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§2.

4 薄膜干涉
S

S 薄膜表面上方

薄膜表面附近 无穷远
• 干涉条纹的定域问题
- 点光源在空间的干涉是非定域的
S
P

S’
S”
薄膜的两个界面相当于两个反射镜,两束相干光
相当于来自 S 的两个反射镜的虚像点,于是点光源照明
的薄膜干涉可以归结成两相干点光源的干涉,两相干点
光源的干涉是非定域干涉 , 即空间各处都能发生干涉
2 个相干点波源形成的干涉场
S S

·
·
干涉条纹相交于薄膜附近,故定域在薄膜附近

若入射光为平行光或准平行光,则入射角或折射角为
一常数,光程差决定于薄膜的厚度,在薄膜厚度相等的地方
具有相等的光程差,因而具有相同的干涉强度。
干涉条纹和薄膜的等厚线一致,故称为等厚条纹。
等厚条纹
- 扩展光源在空间的干涉是定域的
S
·P’
S ·P’ ·P
·P

用扩展光源照明平行平面薄膜时,并非在任何区域
都能观察到干涉条纹。
只有在无穷远处才能观察到最清晰的干涉条纹。
即干涉定域在无穷远。
幕上同一条干涉条纹是由同一倾角的入射光形成的
,故称此干涉条纹为等倾条纹。
• 薄膜干涉的光程差公式 P

S
劈形薄膜情形: 

  
  n CA  AB  NF  FM   N M
B 
C FD

 NF  FM  h 
A
 FC  sin(   )  FB  sin(   )  CB  sin(   )
CB sin 
 
CA  AB  CA  AD  DB  2
h

cos(   ) cos(   )
CB  2h tan       cos   sin  tan  2    
2nh
  2h tan       cos   sin  tan  2    
cos(   )
 n sin  
  sin      
 cos(   ) 
 和一般非常小,近似为 0 ,所以上式可以简化为:
2nh 1
 (1  sin  sin  )  2nh cos 
cos  n
光在上表面是由光疏介质到光密介质,存在半
波损失 , 有的附加相位差 。


  2nh cos  
2
• 薄膜干涉的光程差公式
平行薄膜情形: S

① P
  2nh cos r
考虑半波损失:
C ②
n1
 A D
  2nh cos   r n2 h
2
光强极大:   k B n3
1
光强极小:   ( k  )
2
• 分振幅干涉
P
S ①
透镜的作用?
C ②
n1
A γ D
n2 h
B n3

薄膜干涉的光程差:   2nh cos  
2
γ 变 h 不变:等倾干涉条纹
h 变 γ 不变:等厚干涉条纹
§2.5 等厚条纹
•劈尖干涉 入射光  ( 单色平行光垂直入
射)
明暗 Δx
纹纹 反射光 2 反射光 1

n ·A
h  L
 n  n h

dk dk+1 n ( 设 n > n )

平行光垂直入射到劈尖薄膜上,上下表面反射光
的光程差为:
L  2nh   / 2
光程差由膜的厚度确定, h 相同的地方光程差也相同
,因而称之为等厚干涉。
方法:干涉 干涉图样(条纹)

Δx
劈尖干涉条纹

干涉图样 : 一组直线。

形状 级次 相邻亮 ( 暗 ) 纹间距 膜的厚度差 纹的移动


暗纹条件为
暗纹条件 明暗 Δx
1 纹纹
L  (k  )
2
h
即:2nhk  k  n  L
dk dk+1
k
hk   lk
2n
其中,  1 是劈尖的夹角,
k
lk 
2n 是第 k 级暗纹位置距棱的距离
暗纹间距为
暗纹间距

l  lk  1  lk 
2n
等厚干涉条纹的应用

• 检验工件表面的平整度

劈尖 不规则表面

等厚干涉条纹
• 测量微小厚度 ( 差 )

标准平板
M
λ 平晶
N 待验平板
Δh
标 待
b 准



规 规

b'
* 条纹级次分布和相邻亮条纹(或暗条纹)之间的厚度差

暗 l
  2nd   k  亮条纹
明 2

纹  1
  2nd   (k  ) 暗条纹
2 2
d  L

 n 厚度差:d  d k 1  d k  2n
d k d k 1
d 
条纹间距:l  
 2n
劈角越小,干涉条纹越稀疏,
劈角越大,干涉条纹越密集。
劈角变大,条纹向薄处移动;
劈角变小,条纹向厚处移动。
例 1 、测量钢球直径用波长为 589.3nm 的钠黄光垂直照射
长 L=20mm 的空气劈尖,测得条纹间距为 1.18×10-4 m

求:钢球直径 d 。
d  
l  
 2n
d

n  1,    
2l
L
589.3 109  20 10 3
d  L  4
 5  10 5
m
2 1.18 10
例 3 、为检测某一工件的表面光洁度,在它表面上放一块
标准平面玻璃,一端垫一小片锡箔,使平板玻璃与待测物
之间形成空气劈尖,用通过绿色滤片的波长为 550nm 的
光垂直照射,观测到一般干涉条纹间距 l=2.34mm ,但
某处条纹弯曲如图所示,其弯曲最大畸变量 a=1.86mm 。
问:该处工件表面有怎样的缺陷, 标准平板
其深度(或高度)如何? M

解: 为凹陷,其深度为 h
N 待验平板
a h

l d
l
ad a 1.86  550  10 6
h  
l 2l 2  2.34
 2.19  104 ( mm)
a'
 0.219  m
牛顿环:典型的等厚干涉。
装置 : 一 曲 率 半
径 R 很大的平凸 R
透镜放在光学平晶
上,形成非线性的
r
空气劈尖。 h
观察方法 :

干涉图样 : 一组同心圆。
k
暗纹条件为:
暗纹条件 hk 
2
中心为 0 级暗点,设第 k 级暗环的半径为 rk ,
o
则有: rk2 2
 ( R  hk )  R 2

展开并忽略 hk2 项,  ① R
得: rk2
 2 Rhk  Rk ②
2
即: R  rk
rk
k hk
o
2
rk
R
k  ① R
rk21  rk22 ②
实验中常用 R 
( k1  k 2 )
rk
干涉图样 : hk
牛顿环是一系列亮暗相间的同心圆,
中心附近条纹较稀疏,级次较低;
外沿条纹较密集,级次较高。 rk
• 中心为亮纹还是暗纹?
• 条纹是否等间距?
• 条纹是否等宽?
单色光入射的牛顿环 白光入射的牛顿环
• 牛顿环应用 

标准验规
工件 待测透镜

标准件

暗纹
• 用牛顿环检测透镜曲率

标准件 标准件

工件 工件
§2.6 等倾条纹
P

用扩展光源照明平行平面薄膜时,在无穷远处能观察
到干涉条纹。幕上同一条干涉条纹是由同一倾角的入射光
形成的,故称此干涉条纹为等倾条纹。
• 观察方法

O' 屏幕 P

透镜 L

S 光源
半透半反镜M

O 薄膜
观察等倾干涉的装置
等倾干涉原理:从单色光源上一点发出的光,
以入射角 i 投射到平行介质膜表面,上下表面
反射的平行光 1 、 2 在透镜焦平面上发生干涉
。设 n  n  n
1 2
则光束 1 、 2 之间的光程差为: P

D
L  n( AB  BC )  n1 AD i i ②
n1
A C
n h
r
B n2
L  n ( AB  BC )  n1 AD P

D
根据反射和折射定律可得: i i ②n
AB  BC  h / cos r
1

A C
AD  AC sin i  2h tan r sin i n h
n1 sin i  n sin r
r n2
B
代入得:
2h 2nh 2h sin r  n sin r
L  n  n1 2h tan r sin i  
cos r cos r cos r
 2nh cos r  2h n 2  n12 sin 2 i
P

D
i i ②n
1

A C
n h
r n2
B
2 2 2
L  2h n  n1 sin i
其中 h,n,n1 都是给定的常量。
光程差由入射角确定,入射角相同时其光
程差亦相同。因而称之为等倾干涉。
2 2 2
L  2h n  n1 sin i

干涉条纹:
干涉条纹
•为一组同心圆。
r环
• 中心干涉级最高,越往 o P

外干涉级越低;
i f

i小,L大 ·
面光源
· ·
• 中心条纹稀,往外条纹密 i
n
。 n > n h
n
2 2 2
L  2h n  n1 sin i

•若改变 h ,则 h 越大条纹越
密;
• 每增加 2n 就多冒出 o r环 P

一个干涉条纹。 i f

• 当 h  0 时,此方法
能分辨0.01 的 h 变化 ·
面光源
· ·
i

使长度测量的精度得到飞跃提高, n
为相对论的诞生提供了技术基础。 n > n h
n
•干涉条纹的特征
( 1 )干涉条纹的形状
入射角相同的光在膜内的折射角相同,根据光程
差公式,光程差相等,所以入射角相等的光形成的干涉
情况相同,应该处于同一个干涉条纹上,焦面上的干涉
条纹为一系列的同心圆。

亮条纹满足   2nd cos    k
2
 1
暗条纹满足   2nd cos    (k  )
2 2
( 2 )干涉条纹的级次分布
膜的厚度 d 一定时,越靠近中心处,折射角越小,对
应的入射角越小,光程差越大,条纹级次越高。外沿的
条纹级次逐渐降低。
( 3 )干涉条纹的间距
相邻条纹的光程差为 d  2nh sin   d  

相邻级次条纹对应膜内折射角之差 d   k 1   k  
2nh sin 
等倾干涉条纹:同心、中心条纹较疏,外沿较密。

( 4 )薄膜厚度改变时,干涉条纹的移动规律
干涉条纹的移动可根据光程
差不变的点如何移动来判断

膜的厚度增大时,条纹外移,
中心处相继冒出明暗条纹。

膜的厚度减小时,条纹内移,
中心处明暗条纹相继消失。
面光源照明时,干涉条纹的分析

从面光源上不同点
r环
发出的光,只要入射角 o P
相同,它们在厚度均匀 i
f
的膜上下表面反射的光
经透镜都将汇聚在同一
个干涉环上。光源上不 面光源
· · ·
i
同点发出的光彼此非相 n
干叠加的结果使条纹的 n > n d
明暗对比更鲜明。 n
等倾干涉的优点
对光源的空间相干性没有要求,不同光源点
发出的光虽然不相干,但它们在焦平面上的干涉条
纹位置相同,这些干涉条纹的非相干叠加增大了条
纹的亮度,而不降低条纹的可见度。

这实际上是焦平面干涉(或称无限远处的干
涉)的共同特点。
三、光学膜
空气和玻璃的折射率分别为: n=1 和 ng=1.52, 光在
空气和玻璃分界面上的反射率为 5% ;透射率为 95% 。
照相机有 6 个透镜 12 个反射面,透射光强为 (0.95)120.55 ,
潜水艇的潜望镜有 20 个透镜,透射光强为 (0.95)400.13 ,
反射光在界面上的多次反射,大大降低了成象质量。因此需要
增透(减反)膜。

• 增透(减反)膜
根据薄膜干涉的原理,在有些光学元件上常
镀上一层光学膜,以增大某段光波的透过率,称
之为增透膜。如照相机镜头、镀膜眼镜等。
增透膜原理
例:某镜头由折射率为 1.50 的光学玻璃制成,镜头表
面镀有一层折射率为 1.38 的 MgF2 薄膜,欲增大人眼
  550 nm )的透过率,求膜的最
最敏感的黄绿光(
小厚度。

薄膜上下表面反射光的光程差为:
光程差 L  2nh
1
反射光相消的条件(暗纹条件)为:
暗纹条件 L  (k  )
2
得最小厚度( k=0 ): n=1.0
 550 nm n=1.38 h
h   99.6 nm
4n 4  1.38

  2n f d 
2
要全消除反射 , 要求:
1. 两列波的振幅相等;
n=1
nf n f 1 ng  n f
ng
r1  , r2 
nf 1 n f  ng
2. 两束光强相等;
I1  I 2 
 n f  ng  1.23

目前还找不到折射率为 1.23 的介质。使用折射率


为 1.38 的 MgF2 ,人对光的敏感波长为 550nm ,
550nm
d  100nm
4  1.38
•高反膜
与增透膜相反,有些情形需要增大对某波段光波的
反射率,实现这一目的的光学膜称为高反膜。如放映
机用的冷光镜、激光器的高反镜等。

n  nL  nH
nH  ng
nL
ng nH

图中反射膜为 7 层。若镀 13 层,反射光的百分比可达 99%


例:上题中最靠近 550nm 的什么光波发生最大反射?

高反条件(亮纹条件):

L  k

2nh 2  1.38  99.6 nm 274.9 nm


得:    
k k k

最靠近 550nm 的是 274.9nm 。


§2.9 麦克耳逊干涉仪器
生于普鲁士,三岁移民美国。
因发明干涉仪器和光速的测量获
得 1907 年诺贝尔物理学奖。是第
一位获得诺贝尔奖的美国科学家。
Albert Einstein praised him justly:
"My honored Dr. Michelson, it was you
who led the physicists into new paths, and
ALBERT ABRAHAM
through your marvelous experimental work
MICHELSON paved the way for the development of the
1852-1931 theory of relativity."
Michelson Millikan

A. Einstein with W. Adams, A.A., R.A. Millikan


爱因斯坦:
“ 我总认为迈克耳逊是科学中的艺术家,他的最大乐趣似乎来自
实验本身的优美和所用方法的精湛,他从来不认为自己在科学上是
个严格的‘专家’,事实上的确不是,但始终是个艺术家。”
1868 年 3 月 22 日生于伊利诺伊州的莫里森。 1887 年入奥伯林大学,读完二年级
时,被聘任为初等物理班的教员,他很喜爱这个工作,从此便致力于物理
学。 1906 年与人合写的初等物理学教科书风行一时,中国也有商务印书馆出版的
中译本。
  1891 年他大学毕业后,继续担任初等物理班的讲课; 1893 年取得硕士学位,
同年得到哥伦比亚大学物理系攻读博士学位的奖金。 A.A. 迈克耳孙在实验中的精
湛技术, M.I. 普平在讲课中强调熟练的教学手段,都对他的影响很大。
  1895 年,他获得博士学位后留学欧洲 , 听过 J.-H. 庞加莱、 M. 普朗克等的讲课。
1896 年回国任教于芝加哥大学。由于教学成绩优异,第二年就升任副教授。
 密立根最著名的实验成就,是用在电场和重力场中的运动的带电油滴精确地测
定了基本电荷。这个工作从 1907 年开始,直到 1913 年才最后完成,得到电子电
荷的数值为
      =(4.774±0.009)×10(esu 。
 与此同时,他并致力于光电效应的研究,经过思心的观测,到 1916 年,他的实
验结果完全肯定了 A. 爱因斯坦的光电效应方程,并且从图像中测出当时最好的普
朗克常数的值。
  1921 年起,密立根任教于加利福尼亚理工学院。由于他的努力,终于使该校成
为世界上最著名的科学中心之一。
 他还从事电子在强电场作用下逸出金属表面的实验研究、以及一些金属的 X 射
线研究,发现了近 1000 条谱线,波长直到 13.66nm ,从而有助于把 X 射线谱和
光学光谱连接起来。他对 X 射线谱的分析工作,使在理论上和 A. 索末菲关于可
见光双重线理论产生极大的分歧,引起物理学者的广泛注意,导致 G.E. 乌伦贝克
和 S.A. 古兹密特两人在 1925 年提出电子自旋理论。
Robert Andrews Millikan  密立根在宇宙线方面也做过研究,积累了大量的不同高度不同地区的实验数据
(1868 ~ 1953) ,发现了宇宙线的纬度效应的大小与经度有关;纠正了早期有人认为宇宙线是由
光子组成的观点。他和他的学生用强磁场中的云室对宇宙线的实验研究,导致他
的学生 C.D. 安德森在 1932 年发现了正电子。
 密立根不仅是一位建立起一个学派的科学家,而且是一位优秀的行政领导者和
积极的社会活动家。 1953 年 12 月 19 日在加利福尼亚的帕萨迪纳逝世。
麦克耳逊干涉仪结构
M1
麦克耳逊干涉仪光路 M2
反射镜 2
M1
单 G1 G2
色 反
光 射
源 镜
1
半透明
镀银层 补偿玻璃板

特点
光源、两个反射镜
、接收器完全分开,便
于在光路中安插其它器

• M1’ 镜和 M2 镜平

M1’ 镜和 M2 镜平行的情况下,迈克耳孙干涉仪
中光的干涉实际上就是光路分开的薄膜干涉
两镜面平行,形成等厚空气层,可以产生等倾条纹

M1’ M2 距离增大,条纹外冒
M1’ M2 距离减小,条纹收缩

等倾条纹
两镜面平行,形成等厚空气层,可以产生等倾条纹
• M1’ 镜和 M2 镜不平行
调节其中一个反射镜的角度,可形成一
楔形空气层

M1’ M2 距离减小,条纹朝背离交线的方向平移;

M1’ M2 距离增大,条纹朝交线的方向平移。

等厚条纹
改变劈尖的厚度,产生各种等厚干涉
• M1’ 镜和 M2 镜相对位置与干涉条纹的关系




条 M2 M2 M2 与M 1' M2 M2
纹 M 1' M 1'
重 合 M 1' M 1'




涉 M2
条 M2 M2 M 1' M 1'

纹 M 1'
M 1' M 1'
M2
M2
• 干涉计量
把待测量与薄膜的厚度相联系,就可以通过测
量干涉条纹而测出该待测量。
例如,细丝的直径、透镜的曲率半径、膜的厚度、劈
尖的微小劈角

在两块平板玻璃之间放三颗小
1 2
球,单色光垂直入射,形成如
图所示的干涉条纹,据此可得
出关于小球的什么结论? 3
螺旋测微器在直接测量中是最为精密的,
可精确到 10-3cm ,可估读到下一位,即 10-4cm 。

采用干涉计量至少可精确到半个波长的量级,约 10-5cm
,可估读到 10-6cm 。现代光电计数技术可以将条纹测量
精度提高到 1/12 ,此时干涉仪的测长精度达到:

 1
l   ~ 20nm
2 12
第2章 作业
• 2.1 , 2.2 , 2.4 ;
• 2.5, 2.6, 2.8, 2.10 ;
• 2.12 , 2.14 , 2.15

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