8-Aug-13

Specifications <1000
Remarks X Y W-Lb1 Al-Ka P-Ka S-Ka Cl-Ka
mm mm cps E10 E10 E10 E10

Last Cassette 0 0 182.61 146.7 < 4548.88 535.24

SRRS-310-497 26 26 184.55 146.45 < 4570.49 431.02
-26 -26 462.83 148.13 < 4594.51 424.15
 <5 <500 <5 <5 <5 <5 <5 <5
K-Ka Ca-Ka Ti-Ka Cr-Ka Mn-Ka Fe-Ka Ni-Ka Cu-Ka Zn-Ka
E10 E10 E10 E10 E10 E10 E10 E10 E10

< 88.11 < < < 3.23 0.71 1.97 1.17

< 86.33 < < < 4.77 0.84 1.62 1.86
< 92.77 < < 0.63 5.1 0.84 < 1.93
 Ontrack

20th Cassette
Fe

After Ontrack
Value (E10)
100 wafers 200 wafers 300 wafers 400 wafers 500 wafers 12.00
Wafer A
Wafer B
10.00

8.00

6.00

E10
4.00

2.00

0.00
0.5
 Fe Chart
12.00

10.00

8.00

Wafer A
6.00
E10

Wafer B

4.00

2.00

0.00
0.5 1 1.5 2 2.5 3 3.5 4 4.5 5
Num of wafers run (x100)
 Specifications <1000 <5 <500
Remarks X Y W-Lb1 Al-Ka P-Ka S-Ka Cl-Ka K-Ka Ca-Ka
mm mm cps E10 E10 E10 E10 E10 E10
182.61 146.7 4548.88 535.24 88.11
184.55 146.45 4570.49 431.02 86.33
462.83 148.13 4594.51 424.15 92.77

Al S Cl Ca Mn Fe Ni Cu
x y cps E10A/cm2 E10A/cm2 E10A/cm2 E10A/cm2 E10A/cm2 E10A/cm2 E10A/cm2
0 0 146.7 4548.88 535.24 88.11 ND 3.23 0.71 1.97
26 26 146.45 4570.49 431.02 86.33 ND 4.77 0.84 1.62
-26 -26 148.13 4594.51 424.15 92.77 0.63 5.1 0.84 ND
Average 147.094 4571.295 463.472 89.071 0.21 4.367 0.798 1.198
Sigma 0.908 22.821 62.251 3.325 0.364 0.999 0.076 1.052
R(%) 1.144 0.998 23.969 7.227 300 42.916 16.846 164.714
C.V.(%) 0.617 0.499 13.431 3.732 173.205 22.871 9.543 87.844
NDlevel 14.4 8.32 2.28 0.4 0.3 0.25 0.27
 <5 <5 <5 <5 <5 <5
Ti-Ka Cr-Ka Mn-Ka Fe-Ka Ni-Ka Cu-Ka Zn-Ka
E10 E10 E10 E10 E10 E10 E10
ND 3.23 0.71 1.97 1.17
ND 4.77 0.84 1.62 1.86
0.63 5.1 0.84 ND 1.93

Zn *W-Lb
E10A/cm2 cps
1.17 182.61
1.86 184.55
1.93 462.83
1.653 276.663
0.422 161.229
46.214 101.285
25.514 58.276
0.34