CHƯƠNG II

CÁC ĐẶC TRƯNG CẢM BIẾN

Tài liệu kỹ thuật sau là của cảm biến gia tốc , hãy tìm hiểu để sử dụng :

(TA= TMINtoTMAX,TA= +25°CforJGradeOnly,VS= +5V,

ADXL50– @Acceleration = 0g, unlessotherwisenoted)

SPECIFICATIONS
Parameter Conditions Min
ADXL50J/A
Typ Max Units
SENSOR INPU T
Measurement Range Guaranteed Full Scale –50 +50 g
Nonlinearity Best Fit Straight Line, 50 g FS 0.2 % of FS
Alignment Error 1 1 Degrees
Transverse Sensitivity 2 2 %
SENSITIVITY
Initial Sensitivity at VPR +25C 16.1 19.0 21.9 mV/ g
Temperature Drift 3 0.75/1.0 % of Reading
ZERO g BIAS LEVEL at VPR
Initial Offset 1.55/1.60 1.80 2.05/2.00 V
vs. Temperature 3  15/35 mV
vs. Supply VS = 4.75 V to 5.25 V 10 32 mV/V
NOISE PERFORMANCE at V PR
Voltage Noise Density BW = 10 Hz to 1 kHz 6.6 12 mg/Hz
Noise in 100 Hz Bandwidth 66 mg rms
Noise in 10 Hz Bandwidth 20 mg rms
FREQUENCY RESPONSE
3 dB Bandwidth 4 C1 = 0.022 F (See Figure 22) 800 1300 Hz
3 dB Bandwidth 4 C1 = 0.0068 F 10 kHz
Sensor Resonant Frequency 24 kHz
SELF TEST INPU T
Output Change at VPR5 ST Pin from Logic “0” to “1” –0.85 –1.00 –1.15 V
Logic “1” Voltage 2.0 V
Logic “0” Voltage 0.8 V
Input Resistance To Common 50 k
+3.4 V REFERENCE
Output Voltage 3.350 3.400 3.450 V
Output Temperature Drift 3  10 mV
Power Supply Rejection DC, VS = +4.75 V to +5.25 V 1 10 mV/V
Output Current Sourcing 500 A
PREAMPLIFIER OU TPU T
Voltage Swing 0.25 V S – 1.4 V
Current Output Source or Sink 30 80 A
Capacitive Load Drive 100 pF
BUFFER AMPLIFIER
Input Offset Voltage6 Delta from Nominal 1.800 V  10  25 mV
Input Bias Current 5 20 nA
Open-Loop Gain DC 80 dB
Unity Gain Bandwidth 200 kHz
Output Voltage Swing I OUT =  100 A 0.25 VS – 0.25 V
Capacitive Load Drive 1000 pF
Power Supply Rejection DC, VS = +4.75 V to +5.25 V 1 10 mV/V

REV. –1–
POWER SUPPLY
Operating Voltage Range 4.75 5.25 V
Quiescent Supply Current 10 13 mA
TEMPERAT URE RANGE
Operating Range J 0 +70 C
Specified Performance A –40 +85 C
Automotive Grade* –40 +125 C
NOTES
1
Alignment error is specified as the angle between the true and indicated axis of sensitivity, (see Figure 2).
2
Transverse sensitivity is measured with an applied acceleration that is 90  from the indicated axis of sensitivity. Transverse sensitivity is specified as the percent of
transverse acceleration that appears at the V PR output. This is the algebraic sum of the alignment and the inherent sensor sensitivity errors, (see Figure 2).
3
Specification refers to the maximum change in parameter from its initial at +25 C to its worst case value at TMIN to TMAX.
4
Frequency at which response is 3 dB down from dc response assuming an exact C 1 value is used. Maximum recommended BW is 10 kHz using a 0.007 F capacitor, refer to
Figure 22.
5
Applying logic high to the self-test input has the effect of applying an acceleration of –52.6 g to the ADXL50.
6
Input offset voltage is defined as the output voltage differential from 1.800 V when the amplifier is connected as a follower (i.e., Pins 9 and 10 tied together). The voltage at Pin 9
has a temperature drift proportional to that of the 3.4 V reference.
*Contact factory for availability of automotive grade devices.
All min and max specifications are guaranteed. Typical specifications are not tested or guaranteed.
Specifications subject to change without notice.

Với việc khảo sát cảm biến dưới dạng mô hình điện , nên nhà sản xuất cũng thường cung cấp
các đặc tính kỹ thuật của cảm biến theo tiêu chuẩn này . Tuy nhiên trên quan điểm của nhà sản
xuất , sản phẩm làm ra là do nhu cầu của khách hàng ,vì thế các thông số kỹ thuật này chỉ nêu
bật những đặc trưng nổi trội mà lược bớt đi các hạn chế vốn dĩ luôn tồn tại trong sản phẩm .
Hơn nữa , như đã biết cảm biến lại phải đáp ứng cho nhiều lĩnh vực khác nhau với cùng một
mục đích như cùng là cảm biến áp suất phải có thể dùng trong công nghiệp xe hơi hoặc thiết bị
y tế…

REV. –2–
 Đặc trưng tĩnh

nhiệt

Mong muốn
Độ trôi

Không mong muốn

Chính xác Độ nhạy Tái lặp

Vùng chết

Ngưỡng Độ trễ Phân giải

tĩnh
Sai số

REV. –3–
 2.1 Xác định phạm vi hoạt
động

REV. –4–
REV. –5–
REV. –6–
REV. –7–
REV. –8–
REV. –9–
REV. –
Mỗi cảm biến xác định một số đặc trưng

đo lường được định nghĩa trong giới hạn

sử dụng và độ chính xác của nó. Các giới

Đại lượng ảnh hưởng
hạn này không những chỉ phụ thuộc vào
Phạm vi sử dụng
giá trị vật lý cần đo mà còn phụ thuộc vào

đại lượng ảnh hưởng đến đại lượng cần

đo. Phạm vi không phá hủy

Phạm vi có thể dẫn đến hư hỏng

Đại lượng vật lý cần đo

REV. –
2.2 Đặc trưng tĩnh
Các thông số này giúp cho việc lựa chọn cảm biến dựa trên các tiêu chuẩn sau :

a) Loại đại lượng đo

b) Tẩm đo
c) Độ chinh xác phụ thuộc vào :
_ tác dụng của sự phi tuyến
_ tác dụng của vùng chết
_ đáp ứng tần số -
_ độ phân giải …

2.2.1 Các đặc trưng mong muốn :

Khi cần thực hiện một ứng dụng từ cảm biến , thật ra cần phải vận dụng kiến thức từ nhiều
lĩnh vực khác nhau đặc biệt là về vật lý . Để lựa chọn cảm biến cần thiết thường dựa trên đặc tính
của chúng hoặc các đặc trưng về kỹ thuật đo lường . Các đặc trưng này thường tham chiếu từ các hoạt
động cân chuẩn trong phòng thí nghiệm .Các đặc trưng này được định nghĩa khi trạng thái tĩnh của
chúng đã được xác định.

Đặc trưng tĩnh của cảm biến cho biết các phẩm chất của cảm biến . Với cảm biến chuyển đổi các
đại lượng vật lý thành tín hiệu điện , nguyên lý hoạt động của cảm biến xuất phát từ các định luật
vật lý.Do đó , thông số đầu tiên cần khảo sát thường là hàm truyền .

2.3.1 Hàm truyền

Với mô tả như hộp đen ,hàm truyền mô tả hàm quan hệ giữa ngõ nhập vật lý và ngõ ra
tín hiệu điện . Để dễ hình dung ,hàm truyền thường được biểu diễn dưới dạng đồ thị . Khảo sát
về mặt toán học của hàm truyền có thể tính toán được các đặc trưng cơ bản của cảm biến. Hàm
truyền còn được sử dụng làm đường cong cân chuẩn cho cảm biến.
Thí dụ : Trong hình sau là hàm truyền của cảm biến hồng ngoại
4 4
Nguyên lý hoạt động dựa theo biểu thức V = G ( T b - T s ) với Tb là nhiệt độ hấp thu của vật thể và
 Ts là nhiệt độ tuyệt đối trên bề mặt cảm biến

Thí dụ : Hàm truyền của ADXL 50

Biểu thức này được dùng để dự báo mối quan hệ của cảm biến,và chứa đựng thông tin về độ nhạyvà mức offset tại
ngõ ra cảm biến .
2.2.1.1 Độ nhạy

Độ nhạy của cảm biến được định nghĩa như là tỉ số của sự thay đổi tín hiệu ra trên sự thay đổi tín
hiệu vào.

s
S = m

Vậy độ nhạy là độ dốc của đường biểu diễn của quan hệ s = F ( m ) của cảm biến .
Trong trừơng hợp cảm biến như dịch chuyển ,vận tốc ,gia tốc ,biến dạng , lực … có đặc trưng
vectơ độ nhạy phải biểu thị cả chiều của đại lượng.
Thí dụ : Với ADXL 50 độ nhạy là 19 mV / g ( g là gia tốc trọng trường )

Giá trị độ nhạy của một số cảm biến tiêu biểu

Cảm biến dịch chuyển điện dung 10 V/mm

Cảm biến áp suất 80 mV/kPa

Cảm biến nhiệt 15mV/0K

 R
Cảm biến biến dạng 150
R

Cảm biến huyết áp 10mV/V/mmHg

Cảm biến gia tốc áp điện 110 pico Coulomb/

Cảm biến ánh sáng 50 digit/ lux

Sai số độ nhạy

Thông số độ nhạy thường được cung cấp bởi nhà sản xuất qua các tài liệu kỹ thuật . Tuy nhiên
khi cung cấp ra thị trường , trong điều kiện thực tế của môi trường sử dụng tạo ra sự khác biệt
giữa độ nhạy lý tưởng và thực tế , đó là sai số độ nhạy.

Sự thay đổi của độ nhạy do tính phi tuyến trong mối quan hệ vào / ra của cảm biến

Với cảm biến có đặc trưng tuyến tính , chỉ có một độ nhạy duy nhất cho suốt tầm đo.Nhưng
nếu đặc trưng này là phi tuyến sẽ có sự khác biệt các giá trị độ nhạy ở các tầm đo trãi rộng.

2.2.1.2 Độ phi tuyến

Độ phi tuyến tính là độ sai biết giữa trị thực của hàm truyền và đường thẳng tuyến tính nhất
trong tầm hoạt động của cảm biến.
Với ADXL 50 độ tuyến tính nhỏ hơn 0.2% FSO ( full scale output).
 Cách tính độ phi tuyến
Ở đây ta giả sử mối quan hệ vào / ra của cảm biến có dạng phương trình đường thẳng y = mx + b
trong đó y là ngõ ra còn x là ngõ vào . Nếu cảm biến phi tuyến , việc xấp xĩ hóa dưới dạng
phương trình bậc nhất sẽ dẫn đến sai số .

Thí dụ : Cảm biến dịch chuyển cho bởi đặc trưng sau :

Vị trí 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
(mm)
Điện áp(V) 0.002 0.570 1.115 1.677 2.210 2.701 3.123 3.889 4.545 5.050

Cảm biến có tầm đo từ 0 đến 90 mm và cho điện áp ra từ 0 đến 5 VDC

Xuất phát từ phương pháp tuyến tính hóa , các công thức sau đây được áp dụng cho y = mx + b

∑ x i−∑ yi
∑ x i y i− n
m= 2
( x)
∑ xi − ∑n i
2

b=
∑ y i −m ∑ xi
n n

Tính ra: m = 0.0557 V/mm

Vị trí (mm ) 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
Áp đo được(V) 0.002 0.570 1.115 1.677 2.210 2.701 3.123 3.889 4.545 5.050
Áp tính được(V) - 0.02 0.538 1.095 1.653 2.210 2.767 3.324 3.881 4.439 4.996
Sai số 0.022 0.032 0.020 0.024 0.000 0.066 0.201 0.008 0.106 0.054
% Sai số
FSO 0.44 0.64 0.40 0.48 0.00 1.32 4.02 0.15 2.13 1.08
b = - 0.02 V
xi
2.2.1.2 Độ chính xác

Được đảm bảo bởi nhà sản xuất và đưa vào tài liệu kỹ thuật để hướng dẫn sử dụng.

Độ chính xác thể hiện mức độ gần như trùng khớp giữa đại lượng đo được và đại lượng cần
đo.Thường có thể định nghĩa rõ ràng cho các loại chính xác :

i) Độ chính xác cho toàn tầm đo ( Full Scale Detection ) được tính % FSD
ii) Độ chính xác của giai đo : Thí dụ : cảm biến nhiệt chỉ sử dụng trong khoảng -200C
đền 500C sẽ có độ chính xác 1% được tính trong khoảng 700C
iii) Độ chính xác cho giá trị đo được : thí dụ mức độ chính xác là 1% của trị đo được là
8000C
Thí dụ :Độ chính xác của ADXL50 là : 3% FSD

Lưu ý một điều là khi đưa cảm biến vào các ứng dụng cụ thể , ta còn phải xét đến một đặc
trưng gần giống và thường gây ra sai lầm cho ngưởi sử dụng đó là độ đúng (precision ).Đặc
trưng này là thuộc tính cho các phép đo thực hiện nhiều lần . Độ đúng nói lên khả năng lập
lại giá trị cho các phép đo kế tiếp nhau .

Lấy một thí dụ cho trường hợp một vận động viên ném rổ . Nếu kỹ thuật ném của anh ta là
chính xác , thì bao giờ bóng cũng được ném vào rổ . Nếu anh ta có kỹ thuật ném đúng thì có
thể các lần ném bóng liên tiếp đều rơi ở cùng vị trí cạnh rổ.

2.2.1.3 Độ lặp ( Repeatability )

Độ lặp cũng là đặc trưng mong muốn của cảm biến , tuy nhiên thường là vấn đề nhạy cảm
cho các nhà sản xuất ,vì nó nói lên trình độ công nghệ cho việc sản xuất. Khi số lượng sản
phẩm càng lớn thì việc đảm bảo cho độ lặp càng khó. Để xác định độ lặp ,ta phải dùng đến
kỹ thuật tính xác suất.

2.2.2 Các đặc trưng không mong muốn :

2.2.2.1 Độ trôi nhiệt

 Đặc trưng với trôi Đặc trưng với
điểm zero sự trôi độ nhạy

Đặc trưng bình Đặc trưng bình

thường thường

Áp Áp
suất suất
(a) (b)

Giá trị Đặc trưng của cả trôi

diểm zero& trôi độ nhay

Đặc trưng bình

thường

Nhà sản xuất chỉ đảm bảo các thông số mong muốn trong điều kiện cảm biến được cân chuẩn với
các điều kiện đặc biệt về nhiệt độ , áp suất của môi trường . Khi đưa vào sử dụng các ảnh hưởng
của môi trường thực tế tạo nên các đặc trưng không mong muốn cụ thể rõ ràng nhất là độ trôi
nhiệt và độ trôi độ nhạy.

2.2.2.2 Độ trễ

đại lượng đo giảm Các cảm biến có đặc tính từ hóa , hay

chịu sự ma sát sẽ có đặc trưng trễ.

Đó là sự khác biệt của giá trị theo

chiều tăng giảm của đại lương đo

Độ trễ ngõ ra cực đại đại lượng đo tăng

Độ trễ ngõ nhập cực

đại Vùng chết

2.2.2.3 Độ phân giải

 Độ phân giải của cảm biến là sự thay đổi nhỏ nhất của đại lượng đo mà cảm biến có thể
chuyển đổi được để tạo nên sự thay đổi ngõ ra và có thể phát hiện được.

Cần hết sức lưu ý về khả năng phân giải của cảm biến vì nó nói lên tính khả dụng của
cảm biến .Cảm biến không thể chuyển đổi được các đại lượng vật lý ngoài tầm phân giải của nó.

2.3 Đặc trưng động

Khảo sát trường hợp đo nhiệt độ trong một lò nhiệt :
i) Khi nhiệt độ trong lò đã đạt nhiệt độ ổn định , ta đưa cảm biến nhiệt điện trở kim loại Pt100 (loại cảm
biến có điện trở thay đổi theo nhiệt độ ) vào lò và ghi nhận giá trị điện trở tương ứng nhiệt độ lò .
ii) Ngay từ khi khởi động đốt lò ,ta đã đặt sẵn cảm biến trong lò ,và giả sử rằng nhiệt độ lò được đốt với sự
tăng nhiệt độ tuyến tính và ghi nhận giá trị cảm biến khi đạt nhiệt độ mong muốn .
Khảo sát các giá trị ghi nhận được của cùng cảm biến này ,đó là đặc trưng động của cảm biến .

Cảm biến Pt100 này là loại không có vỏ bọc và có điện trở ở 00 C là 100Ω ,nếu thay bằng cảm biến
nhiệt Pt 100 có vỏ bọc kim loại ,khảo sát lại ta sẽ có kết quả khác lần trước mặc dù hai cảm biến này
đều có đặc trưng tĩnh về độ nhạy giống nhau là 0.39 Ω/ 0 C.

Cảm biến rất hiếm khi có thể thay đổi tức thời theo sự thay đổi của đại lượng vật lý tác động vào chúng

mà thường là thay đổi chậm hơn ( trễ hơn ) do có sự hiện diện của khối lượng vật , nhiệt dung , điện
dung , hay nhiệt dung chất lưu ( có một phần tử mang tính tích trữ năng lượng ) .Khảo sát đặc trưng
động của cảm biến rất phức tạp vì nó không chỉ phụ thuộc riêng rẽ vào cảm biến mà còn vào các thông
số không nhận biết được và không dự báo trước trong sự thay đổi của đại lượng vật lý kích thích vào
cảm biến .

Xây dựng mô hình toán học ( hàm truyền ) cho một cảm biến cụ thể không được đề cập đến , thay vào
đó ta nhắc lại về tác dụng các biến đổi có thể có của đại lượng vật lý được xem như là tín hiệu thử cho
hàm truyền này là : hàm nấc (step ) và hàm dốc (ramp )

Các đặc trưng động của cảm biến bao gồm : tốc độ đáp ứng , độ trung thực ( fidelity) , độ trễ (lag) và sai
số động ( dynamic error ) .

2.4 Một số thí dụ tốc độ đáp ứng của cảm biến

Các cảm biến đã được xây dựng các mô hình toán để xác định hàm truyền .

2.4.1 Hàm truyền có đáp ứng bậc zero

Khi dùng biến trở làm cảm biến đo vị trí ( dịch chuyển ) , con chạy của

biến trở được ghép trực tiếp với dịch chuyển cần xác định vị trí . Sự thay đổi

của vị trí làm thay đổi vị trí con chạy và dẫn đến điện trở tương đối giữa con chạy và hai cực còn lại của biến
trở thay đổi . Như vậy đo điên trở suy ra được sự thay đổi về vị trí con chạy ( dịch chuyển cần đo ).Cảm biến
 dạng này không chứa một phần tử tích trữ năng lượng nào do đó sự thay đổi ở ngõ ra chỉ hoàn toàn phụ
thuộc vào sụ thay đổi về biên độ dịch chuyển ngõ vào . Bù lại ,cảm biến này chỉ đo được các dịch chuyển có
biên độ lớn và không biến thiên nhanh .
2.4.2 Hàm truyền có đáp ứng bậc nhất :

c(t) b(t)
Cảm biến
c(f)
b(f)
c(i)
b(i)

Khi sử dụng cảm biến cặp nhiệt điện ( thermocouple ) để đo nhiệt độ :

_ Đặc trưng chuyển đổi : E0 = Se ( T2 - T1 ) Cảm biến sẽ cho ra sức điện động E0 là tích số giữa hệ
số vật liệu cấu tạo nên cảm biến Se và sự chênh lệch nhiệt độ giữa điểm nhiệt độ cần đo và điểm nhiệt độ
chuẩn.Tuy nhiên cặp nhiệt tự nó lại có chứa một đại lượng tích trữ năng lượng gọi là nhiệt dung Cv .Khi muốn
nhận năng lượng nhiệt Q từ môi trường bên ngoài vào cặp nhiệt ,để tạo ra sự thay đổi năng lượng E cho cảm
biến phải được mô tả theo thời gian :
dE dT
Q= = mCv = hAs [T ∞(t) - T s(t)]
dt dt
Trong đó : m : khối lượng cảm biến C v nhiệt dung
h : hệ số dẫn nhiệt A s diện tích mặt ngoài cảm biến
T ∞ : nhiệt độ môi trường T s nhiệt độ cặp nhiệt
Viết lại :
dT
mC v = h A s T ∞ ( t ) −h A s T s (t)
dt
dT
y0 mC v + h A s T ∞ =h A s F(t ) với Ts (t) là hàm ngõ nhập F(t)
dt

F(t) y(t)
dy (t)
Phương trình trên có dạng : a 1
=a 0 F (t)
dt
mC v
Thông số cần quan tâm là thời hằng
h As
Lưu ý rằng trường hợp trên tương ứng khi cặp nhiệt đang từ môi trường nhiệt độ bên ngoài và rồi mang nhúng
vào nhiệt độ muốn đo .
 Các đáp ứng của các tín hiệu kích thích với đáp ứng bậc nhất :

Đáp ứng hàm y  Ak (1 e−t / τ )

nấc :
Với : A là biên độ hàm nấc
k = 1/A0 độ nhạy tĩnh

τ = thời hằng

Đáp ứng hàm dốc : y(t)  Akt  Ak u(t)  Ak e−t / τ



 2.1.3 Hàm truyền bậc hai
Hành khách đi xe lửa sẽ chịu áp lực từ các dao động tạo ra khi xe lửa chuyển động trên đường
ray với nguyên nhân do các rung động truyền từ thân xe xuống đường ray .Do đó để tạo sự thoải mái cho
hành khách phải khống chế hiện tượng công hưởng tạo dao động giữa thân xe và giá chuyển hướng toa xe ( là
bộ phận có chức năng chuyển động và định hướng toa xe trên ray ) .
Theo tiêu chuẩn ISO 2631 ngành đường sắt giá trị gia tốc thân xe được tính theo trị hiệu dụng RMS :
T
1 w 2
a wrms
= [ T ∫ [a ¿(t) dt]¿ Với a w ( t ) : giatốc T = 5giây
T 0
Cơ thể người phản ứng nhạy cảm nhất với tần số lắc ngang trong tầm 0.5 ÷ 2 Hz và tần số lắc lư theo
phương dọc trong tầm 4 ÷ 10 Hz theo bảng :

a wrms ( m / s2 ¿ Mức độ thoải mái

a wrms ≤ 0.2 Rất thoải mái

0.2 ≤ awrms ≤ 0.3 Thoải mái
0.3 ≤ awrms ≤ 0.4 Trung bình
0.4 ≤ awrms Không thoải mái

Đáp ứng dạng này sẽ được khảo sát chi tiết hơn trong chương Đo chuyển động .