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李全禄 压电与压磁声电转换材料的研究及应用
李全禄 压电与压磁声电转换材料的研究及应用
年 月
压 电与 压 磁声 电转换 材料 的 研 究 及应 用
李 全 禄
陕 西 师 大 应 用声 学 研 究 所 西 安
, ,
摘要 对 应 用 于 声 电转 换 方 面 的 两 类 材 料 压 压磁声
电 转 换 材 料 的 制 备 作 了研 究
它 们 的 压 电效 应 与 压 磁 效 应
、 — 电与 对
电致 伸 缩 与 磁 致 伸 缩 及 其 应 用 作 了 归 类 比 较 并 且 指 出 在 有 些 重 要
。 ,
应 用方 面 它 们将 长 期 共 存 及 相互 不 可替 代
关键 词 压 电性 压 磁 性 声 电转 换 材料 应 用
, , ,
、
, , ,
・
, ,
, , ,
, 、
的 差 距 对 于性 能 优 异 的新 材 料 的 发现 研 制
引言
和 对 现 存 有 关 材 料 的改 进 提 高 性 能 等 的 研 究
。
截 止 目前 声 电 转 换 器 件 作 为 一 种 将 其
,
将 是 长期需 要 的课 题 针 对 我 国 的 实际 情 况
,
它 形 式 的 能 转 变 为所 需 频 率 的 声 能 或 把 声 能 我 们对 压 电 主 要 是 压 电 陶 瓷 和 压 磁 主 要
转 变 为 同 样 频 率 的其 它 形 式 的 能 的 器 件 将
,
是 铁 氧体和 金 属 材 料 的研 制和 使 用 作 了
。 。
更 为广 泛地 应 用于 多种科学 技 术领 域
,
作为 一 些 研 究工 作 取 得 了一 些 成 果 和 经 验
,
电 声 型 的声 电 转 换 器 件 的 应 用 主 要 还 是 压
材料的压电性和压磁 性
电换 能 器 和 磁 致 伸缩 换 能 器 两 类 此 处 不 包
。
括 静 电换 能 器 用作力 声 一 电转 换 的 材 压 电效 应 与电致伸 缩
。
料 分 为 人 们通 常 称 的 压 电 型 和 压 磁 型 材 料 早在 年 由法国的 和
, ,
。一 ,
新 型 换 能 材 料 的研 究 是 提 高 相 关 能 量 转换 器 首先在水 晶 石
。
件 及 有关 仪 器 设备 性 能 和 质 量 以 及 创 制 新 仪
,
英 上 发 现 了压 电性 至 今 人 们相 继 在 无 机
、 。
器 新 设 备 的基 础 国 外 的 此 类 研 究 十分 活 跃 物 和 有 机 物 范 围 内 发现 了 大 量 的 具 有 不 同 程
, 、 、
且 持 续 不 断 地 出 现 新 材 料 如 日 本 美 国和 前 度 压 电性 的 天 然 的 及 人 工 制 造 的 压 电 单 晶
。 、 。
苏联 对 于 压 电和 压 磁 材 料 的 研 尤水 平 较 高 压 电陶 瓷 压 电 薄 膜 及 压 电高 聚 物 等 压 电效
国 内 在 此 领 域 内的 研 究较 外 国 尚 有 不 同 程 度 应 指 的是 对 某 些 电介质 施 加 机 械 力 引 起 内部
陕 西 省 自然 科 学 基 金 资 助 项 目
本文 年 月 日收到
压 电 与 声 光 年
取 向 的 各 晶 粒 小 单 晶 磁 致 伸缩 的平 均 值
,
电荷 中 心 相 对 位 移 而 发 生 极 化 导 致 电 介 质
。
因此表 现 为 各 向同性 当磁 状 态 随 磁 化 场 强
,
两端 表 面 内 出现 符号相 反 的束缚 电荷 其 电
的 增 加 而 达 到 饱 和 时 即 由磁 中 性 态 磁 化 到
,
荷 密 度 与外 力 成 比例 这 种 现 象 称 为压 电效
饱和时
,
磁 致 伸 缩 的相 对形 变 也 趋 于 极 限值
。 ,
应 或 正 压 电效 应 反 之 如 果 将 有 压 电效 应
,
在 磁 化 方 向上 其 长度 的相 对 变 化 叫磁 致
,
的 介 质 置 于 外 电场 中 由于 电场 的 作 用 会 引
起 介 质 内 部 正 负 电荷 中 心 位 移 而 此 位 移 又
,
。
又一 一
川
表
, ,
伸 缩 系数 或 饱 和 磁 致 伸 缩 系 数 用
,
导 致 介 质 发 生 形 变 此 种 效 应 称 为逆 压 电效 乙
。
示 是 磁 化 方 向上 测 得 的 长度 的变化
应 与 压 电效 应 很 有 关 联 的 电致 伸 缩 效 应 是 。 ,
量 由于 某 些 磁 性 物 质 具 有 磁 致 伸 缩 特 性
应 用 某 些 压 电 材 料 的 压 电性 设 汁制 造 相 关 电
。
磁性 体在 一 定 的偏 磁场 和交变 磁场 同时 作 用
子器件的基础 某 些 介 电材 料 当被 加 上 电 场 。 ,
,
下 将 发 生 同 频 率 机 械 振 动 同样 一 定 频 率 的
后 便 产 生 显 著 的 几 何尺 寸 大 小 的变 化 即 形
,
机 械 振 动也 可使 磁性 体 的磁 化状 态 发 生变
变 其 变 化 的大 小 与 电场 强 度 的平 方 成 正 , 。
,
化 这种现象 称为压磁效 应 一般所 说 的压磁
比 的 弹 性 应 变 现 象 把 这 种 效 应 叫 电致 伸 缩
材 料 指 可 利 用 其 压 磁 效 应 制 作 声 电转 换 器
效 应 逆 电致 伸缩 效 应 则 是 机 械 应 力 产 生 电 ,
。
件 的材 料 就是所谓 的磁致伸缩材料 指主
极 化 的现 象 由 于 形 变 与 电场 强 度 的 平 方 。
,
要 利 用 磁 性 物 质 磁 致 伸 缩 效 应 的材 料 在绝
成 正 比 所 以 与 电场 的 极 性 无 关 这 是 与 逆 压
,
。 ,
大 多 数 场 合 是 利 用磁 致 伸缩材 料 的 压 磁 效
电效 应 所 不 同 的 地 方 而 另 一 方 面 具 有 显 著 。
、
应 制 作器 件 压 磁材 料分 为 金属及 一
的 电致 伸 缩 效 应 的介 电材 料 如
、 矛 ,
合金 镍 锌 系 铁 氧 体 一 镍铜
等 在 使 用此 类 材 料 时 为 了获
,
。
系铁 氧 体 一 等 连 同 磁 致 伸缩
得形 变 与 电场 成 正 比 的线性 关 系 必须 将 这
,
几
, ,
。
系数 一 样 压 磁 材 料 的 机 电摧 合 系 数 也 是
类 材 料 在 强 直 流 电场 下 进 行 极 化 具 有 电致 ,
,
表 征 压 磁 材 料 性 能 的 一个 重 要 参 数 是 衡 量
伸 缩 效 应 的 介 电材 料 经 过 极 化 后 便 具 有 同
压 磁 材 料 中能 够 转 换 成 机 械 能 的 磁 能 与 材 料
压 电 体 具 有 压 电性 的 物 体 相 似 的 压 电 效 ,
。 、
中 的 总磁 能 之 间关 系 的一 个 系数 用 符 号
应 把 具 有 压 电效 应 的 单 晶 陶 瓷 和 高 聚 物 等 。
。
表示 当 压 磁 材 料 处 于 自 由振 动状 态 而 其 工
统 称 为压 电材 料 这 些 就 是 设计 和 研 制 声 电
矿 一
,
。
作 频 率 还 低 于 谐 振 频 率 时
转换器 件的极重 要 的一类材料
转 换 成机 械 能 的磁 能
磁 致 伸 缩 与压 磁 材 料
、
值 与材 料 的 磁 化 状
材 料 中 的 曾磁 能
,
当铁 磁 体 的 磁状 态变 化 时 其 几 何尺 寸 态 有关
。
, 。
也 发 生 变 化 叫 磁 致 伸缩 若 铁 磁 体 的 尺 寸 改
压电 与 压磁材 料 的分 类
变 情 况 用 沿 着 磁 化 方 向长度 的 相 对 改 变 来 描
述即 ,一 是 退 磁状 态 的原 长 叫线 磁 致
半 构 成 声 电 转 换 器 件 的 具 有 机 声 电转 换
,
。
令 研制中
。
本 文 把 已 有 应 用 的 大 多 数 声 电转 换
叫体 磁 致 伸 缩 由于 磁 性 体尺 寸 沿 磁 化 方 向 材 料 分 门 归类 为 两 大 类 型 即压 电型 和 压 磁
, ,
伸 长 时 垂 直 于 磁 化 方 向 的尺 寸 将 缩 短 反 型 它 们的族 系分别如 下 少数 为天 然 材料
,
, ,
之 磁 化方 向 的 长 度 缩 短 时 垂 直 于 磁 化 方 向 大 多 数 为人 工 制 造 的
。
的尺 寸 将 伸 长 因而 磁 致 伸缩 的体效应 一 般 压 电 型材 料 分 类
。
都 非常 小 磁 致 伸 缩 起 源 于 物 质 自发 磁 化 时 压 电类 包 括 压 电 陶 瓷 压 电 单 晶 压 电半
、 、
晶 格 的 自发 形 变 由于 单 晶 体 样 品 是 各 向 异
、 、
导 体 压 电高 聚 物 压 电复 合 材 料 及 压 电 液
,
性 的 而 多 晶体 样 品 的磁致 伸缩则 是作 杂乱
第 期 压 电与 压 磁 声 电 转 换 材 料 的 研 究 及 应 用
晶等 相 比 其 特 点 是 它 们 的烧 结 性 能 良
,
瓷与
,
压 电陶 瓷 好 不 但 烧 成 温 度 范 围宽而 且 挥发也
。 , ,
电 体 的 一 种 通 常 由具 有 自发 电 极 化 的 铁 电
。 ,
材 料 烧 成 因 为 是 多 晶 体 自发 的 电偶 极 矩 取 在 某 些性 能方 面 比 二元 系 陶瓷有 显 著 的优 越
。 ,
向是 无 规 则 的 需 经 强 直 流 电 场 极 化 处 理 才 性 三 元 系 压 电 陶 瓷 发 展 相 当迅 速 其 品 种 可
。 。
达 几 十种 之 多 按 特 性 区 分 的三元 系 陶 瓷 为
,
能 使 它 们 择 优 取 向 外 电场 去 除 后 因 陶 瓷 中
・
。
保持 着 一 定 的 极 化 强 度 而 使 之 具 有 压 电性 高 机 电祸 合 系数 的压 电陶瓷
,
。
常用 的压 电 陶 瓷 分 为 妮 镁一 错一钦 酸 铅 一
日本 商 品 代 号
,
一元 系 压 电陶 瓷 一
、
二
,
。
’
夕
、
一 妮 锌一错一钦 酸 铅
,
简写为 妮酸钾 或
、
。 ,
或 简写为 妮酸锉 一 少
一
妮 锰一 错一钦 酸 铅
、
一
,
偏妮酸铅 简写 为
。
少 二
等等 一 钨 锰一错一钦 酸 铅
二 元 系 压 电陶 瓷 夕
一 一
。
由两 种 化 学 通 式 为 钙钦矿 型结 锑 铿一错一钦 酸 铅 一
。
夕
构 的化 合 物 所 组 成 的 固 溶 体 其 中 代表二 一 等等
’、 ’、 、
丰 ’、 之 ,
价 的正 离 子 等 低机 电藕 合 系数 压 电陶 瓷 锑
’、 ’
锰一锗一钦 酸铅 一
,
或一价正 离子 等 代表 四 价 的正
‘ 、
今 干 。 、
一 掺 锰 妮 锌一 错一钦 酸 铅
,
离子 或五价正离子 等 当两
型结构 的化合物 为某一 比值时 此 一夕
,
种 一 一
,
时这 种二元 系压 电陶 瓷可能具 有 最 大 的压 电 等等
。
。
高机 械 品 质 因数 压 电陶 瓷 锑
, ,
性 能 通 过 调 节两 种 型结 构 的摩 尔 比
。
锰一错一钦 酸铅 一
,
以 及 采 用 取 代 元 素和 添 加 物 的 改 性 方 法 可
。
获 得 各种 不 同 性 能 和 不 同 用 途 的材 料 二元 一 妮 镁 一 错一钦 酸 铅
、 。
系压 电 陶 瓷 主 要 为 错 钦 酸 铅 一 一 一 等
。
高 介 电常数 压 电陶 瓷 妮镁一 错
二 一 二
一
,
或 简写 为
,
一钦酸 铅 一夕 一
,
及 其 系 列 制 品 妮酸 钾钠 一
妮 镍一错一钦 酸 铅
, ,
或 简写 偏妮
。
一少 一 等
二 一 二 。
酸铅 钡 和 偏 妮酸 钾 钠
。
高稳定性压 电陶瓷 妮锌一 错一钦
酸 铅 一 一
・ ・ ・
〕
三 元 系压 电陶瓷
,
三 元 系压 电 陶 瓷通 常是 在 具 有 钙钦 矿 型 妮 锑一错一钦 酸 铅
。
结构 的 二 元 系 中再 加 第三 种 化学 通 式 一 一 妮 锢一锗
一钦酸 铅 一 一
。 ,
为 型 化 合 物 而 形 成 的 三 元 系 固溶 体
钨 福一 错一钦 酸 铅
,
所 增 加 的第 三 种 成 分 它 们 的共 同特 点是 掺
少
入 一 之 中形 成 的 固 溶 体 不 改 一 一 钨钻一错一
。 。
少
。
钦酸铅 一 一
,
变 整个 晶体 的钙钦 矿 型 结构 三元 系压 电陶
压 电 与 声 光 年
、 、
简写 为 或
,
钦 酸铅 一 一
,
。 , 、
钨 锰 一 错一 钦 酸 铅 磷酸二 氢氨 简写 为 磷酸
、
。
二 氢钾 一 简写 为 硫酸锉
一 一 等
。 、 、
高功 率材料 锑 铿一错 一 钦 酸 铅 妮 酸 锉 担 酸 锉
一 、 、
一少 一 稼 酸 锉 锗 酸 锉
・ 、 沙 、
妮 锑 一 错一 钦 酸 铅
,
一 碘酸铿 妮酸钠 钡
, 。
简写 为 或 等等
。
少
一 等
以 上 可 以 看 出 有 些 三 元 系压 电陶 瓷通 压 电半 导 体
过 调整组成 比例 甚 至 同一组成
,
可 以有几 具 有 压 电 效 应 的半 导 体 材 料 称 为 压 电半
。
导 体 既 具 有 半 导 体 特 性 同 时 也具 有 压 电性
,
。
种 性 能 优 良 的情 况
多 元 系 压 电陶 瓷 其 晶 体 在 外 加 机 械 压 力 下 随 着 晶 体结 构 和 外
形 的 变 化 电学 性 质 也 发 生 变 化 此 现 象 称 为
,
一乏
,
其通式 为 一
,
正 压 电效 应 反 之 当 晶 体 加 上 一 个 电压 时
, ,
。 ‘
” 此处的 代表 价和 价
,
正离子 ’代 表
、
和 价正离子 值为 其 结 构 和 外形 也 会 发 生变化 这 种现 象 称 为
。 、 、
、
和
,
其值 取 决于
,
和
,‘
的原 子 反 压 电效 应 例 如 元 素硒 蹄
一 、 、
族 化合 物 氧 化 锌 硫化锡
。 ‘ 。 ”
〕 一 ,
价数 通过 调节和添加 可改
,
、 、
变 多元 系统 的 元 数
“ ” ,
以 获得所需要 的很宽 硒 化福 蹄 化福 蹄 化锌
一 、
的性 能 调 节范 围
。
如 上 述 三 元 系 所 举 的有 些 族 化 合物 砷化 稼 锑
、 、 、
,
实 例 通 过 调 节 各组 分 的 比 例 可 得 到 所 需 不
,
化锢 磷化 稼 砷化 锢
同性 能 参 数 的 压 电 陶 瓷
。
磷化 铝 还有三元化合物如硫砷银
、
压 电单 晶 砷锗福 以及掺 杂的
。
、
由原 子 分 子 和 离 子 有 规 则 的 周 期性 排 和 某 些 铅 系压 电 陶 瓷等
列构成 的物 体称 为晶体
。
原 子 在 整 个 晶体 内 压 电高 聚 物 及 压 电复 合 材 料
自本 世 纪 年 代起 人 们就 确 信 所 有 的
,
,
的 排列 取 向单 一 者 称 为 单晶 否 则 称 其 为 多
。
。
晶 单 晶 内 的 原 子 按 同 一 规 律 周 期 性 的排 列
,
高 聚 物 多 少 都 显 示 压 电性 压 电高 聚 物 一 般
、 、 、
分 为 压 电 塑 料 压 电 像 胶 压 电树 脂 压 电高
。
整 个 晶 体 只有 一 个 取 向 多 晶 内的原子 也 是
。
中有 专 门 研 究 在 此 不 再 赘 述
「〕
,
原 子 的排列 方 向 即取 向 不 同 即多 晶可 以
・ ・
看 成 是 由若 干 取 向 不 同 的 小单 晶 称 为 晶 粒 压电 液晶
,
液 晶是 液 态 晶体 的 简 称 是 一 种 介 于 液
。
组成 具 有 压 电效 应 的 单 晶 晶 体 称 为 压 电
。
态 和 固态 之 间物 质 特 别 是 具 有 压 电 性 的液
。 ,
单 晶 压 电晶体 晶 体 是 否 有 压 电性 是 由 晶
、
晶 其 在 微 小 的 电 压 下 灵 敏 的 压 电效 应 超 声
,
体 的结 构 对 称性 这个 内 因 所 制 约 的 结构 上
有 对 称 中 心 的 晶 体 无 压 电性 只 有 无 对 称 中
,
效 应 和 应 力 效 应 就 能 在 很 小 的外 界 能 量 的影
,
响 下 使 自身 的 结 构 发 生 变 化 从 而 使 其 相 应
。
心 的 晶 体 才 可 能 有 压 电性 因 此 压 电单 晶 只
。
的功 能 发生变 化 利 用 液 晶 制 作 精 密 声 电转
, , ,
能是属 于 种 点 群 对 称性 即
。
, , , , , , , , , , ,
换 器 件 的 研 究工 作 已 有 开 展
, , , , ,
的晶体
。
已 发现 的 压磁材料 的 分 类
具 有 压 电性 的 晶 体 有 几 十 种 有 应 用 价 值 的
,
么 铁磁金属类
第 期 压 电 与 压 磁 声 电转 换 材 料 的研 究 及 应 用
、 、
。 , 。
包括 及 其 合金 某些 稀 土 合 压 电陶 瓷 的研 究 中 也 有 试 验
。 ,
金 和 化 合 物 其 在 居 里 点 以 下 当加 上 外 磁 场 压 电 单 晶 与压 电 丰 导体 晶 休 的 制 备
时 各磁畴 内的磁矩趋 向于外磁 场方 向整 齐
, ,
在 某 种 意 义 上 讲 全 部 的 压 电单 晶 都 是
。 、
排列 使材 料 具有 较 大 的磁化强度
,
如
,
人 工 生 长 的晶 体 对 于 不 同材 料 和 不 同 的 应
、 、 、 、 、
一 一 一 一 一
,
用要 求 又 分 为许 多 不 同的工 艺方 法 用 于 晶
。
一 一 等 铁 磁 金 属 及 合金 都 是 良好 的
。 ,
体 的 生 长 现 在 适 用 于 某种新 型 单 晶 生 长 的
。
磁 致 伸缩 材 料
。 ,
方 法 正 在 研 究 中 对 于 具 体材 料 因条 件而 异
铁氧体
, 。
不 少 方 法 还 可 以互 相 变 通 不 断 发展 下 面 介
一般 以 和 其 它 铁 族 或 稀土 族 化合
。
〕
绍 一些 常用 的 晶体生 长方法 ,
,
物 为主 要 成 分 的复 合 氧 化 物 用作压 磁材 料 水 溶 液 降温 析 晶 法
、
‘
〕
的铁 氧 体有 一 系铁 氧体 一 系 此法适 用 于象
、
和 等溶
、 、
铁氧体 一 系铁 氧 体 一 一 铁 解 度 温度 系数 为正 且 数值 大 的水溶性 晶
、
。
氧体 一 一 一 铁氧 体和 其 它 掺 有 。
体 在 育 晶 容 器 中盛 放 一 定 浓 度 的 母 液 在 不
,
、 、 、 、 、 、
及 不 同成分组 损 失 溶 剂 的情 况 下 通 过 缓 慢 降 温 在 溶 液 逐
, ,
、 、
伸缩材料 工业流行铁氧体的化学 组成 区
” ,
溶液就 附在 晶种上 不断 生 长成 单 晶
。
此
二 二 ・
卜 卜
, ,
种 方 法 生 长 温 度 低 几 十度 设备 较 易解决
, ,
一 少
, ,
式中 而 容 易 生 长 出大块 百 克 以 上
,
外形 完整 的优
。
此 范 围 内含 有 较 少 的 而较多的 。
良 单 晶 易 于 观 察 生 长过 程 缺 点 是 生 长速 度
,
的铁 氧 体 称 为 一 把 含 有较 多 而 , 。
慢 周 期 长 达 数 十天
。
较少 的该 类 铁 氧体称 为 一 溶 液 蒸 发法
靠 溶液 不 断 蒸 发 使 溶 液 达 到 过 饱 和 状
,
压 电与 压 磁 材 料 的 制 备
。
态 而 析 出 晶 体 的方 法 此 方法适 用于
压 电 与压 磁 材 料 的 制 备 有 些 有类 似 的 地 ・ 、 一
等溶 解 度 温 度 系数 小 的水 溶
方 例如 用 干 法 陶 瓷工 艺 又 称 氧化 物 法 制
,
。 ,
性 晶 体 将 母 液 置 于 育 晶 容器 中 不 断 缓 慢 地
备 压 电 陶 瓷 的 主 要 工 艺 过 程 除 了极 化 工 艺 “ ”
蒸发 母液 使 准 移 区 保 持 恒 定 温度 晶 体
, ,
与铁 氧 体 的 制法 相 似 有 些 制备 方 法 又 纯 悴 。
、
在 母 液 中不 断 长大 而 析 出 晶 体 其优 缺点 同
属 于 某 种 材 料 所 特 有 的 制 法 如 压 电单 晶 铁 。
、
溶 液 降温 法
磁 性 金 属 和 合 金 铁 氧 体 厚 膜 和 压 电高 聚 物
。 。
水热 合成法 热 液法
薄膜 等 下 面 将 择 其 主 要 的予 以 简 述 ,
水热合成 法是 常用的单晶生长方 法 对
压 电陶瓷的 制备方法 一 、 、 、 、
于象 和
压 电 陶 瓷 的制备 基 本 上 都 采 用 干 法 陶 瓷
, 、 、 等难 溶 于水 或 高 温 即分 解 或熔 点 相 当高
工 艺 大体上 为 配 方 设 计 计算 选料 磨 ,
、 的 晶体 在 高 温 几 百度 及 高 压 几 百 到 两 千
料 称料 原 料 混 合一 预 压一 预 烧 一 次 烧
、
球 磨 或 振 磨一 加 粘 合 剂
、
大 气 压 条 件 下 的溶液 温 差 法 高压 釜 下 部 比
结 粉碎 细 化
, ,
电极 极化 老化 测 试 一 压 电元 件
。
作者 在 远 低于其 熔 点 的温度 生 长 较 热 的溶 液 上
,
在文献
,
等 中作 了 较 多 的 具 体 研 究 此 不
〕
,
升到 较 冷 区变 成 过 饱 和 溶 液 沿 籽 晶 片析 出
,
晶 体 冷 溶 液 下 降到 高温 区 经 加 热 再 溶 解原
。 ,
法 再成 型 到烧结 的 工 艺和 垫 压烧结 工 艺 在 料 成 饱和 溶 液 再 上 升到 晶体 生 长 区 使 晶体
压 电 与 声 光 年
铁 氧 体 压 磁 材 料 的制 备 分 为 多 晶 铁 氧
,
逐 渐 长 大 可 生 长 出 大 块 优 质 单 晶 几 十克 到
。 。
一公斤 以上 体制备 和 铁 氧 体 单 晶制 备两 个 方 面
铁 氧 体 的制 备
,
提拉 法 引上 法 法一
法 基 本 上 归 纳 为干 法 工 艺 和 湿 法 工 艺 又
子 。
。、 。、 、
提拉法适 用于 称 化学 法
、 、
及 等 具有相 合
,
工 艺 相 似 其 中原 料 都 直 接 采 用 各 种 氧 化 物
,
熔 点 即 固 体组 元 液 化 蒸 气压 较低不 发生 有
。
害 的相 转 变 的 晶 体 此 方 法 多 用于 不溶 于 水 的形 式 的 称 为 氧 化 物 法 原 料采 用 各种 盐 类
。 ,
的晶体的生长 用 种 晶 在熔 体 表 面 不断缓 慢 和 氢 氧 化 物 热 分解 后 得 到 活性 较 高 的 氧 化
。
物 的干 法 工 艺 又 称热 分 解 法 对于铁氧体磁
, ,
引上 结 晶 控 制 温度 梯 度 维 持 结 晶 只在 固一
。 , ,
液 界面上 发 生 特 点 是 生 长 周 期 短 几 小时 到 性 材 料 的 干 法 工 艺 本 文 不 作 详细 讨 论 只待
、 ,
把铁 氧体 的配 方 计算和 投 料作 完后 其 它 工
,
几十小时 可生 长 出无 位错 大 尺 寸单 晶 几
,
艺参照 图 所 示 的 流 程 按 各工 艺 环 节 的 具
,
体 操 作 要 求进 行 就 能 制 备 出铁 氧 体 的 样 品
,
差 退 火 不 好 时 易 产 生 内应 力
。
浮熔 区法 一 来
法
对于 及 等特 另 高熔
,
点或 易于 和 增 祸 材 料 反 应 的晶体 要 求 固液
。 ,
同组元熔 化 把原 材 料先烧 成 多 晶棒 加热
,
用红 外聚 焦 使 材 料 棒 一 小段熔 化 并 可 用
籽 晶 引晶 浮熔 区 由表 面 张 力维 持 然后 使 浮
, ,
熔 区从一端到 另一端缓慢 移 动结 晶 不 需 用
, ,
柑 涡 可避 免柑 涡 沾染 可 得 到 中等尺 寸 约
。
直 径 晶体
铁磁 性 金 属 与合 全 的 制备
由一 种 金 属 与 另 一 种 或 几 种 金 属 或 非
,
金 属 一 般 通 过 熔 合成 均 匀 的液 体 再 凝 固而
。
合金 将碳基 和碳基
,
按一定 比例 压 实 然后 在 保
,
温 使 其 熔 成 块 再 把 坯 块 冷 轧成 一 定 厚 度
,
的带材 再行退 火 又 称 浸泡
,
再冷 轧成 所 需
。
厚 度 的带 材 由 铁 磁 性 金 属 和 合金 制 作 的 磁
、
致 伸缩 换 能 器 一 般 结 构 有 棒 形 窗 形 和 环 形
, ,
等 先 计 算 好 按 设计 结 构 所 要 求 的 几 何 尺 寸
,
再 用 冲模把 带材 冲片 经清洗后 进行
, 、 ,
于 水 的 晶体 具 有不 相 合熔 点 即 固液 异 组 元
接 用 氧化 物作 原 料 而 是 在 制备 铁氧 体 用 的
, ,
不 能 用 提 拉 法 生 长 但 与某 种 物 质 熔
,
熔化
,
剂 有 低 共熔 点 使 材 料 在 熔 盐 熔 剂 中熔
,
制 适 当的化学 反 应 条件 温 度 与酸碱度 等
。
融 然 后 降温 析 出晶 体 用 水 或 酸 溶 解溶 剂 使
,
使几 种金 属 离 子 共 同 沉 淀 下 来 所 制取 的混
。 ,
与 晶体分 离 可在远 低 于 熔 点温 度 下 生 长 可
、 。
合均 匀 的料 粉 再 经 过 成 型 烧 结 等 工 艺制 成 生 长 出 质量 较好 的有 规则 外 形 的 小 晶 体
。 、 、
铁氧体 所 用 的盐类 有 硫 酸 盐 硝酸 盐 氯 化 温度 梯 度 法 亦 称 布里 吉曼 记
、 、
物 等 沉 淀 剂 可 用 法 适 用 于在 熔 融 状 态 下 易分 解 的 晶
, 。
二 硝酸盐等 共 沉淀法 的
。
体 材料 盛 在尖 底 长管形 增 涡 中 在 炉 子高 温
,
、 、 、
区 熔 化 后 缓 缓 移 入 低 温 区 使 自柑 涡 底 开 峥
, ,
优 点 是 粉料 细 活 性 强 成 分 均 匀 工 艺 简 单
。
及 易 制 成 优 质铁 氧 体 成 核结 晶
。
长 单 晶片 或单 晶薄 膜 用 蒸 发 溅 射 气 相 反
, ,
进行烧 结 其温 度 一 般 为 低于 应 等 方 法 使 化 合物 分 子 在 特定 的 基 底 与待
。
一 般 的烧 结 温 度 生 长物 质 晶 格结 构 匹 配 者 上 取 向 附 生 常 用
。
热 压烧结的优 点 是 能 控 制制 品 的结 构
,
的 液 相 外 延法 是 将 磁 性 材 料 或 其 组 元 和 助
。
提 高致 密 度 热 压烧 结 的 操 作 方法 比较常用 熔 剂 按 适 当 比例 放 置 柑 涡 中 使 其 在 高 温 形
,
的有 三 种 情 况 ,
成 均 匀 熔 液 在 缓 冷 过 程 中熔 液 达 到 过 饱 和
。
恒压 法 在 整 个 升 温 熔 烧 过 程 中都 ,
这 时 或 倾斜 增 涡 使熔 液 淹 没 基 片 倾 斜 法
加 以 预 定 的最 大 压 力 或 将 基 片 浸 入 熔 液 浸 入 法 即 可 在 基 片上 淀
高温加 压法 当温度达到最高时才 积成磁 膜
。
加 预 定 的最 大 压 力
连续加压法 在开始较低温度 下加 声电转换材料 的应 用
较 小 的压 力 当达 到 最 高 温 度 时 加 以 预 定 的 声 学 是 研 究声 波 的 产 生 传 播 接 收 及 其
、 、
最 大 压 力 保 温 一 段 时 间 后 去 掉 压 少户 随 后 继
,
。
效 应 的科 学 它 包 括 的 内容相 当 广 泛 根 据 研
、 。
续 升温 保 温 和 冷 却 究方法 的不 同 可分 为几 何声学 物 理 声学
, 、
热 压 设 备 主 要三 部 分 组 成 等 根 据 对 象 的不 同 可 分 为 语 言 声 学 生 理
, 、
加压 装 置 油压机等 、
声 学 心 理 声 学 建 筑 声 学 电声 学 水 声 学
、 、 、 、
加热装 置 管 式 电热 或 高 频 感 应 加 、
大 气声 学 分 子声 学 微 观 声 学 环 境 声 学 噪
、 、 、
热装置等 、
声 控 制 音 乐 声 学 生 物 声 学 和 宇 宙声 学 等
、
的 不 同 可分 为如 下 段
,
高 温 高 压 下 不 与 压 制 的铁 氧 体 材 料 发 生 化 学 ・
一 ,
一
。 、
反应 因而 模具 材 料 一般 为 不 锈 钢 纯 刚 玉 次声
一
可 听声 一 超声 一 特 超声
’。
。
二代二二 二 扣 ’ 二 二二二二 奋 ’
‘
等 根据 声能
和 氧化错 等 徽 波 粗声
一
光 波超 声
一 “‘
”
’一 ‘
、 、 、 “一
铁 氧 体 单 晶 材 料 的制 备 传播特性 可分为横波 纵波 扭 转波 表 面
。
除 了上 文 提 到 的制备 压 电单 晶 的方 法 声 波和 体 声 波等 本 文 研 究 的 电声 型 声
、
水 热 法 提 拉 法 和 浮 区 法 当 然 具 体 操 作 与压 电转 换 器 件 及 其 材 料 正 是 为 了 解 决 声 学 领
,
电单 晶 有 不 同 的 地 方 以 外 铁 氧 体 单 晶 制 备
,
域 内理 论 和 实 际 方 面 多 种 问 题 也 就是主要
、
方 法 中还 有 研 究利 用声 波 的能 量对 物 体 如 原 材料 制 品
熔 盐法 亦 称助 熔 剂 法 对于不溶 或有机 体等 进行 检 测和 加 工 等 问题 的重 要
压 电 与 声 光 年
手段和 有 效 的工具 对 于 各 种 频 率 范 围 内检 压 电振 子 就 产 生 谐 振 此 时 输 出 的 振 幅 最 大
, ,
、 、 。
应 的产 生 无 不要 用 到或是 发射 型 换 能器 或 产 生 机 械谐 振 这 种 机 械谐 振 又 可使 压 电振
,
是接收型 声 电换 能 器 和 收 发 兼 用 型 换 能 子 通 过 正 压 电 效 应 而 输 出 电信 号 本文研究
。
器 的 重 点 是 用 于 能 量 转 换 的 传声 器 类 和 压 电换
。
压 电 型 声 电转 换 材 料 的 应 用 能器等 利 用 具 有 压 电效 应 的材料 作 成 的换
。
压 电 型 声 电 转 换 材 料 的应 用 范 围 大致 分 能 器 统 称 为 压 电换 能 器 压 电 换 能 器 的特 点
。
为 压 电 振 子 和 电声 换 能 器 两 个 方 面 前者如 是 具 有较高 的 接 收 灵 敏 度 和 较 高 的 发射 电声
。
振 荡器和 滤 波器 主 要 用 于 在 网络 中 从 电
,
效 率 但 机 械 强 度 较 低 其 主 要 应 用 于 声 电转
,
。 。
端输 出电响应 把 被 覆 激 励 电极 的 压 电 体 称 换 方 面 的情 况 如 表 所示 压 电型 声 电转 换
。
为 压 电振 子 压 电 振 子 是 弹 性 体 具 有 固 有 谐
,
材 料 具 体 的应 用 范 围 很 广 而 且 随 着 新 材 料
,
用 领 域还 将 不 断 扩 大
表 压 电 换 能 器 应 用 范 围 一 览 表
应 用 方 面 应 用 实 例
、 、 、 。
测 量仪器 压 电 压 力 计 压 电 振 动 计 压 电加 速 度 计 粘度 计 和 汽 车 探 测 器 等
、 、 、 、 、 、
超 声计 量 与 测 量 压 电 流 量 计 压 电流 速 计 压 电风 速 计 压 电声 速 计 压 电 液 面 计 交 通 量 计 测 材 料 缺
、 、
陷探 测 器 压 电 陀 螺 压 电 传动 器 和 超 声 测 井 仪等
、 、 、
空 气 中声 学 换 能 器 压 电 拾 音 器 压 电传 声 器 耳 机 压 电扬 声 器 和 电 视遥 控 等
、 、 、 、 、 、
水 声换 能 器 超 声 测 深 仪 鱼 群 探 测 仪 声 纳 传 声 器 扬 声 器 水 听 器 水 下 收 发 器 和 潜 艇 通 信等
、 、 。
固 体声 换 能 器 超 声 探 伤 仪 厚 度计 混 凝 土 探 伤 地 下探 矿 延 迟 线换 能 器 等
, ,
物理 声 学 换 能 器 物 理 性 质 研 究用 各种换 能 器 纹 影 效应 超 声 衍 射 光 栅 等
, ,
、 、 、 、 、 、 、
大 功 率 超 声换 能 器 超 声 处 理 加 工 超 声 清 洗 超 声焊 接 超 声 除 气 超 声 搅 拌 超 声 粉碎 超 声 乳 化 超 声
、 、 、 。
雾 化 超 声 浸 演 超 声 凝 聚 超 声 促 进 化 学 反 应 电镀 及 材 料 疲 劳 试 验等
,
医用 超声换 能器 脑 心 脏 病 及 其 它 病 症 的超 声 诊 断 脑 肿 瘤 等 超 声 治 疗 超 声 体 外 石 血 流 计 超 声 显
, , ,
像等
、 、
压 电泵 高 压 引燃 引爆 装 置 远 程 武 器 引 信 等
,
其 它 产 生 压 电火 花 打 火 机
压磁 型 声电转 换 材 料 的 应 用 制作 的 筒 状 换 能 器 用 于 扭 转 振 动超 声
,
压 磁 材 料 在 制 作 声 电转 换 器 件 时 由 于
,
波 白 内 障 乳 化 吸 出仪 都 是 被 认 为 是 治 疗 效
金 属 压 磁材 料 同铁氧 体 压 磁 材 料 相 比 它 们
, 。
果 不 错 的超 声 治 疗 设 备
。
的 电阻 率 和 机 械 强 度 有 所 不 同 铁 氧体制作
结论
的换 能器具 有 涡流损耗低 磁 滞损耗 小 的优
,
压 电 和 压 磁 声 电转 换 材 料 对 于 声 学 领 域
。
合 铁 氧 体 压 磁材 料 适 用 于较 高 的频 率 压 磁
,
内 的 能 量 转 换 起 着 重 要 的 作 用 对 它 们 的研
材 料 主 要 应 用 于 制造 超 声 器 件 如 超 声 波 发 究 与开 发 又 一 直 是 功 能 材 料 领 域 的重 要 课
、 、 、 、 。 、 、
生 器 超 声 接 受器 超 声 探 伤器 超 声 钻 头 超 题 研 究声 电 转 换 材 料 的 门类 组 成 结 构 和
, 。
声 焊接器和超 声测 硬度 等 水声器 件 如 声 性 能 之 间 的相 互 关 系 及 其 变 化 规 律 其 任务
、 、
纳 回声 探 测 仪 等 机械滤波器 混频器及超
,
的 方 向是 解 决 实 际 中 需 要 的 合 格 材 料 的 研 制
。
声 延 迟 线 等 还 有 最 近 出现 的 用 铁 氧 体 压 磁
,
以 及 在 有效 的利 用 现 有材 料 的基础上 不 断
,
, , 。
前 苏联人发 明 现 已推 广 及 用 声 电 转 换 材 料 的 研 究 内 容基 本 上 是 材 料 的 形
第 期 压 电与 压 磁 声 电 转 换 材料 的 研 究 及 应 用
化 集 成 化 和 小 型 化 的多 功 能 器 件 的需 要 第
。 、 ,
成 机理 及 其 制 备 工 艺 方 法 研 究 材 料 的组 分
、 、
四 对 声 电转 换 材 料 的研 究 尚无 止 境 新 材料
, ,
结 构 杂 质 和 缺 陷等 与 其 物理 性 能 压 电 性 能
、
和 压 磁性 能 的关 系 材 料 性 能 的测 试 探 索 材 的科学 性 可 行性 以 及 未 来 的重 要 应 用 都 是
,
随 着 实 际 需 要 的发 展 决 定 的 另 一 方 面 应 用
,
料 的 加 工 及 向相 关 电子 器 件 过 渡 的 实 际 应 用
。
开 发 应 注重 实效 经 济效益和 社会效 益
,
问题 压 电 和 压 磁 声 电转 换 材 料 的 研 究 是 一 必
须 妥 善 解 决 好 研 究与开 发 的关 系 才 能 相 互
,
「多 学 科 互 相 交 叉 的 综 合 性 基 础 应 用 研 究
,
, 。
是 介 于 基 础 科 学 与应 用 科 学 之 间 的 一 门 技 术 促 进 共 同发 展
,
科学 与其它 的相关 学 科 联 系密 切 相 互 渗
,
。 、 、 参考 文献
透 相 互 促 进 象 固 体 物 理 结 构 化 学 结 晶学
,
,
田 中哲 郎 等编 陈俊 彦 王 余 君 译 压 电 陶
、 、 、 ,
和 物 理 力 学 电学 磁 学 等 为 这 两 类 材 料 的
瓷 材 料 国 象海 洋 局 第 五 海 洋 研 究 所
, ,
。
研 究 提 供 了 理 论 基 础 反 过 来 材 料 的研 究 与
,
开 发 又 给 基 础 研 究提 出 了新 的课 题 这就 要 ・
, ,
、
求研 究者要 掌握 从 原 材 料到 元 器 件 各 工 艺 一
、 、
过 程 中所 需 的 有 关 知 识 例 如 电 磁 物 质 结
,
、 、 ,
构 结 晶学 热 处 理 机 械 声
,
压 电性 测 量 及 亡
材 阳
,
、 、
设 备 仪 器 压 磁 性 测 量 及 设 备 仪 器 各种 新
、 。
工 艺 元 器 件 的有 关 设 计 等 知 识 从而 有 针 李 全 禄 压 电高 聚 物 的 探 索 压 电 与 声 光
,
。 ,
对 性 的提 出 课 题 和 开 展 工 作 例 如 在 压 电和
・
压 磁 声 电转 换 材 料 中 要 求 在 不 同 频 段 的 大
,
著 林仲 茂 施 仲坚 孙 承 平
,
译 超 声 换 能器 材料 北 京 科学 出 版 社
, , ,
功 率 声 电转 换 材 料 的 研 制 各 频 段 的 声 信 号
接 收 灵 敏 度 的提 高 以 及 材 料 和 换 能 器 的 稳 定
李 全 禄 压 电陶 瓷 研 制 工 艺 与 其性 能 的 改
性 时 间 稳 定 性 和 温 度 稳 定 性 等 高 等将 是 长 ・
善 压 电与 声 光 一
,
时 期需 要 探 讨 的基 本 问 题 从 现 在 发展 的趋
,
李 全 禄 两 种 医 用 压 电超 声 换 能 器 材 料 的
势并 结 合多 方 面 的实 际 应 用 来看 作 者 在 此
研 制及 使 用 声 学 技 术
,
指 出几 点 第 一 在 声 电 转换 器 件 对 其 材 料 性
,
, ,
林声和译
能 需 要 的 前 提 下 压 电 和 压 磁 声 电转 换 材 料
,
,
压 电陶 瓷 北 京 科 学 出 版社
,
将 长 期 共 存 压 电材料 取 代 压 磁 材 料 的 可 能
,
御 子 柴 宣 夫等编 著 袁 健 畴 译 常用 电子 材
性 不 大 而 且 在 实 际 应 用 中将 相 互 弥 补 各 自
,
料 北 京 电子工 业 出 版 社
, ,
许煌 寰 等 编 铁 电与 压 电材料 北 京 科 学
, , , ,
的 不 足 各有独 到 的应 用 各领 风 骚 第 二 不
出版社
, ,
仅 要 创 制 和 选 择 优 质 声 电转 换 材 料 而 且 对
,
,
北 京冶 金 研 究 所
相 关 声 电转 换 器 件 要 有 先 进 的 合 理 的 设 计
《磁 性 材 料 》
翻译组译 磁性材料 北京 科
,
,
就 是 说 要 走 找 优 质 声 电转 换 材 料 与 改 善 原
学 出版社
,
有 设 计 相 结 合 的道 路 才 能 发挥 优 质 材 料 的
作 用 和 促 进 新材 料 的研 究 与发 展 第 三 在 压
,
〕一
电 和 压 磁 声 电转 换 材 料 中 改性 研 制 兼 有 多 种
、 、 、
性 能 如 压 阻 压 敏 热 释 电 光 电和 磁 光 等 多 ,
心 溯
功 能 材 料 以 适 应 未 来 相 关 电子 器 件 的 智 能
,
了 洲
,