分 类 号 学 号 M201070613

学校代码 10487 密 级

硕士学位论文

氮氧传感器陶瓷芯片
检测系统的研制

学位申请人: 徐雯
学 科 专 业: 数字化材料成形
指 导 教 师: 修吉平 副教授
答 辩 日 期: 2013 年 1 月
A Thesis Submitted in Partial Fulfillment of the Requirements

For the Degree of Master of Engineering

Development of detection system of the NOx sensor

ceramic chip

Candidate: Xu Wen

Major : Digitalize Material Processing

Supervisor: Associate Prof. Xiu Jiping

Huazhong University of Science and Technology

Wuhan, Hubei 430074, P. R. China

January, 2013
 独创性声明

本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的
研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人
或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已
在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。

学位论文作者签名：
日期： 年 月 日

学位论文版权使用授权书

本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保

留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。
本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行
检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。
保 密 □ ，在_____年解密后适用本授权书。
本论文属于
不保密 □。
（请在以上方框内打“√”）

学位论文作者签名： 指导教师签名：
日 期： 年 月 日 日 期： 年 月 日
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摘 要

随着汽车行业的迅猛发展和人们对环保的日益重视，各国相继制定并实施了越
来越严格的汽车尾气放标准，这些对整个汽车尾气放控制系统中起着至关重要作用
的氮氧传感器提出了更高的要求。为了保证生产过程中氮氧传感器的质量，推动氮
氧传感器的发展，就必须研制性能更可靠的测试系统。目前，国内对氮氧传感器测
试系统的研制基本上还是空白。
本文设计并研制了一套氮氧传感器陶瓷芯片检测系统，用来检测陶瓷芯片的加
热性能和电极材料浓差电势的灵敏度。该系统可匹配不同电阻值的陶瓷芯片，可以
实现可调的加热温度，并迅速、可靠的测量电极材料浓差电势。系统分为三大部分：
机械结构部分、电路硬件部分和软件编程部分。本文围绕上述三大部分进行了以下
几个方面的研究和设计工作。

本文首先分析了氮氧传感器的工作原理，同时加热控制策略的原理进行分析，
从中选定硬件反馈作为加热测试方案，并在此基础上提出了氮氧传感器陶瓷芯片检
测系统的总体规划与技术方案。然后详细介绍了系统的三大组成部分：机械结构部
分，它主要给芯片提供空气、氮气可快速变换的气氛条件；电路硬件部分是本系统
的控制核心，主要由电源电路、主控电路、通信电路、加热控制电路、电磁阀驱动
控制电路、电极信号采集电路组成；软件编程部分主要保障单片机和外围功能的正
常运行、与上位机通信接收指令并完成相应的操作。再针对检测系统的应用，进行
了芯片测试实验和 ESC、ETC 台架实验，并对实验数据进行分析。最后对整个系统
进行了总结和展望。

关键词：氮氧传感器；陶瓷芯片；检测；加热控制；浓差电势

I
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Abstract

With the rapid development of the automotive industry and people's increasing
emphasis on environmental protection, countries have formulated and implemented more
and more stringent vehicle exhaust emissions standards. These put forward higher
requirements for the NOx sensor which plays a vital role in the entire automobile exhaust
after treatment system. In order to promote the development of the NOx sensor and
guarantee the quality of it, it is necessary to develop more reliable test system. At present,
these are very little research reports on the NOx sensor test system in domestic article.
This article designed and developed a detection system of the NOx sensor ceramic
chip which used to detect the resistance heating capability and the sensitivity of electrode
material potential. The system can match different ceramic chip, achieve a adjustable
heating temperature, and rapidly and reliably determine the degree of sensitivity of the
electrode material. The system is divided into three parts: the mechanical structure part,
the hardware part and the software part. This paper does some research and design works
around above-mentioned parts as follows:
At first this paper analyzes the work principles of NOx sensor and heating control
strategy. And the hardware feedback was selected as the test method for this project.
Then the technical solutions and total scheme of the detection system were put forward.
Secondly,details the three major components of the system: the mechanical structure part
is arm to provide quickly air and nitrogen atmosphere conditions for chip; the hardware
part is the core part of the system, mainly by the power circuit, the main control circuit,
communication circuit, heating control circuit, the solenoid valve drive control circuit,
the electrode signal acquisition circuit; the software part take charge of communicating
with the host computer, receiving instruction and completing the appropriate action of the
normal operation of the main protection MCU and peripheral functions. Thirdly, test
experiments for the application of the system and ESC, ETC test were completed and the
experimental data is analyzed. Finally, at the end of the paper, the entire system is
summarized.

Key words: NOx sensor; ceramic chip; detection; heating control; concentration
potential

II
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目 录

摘 要............................................................................................................... I

Abstract ........................................................................................................... II
1 绪 论
1.1 引言......................................................................................................... (1)
1.2 氮氧传感器的概述 ................................................................................ (3)
1.3 国内外研究现状 .................................................................................... (4)
1.4 课题的提出............................................................................................. (5)

1.5 本课题的研究内容 ................................................................................ (6)

2 氮氧传感器陶瓷芯片检测系统的原理及规划
2.1 氮氧传感器工作原理 ............................................................................ (8)

2.2 系统的测量原理与方法 ...................................................................... (11)

2.3 系统的功能规划 .................................................................................. (13)
3 系统的机械结构设计

3.1 结构的原理验证 .................................................................................. (17)

3.2 配气发生及控制结构的设计 .............................................................. (17)
3.3 芯片定位夹具结构的设计 .................................................................. (19)

4 系统的硬件设计
4.1 电源电路设计....................................................................................... (22)
4.2 主控电路设计....................................................................................... (23)
4.3 通信电路设计....................................................................................... (24)

III
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4.4 加热控制电路设计 .............................................................................. (25)

4.5 电磁阀驱动控制电路设计 .................................................................. (26)
4.6 电极信号采集电路设计 ...................................................................... (27)

5 系统的软件设计
5.1 通信协议设计....................................................................................... (29)
5.2 单片机底层驱动程序设计 .................................................................. (30)

5.3 指令界面程序设计 .............................................................................. (34)

6 系统测试的数据分析
6.1 系统测试数据分析 .............................................................................. (37)

6.2 台架试验数据分析 .............................................................................. (41)

7 结 论
7.1 结论....................................................................................................... (44)

7.2 创新与展望........................................................................................... (44)

致 谢.......................................................................................................... (45)
参考文献...................................................................................................... (46)

附 录 攻读硕士学位期间发表论文 ..................................................... (50)

IV
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1 绪 论

1.1 引言

中国加入 WTO 后国际经济地位不断提升，汽车产业在中国也显示出良好的发

展势头。过去的十年，中国汽车产销量从 234 万辆激增到 1800 多万辆。连续三年
蝉联世界第一汽车生产大国和消费国。年均增幅超过 24%。创造了世界发展史上的
奇迹。中国汽车销量占全球汽车销量的比重，也从 2001 年的 4.27%，增长到现在的
25%左右。中国汽车经济学家、业内人士从宏观经济和汽车产业的角度，表达了未
来相当长时期内汽车产业增长的乐观预期[1]。
相对于汽油机，柴油车具有良好的经济性、动力性和可靠性，以及较高的热效
率和较低的 CO、HC 排放，因而逐渐被广泛应用。目前，所有的重型卡车和大部
分轻型卡车都采用柴油机，轿车柴油机化也是未来汽车行业的发展趋势。近几年来，
欧洲轿车使用柴油机的数量上升了 40％，而整个柴油轿车已经达到了在用轿车总量
的 50％[2]。
随着汽车产业的迅猛发展，各种新问题迎面而来，如能源、环境等。这些问题
在很大程度上制约了汽车的发展，更偏离了可持续发展的目标，成为世界性的难题。
目前，汽车尾气污染是最突出的问题之一，它危害人体的健康，对人类生存环境造
成了严重影响。
发动机排放的尾气中主要的有害成分包括：一氧化碳(CO)、碳氢化合物(HC)、
氮氧化合物(NOx)、硫化合物(SOx、H2S)、铅化合物以及颗粒物(PM)等 [3-6]。其中
NOx 、PM 由于排放量较大，成为汽车污染中的主要成分。NOx 在水系中的沉降会
造成富营养化；二氧化氮（NO2）可以降低肺功能，使呼吸道对室内尘埃过敏，通
过破坏其自然净化功能，增加滤过性毒菌的易感性，降低人体对感染的抵抗力。NO2
和 SOx 是形成酸雨的主要成分，严重污染河流，湖泊等水系，威胁动植物的生存安
全，破坏生态平衡。PM 为未燃烧的碳颗粒，它成分很复杂，并具有较强的吸附能
[7]
力， 可以吸附各种金属粉尘、强致癌物苯并芘和病原微生物等 。
人类已经充分认识到了机动车尾气对环境污染的严重性，从上世纪后半段，美
国、欧洲和日本都制定了相关日趋严格的汽车排放标准体系[8]，我国实行的国家标准
等效于欧洲汽车排放标准。汽车排放的欧洲法规(指令)标准1992年前已实施若干阶
段，欧洲从1992年起开始实施欧I，1996年起开始实施欧Ⅱ，2000年起开始实施欧Ⅲ，

1
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2005年起开始实施欧Ⅳ。欧盟在2005年1月1日推行了欧Ⅳ排放标准后，又制定了更
加严格的欧V和欧Ⅵ排放标准。欧V标准于2009年9月1日开始实行(SUV一蓬货车、小
型皮卡和四轮驱动车推迟到2012年9月13日)，根据这一标准，柴油轿车每公里氮氧化
物的排放量不应超过180mg，比目前标准规定的排放量减少28％，颗粒排放量比目前
标准规定的减少80％。欧Ⅵ标准将于2014年9月实施，柴油车每公里氮氧化物的排放
量不应超过80mg，比目前标准规定减少68％，仅比汽油车(70 mg·km)略高[9]。
按照我目重型柴油车排放法规的实施时间表，2010年1月1日，我国已停止对国III
重型柴油车的核准申报。2011年7月1日起，未达到目Ⅳ排放标准的重型柴油车将不
得在全国范围内销售和注册，实际执行推迟到了2013年。欧洲和中国的具体排放水
平如图1-1，图1-2[10]所示。由于我国排放法规借鉴欧洲标准，该系列标准将成为我国
未来排放法规的蓝本。

图1-1：欧洲重型柴油车排放法则要求的污染物排放限值

图1-2：中国重型柴油车排放法则要求的污染物排放限值

日益严格的控制柴油车尾气排放是目前的重要课题，也是将来的方针趋势[11]。
氮氧传感器作为后处理系统的关键部件，主用用来测量尾气中氮氧化物的浓度，为
SCR 催化剂(NH3 选择还原性 NOx，从而减少 NOx 的排放量)的喷射量提供依据。
氮氧传感器的质量直接决定了尾气中 NOx 的排出量。因此，对氮氧传感器质量检
测系统的研究是很有实际意义的。

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1.2 氮氧传感器的概述

当前针对PM及NOx排放控制的柴油机排放后处理技术有两种方法：一种是通过
废气再循环（EGR）技术降低发动机缸内燃烧的NOx排放，然后用柴油机颗粒捕集
器（DPF）控制PM；另一种是通过燃油高压喷射技术降低发动机缸内燃烧的PM排放，
然后用选择催化还原技术（SCR，喷射车用尿素液，以中合NOx）控制NOx。SCR技
术因为具有更高的燃油经济性和良好的耐硫性能，被认为是最有优势的技术路线，
在欧洲已经得到了广泛的应用[12]，而SCR技术中必然会用到氮氧传感器。
氮氧传感器由传感器探头和电控单元组成，二者之间通过一个线束连接，如图
1-3[13]，可测量尾气中氮氧化物（NO和NO2等氮氧化物的混合物）的浓度、氧气的浓
度。它可用于柴油发动机的SCR系统中实现NOx的闭环控制，或汽油和柴油发动机的
车载诊断（OBD）中。

图 1-3：NOx 传感器的装配系统
传感器的探头是将氧敏陶瓷材料制成的陶瓷芯片装配在金属外壳中。实际应用
时，探头被安装在汽车的尾气管道中，安装位置如图1-4[14]所示，陶瓷芯片会将尾气
中的浓度值以电压的形式反馈到电控单元中。电控单元控制传感器探头的加热温度，
并经过一系列信号调理，最后确定泵中NOx浓度、O2浓度。电控单元通过CAN总线
通讯，将测量气体的数值实时发送给汽车总控制中心（ECU），为SCR喷射量提供
依据，以减少NOx的排放。
由于NOx传感器必须在发动机控制工作环境中工作，所以传感器必须具有以下
性能：（1）由于发动机燃料燃烧及其尾气排放管温度较高，要求传感器能够在较高
的温度下工作；（2）要求传感器材料经受得住-20—900℃左右的经常性的温度突变

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的冲击；（3）对尾气中的氧化氮分压变化能做出极为快速的响应和恢复，且重复性、
稳定性要好[15]。

图 1-4：NOx 传感器在汽车后处理中的位置
Fig 1-4. New advanced engine system and positions of different sensors.

1.3 国内外研究现状

1.3.1 国外研究现状

国外氮氧传感器起步较早，早期测氮氧的传感器如：电阻式传感器使用氧化物
半导体[16 - 20]或金属酞菁类[21]，电位和电流传感器使用固体电解质[22 – 31]；和电容式
传感器使用氧化物[32]。然而，这些传感器工作温度相对较低，敏感度也比较低，因
此不能应用于高温、浓度范围宽的车用尾气测量系统。后来经过不断的努力，适合
车用的氮氧传感器上市。
目前市场上成熟的氮氧传感器有德国Siemens公司，日本NGK火花塞公司两家。
1999年，日本NGK火花塞公司生产的第一代NOx传感器用于汽油LNT的NOx尾气处理
系统。此后，随着尾气排放法规和（OBD）车载诊断系统要求越来越严格，使得人
们对可用于柴油发动机尾气处理系统的可快速启动的高精确度NOx传感器期望也增
强。为了满足这个市场需求，2010年，日本NGK火花塞公司和福特汽车公司合作研制
出了第二代NOx传感器[33]。相对于第一代NOx传感器，第二代NOx传感器主要提高了
NOx的测量精度和稳定性。德国Siemens公司在电控单元这一块很成熟，氮氧传感器
的电控单元部分由Siemens自身研发生产，传感器探头部分则在日本NGK火花塞公司
采购。Siemens的传感器以其稳定性好、精度高的特点，在市场上处于垄断地位，出

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口价格十分昂贵。国内的汽车公司也多采购Siemens的氮氧传感器作为后处理系统研
发、试验的部件。
Siemens和NGK氮氧传感器的陶瓷芯片都是由氧化锆氧敏材料制成，而这些也是
构成氧传感器探头的材料。氮氧传感器的原理是基于氧传感器原理之上的。占领全
球氧传感器最大市场的生产公司德国Bosch，正处于氮氧传感器的研发试验或小批量
生产阶段。未来氮氧传感器市场前景光明，Bosch也正加紧研发的步伐，但尚未有成
熟产品上市。
目前，国际上氮氧传感器生产商有德国Siemens公司、日本NGK火花塞公司。它
们的氮氧传感器性能较稳定，从产品成熟度上来看，日本NGK火花塞公司的探头检
测配备系统应该是较为完善。NGK未来研究方向将从功能实现转向如何提高小浓度
NOx测量精度、稳定性和小型化。

1.3.2 国内研究现状

国内对电控柴油机后处理技术领域的研发比较晚，在北京奥委会明确奥运期间
的用车需达标国Ⅳ排放标准要求后，国内科研企业和柴油机生产厂商才逐渐开始进
入柴油机后处理技术实际开发进程[34]。但即便这样，国内的重点还是放在SCR系统
基集成上。由于氮氧传感器技术含量很高，国内在此方面的研究开发很少。目前国
内的氧传感器主要依赖进口，没有成熟的产品上市，德国Siemens占据了中国的绝大
部分市场。一些大学科研机构，如清华大学、北京交通大学、华中科技大学、上海
交通大学、武汉理工大学、武汉科技大学等展开了相关的研究，分别在氧传感器、
SCR后处理系统，氮氧传感器生产工艺及相关材料的研究中取得了一定的成果。但
要达到德国Siemens这样成熟的水平，还有很多工作要做。

1.4 课题的提出

随着人们对环保的日益重视，各国相继制定并实施了越来越严格的汽车尾气放
标准，这些对整个汽车尾气放控制系统中起着至关重要的氮氧传感器提出了更高的
产量和质量上的要求。我国在2013年将正式实施国四排放标准，氮氧传感器必会呈
现刚性需求。
为了保证氮氧传感器生产过程中陶瓷芯片的质量，就必须研制性能更可靠的测
试系统。目前，国内对氮氧传感器测试系统的研制基本上还是空白[8]。因此，本课题
研制的氮氧传感器陶瓷芯片检测系统，对提高我国氮氧传感器批量生产的质量具有

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积极意义。
本课题基于NOx传感器的工作原理，设计并研制了一套测试系统，用来检测陶
瓷芯片的加热性能和电极材料浓差电势灵敏度。该系统可匹配不同电阻值的陶瓷芯
片，能实现可调的加热温度，并迅速、可靠判断电极材料灵敏度。用于氮氧传感器
小批量生产过程中，质量控制的测试。
系统由机械结构、硬件和软件等部分组成，其技术指标如下：
（1）温度控制电压范围：0—12V；
（2）温度控制电流范围：0—1A；
（3）温度控制精度：±1℃；
（4）温度在变化环境中响应时间：＜10ms；
（5）气体类型：空气、氮气；
（6）电极材料电势测量精度：1mv；
（7）平均每片陶瓷芯片测量时间：＜10s.

1.5 本课题的研究内容

本文的研究方向在于：设计一套匹配性好、精度较高，且具有温度自稳定控制
性能的氮氧传感器陶瓷芯片检测系统。在设计初期，查阅了大量的国内外的相关
资料，在对氮氧传感器的工作原理和发展现状进行了充分的了解后，根据设计要
求和课题特点，提出以下拟解决的技术难点：
（1）不同陶瓷芯片的匹配；
（2）温度自稳定控制的实现；
（3）芯片定位夹具的可靠性。
通过对设计中的技术难点和可能遇到的问题进行深入的分析，并与指导老师
的充分论证后，确立了大致的设计方案和总体框架。按照设计步骤要解决的问题
主要有以下几点：
（1）系统机械结构设计
机械结构系统主要给陶瓷芯片提供快速、可变的气体氛围。它主要由配气排
气装置、流量控制及检测装置、芯片定位夹具装置等组成。芯片需在空气和氮气
两种气氛中测量电势，因此，两种标准气体及其通路管道和开关控制必不可少。
为了保证检测的准确度和速度，需对多个芯片同时检测，并且一定保证芯片与测
试系统接触连接的可靠性。
（2）系统硬件设计

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该硬件系统基于 MCS51，采用 RS-485 协议通信，包括加热测试模块，电磁阀

驱动控制模块、电极信号采集模块和通信模块。检测系统中需要对多个芯片同时
检测以提高工作效率，因此选用此 RS-485 能方便实现一点对多点的通讯方式。加
热模块中对比硬件和软件反馈两种稳定温度方式，最后选取 TI 公司效率高达 95%
的 TPS5450 芯片及硬件反馈方式作为加热方案。电磁阀驱动控制模块则通过两个
三极管配合实现单片机对电磁阀的通断控制，以达到控制空气和氮气的开闭的目
的。电极信号采集模块主要包括 AD 采样，DA 输出单片机对数据处理和控制、显
示等，为了达到技术指标中的电极材料电势测量精度 1mv，AD 和 DA 必须选取 12
位以上的芯片。
（3）系统软件设计
系统软件设计部分包括单片机底层驱动程序和指令界面程序的设计。单片机
底层驱动程序采用标准 C 语言，基于 MedWin 编程、调试软件平台，主要实现数据
采集、数据处理、数据输出等功能。在程序编写过程中采用了模块化程序设计，
提高了软件的可读性和可靠性。子程序包括 RS-455 串口通信、AD 转换、DA 输
出、加热控制、电磁阀控制、数据读写等。指令界面程序基于 VB 编程语言，主要
实现发送控制指令、显示测量数据，清晰明确的显示陶瓷芯片的质量好坏。
（4）系统测试与数据分析
系统测试部分主要实现两个目的：第一，检验设计是否达到了预期要求，即能
否实现对陶瓷芯片批量生产中质量的把控；第二，将测试系统通过的陶瓷芯片装配
好后，安装在东风汽车公司发动机研发中心的后处理实验台架上，进行 ESC
( European Steady stage Cycle) 稳态循环和 ETC( European Transient Cycle) 瞬态循
环测试，分析实验结果，以验证本文检测系统的可行性和准确性。

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2 氮氧传感器陶瓷芯片检测系统的原理及规划

要想研究出一套性能完善的氮氧传感器陶瓷芯片检测系统，首先必须深入研究
此芯片的工作原理。然后在此基础上提出合理的测量方案，经充分的理论和实践证
实后，确定最优的可实施性强的方案。最后从全局的角度出发，合理规划整个系统。
本章节正是基于以上思路展开。

2.1 氮氧传感器工作原理

前已述及，氮氧传感器用于汽车尾气中，测量氮氧化合物浓度的值，为 ECU
提供依据，以减少 NOx 的排放。氮氧传感器日本 NGK 公司生产的氮氧传感器的探
头如图 2-1 所示，探头的截面图如图 2-2 所示。

图 2-1：NOx 传感器探头 图 2-2：NOx 传感器探头截面图

汽车尾气中的氮氧化合物主要是 NO 和 NO2,其中 NO 占大概 90%。目前还没

有找到合适的、可直接测量氮氧化物的材料，但是测量汽车尾气中氧含量的氧敏材
料——氧化锆在汽车氧传感器的应用中已比较成熟。氧化锆材料可耐温 1000 多℃，
在 600-700℃时性能最稳定。所以，氧化锆材料是能满足前面氮氧传感器要求的材
料。因此，氮氧化物有效并可行的方案是：通过测量氧间接的测量氮氧化合物。间
接测量所依据的化学方程式如式（2-1）和式（2-2）。
2NO2 2NO + O2 （2-1）
2NO N2 + O2 （2-2）
传感器探头陶瓷芯片采用氧化锆敏氧材料，基本原理是氧浓差原电池，理论上
服从能斯特方程。

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2.1.1 氮氧传感器的泵氧原理

氧化锆氮氧传感器的基本原理是能斯特原理(1889)，Walther Nernst 流电元素的

物理行为。当氧化锆层两边的氧含量不同时它便是一个典型的氧浓差电池。在此电
池中，空气是参比气，它与待测气体分别位于内外电极。两电极间产生一个与氧浓
差有关的电势E，该电势信号符合能斯特方程（2-3）[35]：

RT Po
E  ln( ) （2-3）
4F Pa

式中：
R——理想气体常数，R=8.314J/(mol·
K)；
T——绝对温度(K)；
F——法拉第常数，F=96500 C·
mol；
E——氧浓差电势(mV)；
Po——参比气体氧分压(空气中标准氧含量 21%)；
Pa——被测气体氧分压(%)。
氮氧传感器的敏感元件是由氧化锆电解质制成的陶瓷传感器。它通过测氧含量
来间接测量氮氧化合物含量，但空气中本身混有一定量的氧气，因此要准确测氮氧
化合物就必须先将空气中氧气排除掉。为了剔除空气中的氧，氮氧传感器中一般设
立两个腔室分开泵氧。氮氧传感器泵氧的原理图如图2-3所示。

图2-3：氮氧传感器泵氧原理图

汽车尾气通过传感器监测，经由扩散障碍进入第一腔室，在外加电势的作用下，

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腔室内的富氧气氛或还原气氛最终成为中性，测量差电流可以得到空气中氧气的浓
度。第一腔室内的氧气控制在很低但固定的浓度水平（在ppm级别，ppm为百万分之
一），尾气通过了第一个腔室后含有ppm级别的O2和NOx，接着进入第二腔室。第一
腔室中剩余的游离态O2完全被第二腔室这个辅助泵泵走，平衡状态2NO N2+O2
被打破，随O2浓度的不断减少而不断向右移动，NO也就不断减少。测量第二腔室中
降低的氧的电流值即代表尾气中NOx的浓度。

2.1.2 氮氧传感器加热的工作原理

氮氧传感器所用的氧化锆是一种对温度很敏感的材料，它可以耐温1000多℃，
能很好适应汽车尾气排放管中的高温（200—400℃）。氧化锆在600-700℃时，氧浓
差电势最符合能斯特方程，也最稳定。因此，氮氧传感器必须要加热到氧化锆材料
的最佳温度。
氮氧传感器中采用PT100铂电极进行加热。PT100是铂热电阻，简称为：PT100
铂电阻，它的阻值会随着温度的变化而改变。PT后的100即表示它在0℃时阻值
为100欧姆，在100℃ 时它的阻值约为138.5欧姆。它的工业原理：当PT100在 0
摄氏度的时候他的阻值为100欧姆，它的的阻值会随着温度上升它的阻值是成匀
[36]
速增涨的 。
铂电极的电阻随加热呈线性变化如式 2-4，R0、Rt 分别为温度为 0℃和 T 时，铂
电阻的阻值。
Rt  Ro 1  0 . 00385 T  （2-4）

2.1.3 氮氧传感器陶瓷芯片工作原理

氮氧传感器探头的核心是陶瓷芯片，泵氧腔室和加热铂电极都封装在芯片中。
陶瓷芯片的外形图如图 2-4(a)、(b)所示，其截面图如图 2-5 所示。

图 2-4(a)：氮氧传感器陶瓷芯片外形图正面 图 2-4(b)：氮氧传感器陶瓷芯片外形图反面
陶瓷芯片由六层氧化锆陶瓷片经一系列的工艺加工而成。如图 2-5，第五层和第
六层陶瓷间的为铂电阻，引出两个电极为加热电极正和加热电极负，在外加电压和
电路控制的作用下，将整个芯片加热并稳定到最佳温度（600-700℃间某个精确值）。
第四层陶瓷中封装一定体积的空气（氧气浓度为 21%），在第四层的空气腔中引出

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一个电极作为参考电极。第一层陶瓷的表面引出公共电极，公共电极和参考电极间
电压为参考电压 Vref，当公共电极在空气氛围中，Vref=0V. 第二层陶瓷中设有两个腔
室，主泵第一腔室的表面积比第二腔室大，做成外宽内窄形状。尾气进入第一腔室，
在公共电极和一级泵电极间，外加电势参考 V0，将尾气中的氧泵出，测量此时的氧
电流 IP0，即得到尾气中氧含量。在第二腔室的前端引出一个电极即二级泵电极，
在外加控制电路的作用下将 V1 控制在一个合适的范围内，以确保第一腔室中的氧
在 ppm 级别。第二腔室的后端引出一个电极即测量电极，测量 IP2，即得到尾气中
的氮氧含量。第二层陶瓷下表面引出的电极是钳位电极，目的是防止电极电势过高。

图2-5：氮氧传感器工作原理图截面图

2.2 系统的测量原理与方法

本课题检测系统的两个主要目标：（1）测量陶瓷芯片加热性能；（2）测量电极
材料浓差电势灵敏度。

2.2.1 加热性能测量原理

氧化锆材料受实际工作温度的影响很大，而汽车尾气环境是时刻存在变压冲击

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的，要想稳定的测量浓差电势，就必须稳定氧化锆工作温度值。给芯片提供变电压
比较容易，但要实现尾气环境在变化的气氛中稳定温度比较困难，实验论证了两种
方案。
方案一：软件稳定温度
将实时测量的温度值送到单片机中，通过软件的判断语句将温度稳定在某一个
需要的值。温度采集和判断语句执行等均需要时间，温度的响应时间为毫秒级别。
不断调节，直到稳定温度的时间为秒级别。
方案二：硬件稳定温度
根据式 2-4，可以通过计算 Rt，精确的得到此时铂电极的工作温度 T。如图 2-6，
将铂电极等效成一个可变的电阻 Rt，VH、VW、VL 一起表示可编程的电位器，运
放在这里作为正向比较器。VW 设定一个值，左右两边的电阻比例一定，当气氛温
度升高时，若加热电压不变，实际工作温度变高，Rt 变大，运放正极的输入值比负
极 VW 小，运放输出无穷小，经三极管放大，Pt+变小，加热电压变小，直到和 VW
的设定值一致时，Pt+稳定。反之，当气氛温度降低时，加热电压变大，直到温度稳
定。电压随气氛温度的变换依靠的是硬件的反馈，速度非常快，可以到微秒级别。
不断调节，直到稳定温度的时间为毫秒级别。这样我们实现了传感器的工作温度不
随气氛温度的变化而变化。当通过指令改变 VW 的值，我们可以得到不同的温度值，
合理的选择 VH、VW、VL 的阻值，可以得到需要的温度值。

图 2-6：传感器加热控制原理图

比较响应时间和温度可调性两方面，最终此测试系统选择了方案二作为加热测
试的方案。

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2.2.2 电极浓差电势灵敏度测量定义

浓差电势灵敏度测试主要是检查陶瓷芯片中泵氧腔室以及电极能否正常工作。
系统将引出的八个电极中的六个电极（除去加热两个电极），经滤波，电压稳定后
进行采集。若是每个电极相对于参考电极的电压，在空气氛围和氮气氛围下（氧浓
差为 21%），对应的浓差电势变化大于 100mv（根据实际测量经验而规定的数据），
即认为电极浓差电势的灵敏度达到要求。为了保证测量的准确性，进行多测量几次
求平均值处理。

2.3 系统的功能规划

本系统主要由三大部分组成：机械结构部分、硬件部分和软件部分。其系统框
图如图 2-7 所示。实际应用中将这些系统用 RS-485 连成网络系统，实现对多个芯
片的同时测量。

图 2-7：氮氧传感器芯片检测系统框图

2.3.1 系统机械结构部分规划

系统的机械结构部分是给芯片提供空气、氮气可快速变换的气氛条件，主要由
配气发生及控制结构和芯片定位夹具结构组成。系统用 RS-485 连成网络系统的结
构部分规划图如图 2-8 所示。

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图 2-8：网络系统机械结构部分规划图
配气发生及控制结构由空气、氮气，气体管道，减压阀压力表，电磁阀，小腔
室组成。电磁阀配合控制盒中软硬件实现指令控制开关。为了提高测量速度，采用
了 RS-485 总线结构，对多套配器设备同事进行控制和测试。
芯片定位夹具结构目的是保证芯片引出的八个电极与信号采集线的可靠性接
触。由于芯片的尺寸很小，如图 2-4，八个电极（0.5mm 左右）以及极间的间距（0.5mm
左右）更小，并需一定的耐温值（200℃左右），因此定位夹具装置是本机械结构设
计中的难点。

2.3.2 系统硬件部分规划

系统硬件部分是本系统的一个核心，主要由电源电路、89C51 主控电路、RS-485
通信电路、加热控制电路、电磁阀驱动控制电路、电极信号采集电路组成。系统硬
件主要实现 2-8 中控制盒的功能，其原理框图如图 2-9 所示。

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图 2-9：系统硬件部分原理框图
MCU 选用功能较强的 89C51，通信方式采用 RS-485 总线。RS-485 通信在工业
上应用广泛、可靠性好，并能很好的保证多芯片同时测量的实现，其原理图如图
2-10 所示。电源需要标准的 5V、-5V，1 路 12 位 DA 数模输出芯片，8 路 12 位 AD
数据采集芯片。温度加热控制采用 H 型电桥，配合数字电位器，实现温度实时的
稳定和可调。电磁阀驱动控制则在 PNP 和 NPN 双三极管的共同控制下完成。温度
测量和电势测量均经滤波、取平均值后再采集。

图 2-10：系统 RS-485 通信示意图

2.3.3 系统软件部分规划

系统软件部分主要由单片机底层驱动程序和指令界面程序组成。底层驱动程序
主要是配合硬件写入到 89C51 里面的程序，包括主程序和调用子程序。主要子程序
有：RS-455 串口通信、AD 转换、DA 输出、看门狗、定时中断、加热控制、电磁
阀控制、数据读写等。部分子程序需认真参考所选芯片的 datasheet 来进行。指令界
面程序是上位机的程序，由每个芯片配有的相应调节参数的界面和同时在测量的所
有芯片的数据显示界面组成。芯片参数调节界面包括加热控制、气氛控制、芯片测

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量进程显示三个模块。加热控制包括温度调节参数设定、加热开始按钮、加热结束
按钮。气氛控制包括空气气氛开和关按钮、氮气气氛开和关按钮。芯片测量进程显
示将芯片当前的测量进程和测量数据显示出来。芯片数据显示界面包括 20 个芯片
同时测量芯片的数据显示，加热未完成的芯片暂时不显示数据，待加热完成后才显
示，并且不通过的芯片以红色和报警显示。测量通过数据统计包括本次检测通过芯
片统计和累计通过芯片统计。

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3 系统的机械结构设计

系统的机械结构部分是在保证芯片的八个电极与信号采集线可靠接触的前提
下，给芯片提供空气、氮气可快速变换的气氛条件。主要由配气发生及控制结构和
芯片定位夹具结构组成。

3.1 结构的原理验证

为了验证规划方案的可行性，设计了如图 3-1 所示的简易结构。

图 3-1：系统的简易机械结构
在该简易结构中，由空气瓶、氮气瓶、管道、减压阀门、玻璃转子流量计、芯
片夹头、与芯片匹配的腔室组成。实验时，首先将芯片安装在带有外螺纹的接头上
（此接头必须保证芯片的八个电极与外接线接触完好，这部分将在 3.3 节中详细介
绍），并将接头螺纹旋入有内螺纹的气体管道中，然后给芯片外加 9V 直流电压，加
热到可以看到芯片铂电阻处发红，再打开空气瓶的阀门，通过玻璃转子流量计控制
气流，测量此时参考电极对其它电极的电压，最后关闭空气阀门，打开氮气瓶的阀
门，通过玻璃转子流量计控制气流，测量此时参考电极对其它电极的电压。调整外
加电压，可以检验芯片的加热性能，而对比两次不同气体下的测量电压可以得到电
极浓差电势的灵敏度。
经简易的结构搭建，此方法基本可以满足测试要求，实际的机械结构设计中将
进一步提高自动化的程度。

3.2 配气发生及控制结构的设计

（1）管道

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为了方便管道转接，系统中采用标准尺寸管道。气流有一定的压力并且陶瓷芯
片加热温度高，会有余温扩散到气流管道中，因此管道的材质要采用耐压、耐温且
耐腐蚀的材料。管道选择内部为薄钢，外部为塑料两层材质管道。
（2）空气、氮气
系统中使用的空气和氮气均为工业标准气。空气也可采用空气压缩机采集到的
空气，但为了创造更稳定的气氛条件，于是采用空气罐。标准空气的氧气含量为
20.6%，氮气为高纯氮，纯度≥99.999%。
（3）气瓶减压阀
气瓶减压阀的示意图如图 3-2 所示，是通过调节，将进口压力减至某一需要的
出口压力，并依靠介质本身的能量，使出口压力自动保持稳定的阀门。从流体力学
的观点看，减压阀是一个局部阻力可以变化的节流元件，即通过改变节流面积，使
[37]
流速及流体的动能改变，造成不同的压力损失，从而达到减压的目的 。

图 3-2：气瓶减压阀示意图
（4）电磁阀
该电磁阀型号为 2W400-40B，电磁阀的线圈固定，可动部件为阀芯，其实物图
如图 3-3 所示。给电磁阀通电，线圈得电后，会产生电磁力将阀芯吸起来，阀芯带
动隔膜向上运动，此时气流可以通过膜片上的空隙在管道内流通，阀门处于开启状
态；断电后，线圈失电磁力消失，在弹簧的回复力和阀芯自身重力作用下，阀芯回
落，膜片回复原位，另外隔膜由于气压差，会紧紧吸在管道上，将管道完全封闭，
阀门处于关闭状态[38]。当以空气作为介质时，电磁阀的各项参数如下：
工作温度：-5—80℃

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使用电压：±10%AC220V，110V，DC24V

图 3-3：系统中安装电磁阀的实物图
（5）与夹具定位的小腔室
与夹具配合成芯片充气的小腔室，腔室体积不能过大，在方便芯片装配的条
件下越小越好，以便气体快速充满。小腔室无需完全密封，让气体得以置换。

3.3 芯片定位夹具结构的设计

芯片定位夹具结构目的是保证芯片引出的八个电极与信号采集线的可靠性接
触。由于芯片的尺寸很小，如图 2-4，电极和极间距都在 0.5mm 左右，而且芯片电
极端要承受加热端的余热，采集结构需保证耐 200℃高温，因此定位夹具装置是本
机械结构设计中的难点。本系统中设计了三种方案，其优劣对比如下。
方案一：电路板焊接法
如图 3-4 为电路板焊接法的实物图，此方案从锡焊焊接的牢靠性和耐高温中得
到的启示。它由三小块电路板做成，由于集成电路的高速发展，硅片上的堆锡很容
易做到小于 0.5mm 级别。三块电路板上的孔用于螺钉装配，电路板叠起来做成如图
3-5 的芯片接触采集结构。中间电路板的厚度需和芯片的厚度接近。

图 3-4：芯片定位夹具结构方案一的实物图
此方案中的定位夹具结构制作简单，成本低，但由于芯片的电极面不是绝对的
平整，每个芯片的厚薄也有差异，且硅片是无弹性材质，因此接触的可靠性还是不

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能完全保证。电路板需要逐个焊接信号采集线，效率比较低。

图 3-5：芯片夹具定位结构方案一的组装图
方案二：赛钢、铜弹片法
如图 3-6 为赛钢、锰铜弹片法的实物图，此方案由锰钢弹片，有弹性、有 200℃
耐温的塑料材料赛钢块和锰铜电极组成。锰铜电极可以做到 0.5mm 的级别，极间电
阻小且容易嵌入到赛钢块中，锰钢弹片有将赛钢块向中间收拢的作用。此结构的信
号采集线在座子的底部，将陶瓷芯片插入即可保证接触。

图 3-6：芯片夹具定位结构方案二的实物图
此方案的效率较方案一大有提高，锰钢弹片和赛钢块都是弹性材质，但它们的
弹力有限，且锰铜电极的平整度不好把握，因此接触的可靠性还是不能完全保证。
在芯片插拔多次后此结构会失效，寿命有待提高。
方案三：弹性探针法
如图 3-7 为弹性探针法的设计图，此方案受电脑网线插拔水晶头的启示，将弹
性较好的探针弯折成如图 3-8 所示的尺寸，芯片不插入的时候，相对的探针头相接
触，芯片插入后，将探针挤开，探针紧压在陶瓷芯片的电极上。
弹性探针法接触的可靠性好，但对材料和工艺的要求高，目前还处在构想阶段，

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需要进一步完善。

图 3-7：芯片夹具定位结构方案三的设计图

图 3-8：弹性探针弯折设计图
以上三种芯片夹具定位结构的设计，前两种已经完成，后一种处于设计阶段。
测试系统暂时采用第二种的赛钢、锰铜弹片法。

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4 系统的硬件设计

硬件部分是本系统的控制核心，主要由电源电路、主控电路、通信电路、加热
控制电路、电磁阀驱动控制电路、电极信号采集电路组成。下面将具体介绍每个电
路模块的原理和功能。

4.1 电源电路设计

本系统硬件的电源部分主要为整个电路提供：（1）单片机及各功能芯片工作
需要 5V 的稳定直流电源；
（2）运算放大器需要+24V 和-5V 的直流电源进行双电压
供电。以上电源需以市电交流 220V 为基础，通过二次变化换得到。为了简化系统
设计，项目分别采用了 AC-DC（交流 220V 转直流 24V）和 DC-DC(24V 转 5V, 5V
转-5V)模块电源，其应用电路如图 4-1,4-2 所示。
AC-DC 模块电源采用了鸿海科技公司的开关电源。该电源可提供 24V/2.1A 的
稳压输出，开关频率 150KHz，纹波噪声典型值为 50mV，效率为 79%，并具备输
出短路、过流、过温保护功能[39]。
DC-DC，24V 转 5V 模块电源采用了 TI 公司的 SOP8 封装的模块电源 TPS5420。
该电源接受 5.5V-36V 的宽输入电压，提供最低至 1.22V 的可调输出电压（合理选
择图 4-1 中的 R1、R2、R3 电阻值，可以得到需要的 5V），输出最大电流为 2A，效
率高达 95%，开关频率 500KHz，纹波噪声典型值为 20mV，并具备短路保护、低
压失控保护功能[40]。

图 4-1：电源电路 24V 转 5V 图
DC-DC，5V 转-5V 模块电源采用了 Intersil 公司的 SOP8 封装的小功率反转电
压转换器 ICL7660。ICL7660 有两种工作模式：转换器、分压器。作为转换器时，

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该器件可将 1.5-10V 范围内的输入电压转化为相应的负电压。静态电流值为 170μA,

广泛用于运算放大器电源[41]。

图 4-2: 电源电路 5V 转-5V 图

4.2 主控电路设计

根据本测试系统的需求分析，需要单片机完成以下工作：AD、DA 芯片控制、
数字电位器控制、电磁阀驱动控制以及与主机通信。由于任务比较简单，这里选择
了市场广泛使用的 Philip 公司的 89C51 单片机作为主控微处理器。
89C51 是一种低功耗、高性能 CMOS 8 位微控制器，具有以下标准功能：4K
在系统可编程 Flash 存储器，128 字节 RAM，32 位 I/O 口线，看门狗定时器，2 个
数据指针，2 个 16 位定时器/计数器，5 个中断源的中断控制系统，1 个全双工串行
[42]
I/O 接口，片内晶振及时钟电路 。
89C51 在该测试系统中的应用电路如图 4-3 所示，其中 P10-P13 引脚用于 AD
芯片 TLC2543 的控制，P14-P16 引脚用于 DA 芯片 TLC5618 的控制；P24-P27 引脚
作为看门狗及复位电路的控制信号；T0-T1 引脚用于数字电位器芯片 X9C102 的控
制；WR、RD 口用来控制电磁阀开关的切换；RXD、TXD、INT0 口用于通信相关
的控制。
单片机在强干扰环境中可能会出现死机、程序跑飞等情况，在系统上电或欠压
条件下时还容易出现不确定状态，造成意外动作。因此在环境复杂的工业环境中运
行的系统的抗干扰能力和稳定性显得更加重要，而看门狗电路是提供系统抗干扰能
力和稳定性的一种有效方法。X25045 集成了看门狗定时器、电压监视和 EEPROM
于单个芯片之内，这种集成简化了硬件设计[43]。看门狗定时器对单片机提供了独立
的保护系统，图 4-3 中，SCK 为串行时钟输入信号，CS 为芯片使能信号，SO 为串
行输出信号，SI 为串行输入信号。CS 信号有效后，芯片在时钟信号的作用下，通
过 SO、SI 引脚与单片机进行通信。RESET 信号连接到单片机的复位引脚，当系统
出现故障时，在达到设定的超时周期后将激活 X25045 的 RESERT 引脚产生高电平
复位信号，使单片机复位。另外当电源电压不足时，芯片内的电压监视模块也会强
制单片机复位，防止单片机在电压不足的情况下做出错误动作[44]。

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图 4-3: 89C51 主控电路图

4.3 通信电路设计

RS-485 串行总线接口标准以差分平衡方式传输信号，有很强的抑制共模干扰的
能力，即良好的抗噪声干扰性能，并且具有较高的数据传输速率，是一种常用的工
业现场总线。图 4-4 为本系统所应用的 RS485 通讯电路，其中采用 SN75LBC184
作为 RS485 接口的转换芯片，A、B 引脚用来传输差分信号，DE 为发送使能端（高
——
电平有效），RE为接收使能端（低电平有效），R、D 引脚则用来与单片机串口通讯
[45]
。

图 4-4: RS-485 通信电路图

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4.4 加热控制电路设计

电源电路、主控电路和通信电路是一般硬件电路设计的必要组成部分，在这些
基础功能准备好的基础上，开始设计主要功能电路。加热控制电路需完成两个功能：
（1）提供实时可变的加热电压，变化范围：0-12V；
（2）提供稳定温度、可调温度
的实时控制。

图 4-5（a）
：加热调压输出电路图

图 4-5（b）
：加热 DA 输出电路图 图 4-5（c）：加热调压输入电路图
提供可变电压的主芯片选择了 TI 公司的 TPS5450，它是 TPS5450 芯片的升级
版本，主要在散热方面做了进一步优化。完成实时可变需结合 DA 输出芯片和运算
放大器一起工作，如图 4-5(a)、(b)、(c)电路所示。TPS5450 芯片同 TPS5420，改变
VSNS 角电压，即可改变输出电压。
DA 输出芯片选用 TI 公司的 TLC5618，TLC5618 是带有缓冲基准输入的双路
12 位数模转换器，通过 CMOS 兼容的 3 线串行总线，可对 TLC5618 实现数字控制
[46]
。软件根据算法给出数字量，通过 TLC5618 的转换，在图 4-5(c)中 OUTB 脚以
模拟量输出。12 位即数字量 0-4095 对应模拟量 0-5V，精度为 1.2mv。DAB 提供给
图 4-5(b)运放，经反相放大即可调节输入到 4-5(a)中的 FB，达到改变输出电压的目
的。

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图 4-6（a）
：加热控制采集电阻电路图 图 4-6（b）：加热控制电位器电路图

图 4-6（c）：加热控制比较器电路图
加热稳定控制的原理已在 2.2 章节中介绍过，本节注重于将原理具体在电路中
实现。如图 4-6(a)所示，为了使电压更精确，Pt-和 RR 均经两次一阶滤波后采集，
R12 和 R13 并联后等效于图 2-6 中的采集电阻 R1，Pt+和 Pt-之间的铂电阻等效于图
2-6 中的随稳变化电阻 Rt.如图 4-6(b)所示，R22 和 R24 分别相当于图 2-6 中的 VH
和 VL,R23 则对应可调电阻 VW。由于比较器的特点是输入不相等时，输出极大值
或极小值，为了限制输出过大，使输出稳定，需用三极管加以限制，如图 4-6(c)所
示，三级管的放大倍数不能太大，当输入 20mA 时，放大倍数为 60-80 倍左右为宜。
配合软件此电路可实现温度的稳定，调节 VW，可实现温度的调节。

4.5 电磁阀驱动控制电路设计

测试系统中需通过控制电磁阀开闭，实现空气和氮气气氛的开启和关闭状态
的自动控制。电磁阀驱动控制电路如图 4-7 所示，以控制氧气的电磁阀为例。当 P0
端为高时，PNP 三极管 T1 不通，无电流流过 D4，NPN 三极管 T2 不通，O2V 不能
连接到 24V，控制氧气的电磁阀处于关闭状态。当 P0 端为低时，PNP 三极管 T1 导
通，有电流流过 D4，NPN 三极管 T2 导通，O2V 连接到 24V，控制氧气的电磁阀
处于开启状态。由于单片机复位后会自动至高，因此 P0 端必须以输出低来控制电
磁阀开启，这是 T1 选择何种类型三极管的依据。R37 用来吸收 TI 的漏电流，同时

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考虑到电磁阀开启和关闭瞬间的大电压，需加上整流二极管 IN4007 进行保护。以

上原理同样适用于氮气电磁阀的控制。

图 4-7: 电磁阀驱动控制电路图

4.6 电极信号采集电路设计

为了测量各电极电势的敏感性，需对电极信号进行采集。八个电极中，参考电
极和钳位电极，先进行提高阻抗、钳位、稳压处理后再采集；加热的正负两个电极
在加热控制中处理后再采集，其余的四个电极直接采集，传感器接口电路图 4-8 所
示，电极信号采集电路如图 4-9 所示。
AD 采样芯片选用 TI 公司的 TLC2543，TLC2543 是 12 位串行模数转换器，有
11 个模拟输入通道，3 路内置自测试方式，采样率为 66kbps，线性误差±1LSBmax，
可编程输出数据长度，使用开关电容逐次逼近技术完成 A/D 转换过程。由于是串行
输入结构，能够节省 51 系列单片机 I/O 资源；且价格适中，分辨率较高，因此在仪
器仪表中有较为广泛的应用[47]。
图 4-8 为主要采集电路，TLC2543 的模拟输入通道只使用了 8 个，剩余的 3 个
通道接地或置高。

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图 4-8：传感器接口电路图 图 4-9：电极信号采集电路图

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5 系统的软件设计

在氮氧传感器陶瓷芯片检测系统的设计中，硬件的良好设计和稳定性是系统正
常工作的基础，而在硬件的基础上设计合理的软件则是实现系统功能的保证。本系
统软件设计的主要目标有：保障单片机和外围功能的正常运行、与上位机通信接收
指令并完成相应的操作。

5.1 通信协议设计

通信协议（Communications Protocol）是指双方实体完成通信或服务所必须遵
循的规则和约定。协议定义了数据单元使用的格式，信息单元应该包含的信息与含
义，连接方式，信息发送和接收的时序，从而确保网络中数据顺利地传送到确定的
地方[48]。
通信协议是保证数据上行下行可靠传输的依据，没有通讯协议就不能计算机对
采集器的命令设定的正确性和准确性，也不能将采集器采集的数据万无一失的上传
到计算机。为此必须结合实际制定一个良好的通讯协议 [49]。
本系统中通信采用 RS-485 协议，按功能分类将其通信协议约定如下：
序号 分类 命 令 功 能 返 回 备 注
1 @AAHC04(cr) 开始加热 @AA(cr)
2 加热 @AAHC00(cr) 关闭加热 @AA(cr)
3 控制 @AARdate(cr) 初始电阻设定 @AAdata(cr) 单位：欧
4 @AAX9date(cr) 温度档位设定 @AA(cr) 1-99 分度
5 @AAOC04(cr) 打开空气阀门 @AA(cr)
6 阀门 @AAOC00(cr) 关闭空气阀门 @AA(cr)
7 控制 @AANC04 (cr) 打开氮气阀门 @AA(cr)
8 @AANC00 (cr) 关闭氮气阀门 @AA(cr)
9 @AAG(cr) 读取设备参数设定值 @AAdata(cr) 电阻和 X9 值
10 @A(cr) 查询设备地址 @AA(cr)
设备
11 @A 1R A 2(cr) 修改设备地址 @AA(cr)
相关
12 $AAM(cr) 读取设备名称 @AAdata(cr)
13 ~AAOdata(cr) 设置设备名称 @AA(cr)
对上表中通信协议选取三条典型进行详细描述，它们分别是：开始加热、打开
空气阀门、查询设备地址。单片机底层驱动程序和指令界面程序均围绕此通信协议
展开。

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（1）开始加热
命令格式：@ AAHC04 (cr)
其中： @ — 命令开始符
AA —仪器地址
HC —加热控制命令标识
04 — 开始命令
(cr) — 0DH
响应返回：@AA(cr)
其中： @ — 命令开始符
AA — 仪器地址
(cr) — 0DH
（2）打开空气阀门
命令格式：@ AAOC04 (cr)
其中： @ — 命令开始符
AA —仪器地址
OC —打开空气阀门标识
04 — 开始命令
(cr) — 0DH
响应返回：@AA(cr)
其中： @ — 命令开始符
AA — 仪器地址
(cr) — 0DH
（3）查询设备地址
命令格式：@ A (cr)
其中： @ — 命令开始符
A — 查询设备地址命令标识
(cr) — 0DH
响应返回：@AA(cr)
其中： @ — 命令开始符
AA — 仪器地址
(cr) — 0DH

5.2 单片机底层驱动程序设计

单片机底层驱动程序作用是保障单片机和外围功能的正常运行，图 5-1 为本系

统单片机软件的主程序流程图。单片机加电后，主程序首先完成系统的初始化工作，
其中包括单片机的定时/计数器、串口、中断等寄存器的设定，配置看门狗定时器、
加热状态、阀门控制状态等；然后主程序会轮流查询通信端口的状态，并根据查询
到的状态结果调用子程序执行相应的操作；执行完相应的子程序功能后，系统仍转

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入等待等指令接收待的状态，重复上述过程。

图 5-1：主程序流程图
X25045 是一种带 4Kb SPI EEPROM 的 CPU 监控器芯片，它在本系统中主要有
两大作用：一是作为看门狗定时器防止死机、程序跑飞等情况，保证系统运行的稳
定；二是作为 EEPROM 存储系统的设定参数。X25045 的驱动程序流程图如图 5-2
所示。

图 5-2：X25045 驱动程序流程图

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主程序中接收的命令是由上位机通过 RS485 总线发送的，需调用 RS485 通信

子程序处理，其流程图如图 5-3 所示。本系统的通信服务程序是采用中断来处理的，
系统发生串行中断后，通过串行口中断入口进入通信服务程序。首先检查发送中断
标志位 TI 和接收中断标志位 RI，从而判断当前中断状态以进行发送和接收数据的
处理。如果是发送中断，则将数据发送给上位机；如果是接收中断，则需要先将接
收到的命令解析以判断命令类型，对于本例命令主要有设备地址查询与修改、加热
开启与关闭、阀门的开启与关闭。完成上述工作后，程序清除中断标志位，中断程
序返回。

图 5-3：RS485 通信中断程序流程图
加热控制的子程序流程图如图 5-4 所示，首先为了匹配不同芯片需发送芯片电
阻以实现温度控制的准确性。然后为了延长芯片寿命，需分步加热，每 20 秒提高
一次电压值。再次，前已述及为了稳定控制，需要进行限压保护，另外还要进行调
节上限和下限电压的保护。最后加热过程大概在 1 分钟左右完成。加热完成后才可
进行阀门控制子程序的调用。

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阀门控制子程序的流程图如图 5-5 所示，首先进行数据初始化，关闭两个电磁

阀阀门。然后判断芯片加热温度是否已到设定值，若没到，循环查询直到温度满足
才能进入下一步。再查询是否有阀门控制的命令输出，根据命令完成指定阀门的开
闭。若没命令输出，直接结束。

图 5-4：加热子程序流程图 图 5-5：阀门控制子程序流程图
本系统中模拟电压的输出是通过数模转换芯片 TLC5618 的实现的。单片机通
过 3 线串行总线向器件发送 16 位输入字控制芯片输出，其中 16 位输入字的高 4 位
为编程控制位，低 12 位为待转换的数据位，数据在时钟信号的作用下从串行数据
[44]
输入端按从高位到地位的顺序依次输入 。

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本系统中数据采集是通过模数转换芯片 TLC2543 的实现的。TLC2543 的采集

程序流程图如图 5-6 所示，TLC2543 在每次 I/O 周期读取的数据都是上次转移的结
果，当前的转换结果在下一个 I/O 周期中被串行移出。第一次读书由于内部调整，
读取的转换结果可能不准确，应丢弃[50]。

图 5-6：TLC2543 驱动程序流程图

5.3 指令界面程序设计

指令界面程序是上位机的程序，包括芯片参数调节界面程序和数据显示界面程
序。芯片参数调节界面包括加热控制、气氛控制、芯片测量进程显示三个模块，界
面如图 5-7 所示。

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图 5-7：芯片参数调节界面
陶瓷芯片在加热到一定温度下才能正常工作，因此加热控制模块是界面设置的
第一步。初始化后有一个温度目标值，点击开始加热后，单片机中调用加热子程序，
温度稳定到目标值。改变温度调节的值，即改变了数字电位器的可变阻值，从而实
现实时改变了温度目标值。测量结束后点击停止加热，铂电极的供给电压为 0，铂
电极停止加热。
温度稳定到目标值后，开始调节气氛控制模块。首先打开空气阀门（氮气阀门
关闭），芯片数据显示中会显示出六个电极的电势值（平均后的值），储存此时的值；
然后关闭空气阀门，打开氮气阀门，芯片中再次显示出六个电极的电势值；再通过
数据运算、处理，最后未通过测试的芯片以闪烁红色警示。测量过程中是处于加热
中，或是某种气氛的测量，还是测量已经结束，这些阶段也会显示出来。
实际测量中会有很多套芯片同时进行，单个芯片的参数设置完毕后，需切换到
数据统一显示界面。20 套设备的芯片显示界面如图 5-8 所示。查询每个芯片的具体
进程可返回到每个芯片的参数调节界面。
芯片数据显示主要完成数据的显示，保存，不同气氛中电势的差值对比，清晰
明了的显示芯片是否已通过测试，对于没通过的芯片，触动报警功能。
测量通过数据统计模块包括本次检测通过芯片统计和累计通过芯片统计，方便
产量和合格率的计算。

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图 5-8：氮氧传感器陶瓷芯片检测系统指令界面

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6 系统测试的数据分析

氮氧传感器陶瓷芯片测试系统搭建完毕后，需对其简单的调试，调试完成后可
对陶瓷芯片进行检测。前已述及，此测试系统可用于陶瓷芯片批量生产的质量检测。
本章针对系统在试生产和批量生产期分别测试并对测试数据进行分析，此外，将测
试通过的陶瓷芯片工装好后，在汽车发动机台架上进行试验，并分析试验数据。

6.1 系统测试数据分析

6.1.1 系统测试流程

系统的测试流程如下：
（1） 检查各管道是否连接好，空气、氮气控制电磁阀是否处于关闭状态；
（2） 打开空气和氮气瓶减压阀阀门，设置减压阀压力值；
（3） 测量芯片加热电极间电阻，并将电阻发送到硬件储存装置中；
（4） 将待测的陶瓷芯片放置到定位夹具上，注意芯片的放置的正反，夹紧陶
瓷芯片；
（5） 给系统上电，主要为硬件提供 220V 交流；
（6） 打开―氮氧传感器陶瓷芯片检测系统界面‖，点击―开始加热‖；
（7） 待加热完成后，打开空气电磁阀，测量此时电势值（软件已进行多次测
量取平均值）；
（8） 关闭空气电磁阀，打开氮气电磁阀，测量此时电势值（软件已进行多次
测量取平均值）；
（9） 比较两次不同气氛中的测量值，根据结果分析数据
（10）点击―停止加热‖，退出―氮氧传感器陶瓷芯片检测系统界面‖，将陶瓷芯
片取出，进入下一个循环。
为了方便测量数据的记录，将陶瓷芯片按批次进行编号，并将八个电极分别以
功能命名，图 2-5 中出现过每个电极。如图 6-1 所示，将芯片正面朝上，八个电极
依次是一级泵电极、二级泵电极、公共电极、测量电极、参考电极、加热电极正、
加热电极负、钳位电极。

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图 6-1：陶瓷芯片八个电极命名图

6.1.2 芯片试生产期的应用与数据分析

在芯片试生产期，可以采用此系统测量芯片，分析测量数据可以得到芯片的改
进方向。选取一些有代表性的实验数据，摘录如下表 6-1、表 6-2、表 6-3 所示，其
中“√”代表该电极导通，“×”代表该电极不导通，备注中的电阻值表示加热电
极间的阻值。
表 6-1：第四 1 批芯片测试数据
第四 1 批 公共 一级泵 二级泵 加热 备注
8 × √ √ ×
9 √ × × ×
11 × × × ×
6 × × × × 公共极断
2 × × × × 公共极断
7 × × × × 公共极断
15 √ × × ×
14 √ × × √ 42Ω

建议修改：
（1）8、11、6、2、7 连通公共电极
（2）9 公共电极本身电阻过大≈300Ω，参考电极电压加热后起不来 V 参考对地

=0.45v
（3）14 一级泵电极证实不通，ip0=0 ；V 参考对地 =2.5v ；ip2=0，但在没有泵氧
的条件下，测氮氧不可能正常，推断此处测量电极断路

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（4）15 一级泵电极证实不通，ip0=0 ；参考电极电压加热后起不来 V 参考对地=0.8v

表 6-2：第五 2 批芯片测试数据
第五 2 批 公共 一级泵 二级泵 加热 备注
14 √ 堵塞 √ √ 22Ω
4、12、2、6、11、 -- -- -- --
5、10、15 四个极导通
7 √ √ √ √ 一级泵电极
8 √ × × 短路
9 √ × √ 短路

建议修改：
（1）7 刷出一级泵电极
（2）4、12、2、6、11、5、10、15 划开四个极
（3）8 有少量泵氧，ip0≈2mA；参考电极电压加热后起不来 V 参考对地=0.8v
（4）9 有少量泵氧，ip0≈2mA；V 参考对地=2.4v；ip2=24μA 过大；通氮气无变化

表 6-3：第六 1 批芯片测试数据
第六 1 批 公共 一级泵 二级泵 加热 备注
11 √ × × ×
6 √ × × ×
1 √ 没做出来 -- ×
2 √ × √ ×
7 × × × ×
16 × × × √ 11Ω

建议修改：
（1）16、7 连通公共电极
（2）1 刷出一级泵电极
（3）2 一级泵电极证实不通，ip0=0 ；ip2=20μA 过大；通氮气无变化
（4）6 一级泵电极证实不通，ip0=0 ；ip2=15μA 过大；通氮气无变化
（5）11 一级泵电极证实不通，ip0=0 ；参考电极电压加热后起不来 V 参考对地=0.3v
对以上数据进行整理得到一些共同问题：
(1)大部分芯片一级泵电极极不通，公共电极和二级泵电极也有不通的现象，可适当
加粗电极引线；

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(2)参考电极有些加热后电压起不来，可能是参考电极已经断路，参考电极是我们的
浮动参考极，是测量的前提，加热后在空气条件下大概 2.0 — 2.4v 比较正常；
(3)加热的两极初始电压过大，超过了我们最大电压供应，最好控制在 3 — 5Ω；
(4)加热很难覆盖到第一腔室，可将第一腔室做得更狭长即变长变窄。

6.1.3 芯片生产期的应用与数据分析

在芯片批量生产期间，可以采用此系统测量芯片，分析测量数据可以得到芯片
性能是否达标的依据。同样选取一些有代表性的实验数据，摘录如下表 6-4、表 6-5、
表 6-6 所示。

表 6-4：第 14 号芯片测试数据
参考对 钳位对 参考对 参考对 参考对 参考对
条件
地(V) 地(V) 公共(V) 一级泵 二级泵 测量(V)
空气 3.32 0.70 0.36 0.50 0.60 0.30
氮气 3.50 0.74 1.10 1.12 0.72 0.60
差值 0.22 0.04 0.76 0.62 0.12 0.30

14 号芯片的 R0=2.33Ω（加热极间在温度为 0℃时的电阻），加热到 600℃后，

按照测试的流程得到表 6-4 的电压值。因为参考极对应的腔室里封装的为空气，根
据式 2-3，参考电极对其它电极的电压应均为正值，且各电极在氮气中的值比空气
中的值大。2.2.2 节中曾依据经验约定差值>100mv 即视为电极浓差电势敏感性达到
要求。14 号芯片数据满足以上所有要求，性能达标。

表 6-5：第 22 号芯片测试数据
参考对 钳位对 参考对 参考对 参考对 参考对
条件
地(V) 地(V) 公共(V) 一级泵 二级泵 测量(V)
空气 3.47 0.75 0.02 0.05 0.00 0.01
氮气 4.24 0.78 0.04 -0.33 0.22 0.34
差值 0.74 0.03 0.02 0.38 0.22 0.32

22 号芯片的 R0=2.53Ω，加热到 600℃后，按照测试的流程得到表 6-5 的电压值。

同上进行分析发现：
（1）一级泵电极出现负电压，泵氧方向不正常；
（2）公共电极
差值很小，只有 0.02V，无泵氧特征。因此 22 号芯片性能不达标，为次品。

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表 6-6：第 68 号芯片测试数据
参考对 钳位对 参考对 参考对 参考对 参考对
条件
地(V) 地(V) 公共(V) 一级泵 二级泵 测量(V)
空气 2.86 0.72 0.01 0.38 0.30 0.37
氮气 2.70 0.74 0.02 0.51 0.49 0.40
差值 0.16 0.02 0.01 0.13 0.19 0.04

68 号芯片的 R0=2.56Ω，加热到 600℃后，按照测试的流程得到表 6-6 的电压值。

同上进行分析发现：参考极在氮气中的值比空气中的值小,且公共电极和测量电极差
值比较小，泵氧特征不明显。因此 68 号芯片性能不达标，为次品。

6.2 台架试验数据分析

将测试系统通过的陶瓷芯片进行工装，工装图如图2-1所示，装配上电控单元，
调试完成。将整套的氮氧传感器安装在东风汽车公司发动机研发中心的后处理实验
台架上，进行ESC ( European Steady stage Cycle) 稳态循环和ETC( European Transient
Cycle) 瞬态循环测试，分析实验结果，以验证本文检测系统的可行性和准确性。
试验台架采用德国申克公司( SCHENCK) 的HT350交流电力测功机和康明斯的四
缸柴油发动机。
ESC ( European Steady stage Cycle) 稳态循环是在规定试验循环的13个工况中，
从经过预热的柴油机排气中直接取样，并连续测量，在每个工况运行中，测量每种
气态污染物的浓度[34]，ESC实验持续1800秒。

图 6-2 待测芯片与台架 ESC 测试结果

本ESC实验选取台架气态污染物中NOx值与待测芯片的NOx值比较，实验结果如
图6-2所示。横坐标为时间（单位为s,每秒采集一次），纵坐标为NOx值(单位为ppm)。
十三种工况的跟随一致性比较好，待测芯片大的部分NOx值与台架值相当。但存在
两个问题：一个是待测芯片NOx值在绝对值大时偏大，小时偏小；另一个是在每种
工况变换的瞬间，待测芯片容易产生毛刺，过渡不够平稳。这些问题有待氮氧传感

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器电控单元中程序的进一步改善和提高。
ETC( European Transient Cycle) 瞬态循环采用的是欧盟标准规定的瞬态循环标
准，即欧洲瞬态循环，用来模拟重型车辆的各种瞬态工况。循环时间总计1800s: 前
600s模拟城市街道工况；中间600s模拟乡间道路工况；最后600s模拟高速公路工况。
其中每个工况点的持续时间只有1s, 要求测功机按1s的时间步长改变试验工况，这1s
的时间包括了工况变化的阶跃时间和随后的稳定时间[51]，ETC实验持续1800秒。
本ESC实验选取台架气态污染物中NOx值与待测芯片的NOx值比较，实验结果部
分数据如表6-7所示，最终结果如图6-3所示。横坐标为时间（单位为s,每秒采集一次），
纵坐标为NOx值(单位为ppm)。该实验对动态响应的要求很高，工况的变化速度快、
差距大。前已述及，温度的稳定很重要，在这里可以得到很好的表现。工况的急剧
变化导致温度场的迅速变化，传感器只有任意时刻保证芯片腔室中温度的不变，才
能保证NOx测量的准确性。温度保障后，泵氧的控制策略就显得尤为重要了。图6-3
中动态跟随很一致，两曲线的重合度很高，偶有NOx值偏高和偏低的情况需软件的
进一步提高。
表6-7：待测芯片与台架ETC测试数据摘录
时间 台架 待测芯片 时间 台架 待测芯片
(s) -NOx(ppm) -NOx(ppm) (s) -NOx(ppm) -NOx(ppm)
1 154.73 129 16 156.21 125.2
2 164.55 137.1 17 153.74 124.2
3 168.76 146.5 18 308.06 294.2
4 158.9 136 19 710.66 772.1
5 156.75 126.1 20 878.09 1162
6 157.7 124.9 21 1205.1 1442.6
7 155.24 86.9 22 1165.7 1436.6
8 156.04 131.8 23 566.44 804.5
9 159.21 130.1 24 453.22 448.4
10 156.99 130 25 814.56 628.7
11 156.36 128.2 26 688.99 604.7
12 157.24 126.4 27 270.61 326.4
13 155.86 125.5 28 642.6 420
14 154.88 125 29 802.62 937.6
15 155.38 125 30 793.96 908

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图 6-3：待测芯片与台架 ETC 测试结果

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7 结 论

7.1 结论

本文主要完成了氮氧传感器陶瓷芯片检测系统机械结构、硬件设计和软件编程
等工作，并利用该检测系统进行实验。通过上述工作和实验测试结果，得到以下结
论：
（1）设计研发了氮氧传感器陶瓷芯片检测系统，该系统可匹配不同电阻值的
陶瓷芯片，能实现稳定、可调的加热温度，并迅速、可靠的判断电极材料浓差灵敏
度。可用于氮氧传感器批量生产中对陶瓷芯片的质量控制。
（2）赛钢、锰铜弹片法做成了的芯片夹具定位结构的接触电极尺寸能达到
0.5mm 级别，且能耐温 200℃，比电路板焊接法效率更高。
（3）加热控制电路中采用硬件反馈的加热控制策略比软件反馈反应速度更快，
能稳定住汽车尾气管中温度场的剧烈变化，实现±1℃的温度控制精度和小于10ms的
响应时间。
（4）该检测系统用于氮氧传感器陶瓷芯片试生产期，可提供芯片能否加热，电
极是否导通，电极电压范围等定性判断依据，为加热方式、电极制作工艺等方面的
改进提供参考意见。
（5）该检测系统用于氮氧传感器陶瓷芯片批量生产期，可提供芯片加热性能数
据，电极在不同气氛中的浓差电势等定量数据，为检测芯片性能是否达标提供依据。
（6）该检测系统检测达标的芯片封装好后，在发动机台架上的ESC和ETC测试，
与台架NOx值相比，待测芯片的静态和动态响应性能良好。
（7）该系统采用RS-485总线方式构成网络，对多个芯片同时测量，提高了测量
效率。

7.2 创新与展望

本课题的创新之处在于：首次在国内根据氧化锆氮氧传感器原理，设计出氮氧
传感器陶瓷芯片质量检测系统，所研制检测系统在国内外文献中尚未见类似报道。
设备只有在不断的实际运用中才能发现问题，从而不断的解决问题并得以提
高。本氮氧传感器陶瓷芯片测试系统功在精度、稳定性、功能完善性、自动化程度
上还有上升的空间，在以后的研究工作中，这些都将成为进一步完善的重点。

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致 谢

曾几何时，喻园主干道上的法国梧桐葱郁入帘，不经意间抬头，已是光秃秃一
片。季节的更替真快，不经感叹韶光易逝！不知不觉，六年半的大学求学生涯就要
走到尾声。一路走来伴随着快乐、伴随着思考也伴随着成长，感谢一路上我的导师、
同学、亲人、朋友带给我的一切。
首先要感谢我的导师修吉平老师，是他将我从材料成型领域带入我感兴趣的检
测与控制方向。他热爱科研、不畏挑战科研高峰、忘我的精神，让我们从内心感受
到了研究的无穷魅力；他深厚的知识底蕴、敏锐的思考角度、准确的问题把握，给
我们如何思考问题，解决问题上了最生动的一课。我们总是抱怨他规定的每周总结、
汇报的繁琐，带领我们跟随项目到实地调试的辛苦，但其实我们明白这些是真的让
我们得到了提高。
在研究生的学习和科研过程中也得到了已经毕业了的师兄师姐的帮助，在此向
陈翠云、项斌全、金了、韩栋、龙云芳、邱燕等人表示感谢。特别要感谢韩栋，不
厌其烦的带我叩开软件学习的大门。我还要感谢和我一起奋斗的同伴殷维和许佳，
大家在讨论中互相学习，生活中互相帮助，一起度过了很多美好的时光。此外，也
感谢实验室的宗雪娇、章琛、张昌俊、顾桂华等师弟师妹们，感谢你们在课题实验
中所给予的支持，我们的实验室生活因为有了你们而多姿多彩。当然还要感谢我亲
爱的室友刘倩和郭映，感谢你们带给我舒适、和谐、美好的科研外的生活。
感谢所有帮助我的亲人和朋友，你们的支持与鼓励是我奋力前行的永恒动力。

徐 雯
2012-12-31
@喻园

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附 录 攻读硕士学位期间发表论文

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