VD3.1: Làm bánh bông lan VD3.

2: Thử tác dụng của thuốc

Lần lặp Công thức 1 Công thức 2 Công thức 3 Lần lặp Thuốc 1 Thuốc 2 Thuốc 3
1 7 9 8 1 11 10 11
2 7 7 9 2 10 9 12
3 7 8 9 3 8 11 11
4 8 8 10 4 11 12 13
5 9 7 9 5 9 11 14
6 7 9 8 6 9 11 13
7 8 8 9 7 10 10 12
8 6 8 8 8 10 13 11
9 8 7 8 9 8 12 12
10 6 6 7 10 9 10 10
VD3.3: Khắc wafer Công suất Lần lặp
Lần lặp 160 180 200 220 nguồn (W) 1 2
1 575 565 600 725 160 575 542
2 542 593 651 700 180 565 593
3 530 590 610 715 200 600 651
4 539 579 637 685 220 725 700
5 570 610 629 710
 Công suất Tốc độ khắc
3 4 5 160 575
530 539 570 160 542
590 579 610 160 530
610 637 629 160 539
715 685 710 160 570
180 565
180 593
180 590
180 579
180 610
200 600
200 651
200 610
200 637
200 629
220 725
220 700
220 715
220 685
220 710