Chapter 8

雷射光束之刀鋒量測
Laser beam measurement

8.1 實驗目的
1. 學習如何使用 copper 進行刀口法量測光源寬度

8.2 器材清單
器材清單如表8.1

Table 8.1: 器材清單

項目 器材名稱 數量 重點規格
1 綠光固態雷射 DPSS Laser 1 λ = 532nm
2 顯微物鏡 Objective 1 40X
3 空間濾波器 Spatial Filter 1
4 雙凸透鏡 1 f = 100mm、d = 2inch
5 雙凸透鏡 1 f = 50mm、d = 2inch
6
7

1
 CHAPTER 8. 雷射光束之刀鋒量測
8.3. 課前預習報告 LASER BEAM MEASUREMENT

8.3 課前預習報告
請使用 A4 紙本寫下

1. 本次實驗步驟

2. 高斯光束的數學公式，並解釋參數細項

3. 回答問題與討論第 1 題與第 2 題

2
 CHAPTER 8. 雷射光束之刀鋒量測
8.4. 實驗原理 LASER BEAM MEASUREMENT

8.4 實驗原理
8.4.1 高斯雷射特性
以波動理論來探討光的性質時，我們使用「波面」與「波線」的概念來描述波動。波
面，又稱為「等相面」，就是擾動時相位相等的各點連線的軌跡。而能量傳播的路徑，
叫做「波線」。最基本的波面為平面波與球面波兩種。球面波就是幾何光學中的會聚或
發散光束，平面波則是平行光束，也可看成是中心位於無窮遠的匯聚光束。球面波和
平面波佔有特殊的地位，一方面是它們的數學型式比較簡單，因此被研究的也較透徹；
另一方面是因為任何形狀的波面可看作是不同點光源的集合。點光源之於光學，就像
質點之於力學、點電荷之於電學，是建構整個理論體系的基礎。在真實的情況下，當
光束經過光學系統改造後形成的波，一般是較複雜的，單純使用平面波或球面波描述。
雷射光就是其中一例，雷射光在共振腔內，以及從共振腔發出的光波，既非平面
波，亦非單純的球面波，它屬於高斯光束，可參考示意圖 Fig. 8.1 與電場模擬圖 Fig.
8.2所示。

x
w(z)

w0 z
0 zR
y

圖 8.1: 高斯光束示意簡圖

圖8.1中，z = 0 是雷射截面積最小的地方，此處雷射光束的有效半徑 w0 稱為「光

腰」（Beam Waist）。高斯光束腰身的位置和大小，取決於共振腔的結構；與兩個反射
鏡的曲率、共振腔腔長有關。而光腰通常設計在雷射管內部，並不是雷射出口的位置。
由圖 Fig. 8.2 可以看出，在光腰的位置的波前形狀接近平面波；而傳遞至遠處時，則
演變為球面波。
將高斯光束用複數振幅的方式描述波函數，其型式為：
[ 2 ] [ ( 2 ) ]
Aw0 x + y2 x + y2
Ũ (x, y, z) = exp − 2 exp −jk + z + jφ(z) (8.1)
w(z) w (z) 2r(z)
√
或使用圓柱坐標系；ρ = x2 + y 2 ，則公式可改寫型式為:
[ ] [ ( 2 ) ]
Aw0 ρ2 ρ
Ũ (ρ, z) = exp − 2 exp −jk + z + jφ(z) (8.2)
w(z) w (z) 2r(z)

其中 w(z) 代表光束截面上的線寬 (line-width)，r(z) 代表波前的曲率半徑，φ(z) 代

表 Gouy phase，雷射光束在傳遞時，除了傳遞距離的相位變化外，存在的額外相位延

3
 CHAPTER 8. 雷射光束之刀鋒量測
8.4. 實驗原理 LASER BEAM MEASUREMENT

( m)
0

-1

-2

-3
-10 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 10
z ( m)

圖 8.2: 高斯光束電場 (|E|) 圖；

參考係數：λ = 532 nm, w0 = 600 nm

遲。

• 沿著 z 方向的光束截面線寬 (line-width); w(z)，會是一個雙曲線關係 (hyperbolic

relation)： √ √
( )2 ( )2
λz z
w(z) = w0 1 + 2
= w0 1 + (8.3)
πw0 zR
其中 zR 代表了 Rayleigh range
πw02
zR = (8.4)
λ
√
因此當雷射光距光腰 zR 時，寬度會變為 (2) 倍

• r(z) 代表波前的曲率半徑，當 z = ±ZR 時，會有最大的曲率 (Curvature)；換言

之，最小的曲率半徑。 [ ( )2 ]
ZR
r(z) = z 1 + . (8.5)
z

• Gouy phase (φ(z) ) 代表高斯光束在近軸傳遞時，相較於單頻平面波，存在額外

的相位延遲。
z
φ(z) = tan−1 (8.6)
z0

由公式 Eq. 8.1 可以了解。高斯光束的振幅與強度，在橫向上都是 (x, y) 的高斯型

函數（即指數上負的二次型函數）。可以用下式表示
[ ]2 [ ]
w0 2ρ2
I(ρ, z) = I0 exp − 2 (8.7)
w(z) w (z)

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8.4. 實驗原理 LASER BEAM MEASUREMENT

其中 I0 = |A0 |2 。當 z = 0, zR , 2zR 時，強度分佈如圖8.3所示。

當雷射光聚焦在焦點 (z = 0)，
振幅 (U ) 降低 e−1 (≃ 37%) 時的半徑會對應到光腰 (w0 );
√
強度 (I) 降低 e−1 時的半徑會對應到光腰 (w0 / 2);
強度 (I) 降低 e−2 (≃ 14%) 時的半徑才會對應到光腰 (w0 )。

(a) z=0 (b) z=1 z R

1.5 1.5 1.5 1.5

1 1 1 1

Intensity (a.u.)

Intensity (a.u.)
0.5 0.5 0.5 0.5
y ( m)

y ( m)
0 0 0 0

-0.5 -0.5 -0.5 -0.5

-1 -1 -1 -1

-1 -0.5 0 0.5 1 1.5 -1 -0.5 0 0.5 1 1.5

x ( m) x ( m)
(c) z=2 z R (d) I vs.
1.5 1.5 1
0 zR
1 1 2 zR
0.8
3 zR
Intensity (a.u.)
Intensity (a.u.)

0.5 0.5
0.6
y ( m)

0 0
0.4
-0.5 -0.5

0.2
-1 -1

0
-1 -0.5 0 0.5 1 1.5 -3 -2 -1 0 1 2 3
x ( m) ( m)

圖 8.3: 高斯光束在不同 z 軸位置的二維強度分布圖,(a) z = 0 ,(b)z = zR , and (c)z =

2zR ；圖中白線是 y = 0 的強度分布，對應於右側座標軸。(d) 將強度對應 ρ 關係重疊
於同一張圖表

Rayleigh range, zR , 常被用來協助衡量雷射光品質好壞。基本意義為「雷射光傳遞

了一個 Rayleigh range，則光束截面積增加一倍」。也就是從光束腰身 w0 到光束半寬度
√
變成 2w0 時的距離，可參考如圖8.3
πw2
，代入 w(z)，即可推得 z0 = λ 0 。如果一道雷射光的 Rayleigh range 越大，就表示
這道雷射光越不容易發散，這也是我們用來衡量雷射光品質好壞的標準之一。

5
 CHAPTER 8. 雷射光束之刀鋒量測
8.4. 實驗原理 LASER BEAM MEASUREMENT

8.4.2 刀口測量法
要測量雷射光點的尺寸，最直觀的方式是使用偵測器，如可以二維成像的 CMOS 感測
器或 CCD 感測器。然而，當雷射光聚焦後，感測器的解析度不足以清晰辨識。量測極
小的光點尺寸，若使用其他的放大光學鏡輔助，也容易引入其他的誤差。因此刀口量
測 (knife-edeg method) 是一個常使用的方法。使用一個刀片隔板，利用精密的單方向
平移臺，沿著圖 Fig. 8.3的截面方向 (如 x 軸) 逐漸擋住雷射光。並量測通過刀口後的
雷射光強度。由於已經知道雷射光的分布特性，強度對刀口位置的關係會如圖 Fig. 8.4
所示。因此，藉由數學軟體的曲線擬合 (curve fitting)，可求出對接近的參數解，進而
獲得準確的雷射腰寬，並且更進一步判定雷射的光點品質。實作上，一般手動控制的
機械式平移臺解析度為 10µm，對於接近波長尺度的雷射聚焦光點而言，仍不夠理想。
所以一般會使用電控的平移臺來進行實驗。在手動進行實驗時，可用簡易的估算法來
100 100 X 0.64
Y 90.1%
X1
normalized integral intensity along y-axis (%)

90 90
Y 97.8%
80 80 X 0.5
Y 84.4%
normalized intensity (%)

70 X 0.5 70
Y 60.7%
60 X -0.59 60
Y 49.8%
50 50
X 0.71
40 Y 36.5% 40

30 30
X1
20 20 X -0.64
Y 13.5%
Y 10.2%
X -1 X -0.5
10 10
Y 2.33% Y 16.1%
0 0
-3 -2 -1 0 1 2 3 -3 -2 -1 0 1 2 3
x/w0 x/w0

圖 8.4: 使用刀口法量測的雷射強度與刀口位置的關係圖，左圖為高斯光束在強度上的
分布關係；右圖為刀口法將隔板言 x 軸方向逐漸打開時，後方偵測器所糧量測到的強
度圖

計算雷射的腰寬，參考圖 Fig. 8.4的右圖。由於圖表已經被歸一化，找出 x 軸上的兩個

位置，其相對強度可以從圖上取得。就可以反推算出雷射腰寬 w0 的數值。
舉例來說：
藉由調整刀口位置使強度由 97.8% 降至 2.3%，此時刀口所移動的距離即為 ∆x = 2w0 。
實作實驗時，我們常選用 90% 與 10 %，一來可以避免系統的微小雜訊導致誤判，計算
上也較為容易，此時刀口移動距離 ∆x = (0.64 + 0.64)w0 ；換言之，將移動的距離乘上
0.78 後就會得到腰寬 w0 。

Chopper

使用平移臺可以精確地量出雷射寬度，但費時較長。舉例而言，如果要量測一個聚焦
光學系統的最小光點尺寸，會需要反覆且精細的校準 z 軸位置，才能獲得正確的數
值。因此若需要快速量測，並確保雷射光源具有足夠的穩定度。可以使用光學斬波器
Chopper 與示波器搭配進行實驗。Chopper 的主要構造為一個由馬達來驅動旋轉盤轉動
並可以調整所需要旋轉頻率的機器，參考圖 Fig. 8.5。旋轉盤就可以類比為刀鋒，原本
需要在空間上調整的遮擋範圍，變成會隨時間改變。進一步可以使用示波器解析數據。

6
 CHAPTER 8. 雷射光束之刀鋒量測
8.4. 實驗原理 LASER BEAM MEASUREMENT

圖 8.5: 光學斬波器效果示意圖

由與 Chopper 本身是週期旋轉的器材，而示波器的頻譜橫軸單位為時間，因此雷射的
寬度可以由下式推算。

w = 0.78 × d90−10 = 0.78 × 2π × R × fchopper × t90−10 (8.8)

其中 R 為光束到 chopper 的中心距離，t90−10 為強度由 90% 降至 10% 的時間，

d90−10 則是 chopper 使強度由 90% 降至 10% 的移動的距離。要注意雷射光點的大小亦
會影響到示波器的情況，一般而言，我們會將光束大小視為遠小於 R 以便計算。

7
 CHAPTER 8. 雷射光束之刀鋒量測
8.5. 實驗步驟 LASER BEAM MEASUREMENT

8.5 實驗步驟
8.5.1 手動精密平移臺
1. 校準雷射光路，使雷射光平行於桌面。將雷射通過用空間濾波器組成的擴束系
統。

2. 選定擴束的雷射的位置 (如 20 cm 後)，架設刀口法實驗架構，參考圖 Fig. 8.6所

示。

Spatial filter

Laser Obj_1 P_1 L_1 L_f knife L_2 Det Multimeter

圖 8.6: 刀鋒量測 (線性平移臺) 示意圖

3. 手動調整量測平移臺，讓刀片沿著 x 軸移動，藉此量測雷射光寬度。

8.5.2 電控平移臺
1. 延續手動精密平移臺的實驗架構，但改用電控平移臺來進行實驗。比較兩者的實
驗結果。

2. 使用一個焦距 10 cm 透鏡，使雷射先聚焦後發散。

3. 量測焦點前後，z = −5, −3, −1, 0, 1, 3, 5 cm 位置的雷射光束寬度。

8.5.3 Chopper
1. 參考圖8.7，將電控平移臺架構替換掉。

2. chopper 電源先不開啟，確認雷射光束能否完全通過切口或是完全被遮擋住。

3. 讓 chopper 位置擺放於焦點前後 21 個以上的不同距離，須包含電控平移臺的量

測量測。截取示波器的輸出圖形。

4. 參考公式，計算光束光度。並與理論至對照。

8
 CHAPTER 8. 雷射光束之刀鋒量測
8.6. 問題討論 LASER BEAM MEASUREMENT

Spatial filter

Laser Obj_1 P_1 L_1 L_f chopper L_2 Det oscilloscope

圖 8.7: 刀鋒量測 (光學斬波器) 示意圖

8.6 問題討論
1. 請說明以下名詞在雷射光的高斯分布函數下，之間的差異性與關聯性。請搭配簡
圖 (如圖 Fig. 8.4) 說明。

(a) Lind-width
(b) Full width at half maximum, FWHM
(c) standard deviation
(d) Beam waist
(e) Spot size

2. 請用文字敘述解釋以下名詞在高斯光束的意義；需要包含數學公式與文字敘述。

(a) Rayleigh range

(b) 光束腰寬 (beam waist)
(c) 發散角度 θ
(d) Gouy phase

3. 假設有一道波長 532 nm 綠光雷射的高斯光束，其光束的 Lind-width 為 2.54 cm。

通過一個焦距 10 公分的聚焦替系統。假設不存在像差，請計算此時的聚焦光腰
(w0 )，並推導出 w0 與波長 (λ)、焦距 (f ) 與孔徑大小 (D) 之間的關係式。

4. 本次實驗的雷射光束只考慮基態的橫向模態 T EM00 ，假設此次實驗改為使用

T EM12 ，圖 Fig. 8.4會如何改變。請嘗試使用數學軟體計算，並附上你的原程式
碼 (圖片文字皆可)，Hermite-Gaussian beam 的程式碼建議由網路資源取得。

5. 許多光學系統，討論到成像解析度時，都會由聚焦點大小作為基本概念。假設實
驗的參數如下，入射光中心波長 λ、孔徑 (直徑) 為 D、焦距 f 、透鏡材料的折射
率為 n。請考慮以下的機制，寫出光點大小 (spot size) 的相關公式。

9
 CHAPTER 8. 雷射光束之刀鋒量測
8.6. 問題討論 LASER BEAM MEASUREMENT

(a) 雷射高斯光束
(b) 平面波的繞射極限：可用 Airy Disk 作為關鍵字搜尋資料
(c) 球面像差 (TSA)：可用橫向球面像差作為關鍵字搜尋資料，T SA ∝ D3 f −2 。

6. 承上題 5 假設實驗參數用 532 nm 的綠色光源，透鏡焦距為 10 cm，透鏡為凸平

透鏡 (凸面朝向光源)，透鏡材料為 BK7。請畫出三項機制的孔徑 (直徑) 對光點
大小的關係圖。

7. 處理光線傳遞的問題時，ABCD law 是一個常見的方式。高斯光束也可以與

ABCD law 搭配使用，計算時會使用複數光束參數 (complex beam parameter, q)：

1 1 λ
= −i 2 (8.9)
qin r πw n

請使用網路資源解釋上述公式中各符號的意義，並寫下當高斯光束通過一個光線
[ ]
A B
轉化矩陣 (ray transfer matrix) 為 的光學系統時，輸入的 qin 與輸出的
C D
qout 的關係式。相關證明請參閱額外文獻資料 [6]。

10
參考文獻

[1] E. Hecht，Optics (4th Ed.)，p.589-596 ，Addison Wesley，2002

[2] 趙凱華，鐘錫華，光學，北京大學出版社。

[3] Y. Suzaki and A. Tachibana，"Measurement of the m Sized Radius of Gaussian Laser

Beam Using the Scanning Knife Edge"，Applied Optics，vol. l4，#l2，p.2809，(Dec.
l975).

[4] Wikipedia contributors. Gaussian beam. Wikipedia, The Free

Encyclopedia. August 7, 2022, 17:20 UTC. Available at:
https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=Gaussian_beam&oldid=1102931971.
Accessed August 12, 2022.

[5] Wikipedia contributors. Spherical aberration. Wikipedia, The

Free Encyclopedia. March 28, 2022, 08:39 UTC. Available at:
https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=Spherical_aberration&oldid=1079724248.
Accessed August 14, 2022.

[6] Yariv, A., ; Yeh, P. (2009). Photonics: Optical electronics in modern communications
(pp. 84-86). Oxford Univ. Press.

Acknowledgement
感謝以下人員協助編修

• 國立陽明交通大學邱昱銓 (2022)

上課投影片與補充資料
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參考文獻 參考文獻

高斯光束 MatLab 程式碼範例

clear all ; close all ; clc

% calculating range
z = linspace ( -10 ,10 ,201) *1 e -6+ eps ;
rho = linspace ( -0.03 ,0.03 ,1001) *1 e -4+ eps ;
x = rho ;
y = rho ;
[ ZZ , RRHO ]= meshgrid (z , rho ) ;
[ XX , YY ]= meshgrid (x , y ) ;

% tunable parameter
A0 =1;
lambda =532 e -9;
w0 =0.6 e -6;

% gaussian beam parameter

zR = pi * w0 ^2/ lambda ;
wz = w0 * sqrt (1+( ZZ / zR ) .^2) ;
rz = ZZ .*(1+( zR ./ ZZ ) .^2) ;
phi = atan ( ZZ / zR ) ;
k =2* pi / lambda ;
I0 = abs ( A0 ) .^2;

% gaussian beam wavefunction

UU = A0 * w0 ./ wz .* exp ( - RRHO .^2./ wz .^2) .* exp ( -1 i * k *( RRHO .^2/2./ rz + ZZ )
+ 1*1 i * phi ) ;

[~ , i_0zR ]= min ( abs (z -0* zR ) ) ;

[~ , i_1zR ]= min ( abs (z -1* zR ) ) ;
[~ , i_2zR ]= min ( abs (z -2* zR ) ) ;
[~ , i_rho ]= min ( abs ( rho -0) ) ;

II_0zR = I0 *( w0 ./ wz (1 , i_0zR ) ) .^2.* exp ( -2*( XX .^2+ YY .^2) / wz (1 , i_0zR )

^2) ;
II_1zR = I0 *( w0 ./ wz (1 , i_1zR ) ) .^2.* exp ( -2*( XX .^2+ YY .^2) / wz (1 , i_1zR )
^2) ;
II_2zR = I0 *( w0 ./ wz (1 , i_2zR ) ) .^2.* exp ( -2*( XX .^2+ YY .^2) / wz (1 , i_2zR )
^2) ;

12
參考文獻 參考文獻

figure (1)
imagesc ( z *1 e6 , rho *1 e6 , real ( UU ) )
axis xy
% shading interp
hold on
plot ( z *1 e6 ,[ wz (1 ,:) ; zeros ( size ( z ) ) ; - wz (1 ,:) ]*1 e6 , ’w ’) ;
hold off
xlabel ( ’z ␣ (\ mum ) ’) ;
ylabel ( ’\ rho ␣ (\ mum ) ’) ;

figure (3)
t = tiledlayout (2 ,2 , ’ TileSpacing ’ , ’ compact ’ , ’ Padding ’ , ’ compact ’) ;
nexttile
imagesc ( x *1 e6 , y *1 e6 , II_0zR ) ;
xlabel ( ’x ␣ (\ mum ) ’) ;
ylabel ( ’y ␣ (\ mum ) ’) ;
xlim ([ min ( x *1 e6 ) /2 max ( x *1 e6 ) /2]) ;
ylim ([ min ( y *1 e6 ) /2 max ( y *1 e6 ) /2]) ;
title ( ’( a ) ␣ z =0 ’) ;
axis xy
caxis ([0 1]) ;
hold on
yyaxis right
plot (( rho - eps ) *1 e6 , abs ( UU (: ,[ i_0zR ]) ) .^2 , ’w ’) ;
xlim ([ min ( x *1 e6 ) /2 max ( x *1 e6 ) /2]) ;
ylim ([ min ( y *1 e6 ) /2 max ( y *1 e6 ) /2]) ;
ylabel ( ’ Intensity ␣ ( a . u .) ’) ;
axis xy
hold off

nexttile
imagesc ( x *1 e6 , y *1 e6 , II_1zR ) ;
xlabel ( ’x ␣ (\ mum ) ’) ;
ylabel ( ’y ␣ (\ mum ) ’) ;
xlim ([ min ( x *1 e6 ) /2 max ( x *1 e6 ) /2]) ;
ylim ([ min ( y *1 e6 ) /2 max ( y *1 e6 ) /2]) ;
title ( ’( b ) ␣ z =1\ timesz_R ’) ;
axis xy
caxis ([0 1]) ;
hold on
yyaxis right

13
參考文獻 參考文獻

plot (( rho - eps ) *1 e6 , abs ( UU (: ,[ i_1zR ]) ) .^2 , ’w ’) ;

xlim ([ min ( x *1 e6 ) /2 max ( x *1 e6 ) /2]) ;
ylim ([ min ( y *1 e6 ) /2 max ( y *1 e6 ) /2]) ;
ylabel ( ’ Intensity ␣ ( a . u .) ’) ;
axis xy
hold off

nexttile
imagesc ( x *1 e6 , y *1 e6 , II_2zR ) ;
xlabel ( ’x ␣ (\ mum ) ’) ;
ylabel ( ’y ␣ (\ mum ) ’) ;
xlim ([ min ( x *1 e6 ) /2 max ( x *1 e6 ) /2]) ;
ylim ([ min ( y *1 e6 ) /2 max ( y *1 e6 ) /2]) ;
title ( ’( c ) ␣ z =2\ timesz_R ’) ;
axis xy
caxis ([0 1]) ;
hold on
yyaxis right
plot (( rho - eps ) *1 e6 , abs ( UU (: ,[ i_2zR ]) ) .^2 , ’w ’) ;
xlim ([ min ( x *1 e6 ) /2 max ( x *1 e6 ) /2]) ;
ylim ([ min ( y *1 e6 ) /2 max ( y *1 e6 ) /2]) ;
ylabel ( ’ Intensity ␣ ( a . u .) ’) ;
axis xy
hold off

nexttile
plot (( rho - eps ) *1 e6 , abs ( UU (: ,[ i_0zR ; i_1zR ; i_2zR ]) ) .^2 , ’ linewidth ’
,1.5)
xlabel ( ’\ rho ␣ (\ mum ) ’) ;
ylabel ( ’ Intensity ␣ ( a . u .) ’) ;
title ( ’( d ) ␣ I ␣ vs . ␣ \ rho ’) ;

legend ( ’ 0\ timesz_ { R } ’ , ’ 2\ timesz_ { R } ’ , ’ 3\ timesz_ { R } ’)

figure (4)

I_Nor0 =100* sum ( II_0zR ) ./ max ( sum ( II_0zR ) ) ;

I_Nor =100* sum ( II_0zR ) * triu ( ones ( size ( II_0zR ) ) ) ./ max ( sum ( II_0zR ) *
triu ( ones ( size ( II_0zR ) ) ) ) ;
X_Nor =( x - eps ) / w0 ;

14
參考文獻 參考文獻

t = tiledlayout (1 ,2 , ’ TileSpacing ’ , ’ compact ’ , ’ Padding ’ , ’ compact ’) ;

nexttile
plot ( X_Nor , I_Nor0 ) ;
xlim ([ -3 3])
xlabel ( ’x / w_0 ’) ;
ylabel ( ’ normalized ␣ integral ␣ intensity ␣ along ␣y - axis ␣ (%) ’) ;

nexttile
plot ( X_Nor , I_Nor ) ;
xlim ([ -3 3])
xlabel ( ’x / w_0 ’) ;
ylabel ( ’ normalized ␣ intensity ␣ (%) ’) ;

15