第３６卷 第１期 压　电　与　声　光 Ｖｏ

ｌ．３６Ｎｏ．
１
２０１４年０２月 ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ　
＆ ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ　 Ｆｅｂ．２０１４

　　 文章编号：
１００４－２４７４（
２０１４）
０１－００７６－０３

ＰＶＤＦ 触滑觉传感器结构及其调理电路设计
辛 　 毅 ，杨庆雨 ，郑浩田 ，蒋 　 琪
（吉林大学 仪器科学与电气工程学院，吉林 长春 １３００６１）

　　 摘 　 要：应用聚偏二氟乙烯（
ＰＶＤＦ）压电薄膜作为敏感材料，通过结构设计增加 ＰＶＤＦ 薄膜传感器的微振 动 信
号响 应，制 作 了 新 型 触 滑 觉 传 感 器。 采 用 ＣＡ３１４０ 作 为 电 荷 放 大 器 对 ＰＶＤＦ 压 电 薄 膜 传 感 器 的 电 荷 变 化 进 行 放
大，再通过电压放大、工频陷波及低通滤波处理，调理分辨出直观的触觉信号和 滑 觉 信 号。 测 试 结 果 通 过 示 波 器 观
察可明显分辨出触觉信号和滑觉信号。
关键词：聚偏二氟乙烯（
ＰＶＤＦ）压电薄膜传感器；压电效应；弓形结构；加强振动；信号调理
中图分类号： ＴＰ２１２　　　 文献标识码：
ＴＭ２８２； Ａ

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０　 引言 荷，并且产生的电荷的多少与薄膜的压电系数、计划
方向上的应 力 大 小、薄 膜 的 有 效 面 积 ３ 个 量 有 关。
目前，在机器人仿生皮肤的信息采集中，触滑觉
故可通过 检 测 薄 膜 的 电 荷 量 变 化 来 反 应 应 力 的 变
的识 别 最 关 键，且 难 度 最 大。 因 其 柔 韧 性 好，轻 盈，
化。ＰＶＤＦ 薄膜在受到压力或纵向力后会在两极 产
频带响应宽等特点，从 而 基 于 压 电 效 应 的 聚 偏 二 氟
生相应电荷，从而产生电压差。
乙烯（
ＰＶＤＦ）薄膜传感器 在 触 滑 觉 识 别 的 研 究 中 日
ＰＶＤＦ 压电薄膜的压电方程为 １－２
［ ］
益受到重视。ＰＶＤＦ 在受到压力或拉伸时会在两表
σ
面产生相应电荷，通 过 电 荷 的 变 化 情 况 可 分 辨 轻 触 烄Ｄ＝ｄσ＋κＥ （
　　 烅 Ｅ Ｔ
１）
或是滑动。 本 文 应 用 ＰＶＤＦ 压 电 薄 膜 设 计 制 作 一 烆ε＝Ｓσ＋ｄ Ｅ
种新型触滑觉识别传感器，并设计实现其调理电路。 式中：
Ｄ 为电位移；
Ｅ 为电场强度；
σ 为应力；
ＳＥ 为弹
将微弱的电荷信号转换为直观的电压信号来反映薄 性系数；
ε 为应变；
κσ 为 介 电 常 数。 晶 体 压 电 方 程 对
膜的电荷量变化情况，进而实现触滑觉的识别。 压电薄膜而言，外界电场 Ｅ 为 ０，所以
１　ＰＶＤＦ 压电薄膜材料 　　 Ｄ＝ｄｉｊσ （
２）
ＰＶＤＦ 是一种高分子聚合物。ＰＶＤＦ 压电薄膜 式中 ｄｉｊ 为压电 应 变 系 数。 作 为 极 化 后 的 压 电 薄 膜
在薄膜面受到应力 作 用 时，薄 膜 会 在 应 力 的 作 用 下 只与薄膜面所在 ｚ 轴相垂直的 ３ 个方向上有极化电
产生极化现象，从而 在 其 两 表 面 上 产 生 正 负 等 量 电 荷产生，所以推得

　　 收稿日期：２０１３－０３－２２
　　 基金项目：国家自然基金资助项目（ ５１３０３０６２）；中 国 博 士 后 科 学 基 金 面 上 资 助 项 目 （
２０１１０４９１２９７）；中 国 博 士 后 科 学 基 金 特 别 资 助 项 目
（２０１２Ｔ５０２７６）；吉林大学大学生创新基金资助项目（ ２０１２Ｂ６５２１３）
　　 作者简介：辛毅（ １９８１－），女，吉林长春人，副教授，博士，主要从事传感器与微弱信号检测的研究。Ｅ－ｍａ ｉｌ：
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ｕ．ｅｄｕ．ｃｎ。
　第１期 辛毅等：
ＰＶＤＦ 触滑觉传感器结构及其调理电路设计 ７７　

Ｄｚ ＝ｄ３１σｘｘ ＋ｄ３２σｙｙ ＋ｄ３３σｚｚ （３）

式中：
σｘｘ ， σｚｚ 为沿ｘ、
σｙｙ ， ｙ 和ｚ 方向上作用的拉应力
Ｄｚ 为 垂 直 于ｚ 轴 的 表 面 上 产 生 的 电 位
或压 应 力；
移。

２　 传感器的制作
根据实际需要确定 ＰＶＤＦ 压电薄膜（厚 ３０μｍ，
表面镀有铝电极）的面积进行剪切，接下来将剥好皮 图 ２　 电荷放大电路
的铜线用胶布粘在 导 电 胶 布 的 上 面，粘 接 时 注 意 将 为使传感器的输出电荷得到足够的放大且不失
铜细线分散开在导电布上以扩大接触面积。最后用 真，以及放大后的电 压 不 至 过 大 而 使 后 级 电 压 放 大
绝缘胶布封装外围。制作出薄膜压电传感器 ［
３－５］
。 器饱 和，应 选 取 适 当 的 积 分 电 容 Ｃ１ ，以 使 整 个 电 路
将制作好电极的压电薄膜粘附在硬质弹性塑料 可在工作区中保持稳定。如果 Ｃ１ 过大，则放大效果
上，做成弓形，并在传感器外层贴附橡胶膜做成的形 不明显，使有效信号淹没在噪声中，将会对后级滤波
状如图 １ 所示。其结构特点为： 及放大电路提出更高 要 求；如 果 Ｃ１ 太 小，则 将 使 整
１）橡胶层增加摩擦。 个系统噪声增大，使信号发生畸变，进而影响信号的
２）借助弓形 的 弹 性 并 使 薄 膜 置 于 悬 空 状 增 加 采集。采用单电源供电的 ＣＡ３１４０ 直流工作时其电
微振动。图中固定片可制作成相应的形状以适用贴 容负反馈支路可看作是断路，对噪声敏感，且放大器
附于机电假手、机器手等感知装置上。
零漂 大。 故 在 Ｃ１ 的 两 端 并 联 电 阻 Ｒ３ 用 来 提 供 直
流反馈，以保证 电 荷 放 大 器 的 稳 定 性。 经 测 试 反 馈
电阻值以 １００ ＭΩ 为佳。
当由 ＰＶＤＦ 压 电 薄 膜 传 感 器 产 生 的 电 荷 信 号
经电荷放大电路高 增 益 地 放 大 后，原 始 电 荷 信 号 己
转换成有较好抗噪 声 能 力 也 方 便 后 续 传 输、采 集 及
图 １　 传感器结构示意图
处理的电压信号。此时，电压信号强度稳定 ［７－８］。
３　 信号调理电路的设计
２　 电压放大器
３．
信号调理部分电路的主要工作是通过电荷放大
为了 方 便 后 续 处 理 中 对 信 号 大 小 的 要 求，在 电
电路、滤波放大调理 出 可 由 电 压 直 观 分 辨 的 触 滑 觉
荷放大电路后，再连 接 一 个 可 调 增 益 的 电 压 放 大 电
信号，以便将 信 息 传 送 给 单 片 机 或 ＰＣ 机 进 行 下 一
路，以便可根据具体应用的需要，对所得到的电压信
步处理 ［６］。
号的幅值进行调节，所 以 将 前 置 电 路 的 第 二 级 设 计
１　 电荷放大器
３．
为电压放大电路。
ＰＶＤＦ 压电薄膜 的 输 出 阻 抗 较 高，所 以 只 有 在
电压放大电路的信号已经是具有一定信噪比和
前置电荷放大电路 噪 声 低、输 入 阻 抗 高 时 才 能 实 现
抗干扰能力的电压 信 号，电 压 放 大 器 只 起 到 稳 定 压
阻抗匹配。为此选用电压控制电流型场效应管集成
电信号及为后续进一步处理需要预先做好准备的作
放大器为宜。ＣＡ３１４０ 典 型 工 作 情 况 下 输 入 阻 抗 达
用。注意其放大 输 出 电 压 不 要 超 过 Ａ／Ｄ 采 集 上 限
５ ＴΩ，适 宜 用 作 前 置 放 大 器 的 核 心 器 件，在 放 大
１． 电压和电源电压。
器可视为开路且 其 开 环 增 益 （
Ｋ ）相 当 大 时，其 输 出 ３　 陷波电路
３．
电压 Ｕ１ ＝ＫＱ，即 正 比 于 传 感 器 的 输 出 电 荷。 因 此 陷波 电 路 如 图 ３ 所 示，为 二 阶 压 控 电 压 源 型 陷
可由电压值反映传 感 器 的 电 荷 变 化，从 而 采 集 触 滑 波器，其传递函数为
觉信息。 Ｋ０（ ０）
Ｓ２ ＋ω２
Ｈ（
ｓ）＝ ２ （
４）
电荷 放 大 器 电 路 图 如 图 ２ 所 示，采 用 单 电 源 对 Ｓ ＋αω０Ｓ＋ω２０

ＣＡ３１４０ 进行供电，这样 使 输 出 信 号 只 有 正 峰 值，以 式中：Ｋ０ 为系 统 固 定 增 益；

α 为 阻 尼 系 数；
ω０ 为 带
便于后续电路中单片机的信号采集。 阻滤波器的中心频率；
Ｓ 为复频率变量。其中
　７８ 压　电　与　声　光 ２０１４ 年 　

１ 　　 系统整体加传感器测试时，触觉信号为一个脉
ω０ ＝ （
５）
槡 Ｒ２Ｒ３Ｃ１Ｃ２ 冲峰值，幅值到 ４．
４８Ｖ 截 止，此 时 到 达 放 大 电 压 最
大值，滑觉为一系列 紧 凑 波 动，幅 值 在 ２．
０ Ｖ 以 下。
触滑觉典型波形图如图 ５ 所示。

图 ３　 工频陷波电路
改变放大器 ＯＰ３７ 的 ２ 脚与 ６ 脚间阻抗可改变
其通 带 内 增 益。 图 中，陷 波 器 中 心 陷 波 频 率 为
［］
５８３ Ｈｚ９ 。
５０．
４　１００Ｈｚ低通滤波电路
３．
ＰＶＤＦ 压电材料传感器的低频响应从一开始的
微弱电荷信号到经 过 放 大，成 了 有 一 定 信 噪 比 的 电
压信号。 在 这 一 路 放 大 的 过 程 中，难 免 引 入 噪 声。
且在有用信号被一 路 放 大 的 过 程 中，噪 声 也 同 样 在
被一路放大。噪声 无 处 不 在，成 为 信 号 采 集 工 作 的
阻碍。为了获取有 较 高 信 噪 比 的 有 用 信 号，就 必 须
减少噪声的引入，应 将 已 引 入 系 统 的 噪 声 尽 可 能 地
去除。依照人体动作频率一般在１００Ｈｚ以内，所以
设计要 求 滤 波 器 的 通 带 频 率 在 ０．
１～１００ Ｈｚ 范 围
内。图 ４ 为 低 通 滤 波 电 路 图，其 截 止 频 率 ω０ ＝ 图 ５　 触滑觉典型波形
设计 电 路 满 足 调 理 要 求，可 通 过 观 察 输 出 波 形
。１
槡
Ｒ ＲＣＣ
２ １ １ ２
变化分辨出触觉和 滑 觉，触 觉 和 滑 觉 信 号 在 波 形 和
幅值上都有明显差 别，可 通 过 单 位 时 间 内 的 脉 冲 个
数或脉冲均值等在 量 化 上 分 辨 出 触 觉 和 滑 觉，为 后
续处理做好了基础。

５　 结束语
通过对 ＰＶＤＦ 薄膜感知触滑觉原理的研 究，设
计制作了新型触滑 觉 传 感 器 及 其 信 号 调 理 电 路，实
图 ４　 低通滤波电路 现了对触觉和滑觉信号的明显区分。该传感器具有
灵敏度高，结构简 单，质 轻，成 本 低 及 便 于 集 成 等 优
４　 系统测试结果分析
点，为高性能、高灵敏度机器人仿生皮肤的研究奠定
对系 统 进 行 测 试，在 放 大 器 端 加 频 率 可 调 正 弦
了基础。
信号，幅值固定为 １Ｖ。应用示波器观察记录如表 １
参考文献：
所示。
表 １　 调理电路测试结果 １］ 王国力，赵子婴，白 金 星 ．ＰＶＤＦ 压 电 薄 膜 脉 搏 传 感 器
［
的研制［
Ｊ］．传感技术学报， ２００４，
１７（
４）：６８７－６９２．
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２００４，
１７（
４）：
６８７－６９２．
１００ Ｈｚ低通滤波 １７０ Ｈｚ时输出小于 １００ｍＶ （下转第 ８４ 页）
　８４ 压　电　与　声　光 ２０１４ 年 　

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