27 1

研 究

イオ ン照 射 に よ るサ フ ァ イ アの亀 裂 の癒 着 と

非 晶 質 層 の耐 亀 裂 性*

日置 辰 視**, 伊 藤 明 生**, 野 田 正 治**

土 井 晴 夫**, 川 本 淳 一**, 上 垣 外 修 己**

Tatsumi Hioki, Akio Itoh, Shoji Noda, Haruo Doi, Junichi Kawamoto and Osami

Kamigaito: Ion-Irradiation Effects upon Crack Healing and Suppression of Crack

Initiation in Sapphire Surface.

Sapphire plates whose strength was degraded previously by Vickers indentation were irradiated with

300 keV Ni+ or 400 keV Mn+ ions, and the strength recovery was studied as a function of ion dose. Also

the strength degradation by Vickers indentation in sapphire plates irradiated previously with 400 keV Mn+

ions to the dose of 5•~ 1017 ions/cm2 was studied to evaluate the resistivity to the crack initiation due to point

contact stresses.

The strength of sapphire plates which were degraded previously to about 50% of the original strength

was recovered to about 90% of the original strength of the sapphire by Ni+ or Mn+ ions irradiation of the dose

of 5 •~ 1017 ions/cm2.

The crack initiation by Vickers indentation was largely retarded by ion irradiation to the sapphire

specimen. The retardation was attributed to the presence of amorphous layer made by Mn+ ions irradi-

ation. (Received July 29. 1987)

イオ ン照 射 に よ りセ ラ ミック スの 強 度 が 増大 す る理 由
I 緒 言
は,表 面 層 に生 じる圧 縮 応 力 に よ る もの と考 え られ て い
セ ラ ミックス の脆 さを克 服 す る こ とは,セ ラ ミ ックス る3,4,7,9).しか し表 面 に 生 じる圧 縮 応 力 だ け で は 説 明 出
を使 う とい う立場 で 最 も大 き な問 題 で あ る.セ ラ ミッ ク 来 な い,む しろ別 の機 構 の存 在 を 示 唆 す る結 果 もえ られ
ス は脆 さ のた め に,表 面 の小 さ な欠 陥(∼50μm)か ら破 て い る7).ま た破 壊 靱性KICが 著 し く増 大 す る理 由 と し

壊 が生 じ易い.ま た異 物 との接 触 に よ って,表 面 に破 壊 て,非 晶質 層 の効 果,サ フ ァイア の表 面 層 に存 在 す る金

の原 因 とな る欠 陥 が生 じ易 い.こ れ らの こ とが セ ラ ミ ッ 属 コロ イ ドの 役 割 が考 え られ る7).こ れ らの 可能 性,効

ク スの 信頼 性 を小 さな もの に して い る. 果 を よ り明 確 な形 で評 価 す るに は,ビ ッカ ース 圧 子圧 入
この よ うな セ ラ ミッ クスの 困 難 を克 服 す るた め に,セ 法 によ り人 工傷 を 付 与 す る方 法 を用 い るの が 適 切 で あ る.

ラ ミック スの 破壊 靱 性 を 向上 させ る 努 力 が 行 わ れ て い す な わ ち人 工傷 を 付 与 した セ ラ ミ ック スに イ オ ン照 射 し,

る1).こ れ らの 努 力 は主 と して バ ル クの セ ラ ミック スを 強 度 変 化 を 測定 す る こ とに よ り,亀 裂 の 修 復 の程 度 を 評

対 象 と して い る.し か しセ ラ ミック スの 表 面 に存 在 す る 価 す る方 法 と,イ オ ン照 射 した セ ラ ミ ックス の表 面 に ビ

欠 陥 の破 壊 に対 す る 感受 性 を 小 さ くす る こ と,あ るい は ッカ ー ス圧 子を 圧 入 し,強 度 変 化 の 測 定 に よ りイ オ ン照

異 物 と接 触 した際 に,セ ラ ミック スの 表 面 が損 傷 を 受 け 射 面 の 耐亀 裂 性 を 評 価 す る方 法 で あ る.

難 くす る こと によ って も,脆 さ の困 難 を 軽減 す る こ とが 本 報 告で は,セ ラ ミック ス と して サ フ ァイ アを,照 射

イオ ンと してMn+,Ni+イ オ ンを用 いて 上 記 の 可能 性 を
可能 で あ る と考 え られ る.
その よ うな考 え で,我 々は 高 エ ネル ギ ー イ オ ンに よ る 調 べ た.

セ ラ ミッ クスの 表 面 改質 を 試 み て来 た2∼8).そ の 結 果 ,
N+,Ar+,Ni+イ オ ンの照 射 によ り,サ フ ァイ ア2,3,7),
* 昭 和62年2月 第18回 高 温材 料 技 術 講 習会 に て一 部 発 表
SiC4),ZrO28)の 曲げ 強 度 が増 大 す る ことを 見 い 出 した. , 昭
和62年7月29日 受 理.
ま たサ フ ァイア にNi+イ オ ンを照 射 す る と,破 壊 靱 性 ** 豊 田 中央 研 究 所(株) ,〒480-11 愛 知 県 愛知 郡 長久 手 町大 字
が著 しく増 大 した7). 長 湫 字 横 道41-1.

1988 年 6 月 (57 )
 27 2 日置 辰 視,伊 藤 明生,野 田 正 治,土 井 晴 夫,川 本 淳一,上 垣 外 修 己

重Pに よ って 制 御 され る.
II 実 験 方 法
圧 子圧 入 は空 気 中で 行 い,荷 重 印加 時 間 は30秒 と した.
II−1 試 料 圧 子 圧 入 は 試 験片 の 中央 部 に行 い,圧 入 後圧 子圧 入 部 分
試 験 片 と して はAI2O3単 結 晶(サ フ ァイ ア)を 使 用 に 引張 応 力 が働 くよ う に して,3点 曲 げ 強度 を 測定 した.
した.(0001)面 に平 行 に 切 断 し,ダ イ ヤモ ン ドペ ー ス ト 強度 測 定 時 の 荷 重 印加 速 度 は0.05mm/minと した.
で 鏡面 に仕 上 げ た後,加 工 歪 を取 る た め に1500℃ で5 II-3 亀 裂 の修 復 およ び 耐 亀裂 性 の評 価
時 間 の熱 処理 を行 った 。 試 験片 の大 き さ は,厚 さ1mm, イ オ ン照 射 に よ る亀 裂 の 修 復 の評 価 は,ビ ッカ ー ス圧
幅7mm,長 さ25mmで あ った. 子 を 圧 入 して 人 工 傷 を 付 与 し た サ フ ァイ アの 表面 に,
試 験 片 へ の イ オ ンの 照 射 は,日 新 ハ イ ボル テ ー ジ社 製 Mn+イ オ ンあ るい はNi+イ オ ンを低 温(∼100K)あ る
の400kVイ オ ン注 入 装 置(NH400RM)を 使 用 した. い は高 温(∼523K)で 照 射 し,イ オ ン照射 後3点 曲 げ強
照 射 イ オ ン と し て は,Ni+,Mn+イ オ ンを 使 用 した. 度 を 測 定 す る こ と によ って 行 った.
Table1に 照 射 イ オ ンの 種 類 加 速 エネ ル ギ ー,飛 程 を イ オ ン照射 した サ フ ァ イア の 耐亀 裂 性 の 評価 は,Mn+
示 す.イ オ ン照 射 は3×1014∼5×1017イ オ ン/cm2の 範 イ オ ンを 低 温で5×1017イ オ ン/cm2照 射 した サ フ ァイア
囲で 行 った 。 イ オ ン照 射 時 の 試 料 温度 は,∼100K(低 に,各 種 圧 子荷 重 で ビ ッカ ー ス圧 子 を 圧入 して人 工傷 を
温 照 射),∼523K(高 温照 射)で 行 った 。 ま た ビー ム電 付 与 し,そ の 後3点 曲 げ 強 度 を測 定 す る こと によ って 行
流 密度 は ≦5μA/cm2と した. った.な お これ に先 立 ち,MI1+イ オ ンを低 温 で3×1014
II-2 人 工 傷 の付 与 と曲 げ 試 験 ∼5×1017イ オ ン/cm2の 範 囲 で照 射 した サ フ ァイア に,
ビ ッカ ース 圧 子 を サ フ ァイ アに 圧入 す る と,Fig.1に 0.49Nの ビ ッカー ス 圧 子 を圧 入 して,亀 裂 の長 さ(2c)
見 られ るよ うに,圧 痕 の4隅 を 通 る亀 裂 が 生 じる.こ の と圧 痕径(2a)の 比 を 求 め,ま た ヌ ー プ硬 度を 調 べ,サ
亀 裂 は,Fig.1に 見 られ る よ う に,半 径Cで 特徴づ け フ ァイ ア の靱性 と硬 度 の 照 射 量依 存性 を 調 べ た.
られ る半 円形 の 亀裂 で あ る.亀 裂Cの 大 き さ は,圧 子 荷
III 実 験 結 果
Table 1 Conditions of ion irradiation.
III-1 人 工 傷 の付 与 と曲 げ 強度

Fig.2に サ フ ァイ アに ビ ッカ ー ス圧 子 を圧 入 した 時 に

生 じる亀 裂 の大 きさ(c)を 圧 子 荷 重(P)の 関数 と して 示

す.ま た そ の時 の 曲 げ 強度(σf)を 荷 重(P)の 関数 と して
同時 に示 した,亀 裂 の大 き さcの 値 は,試 料 表面 の亀 裂
長 さを 光 学顕 微 鏡 を用 いて 測 定 して 求 め た.こ の 図 よ り
荷重0.49Nの 時 の亀 裂 の 大 きさ は,c=7μmで あ るこ
と がわ か る.ま た この時 の 曲 げ強 度 の値 は,未 圧 子 圧入
サ フ ァイ ア の値 の約 半 分 で あ った 。
Fig.2よ りcとPと の 間 に はc∞P3/2の 関 係 が あ り,

σfとPと の 間 に は σf∞P-1/3の 関係 が成 立す る こ とが

わ か る.そ して 亀 裂 の 大 き さ をc=5∼50μmの 範囲で

Fig. 2 Vickers indentation crack size in sapphire (001)

Fig. 1 Cross-sectional (upper) and top (lower) views of surface and flexural strength as a function of
vickers-produced radial/median crack system. indentation load.

( 58 ) 「
粉 体 お よ び粉 末 冶 金」 第35巻 第 4 号
 イオ ン照 射 によ る サ フ ァイ アの 亀 裂 の癒 着 と非 晶 質 層 の 耐亀 裂 性 27 3

変 化 させ る ことが 可 能 で,こ れ に よ り曲 げ強 度 を 制 御 出
来 る ことが わ か る.
III-2 人 工 傷 を付 与 した サ フ ァ イア の 曲 げ強 度 に 及 ぼ す

イ ォ ン照 射 の 効 果
III-2-1 圧 子荷 重0.49Nで 人 工 傷 を 付 与 した 場合
Fig.3に0.49Nの 圧 子 荷 重で 圧 子 圧 入 した サ フ ァイ

アの表 面 に,300k認 のNi+イ オ ンあ るい は400keV

のMn+イ オ ンを各 々低 温(∼100K),高 温(∼523K)で
照 射 した 時 の 曲げ 強 度 を イオ ン照 射 量 の関 数 と して 示 す.
Fig.3に 見 られ る よ う に,低 温 で イ オ ン照 射 す る と,曲

げ 強度 は1×1015イ オ ン/cm2の 照 射 量 で26%増 大 し,

さ らに イオ ン照 射 量 が 増 加す る と 少 し低 下 した後,1×
1017イ オ ン/cm2以 上 の 照 射 量で 著 し く増大 した.一 方

高 温で 照 射 した 場 合 は,曲 げ強 度 の増 加 は,1×1017イ
オ ン/cm2の 照 射量 で も23%で あ った.し か しイオ ン照
Fig. 4 Step height between irradiated and unirradiated
射 量 が5×1017イ オ ン/cm2に な る と,高 温 で 照 射 して sapphire areas as a function of ion dose for the

も低 温 で照 射 した場 合 と同 程 度 に,曲 げ 強 度 が増 大 した. specimen irradiated with 300 keV Ni + or 400 keV
Mn+ ions at 100 or 523 K.
この時 の値 は,未 圧 子 圧 入 サ フ ァイ アの 値 の86%で あ っ

た。 るい はMパ イ オ ンを 低 温 お よび 高 温 で 照 射 した時 に,
サ フ ァイ アのC面 に300keVのNi+イ オ ンを 低 温 で 照 射 部 と未 照 射部 との 間 に生 じた段 差 を 示 す.Fig.4に
2×1015,イ オ ン/cm2以 上 照 射 す る と,非 晶質 化 が起 こ
見 られ る よ う に,Ni+イ オ ンを 低 温 で 照 射 す る と,照 射
る7>.非 晶質化 の起 こる照 射 量 は イオ ン照 射 によ って, 量 が2×1015イ オ ン/cm2以 上 で 段 差 が急 激 に大 き くな
初 め飛 程近 傍 に生 じた 格 子損 傷 が 蓄 積 し,構 造 が 完 全 に り,イ オ ン照 射 量 と共 に さ らに増 大 した.高 温 でNi+イ
ラ ンダ ム にな る照 射 量 で あ る.こ の 照 射量 を 越 え る と, オ ンあ るい はMn+イ オ ンを 照 射 した 場 合 は,照 射 量 が
表 面 に垂 直 方 向 に体 積 膨 脹 が生 じ,蓄 積 され て い た 残 留 1×1017イ オ ン/cm2で も段 差 は現 れ な か った.す なわ ち
応 力 は解 放 され る。 そ れ に伴 って 照 射部 と未 照 射 部 との 高 温 でN鈷 イオ ンあ る い はMn+イ オ ンを照 射 した 時 に
間 に段差 の生 じる のが 見 られ る 。Fig.4にNi+イ オ ンあ は,照 射 量 が1×1017イ オ ン/cm2で も非 晶質 化 しな い
こ とを示 して い る。 照 射 量 が5×1017イ オ ン/cm2に な

る と,Mn+イ オ ンを 高 温 で照 射 した 時 も,低 温 で 照 射
した 時 も大 きな 段 差 を示 した 。
Fig.3とFig.4を 比 較 す る と,人 工傷 を付 与 した サ フ

ァイ ア の イ オ ン照 射 に よ る強 度 の 回 復 は,非 晶質 化 に 伴
う段 差 が十 分 大 き くな る イ オ ン照 射 量 で生 じて い る こ と
がわ か る.
III-2-2 各 種 の圧 子荷 重 で 人 工 傷 を付 与 した 場 合
Fig.5に 各種 の圧 子 荷 重 で人 工傷 を付 与 した サ フ ァイ

ア に400keVのMn+イ オ ンを 低 温 で,5×1017イ オ ン/
cm2照 射 した 時 の 曲 げ強 度 を示 す.図 に見 られ る よ うに,

圧 子 荷 重0.49Nで 人 工傷 を付 与 した 場 合 は,曲 げ 強度
は先 に も述 べ た よ う に大 き く回復 した。 しか し圧 子荷 重
が0.98N以 上 にな る と,強 度 の増 加 は20%程 度 で あ っ
た。 各 圧 子 荷重 の圧 子 圧 入 で サ フ ァイ アの表 面 に生 じる

亀 裂 の大 き さは,圧 子荷 重 が0。49Nでc-7μm,0.98N
でc=12μm,1.96Nでc=20μmで あ った 。 した が っ
Fig. 3 Recovery of the strength of sapphire damaged with て,400keVのMn+イ オ ンを 低 温 で,5×1017イ オ ン/
indentation of vickers indenter (0.49 N) by irradi- cm2照 射 した時,曲 げ 強度 が大 き く回 復 す る人 工 傷 の 大
ation of 300 keV Ni + ions or 400 keV Mn + ions at
100 K or 523 K respectively as a function of ion き さは,7μm程 度以 下 で あ り,人 工 傷 の大 きさ が12μm
dose. に な る と,強 度 の 回 復 は小 さ くな る.し か し400keVの

1988 年 6 月 ( 59 )
 27 4 日置 辰視, 伊 藤 明生, 野 田 正 治, 土井 晴 夫 , 川本 淳 一, 上 垣 外 修 己

(a) (b)

Photo. 2 Scanning electron micrographs showing the

fracture surfaces of sapphire fractured at
vickers indent (0.49 N). (a) Before irradi-
ation, (b) after the irradiation with 400 keV
Mn+ ions to a dose of 5 x 1017 ions/cm2.

破 壊 す る こ と は な か っ た が,Photo.2(b)は たま た ま圧

痕 か ら 破 壊 し た 試 験 片 の 破 断 面 のSEM写 真 で あ る.こ

の 時 の 破 壊 応 力 は0.94GPaで あ っ た.Photo.2(a)に 見
Fig. 5 Recovery of the strength of sapphire damaged with
indentations of vickers indenter of various loads by ら れ る よ う に,イ オ ン照 射 前 の 破 断 面 に は,ラ ジ ア ル/
irradiation of 400 keV Mn+, ions to a dose of メ デ ィ ア ン ク ラ ッ ク の 跡 と ラテ ラ ル ク ラ ッ ク が 観 察 さ れ
5 X 1017 ions/cm2 as a function of indenter load.
た.イ オ ン照 射 した 試 料 の 破 断 面 に は,Photo.2(b)に

見 ら れ る よ う に 最 表 面 か ら2μm程 度 の,内 部 の破 断 の
Mn+イ オ ンの 照 射 に よ って 生 じた 非 晶 質 層 の 厚 み が0:4
様 子 と は 異 な る 層 が 見 ら れ た.こ の 層 は亀 裂 の癒 着 を示
μm(RBS/チ ャネ リ ング に よ り測 定)で あ る こ とを 考 え
して い る も の と 考 え ら れ る.亀 裂 の 癒 着 は,非 晶質 化 に
る と,非 常 に 大 き な 亀 裂 に 影 響 を 与 え て い る と 言 え る.
よ っ て 亀 裂 の 壁 が 垂 直 方 向 に 膨 脹 し,亀 裂 が閉 じた と こ
III-2-3 SEM観 察
ろ に イ オ ン照 射 さ れ る こ と に よ っ て 原 子 混 合 が 生 じて 起
Photo.1に 圧 子 荷 重0.98Nで サ フ ァイ ア の表 面 に ビ
こ る と 考 え られ る.こ の 癒 着 した と 見 られ る 層 の 厚 さ は,
ッカ ー ス 圧 子 を 圧 入 した 時 の 圧 痕 と400keVのMn+イ
非 晶 質 層 の 厚 さ0.4μmと 比 べ る と か な り大 き い.
オ ン を5×1017イ オ ン/cm2照 射 した 後 のSEM観 察写真
III-3 Mn+イ オ ンを 照 射 した サ フ ァイ アの 耐 亀裂 性
を 示 す.写 真 に 見 ら れ る よ う に,未 照 射 の サ フ ァイ ア の
III-3- 1 ヌ ー プ 硬 度,と ビ ッ カ ー ス 亀 裂 の 長 さ(2c)と
表 面 の 圧 痕 の ま わ り に 見 え て い た 亀 裂 は,イ オ ン照 射 に
圧 痕 径(2α)の 比
よ っ て 消 滅 し,圧 痕 の 凹 み も小 さ く な っ て い る こ と が わ
Fig.6に400keVのMn+イ オ ン を 低 温 で,3×1014∼
か る.

Photo.2に 圧 子 荷 重0.49Nで 圧 子圧 入 した サ フ ァイ

ア の 破 断 面 のSEM観 察 写 真(Photo2(a))と 圧子圧入後

400keVのMn+イ オ ン を 低 温 で5×1017イ オ ン/cm2照

射 した サ フ ァ イ ア の 破 断 面 のSEM観 察 写 真(Photo.2

(b))を 示 す.イ オ ン照 射 し た 場 合 は,ほ と ん ど圧 痕 か ら

Photo. 1 Scanning electron micrographs (75•‹ tilt) showing

change in appearance of a preindented (0.98 N)

vickers indent on sapphire (001) by 400 keV Fig. 6 Relative knoop hardness (0.24 N) and the ratio of
Mn+ ions irradiation. (a) Before irradiation, the radial crack radius to the indentation half-
(b) after the irradiation to a dose of 5x 1017 diagonal (c/a) formed by vickers indentation as
ions/cm2 at,•`,100 K. a function of Mn+ ions irradiated with 400 keV.

( 60 ) 「粉 体 お よび 粉 末 冶金 」 第35巻 第 4 号
 イ オ ン照 射 に よ る サ フ ァイ ア の亀 裂 の 癒 着 と非 晶質 層 の耐 亀 裂 性 27 5

5×1017イ オ ン/cm2の 範 囲で サ フ ァイ ア のC面 に 照 射 し ー ス圧 子 圧 入 で

,未 照 射 の サ フ ァイ ア に生 じる亀 裂 の 大
た時 の ヌ ープ 硬度(0.25N),と 圧 子荷 重0.49Nで 圧子 き さ は7μmで あ り,サ フ ァイ ア の 曲 げ強 度 は この 亀 裂
圧 入 した時 に 生ず る亀 裂 の 長 さ(2の と圧 痕 径(2の の比 に よ って 約50%低 下 す る.し た が ってMn+イ オ ンを5
を,Mn+イ オ ンの 照射 量 の 関 数 と して 示 す.図 に見 ら ×1017イ オ ン/cm2照 射 して 生 じた サ フ ァ イア表 面 の非
れ る よ うに,サ フ ァイ ア表 面 の 硬度 は イ オ ン照 射 量 と共 晶 質 層 は,7μm程 度 の亀 裂 の発 生 を 抑 制 す る 効果 を持
に 増大 し,2×1015イ オ ン/cm2の 照 射 量 で 最大 値 を 示 し つ と言 え る.し か し0.98Nの 圧 子 荷 重 で の ビ ッカ ー ス
た 後,急 激 に低 下 した.こ の 硬 度 の急 激 な 低 下 は,サ フ 圧 子圧 入 で は,未 照 射 の サ フ ァイ ア と同 程度 の 強度 ま で
ァイ アの表 面 の非 吊質 化 に伴 う もの で あ る。1×1016イ 低 下 す る こ とか ら,こ の非 最質 層 の 亀裂 発 生 抑 制 の 効 果
オ ン/cm2以 上 の照 射 量 で は,硬 度 は 徐 々に低 下 し5× は,サ フ ァイア の 強度 を 半 減 させ る 程 度 の厳 しさの 範 囲
1017イ オ ン/cm2の 照 射 量 で相 対 値 で0.55に まで 低 下 し で あ る と言 え る.
た,一 方破 壊 靱性 の尺 度 とな る亀 裂 の 長 さ と圧 痕 径 の 比

(c/の は,イ オ ン照 射 量 と共 に徐 々に 低 下 し,イ オ ン照 IV 考 察

射 量 が2×1015イ オ ン/Cm2を 越 え て サ フ ァイ アが 非 晶 IV-1 ビ ッカ ー ス圧 子 圧入 に伴 う亀 裂 の 形 状

質 化 す る と 大 き く 減少 した 後,再 び 徐 々 に低 下 し5× セ ラ ミック ス に ビ ッカ ー ス圧 子 を 圧 入 した 時,Fig.1
1017イ オ ン/cm2の 照 射 量 で1.0に な った.す なわ ち
に示 した よ うな ラ ジァ ル/メ デ ィ ア ン ク ラ ック と 呼 ばれ
Mn+イ オ ンを5×1017イ オ ン/cm2照 射 して 生 じた非 晶
る亀 裂 の他 に,パ ル ム クヴ ィス トク ラ ック と 呼 ば れ る
質 層 は,0.49Nの 圧 子荷 重 で の圧 子 圧 入 に お いて,見 Fig.8に 示 す よ うな亀 裂 が生 じる こ とが 知 られ て い る.
掛 け上 亀 裂 の発 生 を 完 全 に抑 制 して い る よ うに 見 え る.
亀裂 の表 面 か らの 観 察で は,ラ ジァ ル/メ デ ィア ンク ラ
III-3-2 Mn+イ オ ンを 照 射 した サ フ ァ イア の耐 亀 裂 性 ック とパ ル ム クヴ ィス トク ラ ックの 区 別 をす る こ と は出
Mn+イ オ ンを 低 温 で5×1017イ オ ン/cm2照 射 した サ
来 な い.し か し亀 裂 の大 き さcと 荷 重Pと の 関 係 は,
フ ァイ ァの表 面 に,各 種 の圧 子 荷 重で ビ ッカ ー ス圧 子 を
両 者 で 異 な る こ とが知 られ て い る10).ラ ジ ァル/メ デ ィ
圧入 した 後 曲 げ強 度 を測 定 し,イ オ ン照 射 に よ って 生 じ ア ンク ラ ックの 場合 はc∞P2-/の 関係 が満 され,パ ル ム
た非 晶 質 層 の耐 亀裂 性 を 評 価 した.そ の 結 果 を未 照 射 の ク ヴ ィ ス トク ラ ック の場 合 はl∞Pの 関係が成立する。
サ フ ァイア に圧 子圧 入 した 時 の 曲 げ強 度 と共 に,圧 子 荷
ま た破 壊 強 度 σfと荷 重Pの 間 の関 係 は,ラ ジァ ル/メ
重 の関 数 と してFig.7に 示 す 。 図 に見 られ る よ うに,
デ ィ ア ン ク ラ ッ ク の 場 合 は σf∞P-1/3の 関 係 が 満 さ れ,
圧子 荷 重 が0.49Nの 時 は イ オ ン照 射 サ フ ァイ アの 強 度 パ ル ム ク ヴ ィ ス トク ラ ッ ク の 場 合 は ,σf∞P-1/4の 関係
の低 下 は少 な く,10%程 度 で あ った.し か し圧 子 荷 重 が
が 成 立 す る10).し た が ってFig.2に 見 ら れ る よ う に,
0.98Nに な る と,未 照射 の サ フ ァイ ア に人 工 傷 を付 与
した 時 の強 度 よ りわ ず か に大 きい 程 度 で あ った.圧 子 荷
重1.96Nで は,照 射,未 照 射 サ フ ァイ アの 強 度 の差 は,
ほ とん ど認 め られ なか った.圧 子 荷 重0.49Nの ビ ッカ

Fig. 7 Strength degradation by vickers indentation for

sapphire unirradiated and irradiated with 400 keV Fig. 8 Cross-sectional (upper) and top (lower) views of
Mn+ ions to a dose of 5x 1017 ions/cm2. vickers-produced palmqvist crack system.

1988 年 6 月 ( 61 )
 27 6 日置 辰 視,伊 藤 明 生,野 田 正 治,土 井 晴夫,川 本 淳 一,上 垣 外修 己

サ フ ァイア のC面 に圧 子 荷 重0.25∼0.49Nの 範 囲で, 子 荷 重0.49Nで 圧 子 圧 入 した 後,Mn+イ オ ンを5×

ビ ッカー ス圧 子を 圧 入 した 時 に生 じる ク ラ ックは,Fig. 1017イ オ ン/cm2照 射 した サ フ ァイ アの 破 断面 に,最 表
1に 示 した よ うな 半 円径 の ラジ ア ル/メ デ ィア ンク ラ ッ 面 か ら厚 さ2μm程 度 の 亀 裂 の癒 着 を 示 唆 す る層 が見 ら
クで あ る こと がわ か る。 れ た.開 口亀 裂 の表 面 部 分 が 癒 着 し,内 部 亀裂 にな る と
IV-2 人 工 傷 の イ オ ン照 射 に よ る修 復 亀 裂先 端 に作 用 す る 応 力 は低 下 す る 。 した が って,圧 子
セ ラ ミ ックス に イ オ ンが 照 射 され る と,イ オ ンと原 子 荷 重0.49Nで 圧 子 圧 入 した サ フ ァイ アの 曲 げ強 度 が,
核 との 衝 突 等 に よ って,セ ラ ミック ス に照 射 損 傷 が生 じ Mn+イ オ ンの 照射 に よ って 大 き く回 復 した理 由は,イ

る 。 この 照 射損 傷 の生 成 は,体 積 膨 脹 を 伴 うの で,下 地 オ ン照 射 によ って亀 裂 の開 口部 が癒 着 した た め と考 え ら

の未 照 射 部 の 拘束 に よ り,セ ラ ミ ック スの 表 面 層 に残 留 れ る 。す なわ ちセ ラ ミ ック スへ の イ オ ン照 射 の効 果 と し

応 力が 生 じる11)。セ ラ ミ ックス の 強度,硬 度 な どが イ オ て,亀 裂 の癒 着 によ る 強度 増 加 の機 構 があ る もの と考 え

ン照 射 によ って 増大 す る の は,こ の残 留 圧 縮 応 力 に よ る られ る 。亀 裂 の 癒 着 以外 に も,強 度 回復 に寄 与す る因 子
と考 え られ て い る3,4,7,9,12)。
しか し な が ら,セ ラ ミック と して,圧 子 圧 入 に 伴 う引張 応 力 の緩 和,残 留 圧 縮 応 力
ス の強 度 が イオ ン照射 に よ って 増 大 す る理 由 と して,表 の 寄 与 も考 慮 され るべ きで あ ろ う。 しか しそ れ らの 程度

面 層 の圧 縮 応 力 だ け で は説 明が 困 難 な 場合 があ る4,7,13)。 は小 さ い と考 え られ る 。

す な わ ちSiC焼 結 体 に4)室温 で800keVのAr2+イ オン 亀裂 の開 口部 の 癒 着 に よ る 強度 増 加 に は,亀 裂 の大

を照 射 す る と,初 め照 射 量 と と もに 強度 は,表 面 層 に生 きさ お よ び癒 着 部 の大 きさ,強 さに依 存 す る 限界 が あ る
じる残 留 圧 縮 応 力 に よ って 増 大 す る。 そ して 非 晶 質 化 に はず で あ る 。Fig.5に 示 したよ うに,ビ ッカ ー ス圧 子 の

伴 って 残 留 応 力 が 解 放 さ れ る と強 度 は 低 下 す る 。 しか し 圧 子 荷 重 が0.98N,1.96Nで 圧 子圧 入 した サ フ ァイ ア
さ らに イ オ ン照 射 す る と強度 は増 大 した 。 この傾 向 は, の曲 げ 強 度 は,Mn+イ オ ンの 低 温で の照 射 に よ って そ

低 温 でSiC焼 結 体 に800keVのAr2+イ オ ンを 照 射 した れ 程 回 復 しな か った.圧 子 荷 重 が0.98N,L96Nの 時

時,よ り明瞭 に現 れ た13).ま た300keVのNi+イ オン の亀 裂 の大 きさ は,各 々c=12μrn,20μmで あ った.し

を 低 温(100K)で 照 射 した 時 も7),非 晶 質化 の起 こ る照 たが ってMn+イ オ ンを低 温 で5×1017イ オ ン/cm2照 射

射 量 で 強度 の低 下 は 少 な く,さ ら に イオ ン照射 量 が増 加 した 時 の 亀 裂 修 復 能 は,サ フ ァイ ア の亀 裂 の 大 き さ が

す る と,再 び強 度 は増 大 した 。 これ らの例 で は,イ オ ン 10μm程 度 の範 囲 であ る と言 え る 。

照 射 に よ りセ ラ ミ ックス の 強度 が増 大 す る理 由を,表 面 IV-3 Mn+イ オ ンを照 射 した サ フ ァイ アの 耐 亀裂 性

層 の圧 縮応 力 のみ で 説 明 す る こ と は,困 難 で あ る よ う に Fig.8に 見 られ る よ うに,Mn+イ オ ンを 照射 した サ

考 え られ る.そ こで 緒 言 で も述 べ た よ うに,予 め人 工 傷 フ ァイア が非 晶 質 化 す る と,C/α の 比 は著 しく小 さ くな

を 付 与 した サ フ ァイ アに イ オ ン照 射 を 行 い,イ オ ン照 射 り,5×1017イ オ ン/cm2の 照 射 で 見掛 け上 亀 裂 の発 生 は
後 サ フ ァイ ア の 曲げ 強 度 を 調べ る こ と によ って,イ オ ン 完 全 に抑 制 され た.こ の 時 の非 晶 質 層 の硬 度 は,圧 子 荷
照 射 の 効果 を 調べ る こ とに した 。Fig.3,4の 結 果 は,圧 重0.25Nの ヌ ー プ硬 度 で,未 照 射 の サ フ ァイ ア の硬 度
子 荷 重0.49Nの ビ ッカ ー ス圧 子 圧 入 に よ り人 工 傷 を 付 の値 の0.55ま で 低 下 した 。 この よ うに セ ラ ミック ス上 の
与 した サ フ ァイ アの 曲 げ 強度 が,サ フ ァイ ア が十 分 に非 よ り剛性 の小 さい 薄 層 の存 在 が点 接 触 荷 重 に対 す る耐 亀
晶 質 化 す る イ オ ン照 射 量 に な って 始 め て,大 き く回 復 す 裂 性 を 向上 させ る例 は,サ フ ァイ ア にZr金 属薄膜を蒸
る こ とを示 して い る 。 着 し,ダ イ ヤ モ ン ド針 で 引掻 い た 時 に も見 られ た5,6)。
す
この 時 の人 工 傷 の 亀 裂 の大 き さ は7μmで あ った 。 し なわ ちサ フ ァイ アの上 にZr金 属 を蒸 着 す る(4〓0.3μm)
た が って7μmの 人 工傷 を付 与 した サ フ ァイ ア の 曲げ 強 と,先 端 の半 径 が75μmの ダ イ ヤモ ン ド針 で 引掻 い た
度 は,イ オ ン照 射 に よ る表 面 層 の圧 縮 応 力 の み に よ って 時,亀 裂 の発 生 す る 臨界 荷 重 は3∼4倍 に増 加 し,さ ら
は,未 圧 子圧 入 サ フ ァイ ア の強 度 の 値 ま で戻 らな い こ と に510keVのAr+イ オ ンを1×1016イ オ ン/cm2照 射 す
を 示 して い る 。 この7μmの 大 き さの人 工 傷 を 有 す るサ る こ とに よ って6倍 以 上 に増 加 した 。 ここで イオ ン照 射
フ ァイア の 強 度 が,5×1017イ オ ン/cm2のMn+イ オン の効 果 は,金 属 薄 膜 の付 着 力 の向 上 とサ フ ァイア の非 晶
の 照射 で,ほ ぼ未 圧 子圧 入 サ フ ァ イア の 強度 ま で 回 復 す 質 化 に寄 与 して い る。
る こ とは,明 らか に イオ ン照 射 によ るセ ラ ミ ック スの 強 Mn+イ オ ンを照 射 した 時 に 生 成 す る非 最質 層 の耐 亀
化 の効 果 が,表 面 層 に生 じる圧 縮 応 力 の み に よ らない こ 裂性 を よ り直接 的 に評価 す る に は,先 に も述 べ た よ う に
とを示 して い る. ビ ッカ ース 圧 子圧 入 に よ り人 工 傷 を 付 与 し,そ の 後 強度
Fig.6のSEM観 察 で,圧 子 荷 重0.98Nで 圧子圧入 を測 定 す る方 法 を用 い るの が 適切 であ る。Fig。7の 結 果
した サ フ ァイ ア上 の圧 痕 と亀 裂 が,5×1017イ オ ン/cm2 は,サ フ ァイア にMn+イ オ ンを5×1017イ オ ン/cm2照
のMn+イ オ ンの低 温 で の照 射 に よ って,ほ とん ど消 失 射 した 後,各 圧 子荷 重 で ビ ッカ ー ス圧 子圧 入 し,そ の強
して い る のが 見 られ た.ま たFig.7のSEM観 察 で,圧 度 を 測 定 して非 晶質 層 の 耐 亀裂 性 を 調 べ た もの で あ る。

( 62 ) 「
粉 体 お よ び粉 末 冶 金 」第35巻 第 4 号
 イオ ン照 射 に よ るサ フ ァイ ア の亀 裂 の 癒 着 と非 晶質 層 の 耐 亀裂 性 27 7

これ よ り400keVのMn+イ オ ンを5×1017イ オ ン/cm2

文 献
照射 して生 じた 非 晶質 層 の 耐 亀裂 性 は,未 圧 子圧 入 サ フ

ァイ アの 強度 を半 減 させ る程 度 の厳 しさの 範 囲 で あ る と 1) 新 原: セ ラ ミ ッ ク ス,21(1986),581.

2) T. Hioki, A. Itoh, S. Noda, H. Doi, J. Kawamoto and

言 え る.こ の 耐 亀裂 性 は実 用 的 な もので あ る と い え よ
O. Kamigaito: J. Mater. Sci. Lett.,3(1984),1099.
う. 3) T. Hioki, A. Itoh, S. Noda, H. Doi, J. Kawamoto and
O. Kamigaito: Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res,,
V 結 言 B 7/8 (1985), 521.
4) T. Hioki, A. Itoh, M. Ohkubo, S. Noda, H. Doi,
ビ ッカ ース 圧 子圧 入 に よ って,予 め 強 度低 下 させ た サ J. Kawamoto and O. Kamigaito: Proc. 9th Symp. on
フ ァイ ア プ レー トに,300keVのNi+あ る い は400keV ISIAT '85, TOKYO, (1985), 489.
5) S. Noda, H. Doi, T. Hioki and O. Kamigaito: J.
のMn+イ オ ンを 照 射 し,そ の 強 度 の 回復 の程 度 を イ オ
Mater. Sci. Lett. 4 (1985), 523.
ン照 射量 の 関 数 と して 調 べ た.ま た400keVのMn+イ 6) S. Noda, H. Doi, T. Hioki and O. Kamigaito: J. De
Phys., c1 (1986), c1-147.
オ ンを 予 め5×1017イ オ ン/cm2照 射 した サ フ ァイ ア プ
7) T. Hioki, A. Itoh, M. Ohkubo, S. Noda, H. Doi,
レー トの ビ ッカー ス圧 子 圧 入 に よ る 強度 低 下 を,点 接 触
J. Kawamoto and O. Kamigaito: J. Mater. Sci., 21
応 力 に対 す る耐 亀 裂性 を 評 価 す る た め に調 べ た. (1986), 1321.
8) T. Hioki, H. Hasegawa, J. Kawamoto and O.
予 め元 の 強度 の お よそ50%に 低 下 させ た サ フ ァイ ア プ
Kamigaito: Proc. 3rd Inter. Conf. Sci. Tech.
レー トの 強度 は,Ni+あ る い はMn+イ オ ンを5×1017 Zirconia, (1986), in Press.
イ オ ン/cm2照 射 す る こ とに よ り,元 の サ フ ァイ アの 強 9) C. J. McHargue: Nucl. Instrum. Methods Phys.
Res., B 19/20 (1987), 797.
度 のお よ そ90%に まで 回 復 した.
10) 新 原: セ ラ ミ ッ ク ス,20(1985),12.
ビ ッカ ー ス圧 子圧 入 に よ る 亀裂 の 発 生 は,サ ファイ 11) E. P. EerNisse: Appl. Phys. Lett., 18 (1971), 581.
アへ の イ オ ン照 射 に よ って 著 しく抑制 さ れ た.こ れは 12) P. J. Burnett and T. F. Page: Radiat. Eff. 97 (1986),
283.
Mn+イ オ ンの 照 射 によ って 生 じた 非 晶質 層 の 存 在 に よ
13) 野 田, 土 井, 日置, 川本, 上 垣 外: 未 発 表.
る もの と考 え られ る.

会 告 会 告

第26回 粉 体 に 関 す る 討 論 会 講 演 募 集 第8回 電 子 材 料 研 究 討 論 会 講 演 募 集

日 時:昭 和63年10月27日(木)∼10月29日(土) 主 催:日 本 セ ラ ミ ック ス協 会 電 子材 料 部 会

場 所:石 川 県 社会 福 祉 会 館 Tel0762(63) 4181 共 催:日 本 セ ラ ミ ック ス協 会 基 礎 科学 部 会
〒920金 沢 市 本 多 町3-1-10 協 賛:粉 体 粉末 冶 金 協 会 他
討 論主 題:(1)粒 子 分 散 系 の性 状 と制御 日 時:昭 和63年10月7日(金)
(2)粉体 の生 成,物 性 と新 素 材 場 所:東 京大 学工 学 部5号 館(文 京 区 本 郷)
(3)粉体 プ ロセ ス と単位 操 作 テ ー マ:エ レ ク トロ ニ ク ・セ ラ ミック スの 基 礎 科 学
(4)粉粒 体一 般 講 演 時間:講 演20分,討 論10分(予 定)
申 込締 切:昭 和63年7月30日(土) 講演 申込:官 製 葉書 に,(1)題 目,(2)所 属,(3)氏 名(講 演
申 込方 法:B5判 大 の用 紙 に 「
第26回 粉 体 に 関す る討 論 者 に ○ 印),(4)100字 程 度 の概 要,(5)連 絡者 氏
会 申込 書」 と明 記 し,(1)申 込 者 名,(2)所 属 学 名,(6)連 絡 先,(7)電 話番 号 を 記 し,下 記 あて
会,(3)勤 務 先(住 所,電 話 番 号),(4)連 絡先 お 申 し込 み下 さい.講 演 要 旨 は約1300字 詰 め
(住所,電 話 番 号),(5)演 題(討 論主 題 番 号 の 所定 の原 稿 用紙2枚 に書 いて い た だ き,オ
明 記),(6)ポ ス タ ー/口 頭 発表 の希 望,(7)発
フ セ ッ ト印 刷 します.
表 者 氏 名(講 演 者 ○ 印),(8)200字 程 度 の要 旨
申込 締 切:昭 和63年7月15日(金)必 着
を 記入 し,下 記 にお 送 り くだ さい.
申 込 先:〒153目 黒 区駒 場4-6-1
原 稿 締切:昭 和63年9月10日(土)必 着
東 京 大 学先 端科 学 技 術 セ ンタ ー
申 込 先:〒920金 沢市 小 立 野2-40-20
宮山 勝 TEL03(481)4424・4425 (直通)
金 沢 大 学 工 学部 物 質 化 学工 学 科 内

第26回 粉 体 に 関す る討 論会
江見 準 Tel0762(61)2101 内線316

1988 年 6 月 ( 63 )