第 卷 第 期 南 开 大 学 学 报 自然 科 学 版 附

年 月 从

一 一 一
文 章编 号

藕 合 结 构 高分 辨 率 电荷 按 比例 缩 放 的分 析

， ，

刘会刚 耿卫东 高王涛

，

南 开 大 学 天 津市 光 电子 薄 膜 器 件 与 技 术 重 点 实 验 室 天津

， ，

摘要 藕 合结构高 分 辨 率 电荷 按 比例 缩 放 占用 面 积 小 功耗低 然 而 其 互 连 结点 之 间 的 寄 生 电 容 影 响
，
了它 的线性 介 绍 了祸 合结 构 高分 辨 电荷 按 比例缩 放 级 间祸 合 电 容 值 的 设 计 方 法 讨 论 了 寄 生 电 容 对
，

精 确 度 的影 响 用 两 种 不 同 的 理 论 模 型 分 析 了 电容 轨 迹 误 差 对 精确 度 的影 响 并 在两 种模 型 下 比较
了 两 级 和 传统 的 单 级 电荷 按 比例缩 放 的 精确 度 和 版 图 面 积

关健 词 寄生 电 容 祸 合 电 容 电容轨 迹 误 差 电荷按 比 例缩 放
中圈 分 类 号 文 献标 识 码

引 言
一 一 一 一

电 容 阵列 在 和逐次逼近 在设
，

计 中被 广 泛 应 用 年 费城 国 际 固 体 电 路 会 议 上 和 第一 次报道
‘〕
了 二 进 制权 电 容 阵列在逐 次 逼 近 中的应 用 在 阵列 中
， ，
大 电 容 和 单 位 电 容 面 积 周 长 的 比 率 限制 了 的精 度 只 能达 到 位 并且 阵列 中总
、 ，

电容值会 随着 分 辨率 的提 高成 指 数增 长 为 了克服 的缺 点 提 出 了两 级 的权 电容 阵
一 ，
〕
列的 它 由祸 合 电 容 连 接 的 两 个 阵 组成 为 进一
， 一
〕 ， 一

步减 小 版 图 面 积 提 出 了 结构 的 和 相 同分 辨 率 的 和 相比 结
、 ， 一

构的 版 图 面 积 更 小 转 换 速 度 更 快 但 是 寄 生 电 容 的存 在 严 重 影 响 了它 的 线 性 在 中为
， ，
了 实 现 寄 生 电 容 和 主 电 容 的 比值 小 于 需 要 特殊 的工 艺 来 对 其进 行 调 整 困 这 些 工 艺 通 常 非 常 复杂
， ， ，

和 昂 贵 增 加 了生 产成 本 即 使 忽 略 某 些 工 艺 的影 响 寄 生 电 容 的影 响 也 通 常 很 难 消除 为 了 减 小 寄 生 电 容
， 一 ，

的影 响 有 人 把 做 在 了玻璃 或 石 英 衬 底 上 困 但这 又 和 工艺不兼容
， ， ， ，

当 分 辨率提 高时 一 方 面 所 需 的 大 电 容 导 致 芯 片 尺 寸 过 大 而 且 大 电 容 需 要 大 充 电 电 流 充 电
， ， ，
时 间 过 长 另 一 方 面 最 高 权 位 和 最 低 权 位 的 电 容 比例 变 得 很 大 而 比值 越 大 电 容 匹 配 越 差 川 文 献 虽
， ，

然 提 出 了用 藕 合 方 法 来 实 现 高 分 辨率 的 但没 有 分析 寄生 电容 对 的影 响 以 及 确 定 祸 合 电 容值
的 版 图 面 积 更 小 转 换 速 度 更 快 但 由于 工 艺 和 成 本 原 因 很 少 使 用 〔 〕
， ， ， ‘ 一
的方 法 虽 然 能使 经 以上分
， 、 ， ，

析 从 成 本 精 确 度 和 工 艺 等 各 方 面 考 虑 在 实 现 高 分 辨率 时 祸 合 结 构 的 电荷 按 比例 缩 放 最
，
具 有 优越 性 这 种藕 合结 构 的 成 功 的关 键 之 一 是 藕合 电容值 的 确定 只 有 选 择 合适 的藕 合 电 容值
，
、

才 能 保 证 各位 间 的权 重 关 系 并 实 现 数模 转 换

祸合 电容 值 的确 定
， ，

为 了分 析 的共 性 如 图 所 示 给 出 了采用 两个 位和 位 电荷 按 比 例 缩 放 子 组 成 的一 个
位 的 电荷 按 比例 缩 放 子 的缩放通 过 藕 合 电容 实现 取
。 ，，
子 的 单位 电容 值 为 子 的 单 位 电 容值 为 子 的总

。
、 、
一 一
收 稿 日期 二
鑫 金 项 目 天 津 市 自然 科 学 基 金 大律币料妾攻夫项 目
， ， ，
作者简 介 刘会 刚 一 男 河 南 商丘 人 博 士 研 究 生
 南 开 大学 学 报 自然 科 学版 第 卷

电 容 与 藕 合 电 容 的 串联起 到 子
，

补 偿 电容 的 作 用 所 以 其值应 该 等 于
子 的单位 电位 电容值 若 不 考 虑 寄

」 ” 」」
…… ‘
’ ’

， ，
二

生 电 容 的影 响 可 得

淤
“
，
公
几
岛
商简松
、、了
‘
、
、
、
自 产
少
二石 丁布 井 下下 一
十 一
乙 七。 七
，
七。

‘ 、 、

所以 一 “
姚 翰

祸 合 结构 的 分析
补 公

孙
寸
巾

卜
、
必
，
’

」
考虑 寄 生 电 容 时 值 的确 定
，
版 图 设 计 时 为 了 消 除介 电 松 弛 对 转
，

换 精度 的影 响 消 除 电荷扩 散
，
圈 十 位 电 荷 按 比例编 放
和 介 电极 化 效 应 减 少 噪 声 干 ‘
， ，

扰 电 容 极 板 上 加 静 电屏 蔽 层 接 地 电 位
， ， ，

为 了 消 除 衬底 噪 声 将 电 容做 在 阱 里 阱接 地 电 位 电 容 阵 列 极 板 和屏 蔽 层 或 阱 间形 成 的 寄 生电 容 使 电 路
， ，

中藕合 电 容 两 极 板 到 地 的 寄 生 电 容 值 增 大 使 得在 确 定 藕 合 电 容值 时 必 须考 虑 寄 生 电 容 的 影 响 川
，

下 面 以 一 个 分 辨率为 的 藕 合 结 构 电 荷 按 比 例 缩放 为 例 来 分 析 考虑 寄生 电容 时 藕 合 电
，

容 值 的确 定 以 及 寄 生 电容 对 的影 响 这 个 由 分 辨 率 分别 为 和 的两 个 子 通 过藕
，、 ， 、 ，

合 电容 藕合而成 分别 为 两 个 子 的 单位 电 容值 分别 为 两 个 子 的 总 电 容值 所
， ， 、 、 ， 、 、
。 、

以 一 分别为 两 点 到 地 的 寄生 电容 值 为户 两 点 到地 的
，
一
电压 如 图 所示
， ， ， ， ， ，

此 由两 相 不 交 叠 时 钟 巾 中 控 制 首先 中 有 效 对 电 容 进 行 放 电 使其 初 始 电 荷 为零 之 后 叭
。
， ， ，

有效 对应位为 的 电容接 对应位 为 的 电容 接 此时 输 出 模 拟 电压

、 ，

根 据转 换 过 程 中 电荷 守 恒 于 是 可 得
’ 一 … ‘ “ ’ 一
。 · ， 。 一 ’ ·
袱 西 占
牙 一 一
， ， 。 。 ， ， 材一 ‘ ，一 ， 。
一 一
，

解 此 方 程 组 得 到 输 出 电压
「
。 ，
弓〕
， 、 ， ， ， 、 ， ， ， 。 ，
，

门 厂
一 ’ 、 、 一 。
占、 一 ‘ ，一 “
， 。 ， ，， 二

占 乙 士理 占 五 占 一
笋 导
一 ” ” 」
“ 一 “ ， ‘
‘ “ “ 一” 、 ’
一， ’ ，’
’ 、
一‘ 一 ‘ ‘ ’ ’ ’ 、 一 ’ ’ ‘
一 此一 一
一 一

， ，
其 中式 中
， ，

分析 式可知 子 内部 各 位 之 间成 二 进 制 权 重 关 系 只 是 子 之 间 比例 矢 系 有 待 确 定 通
， ，
过调整 的值 使子 之 间 也 成 二 进 制 权 重 关 系 电路 就 实 现 了 位的 以 高权 位 为
， ，

基 准 此 时 输 出应 有 如 下 表 达 式
。 。
。 。 。 ，
， ， ， ， 、 ， ， ， ， ， 、 ， 、
厂
厂 弓门
“ 一 ‘
占， 、 一 ， ， 一 ‘
占， 一 ， 。
〔
一 ， ’。
，
一 门 一 冷
” 」
“ ‘ ‘ 一 “ ‘ ’
幼 ‘ ‘ ’
一 一

、、了 亡
了 几 、产，
卜

比较 式和 式 可得
一

， 。

由 式 得 。

，
一 ，
最 终根 据 式确 定 藕 合 电容 值 即可 使子 间 高低 权 位 之 间也 成 二 进 制 权 重 关 系 即 得 到 式的
，

输 出表 达 式 从 而 实 现 位的
第 期 刘 会 刚等 辆合结构 高分 辨率 电 荷按 比 例 缩 放 的分 析

寄 生 电容 的影 响 分 析
， 、

分析 祸 合 电 容 公 式 可 知 藕合 电 容 大 小 与低 权 位 分 辨率 两 个 子 的 单位 容值 和 低权 位
，

的 寄 生 电 容 有 关 而 与 高权 位 的寄 生 电容无 关
，

高权 位 的 寄 生 电 容 不 影 响 高低 权 位 间 的 比 例 关 系 只 影 响 最 终 输 出 电 压 的绝 对 值 从 输 出 表 达
， ，

式 中 可 以 看 到 高权 位 寄 生 电 容 出 现 在 分 母 中 它 会 使 输 出绝 对 值 变 小 如 果 输 出 电 压 受 高 权 位 寄 生 电 容
， ，

的影 响 而 降低 到 一 定 程 度 会 影 响到 后 续 电 路 的 正 常 工 作 所 以 应 尽 量 减 小 高 权 位 寄 生 电 容 值
， ， ，

低 权 位 寄 生 电容 也 会 使 输 出 绝 对 值 变小 但 这 个 影 响 很 小 和 高 权 位 寄 生 电 容 的 影 响 相 比 可 以 忽 略
， ， ，
不 计 同 时 低 权 位 寄 生 电 容会 使 低 位 比重 减 小 偏 离 与 高 位 间 的 二 分 之 一 权 重 关 系 由前 面 的 分 析 可 知
， ， ，
通 过 加 大 藕合 电 容 值 可 以 加 大低 位 比 重 减 小 高 低位 间权 重 的 偏 离 适 当增 加藕合 电 容值 以 后 高低 位 间
， ，

权 重 的偏 离 可 以 忽 略 不 计 而 且 也 可 以 减 小 低 权 位 寄 生 电 容 对 输 出 电压 的 影 响 另 外 低 权 位 寄 生 电 容 出
， ， ，
现 在 辆合 电 容 表 达 式 的 分 子 上 所 以 低 权 位 寄 生 电 容 越 大 藕 合 电 容 值 也 越 大
，

低 权 位 寄 生 电容 的 影 响 可 以 通 过 调 整 祸 合 电 容值 来 减 小 但 高 权 位 寄 生 电 容 对 输 出 电 压 的 影 响 却 无
， ，
法 通 过 调 整 藕 合 电容来 减 小 寄 生 电 容 通 常 是 由 电 容 极 板 和 屏 蔽 层 或 阱形 成 因 此 寄 生 容 值 和 电 容 阵 列
， ， ，

大 小有 关 即 高 低 权 位 寄 生 电 容 大 小 间有 所 联 系 所 以 为 了 减 小 高 权 位 寄 生 电 容 对 输 出 电压 的 影 响 在 版
， ， ，

图 设 计 时 尽 量 减 小 寄 生 电 容 有 时 还 可 以 对 高 位 进 行 特 别 设 计 以 减 小其 寄 生 电 容 闭

电容 轨 迹 误 差 对 精 确度 的影 响
电容 的 轨 迹 误 差
所 有 器 件在 尺 寸 和 构 成 上 都 表 现 出 微 观 的不 规 则 性 这 些 不 规 则 性 分 成 两 类 一 类 只 发 生 在 器 件 边
， ，

缘 另 一 类发生 在整 个 器件上 这 里 将 详 细 讨 论 电容 轨 迹 误 差 也 称 电容分 布

，

误 差 对 电容 的 影 响 电 容 的 实 际 值 是 由 电 容 上 下 电极 正 对 面 积 和 上 下 电极 的 周 长 决 定 的 即 电 容
，

值 与 分 布 位 置 和 形 状 有关 两 电 容 之 间 的 轨 迹 误 差 等 于 零 是 一 种 极 限 情 况 所 以 任 两 电 容 之 间 都存 在 轨 迹
，

误差 电 容 的 非 线 性 影 响 可 通 过 合 理 的 版 图 布 局 和 其 他 方 法 来 减 小 和 消 除 电 容 轨 迹 误 差 却难 以 消 除
， ，

如图 所示 对于一个 位的 两 级 的 电荷按
比例 缩 放 所 需 电 容 值 的变 化 范 围 比 单 级 的 电 荷 按
，

比例 缩 放 小 确 倍 因此 其 电容总值 和所 需 芯 片 面
一 ‘
积 大 约 比单级 的小 号 倍
，

以图 所 示 两 种 结 构 的 电荷 按 比 例 缩 放 为例
用 两 种模 型 来 分析 电容轨迹 误 差 对 精确度 的影 一 竺几
〕
响
恒定 △ 模型
二
二二与江 一
第一 种方 案模 型 是 恒 定 △乙 模 型 假设 电容 的尺 寸
△乙 △五
， ，
是 有 的随机变化 独立 于 并且 服从 正
△
，
态 分布 恒定 模型 由此 变 化 所 引 起 的 电 容 值 的 变 圈 单级 的 电荷按 比 例 缩 放
，

化 也 符 合 正 态 分 布 大 电 容 由多 个 单 位 电 容 组 成 的 任 何 荷 按 比例 缩 放
一 ，

恒 定 的 变 化 例 如 由工 艺 的 偏 差 所 引 起 的 都 不 会 影 响 电
容之 间的匹 配精度 只有 电容之 间 的 随机 变 化才影 响 电
，

容 的 匹 配 精度 由 统计 分 析 原 理 可 知 各 正 态 分 布 项 的 和 的 等效 标 准 差 是 各 项 标 准 差 平 方 和 的 平方
氏 一 了戳 髯
。
△ 了万 ‘
。
， ，

假定 是 单 位 电 容 的标 准 差 个 单 位 电 容组 成 的 大 电容 它 的 标 准 差 是 一
配 一个有
这 意味着
‘ 、

配 尾丁
 南 开 大学学 报 自然科学 版 第 卷

一
戈 汇
一
以 上 表 达 式 不 管 对 于 一 个 由 ， 个 小 电 容 组 成 的 大 电 容 或者 一 个 尺 寸 比 单 位 电 容 大 了万倍 的 电 容来说
， ， ， 、 ，

都 是 有效 的 对 于 单 个 电 容 的 情 况 二厂
配二 配 因此 万 如式 所示
， 。 ， 产 。 ，
对 于 单 级 的 电荷 按 比 例缩 放 最 小 电 容 的标准差 是 配 次小 电容 的标 准差 是 六 配 以此类
， 。 ， 人
推 最 大 电 容 的 标 准 差 是 丫厄不丁 配 应 用 公 式 得 输 出的误 差 电压 邵 和 最 大 输 出电 压 之比

糕〕
△少
。
公
些
。

一 。
” 一
一

△
糕」
，
· 。
‘， ，
一‘ 一， 、
一，
· ·

月 。 鑫 一 一 配。
一 乙 一

一
艺
石苏
’
“ ‘
典川 ‘

‘
，

是 输 出 的 最 大 电压 下 标 表 示 单 级 的 电 荷 按 比 例缩 放 的情况 下标 表示 两 级 的
，
电 荷 按 比例 缩 放 的 情 况 根 号 下 第 一 个 括 号 内表 达 式 中 的 和 讹 项 分 别 是 高权 位 个 电容
，
和低权 位 个 电容 的轨迹 误差 对 的影 响 这 表 明 低 权 位 组 电 容 的 轨 迹 误 差 对 实 际 值 的 影 响是 很
， ， ， ，

小 的 相 似 地 对 于 两 级 的 电 荷 按 比例 缩 放 和 前 面 提 到 的 一 样 根 号 下 第 一 个 括 号 内表 达 式 的 两 项
，
分 别 是 高权 位 和 低 权 位 电 容 轨 迹 误 差 对 的 影 响 同 样 低 权 位 电 容 的影 响 也 非 常 小 这 里 忽 略 了 藕
合 电容误 差 的影 响
△
， ， ，

对 于恒定 模 型 一 个 给定 的 转换 精 度 如 果 能 用 一 个 两 级 的 电 荷 按 比 例 缩 放 来 实现
那 么 用 高权 位 电 容 尺 寸相 等 的 单 级 电荷 按 比例 缩 放 也 能 达 到 同样 的 精 度 因 为 高 权 位 电 容 是 误 差
， ， ，
电压 么 的 主要 来 源 同样 尺 寸 的 电 容 有 同样 的 误 差 如 果 忽 略 个 低 权 位 电 容 的影 响 两 电 路 是 完 全
，

相 同 的 如果 两 最 高 位 电 容 的 电 容 值 相 等 那 么 单 级 的 电 荷 按 比 例缩 放 所 需 要 电容 的总 面积
，

大约是 两级 的一半 从式 中 可 以 看 到 如 果 减 小 两 级 电荷 按 比 例 缩 放 的 电 容 尺 丫 来 使两
，

电 容 总 面 积 相 等 的话 两 级 电 荷 按 比例 缩 放 的 输 出电 压 误 差 将 增 大 为 原 来 的 了万 倍
变化 △ 模型
△五 △乙 △
， ，

第 二 种 方 案模 型 是 变 化 模 型 假 设 电 容 的尺 寸是 和 成正 比 恒定 且独 立 于 电 容
△ 、 、
， ， ， ，

尺寸 和 成 正 比 因此 对 于 单 级 电荷 按 比 例缩放 有下列关 系
· 。

三竺 刁 配
」
、 月 。
一
， ，
和 前 面 一 样 对 于 两 级 的 电 荷 按 比 例缩 放 有 如下关 系
月

户竺 些 一
月

一
一
卜 丈丁石
乙
石
“
’
了

声
， ，

因 此 输 出误 差 电压 之 比 为
一
乙
乙一
犷 ”

兰
，

在 此 模 型 中两 级 电 荷按 比 例 缩放 输 出 的 误 差 电 压 小 是 因 为 其单 位 电 容 的 尺 寸 比 单 级 的 大 破 倍
，
以 上 两 种 模 型 哪 种 更 接 近 于 实 际 情 况 取 决 于 各 个 厂 家使 用 的工 艺

总 结
，

给 出 了两 级 祸 合 结 构 电 荷 按 比例 缩 放 藕 合 电 容 值 的 计 算 方 法 分 析 了 寄 生 电 容 付祸 合 电容 和
，

的 影 响 并 提 出 了减 小 寄 生 电 容 对 影 响 的 方 法 最 后 用 两 种 不 同 模 型 分 析 了 电 容轨 迹 误 差 对
，

精 确 度 的影 响 比 较 了两 级 和 传 统 的 单 级 电 荷 按 比 例 缩 放 潜 在 的 精 确度 和 版 图 面 积 此 分 析 方
 ·
第 期 刘 会 刚 等 辐合结构 高分 辨率 电荷 按 比 例缩放 的 分析

法具 有 一 定 的共 性 也 适 用 于 多 级 藕 合 结 构 电 荷 按 比 例 缩 放 的 分析

参 考 文 献

〔 〕
， 一 一 一 一

一 ， ， 一
一
， 一 一

」
，
一

〕
， ， 一 一

一 ， ， 一
一
， ， 一

〕
， ，
一
， ， 一

， ， ， ，
旦
，
一

〕
， ， 一 一 一 ， ，

一
， ， ， ， ，
王 娜 王继安 尚晓丹 等 电 荷再 分 配 级 间 藕 合 电 容值 的 优化 设 计 微 电子 学 一

〕
， ，
，

模 拟 电路 版 图 的 艺 术 版 张为 译 北 京 电 子 工 业 出版 社

， ，

’
一

吐 勺 加栩 即 舒
’ 了 ‘口
口 ， ， ，
动

一 一

， 一