一文解密上億的 ASML 光刻機到底金貴在哪兒？

2019-06-04由 數字化企業 發表于資訊

引領機械前沿、機械視頻，汽車、加工技術、3D 列印、自動化、機器人、生產工藝、軸承、模具、工
具機、鈑金等行業前沿在這裡等你

不久前，一台價值 1.06 億元的設備經空運從荷蘭飛抵廈門，由於該設備價值高，而且對保存和運輸有

著很高的要求——必須保持在 23℃恆溫狀態下。為了避免影響設備的精度，在運輸中也對穩定性有極
高的要求。因此，機場海關以機坪查驗的方式對該貨物實行全程機邊監管，待貨物裝入特製溫控氣墊車，
移至海關的機坪視頻監控探頭之下，完成緊急查驗後當晚就得到放行。

arrow_forward_ios 閱讀文章
% buffered00:00
00:30
01:31

那麼到底是什麼設備能獲得機場海關如此嚴陣以待，而且能有單台破億的價格呢？

什麼是光刻機？

光刻機是晶片製造的核心設備之一，按照用途可以分為好幾種：有用於生產晶片的光刻機；有用於封裝
的光刻機；還有用於 LED 製造領域的投影光刻機。用於生產晶片的光刻機是中國在半導體設備製造上
最大的短板，國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口，本次廈門企業從荷蘭進口的光刻機就是用於
晶片生產的設備。

在高端光刻機上，除了龍頭老大 ASML，尼康和佳能也曾做過光刻機，而且尼康還曾經得到過 Intel 的訂

單。但是近些年，尼康在 ASML 面前被打的毫無還手之力，高端光刻機市場基本被 ASML 占據——即
便是尼康最新的 Ar-F immersion 630 賣價還不到 ASML Ar-F immersion 1980D 平均售價的一半，也無法挽
回敗局。

原因何在？一方面是 Intel 新 CEO 上台後，不再延續與尼康的 620D 合同，這使得尼康失去了一個大客戶。

另一方面，也和尼康自身技術實力不足有關，尼康的光刻機相對於 ASML 有不少瑕疵，在作業系統上
設計的架構有缺陷，而且尼康的光刻機的實際性能和尼康官方宣傳的有不小差距，這使得台積電、
Intel、三星、格羅方德等晶圓大廠不可能為了省一點錢去賣有瑕疵的產品。

目前，尼康的高端光刻機基本被 ASML 吊打，主流半導體產線中只有少數低階老機齡的光刻機還是尼

康或者佳能，其他基本都是 ASML 的天下。某種程度上，尼康的光刻機也只能用賣的超級便宜來搶市
場了。那麼，賣的到底有多便宜呢？

用數據來說話，ASML 的 EUV NXE 3350B 單價超過 1 億美元，ArF Immersion 售價大約在 7000 萬美元左
右。相比之下，尼康光刻機的單價只相當於 ASML 價格的三分之一。

光刻機工作原理

上圖是一張 ASML 光刻機介紹圖。下面，簡單介紹一下圖中各設備的作用。

測量台、曝光台：是承載矽片的工作檯。

雷射器：也就是光源，光刻機核心設備之一。

光束矯正器：矯正光束入射方向，讓雷射束儘量平行。

能量控制器：控制最終照射到矽片上的能量，曝光不足或過足都會嚴重影響成像質量。

光束形狀設置：設置光束為圓型、環型等不同形狀，不同的光束狀態有不同的光學特性。
遮光器：在不需要曝光的時候，阻止光束照射到矽片。

能量探測器：檢測光束最終入射能量是否符合曝光要求，並反饋給能量控制器進行調整。

掩模版：一塊在內部刻著線路設計圖的玻璃板，貴的要數十萬美元。

掩膜台：承載掩模版運動的設備，運動控制精度是 nm 級的。

物鏡：物鏡用來補償光學誤差，並將線路圖等比例縮小。

矽片：用矽晶製成的圓片。矽片有多種尺寸，尺寸越大，產率越高。題外話，由於矽片是圓的，所以需
要在矽片上剪一個缺口來確認矽片的坐標系，根據缺口的形狀不同分為兩種，分別叫 flat、 notch。

內部封閉框架、減振器：將工作檯與外部環境隔離，保持水平，減少外界振動干擾，並維持穩定的溫度、
壓力。

在加工晶片的過程中，光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，
經物鏡補償各種光學誤差，將線路圖成比例縮小後映射到矽片上，然後使用化學方法顯影，得到刻在矽
片上的電路圖。一般的光刻工藝要經歷矽片表面清洗烘乾、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、
顯影、硬烘、雷射刻蝕等工序。經過一次光刻的晶片可以繼續塗膠、曝光。越複雜的晶片，線路圖的層
數越多，也需要更精密的曝光控制過程。

EUV：半導體業的終極武器

台積電、英特爾都寄望，這台史上最昂貴的「工具機」，會在 2017 年開始試產的七奈米製程大發神威，

成為主力機種。

全球每年生產上百億片的手機晶片、記憶體，數十年來都仰賴程序繁瑣，但原理與沖洗照片類似的曝光
顯影製程生產。

其中以投射出電路圖案的微影機台最關鍵、也最昂貴。過去十多年，全球最先進的微影機，都採用波長
一九三奈米的深紫外光，然而英特爾、台積電量產的最先進電晶體，大小已細小到僅有數十個奈米。這
形同用同一支筆，要寫的字卻愈來愈小，最後筆尖比要寫的字還粗的窘境。

要接替的「超細字筆」，技術源自美國雷根時代「星戰計劃」，波長僅有十三奈米的 EUV；依照該技
術的主要推動者英特爾規劃，2005 年就該上陣，量產時程卻一延再延。

因為這個技術實在太難了。EUV 光線的能量、破壞性極高，製程的所有零件、材料，樣樣挑戰人類工
藝的極限。例如，因為空氣分子會干擾 EUV 光線，生產過程得在真空環境。而且，機械的動作得精確
到誤差僅以皮秒（兆分之一秒）計。

最關鍵零件之一，由德國蔡司生產的反射鏡得做到史無前例的完美無瑕，瑕疵大小僅能以皮米（奈米的
千分之一）計。

這是什麼概念？ASML 總裁暨執行長溫彼得（Peter Wennink）接受《天下》獨家專訪時解釋，如果反射

鏡面積有整個德國大，最高的突起處不能高於一公分高。

「滿足這類（瘋狂）的要求，就是我們的日常工作，」兩年前由財務長接任執行長的溫彼得說。
因為 EUV 的技術難度、需要的投資金額太高，另外兩大微影設備廠──日本的 Nikon 和佳能，都已放
棄開發。ASML 儼然成為半導體業能否繼續衝刺下一代先進位程，開發出更省電、運算速度更快的電晶
體的最後希望。

「如果我們交不出 EUV 的話，摩爾定律就會從此停止，」溫彼得緩緩地說。因此，三年前，才會出現

讓 ASML 聲名大噪的驚天交易。

英特爾、台積電、三星等彼此競爭的三大巨頭，竟聯袂投資 ASML41 億、8.38 億、5.03 億歐元。（台積

電已於今年五月出售 ASML 的 5％持股，獲利 214 億台幣）

溫彼得解釋，當時各大廠都要求 EUV 的研發進度加快，他告訴這些顧客，「希望加快 EUV 的研發進度，

我們就得加倍研發支出。」

於是，ASML 研發經費倍增到現在的每年十三億歐元的規模。多出的一倍，ASML 自己出一半，三大半

導體巨頭合出另一半。

高端光刻機完全依賴進口

目前，光刻機領域的龍頭老大是荷蘭 ASML，並已經占據了高達 80%的市場份額，壟斷了高端光刻機市

場。日本尼康在高端光刻機上完全被 ASML 擊敗，即便尼康的 ArF 光刻機售價僅僅不到 ASML 的一半也
無補於事。Intel、台積電、三星用來加工 14/16nm 晶片的光刻機都是買自 ASML，格羅方德、聯電以及
中芯國際等晶圓廠的光刻機主要也是來自 ASML。

更關鍵的是，最先進的 EUV 光刻機全球僅僅 ASML 能夠生產，ASML 在今年第三季度和第四季度出售

的兩台 EUV 光刻機售價都超過 1 億美元，落後 EUV 一代的 ArF 光刻機平均售價也在 4000 萬至 5000 萬歐
元左右，從高企的報價和 EUV 光刻機全球僅此一家出售可以看出，光刻機的技術門檻極高，是人類智
慧集大成的產物。

相比之下，國內光刻機廠商則顯得非常寒酸，處於技術領先的上海微電子裝備有限公司已量產的光刻機
中，性能最好的是能用來加工 90nm 晶片的光刻機，技術差距說是鴻溝都不為過。正是因此，國內晶圓
廠所需的高端光刻機完全依賴進口，本次從荷蘭空運至廈門機場的 ASML 光刻機，就是用於晶片生產
製造的高端光刻機，由於是廈門的一家公司申報進口的，筆者猜測，這台設備很有可能是廈門當地政府
與台灣聯華電子合資的晶圓廠從荷蘭 ASML 採購的。不過，由於西方瓦森納協議的限制，中國只能買
到 ASML 的中低產品，這一點從廈門當地企業進口的光刻機報價僅 1 億人民幣就可以看出來了。

眾所周知，設備是信息產業的源頭：我們開發設備、設備製造晶片、晶片構成器件、器件改變世界！

等價波音 737 的光刻機是個啥？

晶片製造中，設備龍頭就是光刻機，而光刻機的源頭就是 ASML！現階段，ASML 已經成為光刻機的代

名詞。

ASML 是做什麼的？生產&銷售：光！刻！機！

光刻機又是用來做什麼的？印製：芯！片！ （晶片被成為工業石油）

ASML 是公司，光刻機是設備。而 ASML 有三大客戶: 三星（samsung），英特爾（intel）和台積電

（TSMC）。
半導體行業有一句不成規的名言：艾司摩爾（ASML）的技術到哪裡，全球半導體的製程就在哪裡。

荷蘭 ASML，總部位於荷蘭 Veldhoven，歐洲人均科研經費排名第二。

在 ASML 的 2015 年 Q4 季度報中，ArF Immersion 共銷售 11 台，銷售額 881million 歐元 乘以 72%（不包

括 solution 收入），算下來平均每台售價達到 5800 萬歐元，約合 7300 萬美

波音 737 的官網報價 7000 萬到 9000 萬美元，航空公司購買還有折扣（據說 3-4 折）！！

下圖是荷蘭 ASML 公司顛覆時代的 EUV 光刻機 NXE 3350B 示意圖，單價超過 6 億人民幣，現貨還要

等！！

這是賣飛機嗎？賣機器都賣一個多億，搶錢麼？！！！不，他們提供的商品是高端光刻機用來刻蝕最精
密的晶片的全球只有這一家企業能提供中端一些的光刻機，是日本的佳能、尼康做的光刻機對，就是做
相機做的很好的廠商技術上有些相通之處以佳能、尼康雄厚的技術積累，以及在相機界的霸主地位到了
光刻機行業卻只能做中低端產品所以你可以想像下 ASML 的高端光刻機是有多麼變態了其最貴的 EUV
極紫外線光刻機，單價要 1 億美元左右，相當於美帝四代戰鬥機 F35 的價格這台機器的長相如圖
（來源：半導體內參）