 g n 0 l + n1 (g 2 - n12 + 4 l 2 + n 0 2 ).
2.3. Ảnh hưởng của thông số giá đỡ giảm khi giá trị tham số hãm rung tăng, như vậy nó
Xét với bộ giá trị số cho con quay vi cơ [5]: độ cứng phù hợp với quy luật vật lý đã biết.
giá đỡ c1 / 3 = c2 = 8.48´ 10- 5 (Nm) ; mô men quán
Trường hợp 3: Trong trường hợp tham số hãm rung
tính của phần tử cảm ứng và khung ngoài đồng nhấtvà chân đế quay đồng thời có dao động rung
J x = J y = 2 J z = 2I x = 2.4´ 10- 13 (kgm2 ); những góc chân đế thu được kết quả đối với những biến
tham số không thứ nguyên đặc trưng cho khối lượng chậm có dạng sau:
và dạng hình học của phần tử cảm ứng con quay vi cơ - 4m0 l n 0 n1
q1 = ,
tương ứng có giá trị
j1 = 1, j2 = 3 / 2, j = 1/ 2, x = 2 / 3 ; tần số dao động
( 2 2
)(
(2l + n 0 ) - n12 (2l - n 0 ) - n12 )
riêng của phần tử cảm ứng con quay vi cơ - 2m0 l (4l - n 0 - n
2 2
1
2
)
p1 = ,
w = 1.88´ 10 (s4
) ; biên độ vận tốc góc rung chân đế
-1
((2l + n ) - n )((2l - n ) - n )
0
2
1
2
0
2
1
2
W1 = 2.10- 6 (s ).
- 1 (18)
- m0 n 0 (4l 2 - n 0 2 + n12 )
Để nghiên cứu ảnh hưởng của thông số giá đỡ lên q2 = ,
nghiệm hệ phương trình vi phân của dao động cưỡng ((2l + n ) - n )((2l - n ) - n )
0
2
1
2
0
2
1
2
(17) nghiệm của hệ phương trình (14) và các kết quả xét
m0 n1 trong các công thức (15), (16), (17) và (18) có thể
q2 = 0, p2 = .
4l 2 + g 2 - n12 dùng để đánh giá sai số con quay vi cơ đặt trên chân
Phân tích đặc trưng biên độ và tần số được biểu thị đế dao động rung góc tương ứng theo từng thông số
trên hình H.3b thấy rằng giá trị biên độ dao động giá đỡ khác nhau.
VCCA-2015
Hội nghị toàn quốc lần thứ 3 về Điều khiển và Tự động hoá - VCCA-2015
a)
b)
c)
d)
H. 3 Đặc trưng biên độ - tần số dao động của phần tử cảm ứng con quay vi cơ
а) g = 0, n0 = 0, n1 = 1 (nét liền) và g = 0, n0 = 0, n1 = 0 (nét đứt),
b) g = 0.8, n0 = 0, n1 = 1 (nét liền) và g = 0, n0 = 0, n1 = 1 (nét đứt),
c) g = 0, n0 = 0.5, n1 = 1 (nét liền) và g = 0, n0 = 0.5, n1 = 0 (nét đứt),
d) g = 0.8, n0 = 0.5, n1 = 1 (nét liền) và g = 0, n0 = 0.5, n1 = 0 (nét đứt).
VCCA-2015
Hội nghị toàn quốc lần thứ 3 về Điều khiển và Tự động hoá - VCCA-2015
VCCA-2015