基于可调谐 DFB 激光的片上微环谐振腔温度测量实验装置设计

任宏亮 1，徐鹏盛 1，卢 瑾 2，陈浩 1，彭宏 1，周守利 1，张江鑫 1

(1 浙江工业大学 信息工程学院，浙江 杭州 310023
2. 浙江工业大学 计算机科学与技术学院，浙江 杭州 310023;)

摘 要：为实现高精度测温，搭建了基于 GaN 微环谐振腔光芯片的温度测量实验装置。该

装置通过调谐 DFB 激光器结合光电探测器采集透射光谱传感信号，检测谐振波长变化实现
温度测量。为确保测量精度，在 DFB 激光器上加载直流偏置电压，同时外加一定幅度的交
流电压实现其波长调谐，并通过温度反馈控制模块保持激光器温度恒定，以避免温度引起
激光器波长漂移。为精确验证温度测量效果，实验中通过温度控制模块进行精确调控芯片
的温度。结果表明在 20.0℃~24.5℃时测温灵敏度为 37.29pm/℃，该方法可降低微腔传感
系统造价，促进微环谐振腔测温的实际应用。
关键词：光芯片；微环谐振腔；DFB 激光器调谐；温度控制模块
中图分类号：TP391.4；G642 文献标识码：A 文章编号：

Design of Temperature Measurement Device Based on An On-chip Micro-

ring Resonator Using A Tunable DFB Laser

REN Hongliang1, XU Pengsheng1, LU Jin2, CHEN Hao1, PENG Hong1, ZHOU Shouli1,
ZHANG Jiangxin1
(1.College of Information Engineering, Zhejiang University of Technology, Hangzhou
310023; 2.College of Computer Science & Technology, Zhejiang University of
Technology, Hangzhou 310023)
Abstract：In the paper, an experimental setup is built to perform the temperature measurement
with ultra-high sensitivity by using an on-chip GaN micro-ring resonator. The sensing signals
consisting of transmission spectrum are collected by a tuned distributed feedback (DFB) laser
combined with a photo-detector, and the temperature is monitored by measuring the changes in the
resonant wavelength. The DFB laser tuning is realized by setting a certain range of alternating
current (AC) voltage based on a certain direct current (DC) bias, and its temperature remains
constant through the temperature feedback control module to avoid the laser wavelength drift
caused by the temperature. The experimental results demonstrate the feasibility of the method, and
its measurement sensitivity can achieve 37.29pm/K within the detection range of 20-24.5℃. The
proposed method greatly reduces the cost of the sensing system and has great significance for
further practical application.
Keyword: Optical chip, Micro-ring resonators, DFB Laser tuning, Temperature control module

硅光子学技术因为能 实现超小的光器件尺寸以及可与集成电路工艺兼容等诸多优点
而引起业界的广泛研究和关注 [1]。硅光子学传感器 具有紧凑性、高灵敏度、选择性、多
通道传感、与光纤电缆的兼容性和较短的响应时间等特点 [2]。该光学传感包括法布里-珀罗
腔、光纤波导、表面等离子激元、光子晶体波导与微腔、回音壁模式微腔等结构。在这些
结构中，回音壁模式光学微腔因具有超高的品质因子和极小的模式体积，在灵敏度和探测
收稿日期：2022-01-22
基金项目：浙江省自然科学基金(LY20F050009);上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点
实验室开放基金(2020GZKF013)
作 者 简 介 ： 任 宏 亮 (1978 － ) ， 男 ， 河 南 偃 师 ， 博 士 ， 副 教 授 ， 主 要 研 究 方 向 为 光 传 感 与 光 通 信 ，
hlren@zjut.edu.cn。
极限等方面表现优异，拥有巨大的商业应用前景[3-4]。近年来，随着光学材料微纳加工工艺
和半导体芯片制备工艺的发展，回音壁微腔也逐渐向片上可集成发展，因此具备更小的模
式体积、更精细的结构控制以及更有效的模式调控等优势[4]。微环谐振腔是一种常见的片
上回音壁模式(whispering gallery mode, WGM)微腔结构，在无标签生物传感、气体和蒸汽
传感、物理参数(速度、压力、温度)传感以及病毒和癌症检测等领域都有广泛应用 [5,6]。
微环谐振腔常基于单个模式谐振波长漂移进行传感测量，一种方法是采用激光扫频加
光电探测的方式，但该方法需要昂贵的外腔可调谐激光器，系统成本高，动态测量范围窄
[7]
。另一种方法是使用宽带光源（如超辐射发光二极管），然后用光谱仪观察传输频谱[8]。
对于谐振波长为 1550nm、Q 因子为 106 的谐振模式，其传输线形的半最大值全宽度为
1.55pm，然而普通光谱仪的分辨率为 10pm，因此普通光谱仪已不能分辨。由于微环谐振腔
模式 Q 值越高，传感灵敏度越高，因此后一种方法限制了传感灵敏度提高。氮化镓(GaN)
具有禁带宽度大、热导率高等特性，在室温下具有相当大的热光系数 [9]，因此 GaN 微环谐
振腔高灵敏度温度传感对集成光路、高灵敏度传感等领域发展具有重要意义。本文搭建的
硅 基 GaN 波 导 微 环 谐 振 腔 光 学 传 感 芯 片 温 度 测 量 实 验 装 置 ， 通 过 调 节 分 布 式 反 馈
(distributed feedback，DFB)激光器的电流实现波长调谐。为稳定 DFB 激光器的温度，使用
半导体制冷器(thermo electric cooler, TEC)温度控制模块实现对激光器的恒温控制。该装置也
使用 TEC 温控模块实现对微环谐振腔芯片的温度控制，以在实验内精确控制芯片温度进行
检测。

1 测温工作原理
1.1 片上微环谐振腔温度传感机制
高灵敏度温度传感在很多领域都有关键应用，如生理监测、生物和医学应用、制造业
等。在信息产业中勃兴的集成光路，当环境温度波动大于 1K，就可能造成其不能正常工作，
因此高精度的温度监测能确保操作安全性和有效性[10-11]。高 Q 值回音壁光学微腔，能显著
增强光与物质相互作用，极大的提高传感器灵敏度 。
光学微腔的测温原理是由于热光效应和热膨胀效应 [12-13]，温度变化引起微腔尺寸和折
射率的变化，两者的改变导致谐振波长随温度变化 [14]。考虑波长色散效应，谐振波长 λ 与
温度 T 的关系，该温度传感器的灵敏度可表示为[15-16]

(1)

式中， 为谐振波长, 为有效折射率, 为群折射率，D 为微腔直径。室温下 GaN 的热

[17]
光系数 ，热膨胀系数 ，后者比前

者小 2 个数量级，说明热光效应占主要地位。

2 实验硬件平台
基于 DFB 激光的 GaN 微环谐振腔测温实验平台温度测量实验装置设计如图 1 所示，实
验系统由光信号发生模块、光波耦合模块、TEC 温度控制模块、光电转换和数据接收模块
组成。光信号发生模块主要产生稳定能量、波长在 1550nm 附近的激光，且在直流偏置基
础上通过改变交流电压实现输出波长可调谐。光波耦合模块利用棱镜光纤将 DFB 激光器尾
纤的光场耦合进片上 GaN 微环谐振腔。两个 TEC 温度控制模块，一个用于激光器的自动
温度控制，另一个用于片上 GaN 微环谐振腔的温度调控。光电转换与数据接收模块将光信
号转变为电信号，同时收集传感信号。

(a) 实验装置设计示意图

(b) 实物图
图 1 基于 DFB 激光的 GaN 微环谐振腔温度测量实验装置设计

2.1 光信号发生模块
光信号发生模块由直流电源(DC)、信号发生器(AC)、DFB 激光器和偏振控制器组成。
直流电源(普源公司，型号：DP832A)为可编程线性直流电源，在工作时内阻接近为 0Ω，
可与激光器实现阻抗匹配。信号发生器通过一分二功分器(BNC 接头)将输出信号分为两路
信号，一路作为交流信号输入 DFB 激光器，用于改变 DFB 激光器电流，实现其输出光波
长调谐；另一路作为扫频范围参考信号输入示波器。由于串联的 DFB 激光器自身存在内阻，
导致两路信号发生器输出信号阻抗不匹配，会影响光电探测器输出信号波形质量。可将信
号发生器的输出阻抗设为高阻态，减少 DFB 激光器的内阻对光信号的影响。
DFB 激光器(武汉六九传感科技，型号：SPEC-AAA-BBBV10)的中心波长为 1550 nm，
采用蝶形封装形式，内置背光光电二极管(photo-diode，PD)、TEC 和热敏电阻，输出功率
可达 42mW 以上。由于 GaN 波导传输损耗较大，激光器采用高功率输出可使光电探测器保
持较高信噪比。DFB 激光器外接电路如图 2 所示，激光器能通过的最大工作电流为 300
mA，能施加的最大正向电压为 5 V。由于该激光器内阻很小，在 DC 信号输入端串联了三
个 15Ω 的电阻起到分压的作用，使得在保证足够正向电流的条件下，保护激光器不被击穿。
通过信号发生器产生一定幅度的 AC 信号(三角波)实现激光器调谐，DFB 激光器波长扫描
范围为 1547~1553 nm，扫描间隔可达 0.1 nm，可获得高 Q 值的光学微腔透射谱。

图 2 DFB 激光器外接电路图

DFB 激光通过尾纤输出后经光纤偏振控制器控制光的偏振模式。该光纤偏振控制器使
用三个线圈组成一列，中间线圈作为半波片，两边的分别为四分之一波片，每一个线圈都
可以沿着入射和出射光纤轴旋转。通过调整三个线圈的指向，偏振控制器可将特定波长入
射光的偏振态转化成任意输出的偏振态。
2.2 光波耦合模块
激光经偏振控制器后，通过一段锥形棱镜光纤耦合进 GaN 微环谐振腔的入射波导中，
图 3 为激光耦合进入芯片入射波导和从芯片波导耦合输出的示意图。两段锥形棱镜光纤(武
汉楚星，型号：CTT1-569-014-0.000A) 的锥形缓变区域可使得光纤模场与芯片 GaN 波导模
场有效匹配，实现超过 80%的耦合效率。

图 3 棱镜光纤耦合微环谐振腔入射和出射波导

在波导耦合系统中，两套光纤固定夹安装在左右两个三维位移平台上，分别用来固定
两段入出射锥形棱镜光纤，一套三维可调的高分辨率 CCD 显微平用来实时观察锥形棱镜光
纤与入射波导或出射波导的耦合情况。左右两个三维位移平台通过粗调与细调旋钮精细调
节 锥形棱镜光纤的位置。由于锥形棱镜光纤的耦合移动范围是纳米量级的，实验室人员走
动引起的空气流动、周围灰尘的飘落等外界环境影响都会影响耦合系统，因此根据耦合模
块的具体大小设计了亚克力防尘罩，保护波导耦合系统。
图 4 为电子束蚀刻在 SiO2 衬底上的回音壁模式 GaN 微环谐振腔芯片照片，其结构由一
个环形波导和一个耦合直波导组成。其中图 4(a) 显示了微环谐振腔芯片出射波导与锥形棱
镜光纤的耦合照片。图 4(b)为 GaN 微环谐振腔传感芯片照片， 该传感器芯片微环半径 50
μm，微环与波导之间间隙为 150 nm, 波导损耗系数约为 5 dB/cm。
 (a)芯片出射波导与锥形棱镜光纤的耦合 (b)光学芯片
图 4 GaN 微环谐振腔芯片照片

2.3 TEC 温度控制模块

以往类似的实验是在封闭空间中使用加热灯调节温度，温度调节精度低且温度控制稳
定性差。 该温度测量实验装置采用 TEC 半导体制冷片和温度控制器来实现高精度的温度
调控。TEC 制冷片是电流换能型片件，既能加热，又能制冷，应用范围较广，升温和降温
都十分方便。TEC 通过控制输入电流可实现高精度的温度控制。。该温控组件需外接 5~24
V 直流电源，在 5~45℃的温度范围内可对热敏电阻实现 0.002℃分辨率的温度测量。温度
控制是通过热敏电阻实时获得所测物体的温度，然后与实际设置的温度进行比较，再输出
合适功率至 TEC 制冷片使所测物体达到设定温度。该温控设备通过 RS232 串口协议上传实
时热敏电阻温度数据至上位机，利用 Easyhost 软件控制相关参数。 该反馈控制使得温度
控 制稳 定性 较好 且温 控精 度精 度较 高， 这里 整个 温控 设备 对芯 片的 温度 控制 精度 为
0.01℃。
如上所述，本实验平台的第一个温控模块与 DFB 激光器内置 TEC 制冷片和热敏电阻结合
（图 2），实现 DFB 激光器的自动温度控制，以保证 DFB 激光器在通过恒定电流时，波长
保持恒定。第二个温控模块用于芯片温度的调控。 设计并加工了如图 5 所示的固定支架放
置芯片，以确保平稳防震。为调控芯片温度，将 TEC 制冷片固定在支架之上，再将 GaN
微环芯片直接放置于制冷片的制冷面上。如需要对芯片进行加热，只需要将制冷片直流输
入的正负极反接即可实现制冷与制热的功能转换。
 图 5 温控模块结构示意图

2.4 光电转换与数据接收模块
光电转换模块使用的是索雷博公司的 PDA05CF2 型号光电探测器，适用于 800~1700
nm 波长范围的光信号转换，可以缓冲输出驱动 50Ω 的负载，阻抗高达 5V。如图 6 所示，
PD 的电路包括了一个反向偏置的 PIN 光电二极管，配对到一个固定增益的跨阻抗放大器，
并通过 BNC 接口输出转换的光电流。

图6 光电探测器的功能结构原理

光电二极管 PD 的响应特性是反应器件产生光电流能力的重要指标，定义为

(2)

(2)式中， I PD 为给定波长下产生的光电流， P 为入射到 PD 的光功率。对于 PD 检测器，经

过 PIN 光电二极管光电流的放大器固定增益依赖于反馈元件( R f )，探测器的带宽可以用式
(3)计算

(3)
(3)式中， GBP (Gain–bandwidth product) 是放大器增益带宽的乘积，C D 是光电二极管结电
容和放大器电容的总和。
本装置使用光电探测器 PD 将芯片出射光信号转化为电信号，并将放大过的电信号接入
至示波器中观察收集传感数据。实验过程中调整偏振控制器获得较大信噪比信号，并将示
波器收集的传感数据存储至移动移动硬盘中。
3 实验过程和数据处理
3.1 实验过程
在固定三角组合支架上放置好芯片样品之后，按以下步骤完成锥形棱镜光纤与芯片波
导的耦合实验：
(1)将芯片移动到显微视场中。粗调显微支架上下移动改变焦距，使得显微镜聚焦到芯
片的平面之上，随后左右调整镜头定位到芯片的最左端，旋动细调旋钮使芯片可以清楚地
显示在显微视场中。
(2)将左右光纤锥移动到显微视场中。调整两个左右三维位移平台分别将两段锥形棱镜
光纤移动至芯片的左入射端与右端输出端的正上方。将显微镜头停留在芯片的最左端，下
调光纤锥直至屏幕可模糊显现细长的光纤轮廓，随后先左移再下移锥形棱镜光纤，使之正
对入射波导的入口，同样方法调节输出波导出口的锥形棱镜光纤。
(3)粗调耦合。将两端的光纤依次接通导引红光，调整光纤夹的三维位置，使导引红光
进入波导。
(4)细调耦合。将 DFB 激光经偏振控制器接入至输入光纤中，输出光纤输出端接入光功
率计。为保证输出信号足够高的信噪比，通过细调三维位移平台使输出光功率达到 300
μW 以上。
实验用到两个 TCM-X107 温控模块，分别用于激光器自动温度控制和 GaN 微环谐振
腔芯片的温度调控。两者需求对直流电源的功率要求不同，激光器的制冷器工作电压需小
于 4.8 V，工作电流需小于 1.2 A。微环谐振器芯片的制冷器工作电压小于 11.5 V，工作电
流小于 2.0 A。该型号的温控装置可以将直流电源输入的 90％功率用作 TEC 使用功率，因
此将激光器和微环谐振腔的温控装置直流电源输入分别设置为 5 V、0.6 A 和 6.5 V、1 A。
实验中将温控装置的过温保护、过流保护、过压保护等保护措施全部打开，保证实验安全。

3.2 实验数据分析
实验中激光器直流电源输入设置为 8.5 V、175 mA，输入交流信号为三角波，频率为
20 Hz，幅度为 4 Vpp。在该实验条件下 DFB 激光器输出波长范围为 1553.2~1553.6 nm，其
扫频范围为 50 GHz。信号发生器产生交流信号三角波的频率为 20 Hz, 可得激光器正扫频一
次需要 0.025 s。将示波器的存储深度设为长存储模式，增大示波器的数据采样率，使得整
个存储下来的透射光谱有 8149 个采样点。图 7 所示为温度从 23.0℃至 23.4℃变化时测量的
微环谐振器透射光谱，从中可以观察到在一个正扫或反扫周期内有两个谐振模式。
 图 7 微环谐振腔在不同温度下的透射谱

选择 1553.56 nm 附近的谐振模式(图 7 圆圈所示)用作传感测量，由图 8 可以看出，随

着温度的增加，微环谐振腔的谐振波长向长波长移动，发生了红移。
 图 8 23.0℃～23.4℃时 1553.56 nm 波长附近透射谱变化

增大温度变化范围直至原 1553.56 nm 附近的谐振模式移出 DFB 激光器的扫频范围极限，

此时测温范围已到最大范围。实验得出，在将激光器的温度控制在 20.0℃时，可以测量的
温度范围是 20.0℃至 24.5℃。如图 9 所示，谐振波长随温度的变化呈较好的线性关系，因
此通过该微环谐振器的测温方法是实际可行的。温度传感灵敏度为 dλ⁄dT= 37.29pm/℃。
 图 9 1553.56 nm 附近谐振波长与温度变化关系

实验同时研究了不同激光器温度时升降温过程以及对传感测量的影响。图 10(a)和
10(b)分别显示了升降温过程中 1553.56 nm 附近处的透射谱。 图 10(c)在激光器温度为
19.0℃、19.5℃和 20.0℃时，升温和降温过程中 1553.56 nm 附近处的谐振波长随温度的变
化曲线。从图中结果可以看出在不同激光器温度时升温和降温过程传感测量都有较好的重
复度和线性度。图 10(d) 在激光器温度为 19.0℃、19.5℃和 20.0℃时，升温过程中 3 次测量
时得到的结果，结果显示了重复测量具有较好的重复度和线性度。
(a) 20℃～24℃升温过程中 1553.56 nm 波长附近透射谱
(b) 24℃~20℃降温过程中 1553.56 nm 波长附近透射谱
(c)激光器温度分别为 19.0℃、19.5℃和 20.0℃时，升温和降温过程中 1553.56 nm 附近谐振波长与温度变
化关系
 (d) 激光器温度分别为 19.0℃、19.5℃和 20.0℃时，升温过程中三次测量的 1553.56 nm 附近
谐振波长与温度变化关系
图 10 基于 DFB 激光的 GaN 微环谐振腔测温验证实验

4 结语
本文搭建了基于 DFB 扫频激光器的 GaN 微环谐振腔芯片温度测量实验装置。由于热
光效应和热膨胀效应，温度变化引起微腔波导折射率和尺寸的变化，从而使其谐振波长发
生漂移。实验中使用交流电流调谐 DFB 激光器的波长，然后利用光电探测器和示波器接收
透射光谱信号。采用温控模块对 DFB 激光器进行自动温度控制，同时也采用另外的温控模
块实现对传感芯片的精准调控。温度传感灵敏度可达 37.29pm/K，可进一步通过参数优化
扩大温度测量范围。该装置极大降低了传感系统造价，对进一步实际应用有重要意义。

参考文献 (References)
[1] 甘甫烷, 余明斌 , 武爱民,等. 硅光子学 :光电子学与微电子学的 联姻 [J]. 科技纵览 ,
2017(11):62-65.
[2] 何蕾, 贾振红, 李传喜. 一种基于多孔硅光子器件的免标记生物检测法 [J]. 光电子．激光,
2020, 31(10): 1013-1017.
[3] 李昂震, 王鹏飞. 回音壁模式光学微腔器件的封装与集成[J]. 光子学报, 2019, 48(11):
90-99.
[4] 曹启韬, 唐水晶, 陈豪敬,等. 超高品质因子片上微腔光子学研究进展[J]. 科学通报, 2020,
65(27): 3028-3042.
[5] Li Z Y, ZHANG H, NGUYEN B T T , et al. Smart ring resonator–based sensor for
multicomponent chemical analysis via machine learning[J]. Photonics Research, 2021,
9(2):38-44.
[6] XU X Y, CHEN W J, ZHAO G M, et al. Wireless whispering-gallery-mode sensor for thermal
sensing and aerial mapping[J]. Light: science & applications, 2018, 7(5): 325-330.
[7] LIAO J, YANG L. Optical whispering-gallery mode barcodes for high-precision and wide-
range temperature measurements [J]. Light: Science & Applications, 2021, 10(2): 278-288.
[8] MALLIK A K, FARRELL G, RAMAKRISHNAN M, et al. Whispering gallery mode micro
resonators for multi-parameter sensing applications [J]. Optics Express, 2018, 26(24): 31829
- 31838.
[9]马立龙, 谢敏超, 欧伟,等. 硅基 GaN 微腔制作及其激射特性 [J]. 光子学报, 2022, 51(2): 55-
63.
[10] CHEN Y C, LI J P, GUO X J, et al. On-chip, high-sensitivity photonic temperature sensor
based on a GaAs microresonator [J]. Optics Letters, 2020, 45(18): 5105-5108.
[11] DING Z Q, LIU P H, CHEN J Y, et al. On-chip simultaneous sensing of humidity and
temperature with a dual-polarization silicon microring resonator[J]. Optics Express, 2019,
27(20):28649.
[12] TIAN X Y, LI L W , Chew S X , et al. Cascaded Optical Microring Resonator Based Auto-
correction Assisted High Resolution Microwave Photonic Sensor [J]. Journal of Lightwave
Technology, 2021, 39(24): 7646-7655.
[13] 张伟, 唐军, 刘丽双,等. 级联环形谐振腔温漂抑制效应实验研究[J]. 传感技术学报, 2016,
29(8): 1165-1168 .
[14] 孙航, 刘笑尘, 王梓杰,等. 毛细管内嵌微球谐振腔的温度传感特性研究[J]. 应用光学,
2021, 42(5): 926-931.
[15] ZHAO L Y, WANG Y, YUAN Y G, et al. Whispering gallery mode laser based on
cholesteric liquid crystal microdroplets as temperature sensor[J]. Optics Communications,
2017, 402: 181-185.
[16] LIU Z H, LIU L, ZHU Z D, et al. Whispering gallery mode temperature sensor of liquid
microresonastor[J]. Optics Letters, 2016, 41(20): 4649-4652.
[17]NAOKI W, KIMOTO T, SUDA J. Thermo-optic coefficients of 4H-SiC, GaN, and AlN for
ultraviolet to infrared regions up to 500°C [J]. Japanese Journal of Applied Physics, 2012,
51(11 ): 112101.