MEMS

(MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM)

Mikro elektro-mehaniki sustavi

to je to?
Mikro elektro-mehaniki sustavi su elektromotorni sustavi, ali na mikro razini. Pojednostavljeno to su ekstremno mali mehanizmi, koji slue za pokretanje odreenih sustava odnosno komponenti

Od ega se sastoje?
MEMS se sastoje od slinih komponenata kao i vei elektro-motorni sustavi, ali uz iznimku da su na mikro razini pa postoje i neka odstupanja Ti mikro sustavi se sastoje od integriranih mehanikih elemenata, senzora te elektronike na bazirane na silicijskoj osnovi

Kako nastaju?
Elektroniki dijelovi nastaju koritenjem integriranih krugova(integreted circuit) kroz sekvencijalne procese (npr. CMOS, Bipolar i sl.) Mikro komponenete nastaju kroz tzv. sustav mikro kompatibilnosti

Od ega se sastoje?
Gotovo svi mikro ureaji nastaju na bazi poluvodikih diskova(wafers), koji su napravljeni na bazi silicija Oni nastaju sloenim procesima (depozicioniranje, litografija te jetkanje) kojima se nanose tanki slojevi materijala, koji u konanici daju odreeni dio MEMS-a

Ureaj napravljen mikrotehnologijom

Dananja rasprostranjenost
Upotreba ovih mikro motora/komponenti je danas ope prihvaena Moemo ih pronai u automobilima, zrakoplovima, printerima i gotovo svim granama industrije, koja koristi elektro-tehnologiju Ve danas postoje elektoro motori sa rotorima manjim od promjera ljudske vlasi, ti se motori koriste za senzore, optike prekidae i sl.

Ureaji manji od ljudske vlasi

Mikro dio motora

Mikro rotor(u sredini) i stator

Dizajn na mikro razini

Budunost
Moemo ve slobodno kazati da su nam se MEMS ureaji podvukli pod kou Iako se ne koriste jo u potpunosti, moemo pretpostaviti da e se veina tehnologije zasnivati na ovim mikro motorima