Speed & Quality, 도전 No1

Electric Actuator Valve Report

1. Field Issue 현황
2. Concept & System
3. Control Valve Spec 비교
4. Test Concept & System
5. Lab Test Result

유니셈 주식회사
1
1. Field issue 현황 Speed & Quality, 도전 No1

192 Memory 사업부 기준 250

200
146

150
83
52 100
46
38
16 13 50
4 1 1
1 1
0

HEATER FAIL
CHECK VALVE

FLEXIBLETUBE

SOL VALVE FAIL

TEMP SENSOR

비저항 SENSOR
PRE SENSOR
냉매 LEAK

COOLANT 오염
PUMP FAIL

기타
EEV 교체

COMP 결빙

FLOW METER

공정별 설비 현황 공정별 주력 모델

110 60%
ME- 연구 2,063
50%
446 LSI 1,504
40%
ETCH, CVD : 95% 577
30% 355
20%
3.290 Memory 113
10% SPUT
165 29
57 ETCH CVD DIFF
0
ETCH CVD DIFFSION SPUTTER RCS2500A PCS6000A RCS6000A CED3030A
사업부별

2
 2. Concept & System Speed & Quality, 도전 No1

현재 , 열 교환기 System

Exp V/V

PCW In
Load Chuck

HEX
PCW Out
Coolant
Pump

Coolant
PCW
개선 Proposal Valve
Chiller Scope

3
3. PCW Valve Spec 비교 Speed & Quality, 도전 No1

주요 Spec 비교

구분 현재적용 (EEV) Proposal (EAV)

형상

Torque 1.0 kgf 4.8 kgf

적정 사용 압력 2~3.5 kg/cm2 2~8kg/cm2

사용전압 DC 12V, 4W DC 24V, 전류 : 0.5A DC/AC

Control Stepping Motor 제어 방식 Motor Gear 감속 비례 구동 방식

압력 신호 Pulse signal Pulse signal

4
3. PCW Valve Spec 비교 Speed & Quality, 도전 No1

장 , 단점 분석

구분 현재적용 (EEV) Proposal (EAV)

형상

유량조절 Needle Valve Type V 형 Ball valve

Valve Type ( 유체 통과 관로가 좁아 이 물질에 취약 ) ( 유체 통과 유로 넓어 이 물질 대응력 강화 )

Valve 조작 전자기력 , 1.0kgf Motor 기어비에 의한 Torque, 4.8kgf

Power ( 저항 발생에 대한 조작력 약함 ) ( 저항 발생에 대한 조작력 강함 )

유량조절 Orifice 에 의한 유량 조절 V 형 Ball Valve 구동에 의한 유량 조절

Valve 구조 ( 이 물질 대응력 취약 ) ( 이물질 대응력 강함 )

Copper 배관재질 SUS 배관재질

사용 재질 (PCW 와의 부식유발 없음 )
(PCW 와의 부식 유발 인자 )

5
3. PCW Valve Spec 비교 Speed & Quality, 도전 No1

비례제어 Valve 동작원리

Burkert Valve ( 이전 ) EEV Valve ( 현재 ) EAV (Proposal)

Valve Inlet

Outlet

유체 압력차에 의해 개폐 Step Motor 를 가동하고 모터의 회전수에

Digital 화된 Pulse Signal 을 이용 ,
낮은전압 코일로 높은압력 / 유량 조절 Pulse Signal 의 제어신호를 입력받아
전자기력에 의한 Rotor 를 회전시켜
Step Motor 를 가동하고 모터의 회전수에
Step 에 따른 Orifice 개도를 변화시켜
통전시 코일자기력이 플런져를 코아
따라 기어비의 감속구동방식에 의한
유체를 흐름을 조절하여 미세한 유량
동작 방향으로 끌어당겨서 파이로트 시트를
Step(0~500) 에 따른 Ball Valve 의 개도를
원리 Control 을 구현
열며 파이로트챔버 유체가 출구로
조절하여 정밀한 유량 Control 을 구현
나가며 챔버압력은 감소 .
입구측 유체의 높은압력에 의해
다이아프램을 위로 올리고
유체는 출구로 흐르는 방식

6
3. PCW Valve Spec 비교 Speed & Quality, 도전 No1

비례제어 Valve 유량특성 비교

Burkert Valve( 이전 ) EEV Valve( 현재 ) EAV (Proposal)

Burkert Motor Valve

EEV

30 30 30

25 25 25

20 20 20
Flow(LPM)

Flow(LPM)

Flow(LPM)
특 성 15 15 15

곡 선 10 10 10
5 5 5
0 0
0
13.6

17.2
10.0
11.2
12.4

14.8
16.0

18.4
19.6

10.0
11.2
12.4
13.6

17.2
18.4
19.6
14.8
16.0
4.0
5.2
6.4
7.6
8.8

4.0
5.2
6.4
7.6
8.8

109
121
133
145
157
13
25

73
85
37
49
61

97
1
Signal (mA) Signal (mA) Signal (mA)

. 부하 변화에 따른 개도 조절
. 압력 변화에 민감하지 않음 . 부하 변화에 따른 개도 조절
. 순간적인 부하대응에 빠름
. 1 개 또는 2 개의 Valve 설치로 모든 . 압력 변화에 민감하지 않음
. 압력 변화에 민감함 영역
. 1 개의 Valve 설치로 모든 영역의
. 이 물질에 취약함 , 오 동작을 유발 의 온도제어가 가능 온도제어
. PID 최적화 필요 . Pulse 로 인한 자동 제어 ( 0~500 Ste 가능
p) . Pulse 로 인한 자동 제어 ( 0~500 Step )
특 . Fitting 사용으로 인한 LEAK POINT 증가
. Lamping Up & Down Time 이 우수
. Lamping Up & Down Time 이 우수
징 . 정밀적인 제어 대응을 위한 Calibration
. Auto tuning 가능  Program . Auto tuning 가능  Program 으로 처리
이 필요함 . 밸브 오리피스 작음 . ( 최대 Φ3.2)
. 조절 Valve Type : V 형 Ball valve
. PCW 압력 변화 발생시 구동부가 밀리서 . PID 최적화 필요
. 유체 통과 유로 넓어 이 물질 대응력 강화
공급되는 PCW 의 공급량이 증가하여 온도 . 공정에 따른 Step 값 최적화 필요함 . . 저항 발생에 대한 조작력 강함
헌팅 유발 . 제어 Program 이 타 V/V 에 비하여 . V 형 Ball Valve 구동에 의한 유량 조절
복잡함 ( 이 물질 대응력 강력함 , 오일 , 물때등 )
7
3. PCW Valve Spec 비교 Speed & Quality, 도전 No1

비례제어 Valve 유량특성 비교

추가개발품 (Step 정밀화 )
25

20

Burkert
EAV (1,500Step 용 )
Flow(LPM)

15 0.02LPM/Step
기개발품

EAV (500Step 용 )
0.05LPM/Step
10

EEV
1EA : 0.02LPM/Step
2EA : 0.04LPM/Step
5

개도율

-. 500 Step 용 EAV(0.05LPM/Step) 는 ▶ EEV 2EA (0.04LPM/Step) 를 대체 가능

-. 1,500 Step 용 EAV(0.02LPM/Step) 는 ▶ EEV 1EA (0.02LPM/Step) 를 대체 가능

8
3. PCW Valve Spec 비교 Speed & Quality, 도전 No1

비례제어 Valve 유량특성 비교

12

추가개발품 (Step 정밀화 )

10

8
EEV
F l o w(LPM )

1EA : 0.02LPM/Step
6

4
EAV (1,500Step 용 )
2 0.02LPM/Step

0
10.0
10.4
10.8
11.2
11.6

12.8
13.2
13.6

14.4
14.8
15.2
15.6
16.0

16.8
17.2
17.6
18.0
18.4
18.8

19.6
20.0
4.0
4.4
4.8
5.2
5.6
6.0
6.4
6.8
7.2
7.6
8.0
8.4
8.8
9.2
9.6

12.0
12.4

14.0

16.4

19.2
S i g n a l (mA )

-. 1,500 Step 용 EAV (0.02LPM/Step) 는 ▶ EEV 1EA (0.02LPM/Step) 를 대체 가능

9
3. PCW Valve Spec 비교 Speed & Quality, 도전 No1

비례제어 Valve 유량특성 비교

30

25

20
EAV (500Step 용 )
F l o w(LPM )

0.05LPM/Step
15

10

EEV
5 2EA : 0.04LPM/Step

0
6.0

10.4

12.4
12.8
13.2
13.6

15.2
15.6
16.0

17.6

18.4
4.0
4.4
4.8
5.2
5.6

6.4
6.8
7.2
7.6
8.0
8.4
8.8
9.2
9.6
10.0

10.8
11.2
11.6
12.0

14.0
14.4
14.8

16.4
16.8
17.2

18.0

18.8
19.2
19.6
20.0
S i g n a l (mA )

-. 500 Step 용 EAV (0.05LPM/Step) 는 ▶ EEV 2EA (0.04LPM/Step) 를 대체 가능

10
3. PCW Valve Spec 비교 Speed & Quality, 도전 No1

EAV Valve 주요 Spec

-. Cover
: Control Board 와 일체형 type 으로 낙수 방지 및 내부
보호

-. Motor
: 60Hz 시 600RPM 을 회전하는 구동용 Motor

-. Gear Unit
: Motor 의 회전력을 적정한 감속비로 변환하여 필요한
Torque 를 발생 시키는 부분

-. Main Control Board

: Modulating Module Unit 으로 비례 제어에 필요한
각종 제어 역할을 하는 Main PCB.

-. V Cutting Ball Valve

: Motor 의 회전력에 의한 Torque 를 인가 받아 내장된
Ball 의 구동에 의한 유량을 조절

11
4. Test Concept & System Speed & Quality, 도전 No1

성능 Test Model Specification

Heat Exchanger
Item Ch 1
Temperature Range +30℃ ~ +90℃

Temperature Stability ±0.2℃

Cooling Capacity 20,000 W (at +60℃)

Temperature Control Mode Sup. / Ret. Control

Remote Interface Device net (AMAT Ultima)

Electric Power 3Φ, AC200/208V, 50/60Hz (Breaker 50A)

Compressor -

Pump 2.2kw

Reservoir Volume 12.5 ℓ

Heater 4.5kw

Coolant FC3283

냉매 R-404a

Coolant -
Flow rate
PCW 20±2℃, 20LPM, 3kg/ ㎠

Coolant 3/4” Tube Fitting

Connection Size
PCW 1/2” Tube Fitting

12
4. Test Concept & System Speed & Quality, 도전 No1

Test Model Layout (Chiller)

▶ Dimension : 460(W) x 780(D) x 1,000(H)

CH2 Return (3/4″) CH1 Return (3/4″)

CH2 Supply (3/4″) CH1Supply (3/4″)

PCW Supply (3/4″) PCW Return (3/4″)

13
4. Test Concept & System Speed & Quality, 도전 No1

Test Jig 구성도

Test 조건
-. PCW Temp : 20℃
-. PCW 유량 : 15~20LPM
AC208V, 50A

ad
Lo k
h uc
C
k W)
3) 1
328 (1
Notebook ( FC
t u rn
e 3)
n tR 28
ola (F
C 3
Co ly
pp
Su
nt
ola
Co

PCW Return

PCW Supply

14
4. Test Concept & System Speed & Quality, 도전 No1

Load Test Condition

Coolant 압력 / 유량 . Coolant 압력 / 유량 .
-SV : 45℃ -SV : 75℃, 60℃
- Coolant 유량 / 압력 : 8 LPM, 1.8 kg/cm2 - Coolant 유량 / 압력 : 8 LPM, 1.8 kg/cm2

RF Load Status RF Load Status

- 45℃ Idle 상태 온도안정화 후 , - 75℃ Idle 상태 온도안정화 후 ,
- 7,400W ~ 9,000W RF Load 인가 - 1,600W ~ 2,200W RF Load 인가

10 min 10 min 10 min 10 min 10 min 10 min 10 min 10 min

9,000 W 2,200 W

10 min 3 min 3 min 3 min 10 min 3 min 3 min 3 min

7,400 W 1,600 W

0W 0W
10 min 10 min 10 min 10 min

15
5. Lab Test Result (EEV) Speed & Quality, 도전 No1

1) Temp 안정화 평가 (500Step)

SV 45℃, 9000W

Sup Temp Ret Temp Tank-Inside Heating Cooling

100.0 300
95.0 280
90.0
260
85.0
240
80.0
75.0 220

70.0 Sup Temp Ret Temp Pcw Flow 200 Pcw Pressure Pcw Temp
TEMP [℃]

65.0 180
60.0
48.0 160
55.0 47.8 125
50.0
47.6 140
47.4 115
45.0 47.2 120
47.0
40.0
46.8
100 105
35.0 46.6 80
46.4 95
30.0
46.2 60
25.0 46.0 85
20.0
45.8 40
45.6 75
20
TEMP [℃]

15.0 45.4
10.0
45.2 0 65
시각 15:09:24 15:16:49 15:24:14 1 45.0
5:31:39 15:39:04 15:46:29 15:53:54 16:01:19 16:08:44
44.8
44.6 55
Time [h:m:s]
44.4
44.2 45
44.0
43.8 35
43.6
43.4 25
43.2
43.0
42.8 15
42.6
42.4 5
42.2
42.0 -5
시각 15:09:24 15 : 1 6 : 4 9 1 5 : 2 4 : 14 1 5: 3 1 :3 9 15 : 39 : 0 4 1 5 :4 6 : 2 9 1 5 : 5 3: 5 4 1 6 : 01 : 1 9 16:08:44

Time [h:m:s]

16
 S u ppl y , R e t u r n [ ℃ ]

100.0

10.0
15.0
20.0
25.0
30.0
35.0
40.0
45.0
50.0
55.0
60.0
65.0
70.0
75.0
80.0
85.0
90.0
95.0
14:50:00
14:52:38
14:55:15
14:57:52
15:00:29
15:03:06
15:05:43
Return

15:08:20
15:10:58
15:13:35
15:16:12
15:18:49
Supply

15:21:26
5. Lab Test Result (EAV)

Supply, Return [℃]

1) Temp 안정화 평가 (500Step)

15:24:03
15:26:41

42.0
42.2
42.4
42.6
42.8
43.0
43.2
43.4
43.6
43.8
44.0
44.4
44.6
44.8
45.0
45.2
45.4
45.6
45.8
46.0
46.2
46.4
46.6
46.8
47.0
47.2
47.4
47.6
47.8
48.0
15:29:18
14:50:00 15:31:55
14:52:19 15:34:32
14:54:38 15:37:09
Inside Temp

14:56:57 15:39:46
14:59:16

4 4 . 2 T i me[h :m:s ]
15:42:23
15:01:35
15:45:00
15:03:54
15:47:38
15:06:13
15:50:15
Heating

15:08:32
15:52:52
15:10:50
15:55:29

17
15:13:09
15:58:06
15:15:28
SV 45℃, 9000W

15:17:47
16:00:43
16:03:21
Cooling

15:20:06
15:22:25 16:05:58
15:24:44 16:08:35
15:27:03 16:11:12
15:29:22 16:13:49
Return

15:31:41 16:16:26
PCW Flow

15:34:00 16:19:03
15:36:19 16:21:40
15:38:37
y

15:40:56
Time[h:m:s ]
0.0
5.0

-5.0
10.0
15.0
20.0
25.0
30.0
S u p p l 35.0
40.0
45.0
50.0
55.0
60.0
65.0
70.0
75.0
80.0

15:43:15
-10.0

15:45:34
15:47:53 H e a t i n g , C o ol i n g , T a n k - In si de [ ℃ ]
15:50:12
15:52:31
Inside Temp

15:54:50
15:57:09
15:59:27
16:01:46
16:04:05
16:06:24
16:08:43
16:11:02
16:13:21
16:15:39
16:17:58
16:20:17
16:22:36
Speed & Quality, 도전 No1
 S u ppl y, Re turn [℃]

10.0
15.0
20.0
25.0
30.0
35.0
40.0
45.0
50.0
55.0
60.0
65.0
70.0
75.0
80.0
85.0
90.0
95.0
100.0
17:29:58
17:32:42
17:35:27
17:38:11
17:40:55
17:43:39
17:46:24
17:49:08
17:51:52
Return

17:54:36
17:57:20
18:00:04
18:02:49
5. Lab Test Result (EAV)

Supply,
1 8 : 0Return
5 : 3 3 [℃]
Supply
1) Temp 안정화 평가 (1,500Step)

18:08:17
18:11:01

42.0
42.2
42.4
42.6
42.8
43.0
43.2
43.4
43.6
43.8
44.2
44.4
44.6
44.8
45.0
45.2
45.4
45.6
45.8
46.0
46.2
46.4
46.6
46.8
47.0
47.2
47.4
47.6
47.8
48.0

18:13:46
17:29:58
18:16:30
17:32:21
18:19:14
17:34:44
18:21:58
17:37:07
Inside Temp

4 4 . 0Time [h :m:s ]
18:24:43
17:39:30
18:27:27
17:41:53
18:30:11
17:44:16
18:32:55
17:46:39
18:35:40
17:49:01
Heating

18:38:24
17:51:24
18:41:08

18
17:53:47
18:43:53
SV 45℃, 9000W

17:56:10
17:58:33 18:46:37
18:00:56 18:49:21
Cooling

18:03:19 18:52:06
18:05:42 18:54:50
18:08:05 18:57:34
18:10:28 19:00:19
Return

18:12:51 19:03:03
18:15:14 19:05:47
18:17:37
0.0

18:20:00
10.0
20.0
30.0
40.0
50.0
60.0
70.0
80.0
90.0
S u p p ly
100.0
110.0
120.0
130.0
140.0
150.0
160.0
170.0
180.0
190.0
200.0

Time[h:m:s ] 18:22:23
18:24:46
H eat ing, C ool i ng, Tank-Insi de [℃]
18:27:09
18:29:32
18:31:55
18:34:18
I n s i d e T e mp

18:36:41
18:39:04
18:41:27
18:43:50
18:46:13
18:48:36
18:50:59
18:53:22
18:55:45
18:58:08
19:00:31
19:02:54
19:05:17
Speed & Quality, 도전 No1
5. Lab Test Result (EEV) Speed & Quality, 도전 No1

1) Temp 안정화 평가 (500Step)

SV 75℃, 2200W

Sup Temp Ret Temp Tank-Inside Heating Cooling

100.0 80
95.0
90.0 70
85.0
80.0 60
75.0
70.0 50
65.0
TEMP [℃]

Sup Temp Ret Temp

60.0 40
55.0 78.0
77.8
50.0 77.6 30
45.0 77.4
77.2
40.0 77.0 20
76.8
35.0 76.6
76.4
30.0 76.2 10
25.0 76.0
75.8
20.0 75.6 0
1 3 : 5 7 : 3 9 75.41 4 : 0 5 : 0 4
TEMP [℃]

시각 13 :35:24 13:42:49 13:50:14 14:12:29 14:19:54 14:27:19 14:34:44

75.2
Time75.0 [h:m:s]
74.8
74.6
74.4
74.2
74.0
73.8
73.6
73.4
73.2
73.0
72.8
72.6
72.4
72.2
72.0
시각 13:35:24 13:42:49 13:50:14 13:57:39 14:05:04 14:12:29 14:19:54 14:27:19 14:34:44

Time [h:m:s]

19
 S u ppl y , Re t u rn [℃]

20.0
25.0
30.0
35.0
40.0
45.0
50.0
55.0
60.0
65.0
70.0
75.0
80.0
85.0
90.0
95.0
100.0
12:55:57
12:58:41
13:01:25
13:04:09
13:06:53
13:09:37
13:12:22
Return

13:15:06
13:17:50
13:20:34
13:23:19
13:26:03
Supply

13:28:47
5. Lab Test Result (EAV)

13:31:31
1) Temp 안정화 평가 (500Step)

13:34:16
13:37:00
Supply, Return
1 3 : 3 9[℃]
:44
13:42:28

Ti me7[h
Inside Temp

13:45:13

72.0
72.2
72.4
72.6
72.8
73.0
73.2
73.4
73.6
73.8
74.0
74.2
74.4
6
74.8
75.0
75.2
75.4
75.6
75.8
76.0
76.2
76.4
76.6
76.8
77.0
77.2
77.4
77.6
77.8
78.0

13:47:57

4 .:m:s
12:55:57

]
13:50:41
12:58:22
13:53:25
13:00:47
13:56:10
13:03:12
Heating

13:05:36
13:58:54
13:08:01 14:01:38
13:10:26 14:04:23
13:12:51 14:07:07

20
13:15:16 14:09:51
Cooling
SV 75℃, 2200W

13:17:41 14:12:35
13:20:06 14:15:20
13:22:31 14:18:04
13:24:56 14:20:48
13:27:21 14:23:32
13:29:46 14:26:16
PCW Flow

13:32:11 14:29:01
13:34:36
14:31:45
13:37:01
Return

13:39:26
0.0
5.0
10.0
15.0
20.0
25.0
30.0
35.0
40.0
45.0
50.0
55.0
60.0
65.0
70.0
75.0
80.0

13:41:51
13:44:16
H e ati ng, C ooli ng, Tank-Insi de [℃]
13:46:41
Supply

13:49:06
Time[h:m:s ]

13:51:31
13:53:56
13:56:21
13:58:46
14:01:11
Inside Temp

14:03:36
14:06:01
14:08:26
14:10:51
14:13:16
14:15:41
14:18:06
14:20:31
14:22:56
14:25:21
14:27:46
14:30:11
14:32:35
Speed & Quality, 도전 No1
 Supply, Ret urn [℃]

20.0
25.0
30.0
35.0
40.0
45.0
50.0
55.0
60.0
65.0
70.0
75.0
80.0
85.0
90.0
95.0
100.0
11:19:00
11:21:57
11:24:53
11:27:49
11:30:44
11:33:39
11:36:34
1Supply,
1 : 3 9 : 3 0 Return [℃]
11:42:27
Return

11:45:23

72.0
72.2
72.4
72.6
72.8
73.0
73.2
73.4
73.6
73.8
74.0
74.2
74.4
74.6
74.8
75.0
75.2
75.4
75.6
75.8
76.0
76.2
76.4
76.6
76.8
77.0
77.2
77.4
77.6
77.8
78.0
11:48:20
11: 19: 0 0 11:51:16
5. Lab Test Result (EAV)

1 1:2 1:35 11:54:13

1) Temp 안정화 평가 (1,500Step)

11: 24: 10 11:57:09

Supply

11 :26 :45 12:00:05

11 :29 :20 12:03:02
11: 31: 5 4 12:05:58
11: 34: 2 7 12:08:55
11: 37: 0 1 12:11:51
11: 39: 36 12:14:48
Inside Temp

Ti me [h:m:s ]
11: 42: 12 12:17:44
11: 44: 47 12:20:40
11 :47 :22 12:23:37

11: 4 9: 57 12:26:33
12:29:30

21
11 :52 :32
Heating

12:32:26
SV 75℃, 2200W

11: 55: 0 7
12:35:23
11: 57: 4 2
12:38:19
12: 00: 1 8
12:41:15
12: 02: 5 3
Return

12:44:12
1 2:0 5:28
Cooling

12:47:08
12: 08: 03
12:50:05
1 2:10 :38
12:53:01
12: 13: 13
12:55:57
Supply

12: 15: 48

Ti me [h:m:s ]
12:58:54
12: 18: 24
13:01:50
12: 2 0: 59
12: 23: 3 4
0.0
5.0
10.0
15.0
20.0
25.0
30.0
35.0
40.0
45.0
50.0
55.0
60.0
65.0
70.0
75.0
80.0

12: 26: 09
1 2:2 8:44 Heating, C ooling, Tank-Inside [℃]
Inside Temp

1 2:31 :19
12: 33: 54
12 :36 :30
12: 39: 0 5
12: 41: 4 0
1 2:4 4:15
1 2:4 6:50
1 2:4 9:25
12 :52: 00
12: 54: 35
12: 57: 10
12: 59: 46
13: 02: 21
Speed & Quality, 도전 No1
 Temp [℃]

(EEV)

30
35
40
45
50
55
60
65
70
EEV 적용
21:42:00

S V : 55℃
21:42:22

부하 : 11, 000W
21:42:44
21:43:06
21:43:28
21:43:50
1) Temp 안정화 평가

21:44:12
21:44:34
21:44:56
21:45:18
공급온도

21:45:40
Temp [℃]
5. Lab Test Result (EAV)

21:46:02

48.5
49.5
50.5
51.5
52.5
53.5
54.5
55.5
56.5
57.5

48
49
50
51
52
53
54
55
56
57
58
EEV 적용

21:46:24
S V : 55℃

21:48:56 21:46:46
21:49:06
부하 : 11, 000W

21:47:08
반환온도

21:49:16
21:49:26 21:47:30
21:49:36 21:47:52
21:49:46 21:48:14
21:49:56 21:48:36
21:50:06
21:48:58
21:50:16

Time [ h :m:s ]
21:49:20
Ta nk Ins id e

21:50:26
21:49:42
공급온도

21:50:36

22
21:50:46 21:50:04
21:50:56 21:50:26
EEV 경향 Te s t Da ta ( P C S 8000A)

21:51:06
21:50:48
21:51:16
C o o lin g

반환온도

21:51:26 21:51:10
21:51:36 21:51:32
21:51:46 21:51:54
21:51:56
21:52:16
21:52:06
21:52:38
He a tin g

21:52:16
Time [ h:m:s ]
Ta n k Ins id e

21:52:26 21:53:00
21:52:36 21:53:22
21:52:46 21:53:44
EEV 경향 Te s t Da ta ( P C S 8000A)

21:52:56 21:54:06
21:53:06
C o o lin g

21:54:28
21:53:16
21:53:26 21:54:50
0

21:53:36
20
40
60
80
100
120
140
160
180
200

21:53:46
He a tin g

21:53:56 [%]
21:54:06
21:54:16
21:54:26
21:54:36
21:54:46
21:54:56
0
20
40
60
80
SV 55℃, 12000W, PCW 압력 : 3.5Bar

100
120
140
160
180
200

[%]
Speed & Quality, 도전 No1
 Te mp [ ℃]

40
45
50
55
60
65
11:33:00
11:33:46
11:34:33
11:35:20

SV
11:36:06
11:36:53
11:37:39
Te mp [ ℃]
11:38:26

48.5
49.5
50.5
51.5
52.5
53.5
54.5
55.5
56.5
57.5

48
49
50
51
52
53
54
55
56
57
58
11:39:13
S V : 55℃
공급온도

11:45:03
Mo t o r V a lv e

11:39:59
11:45:28
부하 : 1 1 , 0 0 0 W

11:40:45
5. Lab Test Result (EAV)

11:45:52
11:41:32
11:46:16
11:42:18
11:46:40
1) Temp 안정화 평가 (EAV 500Step)

반환온도

11:47:04
11:43:04
11:47:28
11:43:50
11:47:52
11:44:37
11:48:16
11:45:24
11:48:40
11:46:10
공급온도

11:49:04
11:46:56
11:49:28
Ta nk Ins id e

11:47:42
11:49:52

Tim e [ h:m :s ]
11:48:28

23
11:50:16
11:49:14
11:50:41
반환온도

11:50:00
11:51:05
11:51:29
11:50:47
C o o ling

11:51:53
11:51:33
Mo to r Va lve 경향 Te s t Da ta ( P C S 8000A)

11:52:17
11:52:19
11:52:41
11:53:05
압력

Time [ h :m:s ]
11:53:05
11:53:51
Ta n k In s id e

11:53:29
11:54:38
11:53:53
11:55:24
11:54:18
유량

11:54:42
11:56:10
Mo to r Va lve 경향 Te s t Da ta ( P C S 8000A)

11:56:56
11:55:06
C o o lin g

11:57:42
11:55:30
11:58:28
11:55:54
11:56:18
11:59:14
He a tin g

11:56:42
12:00:00
He a tin g

11:57:06
12:00:47
11:57:30
0
20
40
60
80
100
120
140
160
180
200

11:57:54
11:58:18
11:58:42
11:59:06
0
20
40
60
80
SV 55℃, 12000W, PCW 압력 : 3.5Bar

100
120
140
160
180
200

[ %]
Speed & Quality, 도전 No1
 S u ppl y , Re t u rn [℃]

20.0
25.0
30.0
35.0
40.0
45.0
50.0
55.0
60.0
65.0
70.0
75.0
80.0
85.0
90.0
95.0
100.0
12:55:00
12:56:48
12:58:37
1) Ramping Up/Down

13:00:25
5. Lab Test Result

(Motor Valve 500Step)

13:02:14
13:04:02
13:05:51
13:07:39
13:09:28
13:11:16
Return

13:13:04
13:14:53
13:16:41
13:18:30
13:20:18
Supply

13:22:07
13:23:55
13:25:44

24
13:27:32
13:29:21

Ti me [h :m:s ]
13:31:09
Inside Temp

13:32:57
13:34:46
Ramping Up/Down (30~90℃)

13:36:34
13:38:23

9Min
13:40:11
Heating

13:42:00
13:43:48
13:45:37
13:47:25
13:49:14
Cooling

13:51:02
13:52:51
13:54:39
13:56:28
13:58:16
0.0
5.0
10.0
15.0
20.0
25.0
30.0
35.0
40.0
45.0
50.0
55.0
60.0
65.0
70.0
75.0
80.0
85.0
90.0
95.0
100.0
105.0
110.0
115.0
120.0

H e at i ng, C ool i ng, Tank-Insi de [℃]

Speed & Quality, 도전 No1
5. Lab Test Result Speed & Quality, 도전 No1

1) Temp 경향성 비교 (Temp Trend)

구분 EEV EAV (500step)

Test
Graph

부하조건 7,400W 600sec ON,1 회 9,000W 600sec On, 300sec Off 4 회 반복

제어 Supply Control (SV 45℃)

-. EEV 비교하여 Motor Valve Load Test 시 온도 안정화 능력 확보 .

-. 45℃ 영역 7,500W Load Test 시 초기 Over Shooting Temp +0.5 이내에 안정화
( 현재 FAB 대응 시에는 문제 없다 판단됨 )
결 론
-. 개선 품으로 계획중인 Motor Valve Type 은 부하 대응 온도 안정화 시 ±0.2 의 안정화 구현 능력을 보임

▶ 향후 , Motor Valve PCW Control Valve 의 부하 대응 시 적용 문제없다 판단 .

25
5. Lab Test Result Speed & Quality, 도전 No1

1) 온도 영역별 Ramping Up Down ( Ramping Up : 30 to 90℃)

구분 EEV EAV (500step)

12min
9min
Test
Graph

온도 조건 30℃ ~90℃ 상승 , 하강

제어 Supply Control

-. EEV 비교하여 Motor Valve 상승 , 하강 Test 시 온도 안정화 능력 확보 .

-. 30℃~90℃ 상승 Test 시 90℃ 안정화 Over Shooting Temp +0.6 이내에 안정화
-. 90℃~30℃ 상승 Test 시 30℃ 안정화 Under Shooting Temp -0.1 이내에 안정화
결 론
(Temp 하강 시간 EEV 12 분 소요 대비 Motor Valve 9 분 이내 하강 속도 구현 )

▶ 향후 , Motor Valve PCW 온도 상 , 하강 공정 대응 시 문제 없다 판단 .

26
5. Lab Test Result Speed & Quality, 도전 No1

3) EAV 신뢰성 (On/Off 반복 )

구분 EAV On/Off 반복 Test

조건 On/Off Test (PCW 4Bar)

PCW In

PCW Out PCW(4kg/cm2) 제어 EAV (Pulse signal)

Test
On/Off 반복 Cycle 구동시 ,

Test 목적 Motor & 기어부의 이상동작 및

유체의 Leak 요소 Check.
Valve

’11.04.08 신뢰성 Test Start

▶ 150 만 Cycle
Data
& 130 일 경과 현재 이상 없음 .

27
5. Lab Test Result Speed & Quality, 도전 No1

4) EAV 신뢰성 ( 발열 , 내열성 )

구분 EAV 강제발열 구동 Test

PCW In

PCW Out PCW(4kg/cm2)

보온재 강제적용
Test

발열 조건 Test Valve 정상 Valve

조건 0~100% On/Off Test (PCW 4Bar), 보온재

제어 Motor Valve (Pulse signal)

-. Motor 구동에 따른 Board 발열 Test

-. 정상 구동 시 30~40℃ 구동
-. 내부 온도 78℃ 이상 구동 시 Board 이상유무 확인
결 론
-. 정상 조건 Temp
’11.04.08 신뢰성 Test Start : 40.5℃
▶ Valve Body 에 보온재를 강제로 씌워 Test.
-. 악조건 Temp
Max Temp 78.3℃ 상태로 110 일 경과 현재 이상없음 .
: 78.3℃

28