‘

金 膜 的 镀制 及 其 反 射率 的 测量

。 ,
叙 述 了 在 玻 璃 上真 空 镀 制 反 射 金 膜 的 方 法 为 了改 进 金 膜 的 拈 结 性 主 体反 射
, 。

膜 在较 高温 度 下 这镀 在辅 助 铁 膜上 文 中引 述 了 高精 度 反 射率 测 量 仪 的 光 路 程
。

,
由于红 外光 学研 究 方 法 的 发 展 以 及 相应 仪 器 的 完 善 便产 生 了 为镜面 光 学 元件 镀 制坚
,

。 。

固的 高 反 射膜 的 必 要 性 随 着 辐 射波 长的 扩 展
, ,
众 所 周知 任 何 金 属的反 射率 都 有 提 高 但
,
毕 竞 是 银和 金 处 于 领 先 地 位
,
就 反射 率 而论 可 是 就 对 各种 化 学作 用 的 稳 定 性 而 言 则唯 独
。

只 有金
本 文提 出 了 研 究 真 空蒸 镀 金膜的 方 法
,
这种 方法要 能 保证 膜 与玻 璃 基 片 有 足 够 的 粘 结

部
, 。

性 高 反 射 率 有 良 好 的重 复 性

辑
,
根 据现 有 的 见 解 如 果 金 属 与 玻 璃 表 面 组分 的 氧 形 成 牢 固 氧 化 物层 只 有 这时
, ,
各种 材

编
。 ,
料 诸 如 玻璃 与 某 些 金 属 之 间 较 好 的粘 结 性才 能达 到 此 时 粘 结 性实 质 上 系 化学力给 以 保
。 、 、 。 、 、 ,
证 镍 铬 钦 就 属 于 这 类金 属 如 果 金 属形 不 成这 类 氧 化物 如银 铜 那 末 它们

》
金
。

与 玻璃 基 片 的 结 合 就 靠着 物 理 吸 附力 而 这 种 力 比 化学力要 弱 得 多 因 此为 了 改 善 这 些 金属
,
术
, 。

膜 的牢 固度 要 先 在 玻 璃 上镀 一 层 与 之 良好粘 结的 辅 助金属膜 然 后 再 迭 镀 主 体 金 属膜
,
技
。 ,
在不 够清 洁 基 片 上镀铝膜 的 缺 陷是 人 所 熟 知 的 看来 金 膜 的 特 点 在 很 大 程 度上 是 这 样
光

, 。

的 则 金 膜会 自行 脱 落
,
如 果 基 片表 面 的 处 理 存 在 着 微 小 缺 陷 形 成 突隆
激

, 。 ,
在 基片 预 先用 溶 液 处理 之 后 可 以用 两 种方 法 净 化 其表面 第 一 种 方 法 即 为 本文 作 者 之
〔’ , ,
一同 一 起 给玻 璃 镀铝 所 应 用 的 方 法 它 保 证 了 完 全 没 有粘 结 缺 陷 的 反 射 镜
《

二
。 , “ 。

的 高 质量 这种 方 法 在于 将 基 片 在 真 空 中预 先 镀 膜前 加 热到大 约 的高 温 被加
©

,
和 水 冷 的 真空 室 壁 之 间 这就 保证 了 基 片表面 可
,
热 的 光 学零 件 连 同载 盘 存在着 温 度 差
。

完 全 消 除 了挥 发 性 的 污物反 方 向 的 迁移 到 待镀 光学 零 件 上
,
靠 的净 化 这 是 这种 方 法的 很 大
有

的 优越 性
所

。 ,
第二 种方法 是 用 辉 光放 电 净 化 这需 要 更 细 心的 安 排钟罩 下 和 真空 室 内 的附 件 因为 只
权

有 与 负 高压 相连 接 的 电 极 才受 到强 烈的 离 子 轰 击
版

因此 如 果 光 学 零 件按 其大 小 和 表面 精 度 能够 承 受高 温 作 用 那 么 就 可 以 大 胆 推 荐真
, , ,

, 。

空加 热 作 为表 面 净 化 方 法
。

这就 发生 了 这 样 的问 题 基 片的 高温 会 影 响反 射镜 的反 射 率
,
薄 膜 蒸镀 时 按 一般 的 设
,
由于 凝 镀原 子 沿基 片表 面 缓 慢迁 移 防 止 了薄 膜 形 成 较
, ,
想 金属 膜 应 当镀 在低 温 的 基 片 上
。 , 。

大的 团 块 显 现 出 光 散射 系 数 增大 文
, ,
在相 反 的 情况下 薄膜 的粗糙 度 增 加 反 射率 降 低
, 。
献 〔幻 中 的 镀铝 玻璃 就完 全 出 现 了这 种情 况
, , ,
关 于 金膜 在 红 外 区 的 反 射率 的文 献 资 料证 明 在 蒸 镀金膜 时 基 片的 适 当 的 高温 甚至
。 。 ,
会 促进 高 反射 率 的 获得 这个 问题 在文 献 〔 〕中 阐述 得 最 为 详 尽 将 金 膜镀 在石 英 基 片上 作
, , “ ,
者 们发 现 获得 高反 射 率 的 最 佳 温度 是 在 范围 若蒸 镀 温度 高 于 则反射
。
。
原题 为 反 射 金膜 编者注
 。 “ , ,
率下 降 如果 金 膜 蒸镀 在 的 基 片上 那 么 反射 率降低 但 是通 过 在真 空中 加 热 处 理
。
。 二二
反 射 率 可 以 提 高 到 相 当 于 块状 金 属 的 数 值 和 曾报导过镀
’

峨 。 。 、

后 加 热 的有 利 影 响 文 献 〔 〕列 引 了 红 外反射率 这 些 文 献 资 料 提 到镀 在 玻 璃 石英 和 云
。

母 上 的金 膜 对 于这 些基 片 可 以 假 设 凝 镀 原 子 的 迁 移率 是 很 大 的
, ,

若 金 膜 镀 在辅 助 金 属 膜 上 则 迁移率 会大 大 减 小 这 有 利 于 获得 更 平滑 的 低 散 射薄 膜
, ,

‘“ ’。
对 于铝 膜 测 量 镀 在玻 璃 上 的 和 镀 在 铬 衬垫 上 的 光散 射 证 实 了 这 种 情况 在第 一 种 情
, ,

况 随 着 膜 厚 增加 光 散 射 增大 对 于 透 射率 为 勃 的铝 膜 光散 射 达 到 最大 值 。
, , ,
在
,

第 二种 情 况 也 就是 良 好 抛 光 的 清 洁玻璃 表 面 的
, ,
光 散射 与膜 厚 无关 其 值不超 过
。

散射 值
在 我 们 的关 于 透 明 金 膜 的 实 验 中 发 现 将 金 膜镀 在 钦衬 垫上 显 示 出 光 散射 降 低 的 趋
, ,

。 ,
镀 在 玻 璃上 的 透 射率 为 的金 膜 光 散射 为 而镀 在 钦 衬垫 上 则 散射
, , ,
势 例如
。

值为 玻 璃 上 的 透 射率 为 的金膜 其 散射 值 为 而 钦衬 上 的金膜 的 散 射
, ,

。 。 。

值是 上述 两种情 况 的 钦 衬 的透 射 率 均 为 这 些 测量 是 在 可 见 光 谱 区进 行 的

部
。

光 散射 的 降 低 间接地 证 明 了 金膜 与 钦衬的 粘 结 比 之 与 玻 璃的 粘 结 更 好
, ,

辑
。

高 精度 的 高反 射率 的测量 是 在如 图 所 示 的 仪 器 上 进 行 的 该 仪 器 的 主 要组 件 是 多 次 反
,

编
。 ‘

射器
,
它 由多个 高 反射 镜 按 介 光 路组 成 为 了 消除 空 气 吸收 的 影压
响
,
射 器 被 排 气到
反竺

》
一 。 。

托 的 真 空度 改 变各 反 射 镜 的 斜 度 反 射次 数可 以 增大 到 各反 射镜 镀 以 被 研 究
,

的金属 通 过 反 射 器 的 光 通 量 可 以 用 下 述 公 式 表示
术
技
。 日
几, 人 几
光

。
反 射 器 入 口 处 波 长 为 几的 光 通
,
式中 ,
— 反 射镜 对波 长 的反 射率
激

幻 几 ,

—反射 器 诸 反 射镜 的反 射次 数 。
《

一
当取 最 小 反 射 次 数为 时 有
,
©

。
久, 几 人
有

,
从公 式 和 我 们找 到 的 表 示式
所

一
二
止上 ,
里李班
二
卫了 ,
权

一 吕 人, 一 乙

几,
版

人,

。
卜
,,‘
公式 并不 包 含 反 射 器 入 口 处 的 光 通 量 湘亡

比 较 从 待 测 反 射镜 来 的 三 次 反 射 与 多 次 反 射 的

便 能按 公 式
, , ,
等等 光信号 计 算 出反
。

射率 的 测量 精 度可 由 下 述 公 式 求得

△ △
一 反 射率 测 量 仪 的 光 路 图
, ,
。
悄 调制 盘
当 信 号测 量 的 相 对 误 差 △ 反 射 次 数等 于
, ,
为 ,
平 面反 射镜
, , ,

的 测 量 精 度约 为 若 进 一 步 增 加 反射 次 数
,
则 , ,
球 面反 射 镜 多次
,

象 差 剧 烈增 大 为 了降 低 误 差 的 影 响
, ,
致 使精度 降 低 反射 器
 。

所 有 测 量 都 是 通 过 分 光 计 光 阑 孔 隙进 行 的
。

为 了 消 除 散 射光 用 镀铝 的 漫 反射 板 和残 光 滤 除 片 来代 替 对于
,
反 射镜 和
。

微米 波 段 滤 光 片用 萤 石 对 于 更 长的 波 段 则 用 氟化 钡
, ,
散 射 光 的总 量 不 超 过 被 测 信
。 , 。

号的 因 而 不 影 响 测量 精 度 列 于 表中
,
在波 长 微 米 以 前 光谱 区 的 反 射 率值

波长 微米
。 。 。

反针 率

, 一 一 。

对波长 微 米 的反 射率 曾用 中 分 光 光 度计 及附 件 及 测量 过 这 些 数据 是 指
” 。 ,
的基 片 温 度 时 镀 于 钦衬 上 的 金 膜 的
,
在 应 当 指出 各次 实 验 结 果 的 差异 很 小 均在 测
, 。

量 误 差 范 围以 内 重 复 性 是 很 高的
,
如 果 金 膜 镀 在 冷基 片 上 那 么 反 射 率 值的 参 差 为 平 均 反射 率值 比 表 列 的 数 值 低
,

。 。

一 采 用 镀后 加 热 有 时 能 够 将 反射 率 提 高 到最 大 值
,

。 , , 。

我 们 对 金 的蒸 发 作过 观察 金 并 不浸 润 钨 因此 有 时金形 成大 滴 流 集 于 钳祸 的一 角

部
。

这 使 蒸发 难于 进 行 如 果 顺 柑锅 方 向放 人
,
需 要 极 大 增大 加 热 电 流 段中 毫米 的钨

辑
, 。

丝 那 么 金 液 会沿 琳 塌 表面 均 匀分 布 坳 塌 的尺 寸 应 当 与 蒸 金 的量
,
蒸 发 速 率也 就容 易调 节

编
。 。
一 若 金 膜 的厚 度对 可 见 光的 透射 率为
,
相配 合 我们在 秒钟 内 蒸 发 完 柑 祸盛 的 全 部 金

》
。 “ 。

则 能 保 证 在 红 外区 有最 大 的 反 射 率
,
蒸 镀 金膜 的 真 空度是 术 托
一 。

为 了 蒸 镀 钦衬 层 用 采用
, ,
号 钦 粉 作膜 料 毫 米 的 钨 片作 成 蒸 发 舟 每 个钨 舟
。
只能 用一 次 以 免 在作 第 二 次 蒸 发 时破损
,
技
光
激
《

参 考 文 献
©

。 。 。 。

〔 〕几 瓦 ,
米及 益 , , ,
袍
,
有

。 , , , 。 ,
〔 〕
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〔 〕 取
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。 , 。 。
版

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∀ 1 9 6 5 P 2 2 1

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2 8
.

译自 oM n 酗 7
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1 9 7 0 p 3 5 3 7
~

严 嵋 译 卢 中尧 校