、

七 机 械 设计 篇 36 9

螺 杆 式干式 真 空 泵
贾 寅
,
( 合 肥 工 业 大 学 机 械与 汽 车 工 程 学 院 安徽 合 肥 2 3 0 0 0 9
,
)

: , 。

摘 要 近 年 来 在 半 导 体 工 业 和 液 晶 显 示 器 制造 等 工 艺 中 对 清洁 真 空 环 境 的 要 求越 来 越 高 如 在半 导 体 的 等离 子 增 强
,

气 相 沉 淀 ( P E C V D ) 和 反 应 离 子 刻 蚀 ( R I )E 工 艺 中 在 液 晶 生 产 上 使 用 的 蚀 刻 制 程 和 生 产 T F T 荧幕 电 浆 ( PL ASM A ) 的 CV D
, , 。

制程 中 不 但 要 求 环 境 清洁 而 且 还 需 要 抽 除 大 量 含有 微 小 颗 粒 及 粉 尘 的反 应 生 成 气 体 这 些 问题 都 不 是 传 统 的 有 油 泵 所 能
。 , , ,

解决的 本文 的研究 对 象 螺 杆 式 干 式 真 空 泵 抽气 腔 内无 任何 工 作液 保 证 了 被 抽 空 间 不 受 污 染 ; 无 油 蒸 汽 排 放 保 证 了
外部 环 境 的清 洁
。 —
由于 阴 阳 转 子 齿 面 间 留有 间隙 因 而 可 以 抽除含有 粉尘
, ,

或 有腐 蚀性 有 毒 的 气体
, 。

:
关 健 词 干 式真 空 泵 螺杆 型 线 ; ;

1 引言
。 ’ , “
干 式螺 杆 真 空 泵是 干 式 泵 家 族 中的 一 员 所 谓 干 式 真 空 泵 一 般 认 为 是 能 在 大气 压 到 1 0 Pa 的压 力 范
, ,

围 内工 作 在 泵 的抽 气 流 道 中 不 能 使 用 任 何 油 类 和 液 体 排 气 口 与 大 气 相通
; ,
能直 接 连续 向 大 气 中排 气 的
。

泵 也 称 无油 真 空 泵
,

干 式真 空 泵 在 抽气 流 道 内 无 任 何 液 态 工 作 介质 或 密封 介 质 从 根 本 上 解 决 了 油 封 式 真 空 泵 引发 的 各 种
。

问题
, 、 、 、 、 。

干 泵的 种 类 很 多 目前 已 开 发 出来 的 有 罗 茨 泵 爪 型 泵 祸 旋 泵 往 复 活塞 泵 螺 旋 泵 等 表 1图 是几 种
。

典 型 的 干泵 性 能的 比较
:
螺 杆 式干 式 真 空 泵 特 点如 下
。 , , , 。
( l) 可 靠 性 高 螺 杆式 干 式 真 空 泵 零 部件 少 没 有易 损 件 因 此它 运 转可 靠 寿 命长
。

) 操 作 维 护方 便
(2
。 , 。

) 动 力 平 衡 性好
(3 螺杆 式 干 式真 空 泵 没 有 不 平 衡 的惯 性力 机 器 可 平 稳 地 高速 运 行
。 , ,

) 适 应性 强
(4 螺 杆 式 干 式 真 空 泵 具 有 强 制输 气的 特点 在宽 广 的 压 力 范 围 内 能 保 持较 高 的 抽 速 排 气
。

量 几 乎 不 受排 气 压 力 的 影 响
。 、 、 、

) 多相 混 输 由 于 螺 杆 式 干 式真 空 泵 转 子 齿 面 间 留 有微 小 间 隙 因 而 可 抽 除 腐 蚀 性 有 毒 含 有 粉 尘
,
(5
。

可 凝 性 蒸 汽 等 多种 气 体
,

尽 管 螺杆 型 干式 真 空 泵 具 有 这 么 多 的 优 点 然 而 由 于 目前 国 内 一 些 公 司 正 在 使 用 的 螺 杆 型 干 式 真 空
,

, 、 ,

泵均 是从 国 外 进 口 价 格 非 常 昂贵 每 台 螺 杆 泵 价 格 要 三 四 十 万 元 人 民 币 所 以 螺杆 型 真 空 泵 在我 国 的 使
,

。 , ,

用并 不广 泛 造 成 这 一 现 象 的 主 要 原 因 是 由 于 螺 杆泵 转 子 型 线 较 复 杂 加 工 难 度 大 需 用 特 制 的 刀 具 在 专
。 , ,

用 机 床上 进 行 加 工 另 外 对 螺杆 型 干 式 真 空 泵 泵 体 的 加 工 精 度 也 有 较 高 的 要 求 而 国 内 的 加 工 水 平 目前
。

还 难 以 达 到这 个 水平

表 1 几 种 典 型 的千 泵 性 能 的 比 较

泵型 一般级数 单级 压 缩 比 极 限压 力 备 注
大气 端 真 空端 (Pa)
.
,
罗 茨泵 3~ 6 2~ 5 30 0 5 易 发 热 需 冷却
却
.
、

爪 形 3~ 4 25 50 0 5
加 工 装 配 有难 度
.

活塞型 4 15~ 25 1 5~ 20 1 3 怕抽 带 颗 粒 的气体

体
.
、

涡 旋型 l~ 2 20 20 0 0 2 间隙小 难 装 调
.
、

螺 旋型 1~ 2 20 30~ 100 0 7
间隙 小 转 速 高
.

旋片 型 2 15~ 20 1 0~ 15 0 07 怕抽 带 颗 粒 的 气体
体
.

螺杆 型 2 l5 20 ~ 60 1 3
加 工 比 较 困难
.

涡 轮型 多 级 申联 20 300 0 0 01
转速 高
 370 20 08 年 安 徽 省科 协年会 机 械 工 程 分 年 会论 文集

螺 杆 干 式真 空泵 转子 型 线 的研 究
常 见 转 子 型线 比较
。

2 1
、

目前 干 式 螺杆 真 空 泵 的 主 要 生 产 厂 家 多 采 用 单 头 等 螺 距 型 线 其 他 还 有 多 头 双 边 对 称 圆 弧 型 线 单 头
,

、 。

变螺 距 梯 形 螺 纹 型 线 单 头 等螺 距 梯 形 螺纹 型 线 和 等螺 距 凹 齿 型 线

( a
) 单 头 等螺 距 矩 形 螺纹 转 子 ( b
) 单 头 等螺 距 梯 形 螺 纹 转子 ( 。 ) 单 头 变 螺距 梯 形 螺 纹 转 子

(d ) 单 头等 螺 距 凹 面 转子 ( e
) 双边 对 称 圆 弧 型 线 转 子

图 1 几 种螺杆转 子 型 线的 三 维 造 型

, ,

单 头 等 螺距 矩 形 螺 纹 转 子 型 线是 最 早 出 现 的 型 线 由 于 有 可 能 发 生 根 切 即 二 级 转 子 级 间 出 现 干 涉
。

现 象 所 以 基 本上 已 经 不 再使 用 取 而 代 之 的 是 改进 型 的单 头 等 螺 距 梯 形螺 纹 转 子 其 截 面 形 状 由矩 形
, ,

, , 。

改 为 梯 形 解 决 了 干 涉 问题 且 加 工 方 便 故 为 很 过 厂 家 广 泛 采 用 单 头变 螺 距 梯 形 螺 纹 转 子 和 单 头 等 螺
,

, 。

距 凹 面 转 子 是 近 年 来 出 现 的新 型 型 线 它 是 在 单头 等螺 距 梯 形 螺纹 转 子 的 基 础 之 上 改 进 而 来 的 单头 变
,

螺距 梯 形 螺 纹 转 子 其 主 要 特 点 为 螺杆 螺 距 从 吸 气端 到排 气 端 按 变 螺 距 系 数 变 化 大 导 程 一 端 对 应 于 吸 气
。 , , ,

开 始 时 吸 气 量 大 在 转 子 转 动 过 程 中 运 动 的 封 闭腔 体 越 来 越 小 气 体 被 压 缩 具 有 内压 缩 作 用 即边
,
口
, ,

输 送 边 压 缩 从 而 能 够降 低整 体 的 排 气 压 缩 功 耗 并 对 发 生 在 排气 口 的 喘振 现 象 有 抑 制 作 用 是 泵 的 工 作
,

更 为 平 稳 能 够 降低 噪 音 和 排 气 振 动 头 等 螺距 凹 面 转 子 进 一 步 采 用 内 凹 齿 面 法 将 啮 合 齿 面 上 可 能 发 生
,

, 。

干 涉 的 部 分 全 部去 除 是 齿 面 成 为 向 内 凹 曲 的 等 螺 距 螺 旋线 共 扼 曲 面 多头 双 边 对 称 圆 弧 型 线 是 最 近 几
, 。 ,

年 出 现 的 一 种新 型 型 线 它 是 在 双 螺 杆 压 缩 机 型 线 的 基 础 上 发 展 而 来 的 一 般 阳转 子 为 四 头 螺 杆 阴 螺
。

杆 为 六头 螺 杆
, 、 、 。

上 述 各 种 型 线各 有优 缺点 要 根 据 设 计 要 求 加 工 制 造 能力 实 际 需 求 等 多 方 面 选 择 从适 用 性 方 面 来
, 。 、

讲 多头 双 边对 称 圆 弧 型 线 适 用 面 最 广 由 于 该 型 线在 一 个 导 程 内就 可 以 完 成 吸 气 压 缩 和 排 气 的 全 过 程
, 。

并 能达到 一 定 的极 限 真 空 这就能 有 效 地 减 小 泵 的 体 积 和 质 量 尤 其适 于 大 抽 速 要 求 的 泵 单 头 型线 由于
,

, , 、 。

要 多级 才 能 达 到 一 定 的极 限 真 空 不 可 避 免 要 增 加 泵 的 体 积 占用 更 大 的 空 间 所 以 适 用 于 中 小 型 泵
,
多
, ,

头 螺 杆 型 线 的缺 点 是 型 线 复 杂 加 工 资 用 昂贵 需 用 特 制 的 刀 具 在 专 用 机 床 上 加 工 而 单 头 梯 形 齿 型 线 由 于 ;
 、

七 机械设计 篇 37 1

各齿 面 在 轴 向 剖 面 内 的 交 线都 是 直 线 所 以 加 工 时 使 用 直 刃 车 刀 即 可 只 是 变 螺距 型 线 要 在数 控 车 床 上 加
,

。 ,

工 以保证 精 度 单 头 凹齿 面 型 线 的 加 工 要 比 梯 形 齿 型 线 稍复 杂 但 完 全 能在 通 用 的 数控 车 床 上 完 成 大 批
,

。 , ,

量 生 产 时可 以 选 用 铸 造 另 外 多头 螺 秆 型 线 和 单 头 变 螺 距 型 线 由 于 在 抽 气 过 程 中有 内 压 缩 不 适 合 抽 除
, 。

可 凝 吐 气 体 但 减小 了 排 气 口 的 喘 振 和 噪音 也 减小 了功 率 的 消 耗
,

, 。

综合 考 虑 各 种 型 线 的 优缺点 本 文 决定 选 择多 头 双 边 对 称 圆 弧 型 线
多头双边对 称 圆弧型线
.

2 2
、 。

螺杆 式 干 式真 空 泵 中最 重 要 的 部件 就是 阴 阳螺 杆 转 子 转 子 的 齿 面 与转 子 轴 线 垂 直 面 的 截 交 线称 为
, 。 。

转 子 型 线 如 图 a3 所 示 转 子 型 线作 螺旋 运 动 就 形 成 了 转 子 齿 面 如 图 3 b 所 示 螺杆 泵 中 的 阴 阳转 子 可 以
,

。 , ,

看 作 是 一 对 相互 啮 合 的 斜 齿 轮 因 此 螺 杆 泵 的 阴 阳转 子 型 线 也 要 满 足 啮 合 定律 即 不 论在 任 何位 置 经 过
,

型 线 接 触点 的公 法 线 必 须 通 过节 点 所 不 同 的是 普 通 斜 齿 轮 的 任 务 是 在 两 根 平 行轴 之 间的 任 意 传 动 方 向
, 、 。 ,

上 强 制传 递 转 速 转 矩 及 功 率 而 在 干 式 螺 杆 泵 中 阴 阳转 子 并 不 接触 两 者 之 间 的 动 力 传 递 通 过 同步 齿 轮
。

完成

、
降
订权 垠{
、 、 、

a) 型 线 啮 合 线 齿 间 面 积 泄 漏 三 角形 b) 泄 漏 三 角 形 和 接 触线
1一 阳 转 子 型 线 2 一 阴转 子 型 线 3一 啮合 线 4 一 泄漏三角形 5 一 阳转 子 齿 间 面 积
6一 阴 转 子齿 间 面 积 7一 阳转 子 节 圆 8一 阴转 子 节 圈 9 一 接触线
、
、 、

图 3
转 子 型 线 啮 合线 齿 间 面 积 泄 漏 三 角 形 和 接触线

3 螺 杆 干 式真 空 泵 设 计计 算
螺杆 基 本 尺 寸
.

3 1
、 、 、 、 、 、 、 、 、 、 、 。

螺 杆 压 缩 机 转 子 的 推 荐 公称 直 径
:
6 3 80 100 125 16 0 200 25 0 3 15 400 500 630 soom m 根 据设 计
, “ 。 。 。 ,

任 务书 的 要 求 容 积 流 量 为 3 m / m in 初选 螺杆 的公称 直 径 D 一 1 52 m m 型 线选 择 双 边 对 称 圆 弧 型 线 阳
: 。

转 子 与 阴 转子 齿 数 比 选 .4 6

表 2 导 程 长 径 比及 ① 及 扭 角 ② 的 关 系 ③

符号 短导程 长导程

.
~ , .

= 1 S D 。 h: = 2 70
.

导程 h 4 ~ ~ h l

h l
=
一: 尸
刀
门 ,
h ,
= 乙刀 D
3

久-
. . . . . .

长径 比 0 9 1 0 1 12 1 18 1 32 1 50

阳转 子 扭 角
r l:
243 2 70 3 02 4 23 6 264 3 00

. .

阴转 子 扭 角
r Zz
162 18 0 201 6 157 3 176 2 00
 372 200 8 年安徽 省科 协 年 会机 械 工 程 分年 会论文集

① 长径 比 幻 一 ② 扭角 又 ③ 指 常 用 的 齿数 比 为 `
r :
一 :
6 时
瓮 360 于
按表 2 选 择 长导 程
.
1
长径 比 又一1 0
5
二 0
r l
阳转 子 扭 角 = 300
: 2二
阴转 子 扭 角 一200
。
. .

中心 距 A = 0 SD = 0 8 X 125 = 10o m m
。
. .

阳转 子 工 作 长 度 l 一 人; X D 一 1 5 x 1 2
5 一 8 7 sm m
1
。
. .

= 0 64D = 0 64 只 125 = s o m m
I ,
阳 转 子节 圆 D
。
. .

阴 转子 节 圆
,
D : = 0 96D = 0 9 6 x 125 = 12o m m
。
. . .

齿 高半 径
r
= 0 Zo 5 D 一 0 205 x 225= 25 625m m
。
. . .
,
阳 转子 实 际 外 径 D = 1 o 5D = 1 o 5 x 125 = 131 2 5m m
Z,
阴 转子 实 际 外 径 D: 一 D 一 12
0 mm
。

根 据 以 上 计算 数据 利 用 5 01 记 W or k s 绘 制 出 螺杆 的 端 面 图 以 及 转 子 的 三 维 图
,

图 3
螺杆端 面 型 线 图 图 4
螺杆转 子 三 维 图
·

3 2 排气 t
) 理 论排 气 量
(1

, * ,
n , 3
/ m in
.

V = C C 脚若 m ( 3 1)

n 、
式中 阳 转 子 转速 3 0 0 0 r / m i n
— 阳转 子 公 称直径 25
D
。
0
.

1 m
—阳 转 子 工 作 长 度 0
.

18 7 5 m
— 面 积 利用 系 数选 取 为 21
l
.

C 0 5

— 扭 角 系 数表 示 扭 角较大 时 排气 端 基 元 容 积 内 的 一 对 啮 合 齿 未完 全 脱 开
c , , ,

而 在进 气 端 该 基 元
—
容 积 已 开 始 脱离 进 气 所 引起 的进 气 不 足 程 度 按表 选 取 口
。

3 c
*
一 .0 9 7 1
。

表 3 扭 角 系 数 参 考值
Tl t 0 0 0
24 0 2 70 30 0

. . .

1 00 0 98 9 0 97 1
q

根 据 公式 ( 3 ) 计算 理 论排 气 量
1
,
n ,
C I D若
呱 = q
. . . . .

= 0 97l X 0 521又 30 00 X 0 1875 X 0 12 5 X 0 125

.
3
= 4 4 5m /m i n
 、

七 机械设计篇 373

( 2 )实 际 排 气 量

.
, 3
V= V 又 m / m in (3 2)
、 、 。
几 的 值 与转 子 型 线 间 隙值 转 子 尺 寸 转 速 有 无 喷 液 等 因 素有 关 其值 见 表
,
4

裹 4 不 同转 子 型 线 的 排 气 系 数 久

转 子 型线 无 油 螺杆 喷 油 螺杆
杆
. . . .

对 称 型线 0 65~ 0 90 0 75~ 0 90

. . . .

不 对 称型 线 0 70~ 0 9 5 0 80~ 0 95

. .

选 取 几一 0 8 0
9 则 按 式 ( 3 )2 实 际排 气 量
. . .
3
V =
呱又 = 0 s o 9 x 4 45 = 3 6m / m in
.

3 3 进排气 孔 口
( l) 轴 向进 气 口

① 阳转 子 轴 向进 气 口
、 .
,

岛
r l 1
l .

、 (3 3)
.
l
a
一 1 匕 U 了1 一 十 饭于一 帐 于
\ —
m
l
/ 乙 乙

式中 阳 转子 齿 数
l1zT
m
阳 转 子 扭角
阳转 子 基元 容 积 的 前 方 齿 的齿 顶 中 心 线在 H 点 与 两 转 子 轴 心 连 线 的夹 角
’ ’ .
r ,二 ,
肠 = 35 带人 式 ( 3 3 ) 计 算得
l
将 m = 4 = 300

。
。
8。 f : 一
.
1

一: 上 \ + 粤 一 粤一 2 6 7 5
乙 乙
火 m l
/

② 阴转子 轴 向进 气 口
.

a Z, a l, Z, (3 4)
一 i + △a
,

式中 由 阴 转子 的 轴 向 端 面 进 气 口
—传动比
— 因 扭 角较 大引起 的 进 气 不 足 的 修 正 取
i
: , , “ 。
△内 △内 一
—4) 计算得
20 ~ 3
0
.

由式 (3

_ _ _ _
、 ,
. , ` 。 。 _ _ 。
2
a `, `
了十 “
a ,! a ,!
= 十。 一 艺b 了。 入 = 乙UU

( 2 ) 轴 向排气 口
, 。 。

由 轴 向及 径 向 两 部 分 组 成 压 力 比较 高 时 可 不 设 径 向排 气 口 本 机 压 力 比较 高 故 仅 有 轴 向排 气 口
,

① 阳 转 子 轴 向排 气 口
,`
.
a l , 1 1二
= 肠 + :
一沪 (3 5)
,
阴 转 子 齿 宽 前 面 顶 点 在 H 点 与 两 转 子 轴 心 连 线 间 的夹 角
— 阴转 子 齿 宽背 面顶 点
肠
`
夕 与齿 谷 中心 线 间 的 夹角
—
由 式 (3 5) 计算 的
.

: 1二
.
; : 0
a ,户
一沪 = 3 5 + 3 0 0
,
肠 + 96 7 = 135
=
一
② 阴 转 子 轴 向排 气 口
。
a Z, r Z二 2
+ ( 0+ Z r + 肠 ) 一 沪
2
=
 374 20 08 年 安徽省 科协年 会机械 工 程分年 会论 文集

= 2 0 0 十 ( 2 5 + 1 2 + 3 9 ) 一 1 3 1 = 12 5 (3 6)

极 限 真 空 度 功率 及 冷却 水 ,
.

3 4
。

是韩 国 K 系列 螺杆 式 干 式 真 空 泵的 参数 表 选 取 电机 功
o o n
表 5 w le P r ce is 公司 N EO V A C 参 考表 5
.
, , .
。

率 7 sk w 冷 却水 量 7L / M in 极 限 真 空 度为 2 6 6 P a

表 5 N EOV A C 系列 姆 杆式 干 式 真 空 泵 参 数

型号 5 5 50 5 5 12 0 55 2 0 0 5 5 300 S S 600 W S S1 20 0 W

抽速 L s/ 12 22 35 66 14 0 23 0

. . . . . .

极 限 真空 Pa 2 66 2 66 2 66 2 66 0 06 0 06

水冷 量 L / M in 3 3 3 7 5 5

. .

电机 功 率 K w 3 4 5 5 7 5 8 8

.
。 , ,

电机 选 取 系 列 三 相异 步 电机 Y 一 2 型
,
Y 13
2 52 额定 功率 7 sk w 2 级 同步 转 速 300 0r / m in 满 载转 速
, 。

290 0r /m i n 质量 70 k g
,
3 5 轴 的强 度 计 算
, 。

螺 杆式 干 式 真 空 泵 的阴 阳 螺杆 所 受 弯 矩 不 大 故可 按 扭 转 强 度 条件 计算
, 。 。

考虑 到材 料 的 成本 及 工 艺 要 求 轴 材料 选 取 54 钢 调 制 处 理 查 得 其许 用 扭转 切应 力 「r ] 一 0
, a :
4 MP
按 扭 转 强 度 估 算轴 的 最 小 直 径

`
, .

/9 5 5 火 1 0 尸
3
_
es es 二 es , 二节尸 es 气二 es es es
a
多 V, 2 .

U 乙 Lr z
Jn

.
.

= 14 6m m (3 7)
, , ,

对 于 直 径 d 小 于 等 于 10 的轴 有 一 个键 槽 时 轴 的 直 径 增 大 一 7 % 有 两 个 键槽 时 应 增 大 0
,
0 5% 1 %~
.
。 ,

15 % 即 最小 直 径 应 大 于 巧 l m m 故 取 轴 的最 小直 径 为 30 m m 完 全 可 以满 足 轴 的 强 度 要 求 且 留有 足 够 的
,

安全 系数
同 步齿 轮 的 设 计计 算
.

3 6
。 :
同步齿轮 副 通 常采 用 斜齿 圆 柱 齿 轮 原 因 如下
, , ,

① 在多 数情 况 下 当 传动 比 和 中 心 距 给 定 时 选 取 标 准 齿 型 的直 齿 副 是 困难 的 因 为 传 动 比 和 中 心 距 都
。

是 由选 定 的 转 子 齿 数 和 流 通 部 分 尺 寸决 定 的
, 。

② 通常 同步齿 轮副 在 高转 速 区 内工 作 为 此 推 荐采 用 斜齿 传动
,

③ 直 齿齿 轮副 对 安 装 和 制造 的误 差 特 别敏感 因 为 齿 侧表 面 在 其 整 个 长 度 上 每 一 瞬 间都 以 同 一 齿 廓 点
。

工作
。

④ 斜 齿 轮 的 重 叠 系 数 比直 齿轮 大得多
。

故 本 设 计 采 用 斜 齿 圆 柱 齿轮
( l) 齿 轮尺 寸 计 算
中心 距
a
= 100

传动 比 i一3: 2
,

模数 m 初 步选 为 3
, , 。

齿数 初定 为
z
= 26 2 2
= 39

。 , z:
m (z + )
螺旋 角 卢=
a r c c o s
a
2
 、

七 机 械 设 计篇 3 75

3 X ( 2 6+ 39)
a r CCO S
=
2 X 10 0

` 1 “
一 1 2 50 2 0
.

(3 8)

0 0 , , 。
z , 22
月任
,

8 一 15 故 模数 确定 为 m = 3 齿 数确 定为 = 26 = 39

) 齿轮 强 度 校 核
(2
,
。 。 l im , 。 。 l im Z ,

渗 碳 淬火 齿 面 硬 度 查得 M pa
,
齿 轮材 料 采 用
r H
Zo C 59 H R C = = 15o 0 取安 全 系数 S =
.
,
1 2 则

。。 J H lz m l .

[ ] = 1 5 0 0 / 1 2 = 1 2 5O M P a
SH
.
, 。

齿 轮 按 六 级 精度 制 造 取 载荷 系 数 K 一 1 2 齿 宽 系数 外 一 .0
,
2
. 、 、 .
` , 。 _ _ _ 。 _ _

二“
.

尸
_ _
~ _ _ . .
7 5 `
.

小齿 轮上 的转矩 T = 9 5 5 X 10 二
l 6
.

。 。 一
;
、
二 = H 、 , 、 , - 1 - · `
’ 9一 ’
55 X `
’

女
资诀 = 2 47 X 10 N .
I n lll
一 一 n 一 0029

验 算 齿 面 接触 强度
3 I
“
. . .

/( T + 1) K T /( es1es es 5es ,+二 es 二二

1) 1 2X 2 47又 104 .
。 。
.

叮。
= J U匕、
/ 一 一一厂 , 三
`

1e , , 二 es 代二
了 丁二 二 二,花
目
甲~ ~ ~ ~ ~ ~ 一 = 379 OM P a < [ 〕 安全
—
-
= d U勺 ` . .

U 艺入 I UU
`
乙 V 1 匕X
V
外u

4 结论
,

随着 社会 的发 展 与 进 步 在 一 些 生 产 工 艺 中 尤 其 是 在 半 导 体 和 液 晶 显 示 器 的 生 产 中 对 真 空 环 境 清 洁
, ,

度 的 要 求 也 越 来 越 高 传统 的 又 油 真 空 泵 已 经 不 能 满 足 干 式 真 空 泵 应 运 而 生 螺 杆 式 干 式 真 空 泵 是 干 式 真
, ,

空 泵 家 族 中重 要 的 一 名新 成 员 本 文 阐 述 了 螺杆 式 干 式 真 空 泵 的基 本 原 理 对 常 见 的 型 线 进 行 了 分 析 研
,

, 。 :
究 并 对 螺 杆 式 干 式 真 空 泵 的 关 键 数 据 进 行 了 设 计 计算 得 到 以 下 结论 多 头 双 边 对 称 圆弧 型 线 虽 然 存 在
、 , 、

加 工 成 本 高 需 要 专 用 加 工 机 床 等 问题 但 由 于 该 型 线 在 一 个 导 程 内就 可 以 完成 吸 气 压 缩 和 排气 的全 过 程
, 、

并 能 达 到 一 定 的极 限 真 空 能 有 效 地 减 小泵 的 体积 和 质 量 在容 积 流量 单级 真 空 度 等方 面 比 其他 型 线更 有
,

优势

参考文 献
. .
, , :

「lj 董铺 干 泵一 21 世 纪照 耀 真 空 工 业 的新 星 [ J ] 真 空 1 9 9 7 4 4.

2 。。 2 4
. . .
, ,

「2〕 徐成 海 等 干式 机 械 真 空 泵 及 其 应 用 [月 真 空 电 子 技 术
:
63
. . .

〔3」礼 浩 新取 真 空 技 术 一 干 式 真 空 泵 通 用机 械 年第
,
2 00 3 9
期
. .
, ,

[ 4〕 周宝 洪 干式螺杆真 空 泵 的 螺杆 设 计与计算 真空 20 01 年 6 月第 3
期 46 一 .4
. .
,

[ 5〕 朱 家诚等 机 械设 计基 础 合肥 合肥 工 业 大学 出 版 社
:
2 0 0 .3
. . .
,

【6 ] 刘 春 姐 等 干 式 螺 杆 真 空 泵 转 子 温 度 场 的有 限元 分 析
,

真空 20 0 6 1
. .
: , .

[ 7 〕 朱 家诚等 机 械设 计课 程 设 计 合 肥 合 肥 工 业 大 学 出 版社 20 0 5
. . .

[ 8」刘 春 姐 等 几 种 干式 螺杆 真 空 泵 转 子 型 线特性 的研 究 [月 真 空 与低 温 20 05
. . .

口〕 张 世 伟 等 螺杆 真 空 泵 单 头 变 螺 距 螺杆 转 子 型 线 的研 究〔J〕 真 空
,
20 02
.
.
, ,

] 刘 春姐 等
〔1 0 一 种 新 型 干 式 螺 杆 真 空泵 转 子 端 面 型 线 的 研 究 真空 200
3 .6
.
, ,

【1 1〕 张 世 伟等 一 种 新 型 无 油螺 杆 真 空泵 单 头 变 螺 距 转 子 型 线 的 研 究 20 07 .2
. .
: , .

〔 12
] 高 振榕译 螺 杆 压 缩 机 手册 北 京 机 械 工 业 出版 社 198
5
. . .
,

[ 13 〕 吴 保 志 螺 杆 式 制 冷 压 缩机 北 京 机 械 工 业 出版 社
:
198
5
.
: , .

[ 41 〕 机 械 工 程 手 册 北 京 机 械工 业 出 版 社 198
2