NANOTEKNOLOJİ

Dr. AHMET TOPRAK

akademi.toprak@gmail.com
 YAZAR HAKKINDA

Fizik alanında lisansını derece ile bitiren yazar, nanoteknoloji alanında kendini
geliştirmiş ve bu alanda makaleler ve patentler yazmıştır.

Fikirlerinizi paylaşın, saçma olsalar bile, çünkü o saçma fikirlerin, başkalarının

beyinlerinde hangi devrimci fikirleri doğuracağını asla bilemezsiniz.

Geçmişin uçuk fikirlerinin günümüzün gerçekleri olduğunu asla unutmayın.

Enerjinin, atom altı parçacıkların, atomların ve moleküllerin şekillendirdiği,
evreni anlamaya çalışan canlı, sen insan; akıl etmekten, bilim yapmaktan, hayal
etmekten, merakının peşinden gitmekten ve üretken olmaktan asla vaz geçme...
Merakın ve azmin, seni yeryüzünden gökyüzünün uçsuz bucaksız derinliklerine
ulaştırdığı gibi, yarının dünyasında atom altı evrenlerin derinliklerine de
ulaştıracaktır. Birgün atomları belli kurallar etrafında düzenlemeyi başaracak ve
her şeyi kontrol edebilecek yüce bir güce ulaşacaksın. O güç ki, sonsuz gücün
gölgesinde, mütevazi bir ruh olarak bilimin ve aklın ışığında; kör bir çocuğun
karanlık dünyasını aydınlığa yeniden taşıyacak, sağır bir çocuğun sessiz
dünyasına hiç duymadığı annesinin sesini taşıyacak, herhangi bir uzvunu
kaybedenin umudu olacak, doğayı ve canlılığı tehtid eden her türlü kirliliği yok
edecek, çölleşen dünyayı yeniden yeşillendirecek, hiç bir çocuğun aç olarak
yatmasına izin vermeyecek, genlerin, moleküllerin ve proteinlerin yarattığı her
türlü hastalığı tarihe gömecek, karadeliklerin karanlığından ak deliklerin
ummanlarına doğru yepyeni evrenler, galaksiler ve yaşanabilir yep yeni
dünyalar keşfedecek…

Sorgula...
Sorgulamaktan ve düşünmekten asla korkma...
Bilim ve Akıl, Tanrı’nın yoludur...
“Rabbim ilmimi arttır... Taha Suresi 114“
 İÇİNDEKİLER

1. NANOTEKNOLOJİ NEDİR VE KISA TARİHÇE .............................................. 1

2. NANO BOYUTU ANLAMAK ............................................................................ 8
3. NEDEN NANOTEKNOLOJİ .......................................................................... 11
4. BOYUT KÜÇÜLDÜKÇE NELER DEĞİŞİYOR .............................................. 14
5. NANO MALZEMELER NASIL ELDE EDİLİR ................................................ 19
5.1. Litografi .................................................................................................. 19
5.1.1. Fotolitografi ...................................................................................... 20
5.1.2. Elektron/İyon Demeti Litografisi........................................................ 23
5.1.3. Nanobaskı Litografisi ........................................................................ 24
5.1.4. Taramalı Prob/Atomik Kuvvet Mikroskobu (AKM) Litografisi ............ 26
5.2. Fiziksel Buhar Biriktirme Yöntemi........................................................... 28
5.2.1. Elektron Demeti İle Buhar Biriktirme Yöntemi .................................. 28
5.2.2. Termal Buhar Biriktirme Yöntemi...................................................... 32
5.2.3. Püskürtme ile Buhar Biriktirme Yöntemi ........................................... 35
5.3. Kimyasal Buhar Biriktirme Yöntemi ........................................................ 36
5.3.1. Metal Organik Kimyasal Buhar Biriktirme (MOKBB) Yöntemi ........... 36
5.3.2. Plazma Destekli Kimyasal Buhar Biriktirme (PDKBB) Yöntemi ........ 39
5.3.3. Atomik Katman Biriktirme (AKB) Yöntemi ........................................ 41
5.4. Elektroliz Yöntemi .................................................................................. 42
5.5. Asal Gaz Yoğunlaştırma (AGY) Yöntemi................................................ 43
5.6. Sol-Jel Yöntemi ...................................................................................... 44
5.7. Mekanik Öğütme Yöntemi ...................................................................... 45
5.8. Plazma ile Aşındırma Yöntemi ............................................................... 47
6. NANO MALZEME KARAKTERİZASYON YÖNTEMLERİ ............................. 49
6.1. Taramalı Elektron Mikroskobu ................................................................ 49
6.2. Geçirimli Elektron Mikroskobu ................................................................ 51
6.3. Taramalı Tünelleme Mikroskobu ............................................................ 51
6.4. X-Işını Kırınımı (XRD) ............................................................................ 52
6.5. Küçük Açı X-Işını Saçılması (SAXS) ...................................................... 55
7. DOĞADA NANOTEKNOLOJİ ....................................................................... 58
7.1. Kemik ..................................................................................................... 58
 7.2. Örümcek Ağları ...................................................................................... 61
7.3. Güve Gözleri ve Antiyansıtıcı Katmanlar ................................................ 63
7.4. Deniz Kabukları ...................................................................................... 64
7.5. Nilüfer (Lotus) Yaprağı ........................................................................... 66
7.6. Geko (Gecko) Kertenkelesi .................................................................... 67
7.7. Kelebek Kanatları ................................................................................... 68
8. NANOTEKNOLOJİNİN BAZI UYGULAMALARI ........................................... 73
8.1. Fotonik Kristaller .................................................................................... 73
8.2. Nanomalzemeler .................................................................................... 75
8.2.1. Kuantum Noktaları............................................................................ 75
8.2.2. Nanopartiküller ................................................................................. 76
8.2.3. Nanotüpler ........................................................................................ 76
8.2.4. Nanoteller (Kuantum Telleri) ............................................................ 78
8.2.5. Süperörgüler (Superlattices) ............................................................ 78
8.2.6. Kuantum Kuyuları ............................................................................. 79
8.2.7. Aerojeller .......................................................................................... 79
8.3. Nanojeller .............................................................................................. 80
8.4. Nanolifler (Nanofiberler) ........................................................................ 80
8.5. Nanotomarlar (Nanoscrolls) .................................................................. 81
8.6. Nanoakışkanlar ..................................................................................... 82
9. NANOTEKNOLOJİNİN BAZI UYGULAMA ALANLARI ................................. 83
9.1. Nanoelektronik ve Nanobilgisayar ......................................................... 83
9.2. Nanoenerji ............................................................................................. 87
9.3. Nanoçevre ............................................................................................. 90
9.4. Nanotarım ve Nanogıda ........................................................................ 91
9.5. Nanoinşaat ............................................................................................ 91
9.6. Nanokozmetik ....................................................................................... 92
9.7. Nanotekstil ............................................................................................ 92
9.8. Nanotıp.................................................................................................. 93
10. NANOKİRLİLİK VE RİSKLER ..................................................................... 95
11. KAYNAKLAR............................................................................................... 97
 1. NANOTEKNOLOJİ NEDİR VE KISA TARİHÇE

"Nano" kelimesi, Yunancada cüce anlamına gelen νᾶνος (nános) kelimesinden

türetilmiş olup nanoteknoloji, en basit ifadeyle küçük şeylerin teknolojisi
anlamına gelmektedir. Amerika Birleşik Devletleri Ulusal Bilim Vakfı (NSF)
tarafından yapılmış, en yaygın kabul gören tanıma göre ise nanoteknoloji;

a. Atomik, moleküler veya makromoleküler seviyelerde herhangi bir yönde

yaklaşık 1-100 nanometre (nm) boyut skalasında madde ile kontrol
edilebilir bir biçimde araştırma geliştirme faaliyetlerinde bulunmak
b. Nanoboyutlu yapısı sayesinde yeni özellikler kazanmış yapılar
(malzemenin boyutunun 1-100 nm aralığında olması zorunlu değildir,
malzemenin sahip olduğu yeni boyutunda, yeni bir özellik sergiliyor
olması yeter koşuldur), cihazlar, sistemler meydana getirmek ve
kullanmak ya da varolanların işleyişlerini anlamak
c. Maddenin bu boyuttaki özelliklerinden istifade etmek amacıyla üzerinde
görüntüleme, ölçme, modelleme ve işleme yapılması
d. Bütün bu özellik ve fonksiyonların kontrol edilebilir sistemler olarak daha
büyük malzeme bileşenlerine, sistemlerine ve mimarilerine entegrasyonu

Olarak tanımlanmaktadır.

18. yüzyıldan beri her asırda iki kez olmak üzere bilim ve teknoloji alanında
meydana gelen devrimsel gelişmeler insanoğlunun yaşam biçimini derinden
etkileyerek refah seviyesini arttırmıştır. 1771 yılında tekstil alanında başlayan bu
devrimsel hareketler, 1825 yıllarında demiryolu, 1886 yıllarında otomobil ve
1939 yıllarında bilgisayar devrimi ile devam etmiştir. 1997 yılında ABD başkanı
Bill Clinton tarafından nanoteknolojinin, en kritik ve öncelikli yatırım alanı ilan
edilmesi ile başlayan nanoteknoloji devriminin ise diğer teknolojilerde olduğu
gibi 20. ve 21. yüzyıllarda insan hayatında köksel değişimler yapması
beklenmektedir. Şekil 1’de temel teknolojik gelişmeler ve nanoteknolojinin
gelişim sürecinin bu teknolojilere kıyasla öngörümü yer almaktadır.

1
Şekil 1.1. Temel teknolojik gelişmelerle karşılaştırıldığında nanoteknolojinin
gelişim süreci eğrisi [1].

Şekil 1.1’de her ne kadar nanoteknoloji alanındaki yatırım ve gelişmelerin

ivmelenmeye başladığı tarih olarak, 90’lı yıllar gösterilmiş olsa da nanoteknoloji
alanında bilinen ilk uygulamalar bu tarihten çok daha öncelere dayanmaktadır
[2]. British Museum'da sergilenen dikroik kaplamalı camdan yapılmış 4.yüzyıla
ait bir Roma kadehi buna en iyi örnektir (Şekil 2). Trakya Kralı Lycurgus'u içeren
bir sahneyi taşıdığı için Lycurgus Kupası olarak da bilinen bu kadehin yapıldığı
cam, 50-100 nm büyüklüğündeki gümüş-altın (gümüşün altına oranı, 7:3 olup
%10 oranında bakır ve 15-100 nm boyut aralığında sodyum klorit parçacıkları
da tespit edilmiştir) alaşımlı nanoparçacıklar içermesi ve bu nanopaçacıkların
ışık ile oluşturdukları plazmonik etki nedeniyle, önden aydınlatılması durumunda
yeşil, içinden aydınlatılması durumunda ise kırmızı renkte görünmektedir [3].

Şekil 1.2. Lycurgus Kupası (British Museum, İngiltere-Londra) [3].

2
Şekil 1.3'te görülen 9.-17.yüzyıllar arasında İslam dünyasında ve daha sonra da
Avrupa'da kullanılan seramikler, sahip oldukları gümüş ya da bakır gibi metalik
nanoparçacıklar sayesinde oldukça parlak ve ışıltılı görünmekteydi.

Şekil 1.3. Polikrom seramik kase (9.yüzyıl, Üretim yeri: Irak-Basra, British
Museum, İngiltere-Londra).

6.-15.yüzyıllar arasında Avrupa katedrallerinde, aynı zamanda Selçuklu ve

Osmanlı mimarisinde de kullanılan vitray pencereler, sahip oldukları altın klorür,
metal oksit ve klorür gibi nanoparçacıklar sayesinde oldukça renkli
görünmekteydi. Aynı zamanda altın nanoparçacıkları, sahip olduğu fotokatalitik
etki nedeni ile havayı temizleyen bir görev de üstlenmekteydi.

13.-18.yüzyıllar arasında kullanılan Şam kılıçları; güç, esneklik ve keskinliklerini

içerdikleri karbon nanotüplerden ve sementit nanotellerden alıyorlardı [4].

1857 yılında Michael Faraday, nano boyuttaki altının, belirli aydınlatma koşulları
altında farklı renkli solüsyonlar ürettiğini gösteren kolloidal "yakut" altınını
keşfetti.

1936 yılında Erwin Wilhelm Müller, malzemelerin atomik çözünürlükte

görüntülenmesine izin veren, Alan Emisyonlu Elektron Mikroskobu (FEEM)’nu,
ve 1951 yılında keskin bir metal ucun yüzeyindeki atomların düzenlenişini

3
görüntülemeye izin veren Alan İyon Mikroskobu (FIM)’nu (bu mikroskop
sayesinde ilk defa Tungsten atomları görüntülendi) icat etti.

1947 yılında Bell laboratuvarlarında John Bardeen, William Shockley ve Walter

Brattain tarafından, germanyum yüzey fiziği üzerine yapılan çalışmalar
sonucunda ilk katı hal transistör icat edilerek teknolojide bir devrim yaratıldı.

1950 yılında Victor La Mer ve Robert Dinegar tarafından tek dağılımlı

(monodispers) kolloidal malzeme büyütme teorisi ve prosesi geliştirildi.

1956 yılında Arthur von Hippel tarafından moleküler mühendislik kavramı ortaya
atıldı.

1958 yılında Jack Kilby tarafından ilk entegre devre icat edildi.

1959 yılında Kaliforniya Teknoloji Enstitüsü’nde Amerikan Fizik Topluluğu’nun

yıllık toplantısında ünlü fizikçi Richard Feynman, nanoteknoloji alanındaki ilk
ders olarak kabul edilebilecek “Temelde birçok oda var” adlı ünlü konuşmasında
[5] ele aldığı “Nasıl küçük yazabiliriz”, “Küçük ölçekte bilgiler”, “Daha iyi elektron
mikroskopları”, “Muhteşem biyolojik sistem”, “Bilgisayarları minyatürleştirme”,
“Buharlaştırma yoluyla minyatürleştirme”, “Atomları yeniden düzenlemek” gibi
konu başlıkları ile üretilecek yeni aletlerle atom ve molekülleri kontrol
edebileceğimizi, onları görüntüleyebileceğimizi, bir toplu iğnenin başına
Britannica Ansiklopedisini yazalabileceğimizi, bunun için fiziksel bir engelin
bulunmadığını belirterek atomik ölçekte mühendislik ve teknolojiye
(nanoteknoloji’ye) dikkkat çekmiştir.

1974 yılında Norio Taniguchi tarafından yayınlanan bir makale ile ilk defa
“nanoteknoloji” kelimesi kullanılarak “nano-teknoloji, genel olarak malzemelerin
atom atom ya da molekül molekül işlenmesi, ayrılması, birleştirilmesi ve
bozulması" şeklinde tanımlanmıştır [6].

1974 yılında Arieh Aviram ve Philip E. Seiden tarafından ilk moleküler aygıt
olarak kabul edilen “organik hafıza cihazı” için patent alındı [7].

4
1981 yılında Gerd Binnig ve Heinrich Rohrer tarafından atomları tek tek
izlemeye olanak tanıyan taramalı tünelleme mikroskobu icat edildi. Aynı yıllarda
Alexei Ekimov tarafından nanokristaller keşfedildi.

1985 yılında Harold Kroto, Sean O’Brien, Robert Curl ve Richard Smalley
tarafından futbol topuna benzeyen ve tamamen karbondan oluşan çelikten daha
güçlü, plastikten daha hafif, elektrik ve ısı iletebilen 1 nm çapında Fulleren
olarak bilinen Buckminster Fullerene (C60) molekülü keşfedildi (Şekil 1.4).

Şekil 1.4. Buckminster Fullerene (C60) molekülü.

1986 yılında Gerd Binnig, Calvin Quate ve Christoph Gerber tarafından

nanomalzemelerin görüntülemesi, ölçülmesi, manipüle edilmesi, aralarındaki
kuvvetlerin ölçülmesi yeteneğine sahip atomik kuvvet mikroskobu keşfedildi.

1986 yılında Eric Drexler tarafından, nanoteknoloji alanında yazılmış ilk kitap
olan "Yaratma Motorları: Nanoteknolojin Yaklaşan Devri" yayınlandı. Ayrıca
Drexler, 1992 yılında yayınladığı "Nanosistemler: Moleküler Mekanizmalar,
Üretim ve Hesaplama" kitabı ile de nanorobototik mühendisliğine değinerek
moleküler nanoteknolojinin temellerini kurmuştur.

1989 yılında IBM’den Don Eigler ve Erhard Schweizer tarafından Nikel alttaş
üzerine Taramalı Tünelleme Mikroskobu kullanılarak 35 adet Xenon atomu tek
tek sürüklenerek IBM yazısı (Şekil 1.5) yazıldı. Bu olay, atomları manipüle
ederek onları kontrol edebileceğimizin ilk kanıtı olarak kabul edilmektedir [8].

5
Şekil 1.5. IBM tarafından 35 adet Xenon atomu kullanılarak yazılan IBM
yazısı [9].

1991 yılında Sumio Iijima tarafından güç, elektriksel ve termal iletkenlik

açısından olağanüstü özelliklere sahip karbon nanotüpler keşfedildi.

1993 yılında Moungi Gabriel Bawendi tarafından nanokristallerin (kuantum

noktaları) kontrollü sentezi için bir yöntem icat edildi.

1997 yılında Cornell Üniversitesi’nde 6 telden oluşan ve her biri 50 nm

genişliğinde olan 10 µm uzunluğunda dünyanın en küçük gitarı üretildi (Şekil
1.6).

Şekil 1.6. Dünyanın en küçük gitarı [10].

6
1999 yılında Chad Mirkin tarafından atomik kuvvet mikroskobu kullanılarak
biyomalzeme yüzeyinde nanodesenlerin elde edilmesine olanak tanıyan dip pen
nanolitografi tekniği icat edildi.

2005 yılında James M. Tour başkanlığındaki bir grup tarafından alkinil aksları ve
dört küresel C60 fulleren (buckyball) tekerleği olan nano ölçekli bir araba (Şekil
1.7) yapıldı [11].

Şekil 1.7. Nano araba [11].

2013 yılında IBM tarafından karbon monoksit moleküllerinin taramalı tünelleme

mikroskobu ile hareket ettirilmesi ile oluşturulan dünyanın en küçük filmi olan “A
Boy and His Atom” Youtube’da yayınlandı [12].

1999 yılında ABD’de Ulusal Nanoteknoloji Girişimi (National Nanotechnology

Initiative)’nin başlatılması ve 2001 yılında Avrupa Birliği Çerçeve Programına
Nanoteknoloji ve Nanobilim çalısmalarının da dâhil edilmesi, nanoteknoloji ve
nanobilim alanında yürütülen araştırma ve geliştirme faaliyetlerine dünya
çapında hız vermiştir.

7
 2. NANO BOYUTU ANLAMAK
Bir insanın sakalı her saniye 5 nanometre ve tırnağı da 1 nanometre
uzamaktadır. Peki nanometre (nm) nedir?

Nanometre (nm); standart bir cetvelde gördüğümüz en küçük aralık olan 1 mm

aralığından, bir milyon kez daha küçük bir alanı temsil etmektedir. Bu mekan
boyutunu zaman boyutu ile anlamaya çalışırsak; standart bir cetveldeki en
küçük aralık olan 1 mm aralığını, 1 milyon eşit basamağa bölersek ve her bir
basamağı da bir saniyede indiğimizi düşünürsek, en yukarıdaki basamaktan en
aşağıdaki basamağa inmemiz, yaklaşık 12 gün sürerdi.

Yaşamın temel taşı olan karbon (C) atomunun çapı yaklaşık olarak 0,2 nm’dir
ve 5 adet karbon atomu yanyana gelirse oluşturacakları uzunluk sadece 1 nm
olacaktır. Tek bir karbon atomunun kapladığı hacim ise ortalama olarak 0,004
nm3 olup 5 ml’lik bir çay kaşığı içerisine ortalama olarak 12 g karbon (kömür
tozu) sığdırabiliriz. Peki bu sayılar, nanodünyanın büyüklüğü açısından ne ifade
etmektedir. Atomik ve moleküler dünyada tartı birimi, “mol” birimidir ve “mol”
birimi, 1 mol maddedeki tanecik sayısını göstermektedir. Bir mol, yaklaşık
olarak 12 gram karbonda (C) bulunan C atomlarının sayısı kadar tanecik içeren
madde miktarı olup 1 mol karbon (C), 6,02 x 10 23 tane C atomu içerir ve bu da
yaklaşık olarak 12 g ağırlığa eşittir. 6,02 x 1023 sayısı (Avogadro sayısı) o kadar
muazzam bir sayıdır ki dünyada yaşayan tüm insanlar (7,6 milyar kişi), bu
atomları, hiç yatmadan, 24 saat boyunca, her bir insan bir atomu bir saniyede
saymak koşulu ile saysa idi; tüm bu atomları saymak, 2,5 milyon yıl sürerdi:

1 insan, 1 atomu, 1 saniyede sayarsa

7,6 milyar (7,6x109) insan, 1 saniyede 7,6x109 atom sayar
6,02 x 1023 tane atomu ise 8 x 1013 saniyede = 2,5 milyon yılda sayar.

10 tane Hidrojen atomu yan yana dizilirse elde edilecek uzunluk sadece 1 nm
olacaktır. Canlılığın yapı taşı olan DNA molekülünün genişliği ise; sadece 2,5
nm’dir. Bu DNA molekülünü 1000 kez büyütürsek bir bakterinin boyutuna (2,5
µm) ve bu bakterinin boyutunu da 1000 kez büyütürsek sadece bir yağmur
damlasının boyutununa (2,5 mm) ulaşırız.

8
Mertebe olarak dünyanın çapının 1016 nm, bir topun çapının 108 nm ve bir
fulleren (C60) nanoparçacığının boyutunun 1 nm olduğunu düşünürsek, bir
topun dünyada işgal ettiği yer ile bir futbol topu üzerinde bir fulleren
nanoparçacığın işgal edeceği yer, mertebe olarak aynı olacaktır.

İnsan saç telinin kalınlığı ortalama 60 µm (60.000 nm)’dir. Bu saç teli ortalama
10 µm boyutunda hücrelerden, her bir hücre 1 µm boyutunda makrofibrillerden,
her bir makrofibril 10 nm boyutunda mikrofibrillerden, her bir mikrofibril 2,8 nm
boyutunda protofibrillerden, her bir protofibril 2 nm boyutunda keratin
proteininden ve her bir keratin proteini ise 10-3 nm boyutunda oksijen, karbon,
azot ve sülfür atomlarından oluşmaktadır. 1 nm; bu saç telinin kalınlığından
60.000 kez daha küçük olup bu saç telini görmemizi sağlayan görünür ışığın
dalga boyu (390 nm – 780 nm) ise; 1 nm’den 390-780 kat kadar daha büyüktür.

Şekil 2.1’de, nanodünyanın gerçekte ne kadar küçük olduğuna dair çok iyi bir
örnek olan, bir insan saçı (60 µm) üzerinde duran insan yapımı bir nanotel
görülmektedir. Şekil 2.2’de ise nanodünyayı daha iyi anlamak için bazı yapılar
için boyut karşılaştırması görülmektedir.

Şekil 2.1. İnsan saçı üzerinde duran bir nanotel [13].

9
Şekil 2.2. Bazı yapılar için boyut karşılaştırması.

10
 3. NEDEN NANOTEKNOLOJİ
Bir gün içerisinde Twitter'da yaklaşık 500 milyon mesaj gönderilmekte,
Instagram'da yaklaşık 95 milyon fotoğraf ve video paylaşımı yapılmakta olup
sadece sosyal ağlar üzerinden dakikada yaklaşık 2 terabayt (TB) boyutunda
veri üretilmektedir. Dünya genelinde ise; üretilen toplam bilginin miktarı, günde
yaklaşık 2,5 ekzabayt (2,5 milyon terabayt)'tır [14]. Bu değer o kadar büyük bir
değerdir ki; bu verileri kaydetmek için gerekli CD’leri üst üste koymak istersek
yaklaşık 5.000 km yüksekliğinde bir silindir elde ederdik:

2,5 milyon TB = 2,5 x 1012 megabayt (MB),

1 CD’nin boyutu 700 MB ise 2,5 x 1012 MB veri, yaklaşık 4 x 109 CD eder,
1 CD’nin kalınlığı yaklaşık 1,2 mm (1,2 x 10-6 km) ise üst üste konulacak 4
x 109 tane CD’nin kalınlığı yaklaşık 5.000 km olacaktır.

Oysaki bu verileri, nanoteknoloji kullanarak, bir bisküvi’nin kapladığı alandan

çok daha az bir alan kaplayacak şekilde kaydedip saklamak mümkündür.

1947 yılında çalışmaya başlayan elektrikle çalışan ilk bilgisayar olma özelliği
taşıyan ENIAC (Electronic Numerical Integrator and Computer) bir oda
büyüklüğünde (140 m2) ve 30 ton ağırlığındaydı. ENIAC’ın maliyeti 500.000 $
civarında idi ve onu çalıştırmak için 174 kW’lık bir enerji gerekiyordu [15].
ENIAC, hafızasında ise sadece 200 adet sayı saklayabiliyordu. Oda
büyüklüğünde olan bu ilk bilgisayarlar, teknolojinin gelişimi ile birlikte
günümüzde kol saati boyutuna kadar küçülmüş ve günümüz bilgisayarlarının
kullandıkları enerjiler de binlerce kat düşmüştür.

Peki teknolojide daha ne kadar küçük boyutlara inilebilir, işlevselliği daha ne

kadar arttırabilir ve daha neler icat edebiliriz. İşte bu noktada nanoteknoloji,
teknolojide ulaşılabilecek bir üst sınırın olmadığını, hayal edebileceğimiz her
şeyi üretebileceğimizin kapısını aralamaktadır.

Nanoteknoloji, atomları tek tek kontrol ederek, yeni özelliklere sahip aygıtların
üretilmesini ve kullanılmasını hedeflemektedir. Nanoteknoloji sayesinde daha az
madde ve daha az enerji kullanarak çok daha kaliteli, daha verimli, daha hızlı,
daha ucuz, daha dayanıklı, işlevsel ve katma değeri çok daha yüksek, oldukça

11
da az bir alan kaplayan ürünler elde edilebilmektedir. Çizelge 3.1’de
nanoteknoloji ile üretilmiş aygıtlar ile diğer teknolojik aygıtların kg fiyatına göre
katma değerleri görünmektedir [16].

Çizelge 3.1. Nanoteknoloji ile üretilmiş aygıtlar ile diğer teknolojik aygıtların kg
fiyatına göre katma değerleri [16].

Malzeme kg fiyatı

Beton 1 Sent

Çimento 5 Sent

Demir-Çelik 50 Sent

Alüminyum 1,5 Dolar

Otomobil 10 Dolar-100 Dolar

Yolcu Uçağı 100 Dolar-1.000 Dolar

Savaş Helikopteri 2.000 Dolar – 3.000 Dolar

CepTelefonu 4.000 Dolar

Savaş Uçağı-İlaç 10.000 Dolar

Uydu 100.000 Dolar

Mikro-Nano Yonga 4 Milyon Dolar

Nanoboyuttaki malzemelerin kontrollü bir biçimde üretilmesi ve

fonksiyonellendirilmesi ile kazanacakları üstün ve yeni özellikleri sayesinde
nanoteknolojinin;
 Dünyanın kıt olan kaynaklarının daha verimli kullanılması,
 Zararlı gazların soğurulularak havanın temizlenmesi, ozon tabakasının
tamir edilmesi, her türlü çöpün, petrol ürünlerinin doğaya yararlı son
ürüne dönüştürülerek çevre kirliliğinin yok edilmesi,
 Enerji probleminin giderilmesi,
 Dolaşım sisteminde dolaşan nanorobot doktorlar sayesinde bağışıklık
sisteminin güçlendirilmesi, hücresel ve moleküler düzeyde hastalıkların
erken teşhisi ve tedavisi,
12
  Kendi kendine yetebilen yeşil evler,
 Genetik müdahale ile; daha dayanıklı, daha besleyici ve daha zengin
gıda ürünlerinin üretilmesi, standarttan çok daha büyük (dinazor
büyüklüğünde) küçük ve büyük baş hayvanların üretilerek açlık ve
kıtlığın yok edilmesi, soyu tükenen canlıların yeniden canlandırılması,
 Hasar görmüş ya da işlevini yitirmiş doku ve organların yerine yenilerinin
üretilmesi,
 Körlük, sağırlık, felçlik, AIDS, Kanser, Diabet, Alzheimer (Alzaymır),
Multipl Skleroz (MS), Parkinson gibi hastalıkların tedavisi,
 Kuraklığın ve çölleşmenin önüne geçilmesi
 Kirli ve tuzlu suların arıtılarak dünya genelinde su kıtlığının giderilmesi,
 Biyolojik silahlara karşı erken uyarı sistemleri ve biyolojik silahların
etkisizleştirilmesi,
 Çelikten çok daha güçlü ve dayanıklı ve de oldukça hafif malzemeler ile
inşa edilecek yapılar ile deprem kaynaklı ölüm ve ekonomik zararların
önüne geçilmesi,
 Dayanıklı, yanmaz, kirlenmez, su geçirmez, kendi kendini temizleyen,
ışığa bağlı renk değiştirebilen, enerji üretebilen çok fonksiyonlu
antibakteriyel tekstil ürünleri,
 Kendi kendini temizleyen, enerji üretebilen, havayı temizleyen
antibakteriyel camlar ve boyalar,
 İnsan beynine implante edilecek nanobilgisayarlar, alıcılar ve bellek
elemanları sayesinde insan kapasitesinin kat kat arttırılması,
 Yanmayan, parmak izi tutmayan, çizilmeyen, toz tutmayan, suya ve
neme dayanıklı yüzeyler
gibi bir çok alanda devrimsel gelişmeler yapması beklenmektedir.

13
 4. BOYUT KÜÇÜLDÜKÇE NELER DEĞİŞİYOR
Nano dünya; klasik fiziğin hüküm sürdüğü mikro dünya ile kuantum fiziğinin
alışılmadık fantastik dünyası arasına sıkışmış olağanüstü bir dünyadır. Bu
dünyada normalde hiç bir kimyasal ile tepkime vermeyen makro dünyanın en
kararlı metali olan altın, bir anda sapsarı olan rengini kaybederek nano
boyutuna bağlı olarak mordan kırmızıya kadar birçok değişik renge bürünüp
oldukça reaktif bir malzeme haline gelir. Malzemeler bu nano dünyada, makro
dünyalarında sahip olduklarından çok daha sert, daha iletken, daha manyetik
gibi birçok farklı özelliğe bürünerek yepyeni süper özellikler kazanabilirler. Nano
dünya, aslında bir süper malzemeler dünyasıdır.

Peki, malzemeler, nano dünyadaki bu süper özelliklerini neye borçludurlar:

Bir malzemenin boyutu küçüldükçe, kütlesel özellikleri yerine atomik özellikleri

baskın hale gelmektedir. Malzeme boyutu değiştikçe, bir malzeme üzerinde
etkin olmaya başlayan kuvvetler de değişir. Santimetre (cm) boyutunda
yerçekimi, sürtünme ve yanma tepkimesi; milimetre (mm) boyutunda yerçekimi,
sürtünme, yanma tepkimesi ve elektrostatik kuvvet; mikrometre (µm) boyutunda
elektrostatik kuvvet, van der Walls kuvveti ve Brownian hareket; nanometre
(nm) boyutunda elektrostatik kuvvet, van der Walls kuvveti, Brownian hareket
ve kuantum mekaniği; Angstrom (Å) boyutunda ise kuantum mekaniği etkin
olmaya başlamaktadır.

Bir malzemenin sahip olduğu fiziksel ve kimyasal özellikler; o malzemenin

boyutuna, o malzemeyi oluşturan atom ve moleküllerin geometrik dizilimine
birebir bağlıdır. Karbon atomlarını iki farklı geometride dizerek kömür elde
edebileceğimiz gibi elmas da elde edebiliriz. Bununla birlikte parçacık boyutuna
bağlı olarak ışığın yansıması ve soğurulması da değiştiğinden malzemenin optik
özellikleri de parçacık boyutuna bağlı olarak değişim gösterir. Şekil 4.1’de
parçacık boyutuna bağlı olarak altın nanoparçacıklarının bir solüsyon içerisinde
aldığı renk görülmektedir.

14
Şekil 4.1. Parçacık boyutuna bağlı olarak altın nanoparçacıklarının bir
solüsyon içerisinde aldığı renk [17].

Nano parçacık boyutuna bağlı olarak malzemelerde değişen özellikleri şu

şekilde sıralayabiliriz:

1. Kimyasal Özellikler: Reaktivite, katalitik özellikler

2. Termal Özellikler: Erime sıcaklığı, termal iletkenlik
3. Mekanik Özellikler: Yapışma, kapiler kuvvetler
4. Optik Özellikler: Işığın soğurulma ve saçılma karakteristiği
5. Elektriksel Özellikler: Tünelleme akımları etkin olmaya başlar.
6. Manyetik Özellikler: Süper paramanyetik etkiler ortaya çıkar .

Nano dünyaya geçişte;

1. Yüzey alanının hacme oranı, dolayısıyla da yüzey atomlarının hacim

atomlarına oranı artar. Bu duruma bağlı olarak; yüzey özellikleri değişir,
yüzey atomlarının etkinliği ve yüzey enerjisi artar. Bu durum; malzemelerin
mekanik, termal ve katalitik özelliklerini değiştirir: Erime noktası değişebilir,
ışığa karşı geçirmez olan bir madde saydam hale dönüşebilir, yanıcı
olmayan bir madde oldukça yanıcı hala gelebilir, oda sıcaklığında normalde
katı olan bir madde sıvı formda bulunabilir, elektriksel olarak yalıtkan olan bir
madde oldukça iletken davranabilir, kimyasal olarak inert olan bir madde
güçlü bir katalizör haline dönüşebilir.

15
Yüzey alanının etkisini, günlük hayatta en çok çay içerisine koyduğumuz toz
şeker ile küp şekerin farklı hızlarda çözünmesi olayında tecrübe ederiz: Toz
şekerin yüzey alanının daha fazla olması nedeniyle toz şeker, çay içerisinde çok
daha hızlı çözünürken, küp şeker çok daha yavaş çözünmektedir.

Boyuta bağlı olarak yüzey alanı/hacim oranının matematiksel olarak nasıl

değiştiğini şu şekilde örnekleyebiliriz: Kenar uzunluğu (a sembolü ile gösterilsin)
100 m ve boyu (h sembolü ile gösterilsin) 1000 m kare prizma şeklindeki bir
gökdelen için hacim (V sembolü ile gösterilsin);

olarak bulunur. Bu gökelen için yüzey alanı (A sembolü ile gösterilsin);

olarak bulunur. Bu gökdelen için yüzey alanın hacmine oranı ise;

olarak bulunur. Şimdi, boyu 1 m ve eni 0,1 m olan bir insan için yüzey
alanı/hacim oranını hesaplayalım;

olarak bulunur. Peki aynı hesabı, eni ve boyu 1mm ( ) olan küçük bir
cisim için yaparsak;

16
olarak bulunur. Şimdi, eni ve boyu 1 nm ( ) olan nanometre mertebesinde
bir cisim için aynı hesabı yaparsak;

olarak bulunur. Görüldüğü gibi boyut küçüldükçe cismin yüzey alanın hacmine
olan oranı oldukça artmakta ve bu da yüzey alanının, hacme göre daha etkin,
daha önemli olmaya başladığını göstermektedir.

Boyut küçüldükçe yüzey alanı/hacim oranının artışına bağlı olarak birim

hacimde yer alan atom sayısı düşmekte ve yüzey atomları daha etkin olmaya
başlamaktadır. Örneğin, ortalama bir atomun hacmi olmak üzere
birim hacim içerisinde yer alan atom sayısını hesaplayacak olursak;

Bir gökdelen için birim hacimdeki atom sayısı;

Bir insan için birim hacimdeki atom sayısı;

Eni ve boyu 1 mm ( ) olan küçük bir cisim için birim hacimdeki atom

sayısı;

Eni ve boyu 1 nm ( ) olan nanometre mertebesinde bir cisim için birim

hacimdeki atom sayısı;

17
olarak bulunur. Görüldüğü gibi makro boyuttan nano boyuta inildikçe birim
hacimde yer alan atom sayısı ciddi bir şekilde düşmekte ve malzemenin yeni
özelliklerinin ortaya çıkmasında yüzey atomlarının önemi belirginleşmektedir.
2. Kuantum etkileşimler baskın hale gelir (Tünelleme, Kuantum sınırlaması
gibi).
3. Sürekli bir elektronik band yapısından kesikli bir band yapısına geçiş olur.
Şekil 4-2’de boyuta bağlı enerji band yapısındaki değişim görünmektedir.

Şekil 4.2. Boyuta bağlı eneji band yapısı.

4. Momentum önemini yitirerek, termal etkiler ve moleküllerin rastlantısal

hareketleri (Brown hareketi) baskın hale gelir.

18
 5. NANO MALZEMELER NASIL ELDE EDİLİR
Nanoteknolojide, nanomalzemeleri üretmek için iki farklı yaklaşım
kullanılmaktadır:

1. Yukarıdan-Aşağıya (Top-down) Üretim Yöntemleri: Yığın halindeki

makroskobik yapılar, mekanik, kimyasal ya da ısıl işlemler gibi metodlar
kullanılarak bir heykel tıraş edası ile işlevsel bir nano malzeme haline
dönüştürülmektedir. Litografi yöntemi ile desenleme ve plazma yöntemi ile
aşındırma işlemleri yukarıdan-aşağıya üretimin temel yöntemleri
arasındadır. Mikroelektroniğin temelini oluşturan çip ve işlemciler bu üretim
yöntemine örnek olarak verilebilir.

2. Aşağıdan-Yukarıya (Bottom-up) Üretim Yöntemleri: Atom, molekül ya da

monomerler, bilinçli bir şekilde fiziksel ya da kimyasal yöntemler kullanılarak,
bir lego gibi, biraraya getirerek nanoboyutta işlevsel malzeme haline
dönüştürülmektedir. Kendiliğinden birleşme (self assembly) ve sol-gel
teknolojileri aşağıdan-yukarıya üretimin temel yöntemleri arasındadır.
Fulleren molekülleri, kuantum noktacıkları ve karbon nanotüpler gibi
nanoparçacıklar bu üretim yöntemine örnek olarak verilebilir.

Aşağıdan-yukarıya doğru üretimin zorluğu nedeniyle, günümüzdeki teknolojik

ürünlerin çoğu yukarıdan-aşağıya üretim yöntemleri kullanılarak üretilmektedir.

Aşağıda, yukarıdan-aşağıya ve aşağıdan-yukarıya bazı üretim yöntemleri

hakkında bilgi verilmektedir.

5.1. Litografi

Litografi kelimesi; Yunanca’da taş anlamına gelen “litos” ve yazmak anlamına

gelen “grapho” kelimelerinden türemiş olup “taş üzerine yazmak” anlamına
gelmektedir. Litografi işlemi, yukarıdan-aşağıya ya da aşağıdan-yukarıya
üretimde nano aygıt üretimi için temel teknolojiyi teşkil etmektedir. Litografi
teknikleri kullanarak aşındırma işlemleri ile yukarıdan-aşağıya üretim
yapılabileceği gibi nano kaplama yöntemleri kullanarak aşağıdan-yukarıya da

19
üretim yapılabilmektedir. Temel litografi teknikleri arasında fotolitografi (UV, X-
ışını), elektron demeti litografisi, iyon demeti litografisi, nanobaskılama, taramalı
prob litografisi ve atomik kuvvet mikroskobu litografisi sayılabilir.

5.1.1. Fotolitografi

Işık (UV, X-ışını) kullanarak, bir fotomaske üzerinde yer alan geometrik
şekillerin, ışığa duyarlı bir fotorezist ile kaplanmış bir yüzey üzerine
desenlenmesi işlemidir. Fotolitografi işleminde; desenlerin işleneceği yüzey ile
fotomaske, maske hizalayıcı adı verilen bir cihaz yardımıyla paralel hale getirilir
ve ardından pozlama işlemi gerçekleştirilir.

Fotolitografi işlemi temel olarak şu adımlardan oluşmaktadır:

1. Örnek temizliği: Örneğin yüzeyinin organik ve inorganik kirliliklerden

arındırılması ve fotorezist (ışığa duyarlı karmaşık hidrokarbon zincirlerinden
oluşan polimer) ile örnek yüzeyi arasındaki yapışma kuvvetinin (adezyon,
adhezyon) güçlendirilmesi amacıyla yapılmaktadır.

2. Fotorezist kaplama: Örnek yüzeyinde oluşturulmak istenen desenlerin

boyutuna ve yapılacak işlem adımına (aşındırma, metal kaplama gibi) bağlı
olarak seçilen fotorezist, örnek yüzeyine, spin kaplama sistemi yardımıyla
homojen olarak kaplanır. Şekil 5.1’de örnek yüzeyine fotorezistin kaplanması
adımları gösterilmektedir.

Şekil 5.1. Örnek yüzeyine fotorezistin kaplanması adımlarını gösteren

şematik resim.

20
Fotorezistler temel olarak üç bileşenden oluşurlar: Reçine, çözücü ve fotoaktif
bileşik. Reçine; plastik ya da tutkal benzeri katı ya da yarı akışkan bir yapıda
olan polimer bir malzemedir. Çözücü; reçinenin çözünmesini sağlayarak sıvı
fazda kullanılmasına olanak sağlayan kimyasal bir maddedir. Fotoaktif bileşik
ise; bir geliştirici (developer) solüsyon içerisinde reçinenin çözünmesini
engellemek ya da daha arttırmak amacıyla kullanılan bir malzemedir.

Pozitif ve negatif olmak üzere iki çeşit fotorezist bulunmaktadır. Pozitif

fotorezistler, ışık ile etkileştiklerinde geliştirici tarafından çözünürler. Negatif
fotorezistler ise, ışık ile etkileştiklerinde geliştirici tarafından çözünmezler. Şekil
5.2’de pozitif ve negatif fotorezist kullanarak örnek yüzeyinde desen
oluşturulması şematik görüntüsü görülmektedir.

Şekil 5.2. Pozitif ve negatif fotorezist kullanarak örnek yüzeyinde desen

oluşturulması şematik görüntüsü.

3. Pozlama öncesi ön pişirme işlemi: Spin kaplama sistemi kullanarak

homojen bir şekilde örnek yüzeyine kaplanan fotorezist içerisinde yer alan
çözücünün uzaklaştırılması amacıyla, örnek, sıcak plaka üzerine konularak
belli bir süre pişirilir. Pişirme sıcaklığı ve süresi, kullanılan fotorezistin
çeşidine bağlı olarak değişir. Pozlama öncesi bu ön pişirme işlemi ile;
fotorezistin örnek yüzeyine daha iyi yapışması sağlanarak daha dayanıklı bir
rezist profili elde edilir. Ayrıca pozlama esnasında fotorezistten azot gazı
çıkışı da engellenerek rezistin köpürmesi, fotolitografi esnasında maskenin

21
 kirlenlenmesi ve örneğin maskeye yapışması problemlerinin de önüne
geçilmiş olur.
4. Örnek ile maskenin hizalanması ve pozlama işlemi: Fotorezist kaplama
ve ön pişirme işlemi tamamlanan örnek, maske hizalama cihazına
yerleştirilir. Ardından örnek, cihaz yardımıyla hareket ettirilerek, maske
üzerinde yer alan desenler, örneğin aktif alanı içerisine denk gelecek şekilde
hizalanır. Hizalama işlemi tamamlandıktan sonra pozlama işlemi
gerçekleştirilir.

5. Pozlama sonrası pişirme işlemi: Pozlama sonrası, fotoakfit bileşiğin

difüzyonu indüklenerek pozlama kaynaklı duran dalga çıkıntılarının/taraklarının
düzleştirilmesi amacıyla yapılır. Duran dalgalar, pozlama esnasında
fotorezistten aşağı doğru ilerleyen düzlem dalgalar ile alttabakadan yansıyan
dalgalar arasındaki girişimden kaynaklanır. Pozlama sonrası tavlama işlemi,
duran dalga etkisinin ortadan kaldırılması haricinde bazı pozitif fotorezistlerin,
negatif fotorezist olarak kullanılabilmesi amacıyla da uygulanır.

6. Geliştirme (Develop) işlemi: Fotomaske yardımıyla fotorezist kaplı örnek

yüzeyinde pozlanan ya da pozlanmayan bölgeler, fotorezist türüne bağlı olarak
seçilen uygun bir geliştirici içerisine konularak, yine fotorezist türüne bağlı
olarak pozlanan ya da pozlanmayan fotorezist bölümlerinin, bu geliştirici
içerisinde çözünmesi sağlanır. Sonuç olarak da fotomaskede yer alan
desenlerin örnek yüzeyinde oluşturulması sağlanır.

7. Sertleştirme Pişirme işlemi (Hard Bake/Post Bake): Bu pişirme işlemi ile

polimer yapıda çapraz bağ oluşturularak, fotolitografi işlemi ile örnek yüzeyinde
oluşturulan rezist desenlerinin kimyasal ve kuru aşındırmalara karşı dayanımı
arttırılır. İsteğe bağlı olarak yapılabilecek bu son fotolitografi adımından sonra
oluşturulan desenlere bağlı olarak örnek yüzeyinde metal kaplama ya da
aşındırma işlemleri gerçekleştirilebilir. Şekil 5.3’te fotolitografi yöntemi ile
desenlenmiş bir örnek yüzeyi için yüzey aşındırma ve metal kaplama adımı
şematik görüntüsü görülmektedir.

22
Şekil 5.4’te optik litografi ve standart aşındırma, metalizasyon işlemleri
kullanılarak elde edilmiş bir mikromotor MEMS (Mikro Elektro-Mekanik Sistem)
aygıtının taramalı elektron mikroskop (ing. SEM) görüntüsü yer almaktadır.

Şekil 5.3. Fotolitografi yöntemi ile desenlenmiş bir örnek yüzeyi için (a)
yüzey aşındırma ve (b) metal kaplama adımı şematik görüntüsü.

Şekil 5.4. Bir mikromotor MEMS aygıtının SEM görüntüsü [18].

23
5.1.2. Elektron/İyon Demeti Litografisi

Fotolitografi yöntemi, mikron altı desenleme işlemlerinde oldukça zayıf olup

çözünürlük, kullanılan dalga boyu ile sınırlıdır. Ayrıca desenleme için, maske
kullanılmak zorunda olması da en büyük dezavantajını oluşturmaktadır. Bu
sorunların üstesinden gelmek, yüksek çözünürlüklü mikron altı desenler elde
etmek amacıyla elektron/iyon demeti litografisi, yaygın olarak kullanılan
yöntemlerdendir. Bu yöntemde fotonlar yerine, elektronların/iyonların
kullanılması 2-5 nm aralığında desenler oluşturulabilmesine olanak
sağlamaktadır. Bu yöntemde, fotolitografi yönteminde olduğu gibi örnek yüzeyi,
uygun bir rezist ile kaplanır. Ardından desenlenmek istenen bölgelere
yönlendirilen elektronlar/iyonlar, rezist içinden geçerken saçılmalara uğrayarak
(enerjilerini kaybederek) rezistte fiziko-kimyasal değişimlere neden olacak
şekilde iyonizasyon oluştururlar. Bu işlem ardından uygun bir geliştirici
içerisinde çözünme işlemi gerçekleştirildikten sonra istenilen desenler elde
edilmiş olur. Şekil 5.5’te elektron demeti litografi yöntemi ve standart aşındırma,
metalizasyon işlemleri kullanılarak elde edilmiş NEMS (Nano Elektro-Mekanik
Sistem) aygıtlarının görüntüleri yer almaktadır.

Şekil 5.5. Elektron demeti litografi yöntemi kullanılarak yapılmış NEMS aygıt
görüntüleri [19].

24
5.1.3. Nanobaskı Litografisi

LED, Güneş hücreleri gibi oldukça geniş aygıt yüzeylerinde 10 nm'den daha
küçük desenlerin elde edilmesine olanak tanıyan basit ve ucuz bir yöntemdir.
Rezist malzemesi ile kaplanmış yüzey üzerine, oluşturulmak istenen desenleri
içeren kalıbın mekanik olarak bastırılması, ardından da ısıl işlemler ve/veya UV
pozlama yolu ile direnç malzesine şekil aldırılması esasına dayanmaktadır.
Yüzey üzerinde desen oluşturulduktan sonra aşındırma ve kaplama işlemleri ile
nano aygıtlar elde edilmektedir. Şekil 5.6’da nanobaskı litografisi yöntemi ile
ilgili şematik görüntü yer almaktadır.

Şekil 5.6. Nanobaskı litografisi şematik görüntüsü [20].

Şekil 5.7’de de nanobaskı litografi yöntemi kullanılarak yapılmış bir polimer

güneş hücresi görüntüsü görülmektedir. Şekil 5.7’de görülen PCPDTBT =
poly[2,6-(4,4-bis(2-ethylhexyl)-4H-cyclopenta[2,1-b;3,4-b′]-dithiophene)-alt-4,7-
(2,1,3-benzothiadiazole)]/C70 (Fulleren) heteroeklem polimerik güneş hücresi ile
%5,5 verimlililk elde edilmiştir [21].

25
Şekil 5.7. PCPDTBT/C70 heteroeklem polimerik güneş hücresi için
nanobaskı litografisi proses akışı. (a) PCPDTBT’nin nanobaskı
litografisi desenlenme işlemi şematik görüntüsü, (b) desenleme
sonrası PCPDTBT’nin görüntüsü, (c) PCPDTBT’nin C70 ile
kaplanması şematik görüntüsü ve (d) PCPDTBT’nin C70 ile
kaplanması sonrası görüntüsü [21].

5.1.4. Taramalı Prob/Atomik Kuvvet Mikroskobu (AKM) Litografisi

Esnek bir manivela üzerine monte edilmiş nanometre mertebesinde sivri

uç/uçlar, yüzeyi sabit bir kuvvet ile tarar. Tarama hareketi esnasında manivela
üzerine sürekli olarak bir lazer ışını gönderilir ve yansıyan ışının konumu bir
fotodedektör aracılığıyla kaydedilir. Tarama hareketi, yüzey ile sivri uç
arasındaki temas kuvvetlerinin (iletkenlik, elektrostatik kuvvet, yüzey potansiyeli,
manyetostatik kuvvet, kapasite, yayılma direnci, piezoelektrik tepki vb.) değişimi
incelenerek piezoelektrik bir devre aracılığıyla kontrol edilir (Şekil 5.8). Bu
litografi yönteminde kullanılmak istenen yönteme bağlı olarak modifiye edilmiş
yüzey üzerinde AKM’nin sivri uç/uçları hareket ederek istenilen desenleri
oluşturması sağlanmaktadır. Şekil 5.9’da çeşitli AKM litografi yöntemleri
görülmektedir. Şekil 5.10’da AKM litografi yöntemi kullanılarak mikron boyutta
oluşturulmuş Richard Feynman ve Mona Lisa görüntüleri yer almaktadır.

26
Şekil 5.8. AKM çalışma prensibi [22].

Şekil 5.9. AKM litografi yöntemleri [23].

27
Şekil 5.10. AKM litografi yöntemi kullanılarak mikron boyutta oluşturulmuş
Richard Feynman ve Mona Lisa görüntüleri [24].

5.2. Fiziksel Buhar Biriktirme Yöntemi

Fiziksel Buhar Biriktirme Yöntemi; katı formda bir kaynağın vakum ortamında
buharlaştırılarak ya da atomlarına ayrıştırılarak bir alttaş üzerine ince film
halinde biriktirilmesi işlemidir. Fiziksel buhar biriktirme yöntemi; elektron demeti
ile buhar biriktirme, termal buhar biriktirme ve püskürtme ile buhar biriktirme
olmak üzere üç kategoride incelenebilir.

5.2.1. Elektron Demeti İle Buhar Biriktirme Yöntemi

Fiziksel buhar biriktirme yöntemlerinden birisi olan elektron demeti ile buhar
biriktirme yöntemi; yüksek vakum (P<10-5 Torr) ortamında ısıtılan bir filamentten
kopartılan elektronların, belirlenen bir hızlandırma gerilimi altında hızlandırılarak
ve manyetik alan yardımıyla da yönlendirilerek buharlaştırılacak malzeme
üzerine düşürülmesi esasına dayanmaktadır. Malzeme ile etkileşen elektronlar,
enerjilerini malzemeye aktararak buharlaşmasını ve yukarıda duran örnek
yüzeyinde ince film oluşturacak şekilde birikmesini sağlamaktadır. Şekil 5.11’de
elektron demeti ile buhar biriktirme sistemi şematik çizimi görülmektedir.

28
Şekil 5.11. Elektron demeti ile buhar biriktirme sistemi şematik çizimi.

Vakum sistemlerinde, yüksek kaplama kalitesi için; kaplamanın yapıldığı bölme

içerisinde, kaplanacak malzemenin atomları ile atmosfer ortamından
kaynaklanan atomlar arasındaki çarpışmaların minimize edilmesi
gerekmektedir. Bu da bölmenin oldukça temiz tutulması ve kaplama öncesi
vakumun oldukça iyi bir düzeyde tutulması ile sağlanmaktadır. Bir parçacığın
ortalama serbest yolu ( ); parçacığın çapı , çarpışma kesiti , Boltzmann

sabiti , sıcaklık ve basınç olmak üzere şu şekilde ifade edilir:

(5.1)

, , ve 1 atm =
760 Torr olmak üzere Eş. 5.1 şu şekilde yazılabilir:

(5.2)

Bir parçacığın ortalama serbest yolu, iki ardışık çarpışma arasında aldığı yolu
ifade etmekte olup bu değer ne kadar yüksekse meydana gelecek çarpışmalar
o derecede düşük ve kaplama kalitesi de o derecede yüksek olacaktır. Eş.
5.2’ye göre için bulunur. Kaplama sisteminde
kaynak ile örnek arasındaki mesafe 30 cm olması durumunda, ortalama

29
çarpışma sayısı yaklaşık olarak; bulunacaktır. Bu
değer de kaplama sistemleri için oldukça iyi bir değerdir. Çizelge 5.1’de 0 oC
(273.15K)’de bazı gazlar için değerleri görülmektedir.

Çizelge 5.1. 0oC (273.15K)’de bazı gazlar için değerleri [25].

Gaz H2 N2 O2 He Ne Ar Hava Kr Xe Hg H2O CO CO2 HCI NH3 CI2

-3 11,5 5,9 6,5 17,5 12,7 6,4 6,7 4,9 3,6 3,1 6,8 6,0 4,0 3,3 3,2 2,1
x10
(m.Pa)

Kaplama kalitesini belirleyen önemli parametrelerden bir tanesi de örnek

yüzeyine kaplanan malzemenin homojenitesidir (örneğin her noktasında aynı
kalınlıkta kaplanmış olmasıdır). Örnek yüzeyine kaplanan malzemenin
homojenitesi ( ); örneğin uzunluğu,

örneğin merkezindeki kaplama hızı, örneğin

kenarındaki kaplama hızı olmak üzere şu şekilde
ifade edilir;

(5.3)

Eş.5.3 incelendiğinde kaynak (buharlaştırılan malzeme) ile örnek arasındaki

mesafesi arttıkça homojenitenin ( ) arttığı görülmektedir. Ancak vakum

30
sistemlerinde mesafesinin artması; kaplamanın yapıldığı kabinin büyümesi,
daha fazla kirlilik, daha büyük kapasitede vakum pompası, düşük kaplama
hızları ve aynı kaplama kalınlığı için daha fazla malzeme buharlaştırılması
anlamına gelmektedir. Bunun yerine daha homojen bir kaplama için örneğin
döndürülerek kaplanması daha yaygın kullanılan bir
çözümdür.

Kaplama kalitesini belirleyen bir diğer önemli

parametre ise kaplama hızıdır. Kaynak yüzeyinin
birim alanı başına örnek yüzeyinde kütle birikim hızı
( ),

kaynak-örnek arası mesafe (cm)

kaynak sıcaklığı (K)

sıcaklığın fonksiyonu olarak buharlaştırılan

malzemenin buhar basıncı (Torr)
Kaplama anında kabin basıncı (Torr)

Buharlaştırılan malzemenin moleküler kütlesi (g)

olmak üzere şu şekilde ifade edilir:

(5.4)

Eş. 5.4, Langmuire-Knudsen eşitliği olarak bilinmekte olup eşitlikten de

görüldüğü üzere kaplamanın yapıldığı kabinin basıncının sıfıra yaklaşması
( ) durumunda, kütle birikim hızı maksimum olmaktadır. Eş. 5.4’ten yola

çıkarak örnek yüzeyinde birim zamanda biriken malzemenin kalınlığı ( )

ise şu eşitlikle ifade edilir:

(5.5)

31
Eş. 5.5’te; , kaynak yüzey alanını ve , buharlaştırılan
malzemenin yoğunluğunu ifade etmektedir. Eşitlikten de görüldüğü üzere
kaynak ile örnek arasındaki mesafe arttıkça, örnek yüzeyinde biriken
malzemenin miktarı azalmaktadır. Buharlaştırılan malzemenin buhar basıncının
( ) artması durumunda ise biriken malzemenin miktarı da artmaktadır. Şekil
5.12’de yaygın kullanılan bazı malzemeler için sıcaklığa bağlı buhar basıncı
grafiği görülmektedir.

Şekil 5.12. Yaygın kullanılan bazı malzemeler için sıcaklığa bağlı buhar
basıncı grafiği [26].

5.2.2. Termal Buhar Biriktirme Yöntemi

Bu yöntemde bir pota (buharlaştırılacak malzemenin konulduğu ve yüksek

sıcaklıklara kadar dayanabilen seramik ya da metal kayık) içerisine konulan
malzeme, potaya uygulanan yüksek akım ile ısıtılarak malzemenin
buharlaşması ve bu pota yukarısında duran alttaş üzerinde kontrollü bir biçimde
birikmesi sağlanmaktadır. Şekil 5.13’te termal buhar biriktirme sistemi şematik
görüntüsü yer almaktadır. Şekil 5.14’te termal buhar biriktirme yönteminde
kullanılan pota örnekleri ve erime sıcaklıkları görülmektedir.

32
Termal buhar biriktirme sistemi, yarı iletken üretiminde yaygın olarak
kullanılmaktadır. Kaplama hızı, elektron demeti ile buhar biriktirme yöntemine
göre düşük olup bu yöntem ile sadece metal buharlaştırılabilir, dielektrik
malzeme buharlaştırılamaz. Buharlaştırılacak malzeme ve pota aynı anda
ısıtıldığından safsızlık oranı yüksektir (elektron demeti ile buhar biriktirme
yönteminde, elektronlar doğrudan malzeme üzerine düşürülerek doğrudan
malzemenin kendisinin buharlaştırılması sağlandığından safsızlık oranı çok
düşüktür).

Şekil 5.13. Termal buhar biriktirme sistemi şematik görüntüsü [27].

Şekil 5.14. Termal buhar biriktirme yönteminde kullanılan pota örnekleri ve

erime sıcaklıkları [28].

33
Termal buhar biriktirme sisteminde kaplama yapılacak örnek/alttaş, bir tutucuya
vakum bandı yardımı ile tutturulur ve ardından cihaza yüklenir. Vakum, istenilen
değere ulaştıktan sonra (10-6 Torr), potanın tutulduğu bakır uçlardan akım
geçirilerek pota, yüksek sıcaklıklara kadar ısıtılır. Pota sıcaklığı,
buharlaştırılacak malzemenin buhar basıncının 10 -3 Torr ya da daha yüksek
olduğu bir değere ulaştığında malzeme buharlaşmaya başlar. Buharlaşan
malzeme, üst tarafta bulunan alt taş üzerinde birikerek ince film (katman)
oluşturur.

Kaplama kalınlığı, potaya sürülen akım ile kontrol edilir ve kaplama esnasında
kuvars kristaller yardımıyla otomatik olarak okunur. Piezoelektrik etkiye göre
çalışan kuvars kristaller, üzerine yapışan malzemenin yoğunluğuna ve akustik
empedansına bağlı olarak kalınlık okumaktadırlar. Kaplama kalınlığının doğru
okunabilmesi için buharlaştırılan her metal için farklı olan şu kristal
parametrelerinin girilmesi gerekmektedir:

 Tooling Factor (Örnek ile kristal arasındaki mesafe farklılığından

kaynaklanan bir çarpan)
Fb * Tölçülen = Fg * Tokunan
Fb = Başlangıç Tooling Factor (Başlangıç değeri %100 kabul edilir ve F s
buradan yola çıkılarak bulunur)
Fg = Asıl düzeltme çarpanı (Gerçek Tooling Factor)
Tölçülen = Ölçülen kalınlık
Tokunan = Cihazda okunan kalınlık

 Malzeme Yoğunluğu

 Akustik empedans (Verilen bir frekanstaki akustik ortamda bir parçacığın

moleküllerinin titreşim hareketi sonucu ne kadar ses basıncı oluşturduğunu
belirtir ya da kısaca kaplanan malzemenin, kristalin titreşim hareketine karşı
gösterdiği direnci ifade eder. Birimi: N*s*m-3’tür)

Ayrıca iyi bir kaplama için; Kristal ömrüne (Kristal üzerine kaplanan malzemeler
zamanla kristalin hassasiyetini azaltacaktır) ve kaynak ile örnek arasındaki
mesafeye de dikkat etmek gerekmektedir. Kaynak ile örnek arasındaki
34
mesafenin çok olması; hem saçılmaların artmasına hem de malzeme sarfiyatına
neden olacaktır (Şekil 5.15’te mesafeye bağlı olarak örnek yüzeyinde
biriktirilmek istenen malzeme için gerçekte ne kadarlık bir malzemenin
buharlaştırılması gerektiği ile ilgili basit bir hesap görünmektedir). Kaynak ile
örnek arasındaki mesafenin az olması ise; örneğin çok ısınmasına ve kaplama
kalitesinin düşmesine neden olacaktır.

Şekil 5.15. Buharlaşan malzeme ile örnek yüzeyinde biriken malzemenin

mesafeye bağımlılığı.

5.2.3. Püskürtme ile Buhar Biriktirme Yöntemi

İngilizce bir kelime olan “sputter” kelimesi, Türkçe’de püskürtme anlamına

gelmekte olup, Latince’de “gürültüyle tükürük salmak” anlamına gelen “Sputare”
kelimesinden türetilmiştir. Püskürtme ile buhar biriktirme yönteminde; DC ya da
RF güç kaynağı tarafından hızlandırılan (anot ile katot arasında oluşturulan
potansiyel alan: 0,5-5 kV) yüksek enerjili inert iyonlar (genellikle Ar+), katotta
duran kaplaması yapılacak malzeme üzerine yönlendirilerek bu malzemeden
kopartılan atomların, anotta duran bir alttaş üzerinde atomik düzeyde
biriktirilmesi sağlanmaktadır. Şekil 5.16’da püskürtme ile buhar biriktirme sistemi
şematik görüntüsü görülmektedir. Püskürtme ile buhar biriktirme yöntemi;
atomik düzeyde malzeme kaplanabilmesine olanak tanıması ve izotropik
kaplama yeteneği ile diğer yöntemlerden ayrılmaktadır. Bununla birlikte iyonik
çarpışmaların alttaş yüzeyinde hasarlara neden olması bir dezavantaj
oluşturmaktadır.

35
Şekil 5.16. Püskürtme ile buhar biriktirme sistemi şematik görüntüsü [29].

5.3. Kimyasal Buhar Biriktirme Yöntemi

Gaz fazındaki başlangıç malzemelerin bir yüzey üzerinde kimyasal reaksiyonlar

sonucu birikerek ince film oluşturması yöntemidir. İnce filmin özellikleri (film
bileşimi, kristalleşme, birikme hızı, elektriksel ve mekanik özellikler vb.);
basınca, sıcaklığa, gaz türlerine, gaz akış hızlarına, gazların birbirlerine olan
oranlarına, vb. bağlı olarak değişim göstermektedir. Kimyasal buhar biriktirme
yöntemine örnek olarak; Metal Organik Kimyasal Buhar Biriktirme (ing.
MOCVD) yöntemi, Plazma Destekli Kimyasal Buhar Biriktirme (ing. PECVD)
yöntemi ve Atomik Katman Biriktirme (ing. ALD) yöntemi verileblir.

5.3.1. Metal Organik Kimyasal Buhar Biriktirme (MOKBB) Yöntemi

MOKBB yönteminde, belli bir sıcaklıkta tutulan alttaş üzerine organometalik

gazlar gönderilerek bu gazların yüzey üzerinde sıcaklığın etkisiyle organik-
metalik atom bağlarının kırılması ve bunların da yüzey üzerinde birikerek
kristalleşip ince film oluşturması sağlanmaktadır (Şekil 5.17). Örneğin; III-Nitrür
epitaksiyel film büyütmelerinde, III-grubu Alkiller ve V-grubu Hidrürler kimyasal
reaktant olarak kullanılmaktadır. Alttaş üzerinde gerçekleşen piroliz reaksiyonu
(yüksek sıcaklıklarda ayrıştırma) için genel denklem; organik radikal, III-

grubu metal, V-grubu ametal, III-grubu alkil ve de V-grubu hidrür

olmak üzere şu şekilde ifade edilir:

36
MOKBB yöntemi ile büyütülen ve Galyum Nitrür Temelli Yüksek Elektron
Hareketlilikli Transistör (ing. HEMT) aygıt epitaksiyel yapısında bulunan AlN,
AlGaN ve GaN ince film tabakaları için reaksiyon denklemleri şu şekilde yazılır:

NH3; amonyak, ; trimetil galyum (TMGa), ; trimetil

aluminyum (TMAl) ve taşıyıcı gaz hidrojen gazı (H2) olmak üzere

Şekil 5.17. MOKBB sistemi şematik görüntüsü.

Kimyasal reaksiyonlar etrafında şekillenen ve kaplanan/biriktirilen ince filmin

analizi, reaktör içerisinde yer alan ve tabakaların büyütme anındaki hızlarının ve
kalınlıklarının yüksek doğrulukla ölçülmesini sağlayan bir optik reflektometre
aracılığıyla yapılmaktadır. Şekil 5.18 (a)’da MOKBB sisteminde yer alan optik

37
reflektometre sistemi şematik çizimi ve (b)’de kaplanan ince filme gelen-
yansıyan ışınların şematik çizimi görülmektedir.

Şekil 5.18. (a) MOKKB sisteminde yer alan optik reflektometre sistemi
şematik çizimi ve (b) kaplanan ince filme gelen-yansıyan ışınların
şematik çizimi [30].

Büyütme esnasında reflektometre sisteminden çıkan ışınlar, büyütülmekte olan

ince film yüzeyinden yansıyarak tekrardan reflektometre sistemi tarafından
yakalanır. Büyütülmekte olan tabaka ile bu tabakanın altındaki tabaka
arasındaki kırıcılık indisi ( ) farkı, gelen ve yansıyan ışınlar arasında bir faz
farkı yaratarak, yansıyan ışığın yoğunluğunda yapıcı ve yıkıcı girişim desenleri
oluşturacak şekilde modülasyonlara neden olur. Yansıyan ışığın girişimi
nedeniyle, toplam reflektans (gönderilen ve yansıyan ışık yoğunluğu arasındaki
oran) yoğunluğunda meydana gelen bu değişimler, Fabry-Perot osilasyonları
olarak bilinmektedir. Şekil 5.19‘da MOKKB sisteminde, ince film büyütülmesi
esnasında ölçümlenen tipik bir reflektans grafiği örneği görülmektedir. Fabry-
Perot osilasyon periyodu , kullanılan ışığın dalga boyu , ince film kalınlığı
ve büyüme hızı da olmak üzere büyütülen tabaka kalınlığı ve büyütme hızı

için şu eşitlikler yazılabilir [31],

38
Şekil 5.19. MOKKB sisteminde ince film büyütülmesi esnasında ölçümlenen
tipik bir reflektans grafiği örneği [31].

Fabry-Perot osilasyon genliklerinden yola çıkarak aynı zamanda epitaksiyel

tabaka içeriği ve yüzey pürüzlülüğü hakkında da bilgi alınabilmektedir [30].

5.3.2. Plazma Destekli Kimyasal Buhar Biriktirme (PDKBB) Yöntemi

PDKBB sistemi kullanılarak; polisilikon, silisyum nitrür (Si3N4), silikon oksit

(SiOx), silisyum karbür (SiC) gibi malzemeler büyütülebilmektedir. PDKBB
sisteminde; ince film halinde büyütülmek istenen malzemenin başlangıç gaz
kaynakları kabin içerisine gönderilerek bu gazlar, belli bir güçte bir radyo
frekansı (RF) aracılığıyla uyarılarak plazma oluşturulmaktadır. Oluşturulan bu
plazma içerisinde yer alan iyonlar, belli bir sıcaklıkta (20oC -350oC) tutulan
örnek yüzeyine, anot-katot arasında oluşturulan potansiyel aracılığıyla
biriktirilerek bir film oluşturması sağlanır (Şekil 5.20). Örneğin ticari olarak
satılan bir çok mikro-nano aygıt yüzeyinde, özellikle elektriksel izolasyon ve
koruyucu katman olarak büyütülen silisyum nitrür (Si3N4) dielektrik tabakası için
reaksiyon denklemi şu şekilde yazılır:

39
Şekil 5.20. PDKBB sistemi şematik çizimi.

Kaplanan bir dielektrik malzemenin kalitesi temel olarak; film kalınlığı, yüzey
düzgünlüğü, stres (termal ve mekanik özellikler), aşınma hızı ve kırıcılık indisi
gibi parametrelerle karakterize edilir. Çizelge 5.2’de PDKBB plazma parametre
değişimlerinin Si3N4 film kalite parametrelerine etkisi görülmektedir.

Çizelge 5.2. PDKBB plazma parametre değişimlerinin Si3N4 film kalite

parametrelerine etkisi [32-34].

Plazma RF güç Proses Basıncı Sıcaklık

akışı ↑ oranı ↑
Parametresi ↑ ↑ ↑

Kaplama hızı ↑ ↓ ↑↑ ↑↑ ↓

Kırıcılık indisi ↑↑ ↓↓ ↓ ↓?

Kaplama hızı
↓↓ ↑↑
homojenitesi

Kırıcılık indisi
↑↑ ↓↓ ↑↑
homojenitesi

Film stresi ↓↓ ↑ ↓↓ ↑↑ ↑

BOE (Buffered
oxide etch) içinde ↑↑ ↑↑ ↓↓↓
aşınma hızı

40
Bir ince filmin örneğe iyi bir şekilde yapışması (adhesion), sertliği ve çizilmeye
karşı direnci, bağıl termal genleşme katsayısı ve arayüzdeki termal gerilmeler;
film/örnek çiftinin mekanik ve termal özelliklerini belirler. Bir filmin örnek
yüzeyine yapışma kuvveti, film ile örnek yüzeyi arasındaki etkileşim kuvvetleri
(Van der Waals ya da elektrostatik kuvvetler) aracılığıyla kontrol edilir. Yapışma
kuvveti, aynı zamanda örnek yüzeyinin temizliğine, mikroyapısına, kaplama
parametrelerine ve örnek ile film arasındaki termal genleşme katsayıları
arasındaki farka bağlı olarak da değişir. Kaplama esnasında yapı içerisine,
herhangi bir şekilde istenmeyen kirliliklerin dahil olması ya da kaplama
parametrelerinde meydana gelecek istenmeyen değişiklikler film kalitesini
değiştirecektir.

5.3.3. Atomik Katman Biriktirme (AKB) Yöntemi

Atomik Katman Biriktirme Yönteminde; belli bir sıcaklıkta (200 oC-400oC) tutulan
örnek yüzeyine, öncül kimyasallar (reaktantlar) gönderilerek bu kiyasalların
moleküllerinin örneğin yüzeyiyle reaksiyona girmesi sağlanmaktadır. Kimyasal
bağlanmanın doğası gereği yüzey üzerinde sadece bir molekül katmanı kadar
bağlanma olmaktadır. Bu işlem ardından öncül kimyasallar, örneğin tutulduğu
odadan çıkarılarak hemen ardından örnek yüzeyine bu öncül kimyasallarla
bağlanacak reaktantlar [karşı (counter) reaktantlar] gönderilerek bu reaktantların
örnek yüzeyine bağlanan öncül kimyasalların molekülleri ile bağlanarak istenilen
ince film kaplamasının yapılması sağlanmaktadır. Şekil 5.21’de atomik katman
biriktirme sistemi şematik görüntüsü ve temel çalışma prensibi görülmektedir
[35].

AKB yöntemi ile ince film üretim kalitesini; öncül kimyasalların ve reaktantların
reaktivitesi ve tepki sıcaklığı, bu kimyasalların gönderim süresi ve fazlalık
kimyasallarının dışarı atılma süresi, örneğin tutulduğu sıcaklık değeri, örneğin
yüzey özellikleri ve basınç gibi parametreler belirlemektedir. AKB yöntemi ile
diğer yöntemlere kıyasla çok daha kaliteli ve moleküler düzeyde homojen
kaplama yapmak mümkündür. Bu yöntem ile Pt, Ir, ZnF 2, CaF2, SrF2, , Al2O3,
ZnO, HfO2, Fe2O3, Cu2O, TiO2, TiN, TaN, WN, NbN, ZnS, CdS, CdSe, ZnF2,
CaF2, SrF2 ve W xC gibi bir çok malzeme ince film halinde çok yüksek kalitede
büyütelebilmektedir [36-38].

41
Şekil 5.21. Atomik Katman Biriktirme sistemi şematik görüntüsü. Tek bir AKB
döngüsü dört adımdan oluşur ve bu döngü istenen kalınlığa
ulaşana kadar tekrar edilebilir: (a) Öncül kimyasalların
(reaktantların) girişi, (b) fazla reaktantların uzaklaştırılması için
inert gazla temizleme (gaz-tahliyesi), (c) karşı reaktantların
eklenmesi ve (d) fazla reaktantların ve reaksiyon yan ürünlerinin
uzaklaştırılması için ikinci gaz-tahliyesi işlemi [35].

5.4. Elektroliz Yöntemi

Bir sıvı içinde çözünmüş kimyasal bileşiklerin bu sıvı içerisinde yer alan
elektrotlara uygulanan elektrik akımı yardımıyla iyonlarına ayrıştırılması
işlemidir. Aralarında belirli bir mesafe bulunan elektrotlar (anot ve katod)
arasında oluşturulan elektrik alan nedeniyle bu sıvı içerisinde yer alan (+) yüklü
iyonlar kotada doğru hareket ederken, (-) yüklü iyonlar anoda doğru hareket
ederler. Kaplanmasını istediğimiz örneğin katoda konulması durumunda
örneğimiz yüzeyinde kaplanmasını istediğimiz malzemenin birikmesi sağlanır.
Örnek yüzeyine malzeme kaplanabilmesi ve kaplanacak malzemenin sıkı bir
bağ oluşturması için; örnek yüzeyinin ya da örnek yüzeyinde kaplama yapılacak
bölge/bölgelerin iletken olması ya da iletken bir tabaka ile kaplanmış olması ve
de örnek yüzeyinin istenmeyen kalıntılardan arındırılmış olması gerekmektedir.

42
Elektroliz yöntemiyle nikel, çinko, kadmiyum, bakır, krom, gümüş ve altın gibi
birçok metal, ince film halinde kaplanabilmekle birlikte bu metallerin toz
üretimleri de yapılabilmektedir. Şekil 5.22’de bir elektroliz hücresi ve bakır (Cu)
tozu eldesi şematik gösterimi yer almaktadır.

Şekil 5.22. Elektroliz hücresi ve bakır (Cu) tozu eldesi şematik gösterimi [39].

5.5. Asal Gaz Yoğunlaştırma (AGY) Yöntemi

AGY yöntemi ile nanoparçacık üretiminde; bir vakum odasında yeterli vakum
seviyesine ulaşıldıktan sonra içeride belli bir basınç oluşturacak şekilde bir asal
gaz gönderilmektedir. Ardından da nanoparçacıkları üretilecek malzeme,
herhangi bir yöntemle (termal, elektron demeti, lazer vb.) buharlaştırılmaktadır.
Buharlaşan malzeme, ortamda bulunan asal gaz atomları ile etkileşerek
enerjilerini kaybetmekte ve vakum odası içerisinde yer alan ve soğuk olarak
tutulan bir hazne yüzeyinde toplanarak nanoparçacıklar elde edilmektedir. Elde

43
edilen nanoparçacıkların boyutu; asal gaz türüne, basınca, buharlaşma hızına,
ortam sıcaklığına, parçacıkların üzerinde biriktiği soğuk haznenin sıcaklığına
bağlı olarak değişmektedir. Şekil 5.23’te AGY sistemi şematik görüntüsü yer
almaktadır.

Şekil 5.23. AGY sistemi şematik gösterimi [40].

5.6. Sol-Jel Yöntemi

Sol, bir sıvı içerisinde çökmeden (moleküller arası Van Der Waals ve elektriksel
itme kuvveti, yerçekimi kuvvetine göre daha fazla olduğu durumlarda) askıda
duran kolloidal parçacıkları ifade etmektedir. Jel ise; katı-sıvı arasındaki bir fazı
ifade etmekte olup bu sıvı süspansiyonu içerisinde yer alan moleküller, bir araya
gelerek genişleyip büyük bir boyuta ulaşırlarsa, jel, adını alırlar. Sol- jel yöntemi
temel olarak şu adımlardan oluşmaktadır: Ön başlatıcının hidrolizi, sol- jel aktif
türlerinin alkol ya da su kondenzasyonu, Jelleşme, Yaşlanma (kararlı bir yapının
oluşması için geçen süre), Kurutma ve Yüksek sıcaklık işlemi. Sol- jel yöntemi;
düşük sıcaklıklarda, bir çözeltiden katı bir materyalin hazırlanması esasına
dayanan oldukça basit ve kontrol edilebilir bir yöntem olması nedeniyle ince
film, fiber, çeşitli boyut ve şekillerde nanoparçacıklar olmak üzere bir çok
malzemenin üretimine olanak sağlamaktadır. Şekil 5.24’te sol-jel yöntemi
kullanılarak elde edilen çeşitli malzemeler ile ilgili şematik gösterim yer
almaktadır [41-44].

44
Şekil 5.24. Sol-Jel yöntemi ve elde edilen çeşitli ürünlerin şematik gösterimi
[41-43].

5.7. Mekanik Öğütme Yöntemi

Mekanik öğütme yöntemi, genellikle toz halindeki element ya da bileşiklerin

öğütülerek farklı özellikteki tozların üretilmesi amacıyla kullanılmaktadır.
Öğütme, havan denilen ve içinde bilyalar barındıran silindirik bir kap içinde
yapılmaktadır. Öğütme bilyaları; akik, silikon nitrür, sinterlenmiş korindon,
zirkonyumdioksit, krom çeliği, Cr-Ni çeliği, tungsten karpit ve plastik polyamid
den yapılır. Toz haline getirilmek istenen malzeme ya da üretilmek istenen yeni
malzemenin kimyasal bileşenleri bilyalar ile birlikte havan içirisine konularak
kapatılmakta ve öğütme işlemi yapılmaktadır. Öğütme işlemi, genelde bir soy
gaz ortamında gerçekleştirilerek öğütme boyunca, malzeme parçacıklarının
kırılması sonucu çok reaktif yüzeylerin oluşması ve bunların çevredeki gazlarla
reaksiyona girmesi engellenmektedir.

Öğütme yönteminde birbirine zıt iki olayın oluşması söz konusudur: Bunlardan
biri, uygulanan yüksek basınç etkisiyle oluşan iç kuvvetlerin parçacıkları daha
küçük yapılara parçalaması, diğeri ise iyice ufalanmış parçacıkların,
yüzeylerinin arttırılmasından dolayı çok reaktif olmaları ve tekrardan topaklaşma
eğilimi göstermeleridir. Eğer başlangıçtaki parçacık büyüklüğü görece büyükse

45
(genellikle 10 µm’den), öğütme hızlı bir şekilde yarılmalarla başlar ve sonra
parçacık büyüklüğünün sadece tozların yapısına ve öğütme koşullarına bağlı
olduğu (süre, dönme hızı, yük oranı toplar arasındaki oran ve toz ağırlıkları…)
yarılma, ezme ve kaynaşmalarla homojen bir toz yapı elde edilmektedir. Şekil
5.25’te çeşitli mekanik öğütme yöntemleri görülmektedir.

Şekil 5.25. Mekanik öğütme yöntemleri. (a) Atritör değirmen, (b) Yatay
değirmen, (c) Gezegenesel değirmen, (d) 1-boyutta titreşimli
değirmen, (e) 3-boyutta titreşimli değirmen [45].

Öğütme işlemi esnasında bilyalar arasında ve bilyalar ile havan duvarı arasında
meydana gelen sürtünme ve çarpışmalar sonucunda malzemeye enerji
aktarılmaktadır. Meydana gelen sürtünme ve çarpışmaların etkisiyle
malzemenin boyutu büyük ölçüde küçültülürken aktarılan enerji sayesinde de
yeni malzemelerin, alaşımların elde edilmesi mümkün olmaktadır. Elde edilecek
malzemelerin yapısı temel olarak; öğütme süresi, yük oranı (bilyalar ile
malzemenin ağırlığı arasındaki oran), bilyaların boyutu ve yapısı, öğütme hızı,
46
öğütme ortamının atmosfer yapısı ve öğütme sıcaklığı gibi parametrelerle
belirlenmektedir.

5.8. Plazma ile Aşındırma Yöntemi

Entegre devre üretiminde yaygın olarak kullanılan bir yöntemdir. Plazma

aşındırma yöntemi ile; malzeme yüzeyinden oldukça hassas bir şekilde atomlar,
plazma içerisinde yer alan atom ve moleküllerin bu yüzey atomları ile
gerçekleşen kimyasal ya da fiziksel etkileşimleri sonucunda uzaklaştırılarak
malzeme yüzeyi, istenilen biçimde şekillendirilmektedir. Plazma aşındırma
yöntemi, genelde litografi yöntemi ile birlikte kullanılmaktadır. Litografi yöntemi
ile istenilen şekillerde desenlenerek rezist ile korunan örnek yüzeyindeki
bölgeler (maskeleme) dışındaki bölümler plazma yardımıyla aşındırılarak örnek
yüzeyinde istenilen desenler elde edilmektedir.

Plazma, genelde 13,56 MHz’lik özel bir radyo frekansına sahip ve istenen güçte
RF uygulanmasına olanak tanıyan bir bobin ile çevrelenmiş dielektrik bir kabin
içinde oluşturulmaktadır. Plazma, makroskobik açıdan bakıldığında elektriksel
olarak nötr olacak şekilde içerisinde eşit sayıda pozitif ve negatif yükler içeren
(elektronlar, iyonlar, nötr atomlar, radikaller, moleküller, foton salan uyarılmış
düzeyde bulunan atom ve moleküller) iyonize gaz olarak tanımlanmaktadır.
Aşındırma işlemini gerçekleştirecek gazların bulunduğu kabin içerisinde,
elektrotlar arasına belli bir güçte radyo frekansı (RF) uygulandığında elektronlar,
RF gücü tarafından oluşturulan elektrik alan vasıtasıyla hızlanmaya başlar ve
belli bir kinetik enerji kazanırlar. Atom ya da moleküllerin dış kabuğunda yer
alan elektronların kinetik enerjisi, iyonlaşma enerjisinden büyükse bu elektronlar
koparak atom ve moleküllerden ayrılırlar. Kopan bu elektronlar, elektrik alanın
etkisi ile çevredeki diğer atom ve moleküllere çarparak, enerjilerinin durumuna
bağlı olarak elektron kopartır ya da atom ve molekülleri uyararak plazma
oluşumuna katılırlar. Yüksek enerjili elektronlar tarafından uyarılan atom ve
moleküllerin tekrardan kararlı duruma geçerken yayımladıkları ışınlar, plazma
renginin kaynağını oluşturur. Oluşan plazma içerisinde yer alan yüksek enerjili
iyonlar, örnek yüzeyindeki atomlar ile etkileşerek fiziksel ya da kimyasal
etkileşmelerle yüzeyin şekillendirilmesini sağlar [46]. Şekil 5.26’da bir plazma
aşındırma sisteminin şematik görüntüsü yer almaktadır. Şekil 5.27’de de plazma

47
ile aşındırma esnasında gerçekleşen temel süreçleri gösteren şematik bir resim
görülmektedir.

Şekil 5.26. Bir plazma aşındırma sistemi şematik görüntüsü [47].

Şekil 5.27. Plazma ile aşındırma esnasında gerçekleşen temel süreçlerin

şematik gösterimi [48].

48
 6. NANO MALZEME KARAKTERİZASYON YÖNTEMLERİ
Nano malzeme karakterizasyonunda kullanılan birçok yöntem bulunmakla
birlikte bu konu kapsamında sadece fikir vermesi açısından bir kaç tanesi
paylaşılacaktır.

6.1. Taramalı Elektron Mikroskobu

Taramalı elektron mikroskobunda (ing. SEM) temel olarak; bir katottan

kopartılan yüksek enerjili elektronlar, malzeme yüzeyi üzerine manyetik
mercekler aracılığıyla yönlendirilmektedir. Yönlendirilen bu elektronlarla örnek
yüzeyindeki atomların fiziksel etkileşmeleri (elastik ve elastik olmayan
çarpışmalar) sonrasında açığa çıkan foton ve elektronlar, dedektörler
aracılığıyla toplanarak bir sinyale dönüştürülmekte ve bir program aracılığıyla
yorumlanan bu sinyaller sayesinde malzeme topografisi, atom numarası ve
atomik kompozisyon hakkında bilgi alınabilmektedir.

Malzeme yüzeyine gönderilen elektronların, bu malzemenin yüzeyinden

yaklaşık 10 nm derinliğindeki atomlarla elastik olmayan çarpışmaları sonrasında
açığa çıkan yaklaşık 50 eV enerjiye sahip ikincil elektronların (secondary
electrons) fotoçağaltıcı tüpler aracılığıyla toplanarak yorumlanması ile yüzeyin
topografisi hakkında bilgi alınmaktadır. Malzeme yüzeyinin yaklaşık 300 nm
derinliklerindeki atomlarla olan güçlü etkileşimler sonucu ortaya çıkarak saçılan
yüksek enerjili elektronların [geri saçılma elektronları (ing. backscattered
electrons)] quadrant foto dedektörler aracılığıyla toplanarak yorumlanması
(atom numarası büyüdükçe saçılan elektronların enerjileri de büyüyecek ve
buna bağlı olarak dedekte edilecek elektronların üreteceği sinyalin gücü de
büyüyecektir) ile örneğin kompozisyonu hakkında bilgi alınmaktadır. Malzeme
yüzeyinin yaklaşık 1000 nm derinliklerindeki atomlarla olan güçlü etkileşimler
sonucu ortaya çıkan karakteristik X-ışınlarının (keV enerjili) dedekte edilip
yorumlanması ile malzemenin elementel kompozisyonu hakkında bilgi
alınmaktadır [49].

SEM ile iletken ve sıvı olmayan her türlü malzemenin (toz örnekler, ince film,
biyolojik örnekler, polimer, metaller, tekstil, fiber gibi) incelemesi
yapılabilmektedir. İletken olmayan malzemeler (plastik gibi) ise; ince bir iletken

49
tabaka ile kaplanarak incelenebilmektedir. Şekil 6.1’de yüksek enerjili
elektronların malzeme ile etkileşmesi sonucu açığa çıkan foton ve elektron
saçılmaları görülmektedir. Şekil 6.2’de bir SEM şematik görüntüsü yer
almaktadır.

Şekil 6.1. Yüksek enerjili elektronların malzeme ile etkileşmesi sonucu açığa
çıkan sinyallerin şematik gösterimi [50].

Şekil 6.2. Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) şematik görüntüsü [51].

50
6.2. Geçirimli Elektron Mikroskobu

Geçirimli elektron mikroskobu (ing. TEM) temel olarak; hızlandırılmış çok

yüksek enerjili elektronların, ölçüm alınabilecek koşullara göre hazırlanmış
yeterli kalınlıktaki (<100 nm) ve geçirgenlikteki malzeme içerisinden geçerken
oluşturdukları kırınım deseninin, floresans bir ekran aracılığıyla görüntüye
dönüştürülmesi esasına dayanarak çalışmaktadır. TEM’de sıvı malzemeler,
nanoparçacıklar, polimerik malzemeler, biyolojik malzemeler gibi bir çok
malzeme incelenebilmektedir. TEM kullanarak; atomik ölçekte görüntüleme elde
edilebileceği gibi enerji dağılım analizi (EDS) ile malzeme bileşeni tayini,
elektron kırınımı ile kristalografik analiz, elektron enerji kaybı spektroskopisi
(EELS) ile malzeme kimyası ve içeriği hakkında bilgi alınabilmektedir. Şekil
6.3’te bir TEM şematik görüntüsü yer almaktadır.

Şekil 6.3. Geçirimli Elektron Mikroskobu (TEM) şematik görüntüsü [51].

6.3. Taramalı Tünelleme Mikroskobu

Taramalı Tünelleme Mikroskobu (ing. STM); atomik boyutta sivri bir iğne
yardımıyla taranan iletken bir malzemenin yüzeyindeki atomlar ile bu sivri iğne
arasındaki kuantum tünelleme akım değişimlerinden yola çıkarak elde edilen

51
verilerin işlenerek yüzeyin atomik düzeyde üç boyutlu yüzey görüntüsünün elde
edilmesi esasına dayanarak çalışmaktadır. STM ile iletken yüzeylerin yüzey
karakterizasyonu, atomik görüntüleme, atomik ve moleküler yerleşim ve
büyüklükler elde edilebilmektedir. Şekil 6.4’te STM şematik görüntüsü ve bir
yüzey üzerideki silikon (Si) atomlarının STM görüntüsü yer almaktadır.

Şekil 6.4. (a) STM şematik görüntüsü [52] ve (b) bir yüzey üzerindeki Si
atomlarının STM görüntüsü [53].

6.4. X-Işını Kırınımı (XRD)

Bir katottan kopartılan yüksek enerjili elektronlar, metal bir levha üzerine
yönlendirilerek bu metal levhanın atomları ile etkileşmesi sağlanmaktadır.
Elektronlar, atomlarla etkileştiğinde aniden yavaşlayarak başlangıç kinetik
enerjilerinin %1’ini X-ışını yayınlayacak şekilde kaybetmektedirler (geri kalan
enerjilerinin %99’luk kısmı ise ısı olarak açığa çıkmaktadır). Şekil 6.5’te farklı
XRD tüpleri şematik görüntüsü yer almaktadır. XRD yönteminde; bu X-ışınları
kullanılarak kristal yapı üzerine yönlendirilerek kırınıma uğramakta ve Bragg
yasasına uygun olacak şekilde kırınıma uğrayan bu ışınlar dedekte edilip
yorumlanarak malzeme hakkında bilgi alınmaktadır. Her kristal yapıya özgün
olacak şekilde kırınıma uğrayan ışınlar, malzemenin kristal sabitleri, atomik
düzlemler arasındaki mesafe, katman yönelimi, grain veya tek kristal yönelimi,

52
tanecik boyutu, içerik, şekil, gerginlik ve dislokasyon yoğunluğu hakkında bilgi
vermektedir.

Şekil 6.5. XRD tüpleri şematik gösterimi [54].

Bir kristalle etkileşen X-ışınları, Bragg yasasına uygun olacak şekilde kırınıma
uğrar. Kristal düzlemleri arasındaki mesafe , gönderilen X-ışınının dalga

boyu , kırınım yoğunluğun maksimum olduğu Bragg açısı , bir tam sayı ve

iki düzlemden yansıyan ışınlar arasındaki yol farkı olmak üzere, bu

düzlemlerden yansıyan ışınların oluşturacağı yapıcı girişim desenleri Bragg
yasasına göre şu şekilde ifade edilmektedir:

Hekzagonal bir kristalde, düzlemler arasındaki mesafe ; ve kristal

sabitleri ve Miller indisleri (birim hücrede düzlemler) olmak üzere şu şekilde

ifade edilmektedir:

Şekil 6.6’da (a) XRD sistemi hareket eksenleri şematik çizimi ve (b)’de X-
ışınlarının atomik düzlemlerden kırınımı görülmektedir.

53
Şekil 6.6. (a) XRD sistemi hareket eksenleri şematik çizimi [55] ve (b) X-
ışınlarının atomik düzlemlerden kırınımı.

XRD sistemi temel olarak; X-ışını kaynağı, X-ışını giriş optiği, alıcı optik
(monokromatör), dedektör ve örnek tutucudan oluşmaktadır. Örneklerin yapısal
analizi için, iki tip tarama yapılarak ölçüm alınabilmektedir. Birinci taramada; X-
ışını kaynağının açısı ( ) ve dedektör açısı ( ) değiştirilerek, ’ya karşılık
dedekte edilen sinyalin şiddeti ölçülür. Bu ölçüm ile örneğin katman bilgisi,
katman kalınlığı ve alaşım oranları gibi bilgilerine ulaşılır. İkinci taramada ise; X-
ışını kaynağının geliş açısı ( ), Bragg kırınım koşulunu sağlayan değerinin
yarısına ve dedektör konumu da beklenen maksimum yansıma şiddeti açısına
getirilerek sabit tutulur. Daha sonra belli bir açıda eğik tutulan örnek, belli bir

açısı kadar (örneğin ) hareket ettirilir. Bu ikinci tarama ile örneğin simetrik
ve asimetrik düzlemleri için döndürme eğrileri (rocking curve) elde edilerek
tabakaların çizgisel kusurları (dislokasyonlar) ve kristal kalitesi hakkında bilgi
alınmaktadır. Her iki tarama tipinde de ölçümlerin yorumlanması, yansıma
şiddetinin FWHM (Full Width at Half Maximum=Yarı Yükseklikteki Tam Genişlik)
değerinin analiz edilmesi ile yapılır. FWHM değeri, yansıma şiddeti eğrisinde
şiddetin yarıya indiği noktada eğrinin tam genişliğini ifade eder. Yansıma
şiddetinin keskin bir pike sahip olması, FWHM değerinin küçük olması anlamına
gelir. Bu da kristalin düşük kusurlu iyi bir kristal kalitesine sahip olduğunu
gösterir.

Şekil 6.7’de bazı yarıiletken tabakalar için XRD sisteminden 32 o-37o aralığında
alınmış ’ya karşılık şiddet grafiği görülmektedir. JCPDS-ICDD =Joint
Committee on Powder Diffraction Standards-The International Centre for

54
Diffraction Data = Toz Kırma Standartları Ortak Komitesi-Kırılma Verileri
Uluslararası Merkezi kart numaraları kullanılarak bu grafikteki pik pozisyonları
ile karşılaştırılıp (programlar aracılığıyla) malzeme tespiti yapılabilmektedir.

Şekil 6.7. Bazı yarıiletken tabakalar için XRD sisteminden alınmış ’ya
karşılık şiddet grafiği.

6.5. Küçük Açı X-Işını Saçılması (SAXS)

SAXS yönteminde 1 nm ila 100 nm aralığında bir sistem içerisinde düzgün

dağılmış homojen olmayan malzemelerden, gelen demetin yönünden çok küçük
açılarda sapma yapacak şekilde (<300) izotropik olarak saçılan X-ışınları
toplanarak saçılan ışının şiddeti ile saçılma açısı arasındaki ilişkinin analizinden
yola çıkarak malzeme analizi yapılmaktadır. SAXS temel olarak X-ışını
kırınımına benzer bir prensiple çalışmaktadır. Ancak X-ışını kırınımında kristal
yapılar incelenebilirken, SAXS yönteminde incelenen malzemenin kristal olması
zorunluluğu yoktur, yarı kristal, kristal olmayan malzemeler, bir solüsyon
içerisinde yer alan moleküller, emülsiyonlar, polimerler, biyolojik malzemeler
(proteinler, kan hücreleri gibi), katalizörler, sıvı kristaller, tozlar, yığın
numuneler, ince filmler, nanokompozitler, polikristalin yapılar, fiberler, fraktallar,
jeller ve yoğun gaz yapılar gibi çok farklı yapılar incelenebilmekte ve bu
yapıların yüzey özellikleri, nanopartikül boyutları, şekilleri, boyut dağılımları, faz

55
kompozisyonları ve yapısal dinamikleri incelenebilmektedir. SAXS yöntemi ile
ölçümün temelinde, örneğin nano oluşumlar içermesi ve farklı elektron
yoğunluklarının ölçülebilir düzeyde olması yatmaktadır. SAXS temelde bir
örneğin genel yapısı hakkında bilgi verirken, kristal olmayan malzemelerdeki
atomik yapı, SAXS ile aynı prensiple çalışan Geniş Açı X-Işını Saçılması
(WAXS) ile ve yüzey morfolojisi ve yüzeye yakın yerler için ayrıntılı bilgi ise
GISAXS (Grazing Incidence Small Angle X-ray Scattering) ile elde edilmektedir
[56]. Şekil 6.8’de bir SAXS kurulumunun şematiği görünmektedir.

Şekil 6.8. Bir SAXS kurulumunun şematik görüntüsü [57].

Şekil 6.9’da bir Nanoyapılı polimer jelden toplanan 2D SAXS modeli görüntüsü
görülmektedir.

Şekil 6.9. Bir nano yapılı polimer jelden toplanan 2D SAXS modeli görüntüsü
[58].

56
Şekil 6.10’da NADPH oksidaz protein molekülü için; küçük açı X-ışını saçılma
spektrumu ve bu molekülün boyutunu tanımlamak için kullanılan Guinier grafiği
görülmektedir [56].

Şekil 6.10. NADPH oksidaz protein molekülü için; (a) küçük açı X-ışını
saçılma spektrumu ve (b) bu molekülün boyutunu tanımlamak için
kullanılan Guinier grafiği.

57
 7. DOĞADA NANOTEKNOLOJİ
Doğada bulunan tüm biyolojik, organik ve inorganik malzemeler temelde nano
yapılardan inşa edilmiş olup sahip oldukları özelliklerini bu nano yapılara
borçludurlar: Volkanik faaliyetler sonucu oluşan mineraller, nano ölçekte liflerin
düzenlenmesinden oluşan kağıt ve pamuk, iki boyutlu kristal nanoyapıya sahip
killer, keratin, elastin ve kolajen gibi çok esnek proteinlerden oluşan deri, pençe,
gaga, tüy, boynuz, saç gibi yapılar, tavanda yürüyen kertenkele, süt, kan,
kemik, kabuk, mercan, sis, jelatin gibi aklımıza gelebilecek her şeyin temelinde
nanoyapılar ve bu nanoyapıların nano boyuttaki organizasyonu yatmaktadır
[59].

7.1. Kemik

Kemik; sert, esnek, hafif, dayanıklı ve gözenekli olması gibi birbirine zıt bir çok
özelliği kendi içerisinde barındıran oldukça büyüleyici bir yapıya sahiptir. Kemik;
yoğun bir dış kabuktan (kortikal kemik) ve süngerimsi bir iç kısımdan (süngersi
kemik) oluşmaktadır. Süngerimsi kemiğin %20'si kemik materyalinden geri
kalanı ise kemik iliğinden yapılmıştır. Kortikal kemik ise, düzenli olarak dizilmiş
fibrillerden oluşmaktadır (Şekil 7.1). Fibriller ise; kemik oluşturan hücreler olan
osteoblastlar tarafından hücre dışı boşluğa bırakılan ve fibriller halinde
kendiliğinden birleşen 300 nm uzunluğunda ve 1,5 nm kalınlığındaki kolajen
moleküllerinin birleşiminden oluşmaktadır (Şekil 7.2). Kolajen fibrilleri, birbirine
ve fibril ana eksenine paralel olarak düzenlenmiş hidroksiapatit (kalsyum fosfat)
mineral kristalleri (memeli türlerinde kemik mineral kristallerinin kalınlığı 2–4
nm'dir) tarafından doldurup kaplamaktadır. Bu kristaller, fibriller boyunca,
düzenli aralıklarla ve aralarında yaklaşık 67 nm'lik bir tekrar mesafesi ile
oluşmaktadırlar (Şekil 7.3) [59-61]. Şekil 7.4’te kemiğin yapısı, kemiğin dış bir
gerilim altında deformasyonu yoluyla oldukça iyi bir şekilde anlatılmaktadır [62].

Kemik, sahip olduğu bu nano yapı ve hiyerarşi sayesinde oldukça esnek ve

kırılmalara karşı da oldukça dayanıklıdır. Nitekim Eyfel Kulesi’nin tasarımında
da kemiğin bu hiyerarşik yapısı oldukça etkili olmuştur (Şekil 7.5) [63,64].

58
Şekil 7.1. Kortikal kemik ve gözenekli süngerimsi kemik yapısının SEM
görüntüsü [59-61].

Şekil 7.2. Kollajen fibrillerin kendi kendine düzenlenimi [59-61].

59
Şekil 7.3. Kollajen fibrillerde mineral partiküllerin düzenlenimi [59-61].

Şekil 7.4. Dış bir gerilim altında kemik yapısının deformasyonu [61-62].

Şekil 7.5. Bir kemikte ve Eyfel kulesinde hiyerarşik yapı. (a) Bir kemik beş
hiyerarşik şekil düzeyine sahipken, (b) Eyfel kulesi, üç hiyerarşik
şekil düzeyine sahiptir [63,64].

60
7.2. Örümcek Ağları

Örümcek ağları; çok yüksek oranda protein, az miktarda şeker, yağ (lipid) gibi
organik yapı taşlarından ve çevresel faktörlere bağlı olarak da belli miktarda su
içeren iplikçiklerdir. İplikçikler (fiberler), sert ve yumuşak protein demetleri içine
dağılmış protein kristallerinden oluşmaktadır. Bu iki protein, birbirlerine
karmaşık bir şekilde bağlıdırlar ve bunlar örümcek ağının, ağır yük altında bile
kopmadan yüksek oranlarda uzamasını sağlamaktadır.

Örümcek ağları, temel olarak kristalin ve amorf olmak üzere iki alt birimden
oluşmaktadır. Kristalin alt birimler, 6-10 amino asit içeren alanin veya glisin-
alanin kısa peptitlerinden oluşmaktadır. Bu peptitler, bir tarafı 2-5 nm olan
mekanik olarak güçlü kristal bloklar halinde düzenlenmektedirler. Bu kristal
bloklar, amino asit yan zincirleri arasında hidrojen bağları ve kovalent olmayan
bağlarla etkileşime giren paralel ya da antiparalel β-iplik katmanlardan
oluşmaktadırlar. Kristalin alt birimler, örümcek ipeğindeki lif hacminin % 10-
25'ini oluşturmaktadır. Örümcek ağının amorf alt birimi ise; daha uzun ve
glisinden zengin peptid dizilerinden oluşmaktadır [65-66]. Şekil 7.6’da bir
örümcek ağının moleküler hiyerarşik yapısı görülmektedir.

Şekil 7.6. Örümcek ağının moleküler hiyerarşik yapısı [67].

Örümcek ağları sahip oldukları moleküler hiyerarşi sayesinde;

 Aynı kalınlıktaki çelik telden 5 kat daha sağlamdırlar.

 Kendi uzunluğun 4 katı kadar esneyebilirler.
 Oldukça hafiftirler: Dünyanın çevresini dolanacak örümcek ağının ağırlığı
sadece 320 gram olacaktır.

61
  Oldukça sağlamdırlar: 1000 km hızla uçan 180 tonluk bir Boeing 747’yi
durdurabilmek için 1 km uzunluğunda ve sadece 21 cm kalınlığında
örümcek ağından yapılma bir halat yeterli olacaktır [68].

Örümcek ağlarının bu özelliklerinden yararlanarak “Kevlar” adlı sentetik bir

malzeme üretilmiştir. Kevlar, örümcek ağının moleküler hiyerarşisini taklit
edecek şekilde çok yüksek çekme gerilimine dayanabilen, çok hafif karbon
kökenli sağlam liflerden oluşan ipliksi bir yapıda üretilmiştir. Sahip olduğu bu
hiyerarşi sayesinde aynı ağırlıktaki çelikten 5 kat daha sağlamdır. Şekil 7.7’de
örümcek ağı ile kevlar’ın hiyerarşik yapısının karşılaştırması görülmektedir.

Şekil 7.7. Örümcek ağı ve kevlar’ın hiyerarşik karşılaştırması [69].

Örümcek ağının üstün özelliklerinden yola çıkarak üretilen sentetik malzemeler;

çelik yelek, gemileri bağlamak için kullanılan halatların yapımında, yanmayan
koruyucu giysi, paraşüt, ve dağcılık için halatlar, fiber veya data kabloları, Hava
Kuvvetleri pilotlarının üniformalarının imalatında, uçak kanatlarında, hafif
ağırlıklı kano imalatında, yeni nesil hoparlörler diyaframları yapımında
kullanılmaktadır.

62
7.3. Güve Gözleri ve Antiyansıtıcı Katmanlar

Güvelerin gözleri, yansımaları ortadan kaldıran 300 nm aralıklarla dizilmiş 200

nm yüksekliğinde hegzagonal dizinlerden oluşan doğal bir nano film ile kaplıdır
(Şekil 7.8). Bu nano film, yansımaları (Ay ışığı bile yansımaz) engelleyerek ışığı
çok iyi bir şekilde hapsedebilmektedir. Bu nano dizinler, güvelerin, karanlıkta
yerlerinin bulunmasını engellemekte ve çok iyi görmelerini sağlamaktadır.
Ayrıca nano dizinler sahip oldukları hidrofobik etki nedeniyle suyun yüzey
üzerinde durmasını da engellemektedir.

Şekil 7.8. Güve gözlerinin nano tasarımı [70, 71].

Güve gözlerindeki nano dizinler, görünür ışığın dalga boyundan küçük

olduğundan ışık bu ortamdan geçerken yansımaya uğramadan
soğurulmaktadır. Güve gözlerindeki bu özellikten yararlanarak; anti-yansıtıcı
film kaplamalar yapılarak güneş hücrelerinin verimliliği artırılmaya
çalışılmaktadır.

63
7.4. Deniz Kabukları

Yumuşakçaların deniz kabukları, kalsiyum karbonattan yapılmış güçlü kırılgan

bir dış katmandan ve sert bir iç katmandan (sedef) oluşmaktadır. Bu iç katman,
yumuşakçanın %95’ini oluşturan seramik dış katmandan birkaç kat daha yüksek
bir kırılma tokluğuna ve sertliğine sahiptir. Sedef, canlının dış kabuğun herhangi
bir kuvvet nedeniyle kırılması durumunda üzerine düşen mekanik
kuvveti/enerjiyi dağıtmak için sert bir destek tabakası olarak işlev görmektedir.
Mikro ölçekte, sedef, duvar benzeri bir yapı içerisinde birçok ince tabakanın
monte edildiği bir yapıdan oluşmaktadır. Her katman, yumuşak bir organik
matrisle birbirine bağlanan nano boyutta poligonal tuğlalardan ve bu tuğlaları
birbirine bağlayan mineral köprülerinden oluşmaktadır (Şekil 7.9). Deniz
kabuğunun sahip olduğu bu katman yapısı, üstlerine binen kuvvetleri dağıtarak
çatlakların yayılmasını önlemekte ve bu şekilde de insan yapımı seramik
maddelerden daha az kırılgan bir davranış sergilemektedir [72,73].

Şekil 7.9. Abalone deniz kabuğunun hiyerarşik yapısı [72].

Yumuşakçaların kabuklarına benzer bir hiyerarşik yapı, deniz kabuklarında da

bulunmaktadır. Üç sıralı çapraz katmanlı mikroyapıdan oluşan deniz
kabuklarında tabakalar birbirlerine sıvı bir matriks ile bağlanacak şekilde
tabakalar (1.katman) kirişlere (2.katman) ve kirişler de nano-boyutta takozlara
(3.katman) bölünecek şekilde bir hiyerarşi oluşturmaktadırlar. Deniz

64
kabuklarında bulunan çapraz katmanlı bu seramik zırh sistemi, birbiri içerisine
giren nano boyuttaki seramik plakalar aracılığıyla üzerine düşen enerjiyi
dağıtarak kabuğun dayanımını arttırmaktadır. Şekil 7.10’da bir deniz kabuğunun
hiyerarşik yapısının şematik görüntüsü yer almaktadır [73].

Şekil 7.10. Deniz kabuğu hiyerarşik yapısı [73].

Deniz kabuklarının sahip olduğu hiyerarşik yapıdan yararlanarak son derece

sert ve dayanaklı bir malzeme olan ve tanklarda zırh malzemesi olarak
kullanılan alüminyum-bor karbür denilen metal-seramik malzeme üretilmiştir. Bu
malzeme içerdiği fazlar sayesinde katman yapısı oluşturarak üzerine binen
kuvvetleri dağıtmakta ve bu şekilde de oldukça sağlam bir yapı ortaya
koymaktadır [74,75].

Deniz kabuklarında bulunan katmanlı hiyerarşik yapıya benzer bir yapı balık
pullarında da bulunmaktadır. Pullarda yer alan esnek çok katmanlı zırh sistemi,
delinmelere karşı dayanıklı sert kemikli hidroksiapatit (mineral) bir dış
katmandan ve üzerine düşen enerjiyi dağıtan ortogonal kontrplak benzeri mikro
ve nano fiber takviyeli yumuşak ve elastik iç destek katmanlarından
oluşmaktadır. Şekil 7.11’de bir balık pulunun hiyerarşik yapısının şematik
görüntüsü yer almaktadır [73].

65
Şekil 7.11. Balık pulunun hiyerarşik yapısı [73].

7.5. Nilüfer (Lotus) Yaprağı

Lotus bitkisi, bataklıklarda ve olabildiğince sulak alanlarda yetişiyor olmasına

rağmen üzerinde hiçbir kirlilik barındırmaması, sürekli temiz ve kuru olması
nedeniyle ilk defa 1997 yılında Wilhelm Barthlott ve Christoph Neinhuis
tarafından incelenmiş ve Lotus yaprağı dâhil olmak üzere birçok bitkide var olan
bu kendi kendine temizleme olayı, “Lotus etkisi (süperhidrofobik etki)” olarak
isimlendirilmiştir.

Lotus bitkisi bu özelliğini, yapraklarının sahip olduğu mikro yapı ve balmumu

kristalleri (birkaç on nano metre büyüklüğünde) ile kaplı pürüzlü yüzeylerindeki
epidermal hücrelerine borçludur. Yüzeyin pürüzlülüğü ile birlikte bu balmumu
kristallerinin oluşturduğu çivilerle kaplı bir yüzeyi andıran (nano sivrilikler) yüzey
topolojisi, yaprak yüzeyi ile su damlacıkları arasında yaklaşık 170 0' lik bir temas
açısına sahip süperhidrofobik bir yüzey (güçlü bir su itici tabaka) oluşturmakla
birlikte her bir su damlası ile her bir mum kristali arasında hava hapsolmasını
sağlamaktadır. Oluşan bu süperhidrofobik etki nedeniyle lotus yaprağı ile su
damlacığı arasındaki temas alanı minimum olmakta ve su damlacığı küresel bir
form alarak yüzeyden, yüzeydeki kirlilikleri de kendisi ile birlikte toplayarak alıp
yuvarlanmaktadır. Lotus bitkisinin sahip olduğu bu yüzey topografisi, yüksek bir
su iticiliğinin yanı sıra hava akışı ve ışık yansımalarını da etkilemekte
bakterilerin, mikropların, tozların ve kirlerin yüzeye tutunmasını engellemektedir.
Şekil 7.12’de Lotus bitkisi ve yüzey yapısı görülmektedir [59, 76,77].

66
Şekil 7.12. (a) Lotus çiçeği ve yaprağı, (b) Lotus yaprağının yüzey yapısının
SEM görüntüsü ve şematik gösterimi, (c) Lotus yaprağı üzerindeki
kirin uzaklaşarak kendi kendini temizlemesi [77].

Lotus bitkisinin özelliklerinden yararlanarak; laminantlar, kiremitler, koruyucu

filmler, trafik işaretleri, pencere çerçeveleri, çadır, muşamba, boyalar ve tekstil
ürünleri (kravat, ıslanmayan ve leke tutmayan kumaşlar gibi) gibi birçok
uygulama yapılmıştır [77].

7.6. Geko (Gecko) Kertenkelesi

Geko kertenkeleleri ya da ev kelerleri herhangi bir yapışkan salgı kullanmadan

duvar, cam gibi her türlü yüzeyde baş aşağı düşmeden rahatlıkla
yürüyebilmektedirler. Bu canlılar, bu özelliklerini ayaklarında yer alan sayısız
nano yapılara borçludurlar. Bir Geko’nun ayağı “scansor” denilen küçük
çıkıntılardan, bu çıkıntılar da 5 µm çaplı ve 100 µm uzunlukta “seta” denilen
sayısız kıllardan, her “seta” da 200 nm genişliğinde yaklaşık 1000 kadar
“spatula” adı verilen daha küçük ve her yüzeye kolaylıkla adapte olabilecek
esnek kıllardan oluşmaktadır. Bir Geko’nun ayağında yaklaşık yarım milyon
kadar “seta” ve yaklaşık olarak da 500.000.000 kadar da “spatula”
bulunmaktadır. Bu ise bir Geko’nun ayağının yüzey alanın oldukça büyük

67
olduğunu ve temas ettiği her yüzey ile rahatlıkla çok güçlü bir Van der Waals
kuvveti ile adhezyon (bağlanma) oluşturabileceğini göstermektedir. Şekil 7.13’te
bir Geko kertenkelesinin ayak yapısının hiyerarşik görüntüsü görülmektedir
[59,78].

Şekil 7.13. Bir Geko kertenkelesinin ayağının hiyerarşik yapısı [59,78].

Geko kertenkelelerinin bu özelliklerinden yararlanarak; polimerik bant, eldiven

ve duvara tırmanabilen robotlar gibi uygulamalar yapılmıştır [79].

7.7. Kelebek Kanatları

Bazı kelebeklerin kanadında yer alan renk çeşitliliği, pigment kaynaklı

(pigmentlerdeki kromoforlar tarafından ışığın soğurulması sonucu) olmayıp
tamamiyle kanatları üzerinde yer alan ince ve iç içe geçmiş pürüzlü bir yapıya
sahip nano boyutlarda katmanlı geometrik şekillerden (nanofotonik kristallerden)
ışığın kırınıma ve saçılmaya uğraması sonucu oluşan yapıcı ve/veya yıkıcı
girişim desenleri nedeniyle ortaya çıkmaktadır. Örneğin Morfo kelebeğinin
kanatlarında yer alan pullar ve hava boşlukları, periyodik ve hiyerarşik bir
şekilde dizilerek 2 µm yüksekliğinde, 0,7 µm genişliğinde ve 0,22 mm ızgara
aralığına sahip bir 3-boyutlu nano şeritler oluşturmaktadır [80]. Bu 3-boyutlu
nanofotonik kristaller üzerine düşen beyaz ışığın soğurulma, girişim ve
saçılması sonucunda sadece ışığın mavi dalga boyu yapıcı girişim yapacak
şekilde yansıtılmakta ve kelebeğin parlak mavi renkte görünmesi

68
sağlanmaktadır. Şekil 7.14’te Morfo kelebeğinin ve kanat yapısının SEM
görüntüleri yer almaktadır.

Şekil 7.14. Morfo kelebeği ve kanat yapısının SEM görüntüleri [80].

Diğer bir kelebek türü olan beyaz lahana kelebeğinin kanatlarında bulunan
nanoboncuk (100-500 nm) yapılar sayeside kelebeğin kanadına gelen beyaz
ışık, olduğu gibi her yöne doğru yansıtılarak kanadın beyaz renkte görünmesini
sağlamaktadır. Şekil 7.15’te beyaz lahana kelebeği ve kanadının SEM
görüntüleri yer almaktadır [81].

Şekil 7.16’da de bazı kelebeklere siyah rengi veren ve ışığın kanat içerisinde
tamamen ya da kısmen hapsolmasını sağlayarak kelebeğin ısınmasını da
sağlayan bazı doğal nano fotonik kristal yapılar görülmektedir [82].

Kelebeklerde olduğu gibi Güneydoğu Asya'da bulunan bir tropikal böcek türü
olan Cyphochilus da (Şekil 7.17) [83,84], Tavus kuşunda (Şekil 7.18) [83,85],
Tavus kuşu eğrelti otu (Selaginella willdenowii) [83,86] gibi bitkilerde ve opal
taşı [83,87] gibi cansız yapılarda da doğal fotonik kristaller mevcuttur.

69
Şekil 7.15. Beyaz lahana kelebeği ve kanat yapısının SEM görüntüleri [81].

Şekil 7.16. Siyah desen içeren bazı kelebekler ve kanat yapılarının SEM
görüntüleri (a) Tirumala limniace, (b) Polyura athamas ve (c)
Aglais io [82].

70
Şekil 7.17. Güneydoğu Asya'da bulunan bir tropikal böcek türü olan
Cyphochilus ve kabuğunun SEM görüntüsü. Bu böcek, 5 µm
kalınlığında pullara sahip olup bu pullar, tüm görünür dalga
boylarını güçlü bir şekilde dağıtarak kabuğundaki parlak beyaz
renkten sorumlu, 250 nm çapında rastgele dağılmış protein
liflerinden oluşan ağsı yapıdadır [83, 84].

Şekil 7.18. Tavus kuşu tüyü ve bu tüydeki yeşil dikenin (ya da ipliğin) kesitinin
SEM görüntüsü. Bu yeşil kısım, birbirine 150 nm mesafelerle
dizilmiş (kafes sabiti, periyot sayısı), araları hava boşluklu melanin
silindirlerinden oluşan 2-boyutlu fotonik kristal yapıdadır. Kafes
sabitinin değişimi farklı renkleri oluşturmaktadır. Örneğin diken
üzerinde kafes sabitinin 140 nm olması durumunda diken mavi,
165 nm olması durumunda ise sarı rengi yansıtmaktadır [83, 85].

Birçok canlı ve cansız yapıda bulunan doğal nano fotonik kristallerden

yararlanılarak güneş hücrelerinin verimliliği arttırılmaya [88-90] ve tekstil
alanında uygulamalar yapılmaya çalışılmaktadır [91,92]. Bunların yanı sıra
fotonik kristallerin olası teknolojik uygulamaları arasında; daha parlak boyalar,

71
yeni boya türleri, ultra ince reflektörler, yeni ışık kaynakları, lazerler, fiber optik
yapılar, optik çoklayıcılar, ışığı bükebilen ve yönlendiren metamalzemeler,
elektron iletişimini kullanan elektronik devreler yerine fotonların kullanıldığı
fotonik devreler, işlemciler ve bunların kullanıldığı çok yüksek hızlı bilgisayarlar,
yeni haberleşme sistemleri gibi birçok uygulama sayılabilir.

Doğada yer alan yukarıdaki tasarım örneklerine ek olarak; oldukça yüksek bir
termal koruyuculuğa sahip kutup ayısı ve penguen kıllarındaki hiyerarşik yapı
ilham alınarak tasarlanan termal kıyafetler, UV koruyuculu yüzeyler [92,93],
köpek balığı derisindeki hiyerarşik yapı ilham alınarak tasarlanan mayolar [94-
96], çam kozalağından ilham alınarak tasarlanan nemli ortamlarda hava
geçirgenliği oldukça yüksek kıyafetler [92,97,98], deniz faresi (Aphrodita)'nin
tüylerinde yer alan kitinden yapılmış altıgen şekilli bir düzenlenime sahip fotonik
kristal fiberlerden ilham alınarak tasarlanan ve telekomünikasyon alanında
devrim yaratan sentetik fotonik kristal fiberler [99-101], bir kamuflaj ustası olan
bukalemunlar üzerinde yer alan fotonik kristaller [102], bir su aygırının terinde
bulunan nanometre mertebesinde antiseptik ve UV koruyuculuğa sahip
pigmentler [103,104] ve bu pigmentlerin, fotonik kristallerin kullanılabileceği
sayısız alanlar ile gibi bir çok örnek sıralanabilir. Sayıları daha da arttırılabilecek
bu doğal nano tasarımlar, insan sorunlarını çözmek ve yeni şeyler keşfetmek
amacıyla doğanın taklit edilerek teknolojiye yön verdiği yepyeni bir kavramın,
Yunancada yaşam (bios) ve taklit (mimesis) anlamına gelen sözcüklerin
birleştirilmesi ile oluşturulan ve Türkçe karşılığı “Biyotaklit“ olan “Biyomimikri”
kavramının ortaya çıkmasını sağlamıştır. Biyomimikri sayesinde; doğanın sahip
olduğu; minimum malzeme ve minimum enerji ile maksimum verimin alınması,
kendi kendine yenileyebilme, geri dönüşümlülük ve doğaya dost olma, sessiz
çalışabilirlilik, estetiklilik, dayanıklılık ve uzun ömürlülük gibi özellikler
endüstriyel ürünlerde de ortaya çıkarılarak doğa ile uyumlu sürdürülebilir bir
gelecek var kılınmaya çalışılmaktadır.

İnsan zekâsı, doğanın keşiflerinden daha güzel, daha basit, ya da daha direkt
bir keşfe asla imza atamayacak. Çünkü doğanın keşiflerinde ne bir şey eksiktir,
ne de bir şey fazladır.
Leonardo da Vinci

72
 8. NANOTEKNOLOJİNİN BAZI UYGULAMALARI

8.1. Fotonik Kristaller

Doğal nano fotonik yapılara benzer şekilde yapay fotonik kristaller; bir yüzey
üzerine mikro-nano fabrikasyon yöntemleri kullanılarak, nanometre
mertebesinde metal veya yalıtkan malzemelerin periyodik olarak oluşturulduğu
ve bu şekilde de dielektrik (yalıtkan) sabitinin periyodik olarak değiştiği
yapılardır. Bu periyodik yapılar içerisinde, Bragg yansımaları ile, ışık
hapsedilerek, yayılması engellenmekte ve ışığın hareketi, frekansı, oluşturulan
bu periyodik yapının özelliğine bağlı olarak istenilen şekillerde ve yönlerde
kontrol edilebilmektedir. Bir yarıiletkende var olan elektronik bant aralığına
(yasak enerji aralığı) benzer şekilde periyodik dielektrik yapılarla oluşturulan
fotonik kristaller ile de “yasak frekans bandı/bantları (elektromanyetik dalganın
şiddetli bir yansıma gösterdiği)” oluşturularak elektromanyetik dalgaların yönü
ve frekans aralığı kontrol edilebilmektedir. Fotonik kristaller, dizilim
geometrilerine bağlı olarak 1-boyutlu, 2-boyutlu ve 3-boyutlu olmak üzere üç
farklı şekilde dizayn edilebilmektedir [105-109]. Şekil 8.1, Şekil 8.2 ve Şekil 8.3
’te fotonik kristal örnekleri görülmektedir.

Şekil 8.1. 1-boyutlu (1-boyutta periyodik) fotonik kristal (farklı dielektrik

tabakaların üst üste büyütülmesi ile oluşturulmaktadır) şematik
görüntüsü ve gözeneksiz ve gözenekli Laponit (nanoparçacık
içeren sentetik bir kil)/mTiO2 tabakarının üst üste büyütülmesi ile
oluşturulan 1-boyutlu fotonik kristalin kesitsel SEM görüntüsü
[108,110].

73
Şekil 8.2. 2-boyutlu (2-boyutta periyodik) fotonik kristal şematik görüntüsü
[108] ve (a) silikon (Si) alttaş üzerinde krom (Cr) ve silisyum dioksit
(SiO2) tabakaları kullanılarak oluşturulan 2-boyutlu fotonik kristal
örneğin SEM görüntüsü [111], (b) 2-boyutlu silikon fotonik kristal
yapısı SEM görüntüsü [112].

Şekil 8.3. 3-boyutlu (3-boyutta periyodik) fotonik kristal şematik görüntüsü

[108] ve (a) Si alttaş üzerinde oluşturulan 3-boyutlu fotonik kristal
yapıların yandan ve üstten SEM görüntüsü [113], (b) 3-boyutlu
InGaAsP çoklu kuantum kuyusu fotonik kristal yapısı şematiği ve
SEM görüntüsü [114].

Günümüz elektroniğinde en büyük problem, elektron haraketine dayalı

işlemcilerin yavaşlığı olup fotonik kristaller aracılığıyla ışık kullanılarak bilginin
taşınması [115], elektronik ve bilgisayar gibi birçok alanda devrim yapması
beklenmektedir. Bununla birlikte fotonik kristallerin birçok kullanım alanı
bulunmaktadır: Boya ve dekorasyon [116,117], şeffaf ısı yansıtıcılar [118],

74
yansıma önleyici aynalar [119], Bragg aynaları (belli bir daga boyuna karşı
oldukça iyi yansıtıcı özelliğine sahip aynalar) [120], Lazerler [121], optik filtreler
[122,123], şeffaf ısı aynaları [124], termal sensörler [125], termal güneş
kolektörleri [126], optik anahtarlar [127], LED’ler [128-130] ve güneş hücreleri
[131] bunlardan bazılardır.

8.2. Nanomalzemeler

Bir boyutu en azından 1-100 nm aralığında olan malzemeler, nanomalzeme

olarak isimlendirilmektedir. Nanomalzemeler, sahip oldukları boyuta göre 0-
boyutlu (0-D), 1-boyutlu (1-D), 2-boyutlu (2-D) ve 3-boyutlu (3-D) olmak üzere
dört farklı kategoride toplanabilirler. 0-D nanomalzemelere; kuantum noktaları,
nanopartiküller, fullerenler, metal nanoparçacıklar, 1-D nanomalzemelere;
nanotüpler, nanoteller, kuantum telleri, nanoçubuklar, 2-D nanomalzemelere;
süperörgüler, kuantum kuyuları, ince filmler, 3-D nanomalzemelere; aerojeller
ve kompozitler örnek olarak verilebilir.

8.2.1. Kuantum Noktaları

Yarıçapları 1-100 nm aralığında olan, optik özellikleri iyileştirmek için bir kabukla
kaplanmış yarı iletken bir çekirdekten oluşan, oldukça yüksek bir yüzey alanına
sahip, birkaç yüz atom içeren boyutsuz yarı iletken malzemelerdir. Sahip
oldukları boyut o kadar küçüktür ki, bu malzemelere tek bir elektronun
eklenmesi bile sahip oldukları özellikleri değiştirerek farklı özellik kazanmalarına
neden olabilmektedir. Sahip oldukları nanoboyut sayesinde kuantum özellik
sergilerler ve bu sayede ışık ile uyarıldıklarında boyutlarına bağlı olarak farklı
dalga boylarında ışık yayarlar. Kuantum noktacıkları; hücresel boyutta
görüntüleme, hücresel etiketleme, kanser tedavisi, ilaç taşınımı, immünolojik
test, DNA hibridizasyonu, gen terapisi, biyomoleküllerin in vivo ve in vitro tespiti
ve analizi [132-139], daha iyi ve daha verimli LED lazerlerinin üretilmesi [140-
142] ve kuantum kriptoloji (kuantum noktalarının yerleştirildiği belgelerin, UV-
ışık ile uyarılması ile çıkan izlerin takibi gibi) [143-145] gibi alanlarda çok büyük
bir kullanım potansiyeline sahiptirler.

75
8.2.2. Nanopartiküller

Nanopartiküller; Dentrimerler [146-149], Fulleren [150-151], metal [152], metal

oksit [153-155], lipit bazlı [156-158], protein bazlı [159-160], polimerik [161-164],
doğal (kitosan, agaroz) [165] ve sentetik (PLGA, PVP) [166-167] olmak üzere
çok farklı şekillerde üretilebilirler.

Parçacıkların boyutu nanometre mertebesine indikçe yüzey alanı / hacim oranı

artmaya başlayarak yüzey etkileri daha baskın hale gelmeye ve kuantum
özellikler açığa çıkmaya başlamaktadır. Malzemelerin bu yeni boyutu, makro
boyutlarından farklı olarak nanopartiküllere yeni mekanik, optik, kimyasal,
manyetik ve elektriksel özellikler kazandırmaktadır. Bu durum özellikle değerli
malzemelerin (Platin gibi metaller) kullanıldığı ve yüzey alanın oldukça önemli
olduğu katalitik konvertörlerde oldukça avantaj sağlamaktadır. Bununla birlikte
oldukça ucuz malzemeler de parçacık boyutu küçüldükçe çok daha değerli
özellikler kazanmaktadır. Örneğin silikon dioksitin (SiO2, cam) sertliği, çizilmeye
karşı direnci, aşınma ve yıpranma dayanımı, içerisine atılacak çok az miktar
SiO2 nanopartiküller yardımıyla arttırılabilmektedir. Silikon (Si) nanoküreler
[168], normal silikondan daha sert olmakla kalmayıp safir ve elmas ayarında bir
sertliğe ulaşmaktadırlar. Bu şekilde bir malzemenin nanopartikülleri ya da
nanopartiküller kullanılarak oluşturulan kompozit bir malzeme (nanokompozitler)
ile çok sayıda farklı özelliklere sahip yeni malzemeler oluşturulabilmekte [169-
177] ve bu malzemeler, kozmetik, tekstil, savunma ve enerji sektörü gibi farklı
birçok alanda kullanım olanağı bulmaktadır.

Nanopartiküllerin boyutlarına bağlı olarak sahip oldukları yeni özellikler, onların,

biyolojik sistemlere de kolayca entegre olmalarını ve nanotıp (kanser tedavisi,
hücresel ilaç taşınımı, gen taşınımı, daha dayanıklı protezler, görüntüleme vb.)
alanında da çok geniş bir kullanım alanı bulmalarına olanak sağlamaktadır.

8.2.3. Nanotüpler

Nanotüpler; nanometre mertebesinde 1-boyutlu içi boş tüp benzeri yapılardır.

Nanotüplerin en yaygın bilinen örneği, karbon nanotüplerdir (CNT). Karbon
nanotüpler, grafenin bal beteğine benzeyen atom düzleminin bir silindir

76
etrafında sarılmış şekline benzemektedirler (Şekil 8.4). Çapları birkaç nm ve
uzunlukları birkaç μm civarında olan karbon nanotüpler, insan saç telinin
çapından yaklaşık 50.000 kat daha küçük olup sadece bir kaç gramı, bir futbol
sahası kadar bir alana yayılabilir. Karbon nanotüpler; polar bağ yapısı
içermediklerinden suda çözünmezler, vakum ortamında 1500 oC’ye ve atmosfer
ortamında ise 750 oC’ye kadar yapılarını korurlar, yoğunlukları alüminyumun
yarısı kadar olup düğüm yapılabilecek kadar esnek, elmastan 2 kat daha iyi ısıl
iletken, çelikten 30 kat daha güçlü ve bakırdan 1000 kat daha iyi iletken olup
yapılarına göre iletken ya da yarıiletken (Grafenin simetrik ve kendine has
elektronik yapısı nedeniyle elektriksel özellikler, nanotüpün yapısını
etkilemektedir) olarak üretilebilirler. Sahip oldukları bu üstün özellikler sayesinde
kompozit malzemelerde [179-180], televizyonlarda [181], kurşun geçirmeyen
kumaşlarda [182], leke ve bakteri tutmayan kumaşlarda [183-184], çok güçlü
yapışkanlarda [185-186], gaz dedektörlerinde [187-188], hidrojen depolama ve
yakıt hücrelerinde [189-190], nanomıknatıslarda [191], elektrik ve manyetik alan
algılamada [192], bilgisayarlarda [193-195], transistörlerde [196-197],
devrelerde [198-199], uzay asansörü yapımında [200-201], çok güçlü nano
yapıştırıcı yapımında [202], tenis raketleri ve uçak parçaları [203] gibi birçok
alanda kullanım potansiyeline sahiptirler.

Şekil 8.4. CNT'lerin şematik gösterimi: (a) karbon nano duvarlar, (b) koltuk
tipi metalik tek duvarlı karbon nanotüp (SWNT), (c) çok duvarlı
nanotüp (MWNT) ve (d) dört nanokoni yığılı bir karbon nanofiber
(CNF) yapısı [178].

Karbon nanotüp haricinde diğer bazı nanotüp türleri şu şekilde sıralanabilir: Bor
nitrür nanotüpler [204], DNA nanotüpler [205], GaN nanotüpler [206-207] ve
TiO2 nanotüpler [208].

77
8.2.4. Nanoteller (Kuantum Telleri)

100 nm ya da daha altında bir çapa sahip çeşitli boyutlarda silindirik şekilli
iletken (Ni, Pt, Au, Fe), yalıtkan (SiO2, TiO2), yarıiletken (Si, Ge, InP, GaN),
inorganik ya da organik (DNA nanotel) tellerdirler. Nanoteller; Buhar-Sıvı-Katı
(VLS) Sentez Yöntemi, Moleküler Demet Epitaksi (MBE) Yöntemi ve Lazer
Destekli Büyütme Yöntemi gibi farklı birçok teknik kullanılarak üretilebilmektedir
[209-210]. Nanoteller sahip oldukları kuantum özellikleri sayesinde; kimyasal ve
biyolojik sensör yapımında [211], batarya üretiminde [212] ve enerji sektörü
[213] gibi birçok alanda kullanım potansiyeline sahiptirler.

Şekil 8.5’te Si nanotellerin artan büyütmelerde çekilen SEM görüntüleri

görülmektedir.

Şekil 8.5. Si nanotellerin artan büyütmelerde çekilen SEM görüntüleri [214].

8.2.5. Süperörgüler (Superlattices)

Farklı enerji bant aralığına sahip nanometre mertebesinde kalınlığa (1-10 nm)
sahip iki ya da daha fazla ince film katmanının periyodik olarak büyütülerek
oluşturulduğu yapılardır. Süperörgüler; Moleküler Demet Epitaksi (MBE), Metal-
Organik Kimyasal Buhar Biriktirme (MOCVD) ve Püskürtme (Sputtering)
yöntemleri kullanılarak büyütülebilirler. Farklı enerji bant aralığına sahip ince
filmlerin oluşturduğu periyodiklik, süperörgü içerisinde yüksek ve alçak
potansiyel alanları (İletim ve valans bantları) içeren mini bant yapıları
oluştururlar. Süperörgüler, transistörlerde ve termoelektrik uygulamalarda
kullanılmaktadırlar [215-219].

78
8.2.6. Kuantum Kuyuları

Geniş ve dar enerji bant aralığına sahip yarıiletkenlerin üst üste büyütülmesi ile
kendiliğinden oluşan yüksek elektrik alanlar sayesinde elektronların hapsedildiği
kuantum kuyularının oluşturulduğu yapılardır. Kuatum kuyuları; lazer, transistör,
led, sensör ve fotodedektör gibi birçok alanda kullanılmaktadırlar [220-226].

8.2.7. Aerojeller

Maddenin sıvı ile gaz hali arasındaki boşluğu dolduran maddenin yeni bir hali
olup nanoparçacıklardan ya da polimer moleküllerden oluşan bir jelin içerisideki
sıvının alındıktan sonra geriye kalan yüksek gözenekli ve yüksek yüzey alanlı
yapılardır. Aerojeller, “Donmuş Duman” olarak da isimlendirilmektedirler (Şekil
8.6).

Şekil 8.6. El üzerinde duran bir aerojel ve 2,5 kilogramlık bir tuğlayı taşıyan 2
gram ağırlığındaki bir aerojel.
[https://stardust.jpl.nasa.gov/photo/aerogel.html]

Aerojeller yapıları içerisinde %99 oranında hava bulundururlar ve sahip

oldukları yoğunlukları nedeniyle havadan bile daha hafiftirler, ancak aerojeller
sahip oldukları yüksek gözenekli yapı içerisine dolan hava nedeniyle uçamazlar
[227]. Silika aerojeli [228-229], karbon nanotüp aerojeli [230-231], karbon
aerojeli [232-233], grafen aerojeli [234-235], silikon aerojeli [236-237] ve silikon
karbür aerojeli [238] olmak üzere farklı birçok aerojel bulunmaktadır.

79
Aerojeller, sahip oldukları üstün fiziksel özellikler sayesinde termal ve akustik
yalıtım, katalizör, yakıt hücreleri, sensör, ilaç salım sistemleri, süperkapasitörler,
yapı malzemeleri, kimyasal soğurucular (özellikle petrol atıklarının temizliği gibi
alanlarda) gibi birçok alanda kullanım potansiyeline sahiptirler.

8.3. Nanojeller

Nanojeller, sahip oldukları kimyasal ya da çapraz bağlar sayesinde sıvı ortamda

çözünmeyip, ağ yapıları sayesinde yapılarında çok miktarda sıvı barındırabilen
üç boyutlu çapraz bağlı polimer zincir ağ yapısına sahip nanometre boyutlu
(<100 nm) hidrojel nanopartiküllerdir. Nanojeller; sıcaklık, pH, iyonik kuvvet,
elektrik alan, ışık, çözücü bileşeni, manyetik alan gibi bir dış uyaran karşısında
şişme ya da büzüşme tepkimesi verebilirler.

Nanojellerin; küçük dış uyarımlar karşısında hacimlerini yüzlerce kat arttırıp-

azaltabilmeleri, yapılarında çok fazla su bulundurabilmeleri, yumuşak ve esnek
yapıları, onları, ilaç, protein ve gen taşıma ve salınım sistemlerinde, yapay
biyolojik hücre ve antikor yapımında, protein ve DNA işaretlemede, kontakt
lenslerde ve kanamaların durdurulması gibi birçok nanotıp uygulamasında
aranan malzemeler yapmaktadır [239-242].

8.4. Nanolifler (Nanofiberler)

Nanolifler, nanometre mertebesinde çapa sahip çeşitli uzunluklarda üretilebilen

yüksek yüzey alanına ve yüksek gözenekliliğe sahip iplikçiklerdir. Nanolifler
farklı birçok yöntemle üretilebilmekle birlikte elektro-üretim (electrospinning)
yöntemi, nano boyutta fiberler üretmeye en uygun fabrikasyon yöntemidir. Bu
yöntemde; nanolif oluşturmak istenen polimer uygun çözeltide çözüldüktan
sonra şırınga içine konulmakta ardından da polimer şırıngadan uygun bir hızla
akıyorken toplayıcı ile şırınga arasına uygulanan gerilim ile oluşturulan
elektrostatik etkileşmeler aracılığıyla polimer çekilerek nano ölçekte ince bir lif
oluşturulmaktadır.

Biyouyumlu ve biyobozunur özelliğe sahip olacak şekilde de üretilebilen

nanolifler, sahip oldukları bu üstün özellikler sayesinde; ilaç taşınım
sistemlerinde, yara tedavisinde, doku mühendisliğinde, kompozit malzeme

80
üretiminde ve güçlendirilmesinde, yakıt hücrelerinde, polimerik pil yapımında,
membran ve sensör gibi birçok alanda kullanım potansiyeline sahiptir [243-253].

8.5. Nanotomarlar (Nanoscrolls)

Nanotomarlar, en basit anlamda çeşitli yöntemler kullanılarak nanolevhaların bir

dürüm gibi kendi etrafında sarılması ile oluşturulan yapılardır. Şekil 8.7’de
karbon nanotomarların oluşturulması aşaması ve SEM görüntüleri yer
almaktadır.

Şekil 8.7. (A) Potasyum metali, etanol ve titreştirme işlemi kullanılarak

karbon nanotomarların oluşturulması aşamalarını anlatan şematik
görüntü. (B) Nanotomarların oluşturulması öncesi ince Grafit
tabakalarının SEM görüntüsü. (C) Tek bir Karbon nanotomarın
SEM görüntüsü. (D) Yığın haldeki Karbon nanotomarların SEM
görüntüsü [254].

Nanotomarlar, nanotüplerden farklı olarak duvarlar arasındaki mesafenin

değişken olması ve tomarların sağladığı üstün topolojik yapı sayesinde üstün
mekanik, optik ve elektriksel özelliklere sahiptirler. Sahip oldukları bu özellikler
sayesinde; hidrojen üretiminde, hidrojen depolamasında, nanokompozit
üretiminde, süper kapasitörlerde, ayarlanabilir su ve iyon kanallarında, arıtma
işlemlerinde, gen ve ilaç taşınım ve salınım sistemlerinde büyük umut vaat
etmektedirler. Başlıca nanotomarlar şu şekilde sıralanabilir: Karbon
nanotomarlar, Bor nitrür nanotomarlar, Grafen nanotomarlar, Grafen Oksit

81
nanotomarlar, Silikat nanotomarlar, Niyobyum Oksit nanotomarlar vb. [255-
269].

8.6. Nanoakışkanlar

Nanoakışkanlar, taşıyıcı bir sıvı (su, yağ, etilen glikol vb.) ve bu sıvı içerisinde
nanoparçacıkların (karbon, metal, metal oksitler, vb.) çökelmeden askıda kaldığı
süspansiyon karışımlardır. Nanoparçacıkların sahip olduğu yüksek yüzey alanı,
nanoakışkan içerisinde, ısının yüksek oranlarda soğrulmasını sağlayarak büyük
bir ısıl iletim sağlamaktadır. Nanoakışkanlar sahip oldukları bu özellikler
sayesinde; iklimlendirme sistemlerinde, araç ve elektronik cihaz soğutma
sistemlerinde, nükleer santrallerde ve kimyasal süreçlerin hızlandırılması gibi
birçok alanda yüksek kullanım potansiyeline sahiptir [270-271].

82
 9. NANOTEKNOLOJİNİN BAZI UYGULAMA ALANLARI

9.1. Nanoelektronik ve Nanobilgisayar

Nanoteknolojinin elektronik uygulamalarını kapsayan nanoelektronik kavramı,

farkında olmasak da hayatımıza çoktan girmiş durumdadır. Transistör teknolojisi
(nanometre mertebesinde transistörler ve nanometre üretim teknikleri ile
üretilen milyarlarca transistörün tek bir yongada olduğu işlemciler), Gece görüş
sistemleri, LED teknolojisi, LAZER teknolojisi, OLED (Organik Işık Yayan Diyot)
teknolojisi, LCD (Sıvı Kristal Ekran) teknolojisi, bilgisayar-telefon-CD endüstrisi
bunlardan sadece en göz önünde bulunanlarıdır.

Diğer bazı nanoelektronik uygulamalar ise şunlardır:

Şekil 9.1. Spintronik (magnetoelektronik) sistemler. Spintronik; elektronların

kuantum özellikleri olan dönüş ve yük durumlarının, voltaja bağlı
malzemelerin manyetik özelliklerinin kontrol edilmesi esasına
dayanmaktadır. Spintronik malzemeler, sahip oldukları özellikler
sayesinde, çok küçük, çok hızlı ve çok az enerji harcayan
işlemciler, devreler, bilgisayarlar (kuantum bilgisayarları), çok
yüksek kapasiteli bellek elemanlarının üretiminde büyük bir
potansiyele sahiptirler [272-273].

83
Şekil 9.2. Moleküler elektronik sistemler: Moleküler teller, anahtarlar,
doğrultucular, bellek elemanları [274-277].

84
Şekil 9.3. Koloidal Nanokristaller. Üretimleri için çok pahalı cihazlara gerek
duyulmayan bu malzemeler, ucuz ve her zemin üzerine entegre
edilebilen LED teknolojisi, giyilebilir elektronik, sensörler gibi birçok
alanda kullanım potansiyelien sahiptir [278-280].

Şekil 9.4. Kuantum havuzu. “IBM’in 1993’te keşfettiği ve 14 nm.

uzunluğundaki bakır bir temel üzerine demir atomlarının eliptik bir
düzenlenişle sıralandığı “kuantum havuz”, barındırdığı 1 ve 0’ları
temsil eden atomlar sayesinde bilgi saklayabilme kapasitesinde.
IBM’in bu buluşu, bilinen en eski bilgi taşıyıcı nano-yapılardan biri
olan nezle virüsünden, çok az daha küçük. Bu virüsün 20 kenarlı,
birbirine bağlı proteinlerden oluşan kabuğu, yaklaşık 7000
nükleotid barı ndıran bir RNA zincirini koruyor. Bir başka deyişle
kendi kendini kopyalama yeteneğine sahip bu nano-makine,
7Kbyte büyüklüğünde uygulanabilir kod taşıyabilme özelliğinde. Bu
da nezle virüsünün bir programı çalıştırabilme özelliğinde olduğu
anlamına geliyor. Bu ikisi arasında ne alaka var diyorsanı z sıkı
durun: Veri saklayan kuantum havuzla program çalıştıran nezle
virüsü arasında nanofotonik bir arayüz tasarladığınızda, bir silikon
atomundan yalnızca 100 kez daha büyük bir bilgisayar elde etmiş
oluyorsunuz! (Bilim ve Teknik Dergisi, “Nano Dünya”, s.37, Eylül
2003)”.

85
Şekil 9.5. Kendi kendine düzenlenebilen, işlem yapabilen, bir su damlası
içerisinde trilyonlarcası bulunabilen ve aynı anda işlem yapabilen
1W’tan daha az enerji harcayan biyomoleküler bilgisayarlar, DNA
bilgisayarları [281-286].

86
9.2. Nanoenerji

Dünya nüfusu her yıl 75 milyon artmaktadır. Bu artış hızıyla 2040 yılında dünya
nüfusunun 9 milyara yaklaşması beklenmektedir. Bu kadar nüfus için zorunlu
ihtiyaçlar: GIDA, TEMİZ SU, SAĞLIK, ENERJİ.

Enerji olmadan artan dünya nüfusu için gıda, temiz su ve sağlık problemleri
çözülemez. Çünkü gıda, temiz su ve sağlık cihazlarının üretimi için enerji
kaçınılmaz olarak var olmalıdır. Bu nedenle enerji her şeyin başında zorunlu
olarak halledilmesi gereken bir problemdir.

Sürdürülebilir kalkınma ve küresel ısınmaya bağlı iklim değişikliği, insanlığın

önünde iki büyük engel olarak durmaktadır. Geleceğin dünyasında insanın var
olabilmesi, bu iki büyük engelin aşılmasına bağlıdır. Sürdürülebilir kalkınma;
doğal kaynakların yok edilmeden, yenilenebilir bir enerji kaynağı (ya da
kaynakları) ile beslenen bir toplumda, çevre ile barışık bir ekonomi-ekoloji
dengesini ön görür. Sürdürülebilir kalkınmanın gerçekleşmesi, ancak
yenilenebilir sonsuz bir enerji kaynağı ya da kaynakları ile mümkündür. Nitekim
Petrolün 30-40 yıl, Doğal gazın 60 yıl, Kömürün 200 yıl ömrü kaldığı
düşünüldüğünde; sürdürülebilir bir kalkınma için, yenilenebilir bir enerji
kaynağına/kaynaklarına neden gereksinim duyulduğu daha iyi anlaşılır.

Öte yandan; ısınma, ulaşım ve enerji üretimi amacıyla kullanılan petrol, kömür
ve doğal gaz gibi temel enerji kaynaklarının yakılmasından kaynaklanan
Karbondioksit (CO2), Karbon monoksit (CO), Metan (CH4), Kükürt dioksit (SO2)
ve Azot oksit (N2O) gibi gazların salınımı, atmosferde sera etkisine neden
olmaktadır. Bu ise, atmosferin ısısını arttırmakta ve iklim değişikliğine neden
olmaktadır. Küresel çapta bir sıcaklık artışı, buzulların erimesini de beraberinde
getirir. Buzulların erimesi, okyanuslara büyük oranda tatlı su karışmasına neden
olur. Sonuçta, okyanuslardaki tatlı ve tuzlu su dengesi bozulur. Bu durum;
okyanus akıntılarını etkileyerek ciddi düzeyde iklim değişimlerine, birçok canlı
türünün yok olmasına, denizlerin taşmasına ve birçok ada devletinin su altında
kalmasına neden olur. Ayrıca buzulların erimesi, sıcaklık artışını daha da
tetikleyerek küresel çapta bir kuraklığa da yol açar.

87
Dünyanın kullandığı yıllık enerji miktarı, her yıl yaklaşık %1,5 oranında
artmaktadır. Enerji gereksinimi, artan nüfusa bağlı olarak 2050 yılında 30 TW’a
ulaşacaktır. Buna karşın mevcut enerji kaynakları enerji ihtiyacına cevap
verememektedir. Birleşmiş Milletler enerji raporuna göre, dünya nüfusunun
çeyreğini temsil eden 1,6 milyar kişi elektrik enerjisinden mahrum bir biçimde
yaşamını sürdürmektedir. Bu sayının 2030 yılında sadece 200 milyon azalması
beklenmektedir.

Artan nüfusa bağlı olarak dünya enerji talebindeki artış, fosil yakıtların
tükenmekte oluşu, küresel ısınmaya bağlı iklim değişikliği ve sürdürülebilir
kalkınma göz önünde bulundurulduğunda, enerji sorununun ekolojik denge
noktasında çözümü, ancak Güneş, Rüzgâr, Hidroelektrik, Gel-git, Biyokütle ve
Okyanus akıntıları gibi yenilenebilir enerji kaynaklarının kullanımı ile
mümkündür.

Bu yenilenebilir enerji kaynakları arasında da dünyanın ve yaşamın en önemli

enerji kaynağı olan güneş enerjisi, farklı bir öneme sahiptir. Çünkü, tüm
enerjilerin doğası güneşe dayanır. Yediğimiz besinler, fosil yakıtlar, rüzgârlar,
okyanuslardaki sıcaklık farklılıkları, deniz dalgaları, biyokütle enerjileri ve su
döngüsünde rol aldığı için hidroelektrik enerjisi dahi güneş enerjisinin değişim
geçirmiş türevlerinden başka bir şey değildir.

Güneş, dünyaya her gün toplam nüfusun günlük enerji ihtiyacından yaklaşık
15.000 kat daha fazla enerji sağlar. Yeryüzüne her yıl düşen güneş ışınım
enerjisi, yeryüzünde şimdiye kadar belirlenmiş olan fosil yakıt haznelerinin
yaklaşık 160 katı kadardır. Ayrıca bu değer; fosil, nükleer ve hidroelektrik
tesislerinin bir yılda üreteceğinden 15.000 kat daha fazladır.

Güneş enerjisi, ısı enerjisine ya da elektrik enerjisine dönüştürülmek suretiyle iki

şekilde kullanılabilmektedir:

Isıl Güneş Teknolojisi: Güneş enerjisinden elde edilen ısı, doğrudan

kullanılabildiği gibi elektrik enerjisi üretmek amacıyla da kullanılabilir.

88
Nanoteknoloji sayesinde üretilen metal oksit ince film tabakaları kullanılarak
oluşturulan kollektör yüzeyleri sayesinde gelen güneş ışınlarının %98’i
tutulmakta ve geleneksel yöntemlere göre 5 kat daha fazla verim ile su ısıtımı
sağlanabilmektedir.

Güneş Hücreleri (Fotovoltaik Sistemler): Mikro ve nano fabrikasyon

yöntemleri kullanılarak üretilen güneş hücreleri, üzerlerine düşen güneş ışığını
doğrudan elektrik enerjisine (DC akım şeklinde) dönüştüren (fotovoltaik etkiyle)
organik ya da inorganik aygıtlardır. Nanoteknolojinin gelişimi ile birlikte, güneş
hücrelerinin üretim maliyeti düşmüş, verimlilikler %40’ların üzerine kadar
çıkmıştır.

Güneş hücreleri, hesap makineleri, saatler, lambalar, uydular, uzay araçları da

dâhil olmak üzere hayatımızın her alanına artık girmiş durumdadır.
Nanoteknolojinin gelişimi ile birlikte bu uygulamaların (bitki benzeri organik
güneş hücreleri, boyaya duyarlı güneş hücreleri, asfaltlara entegre edilmiş
güneş hücreleri gibi) daha da artarak evlerimizin pencerelerine kadar girerek
fosil yakıtların tamamiyle terk edilmesini sağlayacaktır.

Şekil 9.6. Sono Motors tarafından üretilen 248 güneş hücresi içeren ilk ticari
hibrit güneş-elektrik aracı, Sono Sion [287-288].

89
Şekil 9.7. Pilotlu, uzun menzilli (dünyayı turlamayı başaran) dünyanın ilk
güneş uçağı, Solar Impulse [289].

Nanoteknolojinin nanoenerji uygulamaları, sadece güneş enerjisinin kullanımı

konusunda değil aynı zamanda enerjinin daha verimli bir şekilde depolanmasını
sağlayacak hidrojen depolama sistemleri, hidrojen üretim sistemleri [290-294],
yeni batarya sistemleri [295-298], yakıt pilleri [299-300], yüzlerce yıl
dayanabilecek nükleer bataryalar [301-302], süper kapasitörler [303-305],
havadaki gürültüden, titreşimlerden enerji üretilmesi [306] ve bakteriel
bataryalar [307-308] gibi birçok alanda büyük gelişmelere yol açmıştır.

9.3. Nanoçevre

Endüstri devrimi ile birlikte artan fosil yakıt tüketimi çevreyi büyük bir hız ile
kirleterek sadece yeşil dünyamızı değil aynı zamanda tüm canlıların yaşamını
da istenmeyen bir sona doğru götürmektedir. Milyarlarca insan, temiz içme
suyundan mahrum bir şekilde yaşamakta, her yıl milyonlarca insan çevre ve
hava kirliliği nedeniyle hayatını kaybetme ve bir o kadarı da kronik hastalıklarla
boğuşmaktadır. Bu noktada nanoteknoloji; suyun filtrelenmesi ve arıtılması,
havanın temizlenmesi, ozon tabakasının tamir edilmesi, denizlerdeki ve
doğadaki tüm istenmeyen atıklarının yok edilmesi, toksik ve öldürücü gazarın ve
organizmaların doğaya salınmasının engellenmesi ve bertaraf edilmesi, kısa

90
sürede biyobozunur atıklar ile doğanın ve canlılığın korunması ve nükleer atık
temizliği gibi birçok hayati konuda olağanüstü çözümler sunmaktadır [309-329].

9.4. Nanotarım ve Nanogıda

Artan dünya nufüsüna karşın ekili alanların az olması, verimsiz topraklar, iklim
değişimine bağlı olarak sel ve çölleşme insanlığı tehtid etmektedir. Tüm bunlara
ek olarak dünya genelinde 800 milyon kişi açken, 2 milyar insanın doyabileceği
yaklaşık 1,3 milyar tonluk gıda; taşıma, depolama, son kullanım tarihin geçmesi,
yenilmeyen fazlalık gıdanın çöpe atılması gibi nedenlerle israf edilerek yok
edilmektedir. İsraf edilen bu gıdalarla birlikte bu gıdaların üretimi için kullanılan
tüm su, tohum, gübre, yakıt, ilaç ve enerji de boşa harcanarak israf edilmiş
olmaktadır. Bu noktada nanoteknoloji; gıda ürünlerinin biyobozunur, hijyenik,
dayanıklı ve gıda ömrünü gösteren akıllı malzemelerle paketlenmesi, gıdaların
bakterilerden, virüslerden ve nemden arındırılarak raf ömürlerinin arttırılması,
bitki, hayvan ve topraktaki zararlı bakteri ve virüslerin temizlenerek bunların
insana bulaşmasının engellenmesi, nano gübreleme ile daha sağlıklı, dayanıklı
ve hasadı bol ürünlerin elde edilmesi, genetik mühendislik ile çok daha
dayanıklı, sağlıklı, büyük ve besleyici bitki ve hayvaların üretilmesi, vücudun
ihtiyaç duyduğu vitamin, minarel ve aminoasitlerin doğrudan ihtiyaç duyulan
hücrelere taşınmasını sağlayan ilaçlar (nano beslenme uzmanları) gibi birçok
konuda olağanüstü çözümler sunmaktadır [330-350].

9.5. Nanoinşaat

Dünya üzerinde üretilen enerjinin büyük bir kısmı; ısıtma, aydınlatma ve klima
gibi işlemlerle binalarda harcanmaktadır. Bununla birlikte bina yapımında
kullanılan çimento, dünyaya salınan toplam karbondioksitin yüzde 8’inden de
sorumludur. Binaların dayanıksız olması ve buna bağlı olarak da deprem,
heyelan gibi nedenlerle meydana gelen ölümler de göz önünde
bulundurulduğunda nanoteknolojinin, inşaat sektörünün geleceğinde oldukça
önemli bir yere sahip olduğu/olacağı açık bir şekilde görülmektedir.
Nanoteknoloji sayesinde; kendi kendini temizleyen, çizilmelere karşı dayanıklı,
kendini onarabilen, korozyona karşı dayanıklı, kötü koku, mantar ve küf
oluşumunu önleyen, antibakteriyel ve antiviral, su birikimini önleyen, havayı

91
temizleyebilen, yangına karşı dirençli ve enerji üretebilen yüzeyler, çimento,
beton ve çelik yerine kullanılabilen daha dayanıklı, esnek, hafif ve nem
tutmayan yapı malzemeleri, havayı temizleyebilen, enerji üretebilen, UV
geçirmez, dayanıklı, akıllı iklimlendirme özelliğine sahip pencereler ve nano
yapılı yalıtım malzemeleri gibi binaların enerji verimliliği, dayanıklılığı,
güvenirliliği, bakım kolaylığı ve konfor noktasında olağanüstü çözümler
sunmaktadır [351-366].

9.6. Nanokozmetik

Titanyum dioksit ve çinko oksit gibi nanoparçacıklar UV filtrelemede, kozmetik

aktif maddenin kontrollü salınımını sağlayan lipozom, niozom, dentrimer gibi
nano kapsüller, cilt bakımı ve tedavisinde çoktan güneş kremleri, makyaj
malzemeleri, nemlendiriciler, saç bakım ürünleri gibi birçok kozmetik ürününde
kullanılmaya başlanmıştır. L’Oreal, Freeze 24/7, La Prairie’s, La Prairie’s,
Procter & Gamble’s, Mary Kay, Clinique, Neutrogena, Johnson & Johnson;
Avon, Estee Lauder, PureOlogy, Sunscreens, DDF, Colorescience ve Caudalie
gibi birçok büyük firma, ürünlerinde artık nanomalzemeleri kullanmaktadır [367-
372].

9.7. Nanotekstil

Tekstil alanındaki tüm nanoteknoloji uygulamaları, nanotekstil olarak

adlandırılmaktadır. Nanomalzemelerin sahip olduğu olağanüstü özellikler, tekstil
ürünlerinde kullanılarak tekstil ürünlerinin fonksiyonellendirilerek günlük hayatın
bir parçası haline gelmesi hedeflenmektedir. Nanotekstil ürünlerinin; kimyasal,
mekanik, ışığa ve ısıya karşı dayanıklılığının arttırılması, uzun süreli kullanım,
UV koruma, su geçirmezlik, kirlenmezlik, kendi kendini temizleme, kokmayan,
ter kokusunu önleyen, sürekli güzel koku yayan, yanmayan, buruşmayan,
antibakteriyel, antiviral, böcek savar, antistatik, elektromanyetik korumalı, dış
uyaranlara karşı renk değiştirebilme, isteğe bağlı renk değiştirebilme,
iklimlendirme sistemli, vücut sıcaklığını dengede tutma, metobolizmanın ve kan
dolaşımının düzenlenmesi, hayati fonksiyonların kontrol edilmesi ve hastalar
için gerektiğinde kontrollü ilaç salınımı gerçekleştirmesi, masaj yapması, ciddi
yaralanmalarda ilk yardım sağlaması ve konum bilgisi ile birlikte gerekli bilgileri

92
ilgili yerlere ulaştırması, kamuflaj özelliğine sahip olması, kimyasal ve biyolojik
tehditleri algılayabilmesi, radyasyona karşı dayanıklılık, kurşun geçirmez, gece
görüşü sağlayan, enerji üretebilen ve depolayabilen gibi bir çok konuda
kullanım olanağı sunmaktadır. Eddie Bauer, Gap, Lee Jeans, Old Navy, Bass
Tiger Woods, Nike, Tommy Hilfiger ve Del Sol gibi birçok firma ürünlerinde artık
nanoteknolojiyi kullanmaktadır [373-389].

9.8. Nanotıp

Yaşamın temel taşı DNA olup DNA’ya kodlanmış bilgiler, protein, enzim ve
çeşitli biyolojik moleküller olarak canlı yaşamının var olmasını sağlamaktadır.
DNA’ya kodlanmış bilgilerin anne karnında ya da daha sonradan herhangi bir
nedenden dolayı mutasyona uğrayarak değişmesi, vücuttaki birçok yaşamsal
fonksiyonu kontrol eden protein, enzim ve/veya moleküllerin yanlış bir şekilde
üretilerek, yaşamsal fonksiyonlarda problemlere neden olabilmektedir. Bununla
birlikte herhangi bir nedenden dolayı doku kaybı, organ kaybı, körlük, sağırlık,
şeker hastalığı, Alzheimer, Parkinson ve akıl sağlığı gibi insan yaşamını
doğrudan etkileyen problemlere karşı da etkin tedavilerin oluşturulması,
hastalıklara neden olan biyolojik moleküllerin ve genetik değişikliklerin ve
farklılıkların tespit edilerek tedavi edilmesi, insan yaşamının sürekliliği ve kalitesi
açısından oldukça önem arz etmektedir. Bu noktada kan dolaşımında yüzen
nanorobotların yapacağı cerrahi işlemler, virüs ve bakterilere karşı savaşan
nano ordular, daha dirençli bir savunma sistemi, teşhis ve tedavide kullanılacak
nanoparçacıklar, daha sağlam iskelet ve kas sistemi, karanlıkta görme becerisi,
daha güçlü bir hafıza sistemi, doğrudan istenilen her türlü bilginin anlık olarak
beyne kaydedilmesi, beynimiz ile internete bağlanma gibi nanoteknolojinin olası
nanotıp uygulamaları, insanoğlunun yardımına koşarak ona sağlıklı,
fonksiyonel, çok yönlü ve üstün bir gelecek vaat etmektedir.

Nanotıp; nanoteknolojinin biyolojik sistemlerin kontrolü ve yeniden

yapılandırılmasında, hastalıkların tanı, takip ve tedavisinde, fonksiyonunu yerine
getiremeyen organ ve dokuların onarılmasında kullanılan moleküler düzeydeki
yaklaşımların tamamına karşılık gelmektedir. Nanotıp; tıp, eczacılık, fizik,
biyoloji ve kimya gibi birçok bilim dalını içinde barındıran multidisipliner bir bilim
dalıdır.

93
Temel bazı nanotıp uygulama alanları [390] şu şekilde sayılabilir:
nanomikrobiyoloji [391-393], nanoimmünoloji [394-396], nanonefroloji [397],
nanonöroloji, körlüğün giderilmesi ve karanlıkta görebilme yeteneği [398-408],
nanokardiyoloji [409-411], nanoonkoloji [412-417], nanocerrahi [418-421],
nanodişçilik [422-430], doku mühendisliği [431-439], kemik oluşumu, tedavisi ve
protezler [440-442], hastalıkların görüntülenmesi, teşhis, tedavi, hastalıklı
bölgeye ilaç taşınımı ve kontrollü salınım, [443-462], nanobiyosensörler [463-
475], nanorobotlar [476-482], yeni tip ilaçların geliştirilmesi [483-484] ve kendi
kendini onaran malzemeler [485-488].

Nanoteknoloji alanındaki olağanüstü gelişmeler, sadece yukarıda sayılan bazı

alanlarda değil, insan yaşamını ilgilendiren her alanda devrimler yaratarak
sporculuk, havacılık, uzay, otomobil, savunma sanayisi gibi birçok sektörün de
yenilenmesini, güçlenmesini ve insanların daha konforlu, sağlıklı ve güvenli bir
yaşam sürmesini sağlamaktadır.

94
 10. NANOKİRLİLİK VE RİSKLER

Nanokirlilik; nanoyapılar nedeniyle ya da nano yapıların üretim sürecinde ortaya

çıkan tüm atıkları ifade etmektedir.

Nanoyapılar sahip oldukları boyut ve yüksek yüzey alanı nedeniyle oldukça

tehlikeli olabilirler. Nanoyapılar; havada yüzebilir, insan, hayvan ve bitki
hücrelerine kolaylıkla nüfuz ederek hücreleri, DNA’yı, enzimleri, proteinleri bloke
edebilir ya da henüz bilinmeyen başka tehlikeli sonuçlara neden olabilirler.
Nanoyapılar sahip oldukları boyut, yüksek yüzey alanı, kimyasal bileşim, şekil,
yüzey yapısı, yüzey yükü gibi özellikleri nedeniyle, canlı hücreler içerisinde
onlara tutunarak, serbest radikaller gibi reaktif oksijen türleri oluşturarak,
proteinlerin, hücre zaranın, hücre çekirdeğinin, mitokondrinin ve DNA’nın hasar
görmesine, hatta hüce ölümlerine neden olabilmektedirler [489-495].

Yapılan çalışmalar; güneş kremleri içerisinde kullanılan TiO2 ve ZnO2

nanoparçacıkların DNA’nın yapısını bozan serbest radikaller ürettiğini [496],
nanotüplerin akciğerlerde toksik etkiye neden olduğunu [497], beyinde hasarlara
neden olduğunu [498], nanoparçacıkların ve buna bağlı olarak da toksik etkilerin
plasenta yoluyla anneden bebeğe geçebildiğini [499], CdSe gibi
nanoparçacıkların insan vücudunda parçalanarak kadmiyum zehirlenmesine
neden olabildiğini [500], fulleren gibi nanoparçacıkların balıklarda beyin
hasarlarına ve gen fonksiyonlarında değişime neden olabildiğini [501-503],
özellikle antibakteriyel olarak yoğun olarak kullanılmaya başlayan gümüş
nanoparçacıklarının DNA’ya bağlanarak DNA’nın kopyalanma yeteneğini bloke
ettiğini, zararlı bakterilerle birlikte yararlı bakterileri de öldürdüğünü, hücre ve
dokularda birikerek toksik etki yarattığını [504-507] göstermiştir.

Bilinen ve bilinmeyen tüm bu olumsuz etkilere ek olarak nanoteknoloji; insan

elinde ölümcül nanorobot askelere, nano süikast timlerine, casus robotlara,
nano kimyasal ve biyolojik silahlara, nanogözcüler olarak mahremiyetlerin
ihlaline, gen terapisinde kullanılacak vektörlerin diğer insanlara, bitkilere ya da
hayvanlara bulaşıp bulaşmayacağına ve nasıl etki edeceğine, genetik yapıyı
nasıl değiştireceğine, nesillerden nesile aktarılıp aktarılmayacağı, yararlı
vektörlerin zararlı vektörlere dönüşebilme olasılığına, istenmeyen DNA

95
bölümlerini aktif etme olasılığına kadar çözülmesi gereken bir çok etik, yasal ve
sosyal riskleri içerisinde barındırmaktadır [508-518].

96
 11. KAYNAKLAR

[1] Davis M.; Walter M., Next-wave publishing technology: revolutions in

process and content, The Seybold Report, 3, 3-15, 2003.

[2] https://www.nano.gov/timeline, Kasım 2020.

[3] I. Freestone et al., The Lycurgus Cup — A Roman nanotechnology,

Gold Bulletin- Springer, Volume 40, Pages 270–277, 2007.

[4] M. Reibold et al., Carbon nanotubes in an ancient Damascus sabre,

Nature 444, 286, 2006.

[5] Engineering and Science, 23 (5). pp. 22-36, ISSN 0013-7812

https://resolver.caltech.edu/CaltechES:23.5.1960Bottom

[6] N. Taniguchi. "On the Basic Concept of 'Nano-Technology'." Proc.

Intl. Conf. Prod. Eng. Part II, Tokyo: Japan Society of Precision
Engineering, 1974.

[7] Arieh Aviram ve Philip E. Seiden, Organik Memory Device, Patent

No: US3833894, 1974.

[8] https://www-03.ibm.com/press/us/en/pressrelease/28488.wss

[9] https://www-03.ibm.com/press/us/en/photo/28500.wss

[10] https://news.cornell.edu/stories/1997/07/worlds-smallest-silicon-
mechanical-devices-are-made-cornell

[11] Yasuhiro Shirai, Andrew J. Osgood, Yuming Zhao, Kevin F. Kelly ve

James M. Tour, Nano Lett., Vol. 5, No. 11, 2005.

[12] https://www.youtube.com/watch?v=oSCX78-8-q0, Kasım 2020.

[13] https://www.lehigh.edu/imi/teched/ECIWorkshop/18D_Tong.pdf

[14] Selma Altındiş, İlknur Kıran Morkoç, Sağlık Hizmetlerinde Büyük Veri,
Ömer Halisdemir Üniversitesi, İktisadi ve İdari Bilimler Fakültesi
Dergisi, Cilt-Sayı: 11(2) ss: 257-271, Nisan 2018.

[15] C. Dianne Martin, ENIAC: press conference that shook the world,
IEEE Technology and Society Magazine, Volume: 14, Issue: 4,
Pages: 3 - 10, 1995.

[16] Y. Türkan, Nano Teknoloji Yatırımları ve Yatırım Modelleri, Bingöl

Üniversitesi Sosyal Bilimler Enstitüsü Dergisi, Yıl:5, Cilt: 5, Sayı: 10,
Güz 2015.

97
[17] Peter N. Njoki, vd., Size Correlation of Optical and Spectroscopic
Properties for Gold Nanoparticles, J. Phys. Chem. C, 111, 14664-
14669, 2007.

[18] Three-Phase Electrostatic Rotary Stepper Micromotor With a Flexural

Pivot Bearing, Edin Sarajlic, et.al., Journal of Microelectromechanical
Systems, Vol. 19, No. 2, April 2010.

[19] Nanoelectromechanical Systems, H. G. Craighead, Science, Vol.

290, 24 November 2000.

[20] https://www.psi.ch/en/lmn/nanoimprint-lithography

[21] Yi Yang, et. al., Efficient Low Bandgap Polymer Solar Cell with
Ordered Heterojunction Defined by Nanoimprint Lithography, ACS
Appl. Mater. Interfaces, 6, 19282−19287, 2014.

[22] https://www.iconspng.com/images/afm-diagram/afm-diagram.jpg

[23] http://www.nanopedia.org/index.php?title=A_Review_of_Tip-
based_Nanofabrication

[24] Advanced scanning probe lithography, Ricardo Garcia, Armin W.

Knoll and Elisa Riedo, Nature Nanotechnology, Vol 9, AUGUST 2014.

[25] https://www.pfeiffer-vacuum.com/

[26] J. D. Plummer, M. D. Deal, P. B. Griffin, Silicon VLSI Technology:

Fundamentals, Practice and Modeling, Prentice Hall electronics and
VLSI series, Prentice Hall, 2000.

[27] https://www.lesker.com/newweb/faqs/question.cfm?id=487

[28] https://www.lesker.com/

[29] https://www.alcatechnology.com/en/blog/magnetron-sputtering/

[30] Ö, Kelekçi, GaN Temelli Yüksek Elektron Mobiliteli Transistör (HEMT)

Tasarımı, Fabrikasyonu ve Karakterizasyonu, Doktora Tezi, Gazi
Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü, Ankara, 2011.

[31] N. E. Kaluza, MOVPE Growth and Characterization of AlGaN/GaN

Heterostructures for HEMT Application, Doktora Tezi, Fakultät für
Mathematik, Informatik und Naturwissenschaften der Rhienisch-
Wesatfälischen Technischen Hochschule, Almanya, 2003.

[32] F. Karouta, et.al., Influence of the Structural and Compositional

Properties of PECVD Silicon Nitride Layers on the Passivation of
AlGaN/GaN HEMTs, ECS Transactions, 16 (7) 181-191, 2008.

98
[33] F. Karouta, Structural, compositional and optical properties of PECVD
silicon nitride layers, J. Phys. D: Appl. Phys. 45, 2012.

[34] https://nanolab.berkeley.edu/process_manual/chap6/6.20PECVD.pdf

[35] Atomic layer deposition in nanostructured photovoltaics: tuning

optical, electronic and surface properties, Axel F. Palmstrom, Pralay
K. Santra and Stacey F. Bent, Nanoscale, 7, 12266–12283, 2015.

[36] Atomik Katman Biriktirme Tekniğine Genel Bakış: ZnO, TiO2 ve

Al2O3 Filmlerin Üretimi, Meryem POLAT GÖNÜLLÜ, Hakan ATEŞ,
GU J Sci, Part C, 7(3):649-660, 2019.

[37] Hyungjun Kim, Han-Bo-Ram Lee, W.-J. Maeng, Applications of

atomic layer deposition to nanofabrication and emerging
nanodevices, Thin Solid Films, 517, 2563–2580, 2009.

[38] Joice Sophia Ponraj , Giovanni Attolini and Matteo Bosi, Review on
Atomic Layer Deposition and Applications of Oxide Thin Films,
Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences, 38:203–233,
2013.

[39] Elektroliz yöntemi ile metal saflaştırma ve geri kazanımı, Karadeniz

Teknik Üniversitesi Mühendislik Fakültesi Metalurji ve Malzeme
Mühendisliği Bölümü Laboratuvar Föyü,
https://www.ktu.edu.tr/dosyalar/14_14_00_d52a4.pdf

[40] Nanopartiküller ve Üretim Yöntemleri - 1, Sebahattin Gürmen, Burçak

Ebin, TMMOB Metalurji Mühendisleri Odası,
https://www.metalurji.org.tr/dergi/dergi150/d150_3138.pdf

[41] Sol-Jel Yöntemi Genel Prensipleri, Şafak TOYGUN, Gülhan

KÖNEÇOĞLU, Yasemen KALPAKLI, Yıldız Teknik Üniversitesi,
Mühendislik ve Fen Bilimleri Dergisi, Sigma 31, 456-476, 2013,
http://www.ytusigmadergisi.com/pdfs/475.pdf

[42] Metal Oxide Nanoparticles in Organic Solvents, Niederberger M.,

Pinna N., Springer Dordrecht Heidelberg London, New York, 7-16,
2009.

[43] Principles of Ceramics Prosessing, Reed, J.S., 2nd edition.,Wiley

Publishing, ISBN 978-0-471-59721-6, 1995.

[44] Tekstil Mamullerine Sol-Jel Yöntemiyle Elektriksel Özellik

Kazandırılması, Ayşegül GÜRSÖZLÜ, Süleyman Demirel Üniversitesi
Fen Bilimleri Enstitüsü, Tekstil Mühendisliği Ana Bilim Dalı, Yüksek
Lisans Tezi, 2017.

99
[45] NanoMaterials and NanoChemistry, Chapter: "Mechanical Milling",
Eric Gaffet and Gérard Le Caër, pp.455 - 471, 2007, Springer,
https://link.springer.com/chapter/10.1007%2F978-3-540-72993-8_19

[46] Dry Etching Technology for Semiconductors, K. Nojiri, Springer

Science & Business Media, 2015.

[47] https://link.springer.com/referenceworkentry/10.1007%2F978-0-387-
48998-8_1344

[48] Gold etching for microfabrication, T. A. Green, Gold Bull, 47:205–216,

2014.

[49] https://www.taek.gov.tr/tr/sik-sorulan-sorular/148-malzeme-teknolojisi-
sss/948-taramali-elektron-mikroskobu-sem-nasil-calisir.html

[50] http://nukbilimler.ankara.edu.tr/elektron-mikroskobu/

[51] https://www.technologynetworks.com/analysis/articles/sem-vs-tem-
331262

[52] http://www.hk-phy.org/atomic_world/stm/stm03_e.html

[53] http://www.exo.net/~pauld/workshops/Atoms.html

[54] http://bilsenbesergil.blogspot.com/p/blog-page_516.html

[55] K. Inaba, et al, High Resolution X-Ray Diffraction Analyses of

(La,Sr)MnO3/ZnO/Sapphire(0001) Double Heteroepitaxial Films,
Advances in Materials Physics and Chemistry, 3, 72-89, 2013.

[56] http://bilsenbesergil.blogspot.com/p/x-isn-saclma-kucuk-ac-small-
angle-x-
ray.html#:~:text=K%C3%BC%C3%A7%C3%BCk%20a%C3%A7%C4
%B1%20X%2D%C4%B1%C5%9F%C4%B1n%C4%B1%20sa%C3%
A7%C4%B1lmas%C4%B1,bir%20a%C3%A7%C4%B1yla)%20bir%2
0sapma%20g%C3%B6sterir

[57] Structural Studies of Macromolecules in Solution using Small Angle

X-Ray Scattering, Tyler Mrozowich, et.al., J. Vis. Exp. (141), e58538,
doi:10.3791/58538, 2018.

[58] https://www.mri.psu.edu/materials-characterization-
lab/characterization-techniques/xrd-saxs-waxs

[59] NANOTECHNOLOGIES: Principles, Applications, Implications and

Hands-on Activities, Edited by the European Commission Directorate-
General for Research and Innovation Industrial technologies (NMP)
programme Authors: Luisa Filipponi and Duncan Sutherland, ISBN
978-92-79-21437-0, doi:10.2777/76945, 2012.

100
[60] Structure and mechanical quality of the collagen–mineral nano-
composite in bone, P. Fratzl, et.al., J. Mater. Chem. , 14:2115–2123,
2004.

[61] http://bilsenbesergil.blogspot.com/p/baz-dogal-nanomalzemelerin-
tanmlanmas.html

[62] Nature’s hierarchical materials, Peter Fratzl, Richard Weinkamer,

Progress in Materials Science 52, 1263–1334, 2007.

[63] STABILITY OF EIFFEL TOWER IS ON THE BASIS OF

STRUCTURAL DESIGN OF HUMAN FEMUR AND ITS
MATHEMATICAL ANALYSIS, Swapan Kumar Adhikari, International
Journal of Physics and Mathematical Sciences, 2017 Vol. 7 (2) April-
June, pp. 1-21, s ISSN: 2277-2111.

[64] Gustave Eiffel and his Optimal Structures, M Meenakshi Sundaram

and G K Ananthasuresh, Springer, RESONANCE, September 2009.

[65] Silk Fiber Mechanics from Multiscale Force Distribution Analysis,

Murat Cetinkaya, et.al., Biophysical Journal, 100(5), 1298–1305,
2011.

[66] http://www.acikbilim.com/2013/05/dosyalar/dogadan-bilime-yeni-bir-
ilham-orumcek-aglari.html

[67] Flaw-tolerance in silk fibrils explains strength, extensibility and

toughness of spider silk, Melis Arslan and Markus J. Buehler, Nature
Precedings 6, 2011.

[68] https://ednieuw.home.xs4all.nl/Spiders/Info/SilkBoeing.html

[69] Recent Advances in Development of Functional Spider Silk-Based

Hybrid Materials, Aleksandra P. Kiseleva, Pavel V. Krivoshapkin and
Elena F. Krivoshapkina, Front. Chem.,
https://doi.org/10.3389/fchem.2020.00554, 2020.

[70] https://www.greenoptimistic.com/moth-eye-inspired-nanostructure-
reduces-reflectivity-solar-cells-20170903/

[71] Biomimetic microlens array with antireflective ‘‘moth-eye’’ surface,

Doo-Hyun Ko, et.al., Soft Matter, 7, 6404, 2011.

[72] Blast performance of a bio-mimetic panel based on the structure of

nacre – A numerical study, Abdallah Ghazlan, et.al., Composite
Structures, 234, 111691, 2020.

101
[73] Inspiration from Nature’s body armours – A review of biological and
bioinspired composites, Abdallah Ghazlan, et.al., Composites Part B
205, 108513, 2021.

[74] Processing of Boron Carbide-Aluminum Composites, D.C. Halverson,

A.J. Pyzik, I.A. Aksay, W.E. Snowden, J. Am. Ceram. Soc. 72 775-80,
1989.

[75] Elastic Properties and Structure of Interpenetrating Boron

Carbide/Aluminum Multiphase Composites, S. Torquato, C.L.Y.
Yeong, M.D. Rintoul, D.L. Milius, I.A. Aksay, J. Am. Ceram. Soc. 82
1263-68, 1999.

[76] http://bilsenbesergil.blogspot.com/p/lotus-etkisi-lotus-effect.html

[77] Lotus Etkili Yüzeyler, Esen Özdoğan, Aslı Demir, Necdet Seventekin,
Tekstil ve Konfeksiyon, 1/2006.

[78] http://bilsenbesergil.blogspot.com/p/2_46.html

[79] Doğada Nanoteknoloji: Geko Etkisi, Ayşe Demirkıran, Social

Sciences Studies Journal (SSSJournal), Vol:5, Issue:42, pp:4470-
4476, 2019.

[80] Brilliant Blue Observation from a Morpho-Butterfly-Scale Quasi-

Structure, Keiichiro WATANABE, et.al., Japanese Journal of Applied
Physics, Vol. 44, No. 1, pp. L 48–L 50, 2005.

[81] Butterfly wing colours: scale beads make white pierid wings brighter,
D. G. Stavenga, et.al., Proc. R. Soc. Lond. B, 271, 1577–1584, 2004.

[82] Antireflective design of Si-based photovoltaics via biomimicking

structures on black butterfly scales, Zhongjia Huang, et.al., Solar
Energy 204, 738–747, 2020.

[83] Structural Colours in Biology: Scientific Basis and Bioinspired

Technological Applications, Ille C. Gebeshuber,
http://www.iap.tuwien.ac.at/~gebeshuber/Gebeshuber_ISST2009_fin
al.pdf, 2009.

[84] Brilliant Whiteness in Ultrathin Beetle Scales, Pete Vukusic, Benny

Hallam, Joe Noyes, Science , Vol. 315, Issue 5810, pp. 348, 2007.

[85] Coloration strategies in peacock feathers, Jian Zi, et.al., PNAS, 100
(22) 12576-12578, 2003.

[86] Physical and ultrastructural basis of blue leaf iridescence in four

Malaysian understory plants, American Journal of Botany 83(1): 45-
50. 1996.

102
[87] Common Gem Opal: An Investigation of Micro- to Nano-Structure,
Eloise Gaillou, et.al., American Mineralogist, Volume 93, pages
1865–1873, 2008.

[88] Art of blackness in butterfly wings as natural solar collector, Qibin

Zhao, et.al., Soft Matter, , 7, 11433, 2011.

[89] Butterflies: inspiration for solar cells and sunlight water-splitting

catalysts, Shuai Lou, et.al., Energy Environ. Sci., 5, 9195, 2012.

[90] Bioinspired phase-separated disordered nanostructures for thin

photovoltaic absorbers, Radwanul H. Siddique, et.al., Sci. Adv.
2017;3: e1700232.

[91] Applied Biomimetics: A New Fresh Look of Textiles, Mirela

Teodorescu, Journal of Textiles 2014(4):1-9.

[92] Tekstil ve Giysi Tasarımında Biyomimetik Uygulamalar, Hilal

Sevencan, Mustafa Erdem Üreyen, Journal of Interdisciplinary and
Intercultural Art, Cilt: 5, Sayı: 10, Haziran-Temmuz / 2020.

[93] Thermal insulation design bioinspired by microstructure study of

penguin feather and polar bear hair, Sara Metwally, et.al., Acta
Biomaterialia 91, 270–283, 2019.

[94] Das, S., Shanmugam, N., Kumar, A. & Jose, S. (2017). Potential of
biomimicry in the field of textile technology. Bioinspired, Biomimetic
and Nanobiomaterials, 6(4), 224-235, 2017.

[95] High-precision bio-replication of synthetic drag reduction shark skin,

Zhang DeYuan, et.al., Chinese Sci Bull March, Vol.56 No.9, 2011.

[96] Application of biomimicry in textiles, S. Das, et.al., Current Science,

109(5), 893-901, 2015.

[97] How pine cones open, Colin Dawson, et.al., Nature, Volume 390,
page668, 1997.

[98] Application of biomimicry for sustainable functionalization of textiles:

review of current status and prospectus, DU Weerasinghe, et.al.,
Textile Research Journal, Vol. 89(19–20) 4282–4294, 2019.

[99] 515 million years of structural colour, Andrew Richard Parker, Journal
of Optics A: Pure and Applied Optics, Volume 2, Number 6, 2000.

[100] Learning Optics in Nature’s School, R. C. McPhedran and N. A.

Nicorovici, Australian Optical Society NEWS, Vol. 15, No. 2/3, pp. 7-
9, 2001.

103
[101] Doğal Fotonik Yapılar Teknolojinin Hizmetinde, Özlem Kılıç Ekici,
Bilim ve Teknik, Ekim 2012.

[102] Photonic crystals cause active colour change in chameleons, Jeremie

Teyssier, et.al., Nature Communications, volume 6, Article number:
6368, 2015.

[103] Bioarchitecture: bioinspired art and architecture—a perspective,

Renee L. Ripley and Bharat Bhushan, Phil. Trans. R. Soc. A 374:
20160192, 2016.

[104] Biomimicry as a route to new materials: what kinds of lessons are

useful?, Emily J. Reed, et.al., Phil. Trans. R. Soc. A, 367, 1571–1585,
2009.

[105] Optical Properties of Advanced Materials, Springer Series in

Materials Science, Volume 168, ISBN 978-3-642-33527-3, 2013.

[106] Physics and applications of photonic crystals, Ekmel Ozbay, et.al.,

Photonics and Nanostructures – Fundamentals and Applications 2,
87–95, 2004.

[107] Molding the flow of light, S.G. Johnson, et.al., Computing in Science
and Engineering 3(6):38 - 47, 2001.

[108] Artificial opal photonic crystals and inverse opal structures –

fundamentals and applications from optics to energy storage, Eileen
Armstrong and Colm O’Dwyer, J. Mater. Chem. C, 3, 6109-6143,
2015.

[109] Materials Aspects of Photonic Crystals, Cefe López, Adv. Mater. 15,
No. 20, 2003.

[110] Photonic Clays: A New Family of Functional 1D Photonic Crystals,

Bettina V. Lotsch and Geoffrey A. Ozin, ACS Nano, 2, 10, 2065–
2074, 2008.

[111] 1D and 2D photonic crystals for thermophotovoltaic applications

Celanovic, Ivan Celanovic, et.al., Proc. SPIE 5450, Photonic Crystal
Materials and Nanostructures, 2004.

[112] Silicon-Based Photonic Crystals, Albert Birner, et.al., Adv. Mater. 13,
No. 6, 2001.

[113] Introducing Defects in 3D Photonic Crystals: State of the Art, Paul V.

Braun, Adv. Mater. 18, 2665–2678, 2006.

[114] Control of Light Emission by 3D Photonic Crystals, Shinpei Ogawa,

et.al., Science, Vol. 305, 2004.

104
[115] All-optical digital 4 × 2 encoder based on 2D photonic crystal ring
resonators, Tamer A. Moniem, Journal of Modern Optics, Vol. 63, No.
8, 735–741, 2016.

[116] Structural colors from TiO2/SiO2 multilayer flakes prepared by

solegel process, Takashi Yasuda, Kei Nishikawa, Shoji Furukawa,
Dyes and Pigments 92, 1122e1125, 2012.

[117] Metal-dielectric pure red to gold special effect coatings for security
and decorative applications, Lin Chen, et.al., Surface & Coatings
Technology 363, 18–24, 2019.

[118] Color tunable low cost transparent heat reflector using copper and
titanium oxide for energy saving application, Goutam Kumar Dalapati,
et.al., Scientific Reports volume 6, Article number: 20182, 2016.

[119] Designs and investigations of anti-glare blue-tint side-view car

mirrors, Pitak Eiamchai, et.al., Materials and Design 31, 3151–3158,
2010.

[120] Low temperature processing of multilayer dielectrics mirrors by sol–

gel method, C.G. Alvarado-Beltrán, J.L. Almaral-Sánchez, R.
Ramirez-Bon, Materials Letters 161, 523–526, 2015.

[121] Surface-emitting microlaser combining twodimensional photonic

crystal membrane and vertical Bragg mirror, B. Ben Bakir, et.al.,
Applied Physics Letters 88, 081113, 2006.

[122] Optical filters from SiO2 and TiO2 multi-layers using sol–gel spin
coating method, D. Saygın Hinczewski, et.al., Solar Energy Materials
& Solar Cells 87, 181–196, 2005.

[123] Photonic crystal waveguide directional couplers as wavelength

selective optical filters, J. Zimmermann, et.al., Optics
Communications 230, 387–392, 2004.

[124] Energy-saving spectrally-selective coatings based on MoO3/Ag thin

films, M.F. Al-Kuhaili, et.al., Materials and Design 73, 15–19, 2015.

[125] Characterization of a thermal sensor based on one-dimensional

photonic crystal with central liquid crystal defect, Nagat A. Elmahdy,
et.al., Optik - International Journal for Light and Electron Optics 170,
444–451, 2018.

[126] Design, fabrication and characterization of TiO2-SiO2 multilayer with

tailored color glazing for thermal solar collectors, Iulian Pana, et.al.,
Materials & Design 130, 275–284, 2017.

105
[127] All-optical switches on a silicon chip realized using photonic crystal
nanocavities, Takasumi Tanabe, et.al., Applied Physics Letters, 87,
151112, 2005.

[128] UV enhanced substrate conformal imprint lithography (UV-SCIL)

techniquefor photonic crystals patterning in LED manufacturing, Ran
Ji, et.al., Microelectronic Engineering 87, 963–967, 2010.

[129] Impact of photonic crystals on LED light extraction efficiency:

approaches and limits to vertical structure designs, Elison Matioli and
Claude Weisbuch, J. Phys. D: Appl. Phys. 43, 354005, 2010.

[130] Design Optimization of Photonic Crystal Structure for Improved Light

Extraction of GaN LED, Dang Hoang Long, In-Kag Hwang, and Sang-
Wan Ryu, IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics,
Volume: 15, Issue: 4, 2009.

[131] High-efficiency photonic crystal solar cell architecture, Alongkarn

Chutinan, Nazir P. Kherani and Stefan Zukotynski, Optics Express
Vol. 17, Issue 11, pp. 8871-8878, 2009.

[132] Photoresponsive real time monitoring silicon quantum dots for

regulated delivery of anticancer drugs, Amrita Paul, et.al., J. Mater.
Chem. B, 4, 521--528, 2016.

[133] Multifunctional graphene quantum dots for simultaneous targeted

cellular imaging and drug delivery, Xiaojuan Wang, et.al., Colloids
and Surfaces B: Biointerfaces 122, 638–644, 2014.

[134] Co-encapsulation of Biodegradable Nanoparticles with Silicon

Quantum Dots and Quercetin for Monitored Delivery, Qi Wang, et.al.,
Adv. Healthcare Mater., 2, 459–466, 2013.

[135] Quantum dots spectrally distinguish multiple species within the tumor
milieu in vivo, Mark Stroh, et.al., Nature Medicine, Vol. 11, Number 6,
2005.

[136] Ratiometric and Time-Resolved Fluorimetry from Quantum Dots

Featuring Drug Carriers for Real-Time Monitoring of Drug Release in
Situ, Rijun Gui, et.al., Anal. Chem. 86, 5211−5214, 2014.

[137] Quantum dots to monitor RNAi delivery and improve gene silencing,
Alice A. Chen, et.al., Nucleic Acids Research, Vol. 33, No. 22, 2005.

[138] Evaluating the potential of using quantum dots for monitoring

electrical signals in neurons, Alexander L. Efros, et.al., Nature
Nanotechnology, Vol. 13, 278–288, 2018.

[139] Quantum Dots Get Wet, Science, Vol 300 4 APRIL 2003.

106
[140] On the physics of semiconductor quantum dots for applications in
lasers and quantum optics, Weng W. Chow , Frank Jahnke, Progress
in Quantum Electronics, 37, 109–184, 2013.

[141] Scaling quantum-dot light-emitting diodes to submicrometer sizes, A.

Fiore, et.al., Appl. Phys. Lett., Vol. 81, No. 10, 2, 2002.

[142] The Influence of the Thermal Effect on CdSe/ZnS Quantum Dots in

Light-Emitting Diodes, Kuo-Ju Chen, et.al., Journal of Lightwave
Technology, Volume: 30, Issue: 14, July15, 2012.

[143] Quantum cryptography based on quantum dots, S. N. Molotkov and

S. S. Nazin, JETP Lett., Vol. 63, No. 8, 25 April 1996.

[144] Efficient Single-Photon Sources Based on Low-Density Quantum

Dots in Photonic-Crystal Nanocavities, Wen-Hao Chang, et.al., Phys.
Rev. Lett. 96, 117401, 2006.

[145] Growth and characterization of single quantum dots emitting at 1300

nm, B. Alloing, et.al., Applied Physics Letters, Volume 86, Issue 10,
2005.

[146] Dendrimers: a review of their appeal and applications, Graham M

Dykes, Journal of Chemical Technology & Biotechnology, 76, 903-
918, 2001.

[147] Dendrimers as therapeutic agents: a systematic review, Virendra

Gajbhiye, et.al., Journal of Pharmacy and Pharmacology, 61: 989–
1003, 2009.

[148] Nanoparticles and cancer therapy: A concise review with emphasis

on dendrimers, Dhruba J Bharali, et.al., International Journal of
Nanomedicine, 4 1–7, 2009.

[149] Dendrimers and dyes—a review, PE Froehling, Dyes and Pigments,

48, 187-195, 2001.

[150] Fullerene Polymers: Synthesis and Properties, Francesco Giacalone

and Nazario Martin, Chem. Rev. 106, 5136−5190, 2006.

[151] Water-soluble fullerenes for medical applications, I. Rašović,

Materials Science and Technology, VOL 33 NO 7, 2017.

[152] Synthesis, properties, and optical applications of noble metal

nanoparticle-biomolecule conjugates, ZHANG YuJuan, et.al., Chin
Sci Bull, Vol.57 No.2-3, 2012.

[153] Application of metal and metal oxide nanoparticles@MOFs, Paolo

Falcaro, et.al., Coordination Chemistry Reviews 307, 237–254, 2016.

107
[154] Antimicrobial activity of the metals and metal oxide nanoparticles,
Solmaz Maleki Dizaj, et.al., Materials Science and Engineering C 44,
278–284, 2014.

[155] Metal oxide nanoparticles: synthesis, characterization and

application, Gerko Oskam, J Sol-Gel Sci Techn, 37: 161–164, 2006.

[156] Lipid-based nanoparticles for contrast-enhancedMRI and molecular

imaging, Willem J. M. Mulder, et.al., NMR Biomed. 19:142–164,
2006.

[157] In Vivo Delivery of RNAi with Lipid-Based Nanoparticles, Leaf Huang

and Yang Liu, Annual Review of Biomedical Engineering, Vol.
13:507-530, 2011.

[158] Lipid-Based Drug Delivery Systems in Cancer Therapy: What Is

Available and What Is Yet to Come, Phatsapong Yingchoncharoen,
et.al., Pharmacological Reviews, 68 (3) 701-787, 2016.

[159] Protein-based nanoparticles: From preparation to encapsulation of

active molecules, Mohamad Tarhini, et.al., International Journal of
Pharmaceutics, 522, 172–197, 2017.

[160] Protein Polymer-Based Nanoparticles: Fabrication and Medical

Applications, Kelsey DeFrates, et.al., Int. J. Mol. Sci., 19, 1717, 2018.

[161] Different techniques for preparation of polymeric nanoparticles-a

review, BVN Nagavarma, et.al., Asian J Pharm Clin Res, Vol 5, Suppl
3, 16-23, 2012.

[162] Porous polymer particles—A comprehensive guide to synthesis,

characterization, functionalization and applications, M. Talha
Gokmen, Filip E. Du Prez, Progress in Polymer Science 37, 365–
405, 2012.

[163] Methods for the Preparation and Manufacture of Polymeric

Nanoparticles, Christine Vauthier and Kawthar Bouchemal,
Pharmaceutical Research volume 26, pages 1025–1058, 2009.

[164] Design of polymeric nanoparticles for biomedical delivery

applications, Mahmoud Elsabahy and Karen L. Wooley, Chem. Soc.
Rev., 41, 2545–2561, 2012.

[165] Preparation and antibacterial activity of chitosan nanoparticles, Lifeng

Qi, et.al., Carbohydrate Research 339, 2693–2700, 2004.

[166] Synthesis and characterization of PLGA nanoparticles, Carlos E.

Astete & Cristina M. Sabliov, J. Biomater. Sci. Polymer Edn, Vol. 17,
No. 3, pp. 247–289, 2006.

108
[167] Mechanisms of PVP in the preparation of silver nanoparticles,
Hongshui Wang, et.al., Materials Chemistry and Physics 94, 449–
453, 2005.

[168] Bulk-quantity Si nanosphere chains prepared from semi-infinite length

Si nanowires, H. Y. Peng, et.al., J. Appl. Phys., Vol. 89, No. 1, 1
January 2001.

[169] Application of nanotechnology for high performance textiles, L Qian,

JP Hinestroza, Journal of Textile and Apparel, Technology and
management, Volume 4, Issue 1, 2004.

[170] Structural Nanocomposites, Yuris Dzenis, Science 319, pp. 419–420,

2008.

[171] Nanocomposites: issues at the interface, H. Daniel Wagner and

Richard A. Vaia, Materials Today, November 2004.

[172] Nanocomposites in context, Erik T. Thostenson, Chunyu Li, Tsu-Wei

Chou, Composites Science and Technology 65, 491–516, 2005.

[173] Recent advances of superhard nanocomposite coatings: a review,

Sam Zhang, et.al., Surface and Coatings Technology 167, 113–119,
2003.

[174] Computer Simulation Studies of PEO/Layer Silicate Nanocomposites,

E. Hackett, E. Manias and E. P. Giannelis, Chem. Mater., 12, 2161-
2167, 2000.
[175] A review on the classification, characterisation, synthesis of
nanoparticles and their application, Anu Mary Ealias and
Saravanakumar M P, IOP Conf. Series: Materials Science and
Engineering 263, 2017.

[176] A Brief Review on Inorganic Nanoparticles, Parijat Pandey, Mandeep

Dahiya, J Crit Rev, Vol 3, Issue 3, 18-26, 2016.

[177] Nanoparticles for Nanotechnology, Abhilash Sugunan and Joydeep

Dutta, Journal of Physics Science and Idea 4, No. 1 & 2, 2004.

[178] Introduction to carbon nanotube and nanofiber smart materials, Inpil

Kang, et.al., Composites: Part B 37, 382–394, 2006.

[179] Nanotube composites, Pulickel M. Ajayan & James M. Tour, Nature

volume 447, pages 1066–1068, 2007.

[180] The revolutionary creation of new advanced materials—carbon

nanotube composites, Alan Kin-TakLau, DavidHui, Composites Part
B: Engineering Volume 33, Issue 4, Pages 263-277, 2002.

109
[181] Carbon Nanotubes: Science and Applications, M.Meyyappan, CRC
Press, 2004.

[182] Carbon Nanotubes as Molecular Quantum Wires, Cees Dekker,

Physics Today 52, 5, 22, 1999.

[183] Application of nanotechnology in textile engineering: An overview, J.

K. Patra and S. Gouda, Journal of Engineering and Technology
Research, Vol. 5(5), pp. 104-111, June 2013.

[184] Electrochemical Multiwalled Carbon Nanotube Filter for Viral and

Bacterial Removal and Inactivation, Chad D. Vecitis, et.al., Environ.
Sci. Technol., 45, 8, 3672–3679, 2011.

[185] Bonding and Energy Dissipation in a Nanohook Assembly, Savas

Berber, et.al., Phys Rev Lett., Volume 91, Number 16, 2003.

[186] https://www.nature.com/news/2003/031020/full/news031020-5.html

[187] Flexible Transparent Films Based on Nanocomposite Networks of

Polyaniline and Carbon Nanotubes for High-Performance Gas
Sensing, Pengbo Wan, et.al., Nano Micro Small, 11, No. 40, 5409–
5415, 2015.

[188] A Review of Carbon Nanotubes-Based Gas Sensors, Yun Wang and

John T. W. Yeow, Hindawi Publishing Corporation, Journal of
Sensors Volume 2009, Article ID 493904, 24 pages,
doi:10.1155/2009/493904, 2009.

[189] Recent applications of carbon nanotubes in hydrogen production and

storage, Renáta Oriňáková and Andrej Orinak, Fuel 90, 3123–3140,
2011.

[190] Reduction of Pt usage in fuel cell electrocatalysts with carbon

nanotube electrodes, Taketoshi Matsumoto, et.al., Chem. Commun.,
Issue 7, 840–841, 2004.

[191] Magnetic loading of carbon nanotube/nano-Fe3O4 composite for

electrochemical sensing, Song Qu, et.al., Talanta 71, 1096–1102,
2007.

[192] Atomic-like charge qubit in a carbon nanotube enabling electric and

magnetic field nano-sensing, I. Khivrich, S. Ilani, Nature
Communications volume 11, Article number: 2299, 2020.

[193] Carbon nanotube computer, Max M. Shulaker, et.al., Nature volume

501, pages 526–530, 2013.

110
[194] Carbon Nanotube-Based Nonvolatile Random Access Memory for
Molecular Computing, Thomas Rueckes, et.al., Science 07, Vol. 289,
Issue 5476, pp. 94-97, 2000.

[195] Nanotube-based data storage devices, Elena Bichoutskaia, et.al.,

Materials Today, Volume 11, Issue 6, Pages 38-43, 2008.

[196] Carbon nanotube transistors for biosensing applications, G. Gruner,

Anal Bioanal Chem, 384: 322–335, 2006.

[197] Transparent and Flexible Carbon Nanotube Transistors, E. Artukovic,

et.al., Nano Lett., 5, 4, 757–760, 2005.

[198] Carbon Nanotube Circuit Integration up to Sub-20 nm Channel

Lengths, Max Marcel Shulaker, et.al., ACS Nano, 8, 4, 3434–3443,
2014.

[199] Logic Circuits with Carbon Nanotube Transistors, Adrian Bachtold,

et.al., Science, Vol. 294, Issue 5545, pp. 1317-1320, 2001.

[200] Design and Deployment of a Space Elevator, Bradley C.Edwards,

Acta Astronautica Vol. 47, No. 10, pp. 735–744, 2000.

[201] The role of defects in the design of space elevator cable: From
nanotube to megatube, Nicola M. Pugno, Acta Materialia 55, 5269–
5279, 2007.

[202] Bonding and Energy Dissipation in a Nanohook Assembly, Savas

Berber, et.al., Physical Review Letters, Volume 91, Number 16, 2003.

[203] Carbon Nanotubes: Synthesis, Structure, Properties, and

Applications, Mildred S. Dresselhaus Gene Dresselhaus Phaedon
Avouris (Eds.), Springer, ISBN 3540410864.

[204] Boron nitride nanotubes, Chunyi Zhi, et.al., Materials Science and
Engineering, Volume 70, Issues 3–6, 92–111 , 2010.

[205] Design and Characterization of Programmable DNA Nanotubes, Paul

W. K. Rothemund, et.al., J. Am. Chem. Soc., 126, 50, 16344–16352,
2004.

[206] Single-crystal gallium nitride nanotubes, Joshua Goldberger, et.al.,

Nature volume 422, pages 599–602, 2003.

[207] Electronic structure of GaN nanotubes, Johnathan M. Sodre, et.al., C.

R. Chimie 20, 190-196, 2017.

[208] TiO2 nanotubes on Ti: Influence of nanoscale morphology on bone

cell–materials interaction, Kakoli Das, et.al., Journal of Biomedical
Materials Research, Volume 90A, Issue1, Pages 225-237, 2009.

111
[209] Nano Parçacıklar ve Nano Teller, Hakan ATEŞ, GU J Sci Part:C
3(1):437-442, 2015.

[210] Nikel Nano Tellerin Üretimi ve Karakterizasyonu, Cansu

Karahasanoğlu, Y.Lisans Tezi, İstanbul Teknik Üniversitesi, Fen
Bilimleri Enstitüsü, Ağustos 2009.

[211] A Review on the Electrochemical Sensors and Biosensors Composed

of Nanowires as Sensing Material, Umasankar Yogeswaran and
Shen-Ming Chen, Sensors, 8, 290-313, 2008.

[212] Nanowires for energy: A review, N. I. Goktas, et.al., Applied Physics

Reviews, 5, 041305, 2018.

[213] Silicon nanowires for Li-based battery anodes: a review, Mihai Robert
Zamfir, et.al., J. Mater. Chem. A, 1, 9566-9586, 2013.

[214] Inorganic nanowires, C.N.R. Rao, et.al., Progress in Solid State

Chemistry 31, 5–147, 2003.

[215] Monolayer atomic crystal molecular superlattices, Chen Wang, et.al.,

Nature volume 555, pages 231–236, 2018.

[216] Complementary Hybrid Semiconducting Superlattices with Multiple

Channels and Mutual Stabilization, Jongchan Kim, et.al., Nano Lett.,
20, 4864−4871, 2020.

[217] Aspects of Thin Film Superlattice Thermoelectric Materials, Devices,

and Applications, Harald Böttner, et.al., MRS Bulletin volume 31,
pages211–217, 2006.

[218] https://www.rti.org/sites/default/files/resources/anser.pdf

[219] Quantum Dot Superlattice Thermoelectric Materials and Devices,

T.C. Harman, et.al., Science, Vol. 297, Issue 5590, pp. 2229-2232,
2002.

[220] InGaN-Based Multi-Quantum-Well-Structure Laser Diodes, Shuji

Nakamura, et.al., Japanese Journal of Applied Physics, Volume 35,
Number 1B, 1996.

[221] Ultrahigh-Speed 0.5 V Supply Voltage In0.7Ga0.3As Quantum-Well

Transistors on Silicon Substrate, Suman Datta, et.al., IEEE Electron
Device Letters, Volume: 28, Issue: 8, Page(s): 685 - 687, 2007.

[222] GaAsBi/GaAs multi-quantum well LED grown by molecular beam

epitaxy using a two-substratetemperature technique, Pallavi Kisan
Patil, et.al., Nanotechnology 28, 105702 (8pp), 2017.

112
[223] Micromachined pressure sensors: review and recent developments,
W P Eaton and J H Smith, Smart Mater. Struct. 6, 530–539, 1997.

[224] Detection of single magnetic bead for biological applications using an

InAs quantum-well micro-Hall sensor, Goran Mihajlović, et.al., Appl.
Phys. Lett. 87, 112502, 2005.

[225] The piezotronic effect in InGaN/GaN quantum-well based microwire

for ultrasensitive strain sensor, Liang Chen, et.al., Nano Energy 72,
104660, 2020.

[226] Design, Fabrication and testing of quantum well thermoelectric

generator, Velimir Jovanovic, Saeid Ghamaty and Norbert B. Elsner,
Thermal and Thermomechanical Proceedings 10th Intersociety
Conference on Phenomena in Electronics Systems, 2006. ITHERM
2006.

[227] A Special Material or a New State of Matter: A Review and

Reconsideration of the Aerogel, Ai Du, et.al., Materials, 6, 941-968,
2013.

[228] Silica aerogel; synthesis, properties and characterization, A.

Soleimani Dorcheh, M.H. Abbasi, Journal of Materials Processing
Technology Volume 199, Issues 1–3, 1, Pages 10-26, 2008.

[229] Applications for silica aerogel products, M. Schmidt, F. Schwertfeger,

Journal of Non-Crystalline Solids 225, 364–368, 1998.

[230] Giant-Stroke, Superelastic Carbon Nanotube Aerogel Muscles, Ali E.

Aliev, et.al., Science, Vol. 323, Issue 5921, pp. 1575-1578, 2009.

[231] Ultralight Multiwalled Carbon Nanotube Aerogel, Jianhua Zou, et.al.,

ACS Nano, 4, 12, 7293–7302, 2010.

[232] Carbon aerogels for electrochemical applications, R.W. Pekala, et.al.,

Journal of Non-Crystalline Solids, 225, 74–80, 1998.

[233] Preparation of carbon aerogel electrodes for supercapacitor and their

electrochemical characteristics, S. J. Kim, et.al., Journal of Materials
Science, volume 40, pages 725–731, 2005.

[234] Synthesis of Graphene Aerogel with High Electrical Conductivity,

Marcus A. Worsley, et.al., J. Am. Chem. Soc., 132, 40, 14067–14069,
2010.

[235] Mechanically strong and highly conductive graphene aerogel and its
use as electrodes for electrochemical power sources, Xuetong
Zhang, et.al., : J. Mater. Chem., 21, 6494, 2011.

113
[236] Freestanding monolithic silicon aerogels, Ke Chen, et.al., J. Mater.
Chem., 22, 16196, 2012.

[237] Mechanically Robust and Flame-Retardant Silicon Aerogel

Elastomers for Thermal Insulation and Efficient Solar Steam
Generation, Chao Liu, et.al., ACS Omega, 5, 15, 8638–8646, 2020.

[238] Use of monolithic silicon carbide aerogel as a reusable support for

development of regenerable CO2 adsorbent, Yong Kong, et.al., RSC
Adv., 4, 64193-64199, 2014.

[239] Nanogel Engineering for New Nanobiomaterials: From Chaperoning

Engineering to Biomedical Applications, Yoshihiro Sasaki Kazunari
Akiyoshi, The Chemical Record, Vol. 10, 366–376, 2010.

[240] Advanced nanogel engineering for drug delivery, Koen Raemdonck,

et.al., Soft Matter, 5, 707–715, 2009.

[241] Stimuli-responsive nanogel composites and their application in

nanomedicine, Maria Molina, et.al., Chem. Soc. Rev., 44, 6161--
6186, 2015.

[242] A Virus-Mimetic Nanogel Vehicle, Eun Seong Lee, et.al., Angew.

Chem. Int. Ed., 47, 2418 –2421, 2008.

[243] Nanofiber technology: current status and emerging developments,

Kenry, Chwee Teck Lim, Progress in Polymer Science 70, 1–17,
2017.

[244] Electrospun nanofiber reinforced composites: a review, Shaohua

Jiang, et.al., Polym. Chem., 9, 2685-2720, 2018.

[245] A Review of Microfiber and Nanofiber Based Optical Sensors, George

Y. Chen, et.al., The Open Optics Journal, 7, (Suppl-1, M3) 32-57,
2013.

[246] A review on electrospinning design and nanofibre assemblies, W E

Teo and S Ramakrishna, Nanotechnology, Volume 17, Number 14,
2006.

[247] A review on advanced nanofiber technology for membrane distillation,

Fatma Yalcinkaya, Journal of Engineered Fibers and Fabrics, Volume
14: 1–12, 2019.

[248] Electrospun nanofibre materials to filter air pollutants – A review,

Vinod V Kadam, et.al., Journal of Industrial Textiles 47(8), 2018.

[249] A review on recent advances in application of electrospun nanofiber

materials as biosensors, Yanbo Liu,et.al., Current Opinion in
Biomedical Engineering, 13:174–189, 2020.

114
[250] Functionalized electrospun nanofiber membranes for water treatment:
A review, Haisheng Chen, et.al., Science of the Total Environment
739, 139944, 2020.

[251] Electrospun nanofiber-based cancer sensors: A review, Prathamesh

Parshuram Mane, et.al., International Journal of Pharmaceutics 583,
119364, 2020.

[252] A review of electrospun nanofiber-based separators for rechargeable

lithium-ion batteries, Yifu Li, et.al., Journal of Power Sources 443,
227262, 2019.

[253] A Review of Nanofiber Shish Kebabs and Their Potential in Creating

Effective Biomimetic Bone Scaffolds, Aria C. Attia, et.al., Regen. Eng.
Transl. Med., 4:107–119, 2018.

[254] A Chemical Route to Carbon Nanoscrolls, Lisa M. Viculis, et.al.,

Science, Vol 299, 2003.

[255] Mechanics of carbon nanoscrolls: A review, Xinghua Shi, et.al., Acta

Mechanica Solida Sinica volume 23, pages484–497, 2010.

[256] Carbon Nanoscrolls:  A Promising Material for Hydrogen Storage,

Giannis Mpourmpakis, et.al., Nano Lett., 7, 7, 1893–1897, 2007.

[257] Structure and Dynamics of Carbon Nanoscrolls, Scheila F. Braga,

et.al., Nano Letters, 4, 5, 881–884, 2004.

[258] Graphene nanoscrolls fabricated by ultrasonication of

electrochemically exfoliated graphene, William Clower, et.al., Nano-
Structures & Nano-Objects 12, 77–83, 2017.

[259] Superior adhesion of graphene nanoscrolls, Hu Li, et.al.,

Communications Physics volume 1, Article number: 44, 2018.

[260] Mass production of graphene nanoscrolls and their application in high

rate performance supercapacitors, Bingna Zheng, et.al., Nanoscale,
8, 1413-1420, 2016.

[261] Graphene nanoscrolls encapsulated TiO2 (B) nanowires for lithium

storage, Xinlu Li, et.al., Journal of Power Sources, Volume 268, 5,
Pages 372-378, 2014.

[262] The structure and dynamics of boron nitride nanoscrolls, Eric Perim
and Douglas S Galvao, Nanotechnology, Volume 20, Number 33,
2009.

115
[263] Boron nitride nanoscrolls: Structure, synthesis, and applications,
Muhammad Saqib Qayyum, et.al., Applied Physics Reviews 6,
021310, 2019.

[264] Fabrication and morphology tuning of graphene oxide nanoscrolls,

Carlo A. Amadei, et.al., Nanoscale, 8, 6783-6791, 2016.

[265] Niobium Oxide Nanoscrolls as Building Blocks for Dye-Sensitized

Hydrogen Production from Water under Visible Light Irradiation,
Kazuhiko Maeda, et.al., Chem. Mater., 20, 6770–6778, 2008.

[266] Optical Activity of Chiral Nanoscrolls, Anvar S. Baimuratov, et.al.,

Adv. Optical Mater., 5, 1600982, 2017.

[267] Tunable Water Channels with Carbon Nanoscrolls, Xinghua Shi,

et.al., Small, 6, No. 6, 739–744, 2010.

[268] Formation of silicate nanoscrolls through solvothermal treatment of

layered octosilicate intercalated with organoammonium ions, Yusuke
Asakura, et.al., Nanoscale, 11, 12924–12931, 2019.

[269] Bio-inspired Janus composite nanoscrolls for on-demand tumour

targeting, Jeong-Hwan Kim and Tsai-Ming Lu, RSC Adv., 6, 17179–
17187, 2016.

[270] A review on development of nanofluid preparation and

characterization, Yanjiao Li, et.al., Powder Technology 196, 89–101,
2009.

[271] Review and Comparison of Nanofluid Thermal Conductivity and Heat

Transfer Enhancements, Wenhua Yu,et.al., Heat Transfer
Engineering, 29(5):432–460, 2008.

[272] http://bilsenbesergil.blogspot.com/p/spintronik-spintronics.html

[273] Future perspectives for spintronic devices, Atsufumi Hirohata and

Koki Takanashi, J. Phys. D: Appl. Phys. 47, 193001, 2014.

[274] Electronics using hybrid-molecular and mono-molecular devices, C.

Joachim, et.al., Nature, volume 408, pages 541–548, 2000.

[275] The Genesis of Molecular Electronics, R. Lloyd Carroll and

Christopher B. Gorman, Angew. Chem. Int. Ed., 41, 4378 ± 4400,
2002.

[276] Molecular Electronics, James R. Heath, Annu. Rev. Mater. Res.,

39:1–23, 2009.

[277] Molecular Electronics, Chad A. Mirkin and Mark A. Ratner, Annu.

Rev. Phys. Chern., 43: 7/9-54, 1992.

116
[278] Wearable sensors based on colloidal nanocrystals, Woo Seok Lee,
et.al., Nano Convergence, 6:10, 2019.

[279] Solvothermally grown Ce3+ -doped Y3Al5O12 colloidal nanocrystals:

spectral variations and white LED characteristics, Ho-June Byun,
et.al., J. Phys. D: Appl. Phys. 43, 195401, 2010.

[280] Infrared-Emitting Colloidal Nanocrystals: Synthesis, Assembly,

Spectroscopy, and Applications, Andrey L. Rogach, et.al., Small, 3,
No. 4, 536 – 557. 2007.

[281] A mechanical Turing machine: blueprint for a biomolecular computer,

Ehud Shapiro, Interface Focus, 2, 497–503, 2012.

[282] Programmable and autonomous computing machine made of

biomolecules, Yaakov Benenson, et.al., Nature, volume 414,
pages430–434, 2001.

[283] Detection of Multiple Disease Indicators by an Autonomous

Biomolecular Computer, Binyamin Gil, et.al., Nano Lett., 11, 2989–
2996, 2011.

[284] Nanobilgisayarlara Doğru, Bilim ve Teknik Dergisi, s.4-5, Aralık

2001.

[285] Biomolecular computer: roots and promises, Nicholas G. Rambidi,

BioSystems 44, 1–15, 1997.

[286] Solution of a 20-Variable 3-SAT Problem on a DNA Computer,

Ravinderjit S. Braich, et.al., Science, Vol. 296, Issue 5567, pp. 499-
502, 2002.

[287] https://interestingengineering.com/all-you-need-to-know-about-solar-
powered-cars

[288] https://en.wikipedia.org/wiki/Sono_Motors_Sion

[289] https://tr.wikipedia.org/wiki/Solar_Impulse

[290] Advances in the application of nanotechnology in enabling a

‘hydrogen economy’, Uttara Sahaym, M. Grant Norton, J Mater Sci,
43:5395–5429, 2008.

[291] Nanotechnology for sustainable energy, Elena Serrano, et.al.,

Renewable and Sustainable Energy Reviews 13, 2373–2384, 2009.

[292] Green nanotechnology of trends in future energy:a review, Kelvii Wei

Guo, Int. J. Energy Res. 2012; 36:1–17, 2011.

117
[293] Size effects on the hydrogen storage properties of nanostructured
metal hydrides: A review, Vincent Be´rube, et.al., Int. J. Energy Res.,
31:637–663. 2007.

[294] Nanotechnology for photolytic hydrogen production: Colloidal anodic

oxidation, James P.Best, Dave E.Dunstan, International Journal of
Hydrogen Energy, Volume 34, Issue 18, Pages 7562-7578, 2009.

[295] The role of nanotechnology in the development of battery materials

for electric vehicles, Jun Lu, et.al., Nature Nanotechnology, Vol
11,2016.

[296] Charging graphene for energy, Jun Liu, Nature Nanotechnology

volume 9, pages739–741, 2014.

[297] A phosphorene–graphene hybrid material as a high-capacity anode

for sodium-ion batteries, Jie Sun, et.al., Nature Nanotechnology, Vol
10,2015.

[298] High-power lithium batteries from functionalized carbon-nanotube

electrodes, Seung Woo Lee, et.al., Nature Nanotechnology, Vol
5,2010.

[299] Implementation of nanotechnology in fuel cells, G. Karthik Pandiyan,

T. Prabaharan, Materials Today: Proceedings 33, 2681–2685, 2020.

[300] Future nanotechnology developments for automotive applications,

Hartmut Presting, Ulf Konig, Materials Science and Engineering C 23,
737 – 741, 2003.

[301] Investigation of nickel‐63 radioisotope‐powered GaN betavoltaic

nuclear battery, S. Aydin, E. Kam, Int J Energy Res., 43:8725–8738,
2019.

[302] Nano-Nuclear Batteries, Mark Paulson,

http://tahan.com/charlie/nanosociety/course201/nanos/MPnuke.pdf

[303] Bio‐Nanotechnology in High‐Performance Supercapacitors, Yunqiang

Zhang, et.al., Adv. Energy Mater., 7, 1700592, 2017.

[304] High power density supercapacitors using locally aligned carbon

nanotube electrodes, Chunsheng Du, et.al., Nanotechnology, Volume
16, Number 4, 2005.

[305] Carbon Nanocages as Supercapacitor Electrode Materials, Ke Xie,

et.al., Adv. Mater., 24, 347–352, 2012.

[306] Kendi Enerjisini Üreten Nanoteknoloji, Bilim ve Teknik Dergisi, s.74-

77, Kasım 2008.

118
[307] High-Strength Internal Cross-Linking Bacterial Cellulose-Network-
Based Gel Polymer Electrolyte for Dendrite-Suppressing and High-
Rate Lithium Batteries, Dong Xu, et.al., ACS Appl. Mater. Interfaces,
10, 17809−17819, 2018.

[308] An Overview of Bacterial Cellulose in Flexible Electrochemical Energy

Storage, Wen Lei, et.al., ChemSusChem, 13, 3731 – 3753 , 2020.

[309] Innovations in nanotechnology for water treatment, Ilka Gehrke, et.al.,

Nanotechnology, Science and Applications, 8 1–17, 2015.

[310] Nanotechnology and Water Treatment: Applications and Emerging

Opportunities, J. Theron, et.al., Critical Reviews in Microbiology,
34:43–69, 2008.

[311] Nanotechnology for Water Treatment, Suvardhan Kanchi, J Environ

Anal Chem, 1:2, 204, 2014.

[312] Nanotechnology Applications to Desalination: A Report for the Joint

Water Reuse and Desalination Task Force, T.M. Mayer, P.V. Brady
and R.T. Cygan, Sandia National Laboratories, 2011.

[313] Role of nanotechnology in water treatment and purification: Potential

applications and implications, Sayan Bhattacharya, et.al.,
International Journal of Chemical Science and Technology, 3(3): 59-
64, 2013.

[314] Nanotechnology based Mega Machine Design for Large Scale Air
Cleaning – Prospects and Challenges, Shubhrajyotsna Aithal, P. S.
Aithal, International Journal of Case Studies in Business, IT, and
Education (IJCSBE), 4(2), 250-269, 2020.

[315] Status and challenges in photocatalytic nanotechnology for cleaning

air polluted with volatile organic compounds: visible light utilization
and catalyst deactivation, Seunghyun Weon, et.al., Environ. Sci.:
Nano, 6, 3185–3214, 2019.

[316] Environmental Pollution and Nanotechnology, Poorva Mehndiratta,

et.al., Environment and Pollution; Vol. 2, No. 2; 2013.

[317] Nanoscience and Nanotechnology: Assessing the Nature of

Innovation in These Fields, Michael D. Mehta, Bulletin of Science,
Technology & Society, Vol. 22, No. 4, 269-273, 2002.

[318] Bionanotechnology to Save the Environment, Edited by Pierfrancesco

Morganti, ISBN 978-3-03842-693-6, 2019.

[319] Nanotechnology: An Innovative Way for Wastewater Treatment and

Purification, Muhammad Rafique, Muhammad Bilal Tahir, Iqra Sadaf,
Springer, ISBN 978-3-030-02381-2, 2019.

119
[320] Microbial enzymes for the recycling of recalcitrant petroleum-based
plastics: how far are we?, Ren Wei and Wolfgang Zimmermann, ,
Microbial Biotecnology, 10, 1308–1322, 2017.

[321] Waste Minimization and Molecular Nanotechnology: Toward Total

Environmental Sustainability, Tarek A. Kassim, Handb Environ Chem
Vol. 5, Part F, Vol. 3, 191– 229, 2005.

[322] Nanotechnologies in water and air pollution treatment, Ian Sofian

Yunus, et.al., Environmental Technology Reviews Vol. 1, No. 1, 136–
148, 2012.

[323] Controlling measures of micro-plastic and nano pollutants: A short

review of disposing waste toners, Jujun Ruan, et.al., Environment
International 118, 92–96, 2018.

[324] Nanotechnology for bioplastics: opportunities, challenges and

strategies, Jose M. Lagaron, Amparo Lopez-Rubi, Trends in Food
Science & Technology Volume 22, Issue 11, Pages 611-617, 2011.

[325] Applications of nanotechnology in agriculture and water quality

management, Nandita Dasgupta, et.al., Environmental Chemistry
Letters volume 15, pages591–605, 2017.

[326] Nanomaterials and nanotechnologies in n, et.al.uclear energy

chemistry, W.-Q. Shi, et.al., Radiochim. Acta 100, 727–736, 2012.

[327] Environmental application of nanotechnology: air, soil, and water,

Rusul Khaleel Ibrahim, et.al., Environmental Science and Pollution
Research volume 23, pages13754–13788, 2016.

[328] Advances in nanotechnology and antibacterial properties of

biodegradable food packaging materials, Heba Mohamed Fahmy,
et.al., RSC Adv., 10, 20467–20484, 2020.

[329] Recent trends of Biodegradable polymer: Biodegradable films for

Food Packaging and application of Nanotechnology in Biodegradable
Food Packaging, Malathi A. N., et.al., Current Trends in Technology
and Science, Volume : 3, Issue : 2, 2014.

[330] The development of regulations for food nanotechnology, Chi-Fai

Chau, et.al., Trends in Food Science & Technology 18, 269-280,
2007.

[331] The Applications of Nanotechnology in Food Industry Ladan Rashidi,

Kianoush Khosravi-Darani, Critical Reviews in Food Science and
Nutrition, 51:723–730, 2011.

120
[332] Nanotechnology in agri-food production: an overview, Bhupinder
Singh Sekhon , Nanotechnology, Science and Applications, 7 31–53,
2014.

[333] Nanotechnology in agriculture: prospects and constraints, Siddhartha

S Mukhopadhyay, Nanotechnology, Science and Applications, 7 63–
71, 2014.

[334] Nanotechnology in Agri-Food Sector, Avnesh Kumari, Sudesh Kumar

Yadav, Critical Reviews in Food Science and Nutrition, 54:975–984,
2014.

[335] Nanotechnology and its challenges in the food sector: a review, P.

Kumar, et.al., Materials Today Chemistry 17, 100332, 2020.

[336] Nanotechnology in Sustainable Agriculture: Recent Developments,

Challenges, and Perspectives, Ram Prasad, et.al., Frontiers in
Microbiology, Volume 8 | Article 1014, 2017.

[337] Nanotechnologies in Food and Meat Processing, Lech Ozimek, et.al.,

Acta Sci. Pol., Technol. Aliment. 9(4), 401-412, 2010.

[338] The current application of nanotechnology in food and agriculture,

Xiaojia He, et.al., Journal of Food and Drug Analysis, 2 7, 1- 2 1,
2019.

[339] Functional Materials in Food Nanotechnology, Jochen Weiss, Jornal

of Food Science, Vol. 71, Nr. 9, 2006.

[340] Nanotechnology: The new perspective in precision agriculture,

Joginder Singh Duhan, et.al., Biotechnology Reports 15, 11–23,
2017.

[341] Analytical nanotechnology for food analysis, Mayra Granda Valdés,

et.al., Microchim Acta, 166:1–19, 2009.

[342] How Will Nanotechnology Affect Agricultural Supply Chains, Jianjun

Lu and Marcus Bowles, International Food and Agribusiness
Management Review, Volume 16, Issue 2, 2013.

[343] Scoping reports on emerging food technologies – nanotechnology,

Larsen N, Meade S., The New Zealand Institute for Plant & Food
Research, 2009.

[344] Nanotechnology for the Food and Bioprocessing Industries, Suresh

Neethirajan, Digvir S. Jayas, Food Bioprocess Technol, 4:39–47,
2011.

121
[345] Gıda ve Tarım Sektöründe Nanoteknoloji, Nazire Yürekli Yüksel,
Tarımsal Ekonomi ve Politika Geliştirme Enstitüsü, TEPGE BAKIŞ ,
ISSN: 1303–8346 / Nüsha: 2, Temmuz 2011.

[346] Nanoteknoloji ve Gıda Sanayinde Uygulama Alanları, Kahraman

Alper Yalçın, Yüksek Lisans Tezi, Namık Kemal Üniversitesi, Gıda
Mühendisliği Anabilim Dalı, 2010.

[347] Nanoteknolojinin Gıda Bilim ve Teknolojisi Alanındaki Uygulamaları,

Özgür Tarhan, Vural Gökmen, Şebnem Harsa, GIDA, 35 (3) 219-225,
2010.

[348] Nanoemülsionlar: Oluşumları, Yapıları ve Kolloidal Salınım Sistemleri

Olarak Gıda Sektöründe Kullanım Alanları, Hülya İlyasoğlu, Sedef
Nehir El, GIDA, 35 (2): 143-150, 2010.

[349] Nanotechnology in Agroecosystem: Implications on Plant Productivity

and its Soil Environment, Sanjog T Thul, et.al., Expert Opin Environ
Biol, 2:1, 2013.

[350] Nanotechnology for parasitic plant control, Alejandro Perez-de-Luque

and Diego Rubiales, Pest Manag Sci, 65: 540–545, 2009.

[351] An Overview on Application of Nanotechnology in Construction

Industry, Patel Abhiyan S., et.al., International Journal of Innovative
Research in Science, Engineering and Technology, Vol. 2, Issue 11,
November 2013.

[352] Application of nanotechnology in construction, W. Zhu, et.al.,

Materials and Structures, Vol. 37, pp 649-658, 2004.

[353] Nanotechnology: Advantages and drawbacks in the field of

construction and building materials, F. Pacheco-Torgal, Said Jalali,
Construction and Building Materials 25, 582–590, 2011.

[354] Applications of Nanotechnology and Nanomaterials in Construction,

Zhi Ge, Zhili Gao, First International Conference on Construction In
Developing Countries (ICCIDC–I), “Advancing and Integrating
Construction Education, Research & Practice” Karachi,, Pakistan,
August 4-5, 2008.

[355] Mimaride Nano Kaplamaların Kullanımı, Nilhan Vural, Semih Yılmaz,

Ege Mimarlık, Nisan 2015.

[356] Nanotechnology-A New Prospective in Organic Coating - Review,

A.Mathiazhagan and Rani Joseph, International Journal of Chemical
Engineering and Applications, Vol. 2 , No. 4 , August 2011.

[357] Cement and Concrete Nanoscience and Nanotechnology, Laila Raki,

et.al., Materials, 3, 918-942, 2010.

122
[358] Electrophoretic deposition: From traditional ceramics to
nanotechnology, Ilaria Corni, et.al., Journal of the European Ceramic
Society 28, 1353–1367, 2008.

[359] Nanotechnology in concrete – A review, Florence Sanchez,

Konstantin Sobolev, Construction and Building Materials 24, 2060–
2071, 2010.

[360] Boya Duyarlı Güneş Gözeleri Yeni ve Daha Ucuz Teknolojiler, Bilim
ve Teknik, 58-60, Haziran 2011.

[361] İnşaat Sektöründe Sürdürülebilirlik: Yeşil Binalar ve Nanoteknoloji

Stratejileri, Başak Candemir, Berna Beyhan, Selçuk Karaata, İMSAD
Yayon No: İMSAD-R/2012-11/374, TÜSİAD Yayı No: TÜSİAD-
T/2012-10/533, Kasım 2012.

[362] Chemistry and applications of nanocrystalline cellulose and its

derivatives: A nanotechnology perspective, B. L. Peng, et.al., The
Canadian Journal of Chemical Engineering, Volume 89, 2011.

[363] Nanotechnology and its applications in lignocellulosic composites, a

mini review, S. Kamel, eXPRESS Polymer Letters Vol.1, No.9, 546–
575, 2007.

[364] Nanomaterials and nanotechnology for high-performance cement

composites, Konstantin Sobolev, et.al., Proceedings of ACI Session
on “Nanotechnology of Concrete: Recent Developments and Future
Perspectives” Denver, USA, November 7, 2006.

[365] Carbon nanotube/cement composites – early results and potential

applications, Makar, J.; Margeson, J.; Luh, J., NRC Publications
Archive, NRCC-47643, 3rd International Conference on Construction
Materials: Performance, Innovations and Structural Implications,
Vancouver, B.C., pp. 1-10, Aug. 22-24, 2005.

[366] Nanotechnology in Cement-Based Materials: A Review of Durability,

Modeling, and Advanced Characterization, Sen Du, Junliang Wu,
et.al., Nanomaterials, 9, 1213, 2019.

[367] https://www.nanowerk.com/nanotechnology-in-cosmetics.php

[368] Application of Nanotechnology in Cosmetics, Li Mu, Robert L.

Sprando, Pharm Res, 27:1746–1749, 2010.

[369] Nanotechnology-Based Cosmeceuticals, Alka Lohani, et.al., Hindawi

Publishing Corporation, Article ID 843687, 14 pages, 2014.

123
[370] Nanotechnology in cosmetics: Opportunities and challenges, Silpa
Raj, et.al., Journal of Pharmacy and Bioallied Sciences, Vol 4 Issue 3,
2012.

[371] Grey Goo on the Skin? Nanotechnology, Cosmetic and Sunscreen

Safety, Gerhard J. Nohynek, et.al., Critical Reviews in Toxicology,
37:251–277, 2007.

[372] Use and potential of nanotechnology in cosmetic dermatology,

Pierfrancesco Morganti, Clinical, Cosmetic and Investigational
Dermatology, 3 5–13, 2010.

[373] Application Challenges in Fiber and Textile Electronics, Lie Wang,

Xuemei Fu, et.al., Adv. Mater., 32, 1901971, 2020.

[374] Geotextile: It's application to civil engineering-Overview, Dr. Bipin J

Agrawal, National Conference on Recent Trends in Engineering &
Technology, B.V.M. Engineering College, V.V.Nagar,Gujarat,India,
13-14 May 2011.

[375] Critical Review on Smart Clothing Product Development, MinYoung

Suh, Katherine E. Carroll, Nancy L. Cassill, JTATM, Vol 6, No 4,
2010.

[376] Antibacterial Cotton Fabric Functionalized with Copper Oxide

Nanoparticles, Luz E. Román, et.al., Molecules, 25, 5802, 2020.

[377] An Overview on Surface Modification of Cotton Fiber for Apparel Use,

M. Mahbubul Bashar, Mubarak A. Khan, J Polym Environ, 21:181–
190, 2013.

[378] Surface Modification of Cotton Fiber, Derseh Yilie limeneh and Kelem
Tiessasie Yilma, Journal of Textile Science & Fashion Technology,
Volume 5-Issue 5, 2020.

[379] A Review on NBC Body Protective Clothing, M. Boopathi, et.al., The

Open Textile Journal, 1, 1-8, 2008.

[380] An overview of smart technologies for clothing design and

engineering, S. Lam Po Tang and G. K. Stylios, International Journal
of Clothing Science and Technology, Vol. 18 No. 2, pp. 108-128,
2006.

[381] Application of nanotechnology in sports clothing and flooring for

enhanced sport activities, performance, efficiency and comfort: a
review, Tina Harifi and Majid Montazer, Journal of Industrial Textiles,
Vol. 46(5) 1147–1169, 2017.

[382] Modern Applications of Nanotechnology in Textiles A.P.S. Sawhney,

et.al., Textile Research Journal Vol 78(8): 731–739, 2008.

124
[383] Selected application of nanotehnology in textiles, Y. W. H. Wong,
et.al., AUTEX Research Journal, Vol. 6, No 1, March 2006.

[384] Application of nanotechnology in textile engineering: An overview, J.

K. PATRA and S. GOUDA, Journal of Engineering and Technology
Research, Vol. 5(5), pp. 104-111, June 2013.

[385] Nanoteknoloji ve Tekstil Uygulamaları (Bölüm 1), Esen ÖZDOĞAN,

vd., TEKSTİL ve KONFEKSİYON 3/2006.

[386] Nanoteknoloji ve Tekstil Uygulamaları (Bölüm 2), Esen ÖZDOĞAN,

vd., TEKSTİL ve KONFEKSİYON 4/2006.

[387] Nanoteknoloji ve Tekstil Sektöründeki Uygulamaları (Nano Tekstiller),

Cem Güneşoğlu, Mühendis ve Makina, Cilt: 50, Sayı: 591,
https://www.mmo.org.tr/sites/default/files/388bd976685064b_ek.pdf

[388] Akıllı Kumaşlar Hayatımızda, Nanoteknoloji Tekstilin Emrinde, Bilim

ve Teknik, 1 Aralık 2006.

[389] Nanoteknoloji ile üretilen akıllı tekstiller ve tüketici beklentilerinin

belirlenmesine yönelik bir araştırma, H.Fatma Şener, Fatma Bulat,
http://www.sdergi.hacettepe.edu.tr/makaleler/nanotekstil.pdf, 2008.

[390] The Handbook of Nanomedicine, Kewal K. Jain, Springer, ISBN 978-

1-4939-6966-1, 2017.

[391] Nanotechnology in clinical laboratory diagnostics, Kewal K. Jain,

Clinica Chimica Acta 358, 37–54, 2005.

[392] Nanomicrobiology, David Alsteens, et.al., Nanoscale Res Lett, 2:365–

372, 2007.

[393] Antimicrobial applications of nanotechnology: methods and literature,

Justin T Seil, Thomas J Webster, International Journal of
Nanomedicine, 7, 2767–2781, 2012.

[394] Applications of nanotechnology for immunology, Douglas M. Smith,

et.al., Nature Reviews, Immunology, Volume 13, 2013.

[395] Carboxyfullerenes as neuroprotective agents, Laura L. L. Dugan,

et.al., Proc. Natl. Acad. Sci. USA Vol. 94, pp. 9434–9439, August
1997.

[396] Nanotechnology-Based Vaccines for Allergen-Specific

Immunotherapy: Potentials and Challenges of Conventional and
Novel Adjuvants under Research, Litty Johnson, et.al., Vaccines, 8,
237, 2020.

125
[397] The future of the artificial kidney: moving towards wearable and
miniaturized devices, C. Ronco, et.al., Nefrologia, 31(1):9-16, 2011.

[398] Toward the wearable artificial kidney, Claudio Ronco, et.al.,

Hemodialysis International, 12:S40–S47, 2008.

[399] Nano neuro knitting: Peptide nanofiber scaffold for brain repair and
axon regeneration with functional return of vision, Rutledge G. Ellis-
Behnke, et.al., PNAS, vol. 103, no. 13, March 28, 2006.

[400] Application of carbon nanotubes in neurology: clinical perspectives

and toxicological risks, Antonio Nunes, et.al., Arch Toxicol, 86:1009–
1020, 2012.

[401] Nanotechnology in neurology: Genesis, current status, and future

prospects, Paurush Ambesh and Daniel Gregory Angeli, Ann Indian
Acad Neurol., 18(4): 382–386, 2015.

[402] What impact will nanotechnology have on neurology?, Gabriel A

Silva, Nature Clinical Practice Neurology volume 3, pages180–181,
2007.

[403] Nanomaterials for Neurology: State-of-the-Art, María Fernanda Veloz

Castillo, et.al., CNS & Neurological Disorders - Drug Targets
(Formerly Current Drug Targets - CNS & Neurological Disorders),
Volume 15, Number 10, pp. 1306-1324(19), 2016.

[404] Retina implant—a bioMEMS challenge, Jörg-Uwe Meyer, Sensors

and Actuators A: Physical Volumes 97–98, Pages 1-9, 2002.

[405] Flexible Neural Electrode Arrays With Switch-Matrix Based on a

Planar Silicon Process, Akifumi Fujishiro, et.al., IEEE Electron
Device Letters, Volume: 35, Issue: 2, Feb. 2014.

[406] Three-dimensional multichannel Si microprobe electrode array chip

for analysis of the nervous system, T. Kawano, et.al., IEDM Technical
Digest. IEEE International Electron Devices Meeting, 2004.

[407] In vivo neuronal action potential recordings via three-dimensional

microscale needle-electrode arrays, Akifumi Fujishiro, et.al., Scientific
Reports volume 4, Article number: 4868, 2014.

[408] Mammalian Near-Infrared Image Vision through Injectable and Self-

Powered Retinal Nanoantennae, Yuqian Ma, et.al., Cell 177, 243–
255, April 4, 2019.

[409] Multi-electrode array technologies for neuroscience and cardiology,

Micha E. Spiraand Aviad Hai, Nature Nanotechnology, Vol 8, 2013.

126
[410] Inhaled nano- and microparticles for drug delivery, Ibrahim M. El-
Sherbiny, et.al., Global Cardiology Science and Practice, Volume
2015, Issue 1, February 2015.

[411] Drug Encapsulated Nanomaterials as Carriers Used in Cardiology

Field, Alina Costina Luca, et.al., Rev. Chim., 71, no. 2, 2020.

[412] Nano-Oncology: Clinical Application for Cancer Therapy and Future

Perspectives, Cristina Riggio, et.al., Hindawi Publishing Corporation
Journal of Nanomaterials, Volume 2011, Article ID 164506, 10 pages,
2011.

[413] Nano-oncology: drug delivery, imaging, and sensing, Nathaniel G.

Portney, Mihrimah Ozkan, Anal Bioanal Chem, 384: 620–630, 2006.

[414] Natural Metallic Nanoparticles for Application in Nano-Oncology,

Edouard Alphandéry, Int. J. Mol. Sci., 21, 4412, 2020.

[415] Nanotechnology in Radiation Oncology, Andrew Z. Wang and Joel E.

Tepper, J Clin Oncol., 32(26): 2879–2885, 2014.

[416] Vectors for Inhaled Gene Therapy in Lung Cancer. Application for
Nano Oncology and Safety of Bio Nanotechnology, Paul Zarogouldis ,
et.al., Int. J. Mol. Sci., 13, 10828-10862, 2012.

[417] Nanotechnology Applications in Surgical Oncology, Sunil Singhal,

et.al., Annual Review of Medicine, Vol. 61:359-373, 2010.

[418] Nanotechnology, nanomedicine and nanosurgery, International

Journal of Surgery, doi:10.1016/j.ijsu.2005.10.007, 2005.

[419] Mechanisms of femtosecond laser nanosurgery of cells and tissues,

A. Vogel, et.al., Applied Physics B volume 81, pages1015–1047,
2005.

[420] Plasmonics for pulsed-laser cell nanosurgery: Fundamentals and

applications, E. Boulais, et.al., Journal of Photochemistry and
Photobiology C: Photochemistry Reviews 17, 26–49, 2013.

[421] In vivo multiphoton nanosurgery on cortical neurons, Leonardo

Sacconi, et.al., J. of Biomedical Optics, 12(5), 050502, 2007.

[422] ‘Nanodentistry’: Exploring the beauty of miniature, Rita Chandki,

et.al., J Clin Exp Dent., 4(2):e119-24, 2012.

[423] Nanodentistry: Is just a fiction or future, Himanshu Aeran, et.al.,

Journal of Oral Biology and Craniofacial Research Volume 5, Issue 3,
Pages 207-211, 2015.

127
[424] Nanodentistry: New buzz in dentistry, Madhurima Mikkilineni, et.al.,
European Journal of General Dentistry, Vol 2, Issue 2, May-August
2013.

[425] Understanding Nano-Anatomy of Healthy and Carious Human Teeth:

a Prerequisite for Nanodentistry, Sebastian Gaiser, et.al.,
Biointerphases 7, 4, 2012.

[426] Applications of nanotechnology in orthodontics and its future

implications: A review, Deepti Govindankutty, International Journal of
Applied Dental Sciences, 1(4): 166-171, 2015.

[427] Nanotechnology and Its Applications in Dentistry, S A P Rasheed,

et.al., International Journal of Advanced Health Sciences, Vol 2, Issue
9, January 2016.

[428] An application of nanotechnology in advanced dental materials,

Sumita B.Mitra, et.al., JADA, Vol. 134, 2003.

[429] Nanotechnology and its Application in Dentistry, Abiodun‐Solanke

IMF, et.al., Annals of Medical and Health Sciences Research, Vol 4,
Special Issue 3, 2014.

[430] Nanotechnology in dentistry, Saravana Kumar R , Vijayalakshmi

Rajaram, Ind J Dent Res 17(2): 62-65, 2006.

[431] Nanotechnology and Tissue Engineering: The Scaffold Based

Approach, Lakshmi S. Nair, Subhabrata Bhattacharyya, and Cato T.
Laurencin, Nanotechnologies for the Life Sciences Vol. 9, ISBN: 3-
527-31389-3, 2006.

[432] Growth of human stem cell-derived neurons on solid three-

dimensional polymers, M.W. Hayman, et.al., J. Biochem. Biophys.
Methods 62, 231–240, 2005.

[433] Selective Differentiation of Neural Progenitor Cells by High–Epitope

Density Nanofibers Gabriel A. Silva, et.al., Sciemce Vol 303, 2004.

[434] Nanotechnology and nanomaterials: Promises for improved tissue

regeneration, Lijie Zhang, Thomas J. Webster, Nano Today, 4, 66—
80, 2009.

[435] Self-Assembled Rosette Nanotube/Hydrogel Composites for Cartilage

Tissue Engineering, Yupeng Chen, B.S., et.al., Tissue Engineering ,
Part C, Volume 16, Number 6, 2010.

[436] Nanotechnology for tissue engineering: Need, techniques and

applications, J. Danie Kingsley, et.al., Journal of Pharmacy Research
Volume 7, Issue 2, Pages 200-204, 2013.

128
[437] Emerging nanotechnology approaches in tissue engineering for
peripheral nerve regeneration, Carla Cunha, et.al., Nanomedicine:
Nanotechnology, Biology, and Medicine 7, 50–59, 2011.

[438] Nanotechnology in Drug Delivery and Tissue Engineering: From

Discovery to Applications, Jinjun Shi, et.al., Nano Lett., 10, 3223–
3230, 2010.

[439] Nanomaterials and nanotechnology for skin tissue engineering,

Aezeden Mohamed, Malcolm (Mengqiu) Xing, Int J Burn Trauma,
2(1):29-41, 2012.

[440] Osteoblast adhesion on nanophase ceramics, Thomas J. Webster,

et.al., Biomaterials 20, 1221}1227, 1999.

[441] Nanotechnology for bone materials, Nhiem Tranand Thomas J.

Webster, WIREs Nanomedicine and Nanobiotechnology, Volume 1,
May/ June 2009.

[442] Present status and future potential of enhancing bone healing using
nanotechnology, George Stylios, et.al., Injury, Int. J. Care Injured,
38S1, S63—S74, 2007.

[443] Nanotechnology in orthopedics: a clinically oriented review, Walter

Ryan Smith, et.al., BMC Musculoskeletal Disorders, 19:67, 2018.

[444] Targeted nanotechnology for cancer imaging, Randall Toy, et.al.,

Advanced Drug Delivery Reviews 76, 79–97, 2014.

[445] Nanotechnology in cancer diagnosis: progress, challenges and

opportunities, Ye Zhang, et.al., Zhang et al. Journal of Hematology &
Oncology, 12:137, 2019.

[446] Nanotech approaches to drug delivery and imaging, Sanjeeb K.

Sahoo and Vinod Labhasetwar, Drug Discovery Today, Volume 8,
Issue 24, 15, Pages 1112-1120, 2003.

[447] Nanotechnology and Diagnostic Imaging: New Advances in Contrast

Agent Technology, Joshua E. Rosen, et.al., J Nanomedic
Nanotechnol, 2:5, 2011.

[448] Application of Nanotechnology in Cancer Therapy and Imaging, Xu

Wang, et.al., CA: A Cancer Journal for Clinicians, 58:97–110, 2008.

[449] Interactions of nanomaterials and biological systems Implications to

personalized nanomedicine, Xue-Qing Zhang, et.al., Advanced Drug
Delivery Reviews 64, 1363–1384, 2012.

129
[450] Sustained Cytoplasmic Delivery of Drugs with Intracellular Receptors
Using Biodegradable Nanoparticles, Jayanth Panyam and Vinod
Labhasetwar, Molecular Pharmaceutics, Vol. 1, No. 1, 2003.

[451] Ibuprofen-loaded nanoparticles prepared by a co-precipitation method

and their release properties, Bingbing Jiang, et.al., International
Journal of Pharmaceutics 304, 220–230, 2005.

[452] Nanoparticle Technology for Delivery of Drugs Across the Blood-

Brain Barrier, Ulrike Schroeder, et.al., Journal of Pharmaceutical
Sciences, Vol. 87, No. 11, November 1998.

[453] Magnetic Iron Oxide Nanoworms for Tumor Targeting and Imaging,
Ji-Ho Park, et.al., Adv. Mater., 20, 1630–1635, 2008.

[454] Nanoparticles functionalized with supramolecular host–guest systems

for nanomedicine and healthcare, Ying-Wei Yang, Yuebing Zheng,
Nanomedicine (Lond.), 10(9), 1493–1514, 2015.

[455] Synthesis and surface functionalization of silica nanoparticles for

nanomedicine, Alexander Liberman, et.al., Surface Science Reports,
69, 132–158, 2014.

[456] Comparison of Nanogel Drug Carriers and their Formulations with

Nucleoside 50-Triphosphates, Serguei V. Vinogradov, et.al.,
Pharmaceutical Research, Vol. 23, No. 5, May 2006.

[457] Impact of Nanotechnology on Drug Delivery, Omid C. Farokhzad and

Robert Langer, ACSNANO, Vol. 3, No.1, 2009.

[458] Nanotechnology in ocular drug delivery, Sanjeeb K. Sahoo, et.al.,

Drug Discovery Today, Volume 13, Numbers 3/4, February 2008.

[459] Carrying drugs, Katherine Bourzac, Nature, Vol 491, 22 November

2012.

[460] Nanomedicines for Cancer Therapy: An Update of FDA Approved

and Those under Various Stages of Development, Gopalakrishna
Pillai, SOJ Pharm Pharm Sci, 1(2), 13, 2014.

[461] Applications of magnetic nanoparticles in biomedicine, Q A

Pankhurst, et.al., J. Phys. D: Appl. Phys. 36, R167–R181, 2003.

[462] Magnetic fluid and nanoparticle applications to nanotechnology,

Markus Zahn, Journal of Nanoparticle Research 3: 73–78, 2001.

[463] Nanotechnology and biosensors, Chen Jianrong, et.al., Biotechnology

Advances 22, 505–518, 2004.

130
[464] Transparent, Flexible, All-Reduced Graphene Oxide Thin Film
Transistors, Qiyuan He, et.al., ACSNANO, Vol. 5, No. 6, 5038–5044 ,
2011.

[465] Reduction of Graphene Oxide via Bacterial Respiration, Everett C.

Salas, et.al., ACSNANO, Vol. 4, No. 8, 4852–4856, 2010.

[466] Convergence of Quantum Dot Barcodes with Microfluidics and Signal

Processing for Multiplexed High-Throughput Infectious Disease
Diagnostics, Jesse M. Klostranec, et.al., Nano Lett., Vol. 7, No. 9,
2007.

[467] Nanoparticle-Based Bio–Bar Codes for the Ultrasensitive Detection of

Proteins, Jwa-Min Nam, et.al., Science, Vol 301, 2003.

[468] Nanoparticle-based bio-barcode assay redefines ‘‘undetectable’’ PSA

and biochemical recurrence after radical prostatectomy, C. Shad
Thaxton, et.al., PNAS, vol. 106, no. 44, 2009.

[469] Immediate Detection of Living Bacteria at Ultralow Concentrations

Using a Carbon Nanotube Based Potentiometric Aptasensor,
Gustavo A. Zelada-Guilln, et.al., Angew. Chem. Int. Ed., 48, 7334 –
7337, 2009.

[470] Localized Surface Plasmon Resonance Spectroscopy and Sensing

Katherine, A.Willets and Richard P. Van Duyne, Annu. Rev. Phys.
Chem., 58:267–97, 2007.

[471] Micro- and Nanocantilever Devices and Systems for Biomolecule

Detection Kyo Seon Hwang, et.al., Annu. Rev. Anal. Chem., 2:77–98,
2009.

[472] Origin of nanomechanical cantilever motion generated from

biomolecular interactions, Guanghua Wu, et.al., PNAS, vol. 98, no. 4,
2001.

[473] Bioassay of prostate-specific antigen (PSA) using microcantilevers,

Guanghua Wu, et.al., Nature Biotechnology, Volume 19, 2001.

[474] Magnetically optimized SERS assay for rapid detection of trace drug-
related biomarker sinsaliva and fingerprints, Tianxi Yang, et.al.,
Biosensors and Bioelectronics, 68, 350–357, 2015.

[475] A SERS-Based Sandwich Assay for Ultrasensitive and Selective

Detection of Alzheimer’s Tau Protein, Adem Zengin, et.al.,
Biomacromolecules, 14, 3001−3009, 2013.

[476] Nanorobotic Applications in Medicine: Current Proposals and

Designs, Yamaan Saadeh, B.S. and Dinesh Vyas, M.D, Am J Robot
Surg., 1(1): 4–11, 2014.

131
[477] Micro/Nanorobots for Biomedicine: Delivery, Surgery, Sensing, and
Detoxification, Berta Esteban Fernández de Ávila, et.al., Sci. Robot.
2, eaam6431, 2017.

[478] Design, architecture and application of nanorobotics in oncology,

Saxena S, et.al., Indian Journal of Cancer, Volume 52, Issue 2, 2015.

[479] Molecular biomimetics: nanotechnology through biology, Mehmet

Sarıkaya, et.al., Nature Materials, Vol 2, 2003.

[480] Nanorobot Hardware Architecture for Medical Defense, Adriano

Cavalcanti, et.al., Sensors, 8, 2932-2958, 2008.

[481] Nanorobots a future Device for Diagnosis and Treatment, Sarath

kumar S, et.al., Journal of Pharmacy and Pharmaceutics, J Pharm
Pharmaceutics 5(1): 44-49, 2018.

[482] Nanorobotics control: A pratical approach tutorial, Adriano Cavalcanti,

et.al., DETC2004, ASME Design Engineering Technical Conferences,
28th Biennial Mechanisms and Robotics Conference, Salt Lake City,
Utah, USA, September 28 to October 2, 2004.

[483] Chiral Nanotechnology, Jing Zhang, et.al., Chirality, 17:404–420,

2005.

[484] Chiral Nanoscience and Nanotechnology, Dibyendu S. Bag, et.al.,

Defence Science Journal, Vol. 58, No. 5, pp. 626-635, 2008.

[485] Self-assembly of mesoscopically ordered chromatic

polydiacetylene/silica nanocomposites, Yunfeng Lu, et.al., Nature, Vol
410, 2001.

[486] Hierarchical Self-Assembly for Nanomedicine, Kyle J. M. Bishop,

et.al., Angew. Chem. Int. Ed., 55, 1598 – 1600, 2016.

[487] From self-assembly fundamental knowledge to nanomedicine

developments, Maura Monduzzi, et.al., Advances in Colloid and
Interface Science 205, 48–67, 2014.

[488] DNA Self-assembly for Nanomedicine, Rahul Chhabra, et.al.,

Advanced Drug Delivery Reviews 62, 617–625, 2010.

[489] Toxic Potential of Materials at the Nanolevel, Andre Nel, et.al.,

Science, Vol. 311, Issue 5761, pp. 622-627, 2006.

[490] Principles for characterizing the potential human health effects from
exposure to nanomaterials: elements of a screening strategy, Günter
Oberdörster1, et.al., Particle and Fibre Toxicology, 2:8, 2005.

132
[491] Ultrafine particulate pollutants induce oxidative stress and
mitochondrial damage, Ning Li, et.al., Environmental Health
Perspectives, Volume 111, Number 4, April 2003.

[492] Visualizing the Uptake of C60 to the Cytoplasm and Nucleus of

Human Monocyte-Derived Macrophage Cells Using Energy-Filtered
Transmission Electron Microscopy and Electron Tomography,
Alexandra E. Porter, et.al., Environ. Sci. Technol., 41, 8, 3012–3017,
2007.

[493] Ultrafine Particles Cross Cellular Membranes by Nonphagocytic

Mechanisms in Lungs and in Cultured Cells, Marianne Geiser, et.al.,
Environmental Health Perspectives, Volume 113, Number 11,
November 2005.

[494] Micellar Nanocontainers Distribute to Defined Cytoplasmic

Organelles, Radoslav Savic, et.al., Science, Vol. 300, Issue 5619,
pp. 615-618, 2003.

[495] Cellular Toxicity of Carbon-Based Nanomaterials, Arnaud Magrez,

et.al., Nano Lett., 6, 6, 1121–1125, 2006.

[496] Immunomodulatory activity of zinc peroxide (ZnO2) and titanium

dioxide (TiO2) nanoparticles and their effects on DNA and protein
integrity, Stanely Makumire, et.al., / Toxicology Letters 227, 56–64,
2014.

[497] Toxicity of carbon nanotubes: A review, Arul Prakash Francis and

Thiyagarajan Devasena, Toxicology and Industrial Health, Vol. 34(3)
200–210, 2018.

[498] Nanoparticles and the Brain: Cause for Concern?, Günter

Oberdörster, et.al., J Nanosci Nanotechnol., 9(8): 4996–5007, 2009.

[499] Kinetics of gold nanoparticles in the human placenta, Päivi K.

Myllynen, et.al., Reproductive Toxicology 26, 130–137, 2008.

[500] Toxicity of CdSe Nanoparticles in Caco-2 Cell Cultures, Lin Wang,

et.al., Journal of Nanobiotechnology volume 6, Article number: 11,
2008.

[501] Ecotoxicology of carbon-based engineered nanoparticles: Effects of

fullerene (C60) on aquatic organisms, EvaOberdörster, et.al., Carbon
44, 1112–1120, 2006.

[502] Comparative Pulmonary Toxicity Assessment of Single-wall Carbon

Nanotubes in Rats, D. B. Warheit, et.al., Toxicological Sciences, 77,
117–125, 2004.

133
[503] Pulmonary Toxicity of Single-Wall Carbon Nanotubes in Mice 7 and
90 Days After Intratracheal Instillation, Chiu-Wing Lam, et.al.,
Toxicological Sciences, 77, 126–134, 2004.

[504] Molecular toxicity mechanism of nanosilver, Danielle McShan, et.al.,

Journal of Food and Drug Analysis, Volume 22, Issue 1, Pages 116-
127, 2014.

[505] Nanosilver toxicity: ions, nanoparticles—or both?, Naomi Lubick,

Environ. Sci. Technol., 42, 23, 8617, 2008.

[506] Impact of nanosilver on various DNA lesions and HPRT gene

mutations – effects of charge and surface coating, Anna Huk,
et.al.,Particle and Fibre Toxicology, 12:25, 2015.

[507] Adverse effects of nanosilver on human health and the environment,

Ehsan Rezvani, et.al., Acta Biomaterialia 94, 45–159, 2019.

[508] Nanoparticles – known and unknown health risks, Peter HM Hoet,

et.al., Journal of Nanobiotechnology, 2:12, 2004.

[509] Nanoparticles: Their potential toxicity, waste and environmental

management, Grazyna Bystrzejewska-Piotrowska, et.al., Waste
Management 29, 2587–2595, 2009.

[510] Remediating Polluted Soils Using Nanotechnologies: Environmental

Benefits and Risks, Gabriela Medina-Pérez, et.al., Pol. J. Environ.
Stud. Vol. 28, No. 3, 1-18, 2019.

[511] Nanotechnology, nanotoxicology, and neuroscience, Won Hyuk Suh,

et.al., Progress in Neurobiology, 87, 133–170, 2009.

[512] Nanotechnology risk assessment from a waste management

perspective: Are the current tools adequate?, Ndeke Musee, Human
and Experimental Toxicology, 30(8) 820–835, 2010.

[513] Nanotechnology recent developments, risks and opportunities,

Lloyd’s emerging risks team report,
https://www.lloyds.com/~/media/lloyds/reports/emerging-risk-
reports/er_nanotechnology_report.pdf, 2007.

[514] What Counts as a ‘Social and Ethical Issue’ in Nanotechnology?,

Bruce V. Lewenstein, International Journal for Philosophy of
Chemistry, Vol. 11, No. 1, 5-18, 2005.

[515] Nanotechnology and the need for risk governance, O. Renn and M.
C. Roco, Journal of Nanoparticle Research, 8: 153–191, 2006.

[516] Nanotechnology Safety Concerns Revisited, Stephan T. Stern and

Scott E. McNeil, Toxicological Sciences, 101(1), 4–21, 2008.

134
[517] The 5 principles of ‘‘Design for Safer Nanotechnology’’, Gregory
Morose, Journal of Cleaner Production, 1–5, 2009.

[518] Nanotechnology – A New Field of Ethical Inquiry?, Armin Grunwald,

Science and Engineering Ethics, 11, 187-201, 2005.

135