초 음 파 탐 상 검 사

(Ultrasonic Testing, UT)

AcouLab
www.acoulab.com
 제 1 장 초 음 파 탐 상 검 사

1-1 초음파 탐상검사의 개요

음파를 이용한 비파괴검사는 수세기전부터 일상생활에 많이 적용되었는데 즉, 수박을 고

를때 수박을 두드려 그울림으로 수박의 내부상태를 예측하고, 또한 그릇이 깨졌는지 여부

및 내부의 균일성은 그릇을 두드려 나오는 소리를 듣고 판별해 왔다.

이와같은 방법을 보다 체계적이고 정량적으로 이용한 비파괴검사 방법이 초음파 탐상검사

이며, 이는 초음파를 시험체에 초음파를 전달하여 내부에 존재하는 불연속으로부터 반사한

초음파의 에너지량, 초음파의 진행시간 등을 분석하여 불연속의 위치 및 크기를 정확히 알

아내는 방법이다. 초음파탐상의 적용은 시험체내의 불연속 시험체의 크기 및 두께,시험체

의 균일도 및 부식상태 등의 검사에 적용하며 이외에도 유속측정 및 콘크리트 검사 등 그

적용범위가 매우 넓어지고 있다.

초음파 탐상방법에는 원리면으로 여러가지 방법이 있으나, 결함(불연속)을 검출하기 위한

초음파탐상법으로는 펄스-에코우법이 가장 널리 사용되고 발전되어 있다.

시험체의 내부결함 및 외부결함을 탐상하는 방법으로 널리 사용되고 있는 비파괴검사방법

에는 방사선투과검사와 초음파 탐상검사가 있는데, 초음파 탐상검사가 방사선 투과검사에

비해 우수한 점은 시험체의 두께가 두꺼워도 쉽게 검사가 가능하고, 불연속의 위치를 정확

히 알수 있고, 검사결과를 즉시 알수 있음은 물론이고 방사선과 같이 인체에 유해하지 않으

며 균열과 같은 면상의 결함 검출능력이 탁월한 반면, 단점으로는 대부분의 경우 검사결과

를 검사자의 검사보고서에 의존해야 하며 결함의 종류를 식별하기 어렵고 금속조직의 영향

을 받기 쉽다는 점이다.
1-2 초음파 탐상의 기본이론

1. 초음파의 특성

(1) 음파의 종류

물체를 구성하고 있는 입자에 진동을 가하면 진동은 주위로 퍼져 나간다. 이 진동이 퍼

져나가는 상태가 파이다. 입자가 1초 동안에 진동하는 수를 주파수라 하며 Hz라는 단위로

나타낸다.

음파는 주파수에 따라 가청음, 초음파 등으로 분류되며, 초음파는 대략 20KHz - 1GHz

의 주파수 범위를 가지며, 주파수에 따른 분류는 아래와 같다.

20Hz 20KHz 1GHz 100GHz

Subsonic Audible Sound Ultrasonic Hypersonic

금속재료의 초음파 탐상에서는 주파수 1 - 5MHz의 초음파가 널리 쓰인다.

(2) 초음파의 속도

초음파의 속도는 재질의 밀도 및 탄성율에 따라 결정되며, 이는 다음식으로 주어진다.

ρ
C=
K

여기서, C는 음속, K는 탄성율, ρ는 밀도이다.

금속에서는 재질에 따라 음속이 거의 일정하며, 주파수와는 무관하다. 상온부근에서의

온도에 의한 차는 거의 고려하지 않는다. 일반적으로 강(Steel)에서의 종파의 속도는 대략

5,900m/sec이며, 강의 종류에 따른 음속의 변화는 1%이하이기 때문에 일정한 것으로 생각

해도 무방하다. 그러나, 주철에서는 종류에 따라 달라지며, 강에서보다 속도가 아주 늦다.

횡파의 음속은 종파 음속의 약 ½정도이다.

또한 음속은 주파수와 파장의 곱으로 나타나고 동일재질에서는 초음파의 속도가 일정하므

로 주파수가 높아질수록 파장이 짧아지므로 초음파탐상시 고주파수를 사용하면 작은 결함의

검출에 적합하다.

(3) 초음파의 성질

a) 지향성이 좋다

b) 동일매질에서는 속도가 일정하며, 매질이 달라지면 속도가 달라진다.

c) 진행거리가 비교적 길다

d) 온도변화에 대해 속도가 거의 일정하다.

e) 경계면이나 불연속면에서는 반사를 한다.

f) 조건에 따라서 파형변이가 일어난다.

(4) 초음파 탐상검사의 범위

a) 시험체의 결함 검출

b) 시험체의 두께 측정

c) 시험체의 물리적특성 측정

d) 유속 측정

e) 부식 측정 등
2. 초음파의 종류

(1) 종파(Longitudinal Wave, Compressive Wave)

a) 파를 전달하는 입자가 파의 진행방향에 대해 평행하게 진동하는 파

b) 파의 진행에 따라 밀한 부분과 소한부분으로 구성된 파 (압축파)

c) 고체, 기체, 액체에 모두 존재 : 탄성충돌에 의한 전달

d) 속도가 가장 빠르다.

강(steel) : 5,900m/sec, 물 : 1,480m/sec, 공기 : 340m/sec

그림 1. 종파의 진행

(2) 횡파(Transverse Wave, Shear Wave)

그림 2. 횡파의 진행

a) 파를 전달하는 입자가 파의 진행방향에 대해 수직하게 진동하는 파

 b) 입자간의 강한 인력이 있어야 하므로, 속도는 동일재질에서 종파 속도의 약 50%이다.

c) 액체, 기체에서는 존재하지 않는다.

d) 동일주파수에서 종파에 비해 파장이 짧아 작은 결함 검출에 유효하다.

(3) 표면파(Surface Wave, Rayleigh Wave)

a) 매질의 한파장정도의 깊이를 투과하여 표면으로 진행하는 파

b) 입자의 진동양식은 타원형으로 진행한다.

c) 에너지의 50%이상이 표면으로부터 ¼파장내에서 존재하며, 1파장 깊이에서의 에너지는

약 4%정도로 감소한다.

d) 속도는 동일재질에서 횡파속도의 약 90%이다.

그림 3. 표면파의 진행

(4) 판파(Plate Wave, Lamb Wave)

그림 4. 판파의 진행
a) 고체 박판에서만 존재 ( 판두께 < 파장 / 2)

b) 전달특성이 밀도, 금속의 탄성특성과 구조, 두께 및 주파수에 영향을 받는다.

c) 속도는 재질의 두께, 주파수, 파의 형태에 따라 달라진다.

d) 진동형태가 매우 복잡하며, 대칭형과 비대칭형으로 분류된다.

 3. 음장(音場)의 특성

원형진동자에서의 음축상의 음압은 다음식과 같다.

 ka  k x 
P = 2 ⋅ P0 sin   1 + ( ) 2 − 
 2  a a 

여기서 : P0 = 진동자 표면에서의 평균음압

k = 2π/λ
a = 진동자의 반경

(1) 근거리음장(Fresnel Zone, Near Field)

진동자 표면으로부터 발생되는 음파들의 에너지 상호작용으로 인해 진동자 표면으로부

터 일정한 거리내에서는 초음파의 강도 및 방향이 불규칙하게 되고, 근거리음장내에서는 하

나의 불연속이 여러개의 지시를 나타낼 수 있으며, 불연속으로부터의 반사지시의 강도가 크

게 변할수 있기 때문에 결함의 해석에는 상당한 주의가 필요하다. 이 일정한 거리를 근거리

음장이라 하며, 근거리음장의 길이는 대략 다음과 같이 표시된다.

D2
X0 =
λ

Xo : 근거리음장의 길이
D : 진동자의 직경
λ : 파장

즉, 근거리 음장이내에서는 정확한 탐상이 어렵기 때문에 직경이 작은 진동자를 사용하거

나 파장이 긴 (즉 주파수가 낮은) 진동자를 사용함으로서 근거리음장을 줄일수 있다.

(2) 원거리음장(Fraunhofer Zone, Far Field)

근거리음장밖의 영역이 원거리음장이 되며, 이 음장내에서 반사파의 강도는 초음파의 진

행거리가 증가함에 따라 지수함수적으로 감소한다. 원거리음장에서 지시의 강도가 지수함

수적으로 감소하는 이유는 초음파의 진행에 따른 감쇠(Attenuation) 및 분산(Beam Spread)

때문이다. 감쇠의 원인은 산란(Scattering)과 흡수(Absorption)이다.

빔의 분산은 근거리 음장에서는 고려하지 않고, 원거리 음장에서의 빔의 분산각은

λ
sin θ = 1.22
D
여기서 θ : 빔의 분산각

λ : 파장

D : 진동자의 직경

으로 나타나며, 초음파 탐상은 일반적으로 원거리 음장에서 이루어진다.

그림 5. 음장의 형태
<Ref>

초음파 진행은 사용 주파수 및 진동자의 크기의 함수로 다음식과 같이 표시된다.

2 J 1 (ka ⋅ sin θ )
D=
ka ⋅ sin θ
여기서 D 는 지향함수(Directive Function)
a 는 진동자의 반경
k 는 Wave number
θ는 지향각
J1 은 제1종 베셀함수
4. 파의 진행특성

(1) 굴절과 파형변이

a) 굴절의 법칙(Snell's Law)

속도가 다른 두재질 사이의 경계면에 음파를 경사지게 입사시키면, 음파의 일부분은 반사
하고 나머지는 투과한다. 이때, 반사파의 반사각은 입사각과 항상 동일하며, 투과파는 입사
방향에 대해 그 방향을 바꾸어 진행하게 되는데, 이를 굴절(Refraction)이라 한다.
그림 6은 Snell의 법칙을 나타내고 있으며, 다음 식으로 나타난다.

sin α V1
=
sin β V2
α : 입사각 V1 : 매질 1에서의 속도
β : 굴절각 V2 : 매질 2에서의 속도

입사파 반사파

α α

매질1
매질2
β

그림 6. Snell의 법칙

빛에서와는 달리, 음파가 경계면에 경사지게 입사하는 경우에는 한종류의 파가 동일한 종류

의 파로만 굴절되는 것이 아니고, 입사각에 따라서 부분적으로 또는 전체적으로 다른 파로
변형되어 나타날수 있다. 즉, 종파가 입사하면 매질 2에는 종파뿐만 아니라 횡파 또는 표면
파가 존재할 수도 있다.
b) 임계각(Critical Angle)
위의 설명과 같이 매질 1에서 매질 2로 전달되는 파가 굴절법칙에 따라 파형변환이 생겨,
매질 2에서 동시에 다른속도 및 굴절각을 갖는 두형태의 파가 존재한다면, 초음파 탐상시
결함을 검출했을때 어느 파형으로 검출했는지 알수 없어 지시에 대해 적절히 평가하는것이
어려우므로, 시험체 내에는 한종류의 파형만이 존재하도록 하는 것이 탐상에 용이하다.
입사파의 각도를 적절히 조절하여 굴절종파가 90˚로 굴절한다면, 시험체 내에는 횡파만이
존재하게 되고, 이때의 입사각을 제 1임계각이라 한다. 그림 7은 제1임계각을 나타내고 있
으며, 다음 식으로 나타난다.

sin β 2 = sin 90 o = 1
sin α V1 V1 (longitudinal )
= 그러므로 sin α =
1 V2 V2 (longitudinal )

입사파 반사파

α α

매질1 종파 β2=90°

매질 2
β1
횡파

그림 7. 제 1 임계각

또한, 횡파 굴절각이 90˚가 되도록 입사각을 증가시켜면, 굴절파는 시험체의 표면으로 진행

하게 되며 표면파가 생성된다.
이때의 입사각을 제2임계각이라 한다.

그림 8은 제2임계각을 나타내며, 다음식으로 나타난다.

sin β = sin 90 o = 1
그러므로,
 입사파 반사파

α α

매질1 표면파

매질 2
β=90°

그림 8. 제 2 임계각

V1 (longitudinal )
sin α =
V2 ( shear )

즉, 제1 임계각과 제2 임계각 사이의 입사각으로 초음파가 입사하면 제2 매질에는 횡파

만 존재하게 된다.

(2) 반사와 통과

a) 음향 임피던스(Z : Acoustic Impedance)

재질에 초음파를 송신하였을 경우 초음파 에너지의 일부만이 재질에 전달되고, 에너지의

대부분은 한물질에서 다른 물질로 진행할때 두 다른 물질의 경계면에서 반사하는데,음파의
반사량은 음향 임피던스비에 좌우된다.
음향 임피던스란 재질이 음파의 진행을 방해하는 성질을 의미한다. 음향 임피던스는 서
로 다른 재질에서는 음속이 달라져 그 값이 특정 재질의 상수가 아니며, 특정 재질의 음향
임피던스는 재질의 밀도에 음속을 곱한 값으로 계산된다. 이를 식으로 나타내면 다음과 같
다.
Z = ρV
Z : 음향 임피던스
ρ : 재질의 밀도
V : 초음파의 속도
b) 수직입사시의 반사와 통과

음이 벽에 부딪혀 반사한다든가 또는 소리가 산에 부딪혀 메아리가 되어 되돌아 오는 것

과 같이 초음파에서도 이와 유사한 현상이 발생하여 공기, 또는 물 등의 경계면에서 잘 반
사한다.
일반적으로, 음파가 계면에 수직으로 입사할때 음파는 그곳에서 반사하는 성분과 통과
하는 성분이 두물질의 음향 임피던스에 따라 정해지게 되는데,

매질1 매질2

입사파의 음압 Pi
입사파의 음압 Pt

입사파의 음압 Pr

Z1 = ρ1V1 Z 2 = ρ 2V2

계면
그림 9. 초음파가 평면 경계면에 수직 입사될 경우의 반사와 통과

그림 9에서와 같이 매질 1과 매질 2의 경계면에 음파가 좌측에서 수직으로 부딪힐때 입사

되는 음의 크기 즉, 음압을 Pi라고 하고 매질 1로 반사되는 음압을 Pr, 매질 2로 통과된 통
과파의 음압을 Pt라고 하였을때,
음압반사율 γ은 입사파의 음압에 대한 반사파의 음압의 비로 나타낼 수 있다.
Pr Z 2 − Z1
γ= =
Pi Z1 + Z 2
음압통과율 t는
Z 2 − Z1 2 Z1
t = 1− γ = 1− =
Z1 + Z 2 Z1 + Z 2
그러나, 실제의 초음파 탐상에서는 매질을 통하여 초음파를 송수신하기 때문에, 경계면을
통과한 음파는 다시 역으로 이 경계면을 통하여 되돌아 온다. 따라서, 음압의 왕복통과율
(T)로서 생각하는 것이 합리적이다.
매질 1에서 매질 2로 가는 음압 통과율을 t1이라하고, 매질 2에서 다시 매질 1로 돌아
오는 음압통과율을 t2라 할때, 왕복 통과율 T는 다음과 같이 나타내어진다.
 2 Z1 2Z 2 4 Z1 Z 2
T = t1 × t 2 = × =
Z1 + Z 2 Z1 + Z 2 (Z1 + Z 2 )2

또, T값은 에너지통과율의 값이 같기 때문에, T = 1-γ2 으로도 나타낼수 있다.

(3) 회절 및 감쇠

a) 회절(Diffraction)

초음파의 또다른 중요한 성질은 파의 굽힘성으로 초음파가 금속내의 미세한 개재물 또는

기공에 부딪힐때 간섭(Interference) 또는 회절현상이 발생하는데, 이때 초음파에너지의 일
부는 결함주위로 굽어지고 반사량은 상당량 감소하게 되며, 이러한 현상은 물체의 모서리
근처를 지나갈 때도 발생될수 있다.

b) 감쇠(Attenuation)

초음파가 재질을 통해 진행하게 되면 필연적으로 에너지 손실이 발생하게 되고 감쇠의 주

원인은 산란(Scattering)과 흡수(Absorption) 이다.
산란은 재질의 구성이 완전하게 균일하지 않기 때문에 생기는 현상으로, 재질내부의 개재
물 또는 기공과 같은 음향 임피던스 값이 달라지는 경계면이나 재질을 구성하고 있는 입계
면(Grain Boundary)으로 인해 발생한다. 감쇠의 또다른 원인은 흡수인데, 이는 초음파가
진행하면서 초음파에너지의 일부분이 열로 바뀌기 때문이다.
산란 및 흡수 이외에도 감쇠에는 많은 요인들이 있는데, 이는 주로 시험체의 표면거칠기
등으로 초음파 탐상시에는 감쇠의 모든 요인을 고려하여 보정해 주어야 한다.

(4) 시험체가 초음파에 미치는 영향

초음파 탐상시 시험체에 의한 영향 및 특성을 이해하고, 이를 고려하여 보정을 해주어야

탐상결과의 신뢰도를 높일수 있다. 따라서, 시험체의 기하학적특성이나 재질의 특성을 잘
이해해야 하는데, 주로 다음과 같은 사항을 고려해야 한다.

ⓐ 표면 거칠기
ⓑ 시편의 모양
ⓒ 시편내에서의 파형변이
ⓓ 불연속의 방향과 깊이
(5) 데시벨(dB)

음압의 비, 전압의 비, 에코우높이의 비 등과 같이, 2개의 수치에 대한 비를 대수를 사

용하여 표시하는 단위가 "데시벨"이며 다음과 같이 나타낸다.
A1
dB = 20 log10 : A1, A2는 에코의 강도(Amplitude)
A2
예를 들면, 초음파 탐상시 지시파의 강도(Amplitude)를 ½로 줄이기 위한 음압의 비는
6dB가 된다.
1
dB = 20 log10 ≈ −6dB
2
즉, 지사파의 강도를 ½로 줄이기 위해서는 6dB 감소시켜야 한다.
Ref)

소리의 세기는 음압의 제곱을 음향임피던스로 나눈값이다.

P2
I=
ρc
여기서 I = 소리의 세기 watt/m2
P = R.M.S 음압 N/m2
ρ= 밀도
c = 음속
소리의 세기의 단위는 일반적으로 dB을 사용하며

l 
dB = 10 log 1 
 l2 
2
P 
= 10 log 1 
 P2 
P 
= 20 log 1 
 P2 

공기중에서 음압의 기준치는 R.M.S 값으로 0.00002 N/m2 이며, 이값은 젋은 사람의
1KHz에서의 평균 최저 가청치 이다.
1-3 초음파 탐상 장비

1. 휴대용 초음파 탐상장치

초음파 탐상기기는 탐상목적 및 방법에 따라 여러가지 종류로 분류할수 있으나, 일반적
으로 비파괴검사에 가장 널리 사용하는 탐상기를 살펴보면 그림 10과 같이 구성되어 있다.

그림 10. 탐상장비의 전면

그림 10에서의 주요 조정기를 살펴보면 주파수선택 조정기, 탐상범위의 보정기 및 탐상감도

조정기(GAIN)등이 있으며 탐상결과의 모든 정보를 나타내는 음극선관(CRT ; Cathod Ray
tube)등으로 구성되어 있다.
이중 초음파 탐상시 주로 사용하는 조정기에는

(1) 탐상감도조정기

증폭기(Gain) 또는 감쇠기(Attenuator)로 되어 있으며 지시파의 진폭의 크기를 조정하는데

사용된다.

(2) 탐상범위 조정기

다음과 같은 조정기를 사용하여 CRT Screen에 적절한 보정을 한다.

ⓐ Sweep length 조정기

Pulse 사이의 간격을 조정하는데 사용
ⓑ Sweep delay 조정기
Pulse 사이의 간격을 고정시킨 상태에서 좌우로 이동시키는데 사용
 2. 컴퓨터 내장형 자동화 초음파 탐상장치

(1) 하드웨어

초음파 펄서/리시버, 고속 A/D Convertor, Motion Controller가 컴퓨터 내부에 탑재되고 초

음파 탐촉자를 이송시키는 기계장치인 Scanner 및 Motor, Motor Driver 등의 하드웨어로 구
성.

(2) 소프트웨어
하드웨어를 동시에 구동하며 초음파 신호를 수집하는 제어계측용 Program, A, B, C-Scan,
3-Dimension Display, Digital Signal Processing, Image Processing 기능을 갖는 응용 프로
그램으로 구성.

3. 탐촉자(PROBE)

(1) 압전효과(Piezoelectric Effect)

진동자(Transducer)는 어떤 형태의 에너지를 다른 형태의 에너지로 변환시키는 장치이다.

탐촉자(Probe) 내에는 진동자(Transducer)가 내장되어 진동자에 전압을 걸어주면 진동자
가 팽창 및 수축되는 기계적 변형이 생겨 이 변형이 진동의 형태로 나타나 초음파가 발생하
고, 반대로 초음파가 진동자에 닿으면 기계적인 진동에 의해 전압이 발생하게 되어 이 전압
이 탐상기의 CRT 스크린에 나타나게 된다.
즉, 이와 같이 전기적인 에너지를 기계적인 에너지로 또는 반대로 기계적인 에너지를 전기
적인 에너지로 바꾸어주는 현상을 압전효과(Piezoelectric effect)라 한다.

(2) 진동자 재질

압전특성을 갖는 많은 재질중에서 비파괴 검사목적으로 많이 사용되는것은 수정(Quartz),

압전 Ceramic, 황산리튬(LiSO4)등이 있다.
수정은 가장 오래전부터 사용되고 있는 압전재질로서 투명하고 안정하며 고온에서도 사용
이 용이하나, 단점은 불필요한 진동양식을 발생하기 쉬우므로 파형변이가 일어나기 쉽고 송
신효율이 낮아 사용이 점차 줄어들고 있다. 압전 Ceramic은 송신효율이 좋고, 황산리튬은
수신효율이 가장 좋다.
(3) 탐촉자의 구조

탐촉자는 그림 12에서 볼수 있듯이, 초음파를 발생시키는 진동자, 탐촉자내의 잡음을

흡수하는 흡음재 및 연결회로 및 보호막, 케이스 등으로 구성되어 있다.

그림 12. 탐촉자의 구성

(4) 탐촉자의 성능

탐촉자의 성능은 감도와 분해능으로 크게 구분할 수 있다.

ⓐ 감도(Sensitivity)
작은 결함을 검출할수 있는 능력으로 일반적으로 반파장 정도의 크기까지 검출할 수
있으므로 주파수가 높은 탐촉자일수록 감도가 우수하다고 할 수 있다.

ⓑ 분해능(Resolution)
깊이가 근접해 있는 2개의 결함을 구분할 수 있는 능력
실제 초음파 탐상시 탐촉자를 선정할 때 주로 고려하는 것은 진동자의 크기, 굴절각
및 주파수이다. 주파수에 따른 특성을 비교하여 보면 아래와 같다.
 고주파수 저주파수
파장, 산란, 투과력, 불감대 작다 크다
근거리음장, 감쇠, 감도 크다 작다
분 해 능 크다 작다
거 친 표 면 부적당 적당
○ Acoustic Properties of Materials

Material Longitudinal Shear Wave Acoustic Density

Wave Velocity Velocity Impedance (g/cm2)
(m/sec) (m/sec) (kg / m s )×10
2 6

Alcohol(20℃) 1168 None 0.92 0.79

Air(20℃) 344 None 0.014 0.00
Water(20℃) 1480 None 1.48 1.00
Steel 5900 3230 45.41 78.00
Lucite 2680 1260 3.16 11.80
Silicon 8600 None 20.04 2.33
Gold 3240 1200 62.53 19.32
Copper 4700 2260 41.83 8.90
Aluminum 6320 3080 16.90 2.70
Epoxy Resin 2600 None 3.12 1.20
Resin(for IC) 3930 None 6.76 1.72
Glass(Quarts) 5570 3515 15.04 2.70
Alumina(Al2O3) 10410 None 39.56 3.8
Lead 2160 700 24.49 113.40
Inconel 5820 3020 49.47 85.00
Nickel(pure) 5630 2960 49.99 88.80
Sliver 3600 1590 37.76 104.90
Tungsten 5180 2870 99.72 192.50
Zirconium 4650 2250 30.13 24.80
○ Display methods of Ultrasonic Testing

- A-Scan : 수신된 초음파의 RF Signal 로 표시하는 방법

- B-Scan : 검사체의 단면을 나타내는 방법

- C-Scan
: 검사체의 평면을 표시하는 방법으로 일반적으로 수신된 초음파 신호의 진폭(amplitude)
및 TOF(time of flight)값으로 표시한다.
- Phase Inversed C-Scan
두 물체가 접합된 음향 경계면에서 Delamination 과 같은 결함을 검출하기 위해 표시하
는 방법

- 3 Dimension Display
: 검사체에서 얻어진 진폭 및 TOF 값을 이용한 3차원 표시법
○ Focal Length

WP
F
MP

Focal Point Focal Point

In Water In Test Part

C tm
WP = F − MP ( )
Cw
where, WP = Water Path
MP = Material Depth
F = Focal Length in Water
Ctm = Velocity in the Material
Cw = Velocity in the Water
○ Ultrasonic Waveforms in IC Package

Water Path
Pulse Echo
Transducer
f

c de

Region of Interesting

Voltage

f
d e
2nd Front Echo
Front Echo Die
c
Initial Echo Time

Material Thickness = (Time × Velocity) / 2

○ Thru-Transmission

Transmitter Receiver

No Detect With Detect

○ Beam Diameter and Focal Zone

ZB ZE -12dB Beam Die

Fz
-6dB Beam Die

Point of Max. Echo from Point of Max. Echo from

a Point Target a Plat Plate Target

where, ZB = Beginning of the Focal Zone

ZE = End of the Focal Zone
FZ = Focal Zone
D = Element Diameter

-Beam Diameter(BD)

FC
BD ( −6 dB ) = 1.028
fD

where, F = Focal Length in Water

C = Sound Velocity of Material
f = Frequency of Transducer
D = Element Diameter
-Focal Zone (FZ)

 2 
FZ = NS F2  
 (1 + 0.5S F ) 

where N=D2/4λ (Near Field Length)

SF = F / N (normalized Focal Length)
○ Structure of IC Packages

EMC GOLD WIRE

SILICON CHIP
Cu L/F Cu L/F
D/A EPOXY
Cu LEAD FRAME

Structure of QFP

Elestoma

Cu Circuit

Die Tape
Bump

Underfill
Substrate Encapsulant

Die

Structure
Structureof
ofFlip Chip
Micro BGA
○ Types of defect in IC Package

VOID PKG CRACK

DELAMINATION

CHIP CRACK

PKG CRACK
○ Ultrasonic Transducer Selection

Thick IC Package Thin IC Package

Lower Frequency Higher Frequency

Longer Focus Shorter Focus

Type of Application Ultrasonic Transducer

T/X Receiver 10MHz, Fw 0.75”

PLCC, QFP, PQFP 15MHz, Fw 0.5”

Power Pak 15MHz, Fw 0.75”

BGA Top 25MHz, Fw 0.5”

Capacitor 50MHz, Fw 0.5”

TSOP, CAPS 75MHz, Fw 0.375”

Die Inspection 100MHz, Fw 0.25”

Flip Chip & Underfill 100MHz, Fw 0.375”

○ Surface Follower Gate

The Surface Follower Gate(Interface Gate) compensates for any variation in water path.

②
c d

c Interface Gate

Data Gate

Interface Gate

Data Gate

Interface Gate
○ Phase Inversion

The Amplitude and Phase of a reflected signal from acoustic interface is dependent upon
the change in acoustic impedance(Z) at the reflecting interface.

Z 2 − Z1
Reflection coefficient, γ =
Z1 + Z 2

c d Delamination

1) Bonded Point
Normal Phase

2) Delaminated Point
Inverted Phase