PERC: (Passivated Emitter and Rear Cell)，

即鈍化發射極和背面電池技術

鈍化工序就是通過降低表面載流子的複合來減小缺陷

帶來的影響，從而保證電池的效率。

鈍化方式 1. 化學鈍化，即使界面的各種缺陷態飽和，降
低界面缺陷濃度，從而減少禁帶內的複合中心;二是場效應

鈍化，即通過電荷積累，在界面處形成靜電場，從而降低

少數載流子濃度。

鈍化技術 1. 等離子體增強化學氣相沉積法 PECVD(Plasma

Enhanced Chemical Vapor Deposition)

2.熱氧化法 3. 原子層沉積法 ALD(Atomic Layer Deposition) 優點:

精確控制薄膜的厚度和質量從而具有很好的台階覆蓋性和

大面積厚度均勻性,缺點: 較低的生長速度 4.疊層鈍化

背面拋光工藝:為下一步背面鈍化鍍膜的準備工序, 表面粗
糙度最佳值為 300-500 納米 PECVD 工藝將需要從表面去

除約 6 微米厚的矽層，而基於 ALD 的鈍化方案則需要 4-5

微米

金屬化工藝:PERC 電池對背面鋁漿基本要求如下：(1)開
膜處填充效果良好;(2)對介質膜的損傷適中;(3)形成連續的、

均勻的、厚度合適的局部鋁背場(LBSF);(4)具備良好的可

靠性，如附著性、EL、耐老化性能等

PERC 背面銀漿:1.低活性，減少玻璃粉與鈍化膜的反應 2)

較寬的工藝窗口，適應低溫燒結工藝;(3)優秀的附著力，及

老化附著力。

PERC 電池的優勢主要有兩個方面：
(1)內板反射增強，降低長波的光學損失;

(2)高質量的背面鈍化，這使得 PERC 電池的開路電

壓(Voc)和短路電流(Isc)較之常規電池郵大幅提升，

從而電池轉化效率更高

(註：SelEm1-前電極 SE，SelEm2-前表面 SE+BSG 燒結 n++，BSF-seg-局域背場，

advEm-新型的發射極結構，Al-B-BSF-摻硼鋁背場，base1ms-1msP 型矽片，4BB-
4 主柵，Multi wire-多主柵，finger10μm-10μm 柵線)
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