‫كلية الهندسة الكهربائية وااللكترونية‬

‫قسم هندسة الميكاترونيكس‬

LECTURE
(6)
MEMS INERTIAL SENSORS
MEMS GYROSCOPES

By:
Eng. Mounzer Moustafa
2015
 ‫تاريخ الـ ‪:MEMS‬‬

‫‪ ‬لقد ُع ِّرفت األنظمة الميكروالكتروميكانيكية على أنها واحدة من أكثر التقانات‬

‫التكنولوجية الواعدة في القرن الحادي و العشرين التي امتلكت المقدرة على‬
‫إحداث ثورة في كل من المنتجات الصناعية والمستهلكة من خالل الدمج بين‬
‫االلكترونيات الدقيقة )‪ (microelectronic‬المكونة من مادة السيلكون‬
‫نصف الناقل و تكنولوجيا التصنيع الدقيق )‪.(micromachining‬‬

‫عليها األمريكيون تسمية ‪ MEMS‬في حين يسميها األوربيون‬ ‫‪ ‬أطلق‬

‫سويسرا‬ ‫وفي‬ ‫‪Microsystems‬‬ ‫)‪Technology(MST‬‬
‫تسمى ‪ ، Microtechnique‬أما في اليابان فتسمى ‪.Micromachines‬‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪2‬‬
 ‫إذاً ‪ MEMS :‬هي األحرف األولى من الكلمات‪:‬‬
‫)‪Microelectromechanical systems (MEMS‬‬
‫وهي عبارة عن تكامل بين عناصر ميكانيكية وحساسات ومخدمات وعناصر‬
‫الكترونية على نفس الشريحة‪.‬‬

‫‪ ‬أول ظهور لها خارج جدران مختبرات األبحاث في الخمسينيات وبدأت منتجاتها بالتزايد‬
‫يومياً إلى أن دخلت منتجاتها وأنظمتها العديدة بقوة في التسعينيات جميع مفاصل و‬
‫مسارات حياتنا المختلفة و ما تزال هذه التقانة تتطور بشكل متنامي بأشكال مختلفة‬
‫وتكنولوجيا متنوعة‪ .‬تحتوي األنظمة الميكروالكتروميكانيكية )‪ (MEMS‬في بنيتها على‬
‫أجزاء متحركة بأبعاد ضمن مجال الـ ]‪ [µm‬وتستخدم عمليات الليثوغرافيا الضوئية‬
‫والحفر الكيميائي وتقنيات المعالجة المستخدمة في تصنيع الدارات التكاملية ويمر إنتاجها‬
‫بالمراحل المبينة في الشكل(‪:)2‬‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪3‬‬
Silicon sensing element
Packaging operations First level packaged
ASIC
(hybrid approch) devices=Component

Integration
Chip+ASIC
Wire bonding of the
Cointegrated die to a metal can
(monolithic)

Second and third level packaging

with/without electronic and with Gyros

special packaging = MEMS Products

Accelerometers, Gyros, Sensors,
Transducers, Actuators, Optic MEMS Accelerometers
RF MEMS,…….etc.

Pressure transducer
sensor

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 4
‫( بشكل عام‬MEMS) ‫يدخل في بنية األنظمة الميكروالكتروميكانيكية‬
:)2( ‫المكونات المبينة في الشكل‬

Microsensors Microactuators

MEMS

Micrelectronics Microstructures

MEMS ‫) مكونات‬2(‫الشكل‬
5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 5
‫أجهزة ‪ MEMS‬صغيرة جدا ومكوناتها ميكروسكوبية ( مجهرية) وقد‬
‫أمكن تصنيع األذرع والمسننات والمكابس (البستونات) والمحركات وحتى‬
‫المحرك البخاري وفقا لهذه التكنولوجيا كما هو مبين في الشكل(‪:) 3‬‬

‫ب) أرجل عنكبوت تقف على مسننات في محرك‬ ‫أ)‪ .‬محرك ‪ MEMS‬ميكروي من السيلكون‬
‫إلى جانب جزء من شعرة اإلنسان‪.‬‬
‫الشكل (‪)3‬‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪6‬‬
 ‫وبسبب الحجم الصغير والوزن الخفيف والكلفة المنخفضة و الوثوقية العالية لم‬
‫يكن مجال المالحة العطالية بعيدا عن هذه التكنولوجيا فأصبحت الحساسات واألنظمة‬
‫العطالية من نوع ‪ MEMS‬ضرورية حيوية ال يمكن االستغناء عنها في مجال‬
‫المالحة‪ ،‬كما أن مفهوم المالحة بحد ذاته أصبح أعرض وأشمل ولم يعد يقتصر على‬
‫اإلجابة على سؤال " أين أنا " فقط بل تعداه ليصبح أعرض وأشمل فدخلت المالحة‬
‫مجاالت وتطبيقات مدنية وحياتية عديدة مثل األلعاب والمالحقة والمزامنة وغيرها‪.‬‬

‫‪9 DOF IMU‬‬

‫‪Virtual Reality (VR) Systems‬‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪7‬‬
‫وقد ازداد االعتماد على تكنولوجيا الـ ‪ MEMS‬بشكل كبير بسبب صغر الحجم‬
‫والوزن وانخفاض الطاقة الالزمة والكلفة المنخفضة‪ ،‬فتوسعت تطبيقاتها وزادت‬
‫سهولة حملها وتنقلها وازدادت طرق مكاملة أنظمتها التي تؤدي إلى أفضل أداء لها‬
‫فازداد الطلب عليها في األسواق العلمية ليصل إنتاجها من قائسات التسارع و‬
‫الجايروسكوبات إلى ‪ /752/‬مليون منتج حتى العام ‪ 2008‬وبخواص أداء مبينة في‬
‫الجدول التالي‪:‬‬

‫‪Typical performance of MEMS inertial sensors‬‬

‫)‪Gyro (º/hr‬‬ ‫)‪Accelerometer(µg‬‬
‫‪0.1-100‬‬ ‫‪5-1000‬‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪8‬‬
 ‫أصغر غيتار في العالم ‪:‬‬
‫طوله ‪10 um‬وتعمل على محرك كهربائي ‪ 0.67 mm‬وله ‪ 6‬اوتار طول كل منها ‪50 nm‬‬
‫جامعة ‪Comell‬‬

‫أصغر سيارة في العالم ‪:‬‬

‫طولها ‪ 4.8 mm‬وتعمل على محرك كهربائي ‪0.67 mm‬‬

‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪9‬‬
‫تمثل تقنية ‪ MEMS‬حيز متنامي في مجاالت تطبيقية عديدة ‪ :‬كهربائية ‪،‬‬
‫ميكانيكية‪ ،‬طبية‪ ، ،‬طيرانية ‪ ،‬وفي صناعة السيارات‪.‬‬
‫تنمو مبيعات حساسات ‪ MEMS‬بنسبة ‪ ، 9%‬وقد وصل معدل بيع‬
‫حساسات ‪ MEMS‬إلى ‪ 7‬بليون دوالر في العام ‪ ، 2007‬معظمها كان في‬
‫حقل صناعة السيارات وقد دخلت بقوة عالم الهواتف الذكية واأللواح‬
‫التفاعلية وغيرها‪ ،‬لتصل مبيعاتها في العام ‪ 2010‬إلى حوالي ‪ 10‬بليون‬
‫دوالر‪ ،‬الشكل(‪.)3‬‬

‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪10‬‬
 Fig. (3): Global MEMS market 2005-2010
5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 11
 ‫تعريف‬

‫ينطبق تعريف الحساسات العطالية الذي وجدناه سابقا‪ ،‬على الحساسات‬

‫العطالية من نوع ‪ ،MEMS‬وهو تحويل ظاهرة فيزيائية إلى إشارة قابلة‬
‫للقياس‪ .‬هذه الظاهرة الفيزيائية عبارة عن قوة عطالية‪ ،‬وغالبا يتم تحويل‬
‫هذه القوة إلى إشارة خرج عبارة عن جهد كهربائي مدرج خطيا وبحساسية‬
‫محددة‪.‬‬

‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪12‬‬
 MEMS ‫تطبيقات الحساسات العطالية من نوع‬

Electronic Instrumentation, PhD 2009

15 ،‫ أيار‬03 MEMS Inertial Sensors 13
‫ في‬MEMS ‫ويمكن تلخيص متطلبات تطبيقات الحساسات العطالية من نوع‬
:‫مجال صناعة السيارات في الجدول التالي‬

Range Application comments

Inertial Sensor Application in Automobile

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 14
 ‫قوى كوريوليس ‪The Coriolis Force‬‬
‫‪Life in an Accelerating Reference Frame‬‬

‫)‪(rest‬‬
‫موقعنا الحقيقي‬

‫موقعنا األساسي‬
‫بالنسبة للسيارة‬

‫هناك قوة ظاهرية تتناسب‬

‫مع التسارع وتعاكسه باالتجاه‪.‬‬ ‫حركتنا بالنسبة للسيارة‬

‫‪time‬‬

‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪15‬‬
‫على جسم يدور‪ ،‬سوف نشعر بقوى ظاهرية مشابهة ألنها ستجعل الجسم‬
‫يتسارع في دائرة‪.‬‬

‫حركة جسم يدور‬

‫القوة الجاذبة الالزمة‬

‫للمحافظة على حركة‬
‫الجسم في دائرة‬

‫القوة النابذة‬
‫الظاهرية التي يشعر‬
‫هذهًالقوىًالظاهريةًهيً‪:‬‬ ‫بها مراقب يدور‬
‫‪ ‬قوةًنابذةً‪Centrifugal force‬‬
‫‪ ‬قوةًكوريوليسً‪Coriolis force‬‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪16‬‬
 ‫)‪Fig.(4‬‬ ‫مثال آخر‬
‫عندما تكون المنصة غير دوارة فإن الكرة المرمية من قبل الشخص‬
‫األول سوف تصل إلى الشخص الثاني وفقا لخط مستقيم‪.‬الشكل(‪)4‬‬
‫بينما على منصة تدور عكس عقارب الساعة فإن الكرة المرمية من قبل‬
‫الشخص األول سوف تستمر بالحركة وفقا لخط مستقيم ولكن بالنسبة‬
‫لمراقب موجود على هذه المنصة سوف يظهر له أنها انحرفت الى يمين‬
‫‪An apparent force on moving objects on the rotating Earth.‬‬
‫مسارها الصحيح‪.‬‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪17‬‬
 ‫‪Coriolis effect‬‬ ‫أثر كوريوليس‬

‫الحركة العطالية ‪ :‬تتم الحركة وفقا ً لخط‬

‫مستقيم بالنسبة للنجوم الثابتة‪.‬‬
‫بوجود أثر كوريوليس فإن اإلنحراف‬
‫الظاهري للجسم المتحرك عن الخط‬
‫المستقيم يكون بسبب دوران المراقب‬
‫نفسه‪.‬‬
‫أثر كوريوليس يؤدي إلى انحراف األجسام‬
‫إلى اليمين في نصف الكرة الشمالي و إلى‬
‫اليسار في نصف الكرة الجنوبي‪ ،‬الشكل(‪)5‬‬

‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪18‬‬
 Fig.(5)

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 19
 ‫الوصف الرياضي ألثر كوريوليس‬
‫‪ ‬إذا كانت الكتلة )‪ (m‬ساكنة في نظام دوار بسرعة زاوية ‪ Ω‬وتبعد مسافة )‪(R‬‬
‫عن مركز الدوران ‪ ،‬فإنها ستبدو بالنسبة لمراقب موجود في نظام الدوران قد‬
‫انحرفت نتيجة تعرضها لقوة ‪:‬‬
‫) 𝑅‪𝐶 = 𝑚(Ω𝑋 Ω‬‬
‫تدعى بالقوة النابذة‪.‬‬
‫‪ ‬إذا تحركت الكتلة بسرعة )‪ (V‬بالنسبة للنظام الدوار‪،‬‬
‫فسيبدو لهذا المراقب أنها تعرضت لقوة وهمية إضافية‪:‬‬
‫𝑉𝑋‪𝐹 = −2𝑚Ω‬‬
‫تدعى قوة كوريولوس‪ ،‬والتي ينشأ عنها تسارع كوريوليس 𝒓𝒐𝒄𝒂‪.‬‬

‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪20‬‬
‫تكون قيم قوى كوريوليس عظمى عندما تكون الحركة عمودية على‬
‫محور الدوران وتكون معدومة عندما توازيه ‪ .‬وبالتالي ستنحرف فقط‬
‫الحركة أو مركباتها العمودية على ‪ ، Ω‬كما في الشكل (‪. )6‬‬

‫وهذا يعني أن انحراف مركبات الحركة العمودية سيكون أعظمي عند‬

‫خط اإلستواء ولن تنحرف هذه المركبات عند أقطاب الكرة األرضية‪.‬‬
‫في حين أن مركبات الحركة األفقية ستنحرف بشكل أعظمي عند أقطاب‬
‫الكرة األرضية ولن تنحرف عند خط اإلستواء إال إذا كانت في اتجاه‬
‫شرق‪-‬غرب وعندها ستنحرف عمودياً‪.‬‬

‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪21‬‬
‫الشكل(‪ : )6‬ناتج الضرب الشعاعي يعني أن كل الحركات العمودية على محور دوران األرض‬
‫سوف تنحرف بفعل قوى كوريوليس ‪ ،‬بينما األخرى الموازية لهذا المحور فلن تنحرف‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪22‬‬
‫تسارعًكوريوليسًليسًلهًأيًتأثيرًعلىًالجسمً‪ً،‬أيًأنهًالًيؤثر فيًطاقتهً‬
‫الحركيةًوبالتاليًلنًيغيرًمنًسرعتهًبلًسوفًيغيرًاتجاهًحركتهًفقط‪.‬‬
‫‪ ‬استخدام السيلكون والكوارتز في تصنيع الحساسات العطالية من نوع‬
‫‪ MEMS‬أدى إلى تطوير تقنيات تصنيع دقيقة جداً مما جعل هذه الحساسات‬
‫تتمتع بالمواصفات التالية‪:‬‬
‫‪ ‬رخيصةًالثمن‬ ‫‪ ‬صغيرةًالحجم‬
‫‪ ‬وثوقيةًعالية‬ ‫‪ ‬خفيفةًالوزن‬
‫‪ ‬الًتحتاجًللصيانة‬ ‫‪ ‬بنيةًصلبة‬
‫‪ ‬يمكنًاستخدامها‬ ‫‪ ‬استهالكًمنخفضًللطاقة‬
‫فيًبيئاتًمختلفة‪.‬‬ ‫‪ ‬زمنًبدءًالعملًقصير‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪23‬‬
‫بشكل عام‪ ،‬إن تصغير الحجم سوف يخفض من الحساسية ويزيد الضجيج‬ ‫‪‬‬
‫باإلضافة إلى تأثر الحساسية بالتغيرات الحرارية‪.‬‬
‫دقة القياس في الجايروسكوبات ‪ MEMS‬منخفضة الثمن حوالي ‪ l°/h‬وفي‬ ‫‪‬‬
‫قائسات التسارع من نوع ‪ MEMS‬منخفضة الثمن حوالي ‪. 50-100 ug‬‬
‫إحدى الطرق الرئيسية المتبعة في تحسين أداء هذه األنواع من الحساسات‬ ‫‪‬‬
‫العطالية هي استخدام إجرائيات تعويض معقدة لتعويض األخطاء المنهجية‬
‫المرافقة لهذه الحساسات والتي أصبح من الممكن حالياً استخدامها في الزمن‬
‫الحقيقي‪.‬‬
‫وبذلك أصبح يمكن الوصول إلى دقة قياس باستخدام الحساسات العطالية‬ ‫‪‬‬
‫من نوع ‪ MEMS‬إلى ‪:‬‬
‫• دقة مقدارها ‪ 0.01°/h‬في قياس السرعة الزاوية باستخدام‬
‫جايروسكوب ‪MEMS‬‬
‫• دقة مقدارها ‪ 0.1 mg‬في قياس القوة النوعية باستخدام قائس‬
‫تسارع من نوع ‪. MEMS‬‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪24‬‬
 ‫‪MEMS gyroscope‬‬

‫الجايروسكوبات من نوع ‪ MEMS‬هي أجهزة غير دوارة وتستخدم أثر‬

‫تسارع كوريولوس على عنصر التحسس المهتز(‪ )proof mass‬في‬
‫كشف الدوران الزاوي العطالي‪ .‬وبالتالي تعتمد هذه الحساسات في عملها‬
‫على اكتشاف القوة المؤثرة على كتلة تخضع لحركة اهتزازية خطية في‬
‫جملة مرجعية تدور حول محور عمودي على محور الحركة الخطية‪.‬‬
‫سوف تؤثر القوة الناتجة ‪ ،‬والتي هي قوة كوريوليس ‪ ،‬في إتجاه عمودي‬
‫على كل من محور االهتزاز ومحور الدوران‪ .‬كما في الشكل(‪.)7‬‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪25‬‬
 Figure 7 :
Generation of Coriolis force
(the Coriolis acceleration phenomenon)
5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 26
 ‫‪ ‬على الرغم من وجود العديد من تقنيات الحساسات الذي يعتمد على هذا‬
‫المبدأ ‪ ،‬إال أن جميعها سوف ينتمي إلى أحد األصناف التالية‪:‬‬
‫‪ -‬الحساسات ذات مولدات إهتزاز بسيطة‬
‫‪ -‬الحساسات ذات مولدات إهتزاز متوازنة ( جايروسكوب الشوكة الرنانة)‬
‫‪ -‬الحساسات ذات مولدات اإلهتزاز القشرية (على شكل كأس الخمر ‪،‬‬
‫أسطوانية‪ ،‬حلقية)‬
‫الشكل (‪ )8‬يبين رسم توضيحي لهذه األنواع من الهزازات‪.‬‬

‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪27‬‬
Simple beam oscillator Balanced oscillator Cylindrical shell
Fig. 8: Classes of MEMS oscillator
5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 28
‫‪1) Simple oscillators‬‬
‫معظم الجايروسكوبات المهتزة هي من النوع األول (البسيط) والذي‬
‫يحتوي على المساوئ التالية‪:‬‬

‫‪ -‬االقتران بين محور االهتزاز ومحور القياس (محور الخرج)‪.‬‬

‫‪ -‬حساسيته تجاه االهتزازات الخارجية والتي تنتج عن عدم التناظر‬
‫الميكانيكي‬
‫‪ -‬وكذلك حساسيته تجاه التأثير المتبادل بين عنصر التحسس (العنصر‬
‫المهتز) وبين البنية التي تحوي عنصر التحسس المهتز‪.‬‬

‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪29‬‬
 ‫‪2) Balanced oscillator‬‬
‫يمكن التغلب على المشاكل المرتبطة بحساسية األنواع السابقة من‬
‫الحساسات تجاه االهتزازات الخارجية باستعمال مولد اإلهتزاز المتوازن‬
‫مثل ‪:‬‬
‫‪ -‬الجايروسكوب ذو الشوكة الرنانة )‪. (TFG‬‬
‫‪ -‬العديد من حساسات ‪ MEMS‬المبنية على هذا المبدأ والتي تستخدم‬
‫الكوارتز أوالسيلكون في بنيتها‪.‬‬
‫‪3) The vibrating shell or ring device‬‬
‫النوع الثالث وهو الحساس ذو القشرة المهتزة أو الحساس الحلقي‪،‬‬
‫والذي يكون متناظر حول محور الدوران مثل ‪:‬‬
‫‪ -‬الجايروسكوب على شكل كأس الخمر‬
‫‪ -‬الجايروسكوبات ذات االسطوانة أو الحلقة المهتزة ‪.‬‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪30‬‬
‫النوع الثالث أكثر تعقيداً من النوعين اآلخرين لكنه أقل تأثراً باالهتزاز‬
‫الخارجي والتأثير المتبادل بين عنصر التحسس وحامل هذا العنصر‪.‬‬

‫الشكل(‪ )9‬يبين تكنولوجيا تصنيع الجايروسكوبات الحالية وتطبيقاتها‬

‫وفقا لدقتها‪.‬‬

‫والشكل (‪ )10‬يوضح أين يمكن أن تكون تطبيقات الجايروسكوبات‬

‫من نوع ‪.MEMS‬‬

‫أما الشكل (‪ )11‬ما هو متوقع في العام ‪. 2020‬‬

‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪31‬‬
 Fig.(9) :

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 32
 Fig.(10)
:
5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 33
 Fig.(5) :

5/3/2015 Fig.(11) Electronic

MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 34
 ‫‪Vibratory MEMS Gyroscope‬‬
‫‪ Tuning fork MEMS gyroscopes‬‬

‫‪ ‬في العام ‪ 1992‬نجح المهندسون في تنفيذ جايروسكوب مهتز يعتمد‬

‫على أثر كوريوليس باستخدام تقنية ‪ MEMS‬وتوظيف السيكون‬
‫والحفر والمعالجات الكيمائية في انجاح ذلك‪.‬‬

‫‪ ‬وقد توصلوا إلى انتاج جايروسكوبات ذات انحراف تشغيل من رتبة‬

‫أعشار الدرجات بالساعة في بيئة مسيطر عليها حرارياً‪.‬‬

‫‪ ‬ثم بدآت بعد ذلك التحسينات الدراماتيكية في هذا السياق وما تزال في‬
‫سبيل توسيع مجاالت تطبيقاتها أكثر وأكثر‪.‬‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪35‬‬
 ‫مبادئ عمل الجايروسكوب االهتزازية من نوع ‪:MEMS‬‬
‫يوضح الشكل (‪ )12‬جايروسكوب ‪ Draper‬من نوع ‪ MEMS‬والذي‬
‫يتألف من ‪:‬‬
‫‪ ‬بنية )‪ (structure‬من السيليكون معلقة فوق ركيزة من الزجاج ‪،‬‬
‫تحوي هذه البنية السيليكونية على كتلتين معلقتين بجائزين مثبتين مع‬
‫الركيزة بنقاط محددة‪.‬‬
‫‪ ‬تهتز هاتين الكتلتين بفرق صفحة ‪ 180°‬لدى تطبيق الجهد مشغالت‬
‫المحركات الخارجية ‪ .‬وهذا ما قاد إلى تصميم هذا الجايروسكوب‬
‫بشكل الشوكة الرنانة‪.‬‬

‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪36‬‬
 Figure 12:
MEMS comb-drive tuning fork gyroscope
Operating elements
)©ًTheًCharlesًStarkًDraperًLaboratory,ًInc.)

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 37
‫‪ ‬بتطبيق سرعة زاوية حول محور دخل الجايروسكوب العمودي على‬
‫شعاع السرعة الخطية للكتل المهتزة‪ ،‬سوف تظهر قوة كوريوليس‬
‫ويكون تأثيرها بحيث تدفع الكتل باالتجاه الداخل والخارج من مستوي‬
‫االهتزاز‪.‬‬

‫‪ ‬ونتيجة لكون شعاعي السرعة اللحظية للكتل متساوية ومتعاكسة‪ ،‬فإنه‬

‫سوف ينتج عن ذلك حركة متوازية متعاكسة لهذه الكتل في االتجاه‬
‫العمودي على مستوي االهتزاز وبقياس هذه الحركة بواسطة صفائح‬
‫(لبوسات) مكثف متوضعة فوق وتحت كل كتلة سنحصل على إشارة‬
‫متناسبة طرداً مع قيمة السرعة الزاوية المطبقة على الدخل‪ ،‬انظر‬
‫الشكل(‪.)12‬‬

‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪38‬‬
 ،‫) يبين رسم توضيحي لمبدأ عمل هذا الجايروسكوب‬13(‫والشكل‬
‫( عندما يدور‬proof masses) ‫وفيه نرى إتجاه اهتزاز الكتل‬
.‫الجايروسكوب حول محور دخله‬

 The size of the proof mass:

1000 µmًxً1000 µmًxً20 µm.ً
 The operating frequency:
̴ً12 kHz
 the amplitude of the motion:
10 µmً)peak(.ً
 capacitive pick-off

Figure 13:

Motion of proof mass elements

of a MEMS tuning fork gyroscope

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 39
‫• من خالل مضخم أولي يتم إكتشاف الشحنة المتولدة من جراء تغيرات‬
‫إزاحة الكتل المهتزة ‪.‬‬
‫• إشارة الخرج الناتجة من القط اإلزاحة السعوي تتناسب طردا مع الدخل‬
‫المطبق‪.‬‬
‫• يبين الشكل (‪ )14‬مخططا صندوقيا للمكونات االلكترونية في‬
‫الجايروسكوب من نوع ‪MEMS tuning frok‬‬

‫‪Fig. 14 :‬‬
‫‪MEMS gyroscope electronics‬‬

‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪40‬‬
 ‫الخالصة ‪:‬‬
‫تعتمدً‪,‬تقريبا‪ ،‬جميعًالجايروسكوبات االهتزازيةًمنًنوعً‪MEMS‬‬
‫علىًأثرًقوةًكوريوليسًفيًتحسسًالسرعةًالزاوية‪ً.‬الشكل(‪)15‬‬

‫𝑣 × 𝜔𝑚‪𝐹𝑐 = −2‬‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪41‬‬
 Fig. (16): MEMS Vibrating Gyroscope

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 42
 ‫وقدًتمًانتاجًنوعينًمنًهذاًالجايروسكوبًيختلفانًمنًحيثًاتجاهًمحول‬
‫الدخلًبينًوجودةًفيًمستويًاهتزازًالكتلًالمهتزةً(المحاورً‪ x‬وً‪ً،ً)Y‬‬
‫أوًكونهًخارجًهذاًالمستويًمستويًوعموديًعليهً(الحور‪ً،)Z‬الشكل(‪)16‬‬

‫‪In plane sensing‬‬ ‫‪Out of plane sensing‬‬

‫‪Fig. (16): MEMS Gyroscope‬‬

‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪43‬‬
 ‫‪MEMS Accelerometers‬‬
‫‪ ‬يستخدم السليكون لتشكيل النابض والكتلة المهتزة واألصابع المشكلة‬
‫لمكثف تفاضلي متغير‪ ،‬الشكل (‪.)17‬‬
‫‪ ‬قياس التغير في اإلزاحة من خالل قياس التغير في المكثف التفاضلي‬
‫‪SPRING‬‬

‫‪MASS‬‬ ‫‪APPLIED‬‬
‫‪ACCELERATION‬‬

‫‪ANCHOR TO‬‬ ‫‪CS1 < CS2‬‬

‫‪FIXED‬‬ ‫‪SUBSTRATE‬‬
‫‪OUTER‬‬
‫‪PLATES‬‬

‫الحساس في وضع غير متسارع (راحة)‬ ‫االستجابة لتسارع مطبق‬

‫الشكل (‪)17‬‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪44‬‬
‫وفي الشكل(‪ )18‬نرى األجزاء التي تتحرك ضمن البنية السيليكونية‬
‫لقائس التسارع ‪.‬‬

‫الشكلً(‪)17‬‬
‫األجزاءًالتيًتتحركًفيًالبنيةًالسيليكونية‬
‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪45‬‬
 ‫) قائس تسارع وأجزاءه الرئيسية‬18(‫كما يوضح الشكل‬

FIG. (18(: MEM’s Accelerometer

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 46
 .‫) نرى مخطط وظيفي لتحويل السعة إلى جهد‬18(‫في الشكل‬
~100KHz

CLOCK A

MOVABLE BEAM
ACCELERATION

AMP

UNIT CELL

CLOCK B

Fig.(18):
C to V conversion

RECTIFIED VOLTAGE OUTPUT

SYNCHRONOUS DEMODULATOR

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 40
 ADXL203 2D Accelerometer
5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 47
 All anchors placed close to
the beam center
 Stoppers at the outside of
beam
 Self-test elements at the
outside of beam


ADXL 2D Proof Mass & Springs

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 48
 (a) In-Plane Accelerometer (b) In-Plane Accelerometer Schematic

MEMS Accelerometer
5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 49
‫‪MULTI-AXES GYRO AND ACCELEROMETER CHIPS‬‬

‫شرائح تحوي جايروسكوب وقائس تسارع ثالثي المحاور‬

‫ال تزال الجهود ُتبزل من أجل تصغير حجم الحساسات ‪ MEMS‬أكثر‪،‬‬

‫ولذلك فقد تم تجميع حساسين ذي محاور حساسية مستوية )‪ (x & y‬مع‬
‫حساس ذو محور حساسية عمودي على المحورين األخرين (المحور ‪)z‬‬
‫ضمن شريحة واحدة لتشكل أداة قياس عطالية ثالثية المحاور (قائسات‬
‫سرعة زاوية و قائسات تسارع)‪.‬‬
‫وقد أدى إلى انتاج وحدات قياس عطالية صغيرة جداً ساهمت في ظهور‬
‫وتطوير أنظمة المالحة الشخصية‪ .‬كما في الشكل(‪ )19‬والشكل (‪.)20‬‬

‫‪5/3/2015‬‬ ‫‪Electronic‬‬
‫‪MEMS‬‬ ‫‪Instrumentation,‬‬
‫‪Inertial‬‬ ‫‪Sensors‬‬ ‫‪PhD 2009‬‬ ‫‪51‬‬
 Fig.(19) : Photo of 3-Axis MEMS Chips.

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 52
 Fig. (20): 9 - DOF IMU
5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 53
 Thank you
The End of L6

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 51
 ‫قياس الدوران‬ •
‫• أثر وتسارع كوريوليس‬
Acor
v

Acor = 2 * (w * v)
w = applied angular rate
v = Velocity
5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 51
 Gyro
 Measures angular rate
(how fast it is turning
around its axis).
 Measures change of
inclination or change of
direction by integration of
angular rate.

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 51
 Gyro Principle of Operation
 How does it measure angular rate?
 By measuring the Coriolis force
 What is the Coriolis force?
 When an object is moving in a periodic fashion
(either oscillating or rotating), rotating the object in
an orthogonal plane to its periodic motion causes a
translational force in the other orthogonal direction.
ROTATION

CORIOLIS
FORCE
OSCILLATION
MASS

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 51
 MEM’s Gyro Operation
Coriolis acceleration

Coriolis Sense Fingers

Resonator tether

Resonator
Resonator Drive Fingers
Applied Rotation
Resonator motion

Accelerometer frame

Accelerometer tether
5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 51
MEM’s Comb Drive

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 51
 Gyro Animation

Source:
www.ett.bme.hu/memsedu/
5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 51
ADXRS150 Gyro Family Beam Structure

Resolve 12 x10-21 farads Beam movements 16 femtometers

(ZeptoFarads) (0.000116 Angstroms)
Hydrogen 0.5 A Diameter
5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 51
iMEMs - Integrated IC with MEM’s

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 51
Resonator Control Loop
Drive

 = +90°

Sense

Trans-resistance Amp Clipping Amplifier

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 51
Coriolis Measurement Signal Chain
Moving Fingers @ ~+1.5V

Beam
Gain proportional
to temperature

Trans-Capacitance Amp

Fixed Finger @ +12V

+12V

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 51
Coriolis Measurement Signal Chain
Beam 1
Trans-Capacitance Amp

Beam 2
Max Out ~ 300uV

Large common mode signals (shock) are removed

before amplification, so huge dynamic range is available

5/3/2015 Electronic
MEMS Instrumentation,
Inertial Sensors PhD 2009 51