제2장 Scaling

2.1 How do things behave in microscale ?

매크로세계에서의 상식이 마이크로 세계에서는 통하지 않는다

○ 마이크로 세계에서 일어나는 여러 가지 현상들

1. 개미와 인간의 비교
Ants Human
Lift 10 times its own weight Barely our own weight
Not injured when falling Easily injured
(마이크로 세계에서는 공기마찰력이 질량에 비해 상대적으로 커짐)
2. 민들레의 씨나 작은 먼지
- 민들레 씨앗의 무게 대비 털 표면의 마찰력의 크기가 커짐 → 언제까지나 공중에 떠 다님
3. 잠수함
- 추진력: 스크류로 물을 휘저어 물의 질량을 뒤로 밀어내는 관성력
- 저항력: 스크류 및 잠수함 몸체 표면에 작용하는 물의 점성마찰
- 마이크로 세계에서 관성력 대비 점성마찰의 영향이 커짐 → 잠수함이 움직일 것인가 ?
→ 마이크로 세계에서는 윤활이 어려움 (micro world 에서의 Reynold Number(Re)≈1)
※Reynold Number = 관성력/점성력
4. 물위를 걷는 소금장이
- 무게 대비 물의 표면장력이 커짐 → 수면을 걸음
5. 열교환
- 열교환은 물체의 표면적에 비례하여 빠르기가 결정됨
- 예) 매크로한 무보다 이를 잘게 썬 마이크로한 무가 빨리 익음 (∵체적대비 표면적의 비가 커
짐)
- 예) 주물의 응고시간 (Chvorinov’s rule)
2
 4 3
 ( 3 )π r 
2
 체적  r2
응고시간 ∝   =   =
 표 면적   4π r 
2
9
 
→ 작은 구가 빠른 열전달로 빨리 응고됨
→ 마이크로 세계에서는 열이 주위로 신속히 전달되지 않아서 발생하는 디바이스의 뒤틀림,
재질특성의 변화, 정밀도의 저하 등의 문제는 심각하지 않음

2.2 Scaling

○ Scaling law
- Scaling law란 ? 물체의 크기를 작게 하면 각종 물리량(힘, power, 가속도, 강성 등)이 크기(길이)의
몇 제곱에 비례해서 작아지는가를 나타내는 법칙
- Intuition based on macro systems does not necessarily apply to micro world because of the scaling law
 - 길이: 1 m → 1 cm (100:1)
면적: 1 m2 → 1 cm2 (1002:1)
부피: 1 m3 → 1 cm3 (1003:1)

○ 각종 힘의 scaling (force law)

1. Inertia force (including weight)
f i ∝ m (m : mass)
m = vol × density
└ ∝ L3
f i ∝ L3
∴ fi = s3 [ ] s: scaling factor

2. Electrostatic force
h
Capacitance C = ε (ε is dielectric constant)
d
Potential energy U = ½CV2 (V=E·d, where V, E are voltage and electric field strength)
1 h
U= ε (Ed )2
2 d

ε ( ⋅ h ⋅ d )E 2
1
=
2
- Case 1: for E=[s0], macro world에서 electric field의 breakdown(방전)이 발생하는 전계의 세기
(electric field strength) E의 한계는 일정함

fe = −
∂U
=
s3 s0 [ ][ ] = [s ]
2
2
∂x [s ]
- Case 2: for E=[s-0.5], micro world에서는 전극간 간격 d가 작아질수록 electric field strength E의 한계
값은 커짐

fe =
[s ][s ]
3 −0.5 2
= [s ]
[s ]
Note: [s1]-type force scales very favorably in micro world
∴Electrostatic forces become significant in the micro domain and have numerous potential applications

3. Magnetic force (Electromagnetic force)

Take an example among several configurations, e.g., an electrical wire and a permanent magnet

f m = I ⋅ d  × B (I: current, ℓ: length of wire, B: magnetic flux density)
[ ]
여기서, I : s 2 under the assumption of constant current density

d : s1 []
B : [s ] , 영구자석에 의해 발생
0

∴ fm = [s ] 3

4. Muscle force
f u ∝ A (A: area of cross section)
 ∴ fu = s 2 [ ]
- Biological forces from muscle scale well, [s2], but may be difficult to implement. 즉, 섬유질의 근육 같
은 형태의 구동기는 구현하기가 용이하지 않음

5. Surface tension force

f t ∝ γ × the length of interface (γ: coefficient of surface tension, N/m)
∴ f t = [s ]
- The surface tension scales very advantageously, [s1], however, it is not clear how to use this force in most
applications.

6. Pneumatic and hydraulic force

f p ∝ area

∴ f p = s2 [ ]
○ How do other related quantities scale ?
- Scaling representation of forces
 s1  ← electrostatic, surface tension
 2
← electrostatic, muscle, pneumatic
F =  3
s
s  ← magnetic, inertia
 4
 s  ← some magnetic (e.g., magnetic force generated between two wires)

1. Acceleration

a=
F sF [ ] [ ]
= 3 = s F −3
m s [ ]
s −2 
 −1 
∴ a= 0 
s
s 
 1
 s 
[s1]- and [s2]-type force에 의한 물체의 가속도는 scale down됨에 따라 증가함
[s3]-type force에 의한 물체의 가속도는 scale down에 무관하게 일정
[s4]-type force에 의한 물체의 가속도는 scale down됨에 따라 감소함

2. Transient time
Transient time은 얼마나 빠른가에 대한 척도로, 일을 하는 속도에 관계된다.
12 12
 2x   2x ⋅ m 
t=  =  (t is the acceleration time)
a  F 

=  F
[ ]
 [s ] s 3
12

[
= s 2− F / 2 ]
 s[ ] 
  s1.5 
 1
∴ t =  0.5 
s
s 
 0
 s 
- Scale down됨에 따라 transient time t 감소 ([s4]-type force의 경우는 t 일정)
→ The time required to perform a task decreases as the system becomes scaled down
→ We know intuitively: small things tend to be quick

3. Power
ㆍGenerated total power
 s1   s1   s −1.5   s 0.5 
     
F ⋅ x  s 2   s1   s −1   s 2 
P= = 3 1 −0.5 = 3.5
t  s  s  s  s 
 4  1 0   5 
 s   s   s   s 
- Scale이 작아짐에 따라 generated total power는 작아짐

ㆍPower per unit volume

 s −2.5 
 −1 
=  0.5 
P s
( [ ])
V V = s3 s 
 2 
 s 
- When the force scales as [s2], then the power per unit volume scales as [s-1]. For example, when the scale
decreases by a factor of ten, the power that can be generated per unit volume increases by a factor of ten.
For force laws with a higher power than s2, the power generated per volume degrades as the scale decreases.

4. Material strength
Consider a cantilever beam

h
b

fixed elastic
restoring force
weight
deflection
δ(x)

Fig. Deflection of cantilever beam

Spring force Fk
Fk = k·δ(x)
where k is spring constant
  E  bh 
3
k = 2  3 
= [s ] , E: Young's modulus, ν: poisson's ratio
 1 − ν  4 
∴ Fk = s 2 [ ]
Weight FW
FW = (ℓ·b·h)·ρ·g = [s3]
ρ: density, g: 중력가속도
∴ Scale down → spring force Fk가 weight FW에 비해 그 감소율이 더 작음

At balance
k ⋅ δ ( x) =  ⋅ b ⋅ h ⋅ ρ ⋅ g
E bh 3
δ ( x) =  ⋅ b ⋅ h ⋅ ρ ⋅ g
1 − ν 2 4 3
Relative deformation
aspect ratio [s0] ┑ ┌ℓ: [s1]
δ ( x) ( )
 ρg 1 − ν 2    2
=   
  E  h 
└ material property

∴
δ ( x)

[]
= s1

→ Scale down 되면 [s1]에 비례하여 상대적인 deformation 량이 작아짐

→ Scale down 됨에 따라 cantilever beam은 점점 stiff 해짐

(예) Why fast if small ?

πr 2 E2
ω=  =
1 E2  r
ρ1R R
[ ]
= s −1
3 πR ρ1
3
4 

Fig. Natural frequency ω

⇒ Micro devices의 고유진동수는 macro devices보다 크다

(예, SPM(Scanning Probe Microscope)용 cantilever의 경우, 수 MHz의 고유진동수를 가지
는 것이 있음)

2.3 마이크로화의 장애물

1. Scaling law의 장벽
 - 마이크로 세계에서는 길이의 세제곱에 비례하는 부피의 효과(예, 무게, 관성 등)가 상대적으로
약해지고 길이의 제곱에 비례하는 면적의 효과(예, 방열, 표면마찰 등)가 뚜렷하여짐
→ 매크로 세계에서는 ok인 기계가 마이크로 세계에서는 불동작 또는 효율이 나빠질 수 있음
예) 1. 잠수함에서 추진력은 관성력, 저항력은 스크류 및 잠수함 몸체 표면에 작용하는 점성저
항력
2. Micro devices에서의 stiction problem
2. 부품 조립생산의 장벽
- Micro한 부품을 제작한 후 이를 조립하여 micro devices를 생산하는 경우에는 부품조립의 어려움
으로 인해 완성품의 생산 가격이 상승됨 → monolithic한 생산방법이 필요
※Monolithic한 생산방법: 하나의 시스템의 모든 부품을 한 기판 위에 하나의 기술로 제작하는 생
산방법

3. 정보교환의 장벽
- 정보의 검출과 처리를 위한 배선이 기계자체와 같은 크기가 될 수 있음. 특히, 다수의 소형기
계를 한곳에서 집중 처리하고자 할 경우 문제시 됨 → 자율분산시스템의 구성으로 해결
 참고문헌

<도서>
[1] Marc Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 1997
[2] Gregory T.A. Kovacs, Micromachined Transducers: Source Book, McGraw-Hill, 1998
[3] S. Fatikow and U. Rembold, Microsystem Technology and Microrobotics, Springer, 1997
[4] R.C. Jaeger, Introduction to Microelectronic Fabrication, Addison-Wesley Publishing Company, 1988
[5] 황호정, 반도체 공정기술, 생능출판사, 1999
[6] 반도체(공정 및 측정), 전자자료, 1994
[7] 김용권역, 마이크로머신의 세계, 대명사, 1995
[8] 이덕출, 황명환역, 고전압 플라스마 공학, 동일출판사, 1999
[9] 이문희편저, 실리콘테크놀로지, 청문각, 2002
[10] 한병성, 이현수, 박성진, 반도체공학, 동일출판사, 2002
[11] 일본전기학회, 전기자기학, 일본전기학회, 1992

<논문>
[12] “There’s Plenty of Room at the Bottom”, A talk given by R. P. Feynman on December 26, 1959, at the Annual
Meeting of the American Physical Society at Caltech. (Reprinted in Journal of Microelectromechanical
Systems, Vol. 1, No. 1, pp. 60-66, March 1992.)
[13] W. S. N. Trimmer, “Microrobots and Micromechanical Systems”, Sensors and Actuators, Vol. 19, No. 3, pp.
267-287, Sep. 1989.
[14] L.-S. Fan, Y.-C. Tai, and R. S. Muller, “IC-Processed Electrostatic Micro-motors”, IEEE Int. Electron Devices
Meeting, pp. 666-669, Dec. 1988.