电子显微学报　J ．Chin ．Electr ．Microsc ．Soc ．

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　　　　2（6
）∶5
32～5
32　2
003年

探讨用SEM-
EDS 分析材料的碳含量
吴东晓‚郭莉萍‚张大同
（ 华南理工大学 测试中心‚广东 广州5
106
41）

　　扫描电镜同能谱仪联用‚为材料的元素分析提
供了方便。对原子序数高的元素分析‚可以做到定
性和半定量分析；对轻元素分析‚如碳‚多数为定性
分析。其原因为：其一‚碳为轻元素‚特征 X 射线能
量低‚信号被探测器收集过程中‚损失大；其二‚计算
中使用不同方法扣除碳元素背底‚对计算结果会有
不同的影响；其三‚扫描电镜大多采用机械泵和扩散
泵‚给真空系统带来一定的油污染‚能谱计算出的碳
含量总是偏高。
钢铁材料中的碳为重要的合金元素‚为增强表 图2　离表面5～1
0μm 渗层能谱。
面性能‚常常在工件表面渗碳。在电镜下‚渗层的形
貌为表面是含碳量高的片状组织‚随着含碳量降低‚ 　　实际检测经验说明‚在碳含量为～1％‚甚至更
向内过渡到心部组织‚见图1。沿着表面分析‚在不 低时‚能 谱 的 半 定 量 值 也 仍 然 有 效。由 此 说 明‚
同部位选取离表面5～1
0μm 范围收集能谱‚图2为 SEM-
EDS 联用测定碳元素的含量‚定性和半定量的
∙
谱图‚计算碳含量为101％～1
∙17％‚而常规渗碳中 分析结果均可较准确地反映实际的情况。分析原因
∙
最表层碳含量是在095％～1
∙20％之间‚测试值与 可能为：其一‚能谱的探测器为超薄窗口‚降低了碳
0μm、
此相吻合。继续测定离表面2 30μm、
40μm 和 元素信号的损失；其二‚能谱处理软件为I NCA3
00‚
5
0μm 处的碳含量‚逐渐由表面的1％降为～0
∙3％‚ 对轻元素的背景扣除方法较为合理‚减小了误差；其
∙
而材料原始的碳含量为02％～0
∙3％‚检测值和实 三‚电镜配备无油机械泵和涡轮分子泵‚即采用所谓
际值相差不大。 干式真空系统‚真空度高‚避免了碳污染；其四‚严格
操作‚不分析有污染可能的样品‚并在更换样品时‚
向样品室充入高纯氮气。
5
总之‚利用LEO130VP 扫描电镜-OXFORD 超薄
窗口能谱仪对碳元素的分析实践表明‚碳的半定量
分析已有相当的参考价值。
参考文献：
［ 1］ Goldstein J I ‚等著．扫描电子显微技术与 X 射线显微
分析［ M］ ．见：张 大 同 译．北 京：科 学 出 版 社‚
198
8．
1
8-2
0．
［ 2］ 陈世朴‚王永瑞．金属电子显微分析［ M］ ．北京：机械
图1　表面渗碳形貌。Bar ＝5
0μm 1
工业出版社‚98
2．1
66-
169．