PDMS 

thickness VS spin‐coating speed 

 
 
  Problematic: What is the thickness of a spin coated PDMS layer? 
   
  The final thickness of a PDMS layer mainly depends of spin speed and spinning duration. 
  Important parameters to get reproducible thickness of PDMS layer are: 
     
  - Spinning speed 
  - Spinning duration 
  - Type of PDMS 
  - Ratio of reticulating agent and PDMS 
  - Duration between mixing of PDMS/reticulating agent and spin‐coating.  
  - Room temperature  
   
   
  Several publications give the thickness of the deposited layer depending on these conditions for 
  example [1] (fig. 1), or [2] and [3] (fig. 2). 
 
 
 
 
30   60
 
 
Resulting PDMS thickness (µm)

Resulting PDMS thickness (µm)

25 50
 
 
20   40
 
15   30
  1000 rpm
 
10 20
 
 
5   10
6000 rpm
 
0   0
 
0 1000 2000 3000 4000   5000 6000 7000 0 10 20 30 40 50 60 70
 
Spin‐coating speed (rpm) Time (min)
 
   

Figure 1: Dependence of the PDMS layer thickness as a function of spin speed for a rotation 
time of 5 min (left) and as a function of rotation time (right). 
 
PDMS  part  A  and  part  B  (Sylgard  184,  Dow  Corning)  mixed  in  a  10:1  (weight:weight)  ratio  and 
steered  during  2  minutes.  The  PDMS  was  placed  in  vacuum  desiccators  for  degassing  (10–13 
minutes).  Total preparation time: 15 minutes, figure modified from [1] 

    www.elveflow.com 
Another source gives similar results on the thickness of the PDMS layer as a function of the spinning 
speed [3]: 
 

 
 
300
 
  Literature Experiments
  250
Resulting PDMS thickness (µm)

 
 
200
 
 
  150
 
 
  100
 
  50
 
 
  0
0 2000 4000 6000 8000 10000
Spin‐coating speed (rpm)

Spin‐coating speed (rpm)  500 1000 1500 2000 3000 4000  5000  6000 8000
Balagadde et al. 
220 77  52  36  28  19  13    8 
(2005) 
PDMS thickness (µm) 
Measurements            20    12   

Figure 2: PDMS thickness as a function of spin speed,  
(Sylgard‐184 PDMS just after base and agent were mixed in a 10:1 ratio). Closed circles are 
measurements with a spin time of t=30s, open circles are data points from [2] with t=60s, 
and the solid line is the theoretical fit W=0.23 ω‐1.14 (W in meters, ω in rpm). The inset shows 
the same plot on logarithmic scales [3]. 

References: 
 
[1]: J. H. Koschwanez, R. H. Carlson, D. R. Meldrum, PLoS ONE 4:2 (2009) 
[2]: F. K. Balagadde, L. You, C. L. Hansen, F. H. Arnold, S. R. Quake, Science 309:5731, 137‐140 (2005) 
[3]: http://willem.engen.nl/uni/intern‐mbx/material/Sylgard‐184‐spincoat.php 
 
Form’s authors: G. Velvé Casquillas, M. Le Berre, E. Terriac, F. Bertholle 
For any comment or suggestions: contact@elveflow.com 

    www.elveflow.com