Flow Control System

200
第4回モノづ 7年
くり部
奨励賞受 品大 賞
賞
 ガス供給系のトータルソリューション

　　　　 のFCS は 200

第4回モノづ 7年

ながれ（流体）制御技術を
くり部
奨励賞受 品大 賞
賞

常にリードします

FCS®は、近年半導体プロセスにおいて、重要視されているエッチレートや
成膜レートの、安定性・再現性の確立を念頭に開発されました。
　
従来のマスフローコントローラ（MFC）
とは、その基本動作原理から異なり、
圧力を制御することによりMFCでは実現できない、高精度な流量制御を可
能にします。
　
ガス供給系での、圧力変動（ハンチング） やクロストークなど､プロセスの不
安定要素を克服し、限りなく安定した流量制御をお客様に提供致します。
　
また、最先端プロセスに相応しい高精度なスペックもFCS®の魅力のひとつ
です。
　
最高のパフォーマンスをお約束致します。

動作原理 内部構造 ( FCSP7000W )

FCS®は、
これまでのマスフローコントローラ(MFC)と違い、圧力で流量
を制御する新しい流量制御機器です。
制御回路

ピエゾ
コントロールバルブ
圧力センサ
P1: オリフィス上流側圧力
P2: オリフィス下流側圧力 圧力センサ P1
オリフィス
Flow Q : 流量 圧力センサ P2

P1 P2 P1 ≧ 約2P2 オリフィス
保護メッシュ
Q 1 = K 1P 1
（K1 = const.）

なぜ圧力を制御することにより、流量を制御できるかというと、一般にオ
リフィスを通過するガスの流量Qは、 オリフィスの上流側の絶対圧力を
P 1 、下流側の圧力をP 2とすると、P 1がP 2の2倍以上の圧力条件下で
は、 オリフィスを通過するガスの流速が音速となります。
つまり流 量はオリフィス部の速 度が 音 速で不 変であるため、圧力に
のみ比例するわけです。
この原理を臨界膨張条件といい、FCS®はこの原理を利用することに
より、 シンプルな構造であるにもかかわらず、高精度に流量を制御するこ
とが可能となりました。
シンプルな構造
FCS®の内部構造は、大変シンプルで、 かつデッドスペースレスな
構造です。
内部接ガス部を構成するパーツとしては、高速応答を可能にするピ
エゾコントロールバルブ、高精度の圧力センサ、特殊オリフィスから
なっており、さらにこれらのパーツをデジタル制御する高性能CPUを
搭載した制御回路などで構成されています。

1
特 長
1. 供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません
2. 応答時間が0.5 秒以下と早い
3. MGMR（マルチガス・マルチレンジ）機能搭載
4. 取り付け姿勢の影響を受けません （マウントポジションフリー）
5. 流量自己診断機能を搭載
6. ガス種を選びません 〔フローファクター（流量変換係数）の採用により、N 2校正のFCS®で様々なガス種に対応できます〕
7. RoHS対応（RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています）
供給圧力変動の影響は受けません
上流の圧力が変動した時、 マスフローコントローラ(MFC)の場合大きく
出力値が変動しますが、FCS®の場合まったく変動しません。
TEST フロー図
このバルブをON、OFFして上流圧変動
・供給圧力変動:
FCS®　 CH1=2V CH2=2V CH3=2V
供給圧力 PT 　284kPaG ⇔ 196kPaG
パージ ・FCS入力信号:
供給圧力 IN
　50％
N2 フローメータ
RG ・FCS設定流量:
FCS® 　150sccm
FCS®出力信号
真空ポンプ ・真空ポンプ排気速度：
出力信号 入力信号 ガス流量 　300L/min

FCS®信号モニタ
MFC CH1=2V CH2=2V CH3=2V

供給圧力 284kPaG　

MFC出力信号
196kPaG　
上流の
設定信号：50％ 供給圧力
圧力変動に
出力信号：50％ 入力信号
まったく影響
出力信号
そのため通常マスフローコントローラの上流側に取り付けられる、 レギュ 1s
ガス流量：150sccm
されない
ガス流量
レータをガスシステムから省くことができ
（0.89 MPa以下の場合）
ガスシステム 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
Time(sec)
のコストダウンと小型化を同時に達成することができます。

優れた精度 ガス供給ラインより
減圧弁取り外し可能！
誤差[％] 標準タイプの場合で、FCS®の
1.5
精 度は、フルスケール流 量の
1
精度がフルスケール±1％の場合の誤差範囲 10 ％以上の領域でセットポイ ガスラインのコストダウンが可能 ！
0.5
FCS®の範囲 ントの±1.0 ％S.P.以内、
フル
0
20 30 40 50 60 70 80 90 100
スケールの10 ％未満ではフル
－0.5 流量レンジ[％] スケールの±0.1 ％F.S.以内
（フルスケールに対して）

－1
であり、従 来のM F Cと比べて
－1.5
高い精度を誇ります。

構 造
デジタル制御回路

コントロールバルブ 圧力センサ
（ピエゾ駆動） （絶対圧基準）
ＦＣＳ®は、
『 臨界膨張条件』を利用した 温度センサ
圧力式流量制御器 P T
供給圧力Ｐ０ 制御流量
例えばオリフィス下流圧力P2が１０Ｔｏ
ｒｒ以下の場合
Ｐ1 ＝ ２０Ｔｏｒ
ｒ　　 →　流量 １０ＳＣＣＭ
Ｐ1 ＝ ２００Ｔｏｒ
ｒ　　→　流量 １００ＳＣＣＭ
Ｐ1 ＝ ２０００Ｔｏｒ
ｒ　→　流量 １０００ＳＣＣＭ 保護メッシュ オリフィス
※ＳＣＣＭ：標準状態（０ ℃、
１気圧）換算して体積流量（ ｃｃ/min )
Ｐ1≧約２×Ｐ２ 臨界膨張条件
2
 FCSP8000
ダイナミックレンジモデル
オリフィスを2つ内蔵（大流量側、小流量側）
これにより2種類のレンジを1台でカバー

動作原理
臨界膨張条件
［供給圧≧約２×出口圧の時、Q=K 1×P 1 （K 1=const.）］

高速応答
流量応答時間 0.5秒以内（立上り応答時間）

レギュレータ不要
圧力で流量制御しているのでレギュレータ不要

高性能・高信頼性
流量精度±1.0 ％S.P.（10 ％～100 ％）

シール材
メタルシール

入出力
DeviceNet TM

〈仕様〉
型式 FCSP8000D

タイプ 標準タイプ 低圧
（AS）
タイプ 低圧
（B）
タイプ
供給圧力範囲 250～898.7 kPaG 20～898.7 kPaG 50～898.7 kPaG

±1.0 %S.P.以内（設定信号: 10～100 %）±1.0 %S.P.以内

（設定信号: 30～100 %）±1.0 %S.P.以内（設定信号: 20～100 %）
流量精度
±0.1 %F.S.以内（設定信号: 1～10 %） ±0.3 %F.S.以内 （設定信号: 1～30 %） ±0.2 %F.S.以内（設定信号: 1～20 %）

流量レンジ
（N 2換算） 10 SCCM － 2.4 SLM
応答時間 設定値の±2.0 %まで0.5 秒以内
（立上り特性）
下流側圧力 減圧
耐圧 1 MPaG
（但し、精度保証範囲可能圧力は0.89 MPaG以下）
外部リーク量 1×10－10 Pam3/sec以下
シートリーク量 2×10
－5
Pam3/sec以下：供給圧 0.89 MPaG
使用保証温度範囲 0～50 ℃
（精度保証温度範囲：15～35 ℃　*HT50：15～50 ℃）
供給電源電圧 ＋11～＋25 VDC、
消費電流 4.5 VA
（4.5 W）

入出力信号 DeviceNetTM 通信
（SEMI E54 及び ＯＤＶＡ SEMI SIGプロファイル）
取付姿勢 指定無し
（自由）
接ガス部材質 SUS316L、
スーパーフェライト鋼（Cr2O3処理）
、ニッケルコバルト合金
接続継手・寸法 1.125Wseal®
（92 mm）
最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c75101よりダウンロードできます。

3
FCSP7000
高機能標準モデル

動作原理
臨界膨張条件
［供給圧≧約２×出口圧の時、Q=K 1×P 1 （K 1=const.）］

高速応答
流量応答時間 0.5 秒以内（立上り応答時間）

レギュレータ不要
圧力で流量制御しているのでレギュレータ不要

高性能・高信頼性
流量精度±1.0 ％S.P.（10 ％～100 ％）

シール材
メタルシール

入出力
アナログ、DeviceNet TM

〈仕様〉
型式 FCSP7000 / FCSP7000D

タイプ 標準タイプ 低圧
（AS）
タイプ 低圧
（B）
タイプ
供給圧力範囲 250～898.7 kPaG 20～898.7 kPaG 50～898.7 kPaG
±1.0 %S.P.以内（設定信号: 10～100 %）±1.0 %S.P.以内
（設定信号: 30～100 %）±1.0 %S.P.以内（設定信号: 20～100 %）
流量精度 ±0.1 %F.S.以内（設定信号: 1～10 %） ±0.3 %F.S.以内 （設定信号: 1～30 %） ±0.2 %F.S.以内（設定信号: 1～20 %）

流量レンジ
（N 2換算） 10 SCCM － 10 SLM 27 SCCM － 1 SLM 39 SCCM － 2 SLM
応答時間 設定値の±2.0 %まで0.5 秒以内
（立上り特性）
下流側圧力 減圧
耐圧 1 MPaG(但し、精度保証範囲可能圧力は0.89 MPaG以下)
外部リーク量 1×10－10 Pam3/sec以下
2×10ー5 Pam3/sec以下：F2400(F850B)以下
シートリーク量
5×10ー4 Pam3/sec以下：F3L(F1300B)以上
使用保証温度範囲 0～50 ℃
（精度保証温度範囲：15～35 ℃　*HT50：15～50 ℃）
供給電源電圧 アナログ入出力仕様 DeviceNetTM 通信仕様
消費電流 +15 VDC: 120 mA、－15 VDC: 120 mA +11～+25 VDC 4.5 VA（4.5 W）

入出力信号 0～5 VDC DeviceNetTM 通信（SEMI E54 及び ODVA SEMI SIG プロファイル）
取付姿勢 指定無し
（自由）
接ガス部材質 SUS316L、
スーパーフェライト鋼（Cr2O3処理）
、ニッケルコバルト合金
接続継手・寸法 1.125 Wseal（92
® mm）
、1.5 Wseal（79.8
® mm）
、1/4"UJR
（124 mm）
最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c75101よりダウンロードできます。

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 FCSP7000W
ワイドレンジモデル

動作原理
臨界膨張条件
［供給圧＞約２×出口圧の時、Q=K 1×P 1 （K 1=const.）］
と
一部の臨界膨張条件領域外を差圧制御

高速応答
流量応答時間 0.5秒以内（立上り応答時間）

レギュレータ不要
圧力で流量制御しているのでレギュレータ不要

高性能・高信頼性
流量精度±1.0 ％S.P.（10 ％～100 ％）

シール材
メタルシール

入出力
アナログ、DeviceNet TM

〈仕様〉
型式 FCSP7000W / FCSP7000DW

タイプ 標準タイプ 低圧
（AS）
タイプ 低圧
（B）
タイプ
供給圧力範囲 250～898.7 kPaG 20～898.7 kPaG 50～898.7 kPaG

±1.0 %S.P.以内（設定信号: 10～100 %） ±1.0 %S.P.以内（設定信号: 30～100 %） ±1.0 %S.P.以内（設定信号: 20～100 %）

流量精度 ±0.1 %F.S.以内 ±0.3 %F.S.以内 ±0.2 %F.S.以内
（設定信号: 1～10 %［差圧制御時 4～10 %］） （設定信号: 1～30 %［差圧制御時 10～30 %］） （設定信号: 1～20 %［差圧制御時 8～20 %］）

流量レンジ
（N 2換算） 20 SCCM － 10 SLM 27 SCCM － 1 SLM 39 SCCM － 2 SLM
応答時間 設定値の±2 %まで0.5 秒以内
（立上り特性）
下流側圧力 減圧
耐圧 1 MPaG(但し、精度保証範囲可能圧力は0.89 MPaG以下)
外部リーク量 1×10－10 Pam3/sec以下
2×10
－5
Pam3/sec以下：F2400
（F850B）
以下
シートリーク量
5×10 －4
Pam3/sec以下：F3L(F1300B)以上

使用保証温度範囲 0～50 ℃
（精度保証温度範囲：15～35 ℃　*HT50：15～50 ℃）

供給電源電圧 アナログ入出力仕様 DeviceNetTM 通信仕様

消費電流 +15 VDC: 120 mA、－15 VDC: 120 mA +11～+25 VDC 4.5 VA（4.5 W）

入出力信号 0～5 VDC DeviceNetTM 通信（SEMI E54 及び ODVA SEMI SIG プロファイル）
取付姿勢 指定無し
（自由）
接ガス部材質 SUS316L、
スーパーフェライト鋼（Cr2O3処理）
、ニッケルコバルト合金
接続継手・寸法 1.125 Wseal（92
® mm）
、1.5 Wseal（79.8
® mm）
、1/4"UJR
（124 mm）
最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c71201よりダウンロードできます。

5
FCSP7300 W（MGMR仕様）
ワイドレンジモデル *
動作原理
臨界膨張条件
［供給圧＞約２×出口圧の時、Q=K 1×P 1 （K 1=const.）］
と
一部の臨界膨張条件領域外を差圧制御

高速応答
流量応答時間 0.5秒以内（立上り応答時間）

MGMR（マルチガス、マルチレンジ）
ガス種とフルスケール流量をお客様にて任意に変更が可能

レギュレータ不要
圧力で流量制御しているのでレギュレータ不要

高性能・高信頼性
流量精度±1.0 ％S.P.（10 ％～100 ％）

シール材
メタルシール

入出力（通信形態）
DeviceNet TM、EtherCAT ® 、RS485

〈仕様〉
型式 FCSP7300DW
（MGMR仕様）/ FCSP7300EW
（MGMR仕様）/ FCSP7300RW
（MGMR仕様）

タイプ 標準タイプ 低圧
（B）
タイプ
供給圧力範囲 250～898.7 kPaG 50～898.7 kPaG

±1.0 %S.P.以内（設定信号: 10～100 %） ±1.0 %S.P.以内（設定信号: 20～100 %）

流量精度 ±0.1 %F.S.以内 ±0.2 %F.S.以内
（設定信号: 1～10 %［差圧制御時 4～10 %］） （設定信号: 1～20 %［差圧制御時 8～20 %］）

流量レンジ
（N 2換算） 10 SCCM － 4 SLM
（N2 換算流量） 39 SCCM － 500 SCCM
（N2 換算流量）
応答時間 立上り応答：設定値の±2 %まで0.5 秒以内
（設定値：10～100 %）
下流側圧力 減圧
耐圧 1 MPaG
（但し、精度保証範囲可能圧力は0.89 MPaG以下）
外部リーク量 1×10－10 Pam3/sec以下

シートリーク量 2×10－5 Pam3/sec以下

使用保証温度範囲 0～50 ℃
（精度保証温度範囲：15～35 ℃　T5：15～50 ℃）

供給電源電圧 11～25 VDC 24 VDC ±15 VDC

消費電流 4.5 VA max. 4.5 VA max. 150 mA max.

入出力信号 DeviceNetTM（ODVA準拠） EtherCAT® RS485

取付姿勢 指定無し
（自由）
接ガス部材質 SUS316L、
ニッケルコバルト合金、ハロステイ®C22
接続継手・寸法 1.125 Wseal（92
® mm）
、1.125 Cseal
（92 mm）
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6
 品番表示
FCSP7302

FCS P7302 D W2 (-T5) - 4CW2 - F300 /N2 - B7 D

①
②
①
シリーズ表示

通信仕様
D　：DeviceNet
TM
③
②
制御条件
③

W2：ワイドレンジ
200Torr
W4：ワイドレンジ
⑤
④
継手型式面間又はシールピッチ
⑤

4CW2：1.125、Wseal®シールピッチ92 mm
4CC2： 1.125、Cseal　シールピッチ92 mm
⑦ ガス名
化学式
⑥
⑧
⑦
Bin No.
B1：10-20 SCCM
B2：21-40 SCCM
B3：41-80 SCCM
⑧
*
⑨

400Torr B4：81- 160 SCCM

E　: EtherCAT® ⑥ フルスケール流量 B5：161- 300 SCCM
R　: RS485
④ 精度保証温度範囲 F300：300 SCCM B6：301- 600 SCCM
F4L: 4 SLM B7：601-1000 SCCM
無し：15～35 ℃ B8：1001- 2000 SCCM
T5 ：15～50 ℃ B9：2001- 4000 SCCM
（N2 換算流量）

⑨ 機能
D: DeviceNet TM機能選択
E: EtherCAT®機能選択
R: RS485機能選択

7
オートプレッシャーコントローラ（自動圧力制御器）
UPC®Series
動作原理
内蔵した圧力センサで圧力を一定に保ちます

アプリケーション
電気信号で任意の圧力が設定可能です
マスフロの上流に接続すると、極めて安定な流量制御が可能です
一つのラインにマスフロが複数接続されている場合、ガス流量
の急激な変動が他のマスフロに影響を与えることがあります
この場合、UPC®シリーズを使用することにより他のマスフロ
に与える影響を防止できます（下流圧制御タイプ）
UPCUS®
（上流圧制御タイプ）
は、MOｰCVDなどの液体ソース
の内圧を一定に保ち、気化量の安定性を向上します
ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能です
高温タイプ
（150℃、250℃）
・流量モニタ付モデルもラインアップ

ガス供給系の MOソースタンクの
圧力制御 圧力制御

〈品番表示例〉
UPC アナログ入出力
下流側圧力制御 ｰ 4J2C 面間：124mm
配管高さ:12.7mm ｰ C150 F.S.圧力レンジ：150kPa abs L コントロールバルブCV値：0.0055

〈仕様〉
UPC® UPCUS®
名称
（Downstream pressure controller） （Upstream pressure controller）
圧力レンジ F.S.13.3 kPa abs.（100Torr） F.S. 150/300/500 kPa abs.
制御圧力範囲 1～100 ％ 1～100 ％ ※１
コントロールバルブＣV値 ー L Type：0.0055 / M Type：0.011 / H Type：0.03
調圧精度 1～40 ％：±0.2 ％F.S. F.S.150 kPa abs.[1～40 %：±0.2 %F.S.、40～100 %：±0.5 %S.P.]
（オートゼロ実施後） 40～100 ％：±0.5 ％S.P. F.S.300/500 kPa abs.[1～20 %：±0.1 %F.S.、20～100 %：±0.5 %S.P.]
供給圧力範囲 0～200 kPaG ～897.3 kPaG ー
耐圧 200 kPaG 1 MPaG
外部リーク < 1.0×10 ｰ10 Pa・m 3/sec.
使用可能温度範囲 0～50 ℃
（精度保証温度範囲：15～35 ℃） ※2
アナログ：±15 VDC（消費電流 +15 V 120 mA、ｰ15 V 120 mA）
供給電源電圧
DeviceNet TM：+11～+25 VDC、4.0 W
圧力設定/出力信号 0ｰ10 VDC/0ｰ10 VDC 0ｰ5 VDC/0ｰ5 VDC
接ガス部材質 SUS316L、NiｰCo Alloy SUS316L、NiｰCo Alloy、FS9
接続継手・寸法 1.5 Wseal®
（79.8 mm）
、1/4”UJR
（124 mm） 1.5 Wseal®
（79.8 mm）、1/4”UJR（124 mm）、1.125 Wseal®
（92 mm）
※１
： 制御範囲：UPCUSの制御範囲は条件により変わります。詳細は弊社までご連絡願います。 最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c71201よりダウンロードできます。
※２
： 精度保証温度範囲は１５～５０℃のＨＴ５０タイプのオプション対応が可能です。

8
 品番表示
FCSP8000

① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧
① シリーズ表示 ③ 通信 ⑤ フルスケール圧力レンジ
（大流量側） ⑥ 供給圧力
P: PRESSURE D：DeviceNet TM 通信 F10：10SCCM なし：標準タイプ
CONTROLLER F1L：1SLM
（詳細は表1‒1～3参照） 　A：ASタイプ
　B：Bタイプ

② 8002 ④ 継手型式面間又はシールピッチ ⑦ フルスケール圧力レンジ（小流量側） ⑧ 供給圧力

F10-F2400 4CW2：1.125 Wseal® F10：10SCCM なし：標準タイプ
10S CCM~2.4 SLM シールピッチ92 mm F1L：1SLM
（詳細は表1‒1～3参照） 　A：ASタイプ
　B：Bタイプ

表1-1　流量レンジ一覧表（2次圧最大：50 torr） 表1-2　流量レンジ一覧表（2次圧最大：100 torr） 表1-3　流量レンジ一覧表（2次圧最大：150 torr）

No. 流量レンジタイプ 流量レンジ（N2ガス） No. 流量レンジタイプ 流量レンジ（N2ガス） No. 流量レンジタイプ 流量レンジ（N2ガス）
1 F300, F20 300 ～ 1.0 1 F100, F10 100 ～ 1.0 1 F100, F20 100 ～ 　3
2 F1L, F50 1000 ～ 3.0 2 F500, F50 500 ～ 5.0 2 F200, F30 200 ～ 　6
3 F2L, F100 2000 ～ 6.0 3 F1L, F100 1000 ～ 10 3 F500, F80 500 ～ 　15
4 F50B, F6B 50 ～ 1.0 4 F2L, F200 2000 ～ 20 4 F1L, F160 1000 ～ 　30
5 F200B, F28B 200 ～ 4.0 5 F50B, F13B 50 ～ 3.5 5 F2L, F300 2000 ～　60
6 F500B, F64B 500 ～ 10 6 F100B, F28B 100 ～ 7.0 6 F50B, F20B 50 ～　7.5
7 F1LB, F122B 1000 ～ 20 7 F200B, F50B 200 ～ 14 7 F100B, F39B 100 ～ 　15
8 F500B, F125B 500 ～ 35 8 F200B, F83B 200 ～ 　30
9 F1LB, F250B 1000 ～ 70 9 F300B, F122B 300 ～ 　45
10 F500B, F180B 500 ～ 　75
11 F1LB, F375B 1000 ～ 150

FCSP7000

① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩
① シリーズ表示 ③ 通信 ⑥ 継手型式面間又はシールピッチ ⑦ フルスケール ⑧ 圧力条件（最小供給圧力）
P: PRESSURE 無し：アナログ通信 4 J 2：1/4UJR面間124 mm 配管高さ25 mm F10：10 SCCM 無し：標準タイプ（250 kPaG）
CONTROLLER D ：DeviceNet TM 通信 4 P 2：1/4UPG面間115 mm 配管高さ25 mm F1L：1 SLM A：低圧ASタイプ（20 kPaG）
4WS1：1.5Wseal®シールピッチ79.8 mm （詳細は表2参照） 　 B：低圧Bタイプ （50 kPaG）
② 7010 ④ 制御範囲 4CW2：1.125Wseal®シールピッチ92 mm
7002:F10~F2400 無し：標準 ⑨ 機能・オプション ⑩ 表面処理
注: 一部の継手形状はDeviceNetTMに対応
10 SCCM~2.4 SLM W ：ワイドレンジ A0：流量自己診断機能未搭載 無し：UP処理
　　 していない場合があります。
7003:F3L~F10L A1：流量自己診断を単独で実施する。
3 SLM～10 SLM ⑤ 精度保証温度範囲 A3：オートゼロを実施した後、流量自己診断を実施する。
無 し：15～35 ℃
HT50：15～50 ℃

表2　フルスケール流量レンジ一覧表　 （N2ガス、単位：SCCM、SLM）
標準タイプ 低圧ASタイプ 低圧Bタイプ
F10 F160 F1L F27A F300A F39B F375B
F20 F200 F1300 F37A F500A F50B F850B
F30 F210 F1600 F50A F680A F64B F1LB
F40 F260 F2L F65A F1LA F83B
F43 F300 F2400 F100A F2300A F100B
F50 F400 F3L F115A F122B
F65 F450 F5L F133A F145B
F80 F500 F7L F160A F180B
F100 F600 F10L F200A F200B
F110 F850 F285A F250B
F130

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外観寸法
接続：UJR Type 接続：Wseal®Type

UJRタイプ
A C D E H I J
P7000（ WR） 124 141.5 67.8 39 25 25 68
UPC® 106/124 128 70.5 28.1 25 18 ―

（C）
IGS®1.5Wseal®
タイプ
(C)

A B C D E G
P7000(WR) 79.8 93 141.5 67.8 39 30
UPC® 79.8 93 128 70.5 39 30
H

IGS®1.125Wseal®
タイプ
A A A B C D E G
J B
P7000/P8000 92 105 127 82.6 28.5 21.8
UPC®/UPCUS® 92 105 128 70.5 28.5 21.8
E G
E

アクセサリー
シグナルチェッカー一式

専用電源＋分岐アダプタ シグナルチェッカー
（本体）

関連製品
150℃高温対応FCS®

高温（150 ℃）対応FCS® 高温対応FCS®用 流量測定システム FFMS®

本体 別置制御回路 （ Flow Measurment System）
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 FCSP7000応用製品

UPC®シリーズ FCSWP7000
オリフィスを取り外すことにより、 下流側にオリフィス内蔵弁を設置し、
自動圧力制御器として製品化 流量の立上げ時のオーバーシュートレスを実現

Flow Control System

圧力式流量制御器

FCSP7000
FCSP7000W 高温対応
下流圧力が高く、臨界膨張条件が 液体材料供給用150 ℃対応FCS®
成立しない範囲で差圧制御。 液体材料供給用250 ℃対応FCS®
　※設定可能最高温度： 220 ℃
FALVS（ 液体材料ガスコントロールシステム）

FCSP8000
本体にオリフィスを2個内蔵し、
バルブ切替により1台で2レンジ制御

FCSWP7000（過渡応答対策FCS®）

コントロール
バルブ 入出力信号
デジタル
圧力センサ 制御回路
ON/OFF信号
（絶対圧基準）

オリフィス内蔵弁
P T
供給圧力 Ｐ０ 制御流量

Ｐ1 エアーオペレートバルブ
Ｐ2

下流側バルブスタート信号

オーバーシュートなし

差圧センサ出力信号 200msec

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 高温対応
201
第6回モノづ 1年
FALVS ®
（ 　　　　　　Advance Liquid Vaporize System, 特別賞受
くり連
携大 賞

　　　　　　　　　　　　　　液体材料ガスコントロールシステム） 賞
● 液体材料供給は気化部上流オリフィスと空圧弁で制御
気化部
● 気化部の加熱温度に応じた蒸気圧を発生

● 気化器内は3つのチャンバで構成（ガスの充分な加熱とFCS®への液体流入防止）

● 供給圧変動による流量変動がない、高精度、高速応答
高温FCS®
　 →気化器の温度制御が容易
（最小供給圧力と圧力センサ耐圧の間になるような温度設定）

FALVS ®は液体材料を気化し、
気体流量を精密に制御する機器

気化部：3つのチャンバで構成
制御された
気体 高温FCS®
気体

液体

オリフィスガスケット オリフィス

FALVS®本体 FALVS®用
別置制御回路

201
250℃高温対応FCS® 超モノづく 0年
り部品
機械部品賞 大賞
受賞

高温（250℃）対応FCS® 高温対応FCS®用
本体 別置制御回路
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 FCS®-Thermal シリーズ

製品ラインアップ
シリーズ 流量制御機器

P I 機 能 搭 載モデル M G M R モデル デ ジタルスタンダ ード

大 流 量モデル 高 温 用モデル
モデル

・圧力センサ内蔵 ・MGMR
（ガス種、 ・流量精度：±1.0 ％ F.S. ・最大流量1000 SLM ・50～80 ℃
フルスケール流量の （80 ℃を超える温度で
・急激な圧力変動による ・全流量域：応答性1 sec以内 ・流量精度：
変更可能）
機能 ご使用の場合は、
影響を極限まで軽減
特長 （Pressure ・24 V駆動モデル、
±1.0 ％ F.S.（～200 SLM） お問い合わせ下さい）
Insensitive） ・耐食ハステロイセンサ搭載 ±2.0 ％ F.S.（201 SLM～）
・MGMR機能 ・下記通信方式にも対応 ・応答速度：3 sec以内
・流量精度：±1.0 ％ S.P.
・耐食ハステロイセンサ搭載 　 PROFIBUS
　 CC-Link
・流量精度：±1.0 ％ S.P.
・特殊仕様対応

FCS-T1200F FCS-T1000M（Z）F-HT
シリーズ 名 FCS-T1000MP FCS-T1000Z FCS-T1000F FCS-T1500F FCS-T1200MF-HT

流 量レンジ（ N 2 換 算 ） 10 SCCM - 50 SLM 10 SCCM - 50 SLM 10 SCCM - 50 SLM 51 - 1000 SLM 10S CCM - 150 SLM

シール 部 材 質 メタル メタル ラバー メタル ラバー メタル ラバー メタル

±1.0 ％ S.P.（25-100 ％）
　　　　　　 　T1000MZF）
（
±1.0 ％ S.P.（25-100 ％） ±1.0 ％ S.P.（25-100 ％） ±1.0 ％ F.S.
（T1200） ±0.25 ％ F.S.（2-25 ％）
流量精度 ±0.25 ％ F.S.（2-25 ％） ±0.25 ％ F.S.（2-25 ％）
±1.0 ％ F.S.
±2.0 ％ F.S.
（T1500） 　　　　　　 （T1000MZF）
±1.0 ％ F.S.（2-100 ％）
　（T1000MF、T1200MF）
≦1 sec（10 SCCM - 50 SLM）
応答性 ≦1 sec ≦1 sec ≦1 sec ≦3 sec ≦3 sec（51 - 150 SLM）

PI機能 PI

MGMR機能 MGMR MGMR MR MG ※1

ア ナロ グ

（0 – 5VDC）
±15V駆動 ±15 V駆動 0-5 VDC ±15 V駆動 0-5 VDC ±15 V駆動 0-5 VDC ±15 V駆動 0-5 VDC ±15 V駆動 0-5 VDC

（0 – 5VDC）
＋24V駆動 ＋24 V駆動 0-5 VDC ＋24 V駆動 0-5 VDC ＋24 V駆動 0-5 VDC ラバーのみ ＋24 V駆動 0-5 VDC T1000のみ

※2 （4– 20mA）
＋24V駆動 ＋24 V駆動 4-20 mA ＋24 V駆動 4-20 mA ＋24 V駆動 4-20 mA ラバーのみ ＋24 V駆動 4-20 mA T1000のみ
通信方式

RS485 RS485 RS485 RS485 RS485 RS485

デ ジタル

DeviceNetTM DeviceNetTM DeviceNetTM DeviceNetTM DeviceNetTM DeviceNetTM T1000MF

のみ

EtherCAT® EtherCAT® EtherCAT® メタルのみ EtherCAT® EtherCAT® EtherCAT®

※3 PROFIBUS PROFIBUS

CC–Link CC-Link

（UJR Type）
ユニオンガスケット式 1/4 UJR 1/4 UJR 1/4 UJR
3/8 UJR（T1200）
1/2 UJR（T1500）
1/4 UJR（T1000M）
3/8 UJR（T1200MF）
接続継手

2圧縮リング方式（F900 Type） － 1/4 F900 1/4 F900 3/8 F900（T1200）

1/2 F900（T1500）
1/4 F900（T1000M）
3/8 F900（T1200MF）

1.5 Wseal® 1.5 Wseal® 1.5 Wseal® 1.5 Wseal®

集 積タイプ（ I G S ® Type） 1.125 Wseal® 1.125 Wseal® 1.125 Wseal® － 1.125 Wseal®
1.125 Cseal 1.125 Cseal 1.125 Cseal 1.125 Cseal

表面処理 EP オプション EP メタルのみ

オプション EP メタルのみ
オプション EP メタルのみ
オプション EP オプション

RoHS対応 RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS

マスフローメータ マスフローメータ マスフローメータ マスフローメータ マスフローメータ T1000のみ

※1：MR仕様：ご指定のフルスケール流量の1/3までの流量変更が可能。MG仕様：4種類までのガステーブル
（ガス種：流量）
の登録が可能。
※2：アナログインターフェース：D-sub9ピン。
※3：デジタルインターフェース：RS485通信の場合はRJ11コネクタ。 最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c71201よりダウンロードできます。
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MEMO

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CAT: No.712-01-L