‫وزارة التعليم العالي والبحث العلم‬

‫جامعة الموصل‪ /‬كلية العلوم‬

‫قسم الطاقات الجديدة والمتجددة‬

‫أجهزة فحص المواد النانوية والفرق بين المجاهر‬

‫الضوئية وااللكترونية‬

‫عمل الطالب‬
‫• احمد عبدالقادر‬
‫• عبدالرحمن صالح الدين‬
‫• كرم عمر‬
‫• زيد علي‬
 ‫أجهزة الفحص النانوية‬
‫المجهر اإللكتروني الماسح ( ‪Scanning electron microscope (SEM‬‬

‫يستخدم فى تحليل و تعيين خواص اسطح العينات السميكة أو الرقيقة من المادة و معرفة شكلها و القيام بتحديد‬
‫مقاييس ابعادها الخارجية و تصل قوته التكبيرية الى نصف مليون مرة و يتمكن هذا الميكروسكوب من تحديد‬
‫العناصر الداخلة فى تركيب العينة و نسبتها بدقة جيدة‬

‫طريقة عمله‪:‬‬

‫يعمل ‪ SEM‬عن طريق الخطوات التالية‪:‬‬

‫‪ -‬إنتاج الكترونات عن طريق االنبعاث الحراري‪ ،‬ويتم ذلك باستخدام فتيلة تسخين تصنع عادة من التنجستين‪،‬‬
‫ويُطبّق عليها جهد تعجيل تتفاوت قيمته ما بين ( ‪ ، KeV)30-0.1‬ثم تمر حزمة االلكترونات خالل عمود المجهر‬
‫المفرغ‪ ،‬ويتم تركيز هذه الحزمة بواسطة مجموعة من العدسات الكهرومغناطيسية على طول العمود‪ .‬و يتم التحكم‬
‫في عرض حزمة االلكترونات عن طريق الفتحات الموجودة على طول عمود المجهر‪ ،‬حيث يتم حجز االلكترونات‬
‫المشتتة والمنحرفة عن مسار الحزمة ‪ ،‬وتوضع العينة داخل غرفة المجهر‪ ،‬وهي عبارة عن حيّز مغلق ومفرغ‬
‫تماماً‪ ،‬حيث تصطدم فيها الحزمة االلكترونية حيث تتفاعل معها‪ ،‬وينتج عن هذا التفاعل إشارات ‪ ،‬من أهمها إشارة‬
‫انبعاث االلكترونات الثانوية (‪ ، )SE‬وانبعاث االلكترونات المشتتة الخلفية (‪ ، )BSE‬والتي يتم تحليلها ومعالجتها‬
‫و اظهارها كصور وإشارة األشعة السينية ‪ X-Ray‬والتي تتم ترجمتها إلى طيف تحليلي (وليد‬
 ‫المجهر االلكتروني النافذ )‪Transmission electron microscopy (TEM‬‬

‫و هو يستخدم ايضا شعاعا من االلكترونات لفحص و اختبار العينات ‪ ،‬و فى الوقت الذى يقوم‬
‫فيه المجهر االلكترونى الماسح بفحص اسطح العينات و توصيف خواصها السطحية ‪ ،‬يتميز‬
‫المجهر النافذ بقدرته على اختراق العينة التى توضع فى مسار الشعلع االكترونى القادم من‬
‫مصدر توليد االشعة االلكترونية الموجود اعلى مكان وضع العينة و النفاذ من خاللها ‪.‬‬

‫طريقة عمله‪:‬‬

‫يتم انتاج االلكترونات عن طريق االنبعاث الحراري‪ ،‬وذلك بتسخين فتيلة تصنع غالبا ً من‬
‫التنجستين‪ ،‬حيث يتم تطبيق جهد تعجيل على هذه الفتيلة يتراوح ما بين ( ‪KeV 100-60‬‬
‫( ‪ ،‬وتمتلك االلكترونات المعجلة طاقة يتحكم بها عن طريق المستخدم حسب المطلوب‪ .‬وتمر‬
‫حزمة االلكترونات بعد ذلك خالل عمود المجهر المفرغ‪ ،‬ويتم تركيز هذه الحزمة‬

‫بواسطة مجموعة من العدسات الكهرومغناطيسية على طول هذا العمود‪ ،‬كما تعمل فتحات‬
‫التحكم الموجودة على طول هذا العمود على التحكم في عرض حزمة االلكترونات‪ ،‬وذلك بحجز‬
‫االلكترونات المشتتة‪ .‬وتصل الحزمة االلكترونية بعد ذلك إلى العينة‪ ،‬و ينتج عن ذلك تفاعل‬
‫لهذه االلكترونات مع سطح العينة‪ ،‬حيث ينفذ جزء من الحزمة الساقطة يسمى الحزمة النافذة‪،‬‬
‫وهي عبارة عن حزم الكترونية نافذة من دون انحراف‪ ،‬وحزم الكترونية متشتتة ومنحرفة من‬
‫ذرات وجزيئات‬

‫العينة‪.‬‬

‫يتم بعد ذلك تحسن الحزمة االلكترونية باستخدام العدسات الكهرومغناطيسية وفتحات التحكم‬
‫واستقبالها واظهارها على‬

‫شاشة فلورسنت بشكل صورة‪ .‬وتحتوي الصورة الناتجة على مناطق مظلمة ومناطق مضيئة‪،‬‬
‫حسب نوع العينة ونوع‬

‫العناصر التي تحتويها‪ ،‬حيث تشير المناطق المظلمة إلى أن االلكترونات لم تصل إلى الشاشة‬
‫من هذه المناطق‪ ،‬ويحدث ذلك نتيجة امتصاصها من ذرات هذه المناطق أو تشتتها بشكل‬
‫كبير‪ ،‬وهذا يدل على أن العينة في هذه المناطق التي تظهر بشكل مظلم تحتوي على عناصر‬
‫ذرات ثقيلة (أعداد ذرية كبيرة)‪.‬‬

‫أما المناطق المضيئة فتشير إلى وصول أعداد كبيرة من االلكترونات إلى هذه المناطق‪ ،‬مما‬
‫يدل على أن االلكترونات لم تعاني أي امتصاص أو تشتت كبير من ذرات هذه المناطق‪ ،‬مما‬
‫يدل على أن العينة في هذه المناطق التي تظهر بشكل مضيء تحتوي على عناصر لذرات‬
‫خفيفة (أعداد ذرية صغيرة )‬
 ‫مجهر القوة الذرية )‪Atomic Force Microscope( AFM‬‬

‫في عام ‪ 1986‬قام كل من بينينغ ‪ Binnig‬وكوات ‪ Quate‬بعمل تعديالت على المجهر النفقى الماسح و أطلقا‬
‫عليه اسم مجهر القوة الذرية ‪ ،‬و قد أدت هذه التعديالت إلى زيادة مساحة المواد التى يمكنى اختبار خواص السطح‬
‫لها بحيث شملت المواد رديئة التوصيل الكهربى و مواد العوازل الكهربائية ‪،‬تم تطوير رأسه المدبب ليضمن مسح‬
‫أكثر دقة ألبعاد أقل و يمكن من خالله الحصول على صورة طوبوغرافية ثالثية األبعاد للعينة المدروسة ‪.‬‬

‫ويستخدم‪ AFM‬في تصوير وقياس وتحريك المادة عند مستويات النانو‪.‬ويمتاز بدقة عالية في قياس االرتفاع‬
‫تصل إلى نصف انجستروم‪ ،‬حيث تعتمد دقته على مدى دقة االبرة‪ .‬لكنه قد يفشل في دراسة السطوح ذات الخشونة‬
‫الظاهرة‬

‫التي تزيد خشونتها عن ( ‪ ) 10‬ميكرونات ويحتوي على ذراع طولها بحدود الميكرومتر‪ ،‬وفي نهايتها يوجد رأس‬
‫حاد منحن (مجس) بنصف قطر انحناء في حدود النانومتر‪ .‬ويُصنع هذا الرأس عادة من مادة السيليكون أو نترات‬
‫السيليكون‪،‬‬

‫ويستخدم لمسح سطح العينة المدروسة‪ ،‬وعندما يقترب الرأس الحاد ليالمس سطح العينة تنشأ قوى بين الرأس‬
‫والسطح مما يؤدي إلى حدوث انحراف في ذراع المجهر طبقا ً لقانون هوك‪ .‬ويتم قياس هذه القوة عن طريق‬
‫انعكاس شعاع ليزر على سطح الذراع عند انحرافه‪ ،‬ومن ثم يسقط هذا الشعاع على شبكة من الكاشفات الثنائية‬
‫الضوئية لتكوين صورة دقيقة للسطح‪ ،‬وعند تحريك الرأس الحاد للمجهر على السطح على ارتفاع ثابت‪ ،‬يصطدم‬
‫الرأسبالسطح المتعرج للعينة مما يتسبب في إحداث تلف للراس‪ .‬ويتم غالبا عمل تغذية راجعة في الجهاز تقوم‬
‫بضبط المسافة بين الرأس وسطح العينة وال محافظة على وجود قوة ثابتة بين الرأسوالعينة‪ ،‬وهنا يتم تثبيت العينة‬
‫على قضيب كهروضغطي ماسح‪ ،‬مما يم ّكن العينة من الحركة إلى أعلى (باتجاه المحور) للحفاظ على حدوث قوة‬
‫ثابتة ‪ ،‬ويتم مسح العينة باالتجاهين ‪x,y‬‬
 ‫الفرق بين المجهر الضوئي والمجهر االلكتروني‬
‫الفرق بين المجهر الضوئي والمجهر اإللكتروني سيتم التركيز في هذا المقال على الفرق بين‬
‫إن المجهر الضوئي يقوم بتسليط كمية من الضوء‬ ‫المجهر الضوئي والمجهر اإللكتروني‪ ،‬حيث ّ‬
‫على عينة موضوعة على شريحة ذات سماكة معينة‪ ،‬فيخترق الضوء هذه العينة ويكبّرها‬
‫بواسطة عدسات‪ ،‬وبالتالي يُمكن رؤية العينة وتكبيرها بواسطة المجهر الضوئي دون وجود‬
‫ي يُمكن رؤيتها بالهواء الطلق أو في بعض األحيان يتم وضع القليل من الماء أو‬
‫شروط؛ أ ّ‬
‫الزيت على العينة‪ ،‬وفي بعض األحيان يتم ربط كاميرا ‪CDD‬للعمل على نقل الصورة إلى‬
‫شاشة ُمكبرة أو حفظها على جهاز الحاسوب‪]٣[.‬‬

‫إن المجهر اإللكتروني يعتمد في تكبير العينة على شعاع من اإللكترونات‪ ،‬وهذا يُعد مصدر‬ ‫ّ‬
‫اإلضاءة‪ ،‬ويتم تركيز هذه اإلضاءة على العينة بواسطة عدسات كهرومغناطيسية‪ ،‬وهي عبارة‬
‫عن ملفات مغناطيسية مجوفة تنتقل عبرها اإللكترونات‪ ،‬وبسبب آلية عمل المجهر اإللكتروني‬
‫وأن تكون رقيقة جدًا حتى تستطيع اإللكترونات‬ ‫أن تكون العينة ضمن بيئة مالئمة لذلك‪ّ ،‬‬ ‫يجب ّ‬
‫اختراقها‪ ،‬وتُعرض العينة بعد تكبيرها على شاشة فسفورية‪ ،‬وكما أنّه يُمكن وصل كاميرا‬
‫إن المجهر ال ُمعتاد استخدامه هو‬ ‫‪ CDD‬لرؤيتها وحفظ النتائج على جهاز الحاسوب‪ ]٣[.‬بالتالي ّ‬
‫نظرا لبساطته وسهولة استخدامه‪ ،‬إذ يعمل على تكبير العينة حتى ‪x 2000‬‬ ‫المجهر الضوئي ً‬
‫ودقته ‪ 200‬نانومتر‪ ،‬في المقابل المجهر اإللكتروني يعمل بواسطة حزمة من اإللكترونات‪،‬‬
‫والذي يُكبّر بمقدار ‪x 10,000,000‬ودقة تصل إلى ‪ 50‬بيكومتر ‪ 0.05 -‬نانومتر‪ ]٤[.‬في‬
‫أن تكون العينة موصلة للكهرباء؛ وذلك لسهولة تمرير‬ ‫عينات المجهر اإللكتروني يُفضل ّ‬
‫اإللكترونات من خاللها‪ ،‬إذ في بعض األحيان يتم تغليف العينة بطبقة رقيقة جدًا من الكربون أو‬
‫الذهب أو الكروم؛ وذلك لتصبح العينة موصلة للكهرباء‪ ،‬باإلضافة إلى ما ذُكر يجب التنويه إلى‬
‫أن فرق الحجم بين المجهرين فرق واضح‪ ،‬إذ يُع ّد المجهر اإللكتروني أكبر حج ًما وأكثر تعقيدًا‬ ‫ّ‬
‫من المجهر الضوئي‪ ،‬بالتالي يعتمد نوع المجهر ال ُمراد اختياره على نوعية البحث وعلى‬
‫متطلبات الدقة والتكبير ال ُمراد‪ّ ،‬‬
‫ألن الفرق األساسي بينهما هو الدقة ومقدار تكبير العينة‬