CÁC PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM

THIẾT BỊ CHÂN KHÔNG

NGƯỜI TRÌNH BÀY:

Lê Trấn
 Dòng nhớt và phân tử

Dòng nhớt Dòng phân tử

(truyền xung lượng (phân tử di chuyển
Giữa các phân tử) độc lập)
 Dòng nhớt và phân tử
• Dòng chảy nhớt
– Xảy ra với áp suất >10-2 torr
– Khoảng cách giữa các phân tử là nhỏ, va chạm giữa các phân tử chiếm ưu
thế hơn so với giữa các phân tử khí với thành bình
– Khí hoạt động như chất lưu, dòng thông qua cơ chế truyền xung lượng.
• Dòng phân tử
– Xảy ra đối với áp suất <10-2 torr
– Khoảng cách giữa các phân tử là lớn, va chạm giữa các phân tử và thành
bình chiếm ưu thế hơn va chạm giữa các phân tử với nhau, dòng thông qua
cơ chế chuyển động ngẫu nhiên
– Phân tử khí di chuyển quãng đường dài giữa hai lần va chạm
– Phân tử khí chuyển động độc lập nhau.
 Tốc độ dòng khí
Q
P1
Ở, tốc độ dòng tải là:
C
S = dV/dt (l/s)
P2 Q

 Tốc độ dòng của bơm: Q

bơm: Sp
Sp = dV/dt ở ngõ vào

 Tốc độ khối lượng thông qua

P: Áp suất khí (torr)
cửa bơm :
SP: Tốc độ bơm (l/s)
Q = PS (Torr.l/s)
Q: Lưu lượng dòng khí đầu ra
 Độ dẫn khí của ống là (Torr.l/s)
C (l/s) Q liên quan trực tiếp đến công
 Kết quả suất loại bỏ khí

Q = (P1 P2)C 1 watt =7,5 torr.l/s

 Tốc độ hút

 Tốc độ hút khí ra khỏi bình chứa Q

P1

S = Q/P1 C

P2 Q
 Bơm có tốc độ Sp = Q/P2
Q

 Q không đổi (bảo toàn khối lượng)

bơm: Sp

 Q = (P1  P2)C, từ đó ta có:

1/S = 1/Sp + 1/C

 Tương thích giữa các loại bơm
Nếu Q là lượng khí hay hơi, mà được bơm bởi bơm chân không cao với tốc độ bơm
hiệu dụng Seff ở áp suất vào pA, lượng khí này phải được tải bởi bơm ban đầu ở tốc độ
SV ở áp suất pV. Lưu lượng Q hiệu dụng được áp dụng bởi phương trình liên tục

Q  p ASeff  PVS V
Tốc độ bơm ban đầu được tính:
PA S eff
SV 
PV

Ví dụ: bơm khuếch tán có tốc độ 800 l/s, tốc độ bơm hiệu dụng là 50% giá trị được ghi
trong catalog, áp suất ban đầu cực đại cho phép của bơm là 2.10-1 torr (ngõ ra). Nếu
áp suất đầu vào bơm khuếch tán PA = 10-4 torr

104.400
SV  1
 2.101 (l / s)
2.10
Giới hạn hoạt động của bơm
 Hấp thụ

Hấp phụ là sự dính của hạt trên bề mặt

Hấp phụ vật lý:

Phân tử đập lên bề mặt mất động năng do biến thành nhiệt khi định xứ trên
bề mặt, năng lượng của phân tử thấp hơn không cho phép nó vượt qua
năng lượng ngưỡng cần để thoát ra khỏi bề mặt.

Hấp phụ hóa học

Phân tử đập lên bề mặt, phản ứng hóa học để hình thành liên kết hóa học
giữa nó với nguyên tử đế.
 Ngưng tụ

Phân tử bốc bay đập lên bề mặt có thể:

Hấp phụ vật lý và dính vĩnh cửu trên bề mặt đế

Hấp phụ và khuếch tán vòng quanh bề mặt và tìm chổ thích hợp

Hấp phụ và giải hấp sau một số lần tồn tại trên bề mặt

Phản xạ ngay lập tức khi tiếp xúc với bề mặt đế

Phân tử hơi tới có động năng lớn hơn nhiệt độ động học của bề mặt đế
 Thuyết động học của khí

Nồng độ của khí n=PV/RT

• Ở áp suất chuẩn, n ~ 2.7 x 1019 phân tử/cm3
• Áp suất chuẩn: 1 atm = 760 mmHg = 760 torr = 1.013 x 105 Pa
Quảng đường tự do trung bình (λ): Khoảng cách trung bình của một phân
tử di chuyển được trước khi va chạm với một phân tử khác.
AÙp Maät ñoä Quaûng
suaát (cm-3) ñöôøng töï do
(Torr) trung bình
5.103 Khí quyeån 760 2.7x1029 0.07 m
p 
p(Torr) Chaân khoâng 10-3 3.5x1013 50 mm
thaáp
Chaân khoâng 10-6 3.5x1010 5m
cao
Chaân khoâng 10-9 3.5x107 50 km
sieâu cao
Quảng đường tự do trung bình
 Lý thuyết khí động học
Vận tốc phân tử là

Vận tốc bình phương trung bình

Áp suất tác dụng lên thành bình theo hướng x

Nếu vận tốc theo các hướng phân bố đồng đều

Do vậy

Động năng trung bình của những phân tử khí là như nhau đối với toàn bộ

khí và tỉ lệ với nhiệt độ tuyệt đối

 Hàm phân bố vận tốc
Những giả thiết của Boltzman đối với khí lý tưởng

• Số phân tử với thành phần x của vận tốc trong khoảng vx , vx + dvx tỉ lệ với hàm  của
vx :

• Hàm phân bố tốc độ v phải là tích của hàm phân bố riêng và xác định đối với mỗi
thành phần vận tốc

Kết quả cho:

Chuẩn hóa hàm phân bố:
 Hàm phân bố vận tốc

Hàm phân bố đã chuẩn hóa đối với vận tốc đơn (Gauss)

Hàm phân bố được chuẩn hóa đối với độ lớn vận tốc (Gauss)

Hàm phân bố được chuẩn hóa đối với hướng vận tốc ngẫu nhiên (Maxwell)

Hàm phân bố Maxwell với vận tốc hướng ngẫu nhiên

 Phân bố vận tốc theo phân bố Maxell

 1. hàm phân bố vận tốc Maxwell:

 m(Vx2  Vy2  Vz2 )

m 3/ 2
f (Vx , Vy , Vz )  ( ) e 2kT
2kT

  

 dV  dV  dV f (V , V , V )  1

x

y

z x y z
 2. Hàm phân bố vận tốc Maxwell theo hướng riêng:

mVx2
m 
f (Vx )  ( )1 / 2 e 2kT
2kT
mVy2
m 
f (Vy )  ( )1/ 2
e 2kT
2kT
mVz2
m 
f (Vz )  ( )1/ 2
e 2kT
2kT
 3. Hàm phân bố vận tốc Maxwell:

mv 2
m 3/ 2 2 
f (v)  4( ) v e 2kT
2kT

f(v)
 (Vp là vận tốc xác suất lớn nhất)

vp v
 4. một số vận tốc quan trọng trong phân bố vận tốc Maxwell

 Vận tốc xác suất lớn nhất vp:

2kT 2RT
vp  
m 

 Vận tốc trung bình số học v :


8kT 8RT
v  vf (v)dv 
0
m



 Vận tốc căn quân phương v rms  v2


3kT 3RT
v 2   v 2f (v)dv  
0
m 
 Tốc độ va đập của phân tử lên bề mặt
Số phân tử với vận tốc nằm trong (vx, vx+ dvx) là dNvx = N(vx2) dvx.

• A = diện tích số phân tử đập lên.

Chỉ có số phân tử trong khoảng va chạm vxdt, đập lên bề mặt sau dt giây

Số phân tử với vận tốc nằm trong (vx, vx+ dvx) đập lên bề mặt mỗi dt giây
 Dòng phân tử

Dòng phân tử trên một đơn vị diện tích bề mặt trong một giây được định nghĩa là tốc

độ lắng đọng của phân tử lên bề mặt

dN e 1 3.513 *10 22 * P
J  (2mk B T) P 
2
(phân tử/cm2.s)
A edt MT

M: phân tử lượng Thời gian hình thành một lớp đơn nguyên tử:

P: áp suất (Pa) NS NS 2mk B T

t 
J P
T: nhiệt độ tuyệt đối

NS: Mật độ phân tử bề mặt (phân tử/cm2)

k: hằng số Boltzman

m: khối lượng của phân tử

 Dòng phân tử

Dòng nguyên tử đập lên một đơn vị diện tích bề mặt do khí dư gây ra ở áp suất 10-6 Torr,

nhiệt độ phòng

P =10-6 torr = 1,3.10-4 N/m2, MH2O =18

J = 6,2.1016 (phân tử/cm2.s)

Dòng khối lượng đập lên một đơn vị diện tích bề mặt

1
M
22
3.515 *10 P 2
  m*J  m*  5.833 *102 P  (g/cm2.s)
MT T
 Đơn vị đo áp suất

• 1 atmosphere =
– 760 mm Hg = 760 torr
– 760000 millitorr or microns
– 14.6959 psi
– 1.01325 bar
– 101325 pascals (Pa)
– 407.189 in. H2O
1 Pascal = 1 N/m2
1 Torr = 1 mm Hg
1 micron = 1 µm Hg
 Bơm chân không

Bơm chân không: có hai loại

Bơm nồng độ:

- Khí vào trong lòng bơm được nén và được đẩy ra ngoài

- Có thể hoạt động liên tục

Bơm cuốn:

- Khí vào trong lòng bơm được giữ lại

- Phải được tái tạo để làm trống khí bị bẩy

Thiết bị Tạo màng
Thiết bị Tạo màng
Bơm lá gạt Bơm chân không thấp hay thô  10-3torr
Bơm chân không cao 10-3 torr  10-8torr
Bơm chân không siêu cao 10-8 torr  10-12 torr

Những phân tử khí từ thể tích được bơm khuếch tán vào không gian giữa
rotor và chamber case, và được nén bởi rotor quay cho đến khi đạt áp suất
đủ cao, khí được tống ra van thải. Khí thoát ra, thông qua dầu, đến cổng ra.
 Bơm cơ học hai tầng (lá gạt)
Khí được lấy đi bằng cách nén chúng trên
áp suất khí quyển, ép chúng thông qua
van kiểm tra
Mục đích của dầu là:
- Làm nguội bơm
- Bôi trơn

cùng được hoạt động bởi motor điện

- Loại lái bằng dây: 200 – 400 vòng/phút

- Lái trực tiếp: 1725 vòng/phút (loại phổ biến nhất)

 Bơm cơ học hai tầng (lá gạt)
Những vấn đề cần biết

-Dầu phải đạt áp suất hơi thấp để bơm hoạt động hiệu quả

. Nước, bụi hay tạp chất trong dầu làm tăng áp suất hơi

- Dòng ngược của hơi dầu có thể xảy ra ở áp suất thấp

. Điều này có thể bẩy trong bộ lộc lưới phân tử

. Phần lớn hơi dầu gây mùi trong buồng chân không

-Tải khí lớn có thể gây bọt trong dầu

. Van thô được mở chậm để ngăn cản điều này

-Dây coroa có thể bị đứt dẫn đến bơm ngừng hoạt động

. Bơm lái trực tiếp khắc phục điều này

Bơm Booster
 Bơm Booster

. Motor dạng chính xác liên hợp tạo hốc chỉ một vài phần nghìn mỗi inch

. Rotor quay 2500-3000 vòng/phút

. Bánh răng đồng bộ hóa rotor

. Loại bơm nén thấp tải khí cao được sử dụng để lấy đi thể tích khí lớn

. Phải hoạt động dưới 10 torr

. Cánh quạt ở atmosphere tạo nhiều nhiệt

. Đòi hỏi một bơm cơ học nối phía đầu ra để tạo chân không ban đầu
Bơm khuếch tán
Bơm khuếch tán
Bơm khuếch tán
300-400 m/s
 Bơm khuếch tán

- Dầu được bốc hơi và được đẩy xuống bởi bếp ngoài và dây chuyền phun đa
tầng
- Hơi dầu đạt tốc độ 300 m/s hay nhiều hơn
- Dòng hơi dầu bẩy và nén khí xuống đáy bơm và được đẩy ra ngoài qua cánh
tay bơm
- Hơi dầu ngưng tụ trên thành bơm và được làm lạnh bởi nước
- Có thể hoạt động ở áp suất 100 mtorr hay ít hơn
- Bơm đầu ra cơ học được đòi hỏi
- Dây truyền phun đa tầng được thiết kế cất phân đoạn dầu, sử dụng trọng
lượng dầu nhẹ cho vận tốc hơi cao hơn
- Tốc độ bơm đạt 300-2800 l/s
 Bơm khuếch tán
Những vấn đề cần biết:

Dòng hơi dầu ngược xảy ra khi áp suất đầu ra quá lớn

. Dòng ngược xảy ra với áp suất 1-10 mtorr

. Chóp trên đầu hệ dây truyền đa tầng giúp làm giảm điều này

. Ni tơ lỏng lấp đầy bẩy lạnh cũng làm giảm điều này

. Áp suất đầu ra cực đại cho phép không quá lớn vì dầu sẽ vào trong buồng

Bơm có thể quá nhiệt nếu hệ thống nước giải nhiệt hư

Bơm đòi hỏi dầu áp suất thấp

Nước, bụi hay tạp làm tăng áp suất hơi

Chỉ có dầu đặc biệt thích hợp cho bơm khuếch tán sử dụng
Bẩy lạnh

Bẩy lạnh làm giảm dòng ngược:

Áp suất thấp ở bơm thô cơ học (0.1-1 torr)
Áp suất cao trong bơm khuếch tán (1-100mtorr)
Bẩy lạnh nitơ lỏng không thể hoạt động ở áp suất khí
trên 100 mtorr, chúng sẽ bị đóng băng hoàn toàn,
nước thừa trong bẩy bị đóng băng và gây vở bẩy, vì
thế phải thổi hơi nước với nitơ khô trước khi lấp đầy
nitơ lỏng
Bẩy nitơ lỏng đòi hỏi tái lấp đầy ổn định
Bơm Turbo
20-50,000 rpm

Bơm Turbo không sử dụng dầu và hoạt động giống động cơ phản lưïc.
Động lượng được truyền đến phân tử khí bởi những đĩa đang quay ở tốc độ rất
cao. Phân tử khí vào một cách ngẫu nhiên, va chạm với cánh rotor quay, và
được đẩy hướng đến van thải. Bơm Turbo có thể đạt được áp suất từ 10-7 đến
10 -10 torr.
Bơm Turbo

Tốc độ quay của motor 9000-90000 vòng/phút

20-60 lá mỗi đĩa

10-40 tầng nén mỗi bơm

Đòi hỏi nối với bơm đầu ra

Tốc độ bơm 100-800 lít/giây

Những vấn đề cần lưu ý:

Những lá rotor tốc độ cao khớp với những lá stator
- Không cân bằng nhẹ có thể gây những vấn đề dao động và áo của
bạc đạn
-Luồng gió mạnh ở áp suất khí quyển có thể bẻ cong lá
Áp suất quá cao gây ra lực nâng và cản khí động học
- Bơm đầu ra được sử dụng
- Lực nâng có thể gây bẻ cong lá.
 Rút khí trong buồng ở vùng chân không thô
V 1013
Tốc độ bơm hiệu dụng S eff  ln
t P

Ví dụ: buồng chân không có thể tích 5 lít, nếu bơm xuống 1 mbar trong 10
phút thì tốc độ bơm hiệu dụng bằng bao nhiêu?

5 1013
S eff  * ln  20.8 m 3 / h
1/ 6 1

Rút khí trong buồng ở vùng chân không cao

Nếu lưu lượng dòng khí rút ra và áp suất đòi hỏi là Pend được biết, thì tốc độ
hiệu dụng
Q
S eff 
Pend
Ví dụ: buồng chân không 500 lít có diện tích bề mặt 5 m2. Giả sử mỗi mét vuông bề
mặt có một lượng khí thoát ra ổn định là 2.10-4 mbar.l/s, bơm được nối với buồng chân
không. Vậy để giữ buồng chân không ở áp suất 10-5 mbar, bơm phải có tốc độ:

5.2.10 4 mbar .l / s
S eff  5
 100 l / s
10 mbar

Tuy nhiên, do bơm chân không cao không hoạt động ỏ áp suất khí quyển, nên cần tạo
áp suất ban đầu. Nên tốc độ hiệu dụng được viết lại như sau:

V PV
S eff  ln
t P

PV áp suất tạo ban đầu để bơm chân không cao hoạt động được, P áp suất buồng
chân không lúc sau. Nếu PV = 2.10-3 mbar, để nhận được áp suất giới hạn 10-5 mbar
trong 5 phút ta cần tốc độ hiệu dụng:

500 2 *10 3
S eff  ln 5
 9 l/s
5 * 60 10
Aùp kế nhiệt điện

-Dòng điện tử ngang qua sợi đốt làm nóng sợi

đốt đến nhiệt độ mà phụ thuộc vào khí của

môi trường lấy nhiệt đi nhanh như thế nào

- Nhiệt độ được đo bởi cặp nhiệt điện, nhiệt

độ được đọc và chuyển đổi thành áp suất

- Khí khác nhau có độ dẫn nhiệt khác nhau,

vì vậy áp kế cặp nhiệt điện được đọc khác

nhau theo từng loại khí

- Áp suất 1-1000 mtorr

- Đáng tin cậy và không đắt

 Aùp kế Pirani

-Tương tự áp kế cặp nhiệt điện, sợi đốt mất nhiệt phụ thuộc vào độ
dẫn khí của môi trường xung quanh
Nhiệt độ của sợi đốt được đo bởi sự thay đổi của điện trở của sợi đốt
-Áp kế Pirani đòi hỏi kiểm soát phức tạp, nhưng chính xác và đáp
ứng nhanh hơn áp kế cặp nhiệt điện
-Áp kế Pirani cũng nhạy với thành phần khí
 Áp kế Pirani

Sử dụng sợi đốt so sánh trong ống chân không cô lập và sợi đốt thứ hai trong buồng

chân không. Aùp một thế không đổi 6 đến 12 V để đốt nóng các dây. Dây càng nóng

chân không càng tốt bởi vì ít phân tử khí đập vào dây để làm tiêu tán nhiệt. Nhiệt độ

dây cao, điện trở cao và dòng phân tử khí thấp. Sự khác biệt giữa dòng khí chân không

được biết trước trong ống kín và chân không chưa biết trong dụng cụ cho số chỉ chân

không trong buồng.

Áp kế ion hóa sợi đốt nóng

-Điện tử được bức xạ nhiệt từ sợi đốt nóng và được gia

tốc từ điện cực lưới

- Điện tử được gia tốc sẽ ion hóa phân tử khí trong vùng

lân cận lưới, và ion khí dương đóng góp vào dòng cực

thu

- Ip = IE*S*P

- Ip là dòng ion dương

- IE là dòng bức xạ điện tử thông qua sợi đốt

- S là độ nhạy của áp kế

- P là áp suất khí
 Áp kế ion hóa sợi đốt nóng

- Tốc độ ion hóa phụ thuộc vào loại khí, vì thế áp kế ion nhạy với thành phần khí

- Độ chính xác 10% toàn giai khi điều chỉnh

-Áp kế ion có thể hoạt động từ 10-3-10-11 torr

- Áp suất thấp được giới hạn bởi bức xạ tia X do điện tử đập vào lưới

- Sợi đốt nóng đòi hỏi:

- Phơi dưới áp suất lớn hơn 10-3 torr, sợi đốt sẽ bị chảy hỏng

- Sợi đốt là nguồn mồi có thể kích nổ đối với các chất khí dễ gây cháy
Aùp kế Penning

Cathod lạnh thay thế sợi đốt để sản sinh ion hóa,

ion khí dương được thu bởi cathode âm, và dòng

điện tỉ lệ với áp suất khí

- Có thể hoạt động từ 10-2-10-8 torr

- Độ chính xác 50% toàn giai đo

- Cathode lạnh là nguồn thế gây kích thích khí

dễ cháy
 Aùp kế Penning

Thu dòng giữa anode và cathode (Giữ ở một thế cở vài ngàn vôn, mà có khả năng ion

hóa phân tử khí trong dụng cụ)ï. Phân tử khí càng nhiều số ion sinh ra càng nhiều

dòng đo càng lớn.