OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

1. UVOD

Pod nekonvencionalnim postupcima obrade podrazumevaju se metode obrade i

oblikovanja materijala koje se primenjuju u slu~ajevima kada nije rentabilna primena
klasi~nih postupaka obrade (rezanje i deformisanej) ili kada se obrada klasi~nim
metodama uop{te ne mo`e izvesti.

Nekonvencionalni postupci obrade se primenjuju kod obrade te{koobradivih

materijala (visokolegirani ~elici i specijalne legure u vazduhoplovstvu, raketnoj i
nuklearnoj tehnici, poluprovodnici u elektronskoj industriji), pri izradi slo`enih alata (alati
za izradu delova od lima, alati za kovanje, livenje pod pritiskom isl.).

Osnovna postavka nekonvencionalnih metoda obrade je da alat ima ve}u ~vrsto}u,

tvrdo}u i da je postojaniji u svakom pogledu od materijala rada.

Nekonvencionalne metode obrade mo`emo podeliti u dve grupe:

nekonvencionalne metode odno{enjem materijala,

nekonvencionalne metode obrade deformisanjem.

Nekonvencionalne metode obrade odno{enjem (skidanjem) materijala se zasnivaju

na kori{}enju fizi~ko-hemijskih pojava procesa, odn. na kori{}enju razli~itih vidova
energije (elektri~ne, hemijske, toplotne, svetlosne i dr.).

U zavisnosti od toga koji vid energije se koristi u tim procesima, imamo podelu
nekonvencionalnih metoda obrade na:

-1-
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14
Postupci obrade zasnovani na mehani~kom dejstvu elektri~ne struje:

obrada ultrazvukom,

obrada abrazivnim mlazom,

obrada abrazivnim ~esticama u elektromagnetnom polju

elektrohidrauli~ka obrada.

Postupci obrade zasnovani na toplotnom dejstvu elektri~ne struje:

obrada elektroerozijom,

obrada laserom,

obrada mlazom elektrona,

obrada plazmom,

obrada jonskim mlazom.

Postupci obrade zasnovani na hemijskom dejstvu elektri~ne struje:

hemijska obrada,

elektro-hemijska obrada,

Kombinovani postupci:

elektro-hemijska bru{enja i honovanja,

elektro-hemijska - elektroeroziona obrada.

-2-
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14
Osnovna karakteristika nekonvencionalnih metoda obrade je da ne postoji
neposredan kontakt izme|u alata i predmeta rada kao i mogu}nost koncentracije velike
koli~ine energije po jedinici povr{ine, odnosno omogu}avaju veliku gustinu energije. Pri
tome, mogu}e je izraditi veoma male otvore, pre~nika reda veli~ine (5-100)mm.

Najva`nije karakteristike nekonvencionalnih metoda obrade su:

obradivost materijala, ne zavisi od njegovih mehani~kih osobina, {to zna~i da re`imi

obrade ne zavise od svojstva materijala, pa se mogu obra|ivati bilo koji materijali,

obrada se vr{i bez dejstva mehani~kih sila na predmet obrade, bez deformisanja, na
pribli`no hladan na~in, ili sa ta~kastim zagrevanjem pa je mogu}e izraditi uske
`lebove i otvore veli~ine mikrona, obradu sitnih delova i tankih materijala,

smanjenje rashoda materijala obrade {to je veoma va`no za obradu skupih i

plemenitih materijala,

obrada slo`enih povr{ina i te{ko pristupa~nih delova i mesta,

rezanje slo`enih profila,

mogu}nost automatizacije procesa i pobolj{anje uslova rada,

visoka ta~nost dimenzija i fino}a obrade mogu se posti}i pri visokoj proizvodnosti.

U odnosu na klasi~ne, konvencionalne postupake obrade, nekonvencionalne

postupke obrade karakteri{e manja proizvodnost i znatno ve}a potro{nja energije. Pri
tome proizvodnost obrade i potro{nja energije zavise i od materijala koji se obra|uje. U
tablici date su veli~ine specifi~ne proizvodnosti (mm3/min) i specifi~ne potro{nje energije
(Wh/mm3) koje se ostvaruju kod nekih od pomenutih nekonvencionalnih postupaka
obrade tabela 1.

-3-
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

Specifi~na proizvodnost Specifi~na potro{nja energije

Postupak obrade
obrade(mm3/min) (Wh/mm3)

Elektroeroziona obrada 5-2 000 0.02-1.2

Elektrohemijska obrada 100 000-200 000 0.12

Obrada laserom 0.1 700

Tabela 1

-4-
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

2. ELEKTRONSKA OBRADA

Elektronska obrada predstavlja jedan od netradicionalnih na~ina termi~kog

odno{enja materijala (engl. naziv Electron Beam Machining, EBM). Kod ovog procesa se
za obradu koriste elektroni visoke energije. Obrada se zasniva na kori{}enju kineti~ke
energije elektrona koji kre}u}i se velikom brzinom udaraju na povr{inu obratka i udaljuju
materijal topljenjem i isparavanjem (evaporizacijom) u zoni obrade.

Primena obrade mlazom elektrona u novije vreme na{la je zna~ajno mesto u

elektronskoj industriji i izradi elektronskoopti~kih aparata, u izradi sita, filtera i kanala za
hla|enje kod gorionika i turbinskih lopatica, kod perforiranja ve{ta~ke ko`e i tome sli~no.

Ovaj proces se naj~e{}e upotrebljava za zavarivanje materijala, a primjenjuje se i za

rezanje, bu{enje i toplotnu obradu materijala.

Obradom snopom elektrona se mogu obra|ivati: metali, nemetali, keramike i

kompozitni materijali. Proces je vrlo sli~an obradi laserom i mnoga pravila su im potpuno
identi~na. Najve}a razlika izme|u obrade snopom elektrona i laserske obrade je da obrada
snopom elektrona se sprovodi u vakuumskoj komori.

Prvi poku{aji obrade mlazom elektrona zabele`eni su 1905.god. od strane M.Pirani.

Njemu je uspelo da topi te{kotopive metale, kao {to je tantal. Me|utim vakuumska i
elektronska tehnika u to vreme nije bila razvijena, pa stoga radovi M.Piranija tada nisu
na{li {iroku primenu. Ardenne M. i Ruhle R. su ve} 1934.god. koristili mlaz elektrona, koji
je fokusiran magnetnim so~ivom, za dobijanje otvora malog pre~nika. Godine 1950,
Steigerwald je pokazao tehnolo{ke mogu}nosti mlaza elektrona za dobijanje o~vrslih i
precizno obra|enih povr{ina. U periodu od 1960. do 1965.god. razra|ene su prve ma{ine
za dimenzionu obradu materijala mlazom elektrona.

-5-
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

3. TEORETSKE OSNOVE

Dati princip obrade uveden je u tehnologiju metala iz elektronske optike, a poznati

principi elektronske mikroskopije na{li su primenu u osnovi upravljanja- elektronski no`.

Slobodne elektrone je mogu}e dobiti iz ~vrstih, te~nih i gasovitih materijala.

Tehni~ki zna~aj pre svih ima emisija elektrona iz ~vrstog materijala (metala). Neki od tih
procesa su: fotoemisija, termojonska emisija i sekundarna emisija elektrona.Da bi se jedan
elektron u kristalu oslobodio sa povr{ine, on mora da dobije bar izvesnu kriti~nu koli~inu
energije. Unutra{nji elektron mo`e dobiti dodatnu koli~inu energije apsorpcijom energije
svetlosti (kod fotoemisije), ili dovo|enjem toplote, tj. zagrevanjem materijala na vrlo
visoke temperature (kod termojonske emisije). Poznato je da se elektroni emituju na
povr{ine metala na tamperaturama reda veli~ine 1 0000K i ve}im. Izvesne prevlake mogu
u~initi metale efikasnijim emiterima elektrona (vi{e emitovanih elektrona po vatu snage
grejanja).

U te`nji da se dobiju {to ve}e vrednosti gustine emisione struje pri manjim
temperaturama katoda, za materijal katoda kori{}eni su neki radioaktivni materijali. Me|
utim, za potrebe u elektronskim pu{kama nisu primenjivani zbog poja~anog radioaktivnog
zra~enja. Zato, kao naj~e{}e kori{}eni materijal za katode u elektronskim pu{kama je
volfram, legiran elementima koji mu pove}avaju emisionu sposobnost.

Pored gustine emisione struje najva`niji eksploatacioni pokazatelj katoda je njen

vek trajanja (trajnost). U principu trajnost katode je ograni~ena procesima raspada i
isparavanja njenog materijala. Pri svom kretanju snop elektrona pobu|uje jone, koji se
kre}u u suprotnom smeru od smera kretanja elektrona. Zatim se ti joni ubrzavaju u
elektri~nom polju izme|u anode i katode i tako ubrzani udaraju na povr{inu katode i
razaraju je. Vakuumiranjem komore elektronske pu{ke i pravljenjem otvora u centru
katode, kroz koji ve}a koli~ina jona mo`e slobodno da pro|e u prostor iza katode,
smanjuje se {tetno dejstvo jona na katodu.

-6-
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

Za stvaranje usmerenog toka elektrona primenjuje se tzv. elektronski top koji radi
na slede}em principu: zagrevanjem u vakuumu metala (volframa ili tantala) propustanjem
elektri~ne struje, sa povr{ine metala emituju se elektroni (termoelektronska emisija) male
kineti~ke energije. Brzina elektrona mo`e se znatno pove}ati ako na elektrone deluje
elektri~no polje uzrokovano razlikom potencijala izmedju katode emituju}e povr{ine i
anode.

Ta brzina je:

cm
V = 5,93 10 7 U (1)
s

gde je:

U- ubrzavajuci napon izmedju elektroda kilovoltima. Tako svaki elektron

dobija kineti~ku energiju koja zavisi od napona.

mv 2
E= = eU (2)
2

gde je:

m = 9,8110-28

g - masa elektrona,

e = 1,610-19C naelektrisanje elektrona.

Kre}u}i se od zagrejane katode ka anodi, elektroni se ubrzavaju uzdu`nim, obi~no

fiksiranim, elektri~nim poljem i prolaze}i kroz otvor u anodi u tankoj struji izlaze iz topa.
Zakoni kretanja elektrona izu~avani u elektronskoj optici imaju mnogo zajedni~kog sa
zakonima svetlosne optike. Formirana elektri~na i magnetna polja po dejstvu na tok
elektrona imaju isti efekat u elektronskoj optici kao i staklena so~iva i prizme u svetlosnoj
optici. Popre~nim i nehomogenim elektri~nim poljem koje se menja po odre|enom zakonu
mogu}e je po `elji upravljati kretanjem elektrona. Dejstvo elektronskog so~iva mo`e se
objasniti na slede}em jednostavnom primeru.

-7-
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

U homogenom elektri~nom polju izme|u plo~a kondenzatora sl. 1 na elektron koji

se kre}e pod uglom u odnosu na pravac vektora ja~ine elektri~nog polja deluje konstantna
sila u smeru pove}anja potencijala. Trajektorija elektrona se pod dejstvom ove sile krivi u
parabolu.

Na isti na~in pona{a se i svetlosni snop u sredini sa promenjivim indeksom

prelamanja. Izborom pogodnog na~ina promene indeksa prelamanja mogu se posti}i
razli~ite forme svetlosnog snopa, pa i paraboli~ne forme.

Oslanjaju}i se na podatke poznatih opti~kih sistema mo`e se na}i takav raspored

elektronskog potencijala na putu elektrona i pri kom }e trajektorija elektronskog snopa
odgovarati pravcu rasprostiranja svetlosti u tim sistemima.

Po toj analogiji, grade se elektronsko-opti~ki sistemi poznavaju}i vezu izme|u

potencijala polja i promene indeksa prelamanja svetlosti.

Slika 1: Putanja elektrona Slika 2: Kretanje elektrona Slika 3: Oblik

u homogenom u polju linijskog elektromagnetnog so~iva
elektri~nom polju provodnika struje

-8-
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

Ako se prelaskom iz jedne oblasti prostora u drugu potencijal na granici skokovito

menja, elektronski snop }e menjati svoj pravac, tj. lomi}e se sli~no kao svetlost pri
prelasku iz jedne sredine u drugu. Ako se potencijal neprekidno menja, bez postojanja
ta~ne granice izme|u sredina, neprekidno }e se menjati pravac kretanja elektrona.

Razni sistemi elektrostatickih so~iva dobijaju se izborom oblika i uzajamnog

polo`aja elektroda, a njihovo fokusno rastojanje je :

U
f1 = K (3)
E

gde je:

K- koeficijent proporcionalnosti,

U- napon ubrzanja i

E- ja~ina popre~nog elektri~nog polja.

Drugi tip fokusiraju}ih sistema za elektronski snop je elektromagnetno so~ivo sl.

2. Homogeno magnetno polje iskrivljuje putanju elektrona isto kao {to nehomogene
providne sredine deluju na svetlost.

U magnetnom polju krivljenja trajektorije elektrona zavisi od ugla izme|u pravca

kretanja elektrona i pravca tangente na liniju polja. Ako je pravac kretanja elektrona
normalan na pravac kretanja elektrona, elektron }e se kretati po kru`nici. Putanja
elektrona je zavojna linija ako pravac kretanja elektrona sa pravcem polja ~ini ugao koji
nije ni 0 ni 90 stepeni.

Dejstvo elektromagnetnog so~iva mo`e se objasniti na slede}em jednostavnom

primeru sl. 2. Magnetne linije polja oko pravolinijskog provodnika na slici kroz koji te~e
stalna struja su koncentricni krugovi. Smer polja u svakoj ta~ki odre|n je prema
poznatom pravilu vijka. Elektron koji se kre}e u pravcu normalnom na provodnik
usmeri}e se u polju u pravcu normalnom na pravac svoje brzine i na pravac tangente na

-9-
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

liniji koju se~e u datom trenutku. Smer udaljavanja mo`e se odrediti po pravilu desne
ruke.

Udaljavanje }e biti ve}e {to je elektron bli`e provodniku, tj. gde je polje ja~e. Kad
se pomenuti pravolinijski provodnik savije u prsten, dobija se prosto kratko
elektromagnetno so~ivo, a karakter njegovog dejstva na elektrone je analogan ranijem
slu~aju. Elektroni se udaljavaju od provodnika i rasporedjuju u zavisnosti od pravca struje
u njemu. Svi elektroni emitovani iz elektronskog topa koji prolaze kroz prsten paralelno
njegovoj osi udalji}e se od ose pri bilo kom pravcu struje u provodniku. Udaljavanje }e biti
ve}e {to je trajektorija elektona dalja od ose. Osim toga, pro{av{i magnetno polje,
elektroni se razme{taju du` provodnika i zavijaju oko ose prstena spajaju}i se u neku
ta~ku. Na ovom principu konstruisana su magneta so~iva sl. 3.

Fokusno rastojanje elektromagnetnih so~iva pri zadatom ubrzavaju}em naponu u

elektri~nom polju mo`e se regulisati izvorom elektri~ne struje koja prolazi kroz kalem koji
stvara magnetno polje.

Pomo}u ova dva tipa so~iva pre~nik elektronskog snopa mo`e se suziti do 0,01 mm,
pa se ovakvim fokusiranjem posti`e visoka koncentracija snopa, odnosno gustina energije.
Pri udaru elektronskog snopa na obradak, elektron prodire u materijal na dubinu:

U2
S = 2,1 10 11 [ cm] (4)

gde je:

U- napon ubrzavanja u kV, a

- gustina materijala u .

Dubina prodiranja elektrona je vrlo mala, dok dubina kratera u materijalu mo`e
dosti}i nekoliko milimetara. Pri prodiranju elektrona u materijal njihovo kretanje se

postepeno ko~i usled uzajamnog dejstva sa elektronima i jezgrima materijala. Pri tome
ve}i deo energije elektrona prelazi u toplotu, a gustina energije zagrejane povr{ine je:
- 10 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

7
W
W = KU 4 ik 2 (5)
m

gde je:

K - konstanta zavisna od konstrukcija odnosa i geometrijskih razmera

elektronsko-opti~kog sistema,

U- napon ubrzavanja u kV,

ik - gustina struje emitovane sa katode u A/ mm2.

Deo kineti~ke energije elektrona, zbog ko~enja u materijalu, prelazi u svetlosno i

rendgensko zra~enje tabela 2.

Obradak g/cm3 Dubina u m

U=50 kV U=100 kV
Aluminijum 2,7 19,4 77,5
Volfram 19,3 2,7 10,9
Molibden 10,1 5,2 20,8
Bakar 8,89 5,9 23,5
^elik 7,7 6,8 27,1
Titan 6,55 10,7 46,6
Hrom 6,92 7,6 30,4

Tabela 2 : Dubina prodiranja elektrona

- 11 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

4. PRINCIP OBRADE

Proces odno{enja materijala ostvaruje se pretvaranjem energije elektrona u toplotu

neposredno u zoni obrade.

Proces obrade elektronskim snopom ili snopom ubrzanih elektrona se ostvaruje

tako {to se snop elektrona, formiran na u`arenoj katodi (elektronskoj pu{ci-1), ubrzava u
vakuumu naponskom razlikom izme|u katode i anode (2), odnosno anode i predmeta
obrade (5). Tako ubrzan snop elektrona se usmerava na predmet obrade. Naglo
zaustavljanje formiranog i fokusiranog snopa ubrzanih elektrona dovodi do pretvaranja
ogromne koli~ine kineti~ke energije u toplotnu. To pretvaranje energije izaziva niz
termi~kih procesa kao {to su zagrevanje, topljenje i isparavanje materijala predmeta
obrade, uz postepeno oblikovanje predmeta obrade.

Slika 4

Elektroni emitovani iz u`arene katode ubrzavaju se sna`nim elektri~nim poljem

izme|u elektroda (napon izme|u elektroda je 150 kV) do velikih brzina (od oko 150 000
km/s) i

- 12 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

fokusiraju pomo}u elektrostati~kih i magnetnih so~iva na malu povr{inu obratka, pre~nika

2-3 m. Koncentracija energije u mrlji iznosi oko 109 W/cm2.

Ovakvom igli~astom elektronskom toku koji izaziva temperature od 4000-6000 0K

u ta~ku obratka ne mogu odoleti ni najvatrostalniji materijali (molibden, tantal, volfram
itd ). Zahvaljuju}i tome, mogu se dobiti mikrootvori i pukotine pre~nika i {irine od stotih
delova milimetara pa do 3 m.

U ovom procesu gubi se energija snopa kada se obrada vr{i u vazduhu. Stoga se
obrada vr{i u vakuumu, ~ime se elimini{e gubitak energije i posti`e spre~avanje korozije.
Vakuum je potreban kako bi se omogu}ilo nesmetano kretanja elektrona, po{to molekuli
vazduha mogu nepovoljno delovati na snop elektrona, menjaju}i im smer. Za obradu
laserom nije potreban vakuum iz tog razloga {to fotoni imaju daleko manji volumen od
elektrona. Mnoge obrada laserom u vakuumu bi imala bolje rezultate. Tako se dobijaju
hemijski neaktivni i ~isti rezovi. Zbog male koni~nosti elektrtronskog snopa apslutno
cilindri~na rupa dobija se dodatnim pomakom.

Snop elektrona mo`e se usmeriti i kontrolisati u bilo kojoj ta~ki obratka,

povr{inskoj, ispod povr{ine i na suprotnoj srani. Vr{e}i obradu na suprotnoj strani, snop
elektrona na prednjoj strani ne ostavlja nikakav trag. Mada se obrada vr{i pri vrlo visokim
temperaturama, okolno dejstvo tih temperatura je zbog velike koncentracije i tankih
rezova minimalno i stoga se bitno ne menja struktura materijala. Nema pojave unutra{njih
napona, {to daje visok kvalitet obrade. Na malim komadima mo`e se vr{iti odrezivanje,
urezivanje slo`enih oblika, bu{enje vrlo sitnih i blisko sme{tenih otvora, graviranje,
zavarivanje i oja~avanje materjala. Tako se mo`e vr{iti obrada vrlo krhkih materijala,
dijamanta, stakla, keramike, dragog kamena, metalnih folija, perforacija ve{ta~ke ko`e,
graviranje i izrada minijaturnih elektronskih {ema.

Za otklanjanje snopa elektrona koristi se sastav sli~an sastavu za fokusiranje. Kad

elektroni udare u povr{inu obratka oni penetriraju u obradak i dolazi do njihovog
usporavanja, pretvaranjem njihove kineti~ke energije u toplotnu energiju. Tom prilikom
dolazi do zagrevanja materijala i do temperature topljenja i isparavanja. Pretvaranje
energije je toliko brza da se 90%
- 13 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

energije transportira zajedno s isparenim materijalom. Dubina penetracije je

proporcionalna energijom elektrona (eV) i gustinom materijala obratka. Penetracija mo`e
biti od nekoliko m pa do 200 mm.

Upravljanje procesom se vr{i uz pomo} varijacija snage i promera snopa elektrona.

Obrada snopom elektrona, uz pomo} sastava za fokusiranje i CNC upravljanjem, mo`e biti
vrlo precizna, brza i fleksibilna. Gustina energije od 105 W/mm2 uzrokuje topljenje
materijala, dok energija od 106 W/mm2 uzrokuje isparavanja materijala. Kod obrade
snopom elektrona mogu se posti}i gustine i do 108 W/mm2. Cena ma{ine za obradu
elektronskog snopa varira od 75.000 do 1.500.000 $. Oni imaju ove karakteristike
jednosmerne struje: napon od 15 do 200 kV, ja~inu do nekoliko stotina mA i snagu do 100
kW. Mogu}e je zavarivati ~eli~ne obratke samo jednim prolazom debljine od 200 mm.
Mlaz elektrona nije vidljiv, osim na mestu udara. Mogu}e je posti}i vrlo visok kvalitet vara
te se zbog toga obrada snopom elektrona koristi za zavarivanje kriti~nih delova: aviona,
svemirskih letelica i delova za nuklearne elektrane.

a) b) c) d)

Slika 5: Faze udara snopa elektrona u obradak

- 14 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

Slika 6: Dubina penetracije pri zavarivanju razli~tih materijala

(Al, SUS ner|aju}i ~elik i Cu)

- 15 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

5. ZAVARIVANJE ELEKTRONSKIM SNOPOM

Elektronski snop se dobija pomou elektronskog topa, koji se sastoji od volframske

katode, re{etke i anode, sl. 7. Elektroni se emituju sa katode, ubrzavaju i formiraju snop
pomo}u elektri~nog polja, naj~e{}e u visoko vakuumskom okru`enju. Snop se su`ava i
usmerava na osnovni metal, prolaze}i kroz polja koja obrazuju elektromagnetni kalemi.
Bombardovanjem osnovnog metala strujom elektrona velike brzine, pri ~emu se kineti~ka
energija elektrona pretvara u toplotnu energiju, nastaje zavareni spoj. Ovakav mehanizam
obrazovanja zavarenog spoja omogu}ava izrazito velike dubine uvarivanja.

Zavarivanje elektronskim snopom spada u postupke zavarivanja velikom gustinom

snage koji su prikazani na sl. 8a (laserV, elektronski snopIV, plazmaIII), zajedno sa
konvencionalnim postupcima (gasnoI i TIGII), radi pore|enja. Osim znatno ve}ih
gustina snage, postupci zavarivanja kao {to je elektronski snop su prepoznatljivi po maloj
{irini zone zagrevanja, sl. 8a, odnosno maloj {irini {ava, sl. 8b.

Slika 7: Zavarivanje elektronskim snopom Slika 8: Pore|enje oblika {ava

Elektronski top se nalazi u visokom vakuumu da bi se za{titile njegove

komponente, posebno katoda, od oksidacije i kratkog spoja usled isparavanja. Vakuum
- 16 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

tako|e smanjuje rasipanje elektrona pri sudarima sa molekulima vazduha, pa se

njegovim smanjenjem smanjuje dubina uvarivanja, a pove}ava {irina {ava, sl. 9.

Slika 9: Uticaj vakuuma na oblik {ava

Primenom elektronskog snopa znatno se smanjuje deformacija {ava, pa je mogu}e

zavarivanje u blizini elemenata osetljivih na toplotu. Ovaj postupak omogu}ava i spajanje
razli~itih elemenata koje je nemogu}e zavariti drugim postupcima, a skretanjem snopa
elektro-magnetnim so~ivom mogu da se zavare i nepristupa~ni spojevi.

Mane zavarivanja elektronskim snopom u vakuumu su visoka cena opreme i

pripreme preciznih spojeva i pribora (zazor spoja mora biti jako mali zbog dimenzija
snopa), kao i prostorna ograni~enja vakuumske komore. Zavarivanje elektronskim
snopom van komore nema ovo poslednje ograni~enje, ali su zato radne daljine i dubina
uvarivanja znatno manje, sl. 9.

- 17 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

Elektronskim snopom mo`e da se zavari bilo koji metal koji mo`e da se zavari
elektro-lu~no. Glavne prednosti zavarivanja elektronskim snopom su:

vrlo mali unos toplote,

vrlo mala zona uticaja toplote (ZUT), sl. 10,

mala naprezanja i deformacije vara,

mogu}e zavarivati obratke nakon zavr{ne obrade,

velika brzina zavarivanja,

visoki vakuum slu`i i kao za{titna atmosfera (vrlo je povoljan za materijale koji
nepovoljno reaguju sa kiseonikom),

posti`e se visoka ~isto}a vara, jer gasovi nastali pri zavarivanju brzo napu{taju
mesto vara,

mogu}e je spajati razli~ite materijale zajedno, mogu}e je uspe{no zavarivati

materijale visokom temperaturom kao i dobre vodi~e toplote (Cu, Al i dr.)
mogu}nost izrade dubljih i u`ih {avova sa manjim unosima toplote, povoljna
kontrola penetracije i drugih dimenzija {avova,

visoka ~isto}a okoline za zavarivanje (vakuumirana komora).

TIG zavarivanje

PLAZMA zavarivanje

LASER zavarivanje

ELEKTRONSKO zavarivanje

Slika 10: Zona uticaja toplote za razli~ite postupke zavarivanja

- 18 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

6. MA[INE ZA ELEKTRONSKU OBRADU

Ma{ine za dimenzionu elektronsku obradu materijala sastoje se od slede}ih

elemenata :

elektronskog topa (generator + usmeriva~),

radne vakuumske komore sa vakuumskim sistemom,

izvora napajanja sa aparatom za upravljanje procesom.

6.1 GENERATOR

Generator mlaza elektrona sastoji se od katode, bloka upravlja~kih elektroda (ili

bloka za fokusiranje) i anode. Uloga generatora je da elektrone koje daje katoda ubrza
pod dejstvom elektrostati~kog polja, fokusira ih i formira mlaz. U posebnim slu~ajevima za
to se koriste i dopunska magnetna polja. Generatori se dele na:

dvoelektrodne,

troelektrodne i

vi{eelektrodne.

Mlaz elektrona, formiran u generatoru, karakteri{e se slede}im parametrima u

fokusnoj ta~ki (`i`i):

pre~nik `i`e,

njen polo`aj na osi,

gustina struje u njoj i

ugaoni otvor mlaza.

- 19 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

Prema tim parametrima sa uzimanjem u obzir svojstva elektronsko-opti~kog

sistema za sprovo|enje i usmeravanje snopa, prora~unavaju se parametri snopa u zoni
dejstva na obradak.

6.2 USMERIVA^

Sistemi za usmeravanje i sprovo|enje mlaza imaju zadatak da transformi{u

parametre mlaza, koji je formiran u generatoru, u takve parametre u zoni dejstva mlaza,
koji su neophodni za ostvarivanje tehnolo{kog procesa. Najmanji pre~nik mlaza, koji se
formira u generatoru, je za niz procesa potrebno uve}ati ili smanjiti s tim da mlaz u zoni
dejstva ima odre|eni pre~nik i odre|enu gustinu struje ili ve} odre|enu specifi~nu
povr{insku snagu.

Sistem za sprovo|enje i usmeravanje mlaza, treba da obezbedi mogu}nost

programiranog skretanja (otklanjanja) mlaza zbog toga da bi se moglo upravljati dejstvom
mlaza na obradak u prostoru i vremenu, tj. upravljati rasporedom njegove snage po ravni
zone dejstva.

Kod elektronskih pu{aka za tehnologiju sa elektronskim snopom, za izvr{enje ovih

zadataka koriste se elementi za fokusiranje i skretanje koji rade na principu elektronske
optike.

U`arena katoda ({ema 1 ma{ine za elektonsku obradu) 1 emituje elektrone.

Naponom ubrazavanja od 150 kV izma|u katode 1 i anode 3 elektroni se ubrzavaju.
Brzine elektrona dosti`u vrednosti do 2/3 brzine prostiranja svetlosti u vakuumu. Pomo}u
fokusiraju}e elektrode, mre`ica 2 koja je sme{tena ispred katode, a nalazi se u odnosu na
nju na negativnom potencijalu koji je mogu}e menjati, uklju~uje se, uklju~uje i reguli{e
intenzitet snopa 4 .

Volframova katoda se najvi{e koristi ( temperature topljenja 33870C), mo`e se jako

zagrejati tako da daje veliku termoelektronsku emisiju . Pokrivena tankim slojem torijuma
tro{i manje energije, a daje dovoljnu gustinu struje ve} pri temperaturi od

- 20 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

16000C. Jo{ manju energiju tro{i oksidna katoda metalna podloga pokrivena slojem
oksida barijuma, stroncijuma, kalcijuma. Ova katoda ve} pri 900 0C daje gustinu stuje
1A/cm2, {to se kod volframove katode posti`e tek pri 24000C.

[ema 1: Ma{ina za elektonsku obradu

- 21 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

Elektostati~ka i elektomagnetna so~iva 5 fokusiraju divergentni elektonski snop u

radnu mrlju. Dijafragma 6 odseca krajnje elektrone i propusta centralni monokineti~ki deo
snopa. Sa sistemom usmeriva~a 10 mo`e se snop voditi u x i y pravcu preko obratka.

Obradak 12 pri~vr{}uje se na radnji sto 11 u radnoj komori 13. Sto u radnoj komori
omogu}ava pomeranje obratka po x i y osi sa ta~no{}u od 0,01 mm ili njegovu rotaciju. Za
posmatranje obrade slu`e specijalni opti~ki sistemi sa objektivom 9, okularom 14, sijalicom
7 sa ogledalom i polupropusnim ogledalom 8.

Da bi se spre~io gubitak energije elektrona u sudaru sa molekulima vazduha, ceo

sistem nalazi se u vakuumu, elektronski top na pritisku oko 1,3310-32 Pa, radna komora
izme|u 1,33 Pa i 1,3310-2 Pa.

Za ostvarivanje vakuuma koriste se predvakuumska pumpa rotacionog tipa (250

o/s), za stvaranje predvakuuma (10 Pa) i difuziona pumpa (7 o/s) za stvaranje kona~nog
vakuuma. Radni vakuum posti`e se za 7-15 minuta.

Izvor napajanja sastoji se od visokonaponskog transformatora i ispravlja~a (100-150

kV) sa filterima i sistemom komutacije.

Napon ubrzavanja reguli{e se pomo}u autotransformatora koji je priklju~en u kolo

primarnog navoja visokonaponskog transformatora. U istom telu sa visokonaponskim
ispravlja~em postavljen je transformator sa ispravlja~em za usijanje katode. Za napajanje
kalema elektromagnetnog i usmeravaju}eg sistema koriste se elektronski i selenski
ispravlja~i visoke stabilnosti.

Sistemom modulacije se reguli{e frekvencija oscilovanja impulsa (1-300 Hz),

trajanje impulsa (10 ms 50 s) i ja~ina struje u impulsu. Modulacija elektronskog snopa
vr{i se davanjem impulsa negativnog napona u fokusiraju}oj elektrodi mre`ici.

U tablici 3 su dati tehni~ki podaci za elektronsku obradu, a na slici je data {ema 2

jedne moderne ma{ine.

- 22 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

[ema 2 : Ma{ina za elektronsku obradu

- 23 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

Struja snopa - neprekidni rezim I mA 0-10

- impulsni rezim 13-15
Maksimalna specificna snaga W W/mm2 5108
Frekvencija impulsa f Hz 1-3300
Trajanje impulsa ti s 14-85
Potpritisak u radnoj komori p Pa 1,3310-2
Vreme dobijanja vakuuma t min 10
Maksimalno udaljavanje snopa u obratku mm 2
Povecanje optickog mikroskopa x100
Maksimalni precnik otvora (sirina zleba) mm 0,01
Maksimalna dubina otvora mm 2
Dimenzije stola BxL mm 200x250
Pomeranje stola - uzduzno 150
- poprecno mm 200
Gabarit masin m2 12

Tabela 3 : Tehni~ki podaci ma{ine za elektronsku obradu

- 24 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

7. TEHNOLO[KE KARAKTERISTIKE OBRADE I TIPSKE

OPERACIJE

Tehnolo{ke karakteristike obrade zavise od mogu}nosti ma{ine, energetskih

parametara elektronskog snopa i svojstava obra|enog materiajala.

Proizvodnost obrade zavisi od snage, nepopunjenosti i du`ine impulsa snopa,

dimenzija na koju se snop fokusira kao i od toplotno-fizi~kih konstanti i debljine
materijala. Zavisnost proizvodnosti od svojstava obra|enog materijala mo`e se iskazati
relativom obradivosti-tabela 4.

Materiajl Relativna obradivost

Molibden 0,08
Volfram 0,09
Aluminijum 0,7
Bakar 1
Gvoz|e 6
Titan 10
Staklo 35

Tabela 4: Relativna obradivost

Posti`e se proizvodnost Q=20-30 mm3/min, a ako se tra`i visoki kvalitet obrade,

proizvodnost iznosi Q=1 mm3/min. Stoga se ova obrada prete`no koristi za mikroobrade.
Predhodnim zagrevanjem mo`e se ponekad posti}i pove}anje proizvodnosti i do 40% (npr.
kod ~elika zagrjanog od 400C).

Ta~nost obrade zavisi od energetskih parametara i njihove stabilnosti, sistema

fokusiranja, ta~nosti upravljanaj impulsima i ta~nosti mehani~kih ure|aja. Postignuta
ta~nost

- 25 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

iznosi 10-20 m. Prema lokalnosti dejstva snopa mo`e se uslovno govoriti o

makroobradama i mikroobradama tabela 5.

Podela prema lokalnosti delovanja snopa

Parametar
Makroobrada Mikroobrada
Lokalnost delovanja snopa 400-1000 0,01-1
m
Ja~ina struje u snopu Iz 0,01-0,1 10-6-10-8
A
Snaga kW Impulsna do 2 znatno smanjena
Neprekidna do 30
Energija impulsa J 1-10 -
Debljina obra|enog dela <2-3 do 0,015
mm (maksimalno 20) (znatno smanjena)

Tabela 5 : Parametri elektronske obrade

Elektronska obrada koja se ranije koristila isklju~ivo za zavarivanje danas se {iroko

primenjuje kod dimenzione obrade materijala. Dva mehanizma su mogu}a kod
dimenzione obrade. Materijal se odnosi isparavanjem ili se topi i odnosi dejstvom
dodatnih sila. Odne{eni volumen u jedinici vremena u kod jednoimpulsnog bu{enja,
mnogoimpulsnog bu{enja i sublimacije (naglog isparavanja iz ~vrstog stanja) je u odnosu

100:10:1. Moderni ure|aji omogu}avaju repeticiju od 5m, sa hrapavo{}u od 5 m.

- 26 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

8.OBRADE MATERIAJALA ELEKTRONSKIM SNOPOM

-PRIMENA

S obzirom na ograni~enje du`ine neprekidnog dejstva mlaza na zonu obrade

primenjuju se slede}e varijante obrade:

monoimpulsna,

vi{eimpulsna,

obrada sa brzim pomeranjem (skretanjem) mlaza.

Ograni~avanjem du`ine dejstva mlaza na odre|enu ta~ku povr{ine i njegovim

pomeranjem ostvaruju se razne linijske obrade. Obrada se uspe{no primenjuje za izradu
mikrootvora sa velikim odnosom dubine prema pre~niku (npr. kod staklene plo~ice
debljine 2 mm, otvor 48 m dobije se za 1 s). Koristi se za izradu otvora u rubinu,
dijamantu i safiru, za izradu le`i{ta u ~asovnicima i instrumentima. Monoimpulsnim ili
vi{eimpulsnim na~inom vr{i se perforacija kaljenih materijala, kvarca, stakla, keramike itd.

Mogu}nost pomeranja snopa i ta~nost upravljanja energetskim i vremenskim

parametrima omogu}avaju izradu fazonskih pukotina i `lebova u te{koobradivim
materijalima, na primer kod filtera od tvrdog metala. Materijl za filter debljine nekoliko
milimetara postepeno se smanjuje na debljinu od 0,5 mm, i re`u se razni fazonski otvori
{irine 0,05mm i pre~nika 1-1,5 mm. [irina pukotine ili pre~nik otvora zavisi od debljine
materijala i ne treba da prelaze odnos 1/20. Smanjenjem tog odnosa pove}ava se
klinovitost `leba ili konusnost otvora.

- 27 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

Ova obrada se uspe{no koristi za:

graviranje,

glodanje (metala, grafita, stakla, keramike),

se~enje (papira, folija),

poliranje podmeta~a od monokristalnog silicijuma pri proizvodnji

poluprovodni~kih instrumenata itd.

Elektronska obrada se uspe{no primenjuje kod izrade integralnih {ema, zatim za

izradu otpornika, tranzistora, tunelnih dioda mikrootvorima u tankim filmovima i sl. Tako
se tekst visine slova 0,4 mm urezuje snopom u foliju debljine 0,1 mm i na hrom-niklovoj
plo~ici debljine 0,25 mm prave se mikroprorezi.

Proizvodnost pri ostalim konstantnim faktorima zavisi od obra|enog materijala i

kvaliteta obrade. Tako se `lebovi {irine 50m i du`ine 3 mm u ~eli~nom listu debljine 0,05
mm obrade za 20-30 s. Pri tome se 90% materijala udalji za prvih 5 s brzinom 0,1 m/s, a
ostalo vreme se utro{i za doterivanje ta~nosti i ~isto}e povr{ine.

Podru~je primene elektronske obrade u zavisnosti od gustine energije u mrlji

vidljivo je iz tabele 6.

Gustina energije
Vrsta obrade Vreme dejstva
W/cm2
Polimerizacija 102 - 103 1 ms - 1 s i vi{e
Integralne {eme 152 - 153 1 s - 1 ms
Perforiranje umetnutih 103 - 104 20 s - 50 ms
materijala
Oja~avanje materijala 104 - 105 1 ms - 100 ms
Perforiranje metala 105 i vi{e 400 s - 10 ms
Topljenje i zavarivanje 105 - 106 1 ms - 1000 ms
Bu{enje i glodanje 7
10 i vi{e 50 s - 1 s
Graviranje 8
10 - 10 9
5 s - 300 s
Sublimiranje 109 i vi{e 0,5 s - 5 s
Tabela 6 : Podru~je obrade materiajala elektronskim snopom

- 28 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

Debljina Vrijeme Akceleriraju}i

Promer Ja~ina struje
materijala bu{enja napon
Materijal rupe
(mm) (m A)
(mm) (sec) (kV)

Volfram 0,25 25 <1 140 50

Ner|aju}i ~elik 2,5 125 10 140 100

Ner|aju}i ~elik 1,0 125 <1 140 100

Aluminijum 2,5 125 10 140 100

Aluminijev oksid
0,75 300 30 125 60
(Al2O3)

Kvarc 3,0 25 <1 140 10

Tabela 7: Primeri bu{enja snopom elektrona

Debljina Vrijeme Akceleriraju}i

[irina Ja~ina struje
materijala rezanja napon
Materijal reza
(mm) (m A)
(mm) (sec) (kV)

Ner|aju}i ~elik 0,175 100 50 130 50

Volfram 0,05 25 125 150 30

Mesing 0,25 100 50 130 50

Aluminijev oksid
0,75 100 600 150 200
(Al2O3)

Tabela8 : Primeri rezanja snopom elektrona

- 29 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

Materijal C (W/mm3/min)

Volfram 12

Fe 7

Ti 6

Al 4

Tabela 9 : Koli~ine energije potrebne za rezanje razli~itih materijala

a) b) c)

Slika 11: Razli~iti dielovi zavareni snopom elektrona

a) turbina, b) i c) zup~anici

- 30 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

9. ZAKLJU^AK

@ivimo u svetu u kome se brzo razvija nauka. Ona ima za cilj da tra`i ne{to novo i
da stalno ne{to razja{njava. U nauci uvek ima mesta za nova otkri}a i dostignu}a. Iako su
tzv. konvencionalne metode obrade (gde spada obrada materijala rezanjem i plasti~nom
deformacijom) pru`ile velike mogu}nosti za razvoj i usavr{avanje, pristupilo se iznala`enju
novih, efikasnijih i boljih metoda obrade koje omogu}avaju ne samo br`u i kvalitetnu
obradu, nego i obradu takvih materijala i delova ~ija izrada konvencionalnim metodama
nije mogu}a. Potreba za kori{}enjem novih materijala kao {to su legure na bazi Ni, Co,
Mo, Wo, Ti i dr. koje je veoma te{ko obraditi konvencionalnim metodama, kao i niz
zahteva za ta~no{}u obrade i kvaliteta obra|ene povr{ine, doveli su do pojave novih,
nekonvencionalnih metoda obrade materijala.

Primena obrade mlazom elektrona u novije vreme na{la je zna~ajno mesto u

elektronskoj industriji i izradi elektronskoopti~kih aparata, u izradi sita, filtera i kanala za
hla|enje kod gorionika i turbinskih lopatica, kod perforiranja ve{ta~ke ko`e i tome sli~no.

Elektronska obrada koja se ranije koristila isklju~ivo za zavarivanje danas se {iroko

primenjuje kod dimenzione obrade materijala. Dva mehanizma su mogu}a kod
dimenzione obrade. Materijal se odnosi isparavanjem ili se topi i odnosi dejstvom
dodatnih sila. Odne{eni volumen u jedinici vremena u kod jednoimpulsnog bu{enja,
mnogoimpulsnog bu{enja i sublimacije (naglog isparavanja iz ~vrstog stanja) je u odnosu

100:10:1. Moderni ure|aji omogu}avaju repeticiju od 5m, sa hrapavo{}u od 5 m.

Prednost elektronske obrade je:

bezinerciona je i mo`e se momentalno i lako premestiti u bilo koju ta~ku obratka,

snop se mo`e lako fokusirati i modulirati po snazi.

Nedostaci ove metode obrade su:

neophodnost obrade u vakuumu,

slo`enost i visoki tro{kovi ma{ine.

- 31 -
OBRADA MLAZOM ELEKTRONA Tatjana Vu~kovi} I-14

LITERATURA:

1 TEHNOLOGIJA OBRADE

Dr.Milenko Jovi~i} Dr.Dragomir Nikoli}

2 NEKONVENCIONALNE METODE OBRADE

Prof.Radovanovi} Prof.Lazarevi}

3 NEKONVENCIONALNE METODE OBRADE

Aristid Peri}

4 www.americanmachinetools.com

5 www.pfri.hr

6 www.engr.ku.edu

- 32 -