İçerik

•Elipsometre Nedir?

•Işığın Kutuplanması

•Işığın Maddeyle Doğrusal Etkileşmesi

•Elipsometre Bileşenleri

•Ortalama Karesel Hata (MSE)

•Elipsometrede Ölçüm Almak

•Veri Analizi
 Elipsometre Nedir?
Elipsometre, ışığın bir malzemeden kırılması ve yansıması sırasında
kutuplanmasında oluşan değişikliği ölçer.

İnce film kalınlığı

Yüzey haritası
Homojensizlik Oranı
Yüzey düzgünsüzlüğü
Ara Yüzey Düzgünsüzlüğü
Optik Sabitler
Alaşım yüzdesi
Optiksel Anizotropi Ölçümü
Kristallenme Ölçümü

J. A. Woollam Co., Inc. A Short Course in Ellipsometry, Chapter 2

 Işığın Kutuplanması

Doğrusal Kutuplu Işık

Dairesel Kutuplu Işık

Eliptik Kutuplu Işık

J. A. Woollam Co., Inc., Tutorial, www.jawoollam.com/tutorial_2.html

 Işığın Maddeyle Doğrusal Etkileşmesi
•Optik Sabitler

Kompleks kırılma indisi;

Dielektrik fonksiyonu;

Soğurma katsayısı;

J. A. Woollam Co., Inc., A Short Course in Ellipsometry, Chapter 2

 Işığın Maddeyle Doğrusal Etkileşmesi

Snell yasasına göre ışığın yüzey

üzerinden yansıması ve kırılması.

Yüzeye gelen ışığın nihai yansıması.

J. A. Woollam Co., Inc., A Short Course in Ellipsometry, Chapter 2

 Işığın Maddeyle Doğrusal Etkileşmesi

Snell yasasına göre ışığın yüzey

üzerinden yansıması ve kırılması.

J. A. Woollam Co., Inc., A Short Course in Ellipsometry, Chapter 2

 Kutuplanmanın Analizi

Matematiksel olarak,
kutuplanmadaki değişim ρ ile gösterilir.

rp Fresnel Yansıma Katsayıları

i
tan e
rs rp
N 1 cos 0 N 0 cos 1

N 1 cos 0 N 0 cos 1

Ψ : Genlik
Δ : Faz Bileşeni
N 0 cos 0 N 1 cos 1
rs
N 0 cos 0 N 1 cos 1
Elipsometrede kullandığımız arıtma işlemini
işte bu Ψ ve Δ değerlerine göre yaparız. Φ0; gelme açısı Φ1 ; kırılma açısı

J. A. Woollam Co., Inc., A Short Course in Ellipsometry, Chapter 2

 Elipsometre Bileşenleri

Işık Kaynağı Dedektör

Doğrusal Kutuplayıcı Analizleyici

Kompansatör

Φ0

Örnek

J. A. Woollam Co., Inc., A Short Course in Ellipsometry, Chapter 2

 Analizleyici ve Dedektör

J. A. Woollam Co., Inc., A Short Course in Ellipsometry, Chapter 2

 Dedektörden Veri Analizi

Jones Matrisleriyle;

Ψ : Genlik
Δ : Faz Bileşeni

J. A. Woollam Co., Inc., A Short Course in Ellipsometry, Chapter 2

 Ortalama Karesel Hata (MSE)
i : Tek dalga boyunu ve gelme açısını ifade eder,
σ : Standart sapma
N: Ψ ve Δ nın toplam sayısını,
M: Arıtılan parametre sayısı
exp ve mod: Deneysel ve teorik verileri simgeler.
2 2
N mod exp mod exp
1 i i i i 1 2
MSE exp exp
2N M i 1 ,i i 2N M

J. A. Woollam Co., Inc., A Short Course in Ellipsometry, Chapter 2

 Elipsometrede Ölçüm Almak
Değişken açılı spektroskopik elipsometre ile analiz yaparken değiştirebileceğimiz
bir çok parametre vardır.

•Analiz yönteminin belirlenmesi

•Geliş açısının belirlenmesi
•Spektral aralık seçimi
•Model belirlemek

J. A. Woollam Co., Inc., The Model Window, Chapter 7

 Elipsometrede Ölçüm Almak
•Analiz Yönteminin Belirlenmesi
•Örneğin üst tabakasından yansıyan ışığın elipsometrik analizi
•Alttaşın arka yüzeyinden yansıyan ışığın elipsometrik analizi
•Örnekten geçen ışığın şiddet analizi
•Örnekten yansıyan ışığın şiddet analizi

J. A. Woollam Co., Inc., The Experimental Data Window, Chapter 6

 Elipsometrede Ölçüm Almak
•Geliş Açısının Belirlenmesi

n1
n2

http://en.wikipedia.org/wiki/Brewster%27s_angle
 Elipsometrede Ölçüm Almak
•Model Belirlemek
•Genel Katmanlar •Anizotropik Katmanlar
Standart Katmanlar Standart Anizotropik
Alaşım Katmanları Katmanlar
Sıcaklığa Bağlı Anizotropik Cauchy Katmanı
Sıcaklığa Bağlı Alaşım •Özel Katmanlar
Katmanları Kramers-Kronig Katmanı
•Fonksiyon Tabanlı Katmanlar Delay Katmanı
Cauchy Katmanı Sanal Arayüz Katmanı
Lorentz Osilatör Katmanı Yüzey Düzgünsüzlüğü Katmanı
Kullanıcı Tanımlı Dispersiyon
Model Katmanı
Parametrik Yarıiletken Katmanı
•Kompozit Katmanlar
Efektif Ortam Yaklaşım Katmanı
Kademeli Katmanlar

J. A. Woollam Co., Inc., The Global Fit, Individual Chapter 6

 Elipsometrede Ölçüm Almak
•Model Belirlemek
•Cauchy Katmanı

J. A. Woollam Co., Inc., The Global Fit, Individual Chapter 6

 Elipsometrede Ölçüm Almak
•Spektral Aralık Seçimi

J. A. Woollam Co., Inc., The Model Window, Chapter 7

 Elipsometrede Ölçüm Almak
•Spektral Aralık Seçimi

J. A. Woollam Co., Inc., The Model Window, Chapter 7

 Elipsometrede Ölçüm Almak
•Spektral Aralık Seçimi

J. A. Woollam Co., Inc., The Model Window, Chapter 7

 Uygulamalar

İnce film kalınlığı

Yüzey haritası
Homojensizlik Oranı
Psi (Ψ) Yüzey düzgünsüzlüğü
Delta (Δ)
Ara Yüzey Düzgünsüzlüğü
Optik Sabitler
Alaşım yüzdesi
Optiksel Anizotropi Ölçümü
Kristallenme Ölçümü

J. A. Woollam Co., Inc., A Short Course in Ellipsometry, Chapter 2

Kalınlığın Ölçülmesi
•GaSe
 Kalınlığın Ölçülmesi

J. A. Woollam Co., Inc., A Short Course in Ellipsometry, Chapter 2

 Yüzey Haritasının Belirlenmesi

J. A. Woollam Co., Inc., VMAN Manual

 Yüzey Haritasının Belirlenmesi
•GaSe
Defaults(nm,Thick-nm)
ModelDelete
ExpRange(WvlStart=750, WvlEnd=1000)
ModelOpen(gase.mod)
FitParms(Thick.1[40 50], An.1[2 2.5], Bn.1[0.1 0.2], Cn.1[-0.01 0])
FitNormal
FitGet(layer1=Thick.1, MSE, An.1, Bn.1, Cn.1)

J. A. Woollam Co., Inc., VMAN Manual

 Yüzey Haritasının Belirlenmesi
•GaSe
layer1

Mean = 48.117
Min = 47.350
Max = 49.037
Std Dev = 0.48469
Uniformity = 1.0073 %
layer1
49.04
Mean = 48.117
48.76
Min = 47.350
48.47 Max = 49.037
48.19 Std Dev = 0.48469
47.91 Uniformity = 1.0073 %
47.63
47.35 49.04
48.76
48.47
48.19
47.91
47.63
47.35
 Ara Yüzey Düzgünsüzlüğü

J. A. Woollam Co., Inc., Easy-to-Use Analysis Software for EASE

 Yüzey Düzgünsüzlüğü

J. A. Woollam Co., Inc., Easy-to-Use Analysis Software for EASE

 Kademeli Katmanlar

J. A. Woollam Co., Inc., Graded Layer, Individual, Chapter 6

 Pürüzlü Alttaş ve Düzensiz İnce Film

J. A. Woollam Co., Inc., Easy-to-Use Analysis Software for EASE

 Optik Sabitlerin Belirlenmesi

J. A. Woollam Co., Inc., Point-by-Point, Individual, Chapter 9

 Optik Sabitlerin Belirlenmesi

J. A. Woollam Co., Inc., Point-by-Point, Individual, Chapter 9

 Optik Sabitlerin Belirlenmesi

J. A. Woollam Co., Inc., Point-by-Point, Individual, Chapter 9

 Alaşım Yüzdesi

J. A. Woollam Co., Inc., Application Note, Semiconductor Devices

 Optiksel Anizotropi Ölçümü

J. A. Woollam Co., Inc., Anisotropy, Individual Chapter 16

 Optiksel Anizotropi Ölçümü
Tek Eksenli(Uniaxial) :

Çift Eksenli (Biaxial) :

J. A. Woollam Co., Inc., Anisotropy, Individual Chapter 16

 Kristallenme

www.angstromadvanced.com/Resource/Documents/MPI_Ellipsometer1.pdf
 Kristallenme
•Silikon

D. Levi, B. Nelson, and J. Perkins, NREL/CP-520-33571, (2003)

 Anlık Kristallenme Ölçümü
•Ge2 Sb2 Te5

Hun Seo, Tae-Hee Jeong, Jeong-Woo Park, Cheong Yeon, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 745 (2000)
 Isıl Tablalar

-160º C ile 600º C arasında

J. A. Woollam Co., Inc., Application Note, Heat Cell Applications

Uygulama Alanları

Görüntüleme Cihazları:
LCD, PDP, OLED teknolojisi, esnek elektronik cihazlar

Optik Kaplama:
Güneş panelleri ve aynalarda.

Yarı İletkenler:
Dielektrik, silikon, metal, foto direnç, polimerler ve nano malzemeler.

Biyoloji ve Kimya Mühendisliğinde:

Sıvı malzemeler ve ara yüzeyler, organik malzemeler ve biyomedikal cihazlar.

Anlık Ölçümler:
Kalınlığın değişimi, büyüme oranı ve kristallenme derecesi.
Teşekkürler. Birhan Uğuz-Ankara Ünv.
Tel: 0535 339 21 95