UVOD U MEMS I NEMS

Definicije mikro i nano elektromehanikih sistema, njihova vanost i (potencijalne) primjene

Mikro sistemi

U Europi se pod tim pojmom podrazumijevaju tehnologije i procesi konstrusanja i kreiranja minijaturnih sistema.

U USA se za takve sisteme koristi skupni naziv MEMS (micro-electromechanical systems) iako to mogu biti termiki, magnetski, fluidni i drugi sistemi.

Nano sistemi (nanotehnologije)

Tehnologije koje se rade na razini nanometara i imaju primjene (materijali, proizvodnja, elektronika, medicina, zdravstvo, energija, biotehnologije, IT, sigurnost, ) u stvarnome svijetu Nanotehnologije ukljuuju i kontroliranu manipulaciju i integraciju (ukljuujui sintezu, samoslaganje, karakterizaciju, odreivanje svojstava i modeliranje) nanostruktura u vee komponente i sisteme.

PROCESI PROIZVODNJE MEMS-a I NEMS-a

Tehnologije proizvodnje na nano osnovi se mogu podijeliti : top-down

bottom-up

Tehnologije nanoobrade
Zbog nedostatne razluivosti (UV litografija) ili problema s proizvodnjom maski za X-zrake, litografske tehnologije nisu u opem sluaju pogodne za nanoobradu

Zbog toga se ovdje koristi uglavnom litografija snopom elektrona gdje je esto izvor elektrona dio pretranog elektronskog mikroskopa (scanning electron
microscope SEM).

Proizvodnja primjenom nanotiska

U novije vrijeme je analogni postupak koriten da bi se kroz kvarcnu masku s 250 ns laserom potaknuo otisak u silicijskom supstratu ( laser assisted direct imprint-LADI).

Laserom potaknut otisak (LADI)

Tehnike pretraivanja pomou osjetnika (scanned probe microscopy - SPM)

SPM sistemi omoguavaju submikrometarsku kontrolu pokretanja iljastog vrka koji se nalazi vrlo blizu ili u kontaktu s povrinom uzorka. Obino se koriste piezoelektrini pokretai. Dobiju se visokorazluive slike uzorka.

STM tehnika

AFM tehnika

Kod ve spominjane litografije umakanjem pera (dip pen lithography) na AFM vrak se, umakanjem u otopinu te suenjem, nanese eljena hemikalija (polimeri,

Au, DNK, antitijela, ...) pa se vrak dovede u kontakt s povrinom.

Vrkovi kod SPMa mogu se koristiti i za:

- grebanje (poput pluga) profila na povrinama otpornika npr. dijamantnim vrkom pri normalnim naprezanjima veliine 1 100 N i pri brzinama pisanja 0,1 200 m/s, to se kod nekih metoda (IBM stonoga) moe pospjeiti zagrijavanjem vrka, - kod viih napona moe doi do prelaska materijala (Au, Ag, Pt, ...) emisijom atoma s vrka na povrinu, - manipulaciju nanoestica, molekula i atoma

Samoslaganje

Samoslaganje je postupak nanoobrade koji ukljuuje sakupljanje koloidnih (mjeavina u kojoj je jedna tvar jednoliko rasprena u drugoj) nanoestica u eljenu strukturu

Fizikalno i hemijsko samoslaganje se moe temeljiti na spontanom sakupljanju ili pak na gravitacijskim, konvektivnim i elektrohidrodinamikim silama.

Primjeri primjena struktura dobivenih tehnologijama tiskanja

papirnati ekran

razmak izmeu izvora i izlaza kod tranzistora mora biti posebno taan jer on odreuje izlaznu struju i druge vane karakteristike.

HVALA !