UVOD U NANOSISTEME

Zoran Mati, 1157/08

Seminarski rad X/2008

Piezoelektrini skeneri
1. Uvod
Jedan od osnovnih delova svakog nanoprobe ureaja je piezoelektrini skener. Uloga piezoelektrinog skenera je precizno pozicioniranje vrha sonde ili kantilevera. Precizno i brzo pozicioniranje ostvaruje se korienjem svojstva nekih materijala, koje se naziva piezoelektricitet. Pre nego to se pree na prouavanja skenera potrebno je najpre objasniti piezoelektrini efekat.

2. Piezoelektricitet
Sposobnost nekih materijala (kristala i nekih keramika) da generiu elektrini potencijal kao odgovor na primenjeni mehaniki pritisak naziva se piezoelektricitet. Re piezo izvedena je iz grke rei piezein, to znai stiskati, pritiskati. Postoje dva efekta piezoelektriciteta: direktan piezoelektrini efekat i indirektan piezoelektrini efekat. Direktan piezoelektrini efekat je pojava elektriciteta kada je primenjen mehaniki napon. Indirektan piezoelektrini efekat je mehaniko naprezanje ili deformisanje koje nastaje kao posledica primene elektrinog polja (proticanjem el. struje kroz materijal. Na primer kristali olovo cirkon titanata menjaju svoj oblik za 0,1 % od poetnih dimenzija prilikom proputanja elekrine struje (www.en.wikipedia.org).

Slika 1: Pjer Kiri (www.sr.wikipedia.org)

2.1 Otkrie piezoelektriciteta

Veza izmeu naelektrisanja i mehaniog naprezanja prouavana je od strane vie istraivaa krajem XIX veka. Eksperimentalna potvrda dobijena je otkriem piezoelektrinog efekta. Piezoelektrini efekat otkriven je 1880. g. od strane brae Pjera i aka Kirija. Spajanjem znanja o kristalnim strukturama i piroelektriciteta (pojave elektrinog napona koja nastaje pri promeni temperature), predvideli su ponaanje nekih kristala i uspeli da izvedu eksperiment sa direknim piezoelektrinim efektom. Godinu dana kasnije potvreno je i postojanje inverznog piezoelektrinog efekta. Narednih nekoliko decenija piezoelektrini efekat prouavan je u labaratorijama, a prva praktina primena desila se tokom Tokom prvog svetskog rata za izradu sonara. Tokom Drugog svetskog rata razvijeni su materijali (feroelektrici) koji imaju mnogo izraeniji piezoelektrini efekat. Prve komercijalne upotrebe su ostvarene u Japanu za izradu televizijskih kontrolera (www.en.wikipedia.org).

Slika 2: ematski prikaz piezoelektrinog efekta (www.en.wikipedia.org)

UVOD U NANOSISTEME
2.2 Mehanizam nastanka piezoelektrinog efekta

Seminarski rad X/2008

U piezoelektrinim kristalima pozitivna i negativna naelektrisanja su odvojena, ali simetrino rasporeena, tako da je kristal elektrino neutralan. Svaka strana predstavlja elektrini dipol koji tee da se postave u takozvane Veizove domene. Nauzmenino orjentisani domeni mogu da se poravnjaju..Prilikom primene mehanikog pritiska simetrija se naruava. Ova asimetrija naelektrisanja uzrokuje nastanak elektrinog napona u materijalu. ematski prikaz razdvajanja naelektrisanja meu atomima, usled kog nastaje piezoelektrini efekat prikazan je na slici 3. Suprotan efekat nastaje primenom elektrinog polja na piezoelektrini materijal. U tom sluaju dolazi doformacije kristala. (www.en.wikipedia.org)
Slika 3: Razdvajanjem naelektrisanja u piezoelektrinom materijalu dolazi do stvaranja elektrinog polja E, a samim tim i elektrinog potencijala. (www.en.wikipedia.org)

2.3 Piezoelektrini materijali

Postoji veliki broj materijala, kako prirodnih tako i vetakih, koji pokazuju piezoelektrina svojstva. Od prirodnih materijala najznaajniji su: berilit (redak fosfatni mineral), kvarc, topaz, turmalin...Kosti takoe imaju piezoelektrina svojstva. Vetaki piezo materijali su vetaki kristali i vetaka keramika. U prve spadaju galium ortofosfate (GaPO4) i Langazite (La3Ga5SiO14). U vetake keramike spadaju: barium titanat (BaTiO3), olovo titanat (PbTiO3), olovo cirkon titanat (Pb[ZrxTi1x]O3 0<x<1), potassium niobate (KNbO3) litijum niobate (LiNbO3), litijum tantalat (LiTaO3), sodium tungstat (Na2WO3), Ba2NaNb5O5, Pb2KNb5O15. U najiroj upotrebi od svih vetakih materijala je olovo cirkonijum titanat, poznat kao PZT. Od ostalih piezoelektrinih materijala najvie se koriste polimeri meu kojima je najpoznatiji polivinil fluorid (PVDF). (www.en.wikipedia.org)

Slika 4: Kristalna struktura olovo titanata (www.en.wikipedia.org)

3. Piezoelektrini elementi kod SPM - a

Mala (nanometarska) pomeranja vrha sonde kod skenirajuih probe mikroskopa ostvaruju se korienjem piezoelektrinih elemenata. Materijal koji se najee koristi za izradu piezo elemena je keramika olovo cirkonijum titanat (PZT-5H, PZT-5A). Pored ovog koriste se i BM500 i BM527, kvarc...Na sledeem primeru bie pokazan postupak za izraunavanje nekih parametara pri pozicioniranju. Primenom napona V pravougaoni piezo element (debljine z) generie se elektrino polje jaine:

Slika 5: piezo element

Usled strukturnih promena javlja se napon S u materijalu koji se moe izraunati preko tenzora sa xx i zz komponentama:

UVOD U NANOSISTEME
; Piezelektrine konstante se dobijaju tako to se komponenta napona podeli sa komponentom jaine elektrinog polja:

Seminarski rad X/2008

Tipine vrednosti piezoelektrinih konstanti nekih piezoelektrinih komponenti, izraenih od PZT a, su: d31= - 1 do - 3 /V d33=2 do 6 /V , npr: d31=-1.27/V (transverzalno) d33=2.95/V (longitudinalno)
Slika 6: Tripod

Na osnovu piezoelektrinih konstanti procenjuje se jaina piezoelektriciteta. Za pozicioniranje vrha sonde potrebna su dva pozicionera: jedan za grubo pozicioniranje, drugi za fino pozicioniranje. Pozicioner za fino pozicioniranje naziva se skener. (www.fkp.uni-erlangen.de)

3.1 Geometrija skenera

Pored materijala od kog je napravljen skener, na njegova deformaciona svojstva bitno utie i geometrija. Postoji vie oblika skenera. Najee se koriste sledei:

3.1.1 Tripod
Skener koji se sastoji iz tri piezoelektrine ipke naziva se tripod. Prvi STM ovi su imali ovakve skenere. Polarizacija se odvija u tri upravna pravca, to omoguava pozicioniranje u tri dimenzije. Nedostatak ove vrste skenera je taj to imaju dugake, a tanke ipke zbog ega nemaju dovoljno dobru krutost. (www.fkp.uni-erlangen.de)
Slika 7: Bimorfi

3.1.2 Bimorfi
Bimorfi su skeneri u obliku sendvia. Sastoje se iz dva sloja piezoelektrinih materijala i na svakom se nalazi po jedna elektroda, sa jo jednom u sredini. Postoje dve vrste bimorfa: paralelni bimorfi i serijski bimorfi (slika 7). Proputanjem struje kroz elektrode dolazi do deformisanja (savijanja) bimorfa tako to se jedan sloj skrauje, a drugi izduuje u zavisnosti od smera struje. (www.fkp.uni-erlangen.de)

Slika 8: Piezoelektrina tuba

3.1.3 Piezoelektrina tuba

Skener u obliku tube (cevi) predloen je od strane Bininga. Ova vrsta skenera cilindrinog je oblika, izraena je od 3

UVOD U NANOSISTEME

Seminarski rad X/2008

piezoelektrine keramike i obloena je iznutra i spolja metalom (titanijum). Ove obloge slue kao elektrode. Spoljanje elektrode podeljene su u etiri sektora. Kretanje u z pravcu se ostvaruje uspostavljanjem napona izmeu unutranjih i spoljanjih elektroda. Savijanje u xy pravcu ostvaruje se dovoenjem naponske razlike izmeu dve naspramne elektrode. (www.fkp.uni-erlangen.de)

4. Grubi pozicioneri
Slika 9: ematski prikaz mehanikog pozicionera

Grubi pozicioneri slue za dovoenje vrha sonde u poloaj za skeniranje. Postoji vie vrsta grubih pozicionera od kojih e ovde biti prikazana tri.

4.1 Mehaniki pozicioner

Princip rada mehanikog pozicionera je veoma jednostavan. Uzorak se dovodi u eljeni poloaj u odnosu na vrh sonde pomou navojnog para i opruge (slika 8). (www.fkp.unierlangen.de)

4.2 Louse
Kod ovog pozicionera uzorak se smeta na piezoelektrinu plou, koja se nalazi na tri elektrostatiki izulovane nogare. Izduivnjem i skraivanjem piezoelektrine ploe vri se kretanje louse u odnosu na vrh sonde. (www.fkp.uni-erlangen.de)

4.3 Beetle
Slika 10: ematski prikaz Louse

Delovi koji sainjavaju Beetle su tri piezoelektrie tube, koje stoje na cilindrinoj rampi. Uzorak se stavlja na sredinu rampe. Vrh sonde sa finim pozicionerom nalaze se na tabli. Delovanjem naponom na postolje dolazi do okretanjaploe. Brzim smanjivanjem voltae postolje sklizne na rampu pod inercijom ploe. Na taj nain vrh sonde moe pomeren u odnosu na uzorak ili izvriti njegovo uklanjanje. (www.fkp.unierlangen.de)

5. Pozicioniranje sonde pomou skenera

Upravljanje skenerom vri se pomou prilino sloene elektronike. Na slici 11 prikazana je ema moda STM a sa konstantom strujom:

Slika 11: ematski prikaz Beetle

4
Slika 12

UVOD U NANOSISTEME

Seminarski rad X/2008

Izmeu bilo koje dve elektrode postoji odreena kapacitansa koja zavisi od geometrije skenera i dielektrine konstante keramikog materijala izmeu elektroda. Kapacitivnost izmeu unutranje elektrode i bilo koje spoljanje rauna se po formuli: , gde je: - povrina tube (L duina, D prenik),

- h debljina zida tube, permeabilnost vakuma, relativna dielektrina konstanta.

Kada se odredi kapacitivnost jaina struje koja je potrebna za pokretanje skenera dobija se sledeoj formuli:

Za .

neke

standardne

vrednosti

parametara

) dobija se da je jaina struje

Pomeranje se moe izraunati iz formule:

Sa gornjim vrednostima dobija se tipian odnos . Savijanje se dobija prema sledeoj formuli:

Tipina vrednost odnosa za ovo pomeranje je 5

Slika 13: Kretanje skenera iznad povrine uzorka

UVOD U NANOSISTEME
(www.e-basteln.de)

Seminarski rad X/2008

Kretanje skenera iznad povrine uzorka prikazano je na slici 13. Skener zapoinje skeniranje povrine sa jednog kraja uzorka, vrei kretanje du linije od jednog kraja do drugog. Kada dodje do kraja uzorka pomera se po duini i vraa nazad. Ovaj proces se ponavlja sve dok se cela povrina ne iskenira. Pravac kretanja po irini uzorka naziva se brzi skenirajui pravac i samo du ovog pravca se vri skeniranje. Pravac na kome skener dolazi u iz prethodne u sledeu liniju skeniranja naziva se spori pravac skeniranja. Tokom kretanja skenera po liniji skeniranja vri se semplovanje na, jednakim rastojanjima, informacija za dobijanje slike.To su informacije o rasojanju sonde od uzorka ili jaina struje tunelovanja. Rastojanje izmedju dva uzorkovanja naziva se veliina koraka. Veliina koraka ematski prikaz skeniranja odredjena je celom duinom skeniranja i broju informacionh taaka po linji. Kod tipinog STM-a veliina skeniranja jepovrine od 10 uzorka do 100 mikrona, uz 64 do 512 informacionih taaka po liniji.

6. Nelinearnost skenera
Prva aproksimacija kod skenera je da se piezoelektrini materijal linearno deformie pri primeni elektrine struje. Sledea formula daje idealan vezu izmeu deformacije s (dl/l) i jaine primenjenog elektrinog polja E:

gde je d koeficijent deformisanja ( ), koji predstavlja karakteristiku piezoelektrinog materijala. U stvarnosti ponaanje piezoelektrinih skenera nije tako jednostavno. Stvarna veza izmeu deformisanja i elektrinog polja se razlikuje od idealnog sluaja. Ako pretpostavimo da primenjeni napon el.struje od nulte vrednosti dostie postepeno neku konanu vrednost. Ako se izduenje piezoelektrinog materijala plotuje kao funkcija primenjenog napona, zavisnost nee biti linearna, ve kriva linija (slika 13).
Slika 14: Zavisnost izduenja od napona kod piezoelektriog skenera (nelinearnost)

Unutranja nelinearnost piezoelektrinog materijala je odnos maksimalne deviacije od linearnog y ponaanja i idealnog linearnog izduenja y pri istom naponu. Taj odnos izraava se u procentima. Unutranja nelinearnost piezoelektrinih skenera se kree izmeu 2 i 25 %. Unutranja nelinearnost moe da ima uticaj na izgled mree skeniranja. Umesto pravilne mree, kakva je prikazana na slici 12, dobija se iskrivljena ako je nelinearnost velika. Poto se skener ne kree linearno sa primenjenim naponom merne take nisu jednako rasporeene. Posledica toga je nedovoljno dobra slika lperiodinih struktura (pojavljuju se neuniformna rastojanja), a 6

UVOD U NANOSISTEME
kod manje regularnih povrina moe da doe do nedovoljno dobre reprezentacije tih neregularnosti. Takoe, usled unutranje nelinearnosti dolazi do greaka u merenju rastojanja sonde od povrine uzorka.

Seminarski rad X/2008

7. Histerezis
Pored nelinearnosti kod piezoelektrinih keramika javlja se i pojava zvana histerezis. Ako napon od nulte vrednosti postepeno dostigne neku konanu vrednost, a onda se vrati ponovo u nulu moe se videti da postoji odstupanje zavisnosti izduenja od napona pri rastu napona i pri opadanju. Ova razlika, poznata kao histerezis prikazana je na slici 14. Sa slike se vidi da je promena napona veoma spora. Histerezis piezoelektrinog skenera je odnos maksimalnog odstupanja izmeu dve krive i maksimalne ekstenzije koju napon moe da napravi u skeneru. Histerezis moe da dostigne vrednost i do 20%. Usled histerezisa dolazi do greke u koracima visine profila koji nastaje podizanjem i sputanjem sonde ( skraivanje i izduivanje piezoelektrinog skenera). Prikaz toga dat je na slici 15.

8. Puzanje

Kada se desi nagla promena napona, piezoelektrini materijal ne menja svoje dimenzije trenutno. Umesto toga, dimenzije se menjaju u dva koraka: prvi korak se odvija za manje od jedne milisekunde, dok se drugi odvija za mnogo vie vremena. Drugi korak poznat prikazan je na slici 16 (xc) i poznat je kao starenje. Kvantitativno, starenje je odnos izmeu druge promene (promene u drugom koraku) dimenzije i prve: xc/x. Puzanje se obino izraava u procentima sa dodatnom informacijom o vremenu puzanja Tcr. Tipine vrednosti su od 1 do 20% za puzanje i 10 do 100 s za vreme puzanja. Puzanje moe da uzrokuje da dva skeniranja razliitih brzina pokau blagu razliku u duini skale..Drugi efekat puzanja je Slika 16: Uticaj Histerezisa piezoelektrinog skeenera na korak usporavanje rada, npr. kada se eli zumirati neka struktura koja je uoena tokom skeniranja.

Slika 15: Histerezis piezoelektrinog skeenera

9. Starenje
Koeficijent deformisanja d piezoelektrinog materijala menja se eksponencijalno sa prolaenjem vremena i korienjem. Na slici 17 prikazano je starenje piezoelektrinog skenera za visokonaponsko korienje i niskonaponsko korienje. Brzina starenja je promena koeficijenta deformisanja u (dekadnoj) jedinici vremena. Kada skener nije u upotrebi dolazi do postepenog smanjenja defleksije za dati napon. Starenje moe da izazove smanjenje lateralnih koeficijenata deformisanja, to dovodi do greaka u merenjima duine na slikama. Kada se skener koristi regularno, defleksija dostignuta 7
Slika 17: Puzanje piezoelektrinog skeenera

UVOD U NANOSISTEME

Seminarski rad X/2008

datim naponom se poveava, polako, korienjem i proticanjem vremena. Do poveavanja defleksije prilikom korienja skenera dolazi zbog toga to se uzastopnim primenjivanjem napona dipoli unutar piezoelektrinog skenera sve vie postavljaju u smeru ose i dovode do simetrije naelektrisanja unutar njega. Veliina defleksije zavisi od toga koliko je dipola usmerenu u pravcu ose. Stoga, to se vie koristi skener, to e due trajati. Sa druge strane, ukoliko se skener ne koristi dipoli unutar skenera e se reorganizovati i nasumino orjentisati. Usled starenja javljaju se greke lateralne i vertikalne dimenzije na slici. (R. Howland, 2000)

11. Literatura
Slika 18: Starenje piezoelektrinog skeenera

[1] www.en.wikipedia.org [2] www.sr.wikipedia.org [3] www.fkp.uni-erlangen.de [4] www.e-basteln.de [5] Howland.R , Benata A practical guide to scanning probe microscopy, 2000.