第 卷 第 期 量 子 电 子 学 报 、 工

年 月 工

一 一 一

文章 编 号

飞 秒 激 光 与 晶 体 和 玻璃 的 相 互 作 用
， ， ，

姜本 学 赵 志伟 潘 守夔 徐 军
，

中 国 科 学 院上 海光 学 精 密 机 械研 究所 上海

， 、 、

摘 要 总 结 了 飞 秒激光 与 晶 体 和 玻 璃相互作 用 产 生 的 新 现 象 如 光 致折射率 改变 光 致 晶 体相 变 光 还原

。 。 ，

稀土 离子及光 致 发 光 等 并分析 了 它 们 可 能 的 应 用 同 时简要 的 介 绍 了 各种 现 象 产 生 的机 理 展 望 了 飞 秒 激光

。 。

与其 它 物质相互 作 用 可 能 的研 究方 向及 可 能 出现 的 新 现 象 指 出 了进 行 这些 研 究 时 可 能 采 用 的 新方 法

关键词 非线性 光 学 飞 秒激光 价 态 操作 光波导 光致 发 光

中图 分 类号 文献标识码

引 言
， 、 。

激 光 尤 其是 飞 秒 激 光 的 出 现 为 人 们 研 究 物 质 的新 现 象 新性 质 提供 了有 利 的 工 具 由于 它 在 科 学 研
， ， 、 、

究 前 沿 所具 有 的 多重 角 色 已 经 成 为 未来 关 键 技术 成 功发 展 的 基 础 这 些 技术 包 括 高 速 计算 机 光 纤 通 讯
〕
、 。 。

一
生物 技 术 医学 和 能源 下 面 主 要 介 绍 了 晶 态 和 非 晶 态 物质 在 飞 秒 激 光 作 用 下 所 产 生 的 现 象
， ，

飞 秒 激 光 因 其具 有 高 的 能量 密 度 和 光 子 密 度 如 用 激 光 系 统得 到 的激 光 脉 冲
。 ， ，
一
接 着 用 透 镜 把 这 一 激 光 脉 冲会 聚 于 的一点 此 时在汇 聚 点 光 能 量 密度 为 而光功率
， 。 。

密度 将 高 达 甚 至更强 电场 强 度 可 达 比 氢 原 子 的 库 伦场 强 还 强 使
、 、 、 、 。

原 本透 明 的 对 光 子 不 吸 收 的玻璃 晶 体 等 物 质 可 以 通 过 多 光 子过 程 而 产 生 吸 收 形 成色 心 产 生缺 陷
〔
， ，
一
从 而 引 起 一 系 列 性 质 的改 变 和 新 性 能 的 出 现 如 折 射 率 的 改变 伪 人 们研 究 光 波 导 提 出 了 新 的 思 路
， ， ，

稀 土 离子 的 还 原 即 价 态 进行操作 是 一 种 研 究 光 存储 的 新 方法 并 且 可 以 极 大 的 提 高存 储 密 度 光刻光
， ， 、 。

栅 光致 晶 体相 变 光 致发 光 性 能 荧 光 性 能 等新 现 象 飞 秒 激 光 与 材料相 互 作 用 可 能产 生 的 应 用 如 图
。
， ，

所示 首先 飞 秒 激 光 每 一 个 脉 冲 历 时 很 短 导 致 非 常高 的 峰 值 能 量 如 此 之 高 的 能量 可 以 对几 乎 所 有 的材
，

料 进 行 加工 其次 用 非 线 性效 应 如 多 光 子 过 程 和 自聚 焦 过 程 等 我 们 可 以 将激 光 聚 焦 到 小 于 衍 射 极 限
， ， ，

的尺 寸 利 用这 种方法 可 以 制 成 纳 米 结 构 的 材 料 最后 飞 秒 激 光 因 为 具有好 的 相 干 性 可 以 用 来 制作全

。
， 。

息光刻 因 为 其所 具 有 的一 系 列 可 能 产 生 新材 料 的优 良 陕能 许 多 科 学 家 已 开 始 进 行这 方 面 的 研 究
、 ， ，

本 文 简 要 总 结 了 这 方 面 研 究 的 主 要 实 验 方 法 性 能 测 试及 结 论 讨 论 围绕着这 些 新 现 象 的 出现 阐述
， 。

了 他 们 产 生 的机 理 展 望 了 飞 秒 激光 与物 质 相 互 作 用 研 究 的发 展 趋 势

光致 玻璃物 理 性 质 的 改 变
光 写人 型光波导
，

在纯 硅 玻 璃 或掺 锗 硅 玻璃 中 用 可 见 飞 秒 激 光 可 实 现 明 显 的 激 光 损 伤 和 光 致 折射 率 改 变 实验 中
， 、 。

用 再 生放大 式 钦宝石 发 出的 平均 能 量 为 锁模 脉 冲激 光 样 品 中每
， 。

一 个 点大 约 经 受 个脉 冲 功率 大 约 经 激 光 照 射 后 掺锗 硅 玻璃 的 折 射 率 比 原 来 增 加 了
。
， ， 。

由 谱 可 以 发 现 经 照 射后 产 生 了 和 心 这 些 缺 陷是 由多光 子过 程 形 成 的 通 过 调整
。

写 入 位置 和 写 入 激 光 的 平 均 能量 可 以 控 制 折 射 率 改 变 的 大 小 和 中 心 直 径 随 着 中心 直 径 的 增 加可 以 实 现 高
一 一 一 一
收 稿 日期 修 改 日期
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一
通 信联 系人
 量 子 电 子 学 报 卷

， ，

阶激 光 模 如 的 传播 通过 不 同 的波 长透 射发 现 单 模 的截 止 波 长 为 和 原子力
、 、 ， 。

显 微 照 片显 示 激 光 照 射 区 域通过 色 心 形 成 晶格 缺 陷 甚 至 小 区 域 熔 融 实 现 了 致 密化 增 大 了 折射 率

〔 么
一

其基 本 原理 可 能 如 下 飞 秒 激 光 的 能量 通 过 多 光 子 吸 收 和 雪崩 电 离 传 递 给 透 明材 料 这 种 超 快 的 能量
， 。 、 ，

传递 使激 光 照 射 点 局 部产 生 了 很 高 的 温 度 和 压 力 激 光 照 射 处 的 玻 璃 在 高 温 高 压 下 向四 周 膨 胀 冷 却
， ， 。 ，

后 产 生 了 中间密度低 四 周 密 度 高 的 结构 这 一 解 释机理 与 扫 描 电子 显 微 镜 和 原 子 力 显 微镜 观 察 到 的
。 。
， ，

现 象相 一 致 如图 另外 由于 玻璃 的非 线 性 多 光 子 吸 收 而 产 生 的 大 量 的非 桥 氧空位 和 色 心 也 是玻 璃
。

折 射 率 增 加 的 原 因之 一
光刻 光 栅
， 。
，

将 两 束 相 干 光 同 时 聚 焦 照 射 在 二 氧 化 硅 玻璃 上 由 于 材料 的 熔 融 而 形 成 光 栅 如图 所示 日 通过
。
， 。 。

照 射后 玻璃 的 反 射 率 增 加 电子 扫 描 谱 显 示 在光 栅 中形 成 周 期性 峰
、

光 致发 光 性 能 荧光 性 能
， 。

用 飞 秒 激 光 照 射 含 稀 土 离 子 的玻 璃 可 以 观察 到 长磷光 现象 通 过 改 变玻 璃 的 成 分 和 稀 土 离 子 的 种
，
“
。

类 可 以 在 玻 璃 内部 有 选 择地 写 入 各 种颜 色 的 三维 立 体 图 像 用 聚焦 的 飞 秒 激 光 照 射含 等
， ， ， ， 。

的 系 氟化物 玻璃 遮 断激光 后 在激 光 聚 焦 的地 方 发 出 明 亮 的绿 光 发 光强 度随 时 间 减弱
， ，

长 磷 光 产 生 的 机 制为 飞 秒 激 光 照 射 导 致 了 玻璃 中 中心 等 缺 陷 的 形 成 其 缺 陷 中心 在 室 温 下 不 稳 定 受
， ， ，

热时 会 再 度 受激 此 时 被 缺 陷 中心捕 获的 电子 或 带 正 电空 穴 得 到 释 放 释放 出 来 的 电子 和 带 正 电 空 穴 相
， ， 。
十
互 结 合 后 放 出能 量 其能 量激 发 了 近 邻 处 在 基 态 的 的 电子 使 电子 跃 迁 到 激 发 态 当 电 子 最 终 由激
， 。
，
十
发 态 回到 基 态 时 放 出 由 的 好 跃迁 所 产 生 的 光 因 为缺 陷 的 能 级 呈 非 常 宽 的 分 布 所 以产 生长磷
口
， 。

光 利用 此 现象 可 以 形 成 自动 消 失 的光 存 贮 元 件及三 维 显 示 器 件
阳一 ‘
、 、 ， 、

系 统 的 研 究 了掺 的硅 玻 璃 掺 铝 硼 玻璃 掺 硼 玻璃 氟玻 璃 的光
。 ， 一 ， ，

致 发光 现 象 实验 发 现 样 品经 盯 或 激光 辐 照 后 由 的 令 激光 激发 光致发光分
。 。
一 一

别 和 他 们 分 别是 和 的 跃迁 玻璃 的 吸 收谱和 光 激发 谱表 明
“ 卜
一 。 。

和准 心 分 别 捕 获 空 穴 和 电子 而 这 些 为 光 存储 的 研 究 打 下 了 基 础
、 、 ，
十
在掺 的 玻璃 掺 的硼 玻 璃 经 脉 冲 飞 秒 激 光 诱 导 产 生 长 亮磷 光 现
。
， 。

象 去掉辐 照 后 即 使 经 过 一 小 时 用 肉眼 还 可看 到 磷 光 通过 调 整 玻璃成分 选 择稀 土离 子 可 以 使 样 品 发
， 。 。

出各 种 颜 色 如 红 蓝 绿 的光 产 生 磷光 的 机 理 是 处 于 亚 稳 态 被 捕 获 的 电子 空 穴 被 热 激发 复合

光 致 玻 璃 化 学 性 质 的改 变
激光 还 原 稀 土 离 子 价 态 操 作
、 、 、

还 原性 稀土 离 子 如 和 离子 掺 杂 的 玻 璃 具 有 大 的法拉第 效 应 长 的 磷 光 寿 命 光 致 发 光
第 期 姜本学 等 飞 秒激 光 与 晶 体 和 玻 璃 的 相互 作 用

。 。

光 化 学 烧 孔 存储 和 其他 的 性 质 他 们被 认 为是 光 电子 器 件 的 优 良材 料 传 统方法 利 用 还 原气氛 得 到 掺
以“ 一 ‘
， 。

杂 玻 璃非 常难 于 操 作 人 们 开始 转 向 用 激光还 原三 价 实验 用 得 样 品 是
。
，

样 品经 脉 冲 飞秒 激光 照 射 后 通过 差 分 吸 收 谱 可 以 观 测 到 大 约 在
， ，
十
处的 吸 收峰如 图 同样 照 射前 后 的 光 致发 光 谱也 显 示 了 离 子 的存 在 样 品 照 射 后
。
、 、 、 、 。

在 出现 了 特征 新 峰 如图 谱表 明 了 辐 照 后 的
。

样 品 中 空 穴 被捕 获形 成 心

。
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， 、 、

光 还 原 的机理 如 下 聚 焦 后 的飞 秒激光 照 射在 样 品上 通过 多光 子 吸 收 热 吸收 碰 撞 等离 子 化 过 程
。
， 。

产 生 活 性 电子 和 空 穴 空 穴 被 氧 悬 空 键捕 获 同 时 电子 被 离子 捕获 而 形 成 缺 陷 中 心 的捕 获
， 。

十
能 级 是 非 常深 的 因此 在 室 温 下 是稳 定的
硅 十
同祥他 们也在氟化 物玻 璃 中实 现 了 离子 和 在
℃
。

中实 现 了 离 子 的还 原 并且发现 经 过
。

十
退 火 一 小时 后 又 重 新变 为 这 使得 材 料 的 多 次存储 成 为 了 可 能
激 光诱导三维立体 光 存储
一‘ 〕
， 。

为 了 满 足 高 性 能 计 算 机对 对 高存 储 密 度 的 要 求 人 们 已 经 对 光 存储 材 料 进 行 了 很 多 研 究 三
，

维 光 存储 密度大 约 是 二 维 的 几 十倍 光 敏 聚 合 物 和 光 折 变 晶 体 是 目前 应 用 最 多 的 三 维 光 存 储材料 但是 却
。
， 、

存 在 着 许 多 问题 在 玻 璃 中实 现 三 维 光 存 储 具 有 非 常 大 的 潜在 应 用 价 值 由 于 其 优 良 的 机 械 性 能 化学
、 。

稳定性 热 稳定 性
一 ，

原理一 实 验 中用 飞 秒 激 光 辐 照 和 显 著 的增 加 了 折射 率 掺锗 硅 玻璃 的 折 射 率 比 原 来
。
， ， 。

增加 了 用 平均 能 量 为 倍焦 距 的激光 读 出 如图 玻璃 的 这 种 点 折 射 率变
， 。 ， ， 。

化 具 有 非 常 广 泛 的用 途 首先 用 于 超 高 密 度 三 维 光 贮存 可 以得 到大 小 约 为 拜 的记 录 点 从而可
‘“ ‘
。 。

以 获 得 高达 的贮 存 密 度 而 二 维 光 贮存 密 度 只 能 达 到 七 实 验 还 研 究 了 脉 冲激 光
、 ， ， 。

能量 辐 照 时 间与 折 射 率 改 变 点之 间 的 关 系 实 验表 明 折 射率 的 改变 随光 照 强 度 和 时 间 的 增 加 而 增 加
‘ ， 。

谱 表 明经 照 射 后 产 生 了 和 心 如图 所示
、 一 ， ， ，

光 存储 的 另 一 个 原 理 是 通过光 激光 等 辐照样品 产 生激 发 态 再 用 另 一 束光 照射
， 。
，

样 品会 发 出 光 光 与光 是相关 的 光 致发 光 可 以 认为是 一 种光 存 储 现 象 由光 存 储 的数 据 用光
 量 子 电 子 学 报 卷

、
。
一 、 一 一 一 。
， 一

以光 的形 式读 出 实验 样 品 为 名 实 验发 现 样 品经 或 激光 辐
，
， ，
， ，
。 一
一 一
于
照后 由 的 激光激 发 光 致发 光 分 别 和 他 们 分别 和 是
。 一 。

跃迁 玻璃的 吸 收 谱 和 光激 发谱表 明 和准 心 分 别 捕 获 空 穴 和 电子
。

光 存储 的 第 三 个 方 法 是 通过 改变离 子 的 价 态 进行 光 存储 基 本 原 理 与价 态 操 作 相 似 此 处 略
光致玻璃显微 晶化
，
卜， “ ，
一

众所 周 知 含 有 贵 金 属 光 敏离子 如 和 敏 化 离子 等玻璃 经 紫 外 光 照 射 并 在转 变 温
， 。
，

度 处 理后 会产 生 晶化现 象 但 这 种 晶 化是玻 璃表 面 附近 整 个 照 射 区 域 的 晶 化 而 要 想 在 表 面 以 下形 成 点
， ，

晶化 是 不 可能 的 使用 飞秒激光 由 于 照 射 点超 强 的光 强 引 起 多 光 子效应 可 以 在玻璃 内部 有选择 的产 生

。

点 晶 化 而 不 引起 其 它 地 方 如 表 面 产 生 晶 化
阵〕
， ，

等 用 非 共 振 波 长 的 飞 秒 激光 照 射 含 和 的 光敏 玻 璃 在 热处 理 后 产生
。
， ， ，
了约 娜 的 点 晶化 点 晶化 的 形 成 是 由于 飞 秒 激光 照 射 引 起 了 多光 子 反 应 产 生 了 自由 电子 自由 电
。
、 。
。
十 一
子被 吸收 形 成 在热 处 理 过 程 中 便 充 当 了 晶核 剂 而 引 起 晶化
。

七由
玻璃 的 显 微 晶 化 可 以 应 用 于 三 维 光 子 晶 体 的 制 备 中 光 子 晶 体是 等于 年提 出 来 的
。 ， ，

新概念 这 种 光 子 晶 体材 料 其介 电常 数 在 空 间 中呈周 期性 的 排 列 导 致 在 其 中传播 的 光 波 的 色 散 曲 线 呈

， “ ” 。

带状 结 构 带 与带 之 间有 可 能 会 出 现 类似 于 半 导 体 禁带 的 光子禁带 神 频率 落 在 禁
。 ，

带 中 的 光 子 是 被 严 格 禁 止 传播 的 所 以 由光 子 晶 体 做成 的 器件 可 以 如 人 所 愿地 控 制光 子 的 流 动 正 如 半导
。 。

体 中的 电子 一 样 光 子 晶 体 的应 用 使 得 由光 子 代替 电子 应 用 于 信 息 产业 向 前 迈 进 了 可 喜 的一 步

飞 秒激 光 与 晶 体 相 互 作 用
‘ 一“ 〕
， ，

人 们对 超 强 超 快 激 光 与 晶体 的 相 互 作 用 而 引起 结 构 变 化 的 研 究 却相 对 的 少 一 些 因 为 与玻
， 。 ，

璃相 比 在 晶 体 中形 成 色 心 是 非 常困 难 的 但是 由于 其广 泛 的应 用 飞 秒 激 光辐 照 晶 体 的 研 究前 景是 非常
。

吸引人 的
。 一 ，
在 晶 体 中 诱导 产 生 户 实 现诱 导 晶 体 相 变
， 。

许 多 科 学 家 预 言 二 十一 世 纪 全 光 学 回 路 将 完全 替 代 电学 回 路 而 要 实现 光 路 象 电路 那样 随 意 控 制 和
， 。

放大 光 学 材 料 就 应 象 电 学 材 料 中硅基 材 料 那 样 易 于 实 现 性 质 的 改 变 和 组 合 所 以利 用 飞 秒 激 光 实 现 晶 体
‘

材 料 的 改性 具 有 非 常诱 人 的 应 用 前 景
℃
一 ， 。

到 庄 的 相 变 属 于 结 构 重 建 型 相变 相 变 的温 度 为 土 高 低 温 之 间 的相 变 是 一 个
， 。 。

渐 变过 程 速 度 是 比 较慢 的 相 变存 在 滞后 问 题 飞 秒 激 光 可 以 在 强 电磁 场 和 热 的 作 用 下 有 可 能 空 间 选 择
第 期 姜 本学 等 飞 秒 激 光 与 晶 体 和 玻 璃 的 相互作 用

。
。 。
一

性 的实现 到 尽 的转变 目前 已 经 实 现 了 玻 璃 中 产 生 户 的转 变
激光 辐 照 产 生 色 心
研 究发 现 丫 、
， ， 。

晶体经 飞 秒 激光 照 射 后 斑 点 中心 变 黑 说 明 产 生 了色 心 而 蓝 宝 石 经 辐 照 后 产 生微
〔 ”一
。 。

裂纹 和 比 较 大 的裂 纹 它 们 的 不 同 可 能 是 因 为 蓝 宝 石 中存 在 自聚 焦 作 用 晶体 经 飞 秒 激 光 辐
郎〕
， 。

照 后 产 生 的 色 心 吸收 峰如 图 所示 其 中个 吸 收 峰 的 峰 值 位置 从 短 波 长 到 长 波 长 都 与 晶体 的
， ， ， ， 。
，
工
心 心 心 心 心及 心 相对应 除 心 的 峰 值 位 置 有 紫 移外 其 它 各色 心 吸 收 峰 的
。
，

峰 值位 置 都 有红 移 现 象 利 用 飞 秒激 光 可 以 诱 导 色 心 对 于 新 的 功 能 微 结 构材 料 的研制 具 有非 常 好 的 指 导
〔
。

一
作用
光 刻光 栅
，

因 为 飞秒 激 光 具 有 非 常好 地 相 干 性 用如 图 所 示 的 装 置 产 生 两 束 相 干 光 辐 照 金 刚石 晶 体后 产 生 的
。 。

光栅 如图 所示

七
，

七 七
一 七

七 产 户

价 态操 作
， 。 。

如果 能 实 现 晶 体 中 的 价 态 操 作 将 会 是 一 个 质 的 飞 跃 因 为 在 晶 体 中更 加 易 于 实 现 粒 子 的 分 布操作
， ， 。
干
用 质子 伽 马 射 线 或 电子 束 辐 照 实现 了 到 的转变 转变 效 应 取 决
离子 向 凡 “
。

于 抖 离 子 的浓 度 和 照 射 线 的 类 型 利用 飞秒激光 辐照 人 实现 了 离 子 的转
。

变 助

总结与展 望
， 。

经过 多 年 的 研 究 高 功率 飞 秒 脉 冲 激 光 照 射 玻 璃 后 产 生 的 新 现 象 的 研 究 已 经 取 得 了 很 大 的 进 展 但仍
， ，

需要进 行深 入 的 研 究 以 进 一 步 完 善这 一 方 面 的 理 论 笔 者认 为 对 未 来 高 功 率 飞 秒 脉 冲激 光 的 研 究发 展

有 以 下几 个 趋 势
， ，

对 飞 秒 激 光 辐 照 玻 璃进 行 深 入 的 研 究 尤 其 是各 种 现 象性 质 产 生 机 理 研 究 从 定 量 的 角 度 来讨论
、 。 。
，

如 离子 还 原 点 晶化 程 度 与 辐 照 光 的关 系 找 出 并 确定 各 种参 数 目前 对 这 方 面 的 研 究报道 还 比较 少 并
， 。

且 都 是 局 限 于 定性 解 释 而 没 有 定量 说 明
，

利 用 超快 超 短 脉 冲 强 激 光 可 诱 导 材 料 结 构 显 微 改性 这 一 崭 新 的 新 概 念 为 基 础 的 新 技 术 开 拓 晶体
。 。

材 料 功 能微 结 构 的 研 究 在 晶 体 材 料 中实 现 过 度金 属 离 子 的 空 间选择 性 价 态 操 作 和 控 制 性 色 心 形 成 由于
， 。

晶 体 比 玻璃具 有 更 高 的 重 复 性 以 及 离子 的均 匀 性 更 容 易 控 制 所 以 对 其进 行 研 究应 比 玻 璃 具 有 更 高 的 潜
。
， 、 、 、
十
在实 用 价 值 通 过 查 阅 元 素周 期 表 作者 认 为可 能具 有 被 还 原性 质 的 离子 有
 量 子 电 子 学 报 卷

和 凡 ” 十 等 离子
， ， 。

但 我 们应 该 看 到 玻 璃 中之 所 以 能够 实 现 价 态 操作 其原 理 是 辐 照 产 生 的 空 穴 被 氧 悬 空 键 等 所捕 获
“ ” ， 。

而 玻璃 中恰 恰存 在 着 非 常 多 的 悬 空 键 和 其 他 缺陷 对 形 成 过 渡 金 属 离子 还 原是 非 常 有 益 的 但 晶体 中
。
，

却没 有此 机 制 经 辐 照 后 形 成还 原价 态 的 难 度 较 大 所 以 我 们应 该 考 虑 增 大 晶 体 中 的 缺 陷 加 大激 光 的 照
， 。

射 时 间 和 能量 让 其 在 照 射 处 形 成 多 的悬 空 键 等缺 陷 以 供 捕 获 空 穴 用
。
，

飞 秒 激 光 诱导 晶 体 相 变 的 研 究 随 着 信号 传 输 由电路 向光 路 的 转 变 研 究 晶 体 内部 实 现 局 部 相 变
。

的 工 艺 已 经 成 为 一 个重 要 的课 题
， ， ， ，

总之 飞 秒激 光 与材 料相互 作 用 诱 导 材料 结 构 显 微 改性 作 为 一 个 新 的 研 究领 域 有 非 常广 阔 的研
， ， ，

究前景 现 在 已 经 有 人 开 始 进 行 这 方 面 的研 究 我 们相 信 随 着 人 们的 研 究 按 照 人 们 的 意愿 进 行物 质 的
。

微 结构操 作将 成为 现 实

参 考 文献

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第 期 姜本学等 飞 秒 激 光与 晶 体 和 玻璃 的 相 互 作用

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作者 简介 姜 本学 男 山东 青 州 人 硕士 主 要 从 事 激 光 晶 体 生长 光 谱和 激 光 性 能 的 研 究