A technológiai összefoglaló lényege, hogy az elvégzett műveletek részletes dokumentálása mellett rögzítsük

tapasztalatainkat, megfigyeléseinket, értékeljük a lépés eredményét, az esetleges hibákat, annak okait. Az

alábbi sablon ennek elkészítéséhez nyújt segítséget.

Technológiai összefoglaló I

Mérést végezte Laborcsoport: VM L7

Szabó Péter
Gyakorlatvezető Érdemjegy: Dátum:
Nádas József 2018. 02. 22.

Fúrás Paraméterek, tapasztalatok, megfigyelések, értékelés

A lemezt kifúrt állapotban kaptuk. A furatok átmérőjének alsó határa megközelítőleg 0.2 mm, de 0,8 mm-
nél nem nagyobb. A CNC gépnek tartania kell a 0.1 mm pontosságot több táblán keresztül is! A lehető
legegyenletesebb és sima falú furatot kell létrehoznunk, hogy majd a felvitt réz szépen rátapadjon, így jobb
kantaktust tudunk elérni a későbbi műveletek során. A furatokat mindenképpen meg kell tisztítani, mert
mikro szennyeződések illetve, fúrásból adódó maradványok megrekedhetnek benne.

A redukciós rézleválasztás:

Művelet A fúrást követően a furatfémezés történik. Nagyon fontos a felület tisztasága!

Mechanikai A célunk, hogy érdesítsük és tisztítsuk mind a két oldal felületét. Ezt K800-as
tisztítás csiszolópapírral végezzük, enyhén vizes állapotban.

Zsírtalanítás Egyenletes tapadás érdekében Cleaner Buzz ipari tisztítószerben áztatjuk 2 percig, így a
panel teljesen zsírtalan lesz. Egy drót segítségével tudjuk innentől kezdve mozgatni, hogy
véletlenül se érjünk hozzá a zsíros kezünkkel. Majd folyóvízben öblítjük, innentől kezdve
a lemezeket furatirányba is mozgatni kell, hogy az oldatok jól átmossák a furatokat!
Mikro- Ammóniumperszulfát oldatban áztatjuk 1 percig a nagyobb tapadási felület létrehozása
érdesítés érdekében. A fürdőből kivéve friss réz színt láthatunk a lemez felületén, majd desztillált
vízben öblítjük. A műveletek közt nem hagyjuk sokat levegőzni, mert nem szeretnék
felesleges oxid rétegeket.
Dekapírozás Levegő hatására és a mikromarató maradványainak eredményeképpen minimális oxid
réteget észlelünk, így ezt el kell távolítani, amit egy 10%-os HCl oldatba fél perces áztatás
után eredményez. (Ha ezt nem tesszük meg akkor a későbbiekben akár rövidzárat vagy
szakadást észlelhetünk) Csapvízben majd desztvízben megfürdetjük.
Aktiválás Pre-dip: palládiumos fürdő védelme miatt előkell készíteni a felületet, hogy majd a kis
kolloid méretű Pd gócok letapadjanak a felületre, a redukálószer Sn2+. 3 perc
A 6 perces Pd-os aktiváló fürdő után a panel színe barna lett.
HCl-es öblítő: Kolloid bontás 3%-os HCl fürdőben, majd desztvízben.
Kémiai réz A vezető réteg felviteléhez kézmeleg rezező fürdőben áztatjuk, majd a palládium gócok
miatt elkezdődik a réz leválasztása, majd hidrogénzgáz keletkezik ami a folyadék felszínén
tűhegynyi buborék formájában távozik. A buborék képződése után 6 perccel megforgatjuk
a panelt, majd 4 percig hagyjuk benne állni. Ezután lemossuk folyóvízzel és megvizsgáljuk
mikroszkóppal, hogy a furatfalon szép friss réz felületet látunk, ha nem akkor még egy
rövid időre vissza rakjuk a rezezőfürdőbe. A mi esetünkben már kevés réz tapadt le a
kimerült több napos fürdő miatt.

1
Galván réz Fél percig dekopírozó fürdőben áztatjuk majd a galvanizáló kádba helyezzük katódként
kapcsolva így a lemezeink a fürdőben pozitív töltésű réz ionok útjában lesz így
megvastagodik a rézburkolat. 25 perc után kivesszük majd a felületét finoman
megcsiszoljuk amíg nem kapunk egy egyenletes szép réz színű panelt. A lemez megtörlése
után a rongyon nem szabad elszíneződésnek látszódnia, ha még is tovább kell csiszolni!

Rétegvastagság számítása:

Paraméterek: I = A, A= dm2, t= sec,

M: 63,5 g/mol,  = 8,9 g/cm3, F = 96500 As/mol, z=2

Számítás: képlet, behelyettesítés
d = 5,54x10-6 µm

Azzal, hogy 3 fős csapatokra lett osztva a műveletek végzése elősegíti, hogy midenki a megfelelő
odafigyeléssel és érdeklődéssel csinálja végig az összesfeladatot. A mikroszkóp alatt én úgy vettem észre,
hogy nem tökéletes a réz futtatás a furatokfalán hiába raktuk vissza a rézfűrdőbe újra a lemezünket, de
mindent úgy végeztünk ahogy az elő volt írva, úgyhogy remélhetőleg megfelelően fog működni. Ez azért
fordulhatott elő, mert a rézfűrdő már nem volt friss, nem tartalmazott elég rezet.
Nagy érdeklődéssel várom a következő laborokat.

2
 Technológiai összefoglaló II

Mérést végezte Laborcsoport:

Gyakorlatvezető Érdemjegy: Dátum:

Maszkolás
Műveletek:
Szilárd fotoreziszt felvitele, a felület előkészítése, laminálás: (gyakorlatvezető elvégezte)

Művelet Paraméterek, tapasztalatok, megfigyelések, értékelés

Maszk
illesztése:

Exponálás:

Előhívás:

Flület-
előkészítés:

Réz
galvanizálás:

Ón
galvanizálás:

Rajzolat galvanizálás, rétegvastagság számítása:

d= µm
Réz: Paraméterek: I = A, A= dm2, t= sec,

Ón: Paraméterek: I = A, A= dm2, t= sec, d= µm

: M: 119 g/mol,  = 7,2 g/cm3, z = 2

Művelet Paraméterek, tapasztalatok, megfigyelések, értékelés

Reziszt
eltávolítás:

Maratás

3
Forrasztásgátló lakk felvitele
Művelet Paraméterek, tapasztalatok, megfigyelések, értékelés
Szita-
nyomtatás:

Szárítás:

Maszk
illesztése:

Exponálás:

Előhívás:

Beégetés: Gyakorlatvezető végzi

Beültetés, szerelés

Művelet Paraméterek, tapasztalatok, megfigyelések, értékelés

Forraszpasz-
ta felvitel:

SM
alkatrészek
beültetése:
Reflow
forrasztás:

Kézi
forrasztás

Teszt