3 - D i m e n s i o n a l A n a l y s i s o n t h e GID L C u r r e n t o f B o d y - t i e d T r i p l e Ga t e Fi n FET

Hy u n - So o k B y u n , Wo n - So k Le e , J i n - Wo o Le e * , Ke u n - Ho Le e ,
Yo u n g- kwa n P a r k, J e o n g- T a e k Ko n g
C A E T e a m , A d v a n c e d T e c h n o l o gy D e v e l o p m e n t * , Me m o r y D i v i s i o n ,
Se m i c o n d u c t o r B u s i n e s s , Sa m s u n g El e c t r o n i c s c o . , LT D .
Sa n # 1 6 B a n wo l - R i , T a e a n - Eu p , Hwa s u n g- C i t y , Gy e o n ggi - D o , 4 4 9 - 7 1 1 , Ko r e a
( E- m a i l : h y u n s o o k. b y u n @ s a m s u n g. c o m )
A b s t r a c t - T r i p l e ga t e Fi n FET i s e m e r gi n g a s a
p r o m i s i n g c a n d i d a t e f o r t h e f u t u r e C MOS d e v i c e
s t r u c t u r e s b e c a u s e o f i t s i m m u n i t y t o s h o r t - c h a n n e l e f f e c t .
Ho we v e r , t h e s u p p r e s s i o n o f GID L i s a s i gn i f i c a n t
c h a l l e n ge f o r i t s a p p l i c a t i o n .
In t h i s p a p e r , we d i s c u s s t h e c h a r a c t e r i s t i c s o f GID L
o n Fi n FET a n d e x t e n s i v e l y a n a l y z e t h e i n f l u e n c e o f t h e
d e v i c e t e c h n o l o gy o n GID L. T h e a n a l y s i s i s e x p e c t e d t o
gi v e gu i d e l i n e s t o t h e f u t u r e d e v e l o p m e n t o f t r i p l e ga t e
Fi n FET
1 . INT R OD UC T ION
A s t h e c h a n n e l l e n gt h o f t h e C MOS i s s c a l i n g d o wn
t o wa r d s 1 0 n m , t h e s u p p r e s s i o n o f s h o r t c h a n n e l e f f e c t h a s
b e c o m e m o r e i m p o r t a n t . In t h i s r e s p e c t , Fi n FET b e c o m e s
t h e m o s t a t t r a c t i v e d e v i c e s t r u c t u r e d u e t o i t s s u p e r i o r
c h a n n e l c o n t r o l l a b i l i t y a n d h i gh p e r f o r m a n c e
c h a r a c t e r i s t i c s o v e r t h e c o n v e n t i o n a l t r a n s i s t o r [ 1 ] .
Es p e c i a l l y , b o d y - t i e d t r i p l e ga t e Fi n FET h a s a d v a n t a ge s
i n h e a t d i s s i p a t i o n , wa f e r c o s t , a n d d e f e c t d e n s i t y
c o m p a r e d t o SOI Fi n FET [ 2 ] . Ho we v e r , i t i s c o n s i d e r e d
t h a t GID L i s d e t e r i o r a t e d i n a Fi n FET s t r u c t u r e [ 3 ] . In
p a r t i c u l a r , t h e l e a ka ge c u r r e n t h a s a p r o m i n e n t i m p a c t o n
m e m o r y c e l l a p p l i c a t i o n wh e r e Fi n FET i s c o n s i d e r e d a s
t h e m o s t s u i t a b l e d e v i c e s t r u c t u r e .
In t h i s wo r k, t h e c h a r a c t e r i s t i c s o f GID L o n b o d y - t i e d
t r i p l e - ga t e Fi n FET h a v e b e e n i n v e s t i ga t e d a n d t h e
c o n d i t i o n s t o m i n i m i z e GID L a r e p r o p o s e d u s i n g 3 D
d e v i c e s i m u l a t i o n .
2 . Le a ka ge C h a r a c t e r i s t i c s o f Fi n FET
A s t h e d e v i c e s c a l e s , t h e l e v e l o f c h a n n e l d o p i n g h a s
b e e n i n c r e a s e d t o r e d u c e t h e s h o r t c h a n n e l e f f e c t s .
T h e r e f o r e , t h e e l e c t r i c f i e l d o f t h e j u n c t i o n h a s b e e n
c o n s i d e r a b l y i n c r e a s e d ; t h u s , j u n c t i o n l e a ka ge i s a m a j o r
c o m p o n e n t o f o f f - s t a t e l e a ka ge c u r r e n t .
In c o n t r a s t , Fi n FET s h o ws GID L- d o m i n a n t
c h a r a c t e r i s t i c s i n s e v e r a l r e s p e c t s . Fi r s t l y , a t h i n b o d y
d e v i c e s u c h a s Fi n FET s h o ws v e r y l o w t h r e s h o l d
v o l t a ge ( OV ) wi t h n - t y p e ga t e ( Fi g. 1 ) . T h u s t h e
a p p l i c a t i o n o f p - t y p e ga t e i s n e c e s s a r y i n o r d e r t o i n c r e a s e
t h e t h r e s h o l d v o l t a ge . T h i s r e s u l t s i n e n h a n c e d B T B T a s
s h o wn i n Fi g 2 . Se c o n d l y , t h e r e i s f i e l d c r o wi n g e f f e c t
i n d u c e d b y t r i p l e ga t e a r o u n d t h e f i n . In a d d i t i o n , t h e
j u n c t i o n l e a ka ge i s r e d u c e d b y t h e a p p l i c a t i o n o f l o w
b o d y d o p i n g wh i c h m a ke s t h e GID L a m a j o r l e a ka ge
m e c h a n i s m i n Fi n FET . Ou r p r e l i m i n a r y s i m u l a t i o n ,
r e f l e c t i n g t h e s c a l i n g t r e n d , r e v e a l s t h a t GID L wo u l d b e
m o r e s e v e r e wi t h t h e f u r t h e r s c a l i n g ( Fi g 3 ) .
C o n s e q u e n t l y , t h e b i gge s t o b s t a c l e i n t h e Fi n FET
a p p l i c a t i o n a n d f u t u r e s c a l i n g i s t h e i m p a c t o f GID L,
wh i c h s h o u l d b e ke p t l o w wi t h t h e a d v a n c e d s t r u c t u r e s
a n d p r o c e s s o p t i m i z a t i o n .
4 0
a )
L.
0
1 0 - 5
1 0 - 6
I
1 0 - 7
1 0 - 8
1 0 - 9
l o - l o
1 o - 1 1
1 o - 1 2
1 0 - 1 3
- 0 . 5 0 . 0 0 . 5 1 . 0 1 . 5 2 . 0
Ga t e V o l t a ge ( V )
Fi g. 1 . C o m p a r i s o n o f m e a s u r e d Id - V g c h a r a c t e r i s t i c s b e t we e n t r i p l e
ga t e Fi n FET a n d p l a n a e r t r a n s i s t o r . SC E i s i m p r o v e d wi t h Fi n FET ,
h o we v e r , t h r e s h o l d v o l t a ge d r o p i s s e v e r e wi t h t h e s a m e n - t y p e ga t e .
Ga t e Si O2 Si
___Ec
, -
- - -
Ei
Ev
n - t y p e ga t e
B T B T
ge n e r a t i o n
p - t y p e ga t e
Fi g. 2 . En e r gy b a n d d i a gr a m s f o r n - t y p e a n d p - t y p e ga t e a p p l i c a t i o n s .
B T B T i s e n h a n c e d wi t h t h e p - t y p e ga t e a t t h e s a m e n e ga t i v e ga t e b i a s
d u e t o t h e b u i l t - i n p o t e n t i a l d i f f e r e n c e .
1 - 4 2 4 4 - 0 4 0 4 - 5 / 0 6 / $ 2 0 . 0 0 2 0 0 6 IEEE SISP A D 2 0 0 6 2 6 7
9 . 6 E- 4 1 9
3 . 9 E; 1 4
1 . 6 E4 1 4
- 4 OE- 4 1 9
- 1 . 0 E4 2 5
3 . C o m p a r i s o n o f m e a s u r e d Id - V g c h a r a c t e r i s t i c s b e t we e n t r i p l e ga t e
Fi n FET a n d p l a n a e r t r a n s i s t o r . SC E i s i m p r o v e d wi t h Fi n FET , h o we v e r ,
t h r e s h o l d v o l t a ge d r o p i s s e v e r e wi t h t h e s a m e n - t y p e ga t e .
3 . D e v i c e Si m u l a t i o n f o r GID L Es t i m a t i o n
T o e v a l u a t e t h e GID L, we u s e d Hy Sy P r o s [ 4 ] f o r t h e
p r o c e s s s i m u l a t i o n a n d D ESSIS [ 5 ] f o r t h e d e v i c e
s i m u l a t i o n o f 3 D Fi n FET . T r a p - a s s i s t e d t u n n e l i n g / b a n d -
t o - b a n d t u n n e l i n g m o d e l a r e a p p l i e d f o r t h e GID L
a n a l y s i s .
In t h i s s t u d y , c h a n n e l i m p l a n t a t i o n ( IIP ) , s o u r c e / d r a i n
l IP , d o p i n g l e v e l o f t h e s o u r c e / d r a i n c o n t a c t , f i n t h i c kn e s s ,
ga t e l e n gt h / s p a c e r a n d SEG( Se l e c t i v e Ep i t a x a l Gr o wt h )
a r e i n v e s t i ga t e d t o a n a l y z e t h e i n f l u e n c e o n GID L.
4 . IMP A C T ON GID L IMP R OV EMENT
A . Im p l a n t a t i o n En gi n e e r i n g
Fi g. 4 s h o ws t h e d o p i n g c o n c e n t r a t i o n a n d GID L
c u r r e n t a c c o r d i n g t o t h e c h a n n e l IIP a n d s o u r c e / d r a i n IIP .
T h e GID L c u r r e n t c a n b e r e d u c e d t o s o m e d e gr e e b y
d e c r e a s i n g j u n c t i o n e l e c t r i c f i e l d wi t h l o w c h a n n e l d o p i n g
a n d a p p l i c a t i o n o f s o u r c e / d r a i n IIP . Ho we v e r , a s s h o wn i n
Fi g. 4 , t h e o m i s s i o n o f c h a n n e l IIP a n d i r r e l e v a n t
s o u r c e / d r a i n IIP c a n i n c r e a s e t h e s h o r t - c h a n n e l
e f f e c t ( SC E) s u c h a s t h r e s h o l d v o l t a ge d r o p a n d D IB L.
T h e r e f o r e , t h e d o p i n g l e v e l s h o u l d b e s e l e c t e d c a r e f u l l y
u s i n g d e v i c e s i m u l a t i o n r e ga r d i n g t h e c h a n n e l a n d
s o u r c e / d r a i n IIP . Fi g. 5 s h o ws t h e B T B T p r o f i l e i n t e r m s
o f s o u r c e / d r a i n c o n t a c t c o n c e n t r a t i o n . T h e c h a r a c t e r i s t i c s
o f GID L a n d SC E h a v e b e e n i m p r o v e d a t t h e s a m e t i m e
a s ga t e / d r a i n o v e r l a p r e gi o n d e c r e a s e s b y l i gh t l y d o p e d
s o u r c e / d r a i n c o n t a c t . T h e r e f o r e , t h e d o p i n g c o n c e n t r a t i o n
o f c o n t a c t s h o u l d b e m i n i m i z e d i f i t d o e s n o t d e gr a d e t h e
p e r f o r m a n c e s e v e r e l y .
( b )
Fi g. 4 . T h e r e d u c t i o n o f c h a n n e l IIP a n d a p p l i c a t i o n o f s o u r c e / d r a i n IIP
i s e f f e c t i v e f o r t h e GID L r e d u c t i o n . Ho we v e r , SC E c a n b e e n h a n c e d b y
t h e s e i m p l a n t a t i o n e n gi n e e r i n g. ( a ) D o p i n g p r o f i l e a n d GID L c u r r e n t a s
a f u n c t i o n o f c h a n n e l IIP . ( b ) D o p i n g p r o f i l e a n d GID L c u r r e n t a s a
f u n c t i o n o f s o u r c e / d r a i n IIP .
1 E- 1 4 1
- 6 . 8 - . 6 - 6 . 4 - 6 . 2 0 . 0 0 . 2
V gM
Fi g. 5 . T h e r e d u c t i o n o f s o u r c e / d r a i n c o n t a c t c o n c e n t r a t i o n c a n
s u p p r e s s GID L a n d SC E a t t h e s a m e t i m e . A p p r o p r i a t e t r a d e - o f f
b e t we e n p e r f o r m a n c e a n d GID L i s i m p o r t a n t f o r t h e s e l e c t i o n o f t h e
d o p i n g l e v e l .
B . St r u c t u r e En gi n e e r i n g
Fi g. 6 s h o ws t h a t GID L i s d e c r e a s i n g wi t h t h e t h i n n e r
f i n t h i c kn e s s . Ea r l i e r 2 D s i m u l a t i o n o n a d o u b l e ga t e
t r a n s i s t o r r e p o r t s t h a t GID L d e c r e a s e s i n t h e t h i n n e r f i n
t h i c kn e s s d u e t o t h e r e d u c t i o n o f t r a n s v e r s e e l e c t r i c f i e l d
[ 6 ] . In o u r 3 D s i m u l a t i o n o f t r i p l e ga t e Fi n FET a l s o
r e v e a l s t h a t t r a n s v e r s e e l e c t r i c f i e l d ( y - a x i s ) c a n b e
d e c r e a s e d . Ho we v e r , e l e c t r i c f i e l d s o f o t h e r d i r e c t i o n s ,
wh i c h a l s o c o n t r i b u t e t o GID L, a r e n o t d e c r e a s e d . Fi g.
6 ( c ) s h o ws t h a t B T B T i s ge n e r a t e d a t t h e c e n t e r o f f i n a s
we l l a s t h e s u r f a c e . T h i s i n d i c a t e s t h a t t h e r e d u c t i o n o f
GID L i n t h e t h i n n e r f i n i s a t t r i b u t e d t o t h e r e d u c t i o n o f
GID L ge n e r a t i o n r e gi o n .
1 E- 1 2 -
' a
1 E- 1 3 -
- 0 . 8
- 0 . 6 - 0 . 4 - 0 . 2 0 . 0 0 . 2
V gM
( a )
- 0 . 6 - 0 . 4 - 0 . 2
V gM
( a )
0 . 0 0 . 2
1 - 4 2 4 4 - 0 4 0 4 - 5 / 0 6 / $ 2 0 . 0 0 2 0 0 6 IEEE
- i - Fi n = 4 0 n m
- o - Fi n = 3 0 n m
/ 1
- A - Fi n = 2 0 n m
4 Fi n = 1 On m
I~ ~ ~ ~ ~ ~
SISP A D 2 0 0 6 2 6 8
( b )
( a )
( c )
( b )
Fi g. 6 . ( a ) GID L d e c r e a s e s a s t h e f i n t h i c kn e s s r e d u c e s . ( b )
T r a n s v e r s e e l e c t r i c f i e l d ( y - a x i s ) h a s b e e n d e c r e a s e d , b u t , t h e o t h e r
e l e c t r i c f i e l d s d o e s n o t d e c r e a s e i n t h i n n e r f i n . ( c ) GID L i s d e c r e a s e d a s
t h e B T B T ge n e r a t i o n r e gi o n r e d u c e s .
In Fi g. 7 t h e s p a c e r t h i c kn e s s i s i n c r e a s e d a n d ga t e
l e n gt h i s d e c r e a s e d t o e n s u r e t h e c o n t a c t o p e n s i z e . T h e
r e s u l t s h o ws t h a t GID L c a n b e i m p r o v e d wh e n t h e ga t e
l e n gt h d e c r e a s e s a n d t h e s p a c e r t h i c kn e s s i n c r e a s e s . T h i s
i s o wi n g t o t h e r e d u c t i o n o f o v e r l a p r e gi o n b e t we e n ga t e
a n d d r a i n . T o m a x i m i z e t h e r e d u c t i o n o f t h e o v e r l a p
r e gi o n , we a p p l i e d t h e SEG a s s o u r c e a n d d r a i n c o n t a c t s .
T h e ge n e r a t i o n r e gi o n o f t h e B T B T m o v e s t o d r a i n s i z e
a n d GID L i s r e d u c e d b y m o r e t h a n 1 o r d e r . In t h i s s t u d y ,
t h e a p p l i c a t i o n o f SEG i s t h e m o s t e f f e c t i v e wa y t o
s u p p r e s s GID L. Ho we v e r , t h e d e gr a d a t i o n o f p e r f o r m a n c e
n e e d t o b e i m p r o v e d . ( Fi g. 8 )
- U-
Lg/ s p a c e r = 3 5 I2 5
- 0 - Lg/ s p a c e r = 4 5 I2 0
- 0 . 8 - 0 . 6 - 0 . 4 - 0 . 2 0 . 0 0 . 2
V gM
( a )
: 0
1 E- 5
1 E- 7
1 E- 9
1 E- 1 1
1 E- 1 3 -
1 E- 1 5 .
1 E- 1 7
- u - R e f . ~
- o - SEG
- A -
Op t i m i z e d
1
- 0 . 5 0 . 0 0 . 5 1 . 0
v gl [ V
( C )
Fi g. 8 . Im p l e m e n t a t i o n o f SEG p r o c e s s a n d IIP o p t i m i z a t i o n c a n r e d u c e
GID L b y m o r e t h a n 3 o r d e r s . ( a ) d o p i n g p r o f i l e , ( b ) B T B T ge n e r a t i o n
r a t e , a n d ( c ) Id - V g c h a r a c t e r i s t i c s .
T a b l e . 1 . C o m p a r i s o n o f e l e c t r i c a l c h a r a c t e r i s t i c s .
V t h GID L
It e m Io n D IB L SW
@ Id l e - 0 8
@ V g- 0 . 4
No _SEG 0 . 5 2 9 3 . 0 e - 0 5 9 9 8 0 9 . 1 e - 1 3
SEG 0 . 6 5 4 8 . 8 6 e - 0 6 2 1 7 2 3 . 4 9 e - 1 4
Op t i m i z e d C o n d i t i o n 0 . 5 4 5 1 . 5 1 e - 0 5 7 4 8 2 7 . 8 7 e - 1 6
( b )
Fi g. 7 . D e c r e a s e d ga t e l e n gt h a n d i n c r e a s e d s p a c e r t h i c kn e s s c a n
d e c r e a s e t h e o v e r l a p r e gi o n b e t we e n ga t e a n d d r a i n . T h e r e f o r e , e l e c t r i c
f i e l d a n d GID L ge n e r a t i o n r e gi o n c a n b e r e d u c e d . ( a ) s h o ws B T B T
ge n e r a t i o n r a t e a n d ( b ) s h o ws Id - V g c h a r a c t e r i s t i c s .
5 . OP T IMIZA T ION OF P R OC ESS A ND
ST R UC T UR E
On t h e b a s i s o f e a r l i e r a n a l y s i s o f p r o c e s s a n d s t r u c t u r e
d e p e n d e n c y o n GID L, we h a v e o p t i m i z e d t h e t r i p l e ga t e
Fi n FET t e c h n o l o gy . Ef f e c t i v e f a c t o r s s u c h a s SEG,
1 - 4 2 4 4 - 0 4 0 4 - 5 / 0 6 / $ 2 0 . 0 0 2 0 0 6 IEEE
Fi n
1 On m 2 0 n m 3 0 n m
t h i c kn e s s
y E- f i e l d 2 . 9 9 e 5 5 . 4 8 e 5 5 . 6 3 e 5
[ V / c m ]
T o t a l E- f i e l d 2 . 1 3 e 6 2 . 0 7 e 6 1 . 9 4 e 6
[ V / c m ]
SISP A D 2 0 0 6 2 6 9
i n c r e a s e o f s p a c e r t h i c kn e s s , l i gh t l y d o p e d c o n t a c t , a n d
s o u r c e / d r a i n IIP a r e a p p l i e d . Wi t h t h e a p p l i c a t i o n o f
s o u r c e / d r a i n IIP , t h e l a t e r a l e l e c t r i c f i e l d i s r e d u c e d a n d
t h e p e r f o r m a n c e d e t e r i o r a t i o n c a u s e d b y t h e SEG i s
r e s t o r e d t o s o m e d e gr e e ( Fi g. 8 ) . A s s h o wn i n t a b l e l ,
GID L i s r e d u c e d m o r e t h a n 3 o r d e r s , wh i c h f a l l s i n t h e
r a n ge o f p r a c t i c a l a p p l i c a t i o n . In t h e p r o c e s s o f
o p t i m i z a t i o n , s e v e r a l f a c t o r s s u c h a s t h e t h r e s h o l d v o l t a ge ,
o n - c u r r e n t , o f f - s t a t e l e a ka ge s h o u l d b e c o n s i d e r e d a t t h e
s a m e t i m e . B y v i r t u e o f 3 D d e v i c e s i m u l a t i o n , we c a n f i n d
t h e o p t i m a l p r o c e s s a n d s t r u c t u r e c o n d i t i o n s wh i c h c a n b e
u t i l i z e d t o t h e a p p l i c a t i o n o f t r i p l e ga t e Fi n FET .
6 . C ONC LUSIONS
T h e c h a r a c t e r i s t i c s o f GID L o n b o d y - t i e d t r i p l e ga t e
Fi n FET h a v e b e e n i n v e s t i ga t e d u s i n g 3 D d e v i c e
s i m u l a t i o n . In o r d e r t o s u p p r e s s GID L, l i gh t l y d o p e d
s o u r c e / d r a i n c o n t a c t , r e d u c e d f i n t h i c kn e s s , i n c r e a s e d
s p a c e r t h i c kn e s s , a n d SEG p r o c e s s a r e p r e f e r a b l e .
P a r t i c u l a r l y , wh e n e f f e c t i v e c o n d i t i o n s a r e o p t i m i z e d wi t h
t h e SEG p r o c e s s , t h e GID L c a n b e i m p r o v e d b y m o r e
t h a n 3 o r d e r s , wh i c h m a ke i t p o s s i b l e t o a p p l y t h e Fi n FET
i n l o w- p o we r a n d m e m o r y c e l l a p p l i c a t i o n .
7 . R EFER ENC ES
[ 1 ] Me i ke i l e o n g, H- S P h i l i p Wo n g, Ed wa r d No wa k,
J a ku b Ke d z i e r s ki , Er i n C . J o n e s , " Hi gh P e r f o r m a n c e
D o u b l e - Ga t e T e c h n o l o gy C h a l l e n ge s a n d
Op p o r t u n i t i e s , " i n P r o c . ISQ ED , Ma r . 2 0 0 2 .
[ 2 ] Ky o u n g- R o k Ha n , B y u n g- Gi l C h o i , a n d J o n g- Ho Le e ,
" D e s i gn C o n s i d e r a t i o n o f B o d y - T i e d Fi n FET s ( 0
MOSFET s ) Im p l e m e n t e d o n B u l k Si Wa f e r s , " J o u r n a l
o f Se m i c o n d u c t o r T e c h n o l o gy a n d Sc i e n c e , V o l . 4 ,
NO. 1 , p p . 1 2 - 1 7 , Ma r c h , 2 0 0 4 .
[ 3 ] Ka t s u h i ko T a n a ka , Ki y o s h i T a ke u c h i , a n d Ma s a m i
Ha n e , " P r a c t i c a l Fi n FET d e s i gn C o n s i d e r i n g GID L
f o r LST P ( Lo w St a n d b y P o we r ) D e v i c e s , " i n P r o c .
IED M, D e c . 2 0 0 5 .
[ 4 ] Hy Sy P r o s Us e r ' s Ma n u a l v e r . 3 . 0 , SELET E, 2 0 0 4 .
[ 5 ] In t e gr a t e d Sy s t e m s En gi n e e r i n g, SYNOP SYS T C A D
R e l e a s e 1 0 . 0 , 2 0 0 5 .
[ 6 ] Ya n g- Ky u C h o i , D a e wo n Ha , T s u - J a e Ki n g a n d
J e f f r e y B o ko r , " In v e s t i ga t i o n o f Ga t e - In d u c e d D r a i n
Le a ka ge ( GID L) C u r r e n t i n T h i n B o d y D e v i c e s :
Si n gl e - ga t e Ul t r a - T h i n B o d y , Sy m m e t r i c a l D o u b l e -
ga t e , a n d A s y m m e t r i c a l D o u b l e - ga t e MOSFET s , " J p n .
J . A p p l . P h y s . , V o l . 4 2 , p p . 2 0 7 3 - 2 0 7 6 . 2 0 0 3 .
1 - 4 2 4 4 - 0 4 0 4 - 5 / 0 6 / $ 2 0 . 0 0
2 0 0 6 IEEE SISP A D 2 0 0 6 2 7 0