DEFINICIJA MIKRO INENJERINGA

Postoje razliite definicije mikro inenjeringa. Masuzawa govori o merama koje su

manje od 500 m (radi se o delovima koji su previe mali da bi se lako
obraivali). Carbet definie nano tehnologije u obimu manjem od 100 m.
Geiger i drugi opisuju tehnologije oblikovanja koje se primenjuju za proizvodnju
delova ili struktura sa najmanje dve dimenzije u opsegu submilimetra.
Jedna od definicija je: Mikro inenjerstvo se bavi razvojem i proizvodnjom
proizvoda ija su funkcionalne karakteristike ili bar jedna dimenzija u rangu m.
Ove proizvode obino karakterie visok stepen integracije funkcionalnosti i
komponenti.
PRIMERI PRIMENE MIKRO PROIZVODA
Primeri primene mikro proizvoda su:
Merni sistemi (temperatura, pritisak, ubrzanje)
Informaciona i komunikaciona tehnika ( in dekt glave tampaa, projekcioni
ekrani, mehaniki filteri, prekidai, releji, CD diskovi)
Medicinska tehnika (mikropumpe, kateteri, sluni ureaji, implantati)
Hemijske mikrokomponente (mikromealice, izmenjivai toplote, sistemi za
mikrofiltriranje)
Mikromotori i generatori
Bio tehnologije
SPECIFINOSTI MIKRO OBRADA
Inovacije u oblasti mikro i nano tehnologija u velikoj meri karakterie multidisciplinarnost.
Tradicionalne discipline kao to su fizika, biologija, medicina i inenjerstvo
ujedinjene su u zajednikom razvojnom procesu. Jedan primer su senzori za
hemijsku analizu fluida, gde hemija, biologija i mehanika utiu na konstrukciju
proizvoda, a time i na njegovu industrijsku proizvodnju.
Za proizvode u rangu mikro i nano mera treba definisati nain na koji se
komponente ovih proizvoda izrauju, montiraju, kontroliu i mere. Potrebno je
razviti materijale, procese i proizvodne tehnologije koje mogu omoguiti njihovu
industrijsku proizvodnju.
Ovo nije samo pitanje razvoja postojeih tehnologija, ve je u nekim sluajevima
potrebno pristupiti razvoju potpuno novih proizvodnih tehnologija. Novi
proizvodni koncept mora uzeti u obzir da sa delovima nije lako rukovati u
viestrukim procesima, ali i da bi proizvodnja morala da se odvija u istim
prostorijama. Ove nove proizvodne paradigme moraju biti razvijene kako bi se
podrao razvoj proizvoda.
Da bi zatvorili fiziki tok proizvodnje mikro proizvoda moraju biti razvijene i
tehnike mikro upravljanja, mikro merenja i mikro montae.
S druge strane konstrukcija proizvoda nema direktan odnos sa fizikim tokom
proizvodnje. To potvruje i injenica da je konstrukcija jednostavna, a da
proizvodnja nije laka kod mikro proizvoda.
GLAVNI RAZLOZI ZA MINIJATURIZACIJU PROIZVODA
Uteda resursa
Uteda energije
Ekonominost
Vii stepen pouzdanosti
iroko podruje primene
Primer: integralna kola kod kojih se broj komponenti na jedinici povrine
udvostruuje u proseku za svake 3,3 godine, a svako novo kolo integrisane
memorije sadri dvostruko vie memorije od prethodnog.

MIKRO PROIZVODNE TEHNOLOGIJE

Izrada mikro proizvoda mora uzeti u obzir njihove specifinosti, kao i potencijale
koji su u vezi sa proizvodnim tehnologijama.
S jedne strane minijaturizacija predstavlja ogranienje za primenjivost veine
uobiajenih proizvodnih tehnologija kao to su rezanje, oblikovanje itd. S druge
strane otvaraju se mogunosti primene novih tehnologija koje su npr. fokusirane
na laserski snop, odnosno na tehnologije koje karakterie mala proizvodnost.
Broj i raznovrstnost tehnologija koje se koriste za proizvodnju mikro komponenti i
mikro proizvoda je ogroman.
Razvoj novih tehnologija ide u tri glavna pravca:
Smanjenje primene postojeih proizvodnih procesa (uglavnom se koriste na polju
precizne mehanike)
Upotreba i rast mikro elektro- mehanikih procesa
Razvoj novih tehnologija na osnovu postojeih tehnologija ( npr. nove kombinacije
procesa i materijala)
Dva osnovna pravca poboljanja svih mikro obrada odnose se na:
Smanjenje jedinine koliine materijala koji se uklanja (UR-Unit Removal)
Poboljanje preciznosti ureaja (opreme)
MEHANIKI PROCESI ZASNOVANI NA ODNOENJU MATERIJALA
Mehaniki procesi uglavnom se primenjuju za direktnu proizvodnju malog broja
preciznih delova. Karakterie ih mehanika interakcija alata sa materijalom
obratka.
Ovi procesi se sastoje od dijamantskog struganja (npr. mikro osovinica), glodanja
(npr. mikro ljebova i mikro 3D oblika), buenja (npr. mikro rupa kod integralnih
kola), visoko preciznog bruenja i mikro graviranja.
Materijal alata kod ovih procesa mora biti jai od materijala obratka, te se zbog
toga koriste alati od dijamanta i tvrde keramike.
Glavni nedostatak ovih procesa je injenica da sile rezanja mogu uticati na
tanost obrade i na veliinu obratka zbog elastinih deformacija mikro alata.
Od konvencionalnih procesa obrade, koji se zasnivaju na postupku odnoenja
materijala, najpopularniji su oni kod kojih se materijal uklanja pomou mehanike
sile primenom plastine deformacije i krtog loma. Kod ovih postupaka obrade,
prvi uslov mikro obrada (malo UR) je zadovoljen kada postoji visok napon koji
omoguava lom materijala na maloj povini ili zapremini obratka.
Dijamantske obrade su izvorno bile razvijene za izradu optikih ogledala i soiva
sa kontinulanim i diskontinualnim povrinama.
Veoma glatke povrine sa optikim kvalitetom mogu biti dobijene pri
dijamantskim obradama ne-feritnih materijala kao to su bakar, aluminijum i
nikl.
Dijamantske obrade se koriste za proizvodnju kontaktnih soiva, mikro soiva,
poligonalnih ogledala kao i za izradu mikrostruktura kao to su piramide, kocke,
reetke i za izradu kanala mikro dimenzija.
OBRADA REZANJEM
Procesi mikrorezanja se odlikuju sa mehanikom interakcijom otrog alata sa
materijalom obratka, koja prouzrokuje lom unutar materijala du definisane
putanje, to dovodi do ukljanjanja materijala u obliku strugotine.
Da bi se ostvario taj proces materijal alata mora biti tvri od materijala obratka.
Radijus rezne ivice alata mora biti u rangu dimenzija debljine strugotine ili manji.
S obzirom na dimenzione karakteristike obrade koja je reda m, eljene debljine
strugotine i radijus rezne ivice alata moraju biti u rangu stotih nanometra.
Primenom molekularne dinamike simulacije utvreno je da je minimalna dubina
rezanja manja od 1 nm za bakar i aluminijum sa dijamantskim alatom koji ima
radijus rezne ivice manji od 10 nm.

Zbog toga je monokristalni dijamant najee korieni materijal za alate uz

ogranienja u odnosu na vrstu materijala obratka s obzirom na hemijsku
interakciju sa elicima.

Glavna razlika izmeu mikro i makro obrada lei u mehanizmu rezanja.

Mehanizam rezanja kod makro obrada je uglavnom smicanje materijala na
prednjoj strani alata i formiranje strugotine.
Ueda i Imata su pokazali da proces rezanja i oblik strugotine koji se formira kod
monokristalnih materijala puno zavisi od od odnosa pravca rezanja i
kristalografske orijentacije.
Kristalografska orijentacija i veliina zrna imaju veliki uticaj na proces mikro
rezanja.
FIZIKA PROCESA
Mikro obrade ukljuuju mnoge karakteristike konvencionalnih obrada, ali u isto
vreme postavljaju i mnoga pitanja uglavnom zbog veliine ili razmere. Smanjenje
razmere obrade ne menja opte karakteristike procesa za neka razumna
ogranienja.
Meutim kada veliina dela koji se proizvodi ili mikrostrukture materijala obratka
postane mala (veliine se pribliavaju) u odnosu na dimenzije alata (recimo
prenik) koji se koristi pri obradi, to moe promeniti ceo aspekt obrade.
Postoje dva zabrinjavajua sluaja: kada je dubina rezanja u rangu sa radijusom
rezne ivice alata i kada veliina mikrostrukture materijala obratka ima jak uticaj
na mehanizme rezanja.
Mehanizam rezanja kod mikro obrada je komplikovaniji i zavisi od malog odnosa
dubine rezanja i radijusa rezne ivice alata, ali i od materijala koji se pored toga
ponaa kao homogen i izotropan.
Moriwaki i Okuda su istraivali osnovne aspekte mikro obrada kao to su
formiranje strugotine, uticaj radijusa vrha alata, sile rezanja i dr. pri ultra
preciznom dijamantskom rezanju bakra sa dubinama rezanja od 3 m do 2,5 nm.
Istraivanja su pokazala da kako se dubina rezanja smanjuje, odnos sile
pomonog kretanja prema glavnoj sili se poveava, tako da sila pomonog
kretanja postaje vea od glavne sile rezanja pri dubini od 0,2 m. Ova injenica
ukazuje na to da se mehanizam skidanja materijala menja tako to se umesto
rezanja pojavljuje prodiranje (kidanje, brazdanje) .
MIKRO OBRADA ANIZOTROPNIH MATERIJALA
Mikrostruktura materijala obratka igra vanu ulogu kod mikro obrada.
Primer za to je mikro obrada polikristalnih materijala koji imaju anizotropne
karakteristike i kod kojih mehanizam rezanja jako zavisi od pojedinanog zrna i
kristalografske orijentacije.
Furukawa i Moronuki su eksperimentima kod mikro obrada na razliitim
materijalima, dokazali da su mehanizmi rezanja veoma razliiti za polikristalne,
monokristalne i amorfne materijale, kao i za krte i elastine materijale.
Oni su utvrdili da specifina sila rezanja izuzetno zavisi od proporcije
nedeformisane debljine strugotine i duine zahvata alata i da se poveava
eksponencijalno ako se dubina rezanja smanjuje ispod 3 m za sve testirane
materijale (isti bakar, legure aluminijuma, germanijum). Sila rezanja varira kako
alat prodire granicom zrna.
Predlog je da se mikro obrada kod specifinih materijala izvodi sa dubinom
rezanja koja je oko 10 puta vea od veliine zrna, da bi se izbegao uticaj
kristalografije zrna.
MINIMALNA DEBLJINA STRUGOTINE
Odnos dubine rezanja i radijusa rezne ivice alata znaajno utie na rezanje i
izotropnih i anizotropnih materijala.
Dubina rezanja moe biti manja od srednje veliine zrna pri mikro obradi
polikristalnih materijala.
Kod mikro obrada radijus rezne ivice alata je priblino isti kao debljina strugotine.

Mala promena dubine rezanja znaajno utie na proces rezanja (kvalitet obrade,
hrapavost povrine). Zbog toga je koncept minimalne debljine strugotine
istraivan od strane veeg broja istraivaa.
Neki istraivai su utvrdili da minimalna debljina strugotine (ili minimalna dubina
rezanja) primarno zavise od izotrenosti alata, a sekundarno od karakteristika
materijala obratka.
Shimada i dr. su utvrdili da je pri obradi bakra i aluminijuma potrebno da
minimalna debljina strugotine bude oko 5% od radijusa rezne ivice alata.
Meutim Yuan i dr. su pri eksperimentima dijamantskog struganja aluminijumskih
legura utvrdili da je minimalna debljina strugotine bila izmeu 20 i 40% od
radijusa rezne ivice.
Dobijeni rezultati pokazuju da minimalna debljina strugotine varira sa radijusom
rezne ivice alata, materijalom obratka i procesom rezanja.
MAINE ALATKE ZA MIKRO OBRADE
Mehaniki mikro obradni procesi koriste manje maine alatke to omoguava niz
prednosti.
Ove prednosti ukljuuju: znaajna smanjenja prostora i energije za pogon maina
alatki, smanjenje uticaja spoljanjih izvora na greke maine alatke zbog vee
toplotne, statike i dinamike stabilnosti maina alatki, poveanje tanosti
pozicioniranja zbog smanjenja ukupne veliine maina alatki, veu slobodu u
izboru materijala obratka, kompleksniju geometriju proizvoda i manje trokove
ulaganja.
U poslednje dve decenije akumulirano znanje je omoguilo izradu maina alatki
sa visokom termikom stabilnou, preciznim leajevima na vretenu (hidrostatiki
leajevi) i visoku rezoluciju linearnog i rotacionog pogona (1 nm za linearni pogon
i 1/100.000 stepeni za rotacioni pogon).
Neophodan uslov za primenu mikro rezanja je postojanje ultrapreciznih maina
alatki kako bi se mogle realizovati sub-mikronske tolerancije i debljine strugotine.
Danas su u upotrebi CNC ultra-precizne maine alatke sa pozicionom tanou od
5 nm u razliitim pravcima i one se koriste za proizvodnju mikro delova pomou
mikro obrada
.Glavne karakteristike ovih maina su:
Visoka krutost,Visoka mehanika i termika stabilnost, Niske vibracije, Visoka
preciznost pogona, Visoka preciznost upravljanja
Rani razvoj ultra preciznih maina alatki je bio usmeren na izradu optikih
ureaja. Tipian primer za to su strugovi sa dijamantskim alatima.
Kasniji razvoj je podrazumevao razvoj ultra preciznih obradnih centara sa vieosnim upravljanjem, koji su se koristili za izradu malih obradaka sa sloenom
geometrijom i oblicima i teksturama u rangu mikro skale (npr.kontaktna soiva).
Trenutno dostupne maine alatke sa vie-osnim upravljanjem mogu biti
klasifikovane na nekoliko tipova u zavisnosti od korienog mehanizma za
pozicioniranje.
Mehanizmi sadre sisteme za pogon na bazi rotacionih motora, linearnih motora
i aero-hidrostatikih sistema.
MIKRO ALATI
Izrada mikro alata je posle izrade maina alatki, drugi izazov kod mikro obrada.
Nepravilna geometrija i nepravilni alati esto negiraju prednosti mikro obrada.
Na slici je pokazana devijacija geometrije alata sa promenom dimenzija alata.
Kako se alat smanjuje sa 2 mm na 0,2 mm, odstupanje geometrije alata od
njegove konstrukcije se poveava.
Efekat umanjenja moe igrati vanu ulogu u fizikom procesu, koji je usko
povezan sa mehanizmom rezanja.
Na slici je pokazano habanje alata nastalo u toku mikro glodanja ojaanih elika
kao funkcija anagaovane duine i prenika alata.

Zbog svoje tvrdoe kristalni dijamant je prioritetni alatni materijal za mikro

rezanje.
Dijamantski rezni alati su korieni u veini ranih istraivanja mikro obrada zbog
njihove izrazite tvrdoe (otpornosti na habanje) i jednostavnosti, jer se otra
rezna ivica moe dobiti bruenjem.
Zbog injenice da dijamant ima visok afinitet prema gvou, mikro rezanje je
uglavnom ogranieno na obradu ne-feritnih materijala kao to su mesing,
aluminijum,, bakar i nikl.
Za izradu mikro alata se koristi fokusirani snop jona. Koristei ovu metodu
proizvedena su glodala prenika 25 m, kao i mikro vretenasta glodala iji je
prenik takoe manji od 25 m.
Postupkom EDM mogue je napraviti mikro loptasta vretenasta glodala sa
radijusom od 10 m.
Upotrebom elektroerozivnog bruenja (WEDG) mogue je napraviti mikro burgiju
sa poprenim presekom u D obliku i radijusom rezne ivice od 0,5 m.
Bruenje se takoe koristi za izradu mnogih mikro alata. Meutim, bruenje ima
ogranienja zbog geometrije alata i koristi se samo za prenike alata iznad 65
m.
Da bi prevazili ovo ogranienje Onikura i dr. su razvili ultrazvuno vibraciono
bruenje za izradu mikro cilindrinih alata i ravnih mikro burgija od ultra finog
tvrdog metala (prenik alata 11 m, a duina alata 160 m).
Ohmori i dr. se nisu samo fokusirali na izradu mikro alata, ve su takoe
istraivali i kvalitet obraene povrine alata. Oni su razvili mainu alatku koja
upotrebljava bruenje za izradu razliitih poprenih oblika alata sa visokim
kvalitetom obraene povrine.
Habanje alata kod mikro obrada je teko opisati pogotovo kada su vrednosti
pomaka po zubu velike.
Neki istraivai su pokuali da proue odnos habanja alata i napona na drci
alata. Oni su pretpostavili da su sile rezanja kod mikro vretenastih glodala sline
onima kod konvencionalnih obrada, ali da su mehanizmi habanja veoma razliiti.
Prvi predloeni mehanizam je zaepljenje (naslaga) strugotine. Kada nastane
naslaga strugotine sile rezanje i napon naglo se poveavaju, to moe dovesti do
loma alata posle samo nekoliko obrtaja. Ovaj mehanizam je veoma nepredvidiv i
dogaa se veoma brzo.
Nakon poetka habanja alata zamor materijala postaje problem zbog poveanih
sila rezanja i napona na drci alata.
Poslednji mehanizam je identifikovan kao preterani napon loma. injenica je da
rezne ivice gube otrinu i da postaju tupe. Alat je sada nemoan da odnosi
dovoljnu koliinu materijala za obrazovanje dovoljnog prostora za centralni
deo draa alata i alat poinje da se izvija.
Izvijanje povezano sa konstantnim pomakom prouzrokuje prekomerni napon koji
dovodi do loma alata. Varijacije sila rezanja pri mikro obradi se konstantno
poveavaju u toku obrade zbog poveanja habanja alata i mogu biti koriene
kao indikator habanja alata.
Habanje dijamantskih alata pri ultra-preciznim obradama bilo je subjekt
kontroverznih studija i jo nije dobro razjanjeno. Nekoliko razliitih mehanizama
kao to su mehaniki, termiki, hemijski i mogui elektrini efekti mogu imati
uticaja na habanje dijamanata. Meutim najvei uticaj na mehanizam habanja
imaju reimi obrade.
Sugano i dr. su istraivali habanje dijamantskih alata i njihov uticaj na mikro
hrapavost i mikro napone u obraenom sloju u razliitim uslovima obrade.
Njihova istraivanja su pokazala da je habanje dijamantskog alata imalo mali
uticaj na mikro hrapavost.

Godinski i dr. su pokuali da minimiziraju habanje alata pomou optimizacije

materijala alata i njegove mikrostrukture.
Uopteno mikro alati se koriste sa visokim rotacionim brzinama koje mogu
usloviti vibracione probleme. Istraivanja su pokazala da se pri mikro buenju
smanjuju sopstvene vibracije sa poveanjem aksijalne sile rezanja. Takoe je
krutost mikro alata veoma bitna pri izradi visoko preciznih delova.
Bacanje alata je jo jedan problem koji se javlja kod mikro obrada. Zbog male
vrstoe mikro alata, obrade moraju biti izvoene na mainama sa vazdunim
leajevima i zatvorenom petljom za pozicioniranje i upravljanje brzinom.
Takoe vibracije moraju biti minimizirane, a pomak mora biti upravljan na
pouzdan i kontinualan nain. Bacanje alata mora biti takoe minimizirano.
Materijal i geometrija mikro alata su krucijalni faktor zbog ogranienja vezanih za
njihove dimenzije
REZNI FLUIDI KOJI SE KORISTE KOD MIKRO OBRADA
Klasini plavni dovod reznog fluida uopte nije pogodan za primenu kod mikro
obrada iz dva razloga.
Prvi razlog: Pritisak protoka maziva moe uticati na ponaanje reznog alata.
Drugi razlog: ak i u sluaju zanemarljivo malog protoka ili odgovarajueg
upravljanja protokom, uklanjanje vika radnog fluida je izazov posle mikro
obrada.
Iz tih razloga potrebna je posvetiti posebnu panja podmazivanju, hlaenju i
transportu strugotine u toku mikro obrada.
Adhezija strugotine na povrini alata je mnogo manja kod MQL mikro obrade
nego kod suve mikro obrade
U poslednje vreme se koristi nekoliko nekonvencionalnih reznih fluida pri mikro
obradama.
Jedan od tih fluida je suvi led (CO2) koji je pokazao neke obeavajue rezultate pri
mikro obradama.
Pravilnom kombinacijom razdaljine mlaznice, pritiska dovoda i naina dovoda
mogu se dobiti optimalni rezultati.
Bissacco i dr. su istraivali efekat radnog fluida na tanost mikro obrada.
Komercijalno dostupne maine alatke za mikro obrade imaju pozicionu rezoluciju
od 1 nm sa visokim brojem obrtaja glavnog vretena iznad 100.000 o/min, ali se
njihova praktina tanost smanjuje sa termikom deformacijom.
Na ovom nivou malo naginjanje alata usled termike deformacije moe dovesti do
znaajnih greaka.
Aksijalna dubina rezanja se moe znaajno razlikovati zbog poveanja toplote
visokobrzinskog vretena ili stuba maine alatke.
Razlika izmeu temperatura reznog fluida i vretena moe takoe biti uzrok greki.
SVOJSTVA ELEKTRO-FIZIKIH I HEMIJSKIH PROCESA U MIKRO
OBRADAMA
Elektro-fiziki i hemijski procesi nude razliite prednosti pri mikro obradama.
Npr. ne postoji direktni mehaniki kontakt izmeu alata i obratka ( kod EDM i
ECM). Na taj nain se izbegavaju problemi kao to su elastine deformacije ,
vibracije i lom.
Druge prednosti ukljuuju njihovu fleksibilnost i kratko proizvodno vreme pri
proizvodnji malih koliina.
Prednosti koje nude individualni obradni procesi mogu biti dodatno poboljane
njihovom kombinacijom u obliku hibridnih procesa.
Elektro-fiziki i hemijski procesi pruaju reenja u proizvodnji malih i veoma
preciznih komponenti u industriji satova, mikro optici (telekomunikacije),
medicini (obrada biokompatabilnih materijala, implantata) i hemijskoj industriji
(hemijski mikro reaktori).
MIKRO EDM OBRADA

EDM obrada je jedna od obrada koja ima visok potencijal za proizvodnju

komponenti malih dimenzija. Kod ove obrade ne postoji direktan kontakt izmeu
alata (elektrode) i materijala obratka te je stoga eleminisano mehaniko
naprezanje, vibracije i problemi u vezi vibracija.
Mikro EDM je adaptacija klasine EDM obrade radi izrade mikro proizvoda (od
rupa do sloenih alata za plastiku).
Proces zahteva primenu elektroprovodljivih materijala obradaka, a tvrdoa
materijala nije bitna. Moraju se prilagoditi i proces obrade i maina alatka
zahtevima mikro obrada.
Kod ove obrade je energija pranjenja redukovana na nivo 10 -6 do 10-7 J zbog
minimalne jedinine koliine materijala koja se skida.
Na osnovu oblika elektroda koje se koriste mikro EDM se moe podeliti na
buenje, glodanje, EDM sa punom elektrodom, EDM sa icom i EDM bruenje.
Mikro EDM se primenjuje za izradu mikro alata za plastiku, za proizvodnju mikro
cevi, mikro mlaznica, ljebova, kanala, linearnih profila, sloenih 3D struktura.
Mala energija pranjenja od 0,1 J omoguava malo skidanje materijala u jednom
pranjenju sa radijusom kratera koji je manji od 2,5 m.
MEHANIZAM PROCESA MIKRO EDM OBRADA
Zbog stohastike prirode izbijanja varnica teko je objasniti mehanizam trenutnog
odnoenja materijala pri EDM obradi.
Dobro je poznato da se mehanizam odnoenja materijala kod EDM zasniva na
prenosu elektrine energije i termikom procesu.
Prenos energije jo nije dobro poznat, pogotovo kod mikro EDM obrade gde je
energija pranjenja manja od 100 J.
Kod konvencionalne EDM napon se kree oko 300 V, a struja oko 60 A, dok je kod
mikro EDM napon manji od 40 V, a struja reda mA.
KARAKTERISTIKE OBRADE
Generisanu povrinu pri EDM obradi karakterie njena topografija, hrapavost i
mikro krateri.
Topografija povrine i hrapavost zavise od veliine erodiranog kratera koji zavisi
od impulsne energije praenjenja (manja duina impulsa pranjenja generie
manji krater)
Preraeni sloj koji nastaje pri mikro EDM obradi moe biti redukovan promenom
putanje alata ili moe biti naknadno skinut upotrebom ECM ili laserske obrade.
Dubina preraenog sloja zavisi od otpora i snage elektrinog kola koji utiu na
energiju pranjenja.
Vea energija dovodi do debljeg preraenog sloja, dok manji elektrini napon
proizvodi manji krater i manju hrapavost povrine.
NEKE MOGUNOSTI MIKRO EDM OBRADA
Planetarno pomeranje alata se koristi za izradu ne krunih slepih rupa.
Mikro EDM obradom mogue je izraditi mikro rupe sa unutranjim ljebovima.
Mikro EDM obradom mogue je obraivati ne samo elektro provodljive materijale,
ve takoe i polu provodljive materijale kao to su legirani silicijum i ak
izolaciona keramika Si3N4 upotrebom elektro provodljivih prevlaka.
Primer za to je obrada mono kristalnog dijamanta na koji je nanet elektro
provodljivi sloj.
Osnosimetrini proizvodi mogu biti izraeni pomou mikro EDM obrade sa icom
sa sistemom za rotiranje obratka.
IZRADA ALATA PRIMENOM MIKRO EDM
Umesto skupih alata sa kompleksnim oblicima za izradu sloenih obradaka, mogu
se koristiti prosti cilindrini alati (uplje elektrode za buenje rupa prenika iznad
100 m) ijom se putanjem upravlja pomou multi-osnih pomaka.
Kod EDM buenja alat rotira. U sluaju da je rotacija bazirana na planetarnom
pomeranju mogu se proizvesti ne-cilindrine rupe.

Puni alati od sinterovanog tvrdog metala se koriste sa prenicima oko 50 m.

Trenutno je za izradu mikro alata iroko prihvaena i komercijalizovana metoda
mikro EDM bruenja (mogue izraditi mikro kanal irine 50 m).
MIKRO ELEKTROHEMIJSKA OBRADA ECM
U poreenju sa EDM obradom mehanizam odnoenja materijala pri ECM obradi je
dobro poznat.
Nasuprot mikro EDM obradi kod koje je prisutno habanje alata kod ECM obrade to
nije prisutno, a i povinski sloj obratka nije oteen.
Mikro ECM obrada se primenjuje za izradu hidrodinamikih leajeva, mikro
strukura od nerajueg elika, razliitih mikro elektrinih komponenti.
Dodatne prednosti ECM obrade su: nema kontakta izmeu alata i obratka, nema
formiranja hrapavih ivica, nije potrebana zavrna obrada, dobija se glatka
povrina.
U poreenju sa mehanikim mikro obradama i mikro EDM buenjem, ECM
omoguava visok odnos karakteristika mikro rupa, zbog toga to ne postoji
habanje alata.
Npr. mikro elektroda prenika oko 10 m se koristi za izradu mikro rupe prenika
15 m u tankoj elinoj ploi debljine 50 m.
Za poveanje preciznosti ECM obrade koriste se maske. Primer za to je izrada
koninih mlaznica
KVALITET OBRAENE POVRINE
Kvalitet obraene povrine kod ECM obrade zavisi od materijala obratka, tipa
elektrolita i parametara obrade.
Pri obradi legura na bazi nikla, kobalta i nerajueg elika dobijaju se manje
hrapavosti obraene povrine (Ra je od 0,13 do 0,38 m) nego pri obradi legura
na bazi gvoa i elika (Ra je od 0,63 do 1,52 m).
Materijali sa finom strukturom zrna omoguavaju bolji kvalitet obraene povrine.
Elektroliti igraju vanu ulogu u preciznom upravljanju procesa odnoenja
materijala u mikro opsegu.
Elektroliti se dele na dve kategorije: hemijski pasivni elektroliti (natrijum nitrat,
natrijumska so) i ne pasivni elektroliti koji sadre relativno agresivne
naelektrisane jone (natrijum hlorid).
Pasivni elektroliti omoguavaju bolji kvalitet obraene povrine.
ELEKTRODA/ALAT
Generalno materijal za mikro alate trebao bi da sadri hemijski inertne materijale
koji imaju dobru termiku i elektrinu provodljivost, otpornost na koroziju, dobru
krutost da bi izdrali pritisak elektrolita bez vibracija i dobru obradljivost.
Najee se koriste materijali koji sadre platinu, volfram, titanijum i legure
bakra.
Za izradu alata za ECM obradu koriste se tehnike kao hemijsko graviranje, EDM
bruenje sa icom, obrada laserom. Takoe je mogue napraviti alat i primenom
same ECM obrade.

MIKRO ULTRAZVUNA OBRADA

Mikro ultrazvuna obrada je ne-termiki, ne-hemijski i ne-elektrini proces
obrade koji se koristi za mikro obradu tvrdih materijala (staklo, keramika,
kompoziti, kvarc).
MOGUNOSTI PROCESA USM OBRADE
Geometrijske mogunosti mikro USM su testirane na buenju, izradi ljebova i 3D
obradama.
Mikro rupe sa prenicima manjim od 10 m se mogu dobiti u materijalima kao
to su silicijum ili kvarcno staklo.
Metod uniformnog habanja, koji je razvijen originalno za mikro EDM obradu
uspeno je primenjen i na mikro USM izradu 3D upljina.
IZRADA ALATA
Mikro alati za USM obradu mogu se dobiti primenom EDM bruenja sa icom.
Mikro alati sa multivrhovima mogu se dobiti pomou mikro EDM obrade.
MIKRO OBRADA LASEROM
Upotreba laserske tehnologije u preradi materijala za proizvodnju mikro proizvoda
intezivirana je u poslednjoj deceniji.
Upotreba lasera u mikro proizvodnji usko je povezana sa njihovim
karakteristikama.
Glavni parametri koji se koriste za upravljanje procesom su: talasna duina,
snaga, duina impulsa i stepen ponavljanja impulsa.
Trenutno se za mikro obrade koriste CO2, YAG laseri, titanijum safir laseri, bakarni
parni laseri.
U zavisnosti od tipa, laseri se primenjuju se za obradu irokog spektra materijala
(metali, keramika, staklo, polimeri, poluprovodnici itd.)
Minimalne dimenzije koje mogu da se dobiju zavise od talasne duine lasera i
optike koja se koristi.
Uopteno govorei manje talasne duine mogu proizvesti manje strukture, ali
takoe i kvalitet snopa i gustina snage utiu na veliinu strukture koja se
proizvodi.
U praksi su proizvedene strukture ija je dimenziona karakteristika u rangu
debljine vlasi ljudske kose.
HIBRIDNI MIKROOBRADNI PROCESI
Hibridni procesi se koriste za iskorienje zajednikog dejstva pojedinanih
procesa.
Pojedinani procesi mogu jedan i drugi direktno izvoditi skidanje materijala
(abrazivno EDM bruenje) ili omoguavati bolje uslove obrade (ultrazvuna EDM
obrada).
Pregled hibridnih procesa koji se koriste za mikro obrade dat je u tabeli koja sledi.
ULTRAZVUNA EDM OBRADA
Kod ultrazvune EDM obrade, ultrazvune vibracije se poklapaju sa pomeranjem
elektrode u toku obrade.
Vibraciono pomeranje alata ili obratka sa visokom frekvencijom prouzrokuje
turbulenciju i kavitaciju na odreenoj povrini.
Poboljana cirkulacija fluida omoguava bolje izbacivanje rastopljenog materijala
iz kratera.
Kao rezultat toga javlja se poveana proizvodnost, minimalna modifikacija
mikrostrukture materijala obratka, manje mikro pukotine, a granica zamora
materijala je poveana
Eksperimenti pokazuju da uvoenje ultrazvunih vibracija u mikro EDM obradu
omoguava poveanje efikasnosti obrade za vie do 60 puta, bez znaajnog
poveanja habanja alata.

Numerika simulacija pokazuje da se poveanje efikasnosti pripisuje jakom efektu

koji je prouzrokovan ultrazvunim vibracijama, to omoguava izvanredno
ispiranje pri mikro EDM obradi.
Komparativna analiza pokazuje da ova tehika moe dovesti do znaajnog
poveanja odnosa duine i prenika rupe u odnosu na klasino mikro EDM
buenje.
Osim toga proizvodnost obrade pri ultrazvunom mikro EDM buenju je vea 4
do 8 puta u odnosu na klasinu mikro EDM obradu.
ELEKTROHEMIJSKA MIKRO OBRADA PODRANA LASEROM
Lasersko zraenje omoguava ubrzanje elektrohemijskog procesa po nekoliko
desetina puta i lokalizovanje obrade na povrinu od nekoliko mikrona.
Talasnu duinu laserske radijacije trebalo bi izabrati na takav nain da se
minimizuje apsorbujua energija.
Na sledeoj slici je prikazana razlika izmeu oblika profila dobijenog ECM
obradom i ECM obradom podranom laserom.
Dalje poveanje u lokalizaciji dejstva lasera mogue je upotrebom impulsnog
zraenja. Slian efekat ima i poveanje protoka elektrolita.
LASEROM PODRANO ELEKTROHEMIJSKO GRAVIRANJE
Kod novije razvijenih metoda, lasersko zraenje se koristi za termohemijski
proces graviranja na povrini metala.
Lokalizovano graviranje dovodi do selektivnog skidanja materijala.
Postupak hemijskog graviranja zavisi od elektrinog polja, odnosno od polariteta.
Na sledeoj slici je prikazana super elastina mikro hvataljka izraena od nikltitanijumske legure.
ELID MIKRO BRUENJE
ELID (Electrolytic-in-Process Dressing) bruenje je proces abrazivnog bruenja
upotrebom elektrohemijskog prelivanja.
Ovaj postupak se koristi uspeno za bruenje povrina, cilindrino bruenje,
unutranje bruenje i bruenje bez iljaka.
Potencijalna primena ELID bruenja je bruenje silicijuma u poluprovodnikoj
industriji, obrada nano zavrnih povrina na teko obradljivim materijalima kao
to su staklo, keramika i biometali, u proizvodnji ne sferinih soiva i mikro alata
za plastiku.
Sistem za ELID bruenje se sastoji od tocila koje je elektrino povezano sa
materijalom, brusnog fluida i elektrinog izvora.
Na sledeoj slici je pokazan sistem za ELID bruenje.
ELID bruenje omoguava izvanredan kvalitet obraene povrine i tanost obrade
(vidi sliku)
Elektroliza redukuje habanje tocila u toku ELID bruenja.
Ova tehnika se uspeno koristi za izradu iglica (pinova) sa krajnjim prenikom od
50 mm i odnosom duine i prenika oko 30.
Mikro alati poligonalnog oblika, heksagonalnog i oktagonalnog poprenog preseka
takoe se mogu izraditi ovim postupkom (vidi sliku).
Mikro alati od tvrdog metala oblika kruga, kvadrata, zaobljenog kvadrata,
pravougaonika i elipse takoe mogu biti izraeni ovim postupkom.
Iskustva pokazuju jasnu i koliinsku vezu izmeu kvaliteta obraene povrine i
mehanike vrstoe.
ELID bruenje sa kupastim tocilima se koristi za bruenje sferinih ogledala, koja
su komponente visoko rezolucionih video sistema.
LIGA OBRADA
LIGA-kombinacija litografije, galvanskog oblikovanja i kalupljenja (postupak je
razvijen u Karslure laboratoriji u Nemakoj za potrebe poluprovodnike industrijeprof. Ehrfeld kasnih 70-tih))
LIGA postupak se pokazao kao posebno pogodan za izradu mikro proizvoda.

Izvodi se u nekoliko koraka: ozraivanje, razvijanje, galvansko preoblikovanje i

kalupljenje.
Za izradu kalupa se obino koristi odreena vrsta zraenja (rendegenski zraci, UV
zraci) tokom litografije, te postupak galvanskog preoblikovanja kojim se dobija
oblik mikro kalupa.
LIGA postupkom se mogu obraivati razliiti metali, legure, polimerni materijali i
keramika.
Litografijom se generie primarna mikrostruktura, galvanskim oblikovanjem se
proizvodi mikrostruktura u metalu, a kalupljenjem se proizvodi sekundarna
mikrostruktura u polimeru, metalu, kramici...
Postupak je pogodan za velikoserijsku proizvodnju proizvoda submikronskih
dimenzija uz zadovoljavajuu tanost i preciznost.
Ovim postupkom se izrauju npr. delovi razliitih mikro motora i mikro pogona,
satnih mikro mehanizama, mikro optikih ureaja, optikih senzora itd.
Veliina izraenih predmeta kree se od nekoliko mikrona do nekoliko milimetara.
Hrapavost obraene povrine iznosi 100 nm.
Nedostaci LIGA procesa su: skup veliki izvor X zraka i potrebno je veliko vreme za
ozraivanje.