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第一章 平板波

第一部分 平面波导理

平板波导
三维平面波导传输模式分析
渐变折射率平面波导的传输模式分析
电光、声光效应下的波导;定向耦合原理

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月


第一章 平板波

第一章 平板波导
主要内容:(平板)波导基本分析方法
模式、导模、截止
概念
导模场基本分布

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月


第一章 平板波

平板波导是形式最简单的光波导,是波导
光学的基本结构。
Z( 传输方向,无限远 )
X( 折射率分布方 覆盖层
向) ( +X 方向无限, Y 方向无限)

薄膜层(波导层)
( Y 方向无限大)
衬底层
折射率 n3 ( -X 方向无限, Y 方向无限)
折射率 n1
折射率 n2
Y

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第一章 平板波

Z
X

n3
覆盖层

薄膜层 n1
衬底层 n2
Y
平板波导 Z-光波传输方向

从物理量随着指标变化来看,平板波导只与 X 、 Z
两个指标波导。又可称平板波导为二维波导。

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第一章 平板波

设 n1 > n2  n 3
n2= n3 -对称平板波导;
n2 n3 -非对称平板波导;

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第一章 平板波

§1.1 平板波导几何光学分析 X

  一、全反射分析 nA Z

A  A

光学 Snell 定律 n A sin  A  n B sin  B nB B

全反射临界角 折射定律
X

n A  n若 nB nA Z
B  A  arcsin
nA
,  A A
当无折射-全反射 ,
nB

全反射
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第一章 平板波

设介质折射率 n1 > n2  n3
n3
n X  1  arcsin
 1  arcsin 2 n1
n1 X Z
n3
n1 Z

1 1
+ n1  1 1 =
n2
n1—n3 界面全反射
X
n1—n2 界面全反射 Z

n3

n1
1 1 1  1

n2
导模
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第一章 平板波

n2
波导的 n1 、 n2  C 12  arcsin
界面的全反射临界角 n1
n3
 C 13  arcsin
n1
波导的 n1 、 n3 界面的全反射临界角

因为 n2  n3 ,所以  C12  C13

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第一章 平板波

• 波导中光模式【模式:光场的存在】

1 、导模  1 > C12  C13

光沿 Z 方向有效传输。光能量被限制在 n1
中,沿 X 方向呈衰减。
X
Z

n3

n1
 1 1 1 1

n2
导模
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第一章 平板波

2 、衬底辐射模  C13 < 1 < C12


光能量有效进入衬底。光不能沿 Z 方向有效传
输。
X
Z

n3

n1
1 1 1 1

n2
导模 衬底辐射模

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第一章 平板波

3 、辐射模  1 < C13 < C12


光能量有效进入衬底、覆盖层。光不能沿 Z
方向有效传输。

X
Z

n3

n1
1 1 1  1

n2
导模 衬底辐射模 辐射模

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第一章 平板波

二、传播常数分析
根据电磁场理论,光是电磁波,光电场、
磁场强度可以写为:
   
i ( t  k  r ) i ( t  k  r )
E ( r , t )  E 0 ( r )e H ( r , t )  H 0 ( r )e

E 0 其中
(r ) H 0 (r ) 、 -与空

k
间坐标有关的振幅
 2
k | k | nk 0  n

-波矢
2
k0 

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第一章 平板波

     2
k  k x i x  k y i y  kz iz | k |  k 2  k x2  k y2  k z2  k 02 n 2

平板波导 Y 方向波矢分量 =0

推导:
   
i ( t  k  r ) i ( t  k  r )
E ( r , t )  E 0 ( r )e H ( r , t )  H 0 ( r )e

其中 E 0 ( r ) H 0 ( r ) 、 与 Y 无关(不随 Y
变化而变化)。
   
i ( t  k  r )  i [t  ( k x x  k y y  k z z )]
 E ( r , t )  [ E 0 ( r )e ]  E0 ( r ) e
y y y
 
i ( t  k  r )
  ik y [ E 0 ( r )e ] 0

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第一章 平板波

ky  0  k1 y  k 2 y  k 3 y  0

所以,平板波导
  
k  k x i x   k z iz

 2
| k |  k 2  k x2  k z2  k02 n 2

问题:波矢的意义?

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第一章 平板波

1 、导模
( 1 )传播常数
因为是导模,所以  1 > C12  C13 ,

定义:传播常数-薄膜层中,沿 Z 方向的波数

  k 1 z  k 0 n1 sin  1 n1k0
1 Z


=k1z =n1k0 sin1

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第一章 平板波

 sin 1  sin C 12  sin C 13


n2
将sin  C 12 
n1
代入 n2
 sin 1   n1sin 1  n2
n1
 k0 n1sin 1  k0 n2

而传播常数   k 1 z  k 0 n1 sin  1

所以   n2 k0

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第一章 平板波

又 θ1  900

   k0 n1 sin  1  k0 n1 sin  1 | 0  k0 n1
1  90

所以, 导模传播常数满足

n2 k 0    n1 k 0

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第一章 平板波

定义有效折射率 N   / k0

导模 n2  N  n1

根据电磁场理论-界面切线场连续,
即在 n1 、 n2 界面两侧,以及 n1 、 n3 界面两侧沿
Z 方向的传输行为相同,可以证明:
k 2 z  k 3 z  k1z  

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第一章 平板波

可见,导模的传播参数 β ,就是波导
各层中(相等的)沿传输方向的波矢分量

k 2 z  k 3 z  k1z  

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第一章 平板波

( 2 )衬底和覆盖层中,导模光场随着 X 坐标变化分
析 衬底中
 2
| k |  k02 n22  k 22x  k 22z  k 22x   2  k 22x  k02 n22   2
覆盖层中
 2
| k |  k02 n32  k 32x  k 32z  k 32x   2  k 32x  k02 n32   2
2 2
  n 2 k 0  n 3 k 0 k 2x  0, k 3x 0

所以, k2x 、 k3x 为纯虚数。


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第一章 平板波

k2x 、 k3x 为纯虚数意义:


对于导模,在衬底、覆盖层中,随着 x
坐标变化(远离波导),光场作指数衰减:
能量被限制在 n1 薄膜层及其表面,有效
地沿 Z 方向传输。
理解: 2 2 2 2 2
令 p   k 2x    k 0 n2

p 为衬底中沿 X 方向的衰减系
数。
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第一章 平板波

令 q 2   k 32x   2  k 02 n32

q 为覆盖层中沿 X 方向的衰减系数。

注意: p 、 q 为实数。

2 2
k
在衬底, 2 x   p , k 2 x   ip
 
i ( t  k r ) i [ t  ( k 2 x x  k 2 y y  k 2 z z )]
E ( r , t )  E0e  E0e
i [ t  ( k 2 x x  0 y   z )] i [ t  (  ipx   z )]
 E0e  E0e
 E 0 e  px e i [ t   z ]
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第一章 平板波

2 2
k
覆盖层, 3x   q , k 3 x   iq
 
i ( t  k  r ) i [t  ( k 2 x x  k 2 y y  k 2 z z )]
E (r , t )  E0e  E0e
 E 0 e i [t  ( k 3 x x  0 y  z )]  E 0 e i [t  (  iqx  z )]
 E 0 e  qx e i [t  z ]

波导是无源的,随着 X 坐标变化只能是
衰减。所以, p 、 q 分别为衬底、覆盖层中衰减
系数。

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第一章 平板波

2 、衬底辐射模

因为  C13 < 1 < C12 ,

所以 sin C13 < sin 1 < sin C12

n3/n1 < sin 1 < n2/n1

所以 n3k0 < n1k0sin 1 < n2k0


  k1 z  k 0 n1 sin  1
此时,传播常数
n3k0 <  < n2k0
满足
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第一章 平板波

衬底中,
 2
| k |  k02 n22  k 22x  k 22z  k 22x   2  k 22x  k02 n22   2  0

覆盖层中,
 2
| k |  k02 n32  k 32x  k 32z  k 32x   2  k 32x  k02 n32   2  0

可见, k2x 为实数, k3x 为纯虚数

意义:衬底辐射模情形,覆盖层中,随
着 x 坐标变化 ( 离开波导 ) ,光场作指数衰减;衬
底中,光场随着 x 坐标变化 ( 离开波导 ) ,有效传
播,产生衬底辐射; 能量不能有效沿 Z 方向传输。
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第一章 平板波

3 、辐射模
因为  1 < C13 C12 ,

所以 sin 1 < sinC13  sin C12

sin 1 < n3/n1 n2/n1

所以 n1k0sin 1<nk3k0  nk2kn0 sin 


1z 0 1 1

所以,传播常数
 < n3k0  n2k0
满足
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第一章 平板波

衬底中,
 2
| k |  k02 n22  k 22x  k 22z  k 22x   2  k 22x  k02 n22   2  0

覆盖层中,
 2
| k |  k02 n32  k 32x  k 32z  k 32x   2  k 32x  k02 n32   2  0

所以, k2x 、 k3x 为实数。

意义:辐射模情形,衬底、覆盖层中,光场随着 x 坐
标变化 ( 离开波导 ) 沿 X 方向有效传播,产生辐射,
能量不能有效地沿 Z 方向传输。
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第一章 平板波

三、导模横向谐振条件 ( 导模色散方程、特征方程 )
从物理光学的角度,导模除了满足全反射
,还应该满足横向谐振条件。
横向限制条件-指波导横截面上,光波
在 n1 、 n2 以及 n1 、 n3 界面往返一周,在横向 X 方

向应该同相位,满足相涨干涉条件。

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第一章 平板波

如图所示,从 A 出发的光波经过 n1 、 n3
界面 A1 点,以及 n1 、 n2 界面 A2 点,在 X 方向往
返一周, A2 与 A 的相位差,应该为 2m
n1 中,波数为 k0 n1 , X 方向的波数分量 ( 横向
相位常数 ) k 1 x  k 0 n1 cos  1
X
n3 A1
B1
n1
1 1 A3
d
B
n2 A A2 Z
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第一章 平板波

X
n3 C A1 C,
B1

n1
1 1 A3
d

B
n2 A A2(A,) Z

C’
C ① C’ 对导模,横
截面上光线
从横截面看 往返一周,
光线 分布应该不
A A’ 变(稳定)

横截面 A-C 横截面 A’-
A ’
C’
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第一章 平板波

从 A 到 A2 在 X 方向的相位差应该为
2dk0 n1 cos  1  2m 

考虑到 n1 、 n2 以及 n1 、 n3 界面全反射相移,
横向谐振条件【又称导模特征方程、色散方程】:
2dk0 n1 cos  1  2 12  2 13  2m 

其中, m = 0 , 1 , 2 ,-模阶数

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第一章 平板波

212 、 213 是 n1 、 n2 以及 n1 、 n3 界面全反射相

移。
H
对于平板波导,可以证明导模存在两种基本模式:
x
Hz

Ey
(1)TE 模 只存在 Ey 、 Hx 、 Hz 分量
Ex Ez

Hy
(2)TM 模 只存在 Hy 、 Ex 、 Ez 分量
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第一章 平板波

根据物理光学菲涅尔反射公式,全反射相移
 sin 2
  ( n / n ) 2
1 2 1
 TE
12  arctg
 cos  1
TE 
 TE sin 2  1  ( n3 / n1 ) 2
 13  arctg cos  1

 ( n / n ) 2
sin 2
  ( n / n ) 2
1 2 1 2 1
 TM
12  arctg
 cos  1
TM  2 2 2
 TM ( n1 / n3 ) sin  1  ( n3 / n1 )

 13  arctg
 cos  1

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第一章 平板波

(一)横向谐振条件分析
1 、导模的 1 取分离值,即 1 仅满足全反射 1 > C12

并非全是导模,只有满足横向谐振条件的 1
对应的

模式才是导模。

2 、波导参数 (n1 、 n2 、 n3 、 d) 、工作波长确定,

可以求出不同 m 对应的  1 ,以及

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第一章 平板波

(1) 相应的导模传播常数   k 1 z  k 0 n1 sin  1


h  k 1 x  k 0 n1 cos  1
(2) 薄膜中横向相位常数

(3) 衬底、覆盖层的衰减系数
2 2
p   k n 2
0
2
2
q 2   2  k02 n32

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第一章 平板波

3 、波导参数、工作波长确定,模阶数 m 越大, 1

越小,传播常数  越小; m 越小,越大, TE0 、 T

M0 的最大。

4 、关于有效折射率求解
N   / k0

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第一章 平板波

导模的传播常数   k 1 z  k 0 n1 sin  1
 N   / k0  n1 sin  1
代入导模特征方程 ( 以 TE 模为例 )
sin 2  1  ( n2 / n1 )2
2 dk0 n1 cos  1  2 arctg
cos  1
sin 2  1  ( n3 / n1 )2
 2 arctg  2m
cos  1
2
2 ( n1 sin  1 )2  n2
2dk0 n1 1  sin  1  2arctg
n1 1  sin 2  1
2
( n1 sin  1 )2  n3
 2 arctg  2 m
2
n1 1  sin  1

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第一章 平板波

2
2 ( n1 sin  1 )2  n2
2 dk0 n1  ( n1 sin  1 )  2 arctg
n1  ( n1 sin  1 )2
2
( n1 sin  1 )2  n3
 2 arctg  2m
2
n1  ( n1 sin  1 )

2 2
2 N 2  n2 N 2  n3
2 dk0 n1  N 2  2 arctg  2arctg  2 m
2 2 2 2
n1  N n1  N

-已知波导参数、工作波长,可以求解 m
阶导模的有效折射率 N 。
导模的有效折射率 N 的取值范围?
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第一章 平板波

(二)横向谐振条件图解
2
k0  把 代入谐振方程,方

程可以化为2
n1d cos  1   12   13  m 

2  12   13  m 
n1d cos  1

导模对应与 曲
线、 曲线的交点【以 1
为自变量】。交点的个数为导模的数目。
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第一章 平板波

1 、对称波导 n 2 = n3 12 = 13


2
方程的解为 n1d cos  1 2 12  m  与

曲线的交点。

1 的取值范围2[nC12 ~ /2]
1 d cos  1 [
2
n1d ~ 0]
 

( 1 )对应的 的取
值范围为

( 2 )对应的 的取值范围为 [0~/2]


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第一章 平板波

212+3
n2= n3
2
n1 d cos  1 m=3 212+2 4
 2
m=2 3 蓝色曲线—  n1d cos  1
212+1

2 m=1 212+0
2
n1d
 红色曲线— 12   13  m


1 C12 2
对称波导

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第一章 平板波

可见,
2
基模 m= n1d
0 , cos  1 2 12  m  与

总相交:
对称平板波导基模不截止—无论如何都存在。

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第一章 平板波

2 、 非对称 n2 n3
2
n1d cos  1  12   13  m 
解为
 与
曲线的交点。
2 2
1( 1 )对应的[n1C12
的取值范围 
d cos
~ 
1 /2] [

n1d的取值
~ 0]

范围为

( 2 )对应的 12 、  13 的取值范围为 [0~/2] ,

但是 (12+ 13 ) 取值,从非 0 的有限值,到 。


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第一章 平板波

n2≠ n3
2 m=2
4 n1 d cos  1 3
 12+13+2
m=1 2
3
12+13+1
2 蓝色曲线—  n1d cos  1
m=0 
2 2
n1d
12+13+0

 红色曲线—  12、 13
2
 绿色曲线—  12   13  m 
1 C13 C12
2
2 非对称波

截止 传导

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第一章 平板波

可见,对于非对称波导,即使是基模 m
2 2  12   13  m 
=0n,
1d

n1 d cos  1

足够小时,
与 非对称平板波导基模可能截止。
无交点:

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第一章 平板波

(三)平板波导色散曲线 ( 传播常数  ~频率  曲


线) n2 k 0    n1 k 0
  n1 k 0导模
  n2 k 0 -禁区,不可能;

n1k0
-衬底辐射,导模截止

m=2
禁区 m=1
m=0 n2k0

辐射模(衬底)

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第一章 平板波

  n1 k0 sin  1、  2  2(c /  )

隐含在色散方程中。

由色散曲线可见:导模频率 ( 波长 ) 一定

,模阶数越小, 越大。

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第一章 平板波

四、导模的截止、传输模式数
截止:几何光学角度全反射  1 > C12  C13
破坏,即 1 C12 。
1 =C12 -临界截止,此时,
n n12  n22
sin  1  sin  C 12  2, cos  1  cos  C 12 
n1 n1

TE
sin 2  1  ( n2 / n1 ) 2
 12  arctg 0
cos 1

TM
( n1 / n2 ) 2 sin 2  1  ( n2 / n1 ) 2
 12  arctg 0
cos 1
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第一章 平板波

( n2 / n1 ) 2  ( n3 / n1 ) 2 2
n2  n3
2

 TE
13  arctg  arctg 2 2
 arctg  TE
n12  n22 / n1 n1  n2

 n  2 n 2  n 2 
 TM
13  arctg 1  2 3
  arctg  TM
 n3  n12  n22 
 n22  n32
  TE  2
 n1  n22
设  n 
2
n 2
 n 2
   1  2 3
-非对称参数
 TM  n  n2  n2
 3 1
 2

 TE   TM
对称波导 n2= n3 , TE = TM =0 。可见
§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月
第一章 平板波

1 、 ( 临界 ) 截止特征方程
临界截止时
n12  n22
 TE
12  0,  TM
12  0
, cos  1  cos  C 12 
n1

 TE
13  arctg  TE  TM
13  arctg  TM

代入特征方程,得到 ( 临界 ) 截止时特征方程

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月


第一章 平板波

2 n12  n22
n1d  0   13  m 
 n1

 2
 TE : d n12  n22  m   arctg  TE


2
TM : d n12  n22  m   arctg  TM
 

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月


第一章 平板波

2 、截止波长

2 d n12  n22
TE : TE
C
m

m   arctg  TE
2 d n12  n22
TM : TM
C
m

m   arctg  TM

可见: m 阶导模的截止波长 C 由波导参


数 (n1 、 n2 、 n3 、 d) 确定。

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月


第一章 平板波

讨论:
(1)C 的意义:

工作波长  > C ,导模截止


C 越小,相应的导模越易截止。

理解:临界截止时, 1 = C12 , 12 =
2
n1d cos  1   12   13  m
0 ,特征方程

可写为
§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月
第一章 平板波

2
n1d cos  1   13  m 
C  1  C 12

假设  >C ,为了保持上式成立, cos

1 变大,  1 变小,即  1<C12 ,全反射破坏,变成

辐射模。

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月


第一章 平板波

(2) 模阶数 m 越大,截止波长 C 越小


2 d n12  n22
TE : TE
C
m

m   arctg  TE
2 d n12  n22
TM : TM
C
m

m   arctg  TM

同一波导中,高阶模比低阶模先截

止。导模传输,指某 m 及其以下阶的导模传输。

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月


第一章 平板波

TE m TM m
(3)  C   C

原因 :  TE   TM

2 d n12  n22 2 d n12  n22


TE
C
m
 TM
C
m

m   arctg  TE m   arctg  TM

所以,相同波导,相同阶数的 TE 、 TM
模中, TM 模先截止。

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月


第一章 平板波

3 、基模传输
基模 m=0
2d n12  n22 2d n12  n22
TE
C 
0
TM
C
0

arctg  TE arctg  TM

TE
C
0
  TE m
C ( m  0) TE 模中 TE0 具有最长的截止
波长(最不易截止)。
TM
C
0
  TM m
C ( m  0) TM 模中 TM0 具有最长的截止
波长(最不易截止)。

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月


第一章 平板波

基模传输:保证只有 TE0 或 TM0 ,其它模截止。


TE 0
TE 1
   
TE 基模传输 C C

TM 1 TM 0
 
TM 基模传输 C C

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月


第一章 平板波

4 、单模传输
TE 0 TM 0
 TE
因为   TM  C  C ,所

以 单模传输:保证只有 TE0 ,其它模截止

 TE   TM TE
C
0
TM
C
0

一般,TE1 TE 0
C    C , 所以,

、 相差不大。单模传输条件:
§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月
第一章 平板波

5 、截止厚度
由 ( 临界 ) 截止特征方程,可以得到
 1
  ( m  arctg  TE )
d CTE m 
 TE 
 2 n12  n22
 1
  ( m  arctg  TM )
TM d CTM m  
 2 n12  n22

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月


第一章 平板波

d  d CTEm
意义:波长、 n1 、 n2 、 n3 确定,若

d  d CTM m
, TEm 模截止;若 ,T

Mm 模截止。
TE 0 TE1
d C dd C

给定波长,单模传输条件

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月


第一章 平板波

6 、对称波导基模不截止
n2= n3 TE = TM =0 。截止方程
 2
 TE : d n12  n22  m   arctg  TE


2
TM : d n12  n22  m   arctg  TM
 

所以, TE 、 TM 模截止方程相同
2
d n12  n22  m 

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月
第一章 平板波

显然,基模 m=0
 TE 0
C  TM 0
C  d CTE0  d CTM 0  0

所以,对称波导无论波长、薄膜厚度如何,基模不

截止。

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月


第一章 平板波

7 、非对称波导基模可能截止

非对称波导基模截止方程
 2
 TE : d n12  n22  arctg  TE


2
TM : d n12  n22  arctg  TM
 

TE
C
0
TM
C
0
、 为有限值。有可能截止。

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月


第一章 平板波

8 、导模模式数
由临界截止方程:
  2d 1 n
2
 n
2 
 mTE  int  3 
n12  n22  arctg 2 2 2 
    n1  n2 


 
 2d 1  n 
2
n
2
 n
2 
3 
m
 TM  int  n1
2
 n2
2
 arctg 

1


2
2 2 
     n3  n1  n2 

导模总数= mTE + mTM

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月


第一章 平板波

可见 :(1)d 越大,越短,导模数越多。

(2) 对于确定的波长,要保证一定阶数导模

工作,需要合理设计波导厚度 d 实现。

§1.1 平板波导几何光学分析 2011 年 2 月

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