Національна академія наук України

Інститут фізики напівпровідників

ім. В.Є. Лашкарьова
Технологія нанесення
тонкоплівкових тефлонових покриттів

Запропонована технологія базується на термічному розкладанні масивного тефлону у

вакуумі з активацією електронною хмарою та, при необхідності, з додатковою обробкою
високочастотним розрядом (на початку нанесення для високої адгезії, в кінці - для
твердості поверхні, зберігаючи гнучкість плівки тефлону). Технологія може бути
реалізована на вакуумній установці з вакуумом 1*10-5 мм рт. ст. Реалізація розробленої
технології на вакуумній установці УВН 74 – за один технологічний цикл (2 години)
можливо нанесення плівки тефлону товщиною 100 - 250 нм на 40 підкладок розміром
60х48х0,6 мм3 (0,12 м2). Швидкість нанесення від 5 до 10 нм за хвилину.
Застосування тефлонових покриттів
Захисні шари тефлону - захисне покриття на тканинах, медичних інструментах,
електронних платах. Крім того, тефлонова плівка - стійка полімерна матриця для
органічних та неорганічних наночастинок. Функціональні шари тефлону –
антибактеріальні, сенсорні нанокомпозитні плівки та багатокомпонентні нанокомпозитні
покриття.
Практичні застосування плівок тефлону
Захисне покриття на тканинах. Тонкоплівкові шари тефлону надають
супергідрофобні властивості тканинам. Такі тканини також захищають від агресивних
хімічних речовин.
Медицина. Покриття хірургічних інструментів, лез, медичних дротів, ендоскопів,
катетерів та стентів для зменшення тертя та надання поверхні антимікробних
властивостей.
Антибактеріальні нанокомпозитні покриття. Антибактеріальна дія
нанокомпозитів “срібло в матриці тефлону” на бактерії Staphylococcus aureus та S.
epidermidis була отримана при надмалій концентрації срібла: ~0,1 г·м −2
Захисні покриття для електроніки. Після нанесення тефлонової плівки на
електронну друковану плату з компонентами її поверхня стає гідрофобною, не змочується
вдою та іншими рідинами, а металеві електроди не знищуються корозією.
В Німеччині розроблена нами технологія була адаптована та перероблена щодо
наявного вакуумного обладнання. Зараз покриття з тефлону застосовуються для
підвищення терміну служби датчиків, що працюють в агресивних умовах: у морській воді,
в нафті, бензині, кислотах і т.д.
Запропонована технологія є патентоспроможною. Ми можемо покривати
захисним покриттям все те, що зараз покривають паріленом методами плазмової
полімеризації та піролітичним методом. Винятком є внутрішні поверхні мікронних отворів
пляшкоподібної форми. Наші тефлонові покриття мають більшу адгезію, твердість та
хімічну стійкість, водо-, брудо-, мастило- відштовхуючі властивості у порівнянні з
паріленовими плівками, які у теперішній час застосовуються у США для захисних
покриттів електронних плат побутової електроніки та електроніки спеціального
призначення для ракет, дронів, персональних та кишенькових комп’ютерів, приладів
зв’язку.
Контакти: Гриценко Костянтин Петрович d.grytsenko@gmail.com, Коломзаров
Юрій Вікторович kolomzarov@isp.kiev.ua
Національна академія наук України
Інститут фізики напівпровідників
ім. В.Є. Лашкарьова
Thin-film Teflon coatings
deposition technology

The proposed technology is based on the thermal decomposition of a massive Teflon in

vacuum with the activation of an electron cloud and, if necessary, with additional processing by
high-frequency discharges (at the beginning of deposition for high adhesion, at the end for the
hardness of the surface, while maintaining the flexibility of the Teflon film). The technology can
be implemented on a vacuum equipment with a vacuum of 1* 10 -5 mm Hg. Implementation of the
developed technology at the vacuum unit UVN 74 - in one technological cycle (2 hours) it is
possible to deposite a Teflon film thickness of 100 - 250 nm on 40 substrates with the size
60x48x0,6 mm3 (0,12 m2). Deposition rate from 5 to 10 nm per minute.
Application of Teflon films
Protective layers of Teflon - protective coating on fabrics, medical instruments, electronic
boards. In addition, Teflon film is a stable polymer matrix for organic and inorganic
nanoparticles. Teflon functional layers - antibacterial, sensor nanocomposite films and
multicomponent nanocomposite coatings.
Practical application of Teflon films
Protective coating on fabrics. Thin film layers of Teflon provide superhydrophobic
properties to the tissues. Such fabrics also protect against aggressive chemicals.
Medicine. Coating of surgical instruments, blades, medical wires, endoscopes, catheters
and stents to reduce friction and provide surface antimicrobial properties.
Antibacterial nanocomposite coatings. The antibacterial action of the nanocomposites
"silver in the Teflon matrix" on the bacteria Staphylococcus aureus and S. epidermidis was
obtained at an ultra-high concentration of silver: ~ 0.1 g*m-2.
Protective coatings for electronics. After applying the Teflon film on electronic printed
circuit board with components, its surface becomes hydrophobic, it is not watered by the water
and other liquids, and metal electrodes are not destroyed by corrosion.
In Germany, the technology we have developed has been adapted and refined with regard
to the existing vacuum equipment. Now coatings from Teflon are used to improve the life of
sensors working in aggressive conditions: in seawater, in oil, gasoline, acids, etc.
The proposed technology is patentable. We can cover all the coatings that are currently
covered with parylene by plasma polymerization and pyrolytical methods. Exception is the
internal surface of the micron apertures of the bottle-shaped form. Our Teflon coatings have a
high adhesion, hardness and chemical resistance, water, dirt, oil-repellent properties compared to
parylene films that are currently used in the USA for protective coatings of consumer electronics
and electronics specially designed for rockets, drones , personal and handheld computers,
communication devices.

Contacts: Grytsenko Kostyantyn d.grytsenko@gmail.com,

Kolomzarov Yuriy kolomzarov@isp.kiev.ua