Ćwiczenie

LASEROWE POMIARY WIELKOŚCI LINIOWYCH I KĄTOWYCH

1. Wstęp

Interferometr laserowy stał się w ostatnich latach szeroko rozpowszechnionym

narzędziem w technice pomiarów. Ze względu na swą wszechstronność stał się w wielu
przypadkach nieodzowną pomocą w dziedzinie kontroli jakości maszyn i w pracach
rozwojowych.
Już w 1881 roku A.A. Michelson zastosował interferometr, aby po raz pierwszy w
historii dokonać pomiaru wzorcowego metra metodą interferometryczną. Posłużył się w tym
celu czerwonym światłem lampy kadmowej. Jego doświadczenia stały się podwaliną dla
pomiarów interferometrycznych. Przemysłowe zastosowanie interferometrów zyskało na
znaczeniu wraz z odkryciem lasera w 1960 r. Połączenie bowiem interferometrii z wysoką
spójnością i monochromatycznością promienia lasera dało w efekcie znaczące narzędzie
pomiarowe, jakim jest interferometr laserowy.

2. Zasada pomiaru interferometrem laserowym

W pomiarze interferometrycznym pomiar pewnej nieznanej długości dokonuje się

poprzez jej porównanie z pewną wielkością stałą, np. z długością fali świetlnej. Przedstawia
to zależność 1
L = N * /2 (1)
Gdzie:
L – mierzona odległość,
N – wielokrotność długości fali światła zawarta w długości mierzonej,
Dokładność takiego pomiaru zależy od tego, z jaką dokładnością da się ustalić
wielokrotność N oraz jak dokładnie znana jest długość fali  Do ustalenia wielokrotności N
wykorzystuje się właściwość interferencyjną światła. Oznacza to, że sumaryczna
intensywność, jaka powstaje przez nałożenie się dwóch fal świetlnych, zależy od położenia
względem siebie obu fal. W tym celu wiązka światła wprowadzona do interferometru, zostaje
rozdzielona na dwie wiązki zwane referencyjną i pomiarową. W drogach powrotnych obie te
wiązki zostają na siebie nałożone. W zależności od wzajemnego położenia faz obu wiązek
dochodzi do interferencji pozytywnej lub negatywnej. Zmiana odległości spowodowana
przesunięciem reflektora pomiarowego zmienia długość drogi światła jedynie w odnodze
pomiarowej interferometru, co powoduje przesunięcie obu fal świetlnych względem siebie. W
ten sposób intensywność nałożonych na siebie wiązek doznaje modulacji, która powtarza się
co /2 długości fali. Dzięki zliczaniu tych modulacji (zwanych też prążkami
interferencyjnymi) otrzymuje się poszukiwaną liczbę N.
Jednostkową miarą interferometrycznego pomiaru długości jest długość fali światła,
która nie jest wielkością stałą lecz zależy od częstotliwości lasera „f” i prędkości światła „c”
w otoczeniu pomiarowym.
   – c/f (2)
Prędkość światła „c” w otoczeniu pomiarowym zależy dodatkowo od współczynnika
załamania światła „n” w tym otoczeniu i od prędkości światła w próżni „co”.

C = co/n (3)

Ponadto wpływ na współczynnik załamania światła ma jeszcze wilgotność powietrza oraz

zawartość dwutlenku węgla CO2. Stąd niezbędne jest korygowanie na bieżąco wartości
współczynnika załamania światła poprzez pomiary temperatury ciśnienia i wilgotności
powietrza. Jeżeli w warunkach przemysłowych skład powietrza znacznie odbiega od
warunków przeciętnych, konieczny jest pomiar współczynnika załamania światła za pomocą
tzw. refraktometru.
Refraktometry są to specjalne interferometry do pomiaru pozornej zmiany długości
referencyjnej, wywołanej przez rzeczywisty współczynnik załamania światła. W tym celu
pomiar wykonuje się zarówno w otaczającym powietrzu jak i w próżni. Metoda ta jest
nieprzydatna w warunkach przemysłowych z uwagi na duże wymiary urządzenia i
konieczność użycia pompy próżniowej. Niektórzy producenci laserów pomiarowych
proponują już przenośne refraktometry obywające się bez pompy próżniowej, które powinny
zastąpić dotychczas stosowane stacje meteorologiczne.

3. Pomiary dokładności geometrycznej maszyn

Interferometr laserowy z różnego typu oprzyrządowaniem optycznym jest najwyższej

klasy przyrządem pomiarowym wykorzystywanym do kontroli geometrycznej maszyn.
Szczególnie istotnym zagadnieniem przy kontroli maszyny jest badanie przemieszczenia
prostoliniowego zespołu maszyny wzdłuż osi ruchu.

Rys.4. Odchylenia przy przemieszczaniu liniowym

 Przemieszczenie prostoliniowe zespołu ruchomego maszyny powoduje sześć
elementów odchylenia (rys.4.): jedno odchylenie pozycyjne w kierunku ruchu, dwa
odchylenia liniowe trajektorii punktu ruchomego zespołu, trzy odchylenia kątowe zespołu
ruchomego. Wszystkie sześć stopni swobody ma jednakowe znaczenie, ponieważ błędy
pozycjonowania, wynikające z niepożądanych ruchów kątowych lub ruchów postępowych,
mogą być większe od błędów pozycjonowania linowego na osiach współrzędnych.
Interferometr laserowy wykorzystywany jest do mierzenia pięciu z sześciu osi swobody:
pozycjonowania liniowego, prostoliniowości poziomej, prostoliniowości pionowej, skoku i
schodzenia z kursu oraz prostokątności między dwiema osiami. Szósty stopień swobody może
być wyznaczony przy zastosowaniu dwóch interferometrów.

4. Laserowy system pomiarowy LSP-30

Laserowy system pomiarowy LSP-30, jest dwuczęstotliwościowym interferometrem

laserowym wykorzystującym, jako wzorzec długości, promieniowanie stabilizowanego
częstotliwościowo lasera HeNe 0,63 m. W skład systemu wchodzą: głowica laserowa, układ
kompensacji długości fali promieniowania, komputer PC wraz z oprogramowaniem oraz
oprzyrządowanie optyczne (p.rys.5). Głowica laserowa jest źródłem stabilizowanego
częstotliwościowo promieniowania lasera HeNe o długości fali 632.8 nm. Promieniowanie to
jest spójne co oznacza, że wszystkie wysyłane przez źródło fale mają taką samą długość oraz
są dokładnie w fazie. Układ kompensacji zapewnia automatyczną kompensację zmian
współczynnika załamania światła przy zmianach parametrów atmosfery. Komputer PC
umożliwia wizualizację i obróbkę wyników pomiarów. Wyposażony jest w oprogramowanie
systemowe i oprogramowanie narzędziowe umożliwiające : pomiar pozycjonowania, pomiary
kątowe, pomiary płaskości, pomiary prostoliniowości, pomiary prostopadłości i pomiary
szybkości przemieszczania. Oprzyrządowanie optyczne zmienia się odpowiednio do rodzaju
pomiarów: optyka do pomiarów liniowych, optyka do pomiarów kątowych, optyka do
pomiaru prostoliniowości i optyka do pomiarów prostopadłości.

Głowica
laserowa
PC Oprzyrządowanie
komputer Układ optyczne
kompensacji

Rys.5. Schemat blokowy laserowego systemu pomiarowego LSP-30.

4.1. Głowica laserowa

Głowica laserowa (p.rys.6) zawiera: stabilizowany częstotliwościowo laser HeNe,

optyczne układy uzyskiwania sygnałów odniesienia i sygnału pomiarowego, układy detekcji
sygnałów, układy wzmacniania sygnałów pomiarowego i odniesienia, układy rozszerzeń
rozdzielczości pomiarowej, układy liczników częstotliwości odniesienia i pomiarowej oraz
system mikroprocesorowy .

Głowica laserowa wykorzystuje metodę heterodynową, bazując na standardowym

laserze helowo- neonowym HeNe 632.8 nm, z wewnętrznym rezonatorem umieszczonym we
wzdłużnym polu magnetycznym. Częstotliwość zeemanowska lasera wynosi ok. 1.6 MHz,
zaś moc wyjściowa ok. 1 mW. Częstotliwość promieniowania lasera jest stabilizowana przy
wykorzystaniu cyfrowej metody stabilizacji częstotliwości zeemanowskiej. Stabilność
częstotliwości promieniowania wynosi 0.02 ppm. Wyjściowa wiązka promieniowania składa
się z dwóch wiązek o częstotliwościach f1 i f2 i liniowej wzajemnie prostopadłej polaryzacji.
Niewielka część wiązki promieniowania wykorzystywana jest do uzyskiwania sygnału
odniesienia i stabilizacji częstotliwości lasera. Większa część wiązki emitowana jest na
zewnątrz głowicy laserowej. System mikroprocesorowy głowicy umożliwia wykonywanie
pomiarów i przesyłanie wyników pomiarowych łączem RS232C do zewnętrznego komputera
PC. System ten umożliwia stabilizacje częstotliwości promieniowania lasera i kontrolę pracy
głowicy.

Magnes Grzejnik f2
f1
Dzielnik wiazki Retropryzmat
/4 /2
f2 f1
Laser HeNe
Teleskop F.P.

PZT F.O. f1f

Interferometr liniowy
Układ Wzm. Wzm.
zasilania f1-f2 odniesienia pomiarow f1-f2+f
y
(f1-f2) (f1-
Licznik Układ rozszerzeń
x 16 f2f)
stabilizacji rozdzielczości
x 16
Licznik Licznik F.O.-Detektor odniesienia
System odniesienia pomiarowy
F.P.-Detektor pomiarowy
mikroprocesorowy
Do komputera
PC
Rys.6. Schemat blokowy głowicy laserowej z oprzyrządowaniem optycznym

4.2 Układ kompensacji współczynnika załamania

Chociaż częstotliwość promieniowania lasera jest stała, to jednak długość fali

promieniowania jest stała tylko w próżni. W powietrzu długość fali promieniowania lasera
zależy od zmian współczynnika załamania światła. Zmiany współczynnika załamania w
funkcji zmian parametrów atmosfery określa zależność.
n=1+(2,8793 P 10-7):(1+0,003671 T)(4,2 Pw 10-8)
gdzie: n – współczynnik załamania,
P – ciśnienie atmosferyczne w hPa,
T – temperatura powietrza w C,
Pw - ciśnienie pary wodnej w powietrzu w hPa.
W celu uzyskania wysokiej dokładności pomiarów wykonywanych laserowym
systemem pomiarowym LSP-30 współczynnik załamania w powietrzu jest mierzony
automatycznie i następnie korygowana jest długość fali promieniowania lasera (p.rys.7). Żeby
wyeliminować błędy związane z rozszerzalnością termiczną podłoża, na którym wykonywany
jest pomiar, mierzona jest też jego temperatura w trzech punktach.
Komputer PC
System

mikroprocesorowy

Przetwornik Przetwornik Przetwornik

wilgotności ciśnienia temperatury

Czujnik Czujnik Czujniki

wilgotności ciśnienia temperatury

Rys.7. Schemat blokowy układu kompensacji

Pomiar temperatury powietrza i trzech temperatur podłoża prowadzony jest w zakresie od 0

do 40 C, rozdzielczość pomiaru wynosi 0,1 C a dokładność pomiaru 0,1 C.
Ciśnienie atmosferyczne mierzone jest w zakresie od 940 do 1060 hPa, rozdzielczość pomiaru
wynosi 1 hPa a dokładność pomiaru 1 hPa.
Wilgotność względna mierzona jest w zakresie od 10 do 90 %, rozdzielczość pomiaru wynosi
1 % a dokładność pomiaru 5 %.

4.3 Optyczne układy interferometru

W zależności od rodzaju wykonywanych pomiarów w laserowym systemie pomiarowy

mogą być wykorzystywane cztery różne konfiguracje elementów optycznych: optyka do
pomiarów liniowych, optyka do pomiarów kątowych, optyka do pomiaru prostoliniowości i
optyka do pomiaru prostopadłości.

 Optyka do pomiarów liniowych


 Promieniowanie laserowe emitowane przez głowicę laserową jest dzielone na
powierzchni dzielącej interferometru polaryzacyjnego na dwie wiązki (p.rys.8). Jedna wiązka
o częstotliwości f1 przechodzi przez interferometr i odbija się od ruchomego retroreflektora.
Druga wiązka o częstotliwości f2 odbija się od retroreflektora odniesienia. Obie wiązki po
odbiciu kierowane są na detektor pomiarowy znajdujący się w głowicy laserowej.
Przemieszczanie się retroreflektora pomiarowego powoduje , w wyniku efektu Dopplera,
zmianę częstotliwości f1 wiązki odbitej. Na powierzchni detektora pomiarowego następuje
zdudnianie obu wiązek, częstotliwość pomiarowa różni się od częstotliwości odniesienia
(częstotliwość z detektora odniesienia znajdującego się w głowicy laserowej) o częstotliwość
Dopplera. Odejmując od częstotliwości pomiarowej częstotliwość odniesienia uzyskuje się
sygnał o częstotliwości zależnej od szybkości przemieszczania się retroreflektora
pomiarowego. Sygnał ten umożliwia określenie wielkości przemieszczenia retoreflektora

F2 F1
F1,F2

F1-F2Fd F1Fd
Retroreflektor
Interferometr
polaryzacyjny

Rys.8. Schemat optyki do pomiarów liniowych

pomiarowego.
Optykę do pomiarów liniowych wykorzystuję się przy pomiarach: odległości, prędkości
przemieszczania, pozycjonowania w osi maszyny i badania napędów.

 Optyka do pomiarów kątowych

Układ optyki do pomiarów kątowych wykorzystuje obie wiązki o częstotliwościach f1 i

f2 emitowane przez głowicę laserową (p.rys.9). W interferometrze kątowym całkowicie
odbijające zwierciadło, mocowane pod kątem 45, wykorzystywane jest w miejsce
retroreflektora odniesienia. Obydwie wiązki o częstotliwościach f1 i f2 przechodzą przez
interferometr i przemieszczają się po drogach równoległych. Wiązki po odbiciu od
retroreflektora kątowego kierowane są na detektor pomiarowy umieszczony w głowicy
laserowej. Kątowe przemieszczenie retroreflektora kątowego powoduje zmianę częstotliwości
obu odbitych wiązek. Znając różnicę częstotliwości obu odbitych wiązek możemy wyliczyć
różnicę dróg optycznych tych wiązek. Znając różnicę dróg optycznych i odległość pomiędzy
elementami odbijającymi retroreflektora można określić przemieszczenie kątowe reflektora.
 Optykę do pomiarów kątowych wykorzystuje się w systemie laserowym LSP-30 przy
pomiarach: odchyleń kątowych, prostoliniowości, płaskości powierzchni.

F1,F2 F1

F1Fd

F1+F2Fd, F2
F2Fd
F2Fd

Interferometr Retroreflektor
kątowy kątowy

Rys.9. Schemat optyki do pomiarów kątowych

5.1 Pozycjonowanie liniowe

Pomiary pozycjonowania liniowego wykonuje się w układzie pomiarowym, którego
schemat przedstawiono na rys.11. Do pomiaru wykorzystuje się system laserowy w
konfiguracji: głowica laserowa, układ kompensacji, komputer z oprogramowaniem do
pozycjonowania wg PN, optyka do pomiarów liniowych.

FWD
32J

Interferometr
liniowy
Pryzmat
Laser
T1 T2

T3
Meteo

Rys.11. Układ pomiarowy do pozycjonowania liniowego w osi maszyny

Przy wykorzystaniu interferometru laserowego LSP-30 z optyką do pomiarów liniowych

można uzyskać następujące parametry pomiaru:
1. Pomiary odległości
 zakres pomiaru - 0 do 30 m
 rozdzielczość pomiaru - 0,1 lub 0,01 m
 dokładność pomiaru - 1,5 m/m
2. Pomiary prędkości liniowej
 zakres pomiaru - 0 do 12 m/min
 rozdzielczość pomiaru - 0,18 mm/min,
 dokładność pomiaru - 0,1%

Proces pomiaru pozycjonowania można podzielić na następujące etapy:

 zestawienie układu pomiarowego;
 ustawienie i uruchomienie głowicy laserowej,
 zamocowanie interferometru liniowego na ruchomym stole maszyny a retroreflektora
(pryzmatu) do nieruchomej nieruchomego zespoły maszyny np. głowicy wrzecionowej,
 justowanie układów optyki liniowej na całej drodze przemieszczenia retroreflektora,
 ustalenie wielkości odcinka o jaki przesuwany będzie stół obrabiarki np. 18mm,
 wykonanie co najmniej trzech cykli pomiarów odchyłek pozycjonowania,
 opracowanie wyników w formie tabeli i wykresu.

Z jednego ustawienia głowicy laserowej, zmieniając położenie interferometru liniowego

i retroreflektora, można przeprowadzić pozycjonowanie liniowe dla dwóch osi sterowalnych
maszyny. Pomiary w trzeciej osi wymagają przestawienia głowicy laserowej.

6. Przygotowanie systemu laserowego do pracy

Komputer PC współpracuje z głowicą laserową i stacją pomiarów parametrów

atmosfery (stacja METEO) poprzez interfejs pomiarowy, umieszczony w złączu
krawędziowym płyty głównej komputera.
Aby uruchomić system należy:
 włączyć głowicę laserową włącznikiem na tylnej ściance obudowy,
 włączyć komputer i uruchomić program LS.EXE.
Na ekranie komputera pojawi się winieta (p.rys.13, 14 i 15), opisująca stan systemu. Napisy w
ramce informują o poszczególnych fazach uruchomienia i o ewentualnych błędach. Po
przejściu fazy wstępnego uruchomienia zostaje załączony laser (zapala się LED „LASER ON
na płycie czołowej głowicy laserowej) i uruchamiany jest proces wstępnego wygrzewania
lasera.
Podczas wygrzewania lasera, które trwa około 15min można wykonywać wszystkie
czynności związane z precyzyjnym ustawieniem głowicy laserowej i układów optycznych.
Głowicę laserową należy ustawić tak aby emitowany promień światła był równoległy
do przesuwu stołu w wybranym kierunku. W tym celu należy) ustawić interferometr na stole
blisko głowicy laserowej. Wstępnie (przy pomocy pokręteł i dźwigni przy statywie i w
maszynie) ustawić głowicę tak aby promienie laserowe przebiegały wzdłuż drogi ruchu i
padały na interferometr. Następnie należy ograniczyć średnicę wychodzącego
promieniowania laserowego poprzez przekręcenie przesłony na płycie czołowej głowicy
laserowej. Przy pomocy pokręteł doprowadzić do tego aby odbita od interferometru wiązka
padała dokładnie na centrum krzyża znajdującego się na obiektywie głowicy. Przesuwając
stołem w krańcowe położenie regulować położenie głowicy i interferometru tak aby na całej
drodze uzyskać padanie wiązki laserowej na centrum krzyża – będzie to świadczyć, że
promieniowanie laserowe jest równoległe do kierunku ruchu stołu czyli że głowica jest już
ustawiona poprawnie. Aby ustawić retroleflektor (pryzmat) należy go przymocować do
głowicy frezarki i ustawić tak aby promień odbity trafiał również w centrum krzyża. Obydwa
odbite promienie tj. od interferometru i od pryzmatu powinny się zatem nałożyć. Dla
ułatwienia sobie procesu ustawianiu promienia odbitego od pryzmatu można na chwilę
odsunąć interferometr na bok i ustawić w pierwszej kolejności promień odbity od pryzmatu a
następnie wstawić interferometr tak aby obydwa promienie odbite trafiały w centrum krzyża.
Po zakończeniu justowania należy przekręcić przesłonę tak aby obiektyw przepuszczał
pełną wiązkę światła laserowego.
Przy poprawnie zjustowanym (ustawionym) układzie optycznym po nagrzaniu lasera i
osiągnięciu stabilizacji częstotliwości na ekranie monitora pojawia się „menu” umożliwiające
wybór opcji pracy systemu (p.rys.16). Należy wybrać opcję „WYŚWIETLACZ”.