尘 埃 粒 子 的 激 光 散 射 测量 黄惠 杰

尘 埃粒 子 的激 光 散射 测 量
. . .

黄 惠杰 邹海兴 马 国欣

: 、 。

摘要 激 光 散射 法 是 快 速 准 确 测 定 尘 埃 粒 子 大 小 的 新方 法 从 M ie 散 射 理
, ,

论出发 提 出 了 尘 埃 粒 子 的 激 光 散 射 测 量 系 统 中各 部 分 的 设 计 要 求 以 及达 到 这 些
。 。
要 求 的一般 方 法 给 出 了 一个 测 量 系 统 的 实 例
:
关键词 激光 Mi
e 散射 尘 埃拉子 计数 器

1 引言
,

激 光 尘 埃 粒 子 计 数 器 是 以 尘 埃粒 子 在 激 光 束 中的 散 射 为 原 理 而 建 立 起 来 的测 试仪 器 用
。
于 测 量 洁净 环 境 中单位 体 积 空 气 内尘 埃 粒 子的 含 量 现 代 工业 对 生 产 环 境 的 洁净度 要 求 越 来
, 。 , 、

越高 这 对光 学 尘 埃 粒 子 计 数 器 的性能 提 出 了 更高的 要 求 与 白光 相 比 激 光 具 有亮 度 高
, 、 , ,

发散 角小 照 明 均 匀 性好 寿 命 长 等 优点 因此 以 激 光 为 光 源 的 尘 埃 粒 子 计 数 器 必 将 逐渐
。
‘
取 代 以 白光 为 光 源 的 尘 埃粒 子 计 数 器
工,

。 ,

激 光 尘 埃 粒 子 计数 器 主 要 由激光 光 学 探 头 和处 理 光 电信 号的 电子 学 系 统 组成 其中 激
。 ,

光光 学 探 头 是 该 仪 器 的 核 心 部 件 激 光 尘 埃粒 子 计 数 器是 光 学 仪 器 的 一 个分 支 此项 研 究工
。 ,

作在 国 内 尚 属 起 始 阶段 随 着 国 内对 净 化 检 测 设 备 要 求 的 不 断提高 这 类 仪器 必 将 越 来 越 得
。 。

到 人 们的 重视 和 研 究 本 文 将 重 点 讨 论 该 类仪 器 中激 光 光 学 探 头 的设 计 问 题

2 单一 尘 埃 粒子 的 光 散 射

gh 散 射 M le 散
‘2 ,
可 将 粒 子 的光 散射 分 为 R a yl
i
e
, 、

按粒 子 直 径 与 照 明 光 波 长的相 对 大小
粒 子对 光 的 散 射称 为 M le 散射
。 , ,

射和 大 粒 子 散 射 三 种情 况 当 粒 子 直 径 与 光 波 长相 近 时 亚
。

微米 粒 子 对 可 见 光 的散 射 就 属 此类 光 学 尘 埃粒 子 计 数 器 通 常 就 是 运 用 了 M l
e 散射 理
。

论
根 据 M ie 散 射理 论 如图 1 所示
, ,

一 个均 匀 球形 粒 子 在非 偏 振的 平 面 单 色 波 照 射 下
,
散
。

射角 e 方 向上 的 散 射 光 强 度 为

I( 9 ) 10 入2
气(1 1 )
1 2
+
鲁 ~
(1 )
O兀

I。 和 入 分 别 是 入 射 光 的 强度 和
,

式中
i: 和 i: 是 散射光 的 两个 强 度 函
,

波长
f
。
,

数 分 别 对 应 于 散 射光 强 度 的 两 个 相
,

互垂 直 的 偏 振分 量 与粒 子 的 大小 和
图 I 均 匀 球形 粒 子 的 光散 射
和 i: 的 表 达 式 是 复 杂
。
1、
折 射率 有关
n d e 函数 和 B e
s sl
r
e 函 数的无 穷 级 数
。

的 玫g e
.
中 国 科 学院 上海 光 机 所 2 0 1 8 。。 上海 嘉定
,
 19 9 2 以 卷第4 期
’
2
’

光 学 仪 器 年第
.
~ ~ ~

-
竺

-
.
眨 ,
一~
一 一 一
一 一
一一 一
一一一
如 果光 源 的 光 谱 强 度 分布为 f
( 入)
。
2
,

一般 的 光散 射 测量 系 统 如 图 所示 光 电转 换 器 的 光
( 久)
谱 响 应 灵 敏度 为 S
,

则 在一 定 立 体角 范 围 内接 收 到 的 总 的 散射光 响 应 值 为

集 光镜

乏卜一_ _

丁
‘ 二‘

收集 孔 径

图2 光 散 射 测量 系 统

f rr 入2
, 、 , , 、 , 、 、 ,
。 ,
。 。
,
。
仄 = K ! 1 1 一 石一 不
J J J O兀
’
气1 1
… + 12 ) 工气A 夕。 又A 少r 气U
,
甲 夕u 八u U u 甲 (2 )

式 中 k 是常 数 F (0
, ,

对 应 于 一 定的 系 统 结 构 小是 照 明 光线 与照 明
, , ,

旬 是 一 个几 何 因子
。
幻
系 统 光 轴的 夹 角 ‘

上 式 可简 化 为
,
当使 用平 行 激 光束 照 明 时
/ 」
入Z f 「
.
。 。 。 」
, , 、 , 、
。
仄 = K 气石二丁
I! t 1 1 +
0 孔一 J J … 12 夕r L U
,
中夕Q 口u
中 (3 )

, 。

散 射光 与粒 子 的 尺 寸 和 材料 有关 通过 对 散 射光 信 号 的 分 析 可 以获 得 粒 子 的 有 关 参数
。

尘 埃 粒 子 的光 散 射 测 量 是根 据 粒 子 的散 射 光 通 量 的 大小 来 确 定粒 子 尺寸 的

3 激 光 光 学探 头
、 ,

激 光 光 学 探 头 由 照 明系 统 散 射光 收 集系 统 和 气 路 系 统 组 成 这三 部 分 的 相 交 区 域 称为
:
(1) 最 小探 测 粒径 ; (2
)
,

设计 激光 光 学探 头 雨
。
光 敏感 区 通 常 要 考虑 以 下 问 题 光 敏感 区
3 ) 光 敏感 区 的 照 明均 匀 性 (4
)
。
;
( 在所 关心 的 粒径 范围 内 响应 值 的 单调性 下面我
,
尺寸 ,

们 较 详 细 地介 绍 一 下 各部 分 的 设 计 要 点
3 1
.

照 明系 统
照 明 系 统要 解 决 的问 题 是 在 垂 直 于 气流 方 向 上形 成 一 个 一 定 大小 的 光 敏感 区
,
并 保证 该
。
区 域 具有 一 定的 照 明 均 匀 性
。

通 常 要 求提 高仪 器 的采 样 流 量 增 大 采 样流 量的 一 个重 要途 径 是设
,
为 了 减 少检测 时 间
。

激光 光学探 头 通 常 以 H e 袄N 七激 光器作 光 源
, ,

计大 的 光 敏感 区 激光 束的 直径 很 小 而 且其
。 , ,

横 截面 的 光 强 呈 高斯 分 布 为 了 扩 大 光敏 感 区 的 尺 寸 同 时 又要 满 足 照 明 均 匀 性的要 求 照
。 , ,

明 系 统 必 须 采用 扩 束镜 组 另一 方 面 由 于 采 样气 流 是 与 照 明 系 统 光 轴 垂 直 的 仪 器 工作
,

尘 埃 粒 子 以一 定 速 度 穿过 光敏 感 区 这 一过 程 中的 散射 光强 度是 随粒 子 所 处 位置 的 照 明
,
时
, _

光 强 而 变化 的 所 以 在气流 方 向上光 强 无 均 匀 性 要
,
而 表 征 粒 子 大小是 散射 光 脉 冲 的 峰值
。 , 。

求 扩 束镜 组 只 需 对 光 束在 垂 直 于 气流 方 向上 进 行一 维扩 束 其扩 束比 由下 式 决 定

M 二 2
命扩I [ 1 / (1 n 一 6 )]
(4 )
 尘 埃 粒 子的 激光 散射 测最 黄惠 杰
一
a
(1
, , , 。

式中 为 要 求 的 光 敏 感 区 宽度 。 为 激 光 束 半径 一
劫 为 光 敏 感 区 的 照 明均匀性 激光
束经 一 维 扩 束M 倍 后 其 强度 下 降 为 原 来 的 1 / M
, 。

3 2
.

散 射光收 集 系 统
: ,

对 本系 统 的 设计 要 求如 下 尽 可 能 多地 收 集 尘 埃 粒 子 的 散射 光 保 证 系 统 灵 敏度 的要
, 。

求 ,
同 时在所 探测 的 粒 径 范 围 内 系 统 具 有 良好 的单 值 响 应特 性
,
’,
为 了提 高 粒 子的 散 射 光 信号 通 常 在 大立 体 角 范围 内 收 集散 射 光 “ 激 光 束的 良好方 向
非 球 面 反射镜 (如椭 球 面 反 射镜 和 抛 物 面 反 射镜 )的 孔径 角
。

性使大 范围接收 散射 光成 为 可 能
, ,

大 且 存在无 像 差 点 这 既 满 足 了 大 立 体 角 收 集 粒子 散射光 的 要求 又 使 系 统 的结构 大为 简

,

化
式 (1 ) 告 诉 我们
, , ,

在单 色光 照明 下 在 一 个 固 定 的 散 射 角 方 向上 不 同 大小 的粒 子 的 散
。 , :
射 光 强 度 呈 现 振荡 分 布 要 使 仪器 具 有 良好的 单 调 响应特 性 通 常 可采 用 的 途 径 有 使 用多
图 3 所 示 的三 条 响 应 曲
、 、 。

波 长 照 明光 源 增 大 散射 光 收 集 范围 选 择 合适的 散 射光 接 收形 式
我 们根 据 式 (3
。

)
,

线 十 分 清楚 地 说 明 了上 面 的 结 论 在 平 行 激 光束 照 明 情 况 下 计算 了 粒 子 的
, 。 , ,

光 散射 响应 特性 曲线 如 图 要所 示 很明 显 在 同 样 的 散射 光接 收 范 围 内 响应特 性与接 收
对 称 接收 形 式 ( 0 ) 具 有 更好的 响 应 单 调 性
=
6 0 ~ 12
U
, ’ 。 。

形式 有关

州
比
_

厂, ~
尸
一
份一

才介 一 怪 一 亨

尸 /
‘
。一
.

户
、

冬
日
严
河
黄
/ z/ 厂
J
勿
侣
侧
贫
粤

J臼
一 - L
‘
之

且 二 { !
0
. , 。

0 5 4 卜‘m
一

90
、
。

一m
:

0 54 水
二 。
了5 0
10压
. .

U 37 0 了7 斗 m
・

l
一

、
75 。
仿
。

3 0 6 0 7 0 9 1

}
_
,
, , ,

。 5 1 0 2 0 5 0 10 0 粒 子直 径 (户 口 )

粒 子 直 径(俘m )
图3 聚 苯 乙 烯 标 准 粒 子 的光 散 射 特 性曲 线 图 4 聚 苯 乙 烯 标 准粒 子 在 H e
一
e
激 光束 中的 散射 特 性
.

各 石 气路 系统
:
气 路 系统 的设 计要 求 是 保证 气流 中 的所 有 尘 埃 粒 子 通 过 且 只 能 一 次通 过 光 敏 感 区
,
同
。

时 尽 量使 所 有粒 子 通 过 光敏 感 区 的 肠 间 相 等
如 图 5 所示
, , 。
‘
根 据 射流 理 论 采 样 气 流 的 流 场 可 分 成 混合 区 和 扩 散 区 两 部 分 混合区
“,
 19 9 2
. 一

14 卷第4 期
光 学 仪 器 年第

:
中间的 等 腰三 角 形 A B C 部 分 是等 速 核心 区
,
;
的 速度 分 布特 点是 在此 区 域 内速 度 不 变 在
到边 界 1犯 及 CF 处 降为 零 , 在扩散 区 内射 流 进 一 步 扩 散
,

等 速 核 心 区 外流 速 逐 渐下 降 其
,

, 。

速 度分 布特 点是 沿 中 心 线 越 向 下 游 而 扩散 角 比 混 合 区 大
,
速 度越 小

一
扩献 三
混合 区 一

— 一 一

一— 一E
r

一一
一一

田f 丁流 模 型 示 竞 图
。
月

图 5 射流 棋 型 示 意 图

根据 W T ol l m l
.

e n 射流 理论
,
等速 核 心 区 的 长度 为
x 0 48 s a
。=
b / (5 )
. ‘

式 中 b s 为 喷嘴 出 口 处直 径 a
,

为表 征 射流流 动 结构 的 经 验 常 数 当 喷 嘴 出 口 处 各 点流 速 相
, ,

a = 0 66
.
。=
x 7 3 bs
, . 。

则取 因而
,
等时
。
x
,

根据 上 面 的 分析 我 们 把 光 敏感 区 设 置 在 射 流混 合 区 内 混 合 区 内任 一截 面 处的 气 流
。

直 径 由下 式 决定
b
r奥
二 + !
.

k 石X O
卜
/
(召)

在 给定 光 敏 感 区 宽 度 b 和 光敏 感 区 离开 喷 嘴 出 口 处 的 距 离 x 后
,

可 由上 式计算 出 喷嘴 的

最 大 直径 b s
。

.
。

微小 尘 埃 粒 子 的 散射光 是十分 微 弱 的 所 以消 杂 光 是 系 统设 计 的 另 一 个 重 要 方 面 合理
,

。 。
‘
“’ ,
地设置 各 种光 阑 是 消 除 杂 光的 重 要 措 施 因 作者对 此 已 作过 专 门 讨 论 这 里不 再细 述

4
.

。
激 光 光 学 探 头标 定结 果

图 6 是 我们 研 制 成功 的 用 于 最 小探 测粒 径 为 0 3 郎 m
.

2 3 1 / m in 的 激光尘
8
.
,

采 样流 量 为
。 ,

埃粒 子 计数 器的 光 学 探 头 为 了 提高光 敏感 区 的 照 明 强度 我们 利用平 面 反 射 镜 把 光 束 返 回
散 射 光 的 收 集 角 范围 为 6 扩 、 1 2 犷
。 。

光敏 感 区
:
H e 一N e
,

该 光 学探 头的 工 作过 程 是 激光 器 输 出 的 单模 激 光 束 经 扩 束镜 组 扩 束 后 穿过
, 。

抛 物 面 反 射镜 上 的 光通 道 照 明光敏感 区 该光 束 又 被 光 陷 阱中 的 平面 反射 镜 返 回反 敏 感 区
待 测 尘 埃 粒 子 以 垂 直 于 光 束方 向流 过光 敏感 区 助 产 生 光 散射 一 定 立 体 角范 围 内的散 射 光 经
,

抛 物 面 反 射 镜反 射 后 平 行 入 射 到 非球 面 聚 光 镜 上 由聚 光 镜 射 出的会 聚 光 束 通 过 其 后 焦 面 上
,
 尘埃 粒 子 的 激 光散 射 测量 黄惠 杰
—
,

故 消 杂 光 光 阑 进入 前 置 镜 组 光 电倍 增 管把前 置 镜 组射 出的 散 射光转 换 成 与粒 子尺 寸成 一定
, 。
比 例 的 电信 号 此 信 号 再 经 其后 的 电子 学 系 统 处 理 后 给 出测量 结 果

1 。 一

狱 该光 器 2 扩束镜组 3 光通道 喝
抛 物 西1 反 射 车
竟
. _

光 敏 感区 ‘ 消光 简 7 平面 反 射 镇 8 匕球 面 聚 光 镜
斗
.

光闹 切 前里 镜组 月 光闹 曰 光 电倍增 管

图 6 激光光学 探头 结 构 示 意图

尘 埃 粒 子 计 数 器 都要 用一种 人 工合成 的 聚 苯 乙 烯 (
n 1
.

=
的 0 5) 标准 粒 子 进 行 定标
, ,

通常
.

以获 得 仪器 的 实 际 响应特性 曲线 我 们用 几
种不 同 粒 径 的 聚苯 乙烯 标准 粒子 对 我 有 珊制
的 激光 光 学 探 头进 行 了 标 定 所 得 的响 应 特
,

o-
性 曲线 如 图 7 所 示 图 中还 给 出 了 美 国 R
。

yc
o 23 6 型 激光 尘 埃 粒 子 计 数器光 学 探 头的
(7 ) 。

可 以看 出 我 们 的 激光
,
响应 特 性 曲线
光学 探 头在 大粒 径 区域 的响 应 特 性 要 优 于
R yc
o o 2
3 6 原 因是 R o
y c
o 2 3G
,

采 用 激光 腔
,

内散射形 式 而 我们 的 光 学 探 头 采 用 的 是激
。

光 腔 外 散射形 式
表 1 是 用粒径 为 0 3 5 林m 和 0 5 4 林m
. .

的
聚苯 乙 烯 标 准 粒 子 标定 的 所 得 的 打 印 输 出结
。

果 图 中各粒 径 档 所 示粒 子数 是 不 小 于 该 档
图 中左 边 是 。 5 4 卜m 标
.
。
粒径 值的 粒 子总 数
0 5 0 林m 粒
.
,

准 粒 子 的标 定结 果
,
我 们看 到
径 档粒 子 数 是 0 3 0 卜m 粒 径 档粒 子 数 ( 即 总
.

计数 )的 8 0
.

0 肠; 右边 是 0 3
.

8 卜m 标 准 粒子
0 3 0 、 0 5 0 协m
. .
, ,

的 标 定 结果
,
我们 看 到 在
!引7
.

靳 光 光学 探头响应 特性 曲线
粒 径 档 之 间的 粒 子 数是 总 计 数 的 8 0
.
。
8 肠 以
上 结果 已 完 全达 到国 家 标 准 规 定 的 该 类 仪器
的 集 中度 要 求
。

本论 文的 工 作 得 到 苏 州净 化设 备 厂 潘 家 平工 程 师 的 大力 帮助 在 此表 示 感 谢
,
 ‘ 奋
光 学 仪 器 199 2
年 第 1 4 卷第 4
期
,

表 1 激 光光 学 探头 标定 结果
-

。38
.

!
’
’
” -
’
一
’
一 一

0 5 4 林m
.

韧生粒子 二 标准 粒 影
T IM E
: :
10 55 T IM E
:
1 0 46
:

:
T 1 T
:
1
P
: :
OD P OD
0 30 3 882 6
.
:
0 3 0: 32 5 99
.

0 50: 3 104 5
.

0 50 启2 6 8
.
:

0 70
:
0 70
.

Cl
.
:
8

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