Mikroaktuatori

MEMS aktuatori
Mikro-elektro-mehaniki sistemi (MEMS) predstavljaju integraciju mehanikih elemenata, senzora, aktuatora i elektronike na zajednikom silicijumskom supstratu primenom tehnologija mikromehanike. Dok se standardna proizvodnja elektronskih ureaja temelji na integralnim kolima, odnosno tehnologijama mikroelektronike za njihovu izradu (npr. CMOS, bipolarni ili BICMOS procesi), mikromehanike komponente se proizvode koricenjem kompatibilnih mikromehani~kih procesa koji selektivno nagrizaju delove silicijumskih podloga (wafer-a) ili dodaju nove strukturalne slojeve za formiranje mehanikih i elektromehanikih ureaja.

Tipovi MEMS aktuatora

Elektrostatiki aktuator
mala gustina sile, ogranien broj stepeni Frekvencija [Hz] slobode (DOF), jednostavni za proizvodnju. Debljina: Elektrostatiki TMA 10m~mm 10m~mm

Piezo aktuator
100,000 mali pomaci usled delovanja sile, obnovljiva proizvodnja. 10,000

Piezoelektrini 1~10m Elektromagnetni 1~10mm

Elektromagnetni
sloena proizvodnja.

piezo

Elektrotermalni
mali propusni pojas, visok iznos sile, jednostavna proizvodnja.

1000

elektrostatiki

100

termomehaniki elektromagnetni Sila [N] 1000 10,000

1 1 10 100

MEMS korani motor

Motor je veoma slian standardnim koranim motorima, izuzev to je dvodimenzionalan (2D) i veoma mali.

MEMS slojevi (nivoi)

Potencijalna sloenost MEMS ureaja poveava se eksponencijalno sa brojem procesnih karakteristika i pojedinanih strukturalnih slojeva.

MEMS parna maina (vieklipna)

Voda unutar tri kompresijska cilindra se zagreva pomou elektrine struje i isparava, izbijajui klip. Kada se prekine dotok struje, kapilarne sile uvlae klip.

MEMS rotacioni motor i parna maina

Rotacioni motor

Parna maina (jedan klip)

MEMS prenosni mehanizam

Planarni prenosni mehanizam sa 6 zupanika.

MEMS mikroturbina

80 W gasna turbina projektovana i izgraena na MIT-u za MEMS energetske aplikacije.

Tipovi piezo aktuatora

Piezo aktuator kao mikro zvunik
Bimorfna struktura Piezoelektrik

Metal

Tipovi piezo aktuatora

Piezoelektrini nanopozicioner
Piezo filmovi na MEMS ureajima omoguuju nanometarsko pozicioniranje.

Tipovi piezo aktuatora

Mikro aktuator za makro sisteme
Jake sile omoguuju piezoelektrinim mikro aktuatorima da se koriste za pogonjenje makro objekata (npr. avion).

Primeri upotrebe piezoelektrinih aktuatora

Ultrazvuna sonda piezoelektrini efekat.

Primeri upotrebe piezoelektrinih aktuatora

Mikrohirurki aktuatori kao delovi mikrohirurkih instrumenata i u teleoperacionim i telehirurkim sistemima.

Tipovi elektrostatikih aktuatora Aktuator u obliku elja

Aktuator u obliku elja

Aktuator u obliku elja

Sila je konstantna i ukupni pomak je manji od pomaka koji bi se dobio neposrednom aktuacijom. Pokretni deo je elastino oslonjen na supstrat tako da nema nikakvog trenja. Tipina vrednost ovih aktuatora, dobijenih povrinskom obradom, iznosi 10 m, a ostvarena sila 10N.

Aktuator u obliku elja

Primer MEMS aktuatora u obliku elja.

Aktuator u obliku elja

Primer MEMS aktuatora u obliku elja.

Rotacioni elektrostatiki motor

Elektrostatiki rotacioni motor pogonjen promenjivim naponom koji se dovodi sukcesivno na vrhove. Nastalo rotaciono elektrostatiko polje vue za sobom rotor.
Koristi slobodno oslonjeni rotor okruen kapacitivnim ploama. Prvi rotacioni elektrostatiki mikroaktuator napravljen 1989 godine sa precnikom 60-120 m i brzinom 500 obrtaja/minuti. Problem je bilo trenje na kliznoj povrini. Ova sila trenja je postojala ak i kada su nanoeni tanki filmovi silicijum nitrata sa ciljem njenog smanjivanja.

Rotacioni elektrostatiki motor

Kasnija unapreenja (1990.) omoguila su postizanje brzina od 15000 o/min i neprekidan rad u trajanju vie od nedjelju dana. Meutim i dalje je ostao problem trenja. Jedno od rjeenja je bila zamena klizeeg kontakta kotrljajuim tzv. wobble motor. Njegov rotor je glatki prsten koji, koristei elektrostatiko privlaenje, ekscentrino rotira bez kliznog kontakta sa osovinom.

wobble motor

Rotacioni elektrostatiki motor

S obzirom da je obim otvora rotora malo vei od obima osovine rotor se zapravo okrene za neto vie od jednog kruga po zavrenom ekscentrinom okretu. Time se smanjuje trenje ali i postie vei obrtni momenat na manjim brzinama. Danas: brzina obrtanja do 300.000 obrtaja/minut (kod linearnih motora brzina do 1 mm/s). Napon do 300 V.

Rotacioni elektrostatiki motor

Elektrostatiki rotacioni motor.

Popreni presek motora

Rotacioni elektrostatiki motor

Elektrostatiki aktuatori (motori) se proizvode primenom tehnika povrinskog mikromainstva.

Primena elektrostatikih aktuatora

500 m elektrostatiki mikromotor

Primena elektrostatikih aktuatora

Prekida kao elektrostatiki aktuator. Elektrostatika sila moe zatvoriti mikroprekida.

Elektromagnetni aktuatori
Prvi mikromagnetni aktuator je proizveden 1991. godine. To je verzija varijabilnoreluktantnog koranog motora sa istaknutim polovima na rotoru.

Elektromagnetni aktuatori
Elektromagnetni varijabilnoreluktantni korani motor proizveden 1994. godine razvijao je 150.000 obrtaja u minuti. Motor koristi integrisane namotaje i fotodiodni enkoder na osovini. Veliina rotora je 100 m i statora 150 m.

Elektromagnetni aktuatori
Mikroelektromagnetne motore je teko proizvesti jer se zahtevaju mikronamotaji.

Namoti na motoru.

Mikrofabriki namoti tehnologija mikronamota.

Elektromagnetni aktuatori
Mikronamotaji

6.800 namotaja (mikro) na statorskim polovima.

Primer elektromagnetnih aktuatora

XYZ skener za aplikacije u sondama. Performanse: 100x100x10 m/ rezonancija na 61Hz.

Podela termalnih aktuatora Aktuatori koji koriste efekte toplotnog irenja ili su pogonjeni toplotnom energijom: Termoelastini aktuatori. Termalno bimorfni aktuatori. Bimorfni elektrotermalni aktuatori. Termalni pneumatski ventili. Memorijski oblikovani aktuatori.

Termoelastini aktuatori
Elektro-toplotno-mehaniki efekti. Aktuacija (kretanje) zasnovano na toplonom irenju krutog tela.

+U

Sila (izlaz)

Elastina poluga

Kotve

Kruta poluga

-U

Termoelastini aktuatori Elastina poluga se zagreva T (temperatura) raste toplotno irenje kretanje poluga (generie se sila za obavljanje rada). Izvor zagrevanja (toplote): elektrina struja (Joule/Ohm toplota). Verzije aktuatora s jedim ili vie pari poluga (ruku). Veoma precizno upravljanje pomacima (rezolucija 10 nm). Dizajn ovih aktuatora se uopteno ne koristi u praksi jer je malena izlazna sila naspram veliine sistema.

Primer termoelastinih aktuatora

Primer: toplotni aktuator u obliku slova V

Termalno bimorfni aktuatori

Toplotni aktuator sa paralelnim polugama. Takoe koristi princip toplotnog irenja, ali za razliku od termoelastinih aktuatora razvija vee sile. Koristi poluge razliitih debljina za generisanje kretanja. Elektrina struja protie kroz celu strukturu raste T vrue poluge vrua poluga se iri (zakrivljuje) veliki toplotni udar diferencijal udara uzrokuje deflekciju.
Kotva Savitljivi deo Hladna poluga (debela) Pravac kretanja (izlazna sila)

+ +

Vrua poluga (tanka)

Paralelne poluge

Termalno bimorfni aktuatori

Veoma efikasni, proizvode velike sile po jedinici povrine.
Aktuator se translira u ovom smeru

Hladna poluga

Vrua poluga

Kaskada termalnih aktuatora za velike sile.

Termalno bimorfni aktuatori

Primer termalno bimorfnih aktuatora

Toplotno pogonjeni elektrini prekidai

Bimorfni elektrotermalni aktuatori

Aktuator u obliku sendvia dva ili vie sloja (materijala) sa razliitim koeficijentima toplotnog irenja i unutranjeg elektrinog zagrevanja.
pomak

Bimorfni elektrotermalni aktuatori

Aktivno kretanje kada se zagrevaju unutranjim elektrinim greaem.
Smer aktuacije

Metalni grea (zlato+nikl)

Termalni pneumatski ventili

Njihov rad se zasniva na promeni volumena tecnosti usled zagrevanja (tecnosti >> krutog tela). Zahtijeva da greja (toplotni (termo) otpornik) bude ugraen u supstrat. Elektrina struja zagreva element temperatura fluida raste poveava se pritisak fluida elastina membrana se gura prema gore.
Fleksibilna membrana

Tok fluida

Greja

Tecnoscu napunjena komora

Termalni pneumatski ventili

Fleksibilne membrane deluju kao ventili koji regulu protok fluida.

Silicijumska membrana pre i nakon toplotne deflekcije

Memorijski oblikovani aktuatori Neki materijali (npr. NiTi) moe se povratiti u poetno stanje nakon velikih deformacija sa toplotno indukovanom faznom transformacijom. Niska T: deformacija Zagrevanje iznad kritine T: povratak u originalno stanje. Velika gustina energije (ali sporo promenjiva).

Zagrevanje (elektrina struja)

Sobna temperatura T