パーツカタログ P-04 1/

真空ポンプ 真空機器構成部品 計　測　器 成膜関連 ←白

1 オイルミストトラップ TM、TMX シリーズ

● 特長 油回転真空ポンプの始動時、あるいは低真空で作業する時、排気さ
れるガスとともにポンプの油が油煙や、油滴となって排出されます。
TM、TMX シリーズは油煙や油滴を除去いたします。消音効果が優
れています。内部フィルタはカートリッジ型で交換できます。

■仕様
型式名 取付フランジ ※1 適用真空ポンプ 質量 kg 材　質 取付Oリング 品目コード
D-330（ K,DK ）
D-650（ K,DK ）
PVD-180（ B ）※2
TMX-1 特殊フランジ /G1・1/2 1.1 本体：軟鋼（ SPCC ） G-85 ◎210004200700　
PVD-360（ B ）※2
VD151 フィルタ：グラスウール
VD201
TMX-2 特殊フランジ /G2 D-950（ K,DK ） 1.5 G-105 ◎210004200800　
VD301（低負荷用）※5
8.5
TM-201（共用） VF40/G1・1/2 VD401（低負荷用）※5 V-55 210004201100
（９）※4
EC403（低負荷用）※5
VD301（高負荷用）※6
VD401（高負荷用）※6 本体：軟鋼（ SPCC ）
VD601（低負荷用）※5 フィルタ：グラスウール
10
TM-401（共用） VF40/G1・1/2 VD901（低負荷用）※5 V-55 210004201200
（ 10.5 ）
EC403（高負荷用）※6
EC603（低負荷用） ※5

EC803（低負荷用）※5
PKS-016：VG50/G2 PKS-016
5.7
TM-2 標準/
（F）
※3 VD601：VF40/G2 VD601（高負荷用） V-70 210004201300/(210004201400)
（ 6.2 ）※4
VD901：VF40/G2 VD901（高負荷用）
PKS-030：VG80/G3 PKS-030 10 210004201500/(210004201600)
TM-3 標準/
（F）
※3 V-100
VS1501：VF50/G3 VS1501 （ 11.5 ）※4 本体：軟鋼（ SPCC ） 210004201700/(210004201800)
フィルタ：グラスウール
PKS-070：VG100/G4 PKS-070 23.5 21000420190/(210004202000)
TM-4 標準/
（F）
※3
VS2401：VF50/G4 VS2401 （ 25 ）※4 21000420210/(210004202200)
V-120
PKS-070：VG100/G4 PKS-070（高負荷用） 210004200400
TM-4S 59
VS2401：VF50/G4 VS2401（高負荷用） 210005119100
※１：ポンプ取付けフランジ：JIS　B2290 真空フランジ（特殊フランジ除く）／ （注１）必ずポンプの排気量にあったオイルミストトラップを使用してください。
排気側管用ねじ口径 （注２）油回転真空ポンプ PVD シリーズとの接続はアダプタが必要です。
※２：PVD-180（ B ）、PVD-360（ B ）、D-240DK に取り付ける場合は、アダプタ （注３）TMX- １および２は、油の回収機能は選定できません。
が必要になります。 （注４）TMX- １および２はフィルタの交換はできません。
※ ３：標準：傘型、 （F） ：フランジ型 （注５）TM- ２（旧型）はカートリッジ型フィルタへの変更はできません。
※ ４：（　）内の質量は、フランジ取り付け時の質量
※ ５：低負荷用は、連続吸入圧：10kPa 以下を目安にしてください。
※ ６：高負荷用は、連続吸入圧：100kPa 以下を目安にしてください。

■エレメント・交換部品
型　式　名 品目コード 型　式　名 品目コード
TMX-40 エレメント ◎200003458300 TM-3 フィルター押え ◎200003849700
TMX-60 エレメント ◎200003458400 TM-4 フィルター押え ◎200003849800
TMX-80 エレメント ◎200003458500 TM-3 カートリッジ型変更用アダプター ◎200003458900
TM-201 エレメント ◎200003458600 TM-4 カートリッジ型変更用アダプター ◎200003459000
TM-401 エレメント ◎200003458700 TM-4S カートリッジ型変更用アダプター 　200003458800
TM-2 グラスウールエレメント旧型 ◎6K9011100000 カートリッジエレメント TM-2E（ PKS-016 ） ◎ 200003849200
TM-3 グラスウールエレメント旧型 ◎6K9012100000 カートリッジエレメント TM-3E（ PKS-030 ） ◎ 200003849300
TM-4 グラスウールエレメント旧型 ◎6K9013100000 カートリッジエレメント TM-4E（ PKS-070 ） ◎ 200003849500
TM-4S グラスウールエレメント旧型 　6K9014100000 カートリッジエレメント TM-4SE（PKS-070大） ◎ 200003849600
TM-2 フィルター押え ◎200003849900

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