MJB 4 SOP

了 ~
4 Barl 外 )
I. 打開 氣 (i) 閥⾨ ,
確認 流量 40 6 0 ( 內 )
~
,
若 40 ⾄ 氣 体 室 加压

2 .
確認 在 縮 空 氣 CCDA ) 常開
開机
3. Mainpower 転 到 0N

4. 压 MJB 4 screen 右上 按鈕 0N

奌 亮 汞 火了 (右 ⼿迅 )

pres ipoweroricscre nshowieadyi6.pres cicscre nshowiva.is

5.

)
"
start
:

Ytart ( betterwait 30 minut.es )

"

7. press
預熱 若 蜂鳴 聯絡 superuser
7 I
.

等候 汞 灯 ,
> 5min

7.2 等候 瓦特 值 ⾄ 1 60 W

參數 設定
pressimainmenu
"

8. MJB 4 screen

"

qpressjnrameters
9.1 setting Alignment t.me
eposure t.me

9.2 settingcontactm.de
"

93 宗 成 設定 後 要 pressioad
放置 光罩 此時 有 刷 ID card )
"

10 . MJB 4
screenlongpressimaskvacumisonsinaskvacnw.is OFF

II. 光罩 鉻 ⾯ 朝 上 放 在 Loader 上 ,
双 姆指 移动
"
"

pressinaskvacnmis
"

1 2 .
OFF >
maskvacumison

B. 管線 朝外 將 Londer 插入 ,
轉 緊 転鈕 ✗ 2
放置 sample
14 ,
放 在載 台 上 後 Longpressbutton 將 sample 固定 並 滑 入

対 準
15 ,
転 动 0M 旋鈕 調整 焦距
16 転动 2 軸 降 下 平台 Down 確定 sample 離 光罩 距離 ⾜夠
.

17 ,
抬 起昇降 桿 cscreenswitch )
18 .
粗 転鈕 調整 前後 左右 右⼿ ,
迅 細 転鈕 調整 á。 ⽅向
到 有 阻 1已 感 的 机 台 鳴叫 聲
19 ,
確定 對準 後 転 动 2 軸
2

曝光
注意 有 無 移位 )
"

Alignmentcheck
⼆

MTB 4 screen (
20 .

press
"

iposure
" :

21 .

press ,
Yes

取出 sample
22 ,
転动 Z 軸 降 下 平台 Down

23 .
在 下 昇降 桿 cscreenswitch )

狀況 排除
ascreen 沒 交換 , 压 昇 昇降感讓 MJB 4 重新 感應