I.

Giới thiệu
1.1 Định nghĩa cảm biến gia tốc
Cảm biến gia tốc (Accelerometer) là một loại cảm biến được sử dụng để đo gia
tốc và thường được tích hợp trên các thiết bị điện tử, chẳng hạn như điện
thoại thông minh, máy tính bảng, máy chơi game, thiết bị y tế và các thiết bị di
động khác.
Cảm biến gia tốc sử dụng các cấu trúc cơ học hay điện tử để đo lực tác
động lên thiết bị theo các trục khác nhau, bao gồm cả trục x, y, z. Khi tác
động nhẹ nào đó xuất hiện lên thiết bị, tiến trình bên trong sẽ tạo ra một
điện áp tương ứng, giúp đo lường hướng và tốc độ của chuyển động.
Dữ liệu được thu thập bởi cảm biến gia tốc này có thể được sử dụng để
đo vận tốc, vị trí, định hướng và phát hiện rung động, nhịp tim, tập thể
dục, đếm bước,...

1.2 Các loại cảm biến gia tốc được sử dụng trên ô tô hiện nay
Tùy vào ứng dụng cụ thể, các loại cảm biến gia tốc khác nhau có độ chính
xác và tính ứng dụng khác nhau, nhưng đều đóng vai trò quan trọng trong
việc đo lường và kiểm soát tốc độ và gia tốc của ô tô.
 Cảm biến gia tốc góc: Đây là loại cảm biến được sử dụng để đo độ
nghiêng và gia tốc góc của ô tô trong quá trình vận hành.

Ưu điểm:
Có thể đo độ nghiêng và gia tốc góc chính xác.
Có khả năng xử lý dữ liệu và tính toán nhanh.
Thích hợp cho các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác cao, chẳng hạn như hệ
thống giữ làn đường và phanh khẩn cấp.
Hạn chế:
Chi phí sản xuất và lắp đặt cao.
Cần có một số cảm biến khác để đo các thông số khác như tốc độ và gia tốc
tuyến tính.
Cần được đặt ở vị trí chính xác để đảm bảo tính chính xác.
 Cảm biến gia tốc thế chân: Loại cảm biến này được lắp đặt trên chân
đế của xe và được sử dụng để đo gia tốc và độ nghiêng của xe theo
trục đứng và trục ngang.
Ưu điểm:
Dễ dàng lắp đặt và định vị trên ô tô.
Đo được cả gia tốc tuyến tính và gia tốc góc.
Chi phí sản xuất thấp.
Hạn chế:
Độ chính xác có thể bị ảnh hưởng bởi các yếu tố bên ngoài như rung động
và nhiễu điện từ.
Không thể đo được độ chuyển động trên trục thẳng đứng.
 Cảm biến gia tốc piezoelectric: Loại cảm biến này sử dụng hiệu ứng
piezoelectric để đo gia tốc. Khi có lực tác động lên cảm biến, nó sẽ tạo
ra một điện áp tương ứng với lực đó, từ đó tính toán được gia tốc.
Ưu điểm:
Độ chính xác cao và tốc độ đáp ứng nhanh.
Kích thước nhỏ gọn và tiêu thụ năng lượng thấp.
Khả năng đo được cả gia tốc tuyến tính và gia tốc góc.
Hạn chế:
Cần điều chỉnh để đảm bảo độ chính xác.
Dễ bị ảnh hưởng bởi nhiễu và tạp âm.
 Cảm biến gia tốc MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems): Đây là
loại cảm biến nhỏ gọn được sản xuất bằng kỹ thuật MEMS, có khả
năng đo độ chính xác cao và tiêu thụ năng lượng thấp.

Ưu điểm:
Kích thước nhỏ gọn và tiêu thụ năng lượng thấp.
Độ chính xác cao và tốc độ đáp ứng nhanh.
Dễ dàng tích hợp vào các hệ thống điện tử.
Nhược điểm:
Có thể bị ảnh hưởng bởi các yếu tố bên ngoài như rung động và nhiễu điện
từ.
Khả năng chịu va đập thấp, có thể bị hỏng khi xe va chạm.
Không thể đo được các thông số khác như góc nghiêng và vị trí của xe.
Cần được hiệu chỉnh định kỳ để đảm bảo độ chính xác.
 Cảm biến gia tốc quang điện: Loại cảm biến này sử dụng nguyên lý
tương tự như cảm biến piezoelectric, nhưng thay vì sử dụng hiệu ứng
điện, nó sử dụng hiệu ứng quang điện để đo gia tốc.
Ưu điểm:
Độ chính xác cao và độ ổn định tốt trong môi trường khắc nghiệt.
Không bị ảnh hưởng bởi các yếu tố bên ngoài như rung động, nhiễu điện từ
hay nhiệt độ.
Có thể đo được tốc độ và gia tốc trên nhiều trục.
Không cần được hiệu chỉnh định kỳ.
Độ bền cao, có thể chịu được va đập và sử dụng trong môi trường khắc
nghiệt.
Hạn chế:
Chi phí đắt đỏ hơn so với các loại cảm biến khác.
Kích thước của cảm biến thường lớn hơn so với cảm biến MEMS, làm cho
việc tích hợp vào các hệ thống điện tử khó khăn hơn.
Độ đáp ứng chậm hơn so với cảm biến MEMS, tuy nhiên vẫn nhanh hơn so
với các loại cảm biến khác như cảm biến cơ điện.
III. Thiết kế và chế tạo cảm biến gia tốc
3.1 Thiết kế cơ khí của cảm biến gia tốc

Cảm biến gia tốc được thiết kế cơ khí với một số thành phần chính như sau:
 Khối cảm biến: Là phần chính của cảm biến, nơi sẽ xảy ra quá trình
chuyển đổi tín hiệu từ gia tốc thành tín hiệu điện. Khối cảm biến
thường được làm từ các vật liệu như silicon, polymer hoặc quartz.
  Bộ khung: Là phần giữ cảm biến và các linh kiện điện tử khác, bảo vệ
cảm biến khỏi các yếu tố bên ngoài như va đập và rung động. Bộ
khung thường được làm bằng kim loại nhẹ như nhôm hoặc hợp kim
nhôm.
 Các linh kiện điện tử: Bao gồm bộ khuếch đại tín hiệu, bộ lọc tín hiệu
và bộ xử lý tín hiệu. Các linh kiện này được tích hợp trên mạch điện
tử được đặt gần khối cảm biến để giảm thiểu nhiễu và độ trễ tín hiệu.
 Vỏ bảo vệ: Là lớp bảo vệ ngoài cùng của cảm biến, giúp bảo vệ các
linh kiện điện tử bên trong khỏi các yếu tố bên ngoài như nước, bụi
và ẩm ướt.
3.2 Thiết kế điện tử của cảm biến gia tốc

Thiết kế điện tử của cảm biến gia tốc bao gồm các thành phần chính sau:
  Bộ khuếch đại tín hiệu: Được sử dụng để tăng độ nhạy của tín hiệu
điện từ cảm biến, đảm bảo rằng tín hiệu đầu vào có độ lớn đủ để
được xử lý và đưa ra kết quả đo chính xác.
 Bộ lọc tín hiệu: Được sử dụng để lọc các tín hiệu nhiễu có thể ảnh
hưởng đến độ chính xác của tín hiệu đầu vào. Các bộ lọc tín hiệu
thường được thiết kế để loại bỏ các tần số nhiễu cao hơn hoặc thấp
hơn tần số đo.
 Bộ xử lý tín hiệu: Là thành phần cuối cùng của mạch điện tử, bộ xử lý
tín hiệu sẽ nhận tín hiệu đầu vào từ bộ khuếch đại và bộ lọc và xử lý
nó để tính toán gia tốc tương ứng. Sau đó, kết quả tính toán được
chuyển đến các hệ thống điều khiển khác để sử dụng.
Đối với cảm biến MEMS
 Khối cảm biến sẽ được sản xuất bằng công nghệ chế tạo vi mạch,
trong đó các thành phần như cấu trúc phản hồi, điện cực và cảm biến
được tạo thành trên cùng một tấm silicon. Các thành phần này sẽ
tương tác với nhau để tạo ra tín hiệu điện tương ứng với gia tốc được
đo.
 Các thành phần điện tử thường được tích hợp trên cùng một mạch
điện tử với khối cảm biến, giúp giảm thiểu các nhiễu từ việc kết nối
giữa các thành phần. Ngoài ra, để tiết kiệm năng lượng, các cảm biến
gia tốc thường được thiết kế để hoạt động ở chế độ tiêu thụ năng
lượng thấp khi không sử dụng, và tự động kích hoạt chế độ hoạt động
đầy đủ khi phát hiện có gia tốc xảy ra.
3.3 Quá trình chế tạo cảm biến gia tốc
 Thiết kế: Bước đầu tiên là thiết kế cảm biến gia tốc. Nó bao gồm việc
lựa chọn loại cảm biến gia tốc phù hợp với ứng dụng cụ thể, đặc tính
kỹ thuật của cảm biến, và các phần khác nhau của mạch điện tử cần
thiết để chuyển đổi tín hiệu.
 Chọn vật liệu: Sau khi có thiết kế cảm biến gia tốc, các vật liệu phù
hợp cũng được chọn để tạo thành cảm biến. Những vật liệu này bao
gồm các loại kim loại, bạc, vàng, và các vật liệu bán dẫn.
 Tiền xử lý vật liệu: Các vật liệu được tiền xử lý để loại bỏ bất kỳ hạt
bụi hoặc các tạp chất khác. Sau đó, chúng được cắt và xử lý với các
chất hóa học để tạo ra các mảnh vật liệu được sử dụng trong sản xuất
cảm biến.
 Lắp ráp: Các mảnh vật liệu được lắp ráp thành một cảm biến hoàn
chỉnh. Điều này bao gồm sử dụng các công nghệ kết nối khác nhau
như hàn, dán hoặc lắp ráp cơ khí để kết nối các mảnh vật liệu với
nhau.
 Kiểm tra và kiểm định: Sau khi cảm biến gia tốc đã được lắp ráp, nó sẽ
được kiểm tra và kiểm định để đảm bảo hoạt động đúng và chính xác.
Nó bao gồm kiểm tra cảm biến trên các điều kiện khác nhau và các giá
trị gia tốc khác nhau để đảm bảo rằng nó hoạt động chính xác và
không bị sai số.

 V. Ứng dụng của cảm biến gia tốc trong thực tế
5.1 Sử dụng cảm biến gia tốc trong đo lường và kiểm tra
 Đo và kiểm tra tốc độ và gia tốc của xe hơi: Cảm biến gia tốc
được sử dụng để đo tốc độ và gia tốc của xe hơi. Thông qua
các cảm biến gia tốc, hệ thống điện tử của xe có thể tự động
phát hiện và giảm tốc độ trong trường hợp cần thiết để tránh
tai nạn.
 Đo và kiểm tra các động tác của người và động vật: Cảm
biến gia tốc được sử dụng để đo và giám sát các động tác
của con người và động vật. Trong y tế, cảm biến gia tốc
được sử dụng để đo các động tác của bệnh nhân và giúp
chẩn đoán các vấn đề liên quan đến cơ thể, như hội chứng
chân rụng hoặc bệnh Parkinson. Trong thể thao, cảm biến
gia tốc được sử dụng để đo và phân tích các động tác của
vận động viên và cải thiện hiệu suất.
 Đo và kiểm tra rung động của thiết bị và máy móc: Cảm biến
gia tốc được sử dụng để đo và giám sát rung động của các
thiết bị và máy móc. Ví dụ, trong lĩnh vực sản xuất, cảm biến
gia tốc được sử dụng để kiểm tra và đo lường rung động
của máy móc và phát hiện các sự cố trên máy móc để có thể
sửa chữa kịp thời.
 Đo và kiểm tra độ rung của tòa nhà và cầu đường: Cảm biến
gia tốc được sử dụng để đo và giám sát độ rung của tòa nhà
và cầu đường. Các cảm biến này giúp giám sát sự ổn định
của cầu đường và tòa nhà và đảm bảo an toàn cho người
sử dụng
  Đo và kiểm tra độ rung của sản phẩm điện tử: Cảm biến gia
tốc được sử dụng để đo và giám sát độ rung của các sản
phẩm điện tử như điện thoại di động, máy tính bảng, máy
tính xách tay,..
5.2 Ứng dụng cảm biến gia tốc trong định vị và điều khiển
 Định vị GPS: Cảm biến gia tốc được sử dụng trong các hệ
thống định vị GPS để giúp xác định vị trí của thiết bị. Thông
qua việc đo tốc độ và gia tốc của thiết bị, hệ thống GPS có
thể tính toán vị trí của thiết bị một cách chính xác.
 Điều khiển thang máy và cầu thang cuốn: Cảm biến gia tốc
được sử dụng để điều khiển thang máy và cầu thang cuốn.
Thông qua việc đo tốc độ và gia tốc của thang máy và cầu
thang cuốn, hệ thống điều khiển có thể giữ cho các thiết bị
này hoạt động một cách an toàn và hiệu quả.
 Điều khiển robot: Cảm biến gia tốc được sử dụng để điều
khiển robot. Thông qua việc đo tốc độ và gia tốc của robot,
hệ thống điều khiển có thể giữ cho robot di chuyển một cách
chính xác và hiệu quả
 Định vị động vật: Cảm biến gia tốc được sử dụng để định vị
động vật, ví dụ như động vật hoang dã. Thông qua việc đo
tốc độ và gia tốc của động vật, hệ thống định vị có thể xác
định vị trí của động vật và theo dõi chúng.
 Điều khiển máy bay không người lái: Cảm biến gia tốc được
sử dụng trong các hệ thống điều khiển máy bay không người
lái. Thông qua việc đo tốc độ và gia tốc của máy bay, hệ
thống điều khiển có thể giữ cho máy bay di chuyển một cách
chính xác và an toàn
 Định vị và theo dõi hoạt động thể thao: Cảm biến gia tốc
được sử dụng để định vị và theo dõi hoạt động thể thao, ví
dụ như chạy bộ, đi bộ và đạp xe. Thông qua việc đo tốc độ
và gia tốc của người chơi.
5.3 Sử dụng cảm biến gia tốc trong giám sát và bảo trì
 Giám sát độ rung của máy móc: Cảm biến gia tốc được sử
dụng để giám sát độ rung của máy móc, giúp phát hiện các
lỗi và hư hỏng trước khi chúng gây ra hậu quả nghiêm trọng.
Nếu độ rung của máy móc vượt quá ngưỡng được thiết lập,
 hệ thống giám sát sẽ cảnh báo để người dùng có thể kiểm
tra và sửa chữa thiết bị kịp thời.
 Bảo trì hệ thống phanh xe hơi: Cảm biến gia tốc được sử
dụng để kiểm tra hệ thống phanh xe hơi, giúp phát hiện sớm
các vấn đề và đảm bảo an toàn khi lái xe. Nếu cảm biến gia
tốc phát hiện ra rằng phanh không hoạt động đúng cách, hệ
thống sẽ cảnh báo người dùng để kiểm tra và sửa chữa
 Giám sát hệ thống xử lý nước thải: Cảm biến gia tốc được
sử dụng để giám sát hệ thống xử lý nước thải, giúp phát
hiện các vấn đề như tắc nghẽn và độ rung của bơm. Nếu hệ
thống giám sát phát hiện ra rằng có vấn đề xảy ra, nó sẽ
cảnh báo để người dùng có thể kiểm tra và sửa chữa thiết bị
kịp thời.
 Kiểm tra tòa nhà: Cảm biến gia tốc được sử dụng để kiểm
tra tòa nhà, giúp phát hiện các vấn đề như độ rung của tòa
nhà và các cấu trúc bên trong. Nếu cảm biến phát hiện ra
rằng có vấn đề xảy ra, hệ thống giám sát sẽ cảnh báo để
người dùng có thể kiểm tra và sửa chữa kịp thời.
 Giám sát hệ thống điều hòa không khí: Cảm biến gia tốc
được sử dụng để giám sát hệ thống điều hòa không khí,
giúp ph át hiện các vấn đề và cải thiện hiệu suất của hệ
thống.

5.4 Ứng dụng của cảm biến gia tốc trên ô tô.
 Hệ thống kiểm soát chống bó cứng phanh (ABS): Cảm biến gia tốc
được sử dụng để giúp ABS phát hiện khi xe đang trượt, từ đó điều
khiển động cơ phanh để giảm tốc độ và tránh tai nạn.
 Hệ thống kiểm soát độ bám đường (Traction control system - TCS):
Cảm biến gia tốc giúp TCS phát hiện khi bánh xe đang trượt và
giúp điều chỉnh động cơ và hệ thống phanh để giữ độ bám đường
tốt.
 Hệ thống kiểm soát ổn định điện tử (Electronic stability control -
ESC): Cảm biến gia tốc giúp ESC phát hiện các chuyển động bất
thường của xe, bao gồm lực ly tâm và lực trọng tâm, từ đó điều
chỉnh phanh và động cơ để giữ cho xe ổn định trên đường.
 Hệ thống khởi động ngang dốc (Hill start assist - HSA): Cảm biến
gia tốc giúp HSA phát hiện khi xe đang dừng trên một dốc và giữ
phanh để ngăn chặn xe lùi lại.
 Hệ thống túi khí: Cảm biến gia tốc được sử dụng để phát hiện các
va chạm và kích hoạt túi khí để bảo vệ hành khách.
 Hệ thống phanh khẩn cấp: Cảm biến gia tốc được sử dụng để phát
hiện tình huống phanh khẩn cấp. Khi xe đang chạy với tốc độ cao
và lái xe đột ngột đạp phanh, cảm biến sẽ phát hiện ra sự thay đổi
gia tốc và thông báo cho hệ thống phanh khẩn cấp để kích hoạt và
hỗ trợ phanh.
 Hệ thống kiểm soát khởi hành ngang dốc (HDC): Cảm biến gia tốc
được sử dụng để phát hiện độ dốc của địa hình và hỗ trợ cho hệ
thống HDC để giữ cho xe đang đi trên đường dốc một cách an
toàn và ổn định.