(Tieng Han) ( Ç Ç - ) SDC Ư Ê ºñ Àü Â Common Spec - V011-0421 - v1.0

일
Ver 011-0421 공통사양(전기부문)

21.04.30 Electrical Common Specification
생산설비 공통사양 (전기부문)
Samsung Display Co.,Ltd

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삼성디스플레이
전기기술팀
□ 제/개정 이력
구분 일자 작성자 제/개정 내용 Ver No.
일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

일
제정 15.06.25 옥영훈 전기부문 공통사양 수정 및 Word Format 변경 001
개정 15.08.15 옥영훈 DS 사양 동기화 002
개정 15.09.15 심재윤 전기부문 공통사양 수정 003
개정 16.06.25 심재윤 탄화사고 대책 추가 004
개정 16.08.08 심재윤 사양 현실화 005
개정 16.08.13 김정대 사양 현실화 및 기준 구체화 006
항목별 상세 예시 및 기준 추가, 오류수정

개정 16.12.28 김정대 007
Fan,연감지기,온도센서 청정기준에 맞도록 수정
항목별 상세 기준 추가 및 변경,VOC 반영,기준현실화
개정 17.11.22 심재윤 008
[전기제어기술그룹 → 전기부서] 변경
개정 18.11.30 심재윤 경영진 지시사항/전기안전 사항 추가 V009-1118
개정 19.11.21 심재윤 사고 예방 / 기준 현실화 V010-1119
ESH 일반 사양서 SLIM 化 / Infra Rule 합리화

개정 21.04.30 이영준 [ESH 일반 사양서 內 전기 사양 이관] V011-0421
최신 규격/법 적용, 지시사항 반영
□ 변경점
REV No. V010-1119 V011-0421 근거
001~011 - ESH 일반 사양서 SLIM 化 / Rule

합리화 및 사양 현실화
1.2 적용 범위 1.2 적용 범위
삼성디스플레이 기흥,천안/ 본 사양서는 평가(EVALUATION)
아산,SSL,SDD,SDT,SDV,SSM 법인의 /시범(DEMO)/임시/공동연구개발
디스플레이 생산설비 (JDA,JEA,JDP 포함)/공급업체자산
설비 등과 관계없이 SDC 로 납품되는
모든 설비에 적용한다.
단, 설비가 설치되는 국가에서
V011- 특별하게 요구하는 기준이 있는 경우 적용 범위
0421 그 기준을 우선적으로 준수한다. (ex. 구체화
국내법 산업안전보건법,
한국전기설비규정 및 해설서 등)
한국어(KOREAN), 일본어(JAPANESE),
영어(ENGLISH), 국어(CHINESE),
베트남어(VIETNAMESE) 사양서 중
한국어(KOREAN) 사양서를 우선적으로
적용한다.
V011- 5.1.1.1 설비전원사양 5.1.1.1 설비전원사양 Rule
0421 1) GPS Main 계통 구성 1) GPS,VDP Main 계통 구성 합리화
- Main 차단기 – SPD – 전력계 – - Main 차단기 – SPD – 전력계 – /
Noise Filter – Main MC (Noise Filter) – Main MC 누전가시
- 중략 - - 중략 – 화
Main 또는 상위 계통 누전차단기 적용 (삭제)Main 또는 상위 계통
/
시는 중감도형/시연형 제품을 누전차단기 적용시는 중감도형/시연형
인도법인
사용하며 계통상 누전차단기가 중복 제품을 사용하며 계통상 누전차단기가
2
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일
사용될 경우에는 보호협조 설계 반영 중복 사용될 경우에는 보호협조 설계 기준 추가

한다. 반영 한다.
- 중략 – - 중략 –
누전 발생시 UI 화면에 Warning Alarm 누전 발생시 또는 배선용 차단기
을 제공해야 한다. (전원 차단점 및 Trip 시 UI 화면에 Warning Alarm 을
누전점이 제조 통합관리 System 으로 제공해야하며, 차단기 OFF 시 알람
실시간 모니터링이 되어야 한다) 발생되면 안된다. 전원 차단점 및
누전점이 제조 통합관리
System (FDC-Fault
Detection&Classification)으로
실시간 모니터링 되어야 한다.
([체크시트] SDC 생산설비 전기
Common Spec_V011 참고)
모든 공급 전원 Point(Hook up)의
소비전력과 공급 전압은 FEMS(Factory
Energy Monitoring System)에 실시간
모니터링 되어야 한다.
전력 품질 확인용 전력량계는 “[
사양서]SDC 에너지 공통”에서
규정하는 사양을 만족하며 전압, 전류
고조파를 확인할 수 있는 제품을
사용하여야 한다.
(고조파 관리기준 5.1.9 항, IEEE. Std
519-2014, IEC 61000-3-2, IEC 61000-
3-12 참조)
모든 설비는 누설전류(저항성,용량성)
를 최소화하여 설계해야하며
전기담당부서 요청 시 저항성 또는
용량성 누설전류의 설계치에 대한
기술 자료를 제출하여야 한다.
Main 전원 계통의 Noise-Filter 는
전자파 시험 대책이 추가로 필요한
경우에 설치한다. 단, Main 전원 Box
내부에 설치할 수 있는 공간은 미리
확보해야 하며 설치하지 않을 경우
기술 자료를 제출한다.
(삭제) VDP 중복 내용 삭제
V011- 5.1.1.2 UPS 전원 5.1.1.2 UPS 전원

0421 1) UPS Main 계통 구성 1) UPS Main 계통 구성
- Main 차단기 – SPD – 전력계 – - Main 차단기 – SPD – 전력계 –
Noise Filter – (필요에 따라 MC (Noise Filter) – (필요에 따라 MC
장착) 장착)
3

일
단, 구동 부하는 개별 MC 장착 단, UPS 공급 계통에 구동 부하를

Main 차단기는 반드시 설비 보호용 시설하는 경우 개별 MC 장착하여야
누전차단기를 사용한다. 한다
Main 또는 상위 계통 누전차단기 적용 Main 차단기는 반드시 설비 보호용
시는 중감도형/시연형 제품을 누전차단기를 사용 한다.
사용하며 계통상 누전차단기가 중복 계통상 누전차단기가 중복 사용될
사용될 경우에는 보호 협조 설계 반영 경우에는 보호 협조 설계 반영 한다.
한다. 단, Noise 발생 등의 오동작으로 인한
단, Noise 발생 등의 오동작으로 인한 설비 복구 및 생산 피해가 예상되는
설비 복구 및 생산 피해가 예상되는 부하는 협의를 통해 ELD 등 누전 경보
부하는 협의를 통해 ELD 등 누전 경보 장치 사용 가능하다. (협의된 내용은
장치 사용 가능하다. (협의된 내용은 서면 또는 전자문서로 제출,
서면 또는 전자문서로 제출, 증빙하여야 한다.)
증빙하여야 한다.) 누전 발생시 UI 화면에 Warning Alarm
누전 발생시 UI 화면에 Warning Alarm 을 제공해야하며, 차단기 OFF 시
을 제공해야 한다. (전원 차단점 및 누전알람 발생되면 안된다. 전원
누전점이 제조 통합관리 차단점 및 누전점이 제조 통합관리
System 으로 실시간 모니터링이 되어야 System (FDC-Fault
한다) Detection&Classification)으로 실시간
([체크시트] SDC 생산설비 전기
Common Spec_V011 참고)
모든 공급 전원 Point(Hook up)의
소비전력과 공급 전압은 FEMS(Factory
Energy Monitoring System)에 실시간
전력 품질 확인용 전력량계는 “[
사양서]SDC 에너지 공통”에서
규정하는 사양을 만족하며 전압, 전류
고조파를 확인할 수 있는 제품을
(고조파 관리기준 5.1.9 항, IEEE. Std
519-2014, IEC 61000-3-2, IEC 61000-
3-12 참조)
모든 설비는 누설전류(저항성,용량성)
를 최소화하여 설계 해야하며
전기담당부서 요청 시 저항성 또는
용량성 누설전류의 설계치에 대한
기술 자료를 제출하여야 한다.
Main 전원 계통의 Noise-Filter 는
전자파 시험 대책이 추가로 필요한
경우에 설치한다. 단, Main 전원 Box
내부에 설치할 수 있는 공간은 미리
확보해야 하며 설치하지 않을 경우
기술 자료를 제출한다.
4

일
V011- 5.1.1.4. 변압기 전원공급 5.1.1.4. 변압기 전원공급

0421 【입력전원】【입력전원】
- 국내 440V, 208V - 국내 440V, 208V
- 중국 208V, 440V - 중국 208V, 440V 인도법인
- 베트남 208V, 380V - 베트남 208V, 380V 기준 추가
- Facility Substation (3W+1 E) - 인도 415V, 208V
※ 변압기 중복 설치 불가 - Facility Substation (3W+1 E)
※ 변압기 중복 설치 불가
V011- 5.1.1.5. 변압기 보호 5.1.1.5. 변압기 보호 Rule
0421 1) 일반사양 1) 일반사양 합리화
- 중략 - - 중략 -
- 권선의 전표면이 수지 또는 수지를 (삭제) - 권선의 전표면이 수지 또는
포함한 절연 재료로 되어진 Mold 수지를 포함한 절연재료로 되어진
변압기를 사용하여야 한다. Mold 변압기를 사용하여야 한다.
- 생산설비 변압기의 정의는 ESH (삭제) - 생산설비 변압기의 정의는
일반사양서에 따른다 ESH 일반사양서에 따른다
2) SDC 측 공급 전압(일반: 440V 또는 - 생산 설비용 변압기란 전자 상호
208V, UPS: 208V) 이외의 전압 유도 작용을 이용하여 교류 전압을
사용을 위한 변압기를 설치하는 경우 높이거나 낮추는 장치로서 용량이
권선 1 차, 2 차 측 분리 절연 되어야 10KVA 이상으로 설치된 장치를
한다. 말한다.
[그림 5.1.1.5-1 참조] - 설비 변압기는 UL, CE 와 같은 안전
3) 변압기 입력과 출력측에는 마크를 취득한 제품을 사용한다.
차단기를 설치하고 차단기의 - 설비용 변압기를 외함으로 별도
차단전류는 변압기 정격의 125% ~150% 설치하는 경우 5.1.5 항 “Power Box
으로 설계 하여야 한다. 설계”지침에 따라 제작,설치한다.
(중략) 단, 5.1.5.1 5)항의 전류통전 Test 는
4) 1 차측 전압과 전류를 확인 할 수 변압기 별도로 실시하지 아니한다.
있도록 에너지공통사양서에 준하는 (삭제)[그림 5.1.1.5] 변압기 사례
전력 Monitoring System 을 구축한다. 2) (삭제)SDC 측 공급전압(일반: 440V
5) 변압기의 발열 감시를 위해 외함 또는 208V, UPS: 208V) 이외의 전압
내부 기류를 감시하는 온도센서 1 사용을 위한 변압기를 설치하는 경우
개이상, 권선의 온도를 감시하는 센서 권선 1 차, 2 차 측 분리 절연되어야
1 개이상 설치해야 하며 각각의 온도 한다.
센서는 실시간으로 확인이 가능해야 [그림 5.1.1.5-1 참조]
한다. 3) 변압기 입력과 출력측에는
온도센서는 저압권선 상부에 매립하여 차단기를 설치하고 차단기의
감지하도록 한다. 차단전류는 변압기 정격의 115% ~125%
외함 기류의 온도 관리 기준은 ESH 으로 설계 하여야 한다.
일반사양서에 따라 전기판넬 내부 (중략)
온도 기준에 따른다. 4) 1 차측 전압과 전류를 확인할 수
전압기 발열 감시 및 차단 방식에 있도록 “[사양서]SDC 에너지 공통”
대해서는 사전에 전기부서에 협의하고 에 준하는 전력 Monitoring System 을
제출하여야 한다. 구축한다.
5

일
7) F 종 절연에 B 종 온도상승 조건을 5) 변압기의 발열 감시를 위해 외함

만족하여야 한다. 내부 기류를 감시하는 온도센서 1
8) 그외 변압기 기준은 ESH 개이상, 권선의 온도를 감시하는 센서
일반사양서에 따른다. 1 개이상 설치해야 하며 각각의 온도
센서는 실시간으로 확인이 가능해야
한다.
온도센서는 저압 권선 상부에
매립하여 감지하도록 한다.
다수의 온도 센서중 1 개이상 설정값
도달 시 Alarm 을 발생하여야 하며
FDC(Fault Dection &
Classification)에 온도값을
보고하여야 한다.
변압기 발열 감시 및 차단 방식에
대해서는 사전에 전기부서에 협의하고
제출하여야 한다.
7) (삭제)F 종 절연에 B 종 온도상승
조건을 만족하여야 한다.
(삭제)8) 그외 변압기 기준은 ESH
일반사양서에 따른다.
V011- 5.1.1.6. 일반,VDP/UPS 전원 설계 5.1.1.6. GPS(일반),VDP/ UPS 전원
0421 설계
Rule
합리화
/
사양
현실화
V011- 5.1.2.1. 과부하 차단기 5.1.2.1. 과부하 차단기 규격

0421 2) 과전류 차단 시 부하용량의 125% 2) 과전류 차단 시 부하용량의 115% 최신화
이상 150% 이하로 선정 할 것. 이상 125% 이하로 선정 해야 한다.
(생략) 단, 125%이상 선정시에는 반드시
전기담당부서와 사전 협의하고 기술적
근거 자료 또는 협의내용을
전자문서로 제출하여야 한다.
(KEC212.3.4, IEC60364-4-43,
IEC60947-2, SEMI-S22, NFPA79,
6

일
UL489)
(생략)
V011- 5.1.2.2. 누전 차단기 5.1.2.2. 누전 차단기
0421 3) 보호 협조 설계 방식은 상, 중, 하 3) 보호 협조 설계 방식은 상, 중, 하
형태로 순차적 보호가 되도록 할 것. 형태로 순차적 보호가 되도록
※ 예: 설계해야 한다.
MCCB→ELCB(100mA)→ELCB(50mA)→ELCB ※ 예:
(30mA) 보호 ELCB(200mA)→ELCB(100mA)→ELCB(50mA
법적 기준
※ 콘센트용 ELCB 는 감도전류 30mA )→ELCB(30mA) 보호
추가
이하, 0.03s 이내 적용 할 것 : 콘센트용 ELCB 는 감도전류 30mA 이하,
인체감전보호(전기설비기술기준 및 0.03s 이내 적용 할 것 :
판단기준 제 41 조) 인체감전보호
(산업안전보건기준에 관한 규칙 304
조)
V011- 5.1.2.3. Fuse 사용 조건 5.1.2.3. Fuse 사용 조건

0421 1) 주 전원 측 체결 방식은 Clip 1) 주 전원 측 체결 방식은 Clip Type
Type 이 아닌 Screw 체결 Type 으로 이 아닌 Screw 체결 Type 을 사용하여
할 것 야 한다.
[그림 5.1.2.3 참조]
그림 추가
V011- 5.1.3.1 전기부품 선정 5.1.3.1 전기부품 선정

0421 1) 전기부품의 선정은 기계기구의 1) 전기부품의 선정은 기계기구의
정격전류 125% 이상 150%이하로 한다. 정격전류 125% 이상 150%이하로 한다.
[150% 초과 ~ 300% 이상 사용시는 150% 초과 ~ 300% 이상 사용시는
전기담당부서와 사전 협의] 전기담당부서와 사전 협의해야 한다.
※ 전기부품 : 전기의 공급과 단, 차단기류는 5.1.2.1 항에 따르며
제어에 관계된 모든 기계 기구류 Heater 용 Cable 은 정격의 1.5~1.8 배
(MCCB, ELB, MC, 케이블, 스위치, 적용한다. (실부하 정격 ＜ 차단기 ≤
SMPS, SCR 등) 전기부품 ≤ Cable)
※ 전기부품 : 전기의 공급과 제어에
관계된 모든 기계 기구류((삭제)MCCB, ESH 일반
ELB 등 차단기류, MC, Noise Filter, 사양서
각종 Controller, 케이블, 스위치, SLIM 화
SMPS, SCR, SSR 등)
5) 설비에 사용되는 PC 는 반드시
산업용 환경에 대한 전자기 장해 및
내성 기준에 적합한 제품을 사용해야
한다.
※관련 근거
- IEC 61000-6-4(산업용 환경에 대한
전자기 장해 기준)
- IEC 61000-6-2(산업용 환경에 대한
전자기 내성 기준)
V011- 5.1.3.4. 상(相) 색상 구분 5.1.3.4. 상(相) 색상 구분 사양
0421 - 중략 – - 중략 – 현실화
※ 차단기 및 부품에는 각 part ※ 해외법인의 경우 해당 국가에서
7

일
marking 과 Base 에도 동일한 marking 특별하게 요구하는 기준에 대해서는

을 실시할 것 그 기준을 우선적으로 준수하여야
※ Cable 의 색상은 ESH 사양서 기준을 한다.
따른다. ※ 차단기 및 부품에는 각 Part
Marking 과 Base 에도 동일한 Marking
을 실시할 것
(삭제)※ Cable 의 색상은 ESH 사양서
기준을 따른다.
V011- [신규] 5.1.3.7. 개폐 서지(Surge) 보호장치 ESH 일반
0421 1) 낙뢰 및 개폐서지로부터 피해를 사양서
예방하기 위해 서지보호장치 (SPD : SLIM 화
Surge Protective Device)을 /
설치한다. 안전기준
2) 서지 보호 장치는 전원 입력
추가
차단기(Main Breaker)2 차측에 접속
되도록 한다.
3) 전원 입력 차단기가 2 개 이상인
경우에는 각각의 입력 차단 2 차측에
설치해야 한다.
4) 서지보호장치의 배선 길이는
가능한 짧고 직선적으로 설치해야
한다.
5) 서지 보호장치 전압 보호 레벨
(Voltage Protective Level)은 1.5KV
이상이며, 허용 방전 전류는 다음을
만족 하여야 한다.
6) 내부 소자의 폭발 또는 화재가
발생할 경우 외부로 유출 또는
확산되지 않도록 충분한 기계적
강도를 갖는 외함을 사용해야 한다.
7) 내부에 과전류 보호 기능과
과열보호기능의 단로기를 사용해야
하며, 이들의 동작 상태를 외부에서
알 수 있도록 표시하여야 한다.
8) 열 보호기능 소자는 주변 온도
80℃~100℃ 범위에서는 정상적으로
작동 되어야 하며, 120℃감지시에는
회로를 차단하여야 한다.
9) 설비에 대한 내전압 시험을 하는
경우에는 서지보호장치를 설비에서
분리한 후에 실시 한다.
10) 개폐서지 보호 장치는 보호 대상
장치의 단자 사이에 접속 되도록
한다.
11) 서지 보호 장치는 S-Mark 또는
CE-Marking 를 취득한 제품을 사용해야
한다.
12) 서지 보호 장치 동작에 대한
8

일
눈관리 라벨을 부착한다.

V011- 5.1.5.1. Power Box 설계 5.1.5.1. Power Box 설계
0421 [신규] 1) Power Box 는 수전반,제어반,보조
판넬 등 전기 부품을 설치하는 모든
판넬을 포함하며, 유지 보수 접근성
및 편리성을 위해 설비와 별도로
설치하여야 한다.
2) Power Box 견시창을 설치할
경우에는 최소 크기로 설치하고,
두께는 3T 이상으로 하고, 재질은 난연
인증 인증 받은 PC(PolyCarbonate)로
한다.
※ PC 에 대한 난연 인증 등급은
UL94V-0 또는 FM4910 이상이어야
한다.
※ IEC 60204-33 반도체/디스플레이
제조장비의 안전지침 준수
3) Power Box 외함 및 내부 재질은
금속판이어야 한다. Rule
4) Main 전원 공급 확인용 표시등( 합리화
수전 Lamp)을 설치하여야 하며 공급 /
전원은 주전원 차단장치의 1 차측에서 ESH 일반
사양서
인가한다.
SLIM 화
5) Power Box 내 하단부에 전기 Hook /
Up 단자대(Terminal Block)를 안전기준
설치하고, 전기부서에서 공급하는 추가
Cable 과 설비제작사에서 시설하는
단자대와 Main 차단기간 연결 Cable 의
시공 편의성 및 곡률 반경을 고려하여
충분한 공간을 확보하여야 한다.
6) Hook up Cable 인입구는 Power Box
하부 입선 구조로 제작하고 전자적
평형을 고려하여 동일 인입구를
사용하여야 하며 Hook Up Cable
인입구 단면은 Cable 피복이 손상되지
않도록 보호조치를 하여야 한다.
7) 설비의 전원인입계통마다 전용의
전원차단장치를 설치해야 한다.
14) Power Box 의 Door 는 개방 후,
의도하지 않은 외부의 충격 또는 힘에
의해 작업자 협착, 충돌 사고가
발생하지 않도록 설비제작사에서 방지
대책을 수립한다.
V011- 5.1.5.2. Interlock System 5.1.5.2. Interlock System ESH 일반
0421 2) Power Box Door 는 Main 차단기 2) Power Box 의 외함(Door,덮개 등)은 사양서
투입 시 열리지 않도록 Door 지정된 이외의 자가 취급할 수 없도록 SLIM 화
Interlock 기능을 가져야 하며, 유지 구성하여야 한다. /
안전기준
보수 및 발열 점검 시에는 수동으로 3) Power Box Door 는 Main 차단기
추가
Interlock 해제가 되어야 함. 투입 시 열리지 않도록 Door
3) Main 차단기는 Pad Lock Or Interlock 기능을 가져야 하며, (
Handler 설치하여 LOTO 가능토록 삭제)유지 보수 및 발열 점검시에는
9

일
한다. (Off 시 Loto 체결) 지정된 자가 수동으로 Interlock

SEMI-S2 .17 장 위험 에너지 해제 가능하도록 구성하여야 한다.
격리 부분에 부합하여야 한다. [그림 4) 외부조작핸들(Pad Lock)은 Release
5.1.5.2-1 참조] 가능한 제품을 사용해야 하며,
Release Switch 를 사용할 경우 재질은
금속이어야 한다.
5) Main 차단기는 Pad Lock 또는
Handler 설치하여 Off Lock LOTO
가능토록 한다.(On-Lock Type 사용 불가
Power Box 에 다중 Door 를 적용할
경우 외부조작 핸들이 설치된 Door 가
열린 후 다른 Door 가 열리는
구조이어야 한다.
또한 SEMI-S2 .17 장 위험 에너지
격리부분에 부합하여야 한다. [그림
5.1.5.2-1 참조]
V011- 5.1.5.3. 보호 등급[IP] 5.1.5.3. 보호 등급[IP]
0421 1) – 중략 – 1) – 중략 –
※ 단, 배기 및 공조에 영향을 미치는 ※ 단, 배기 및 공조에 영향을 미치는 Rule
경우에는 협의를 통해 Cover 제거 경우에는 협의를 통해 IPX2 미적용 합리화
가능 가능
V011- 5.1.5.4. Power Box 조명부분 5.1.5.4. Power Box 조명부분
0421 1) 장비 및 Power Box 의 표시 Lamp 및 1) 장비 및 Power Box 의 표시 Lamp(
조작 Lamp 류는 LED 로 한다. 삭제)및 조작 Lamp 류는 LED 로하며
2) Power Box 의 내부 조명 (LED Type, 공급 전원은 주전원 차단장치의 1
Door Close 시 자동 Off 구성 또는 차측에서 인가한다.
동등하게 Off 시킬 수 있는 구조) 설치 2) Power Box 에는 내부 조명(LED
하되 추가 설치 관련 기준은 NFPA-79 Type, Door Close 시 자동 Off 구성 안전기준
추가
기기 및 장비의 부분 조명 설계에 또는 동등하게 Off 시킬 수 있는 구조)
따른다. 을 설치 해야 하며 Lamp 전원차단기를
Lamp 의 Switch 로 사용할수 없다.
그외 추가 설치 관련 기준은 NFPA-79
기기 및 장비의
부분 조명 설계에 따른다.
V011- 5.1.5.5. 도면의 제공 5.1.5.5. 도면의 제공 ESH 일반
0421 [신규] 5) 전기 도면 작성 순서는 다음과 사양서
같다. SLIM 화
(1)제목(Title) → (2)도면목록
(Drawing list) → (3)설비사양
(Specification) → (4)기호(Symbol)
및 약어(Abbreviations)표시 → (5)
부품 목록(Part List) → (6)배치도
(조작반, 센서, 모터 등 표시) → (7)
주조작반 및 각 항목(Item)별 조작반
→ (8)계통도(단선도, Block-Diagram)
→ (9)케이블 정격 용량표 → (10)
동력 회로 → (11)조작 회로 → (12)
비상 정지 회로 → (13) 접지 회로(
특히 접지에 관련된 것은 각 항목에
필히 표시) → (14) 각 항목(Item)별
PLC 구성 및 입출력 카드(Card) →
(15)터미널 박스(TB Box)
10

일
6) 도면의 기본 작성 방법은 아래와

같다.
- 도면은 위에서 아래로, 좌에서 우로
작성하여야 한다.
- 도면은 도면명과 페이지 번호가
있어야 한다.
- 도면은 좌표 표시가 되어야 한다.
- 전선 표시의 끝이 어디와
연결되었는지 도면 페이지 번호와
좌표를 표시하여 추적성이 확보되어야
한다.
- 주 전원 공급 전원 사양을
기재한다.(단상/3 상,전압,주파수,
피상전력)
- 회로도에 부하 및
차단기 용량, 배선의 종류, 색상,
굵기를 표기한다.
- 제출된 도면에는 설계자, 검토자,
승인자의 성명 및 일자가 기재되어야
한다.
- 사용되는 부품의 실제 Image 를 해당
도면에 추가하거나 부품 목록에 Image
를 삽입한다.
7) 전기도면은 해당 부서 자체 보관
한다.
V011- 5.1.5.6. Power Box 의 설치 조건 5.1.5.6. Power Box 의 설치 조건
0421 1) – 중략 - 1) – 중략 –
※ 전기작업시의 작업공간 확보에 KOSHA
관한 기술지침 준수(KOSHA GUIDE E- 기준 추가
114-2011)
V011- 5.1.5.7. Fan 관리 5.1.5.7. Fan 설치에 관한 지침
0421 [신규] 4) 급,배기 Fan 의 위치는 Power Box 안전기준
내부 Cooling 효과가 최적화 되도록 추가
설계한다.
V011- 5.1.5.9. 화재 감지 장치 5.1.5.9. 화재 감지 장치 (연기 ESH 일반
0421 1) Power Box 에는 화재 감시를 위한 감지기 + 온도센서) 사영서
연기 감지기와 온도센서를 설치하고 1) Power Box 에는 화재 감시를 위한 SLIM 화
UI 화면에 Warning Alarm 을 제공해야 연기 감지기와 온도센서를 설치하고 /
UI 화면에 Warning Alarm 을 제공해야 안전기준
한다. 연기 감지의 방식은 광전식
추가
또는 공기 흡입형 제품을 사용 할 수 한다.
있다. [그림 5.1.5.9-1 참조] Power Box 내부 온도를 측정하는
2) Alarm Reset 은 관리자가 Power Box Digital 온도센서를 Power Box
Open 하여 확인 후 설치된 감지기 직접 외부에서 볼 수 있도록 설치하거나
Reset 하는 방식이여야 하며, Remote 모니터 또는 TOUCH 화면에서 확인할
Reset 기능은 제거되어야 한다. Reset 수 있도록 설치 한다.
방법을 감지기 가까운 곳에 표시해야 연기 감지의 방식은 광전식 또는
한다. 공기흡입형 제품을 사용 할 수 있다.
3) 설치된 연기 감지기는 Alarm/Reset [그림 5.1.5.9-1 참조]
Test 를 실시하고 보고서를 제출 해야 2) 온도센서는 Controller 와 일체형
한다. 또는 분리형을 사용한다.
4) 전기판넬 내부 온도를 측정하는 3) 온도센서 분리형중 Sensing 부가
디지털 온도센서를 상부 배기 Fan 30cm 노출되는 경우 Sensing 부 끝이
11

일
이내에 설치하고, Power Box 외부에서 둥근형을 설치한다.

온도 확인 및 Alarm 온도 설정이 4) 온도 센서와 연기 감지기는
가능해야 한다. UI 화면에는 Warning 주전원함, 분전함, 제어함, PC Rack
Alarm 을 제공해야 하며, 온도가 현재 등을 포함하여 전기,전자 기계기구가
온도 +3℃ 이상인 경우 Alarm 발생 및 설치된 모든 Power Box 에 설치 한다.
메시지 표시해야 한다. 단, 설치하기 어려운 경우에는 사전에
[그림 5.1.5.9-2 참조] 전기담당부서와 협의한다.
※ 단,하부 배기의 경우는 Simulation 5) 연기 감지기와 온도센서 Alarm
을 실시하여 온도가 가장 높은 부위에 Reset 은 지정된 자가 Power Box Open
설치한다. 하여 확인 후 설치된 감지기 직접
Reset 하는 방식이어야 하고 Remote
Reset 기능은 제거되어야 하며 Reset
방법을 감지기 가까운 곳에 표시해야
한다.
7) 전기판넬 내부 온도를 측정하는
Digital 온도센서를 상부 배기 Fan
30cm 이내에 설치하고, Power Box
외부에서 온도확인 및 Alarm
온도설정이 가능해야 한다. UI
화면에는 Warning Alarm 을 제공해야
하며, 온도가 현재온도 +3℃ 이상인
경우 Alarm 발생 및 메시지 표시해야
한다. [그림 5.1.5.9-2 참조]
단,하부 배기의 경우는 Simulation 을
실시하여 온도가 가장 높은 부위에
온도센서를 설치한다.
V011- 5.1.5.12. Power Box Door Stay 5.1.5.12. Power Box Locking Style
0421 1) Power Box 의 Panel Door 는 개방 Door Stay
후, 의도하지 않은 외부의 충격 또는 1) Power Box 의 Panel Door 는 개방
힘에 의해 자연적으로 닫히지 않도록 후, 의도하지 않은 외부의 충격 또는
Locking Style 의 Door Stay 를 힘에 의해 자연적으로 닫혀 작업자
장착하여야 한다. Door Stay 의 협착, 충돌 사고 위험 있는 곳에는
지지하중은 392N[40kgf] 이상으로 Locking Style 의 Door Stay 를 적용
한다. 한다. 단, 위험이 없는 Power Box 의 Rule
합리화
[그림 5.1.5.12 참조] 경우 설비 특성 조건에 맞게
2) 착탈식 Panel 과 같이 Door Stay 를 제작사에서 방지대책을 수립한다.
설치할 수 없는 구조거나, 고정되는
경우 불합리가 발생하는 경우는
작업시 협착 또는 감전 방지에 대한
내용을 유지보수 Manual 에 작성하여
운용하도록 한다.
V011- [신규] 5.1.5.15. 상시 전원 관리 ESH
0421 1)전원이 상시 통전 중인 부분에는 일반사영
완전 밀폐형 보호 Cover 를 설치하고, 사 SLIM
화
“상시 통전 中” 경고 라벨을
/
부착한다. 안전기준
2)“상시 통전 中” 안전 표지는 1 차 추가
및 2 차배선에 직접 부착하는 방법으로
설치한다.
3)주전원 차단장치를 OFF 하여도
전압이 인가되어 있는 주차단장치 1
12

일
차측에서 부하(load)까지 모든 Cable

의 색상은 주황색(Orange)으로 한다.
단, Main 단자대(Hook Up Terminal
Block)에서 주전원 차단장치 1 차측
까지의 Cable 은 주황색(Orange)을
사용하지 아니한다.
V011- 5.1.6.2. Cable 길이 및 시공 5.1.6.2. Cable 길이 및 시공
0421 1) Cable 은 연결점간의 적정길이를 1) Cable 은 연결점 간의 적정 길이를
맞추어 재단한다. [적정길이의 1.5M 맞추어 재단한다. (삭제)[적정길이의
초과 불가] 1.5M 초과 불가]
3) 간선에 해당하는 동력 Cable 을 3) 간선에 해당하는 전원 Cable 을 사양
중간접속 하는 경우에는 반드시 현실화
중간 접속 하는 경우에는 반드시
Terminal Block 을 사용해야 한다. Terminal Block 을 사용해야 한다.
커넥터 또는 납땜은 중간접속 커넥터 또는 납땜은 중간접속
방법으로 허용되지 않는다. 방법으로 허용되지 않는다.
V011- 5.1.6.3. Terminal Block 시공 5.1.6.3. Terminal Block 시공
0421 [신규] 1)Power Box 내부 하부에 Main 전원
Hook Up 단자대(Terminal Block)를
설치하고, 시공을 위해 충분한 공간을 사양
현실화
확보한다.(5.1.5.1 Power Box 의 설계,
제작 및 초기 열화 진단에 관한 지침
5)항 참고)
V011- 5.1.6.7. 전기 접속부 체결 처리 지침
0421 4) Bus-Bar 사용시 비가역형 온도 5.1.6.7. 전기 접속부 체결 처리 지침
테이프 부착한다. (55℃포함) 3) Bus-Bar 사용시 비가역형 온도
테이프 부착한다. (55℃포함)
온도상승에 의한 변화에 대해 설비
사용자가 인지 할 수 있도록 눈관리
라벨 부착한다.
(삭제)[그림 5.1.6.7-2] 온도 Tape 의
예
5) Bus Bar 사용시 도체부는 상표시가 4) Bus Bar 사용시 도체부는 상표시가
가능한 색상의 절연 Tape 으로 가능한 색상의 절연 Tube 또는 Tape
보호하고 접속부의 Tape 은 제거한다. 으로 보호하고 접속면의 Tube 또는
[그림 5.1.6.7-3 참조] Tape 은 제거한다.[그림 5.1.6.7-2 사양
참조] 현실화
/
한국전기
설비규정
적용
13

일
V011- 5.1.6.8. 관리 및 운영 지침 5.1.6.8. 관리 및 운영 지침

0421 1) 전기설비 중 전기 통전 부위의 1) 전기설비 중 전기 통전 부위의
온도는 55℃ 이하가 되도록 설계한다. 온도는 55℃ 이하가 되도록 설계한다. 사양
(단, 변압기[IEC61558-1]는 허용온도 (단, 변압기는 [IEC61558-1]에서 현실화
(K, 켈빈 온도)이하가 되도록 한다.) 규정하는 허용온도 이하가 되도록
설계 한다.)
V011- 5.1.6.9. Socket Outlet(Consent) 5.1.6.9. Socket Outlet(Consent)
0421 1) 콘센트 전원은 감전보호목적의 사용 방안
누전 및 과부하 차단 될 수 있도록 1) 콘센트 전원은 감전보호목적의
시설하고,누전차단기 오동작 가능성 누전 및 과부하 차단 될 수 있도록
있는 부하는 전기담당부서와 협의 후 시설하고,누전차단기 오동작 가능성
적용 할 것. 있는 부하는 전기담당부서와 협의 후
2) 콘센트용 누전차단기는 적용한다.
정격감도전류 30mA 이하, 0.03s 이내 2) 콘센트용 누전차단기는
일 것. 정격감도전류 30mA 이하, 동작시간은
별도의 누전 동작 인디케이터를 0.03 초 이내 이내여야 한다. (
가지고 CE / UL / KS C 613 중 1 개 한국전기설비규정 211.1 /
이상의 산업안전보건에 관한 규칙 제 304 조)
규격인증을 취득해야 한다. 단, 150~600V 교류 전압 부하에는
6) Main ELB + Sub CP 조합으로 ELB 필수 적용하고 150V 이하 콘센트
이하 여러개의 콘센트를 분기 전원에 대해서는 정격감도전류 30mA
시공하는 경우에는 연결되는 부하의 이하, 동작시간 0.1 초 이내 사용
특성과 중요도를 감안하여 부하 가능하다.
그룹을 선정하고, 각 부하 그룹마다 7) 상위계통 누전차단기 + 하위계통
개별의 Main ELB 가 설치 될 수 있도록 CP 조합으로 누전차단기 이하 법적 기준
분리 설계 할 것. 여러개의 콘센트를분기시공하는 추가
/
※ 중요/비중요/서비스로 묶어서 각 경우에는 연결되는 부하의 특성과
부하간 영향을 최소화하거나, 중요도를 감안하여 부하 그룹을
Unit 단위로 묶어서 피해 규모를 제한 선정하고, 각 부하 그룹마다 개별의
할 수 있음. 상위계통 누전차단기가 설치 될 수
※ 부하 분리 컨셉은 현업 기술파트의 있도록 분리 설계 하여야 한다.
확인을 받을 것. ※ 중요/비중요/서비스로 묶어서 각
부하간 영향을 최소화하거나, Unit
단위로 묶어서 피해 규모를 제한 할
수 있다.
※ 부하 분리 컨셉은 현업 기술파트의
확인을 받아야 한다.
8) 콘센트에는 정격전압 및
정격전류값을 표시해야 한다.
9) 콘센트에는 사용부하 용도 눈관리
라벨을 부착한다.
※ 해외 법인에 반입되는 설비의 경우
설치장소 국가의 언어를 기본으로
하고 제조사 국가의 언어 라벨도 추가
부착할 수 있다.
V011- 5.1.6.10. 난연성 제품 5.1.6.10. 난연성 제품
0421 Power Box 및 동력계통에는 난연성 Power Box 및 전기,전자기계기구(
Certified Material 사용하여야 하며 전기부품)는 난연성 Certified
문구 수정
부품 LIST 제출 시 각 인증규격을 Material 을
기입하여 제출한다. 사용하여야 하며 부품 LIST 제출 시
각 인증규격을 기입하여 제출한다.
14

일
V011- 5.1.6.11. 물성이 다른 Materials 5.1.6.11. 물성이 다른 Materials

0421 시공 방안 시공 방안
1) 전원선과 제어선(Signal)은 별도 1) 전원선과 제어선(Signal)은 별도
분리 시공 할 것. 분리 시공 시공하여야 한다.
2) Noise 차단을 위해 금속 Duct 또는
Shield 처리된 Band 를 사용.
안전 기준
추가
2) 제어선은 Noise 차단을 위해

금속 Duct 또는 Shield 처리된 Band 를
사용.
※ Noise 차폐 Band 를 사용할 경우
Shield 는 반드시 접지 하여야 한다.
V011- 5.1.6.12. Heater 사용 설비의 안전 5.1.6.12. Heater 사용 설비의 안전 ESH 일반
0421 대책 대책 사양서
5) SSR/SCR 는 사용부하의 1.5 배 이상 5) SSR/SCR 는 사용부하의 1.25 배 SLIM 화
용량으로 설계하고, MC 부품 용량은 이상 용량으로 설계하고, MC 부품 /
사용부하의 1.5 배 이상으로 설계한다. 용량은 사용부하의 1.25 배 이상으로 안전기준
6) ELB(누전차단기)는 부하의 추가
설계한다.
정격용량의 1.25 ~ 1.5 배로 설계한다.
6) SSR/SCR Heat-Sink 에는 별도 온도
7) 과온(OVER-TEMP)보호를 위해 그림
[5.1.6.12-1]과 같이 SSR/SCR 은 Sensor 를 설치한다.
ON/OFF 제어, MC Trip, 차단기 Trip Sensor 일체형 SSR/SCR 을 사용하거나
구조를 반영하여야 한다. 별도의 온도 Sensor 를 추가한다.
9) 그 외 Heater 에 사용 설비에 대한 SSR/SCR Heat-Sink 온도 Sensor 의 1 차
안전대책은 ESH 일반사양서에 따른다. 설정온도(60℃) 도달시 1 차 Alarm 이
발생하고 2 차 설정온도(80℃) 도달시
Heater MC 접점을 Off 시켜야 한다.
SSR/SCR 의 구성이 SSR/SCR+방열판+FAN
으로 구성될 경우 FAN 회전 정지시
전원이 차단되도록 회로를 구성하거나
동작상태가 Monitoring 되어야 한다.
단, 사용 조건에 따라 안전상의
문제가 없을경우 전기담당부서와
협의하고 기술자료를 제출하여 Heater
MC Off 조건을 변경할수 있다.
7) ELB(누전차단기)는 부하의
정격용량의 1.15 ~ 1.25 배로
설계한다.
8) 과온(OVER-TEMP)보호를 위해 그림
[5.1.6.12-1]과 같이 SSR/SCR 은
ON/OFF 제어, MC Trip, 차단기 Trip
구조를 반영하여야 한다.
Heater 과온방지용 온도 Sensor 와
온도 Controller 고장 및 이상동작에
의한 과온 발생에 대한 대책을
수립하고 적용하여야 한다.
[삭제]9) 그 외 Heater 에 사용 설비에
대한 안전대책은 ESH 일반사양서에
따른다.
15

일
10) CABLE 의 정격허용전류는

과전류보호장치의 정격전류보다 크게
산정해야 한다.
정격부하전류 ＜ 과전류보호장치의
정격전류 ＜ CABLE 의 정격허용전류
11) Heater 단자대까지의 Cable 은
허용온도가 높은 규격을 사용하며
부하 정격의 1.5~1.8 배 적용한다.
12) Heater 전원 인입부는 국제공인된
난연성 재질(UL2360 또는 FM4910)로
설치한다.
13) Heater 외함은 반드시 접지하고
불연성 재질로 한다.
14) Heater 온도 및 전원이상 상태를
Monitoring 할 수 있도록 구성한다.
15) Heater 과온시 주변 설비 화재
확산이 안되는 구조로 설계 한다.
16) Heater 의 발열이 전원연결
단자까지 전도되지 않도록 비발열
구간을 설계 반영하여 제작 한다.
17) Heater 고정 Bolt 또는 주변 Bolt
에 대해서는 열팽창에 의한 마모를
방지하기 위하여 내열 Type 을
사용한다.
18) Heater 의 단선감시기능이 있어야
한다.
(삭제)그림[5.1.6.12-2]
V011- 5.1.7. 접지 System 5.1.7. 접지 System ESH
0421 6) 접지선은 반드시 접지 단자대와 1 6) 접지선은 반드시 접지 단자대와 1 일반사양
점 접지를 하여야 한다. 점 접지를 하여야 한다.[그림 5.1.7- 서 SLIM
1 참조] 화
/
안전기준
추가
13) 접지선 설치는‘단자대-접지선-

평화셔-스프링와셔’순서로 설치해야
한다.
14) 접지 단자대(Earth-Bar) 재질은
동(구리)을 사용하고 도금하여
설치하여야 한다.
15) 설치 Unit 과 Unit 간 접지
16

일
(Bonding)를 실시한다.
V011- 5.1.9.1. 제작기준 : 고조파 5.1.9.1. 제작기준 : 고조파
사양
0421 관리기준은 IEEE. Std 519-1992 기준에 관리기준은 IEEE. Std 519-2014 기준에
현실화
따른다. 따른다.
V011- 5.1.9.2. 고조파 관리기준 5.1.9.2. 고조파 관리기준
0421 2) 전류 고조파 기준 2) 전류 고조파 기준
사양
현실화
3) 전압 고조파 기준
목 차
1. 일반사항..........................................................................22
1.1. 목적...................................................................................22
1.2. 적용범위...............................................................................22
1.3. 관련표준...............................................................................22
1.4. 기록관리...............................................................................26
1.5. 용어의 정의............................................................................26
2. 책임과 권한.......................................................................28
2.1. 전기담당부서...........................................................................28
2.2. 제조사.................................................................................28
3. 업무흐름도........................................................................29
4. 공통사양 기준.....................................................................30
17

일
4.1. Equipment Installation.................................................................30

4.1.1. 설비 전원사양..........................................................................30
4.1.2. 차단기/개폐기 선정.....................................................................32
4.1.3. 전기부품 선정..........................................................................32
4.1.4. 비상정지 스위치(EMO/EMS)...............................................................34
4.1.5. Power Box 설계.........................................................................34
4.1.6. 배선 및 그 외 지침.....................................................................37
4.1.7. 접지 System............................................................................40
4.1.8. 기타 시공 기준.........................................................................41
4.1.9. 고조파 대책............................................................................41
4.1.10. 설비인증 관리기준.....................................................................41
4.2. Power Failure Design...................................................................42
4.2.1. Voltage Sag 내성기준...................................................................42
4.2.2. Power Vaccine Test.....................................................................42
4.2.3. Hard Ware Operation 지침...............................................................42
4.2.4. Back Up 전원 사용 지침.................................................................42
4.2.5. EMC(EMI/EMS) 대책......................................................................42
4.2.6. 증명 자료 제출.........................................................................42
4.2.7. 협의 및 부속서.........................................................................42
5. 부속서............................................................................43
5.1. Equipment Installation.................................................................43

5.1.1. 설비전원사양...........................................................................43
5.1.2. 차단기/ 개폐기 선정....................................................................48
5.1.3. 전기부품 선정..........................................................................50
5.1.4. 비상정지 스위치(EMO/EMS)...............................................................55
5.1.5. Power Box 설계.........................................................................55
5.1.6. 배선 및 그 외 지침.....................................................................63
5.1.7. 접지 System............................................................................69
5.1.8. 기타 시공 기준.........................................................................70
5.1.9. 고조파 대책............................................................................70
5.1.10. 설비인증 관리기준.....................................................................71
5.2. Power Failure Design..................................................................72
5.2.1. Voltage Sag 내성기준................................................................72
5.2.2. Power Vaccine Test Report...........................................................73
5.2.3. Hard Ware Operation 지침............................................................73
5.2.4. Back Up 전원 사용 지침..............................................................74
5.2.5. EMC(EMI/EMS) 대책...................................................................74
5.2.6. 증명 자료 제출......................................................................74
5.2.7. 협의 및 부속서......................................................................74
5.3. IP 보호 등급 IEC 60529................................................................75
5.4. Cable 곡률반경........................................................................75
5.4.1. IEC 60204-1 기준....................................................................75
5.5. Power Box 보호등급 필요사유...........................................................75
5.5.1. SEMI-S2 13. 에너지 격리.............................................................75
5.6. 난연 Test.............................................................................76
5.6.1. PCB 난연 시험 예....................................................................76
5.6.2. Cable 난연 시험 예..................................................................77
18

일
5.7. NRTL [Nationally Recognized Testing Laboratory Program]...............................78

5.7.1. 규격인증 시험소.....................................................................78
1. 일반사항
1.1. 목적
삼성디스플레이 생산설비 전기부문에 대한 설계, 제작, 검수, 설계도서의 표준지침을

제공하는데 있다.
1.2. 적용범위
(삭제)삼성디스플레이 기흥, 천안/아산, SSL, SDD, SDT, SDV, SSM 법인의 디스플레이 생산설비
본 사양서는 평가(EVALUATION)/시범(DEMO)/임시/공동연구개발(JDA,JEA,JDP 포함)/공급업체자산
설비 등과 관계없이 SDC 로 납품되는 모든 설비에 적용한다.
단, 설비가 설치되는 국가에서 특별하게 요구하는 기준이 있는 경우 그 기준을 우선적으로
준수한다. (ex.국내법 산업안전보건법,한국전기설비규정 및 해설서 등)
한국어(KOREAN), 일본어(JAPANESE), 영어(ENGLISH), 중국어(CHINESE), 베트남어(VIETNAMESE)
사양서 중 한국어(KOREAN) 사양서를 최우선적으로 적용한다.
1.3. 관련표준
설계, 제작, 시험 및 검사는 개발 당시 적용된 규격에 따른다.

발주 시점을 기준으로 최근에 발행된 규격에 대한 정보를 전기담당부서(이하 발주자라 한다)
에게 제공하여야 하며, 관련 표준에 명시되지 않거나, 상충된 사항은 발주자의 승인을 받아야
한다.
1) CE Machinery Directive
- EN/ISO 12100:2014 기계의 안전: 설계의 일반원리-위험분석과 위험저감 (Safety of
Machinery: General Principles for Design – Risk Assessment and Risk Reduction)
- EN/ISO 13849-1:2015: 기계안전-제어시스템의 안전관련부품 제 1 파트 설계용 일반원리

(Safety of Machinery – Safety-Related Parts of Control Systems, Part 1: General
Principles for Design)
- EN/IEC 60204-1:2016/42/EC(기계류 지침): 기계안전-기계의 전기장치 제 1 파트

일반요구사항
(Safety of Machinery – Electrical Equipment of Machines, Part 1: General
Requirements)
19

일
- EN/IEC 60204-33:2010 Ed. 1.0: 기계안전-기계의 전기장치 제 33 파트 반도체 제조장비용

요구 사항 (Safety of Machinery – Electrical Equipment of Machines, Part 1:
Requirements for Semiconductor Fabrication Equipment)
- EN/IEC 61082-1:2014 전기공학 분야에서 사용되는 문서준비-제 1 파트: 규칙 (Preparation

of Documents Used In Electro technology - Part1: Rules) 규격 제 7.3.1 항
2) CE LVD Directive
- EN/IEC 60204-1:2016/95/EC(저전압 지침)기계안전-기계의 전기장치 제 1 파트 일반요구사항
(Safety of Machinery – Electrical Equipment of Machines, Part 1: General
Requirements)
EN/IEC 60204-33:2010 Ed. 1.0: 기계안전-기계의 전기장치 제 33 파트 반도체 제조장비용

요구사항
(Safety of Machinery – Electrical Equipment of Machines, Part 1: Requirements For
Semiconductor Fabrication Equipment)
EN/IEC 61010-1:2010 측정, 제어, 시험실용 전기장치의 안전요구사항 제 1 파트 일반요구사항

(Safety Requirements For Electrical Equipment For Measurement, Control, And Laboratory
Use- Part 1: General Requirements)
EN/IEC 61131-2:2017(E) 프로그램 가능한 제어장치, 제 2 파트 장치의 요구사항과 시험

(Programmable Controllers, Part 2: Equipment Requirements And Tests)
EN/IEC 60947-1:2020 저 전압용 배전 반과 제어 반, 제 1 파트 일반규칙 (Low-Voltage

Switchgear and Controlgear, Part 1: General Rules)
EN 50178:1998 전력전자용 전자장치 (Electronic Equipment For Use in Power

Installations)
EN/IEC 61439-1:2020 저 전압 배전 반과 제어 반, 제 1 파트 일반규칙 (Low-Voltage

Switchgear and Controlgear Assemblies- Part 1: General Rules) "용어정의: SCCR:
단락회로 전류정격 (Short-Circuit Current Rating)
EN/IEC 61131-2:2017 프로그램 가능한 제어장치, 제 2 파트 기기요구사항과 시험

(Programmable Controllers - Part 2: Equipment Requirements and Tests)
EN/IEC 61508:2011 전기/전자/프로그램 가능한 전자식 안전관련시스템의 기능안전

(Functional Safety of Electrical/Electronic/Programmable Electronic Safety-Related
Systems - Part 1: General Requirements)'
EN/IEC 60529:2013 Enclosure 에 의한 보호등급(Degrees of Protection Provided by

Enclosure) (IP Code)
EN/IEC 60984:2014 활선작업용 절연 슬리브(Sleeves of Insulating Material For Live

Working)
EN/IEC 60664-1:2020 저 전압 계통용 기기를 위한 절연협조, 제 1 파트 원리, 요구사항

그리고 시험 (Insulation Coordination for Equipment Within Low-Voltage Systems - Part
1: Principles, Requirements And Tests)
20

일
EN/IEC 61082-1:2014 전기공학에서 사용되는 문서의 준비, 제 1 파트 일반요구사항

(Preparation of Documents Used in Electro Technology - Part 1: General Requirements)
EN/IEC 61558-2-4:2009 전력용 변압기, 전원공급장치, 리액터 및 유사장치의 안전, 제 1

파트: 일반요구사항 (Safety of Power Transformer, Power Supplies, Reactors and Similar
Products, Part 1: General Requirements and Tests)
EN/IEC 60332-1:2004 절연전선의 난연성 시험방법 Part 1 - Test on a single vertical

insulated wire or cable
3) CE ATEX Directive
EN 1127-1:2019 폭발환경; 폭발예방과 보호, 제 1 파트 기초 개념과 방법론
(Explosive Atmosphere; Explosion Prevention and Protection, Part 1: Basic Concepts and
Methodology)
4) SEMI
SEMI S1-0703 장비의 안전라벨 (Safety Guideline for Equipment Safety Labels)
SEMI S2-0712a 반도체 제조장비를 위한 환경, 보건, 안전지침(Environmental, Health, and

Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment)
SEMI S22-0712 반도체 제조장비의 전기설계를 위한 안전지침 (Safety Guideline for The
Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment)
SEMI S10-0712a 위험분석과 위험평가절차를 위한 안전지침(Safety Guideline for Risk

Assessment and Risk Evaluation Process)
SEMI F47-0706 반도체 제조장치에 대한 전압순간저하(Sag) 내성 기준(Specification for

Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity)
SEMI S14-0309 – 화재 위험분석과 위험평가절차를 위한 안전지침 Safety Guidelines for

Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment
5) NFPA
NFPA-79 2018 Edition 산업기계용 전기규격(Electrical Standard For Industrial Machinery)
NFPA-497 2017 Edition 폭발 성 액체, 기체, 증기의 분류와 폭발환경에서 사용하는

화학공정용 전기장치의 분류에 대한 권장요강(Recommended Practice for The Classification
of Flammable Liquids, Gases, or Vapors and of Hazardous (Classified) Locations for
Electrical Installations in Chemical Process Areas)
6) UL
UL489: 몰드 케이스 형 차단기, 몰드 케이스 형 개폐기 및 차단기 외함의 안전
(Safety for Molded-Case Circuit Breakers, Molded-Case Switches, and Circuit-Breakers
Enclosures)
UL508A: 2018 산업용 제어 패널(Industrial Control Panels)
21

일
UL61010-1: 2012 측정, 제어, 시험실용 전기장치의 안전요구사항 제 1 파트 일반요구사항

(Safety Requirements For Electrical Equipment for Measurement, Control, And Laboratory
Use- Part 1: General Requirements)
UL900: 2015 " 에어필터장치의 안전규격 (Standard For Safety for Air Filter Units)"
UL94: 2013 "장치와 기기 내의 부품용 플라스틱 재료의 가연성 (Flammability of Plastic

Materials For Parts In Devices and Appliances)"
UL1581(VW-1): 2001 절연전선의 난연성 시험방법 Test on a single vertical insulated wire
or cable
7) FM
FM4910 CLEAN ROOM 재료의 난연성 시험방법 (Clean Room Materials Flammability Test
Protocol)
8) NRTL (Nationally Recognized Testing Laboratories)

미국 노동부 산하기관인 직업 안전 보건 청(OSHA: Occupational Safety & Health
Administration)은 작업자의 안전을 위하여 산업현장에서 사용되는 산업용품에 대하여
국가인정시험소에서 안전인증을 받도록 요구하고 있으며 NRTL 에는 현재 18 개 기관
(UL, CSA, TUV, ITSNA 등등)이 등록되어 있다.
미국 수출을 원하는 국내기업은 이들 18 개 국가인정시험소 중 한 곳의 인증마크를 획득하면
안전인증과 관련해서는 미국의 법적 요건을 만족하게 된다
NRTL 승인 정보로는 현재 17 개사가 등록되어 있음
Canadian Standards Association (CSA), Curtis-Straus LLC (CSL),
FM Approvals LLC (FM), International Association of Plumbing and Mechanical Officials
EGS (IAPMO),Intertek Testing Services NA, Inc. (ITSNA), MET Laboratories, Inc. (MET),
Nemko-CCL (CCL), NSF International (NSF), QAI Laboratories, LTD (QAI), QPS Evaluation
Services Inc, SGS North America, Inc. Southwest Research Institute, TUV Rheinland of
North America, Inc. TUV Rheinland PTL, LLC, TUV SUD America Inc. TUV SUD Product
Services GmbH, Underwriters Laboratories Inc.
1.4. 기록관리
기록관리 보관 년 한 보관책임자
전기공통사양 Report
설비 폐기 시 限 설비 담당부서
전기도면 및 인증서
1.5. 용어의 정의
1) 1 차 배선
전기실 에서 생산설비용 분전반 PRODUCT POWER PANEL(이하 PP PANEL 이라 함)까지의
전기작업 영역을 말함
2) 2 차 배선
PP PANEL 에서 생산설비의 Main 전원 공급장치(이하 AC Power Box)까지의 전기작업 영역을
말함
22

일
3) 3 차 배선
AC Power Box 에서 주장치 및 부속장치(부대설비, Chamber 포함)까지의 전기작업 영역을
말함
4) UPS 전원(Uninterrupted Power Supply)
10 분간 무 정전 전원 공급 장치로 공급 중 정 전압, 정 주파수를 유지
5) VDP 전원
1 초간 순간전압 강하를 보상하는 장치
6) 전 부하
설계 상 100% 가동 부하
7) Normal Idle 상태
설비의 Stand-by 상태
8) 변압기 (Transformer)
전자기 유도 작용을 이용하여 전압을 변환하는 장치
9) 권선
변압기 철심 주변을 감아놓은 코일
10) 차단기 (Circuit Breaker)
전기회로에 과전류가 흐를 때 회로를 차단하는 장치
11) 전자 접촉 기(Magnetic contactor)
MC 라고 하며 회로의 ON, OFF 상태를 바꾸는 장치로 기동부하 또는 EMO 회로에 사용한다
12) MCCB (Molded Circuit Breaker)
회로 보호(과부하, 단락) 목적으로 ON, OFF, Trip 기능을 가진 장치(NFB 또는 CB 라고 함)
13) 과부하 (Overload)
기기 또는 장치의 정상값을 초과한 부하
14) Trip Unit
차단기의 정격 내 Trip Unit 로 VR(Volume Rearrange)을 확인하고 Trip Set 이 되어있는
MCCB 를 말함
15) Lock-Up
VR(Volume Rearrange)를 임의적으로 수정 치 못하도록 Trip Set 을 봉인
16) 누전차단기(ELCB: Earth Leakage Circuit Breaker)
회로의 누전(인체 및 설비보호) 발생시 누전이 검출되어 전류를 차단하는 장치(ELB 라고
함)
17) SCCR (Short Circuit Current Rating)
회로가 단락 되었을 때 흐르는 전류
18) PCB (Printed Circuit Board)
전기부품을 탑재하고 이들을 회로적으로 연결하는 배선을 형성하여 놓은 인쇄회로기판
19) Fault/Abnormal(비정상/이상상태)시험
PCB 회로의 비정상/이상상태 (과전류, 과전압, 과열) 발생 시 차단 기능 시험
20) Ring Lug

원형 Terminal, 단말 작업 후 Circuit Breaker 나 Terminal Block 에 연결하는 부품
21) Cage Clamp
스프링의 반발력을 이용하여 Clamp 내 Cable 을 고정. 고정 Cable 은 Strip 상태에서 물리는
방법과 Parallel Type 을 이용한 압착작업 후 체결하는 방법이 있다
22) I-Marking
Bolt 풀림 육안 확인을 위해 Bolt Head 에서 단자 바닥까지 그은 "I" 형태의 사선
23) PAD Lock
DOOR 외부에 설치되어있는 잠금 Switch 로 POWER OFF 시에만 DOOR OPEN 가능 장치
24) Handler
AC Power Box 측면에 설치되어있는 잠금 Switch 로 POWER OFF 시에만 DOOR OPEN 가능 장치
25) IP [Internal, Degrees Protection]
23

일
국제 보호 등급의 특성 치를 나타내는 기호. IEC 529-1989(Degree of Protection Provided

By Enclosure-IP Code)로 일반적으로 규정
26) FFU (FAN FILTER UNIT)
청정 조건을 유지하는 장치
27) 난연성(Fire Retardant)
물질이 연소하기 어려운 재료의 성질을 말하고, 가연성과 불연성의 중간이다.
28) 플렉시블 튜브(Flexible Tube)
탄력성이 풍부한 구리 망 등으로 피복하여 케이블을 보강하는 배관
29) 부대장비 - POU (Point of Use)
Pump, Chiller, Scrubber, Hot DI Unit, H/E, Cryo, Turbo Pump, 약액 공급 장치 등
부대설비의 총칭
30) 방폭(Prevention of Explosion)
위험물의 폭발을 예방하거나 폭발에 의한 피해를 방지하는 것
31) 고조파 (Higher Harmonics)
기본파 정수배인 정현파
32) THD (Total Harmonic Distortion, 고조파 함유 율)
파형이 정현 파가 되지 않고 일그러지거나 찌그러지는 정도를 나타내는 함유 율
33) POWER BOX
교류,직류 구분없이 전원이 공급되는 모든 Box
24

일
2. 책임과 권한
2.1. 전기담당부서
1) 전기 공통사양(표준)의 제/개정을 포함한 모든 관리 책임을 가진다.

2) 표준 외 규격 적용 시 또는 구조적인 변경점 발생 시 계약자로부터 변경 전, 후의 사항과
사유를 제출 받아 검토 후 승인된 사항은 표준에 반영한다.
3) 검수 중 표준에 명기된 성능을 만족하지 못할 경우 하자 처리 한다.
2.2. 제조사
1) 표준 외 타 규격 적용 시 또는 구조적인 변경점 발생 시 변경 전, 후의 사항과 사유를

발주자에게 제출하여 승인을 받아야 하고, 승인된 사항은 제작 사양 서에 변경사항과 사유를
명기해야 한다(구매그룹, 제조기술, 전기담당부서)
2) 전기 공통사양에 명기된 인증 조건은 해당 인증기관에서 발행한 인증서를 제출토록 한다.
3) 검수 시 미 적용 부분에 대한 반영 일정을 제출 하고 개선 사항은 Feed back 하여야 한다.
(삭제)4) 공통사양의 변경점이 발생할 경우 확정/개정일로 6 개월 이내 설계에 반영하여
납품한다.
4) 인증사양 또는 인증기관이 명시된 Test 및 그와 관련된 Test Report 는 제조사 자체 시험
결과를 인정하지 아니한다. 그외의 항목은 자체 Test Report 에 제조회사 대표자 서명기입
또는 직인 날인하여 데이터의 신뢰성을 보증한 보고서에 한해 내용을 인정한다.
5) ESH 사양 및 전기공통사양 미준수로 인한 하자 발생 시 하자 보수는 제조사 부담으로 최단
시일 내에 조치하여야 한다.
25

일
3. 업무흐름도
26

일
4. 공통사양 기준
4.1. Equipment Installation
4.1.1. 설비 전원사양
구분 기준 규격
- GPS,VDP Main 계통 구성
Main 차단기 – SPD – 전력계 - (Noise Filter) – Main MC
- Main 차단기는 반드시 설비 보호용 누전차단기를 사용
단, Noise 발생등의 오동작으로 인한 설비 복구 및 생산
피해가 예상되는 부하는 협의를 통해 ELD 등 누전 경보 장치
사용 가능
- 계통상 누전차단기가 중복 사용될 경우 보호협조 설계 반영
- 누전발생시 또는 배선용 차단기 Trip 시 UI 화면에 Warning
Alarm 을 제공해야하며 차단기 OFF 시 알람 발생되면 안됨
- 전원 차단점 및 누전점이 제조 통합관리 System(FDC)으로
실시간 모니터링이 되어야 함
- 모든 공급전원(Hook up point)의 소비전력과 공급전압은
FEMS 에 실시간 모니터링 되어야 함
NFPA79
- 전력 품질 확인용 전력량계는 에너지사양서에서 규정하는 제품
(64Page)
Spec 을 만족하며 전압,전류 고조파 확인 가능한 제품 사용
1)GPS,VDP 전원
- 모든 설비는 누설전류(저항성,용량성등)를 최소화하여
한국전기설비
설계해야 하며 필요시 누설전류 설계치에 대한 기술자료 제출
규정
- Main Noise Filter 는 전자파 시험 대책이 추가로 필요한
경우에 설치
단, 전원 Box 내 설치 공간은 미리 확보하며 미설치시
기술자료 제출
- 국내 440V, 208V 60㎐, 중성선 없음
- 중국 (SSL,SDD,SDT,SSM) 208V, 440V 50㎐, 중성선 없음
- 베트남 (SDV) 208V, 380V 50㎐, 중성선 없음
- 인도 (SDN) 415V, 208V 50㎐, 중성선 없음
- 상별 눈관리 실시 [L1:갈색 , L2:검정 , L3:회색 , 접지:녹/황색]
※국내/외 VDP 전원 사용 시 전기부서와 사전 협의
※ 해외법인 법적 기준이 본 사양서와 상이한 경우 전기부서와
사전 협의후 적용 한다.
- 설비 100% 운전 時 상간 전류 편차 10% 이내 [Report 제출]
2) UPS 전원 - UPS Main 계통 구성 한국전기설비
Main 차단기 – SPD – 전력계 - (Noise Filter) – (필요에 규정
따라 MC 장착) 단, 구동부하는 개별 MC 장착
- Main 차단기는 반드시 설비 보호용 누전차단기를 사용
단, Noise 발생등의 오동작으로 인한 설비 복구 및 생산
피해가 예상되는 부하는 협의를 통해 ELD 등 누전 경보 장치
사용 가능
- 계통상 누전차단기가 중복 사용될 경우 보호협조 설계 반영
- 누전 발생시 UI 화면에 Warning Alarm 을 제공해야 하며,
전원 차단점 및 누전점이 제조 통합관리 System(FDC)으로
실시간 모니터링이 되어야 함
- 모든 공급전원(Hook up point)의 소비전력과 공급전압은
FEMS 에 실시간 모니터링 되어야 함
- 전력 품질 확인용 전력량계는 에너지사양서에서 규정하는 제품
Spec 을 만족하며 전압,전류 고조파 확인 가능한 제품 사용
- 모든 설비는 누설전류(저항성,용량성등)를 최소화하여
설계해야 하며 필요시 누설전류 설계치에 대한 기술자료 제출
- Main Noise Filter 는 전자파 시험 대책이 추가로 필요한
경우에 설치
단, 전원 Box 내 설치 공간은 미리 확보하며 미설치시
기술자료 제출
27

일
- 국내 208V 60㎐, 중성선 없음

- 중국 (SSL,SDD,SDT,SSM) 208V, 440V 50㎐, 중성선 없음
- 베트남 (SDV) 208V, 380V 50㎐, 중성선 없음
- 인도 (SDN) 208V 50㎐, 중성선 없음
- 상별 눈관리 실시 [L1:갈색,L2:검정,L3:회색,접지:녹/황색]
- 설비 100% 운전 時 상간 전류 편차 10% 이내 [Report 제출]
- IEC60204-1 4.3.2. AC Supplies 에서 규정하는 전원조건에서, EN/
3) 변동율 설비는 모든 운전상태에서 정상적인 운전을 보장해야 함 IEC60204-1
※ 부속서 참고 (4.3.2)
- 공급 기준 준수 [3Wire + 1Earth/Ground 설계]
4) 변압기 - 국내 208V/440V, 중국 208V/440V, 베트남 208V/380V,
전원공급 인도 208V/415V
- 단자대 타입의 복권 변압기를 사용하며 KS C IEC 61558-2-4 에
따라 제작 및 시험하고 시험성적서 제출
- 생산설비용 변압기란 전자 상호 유도작용을 이용하여 교류
전압을 높이거나 낮추는 장치로서 용량이 10KVA 이상으로
설치된 장치임
- 설비 변압기는 UL,CE 등의 안전 마크 취득한 제품 사용
- 변압기 외함은 5.1.5 항 지침에 따라 제작, 설치
SEMI-S22
- 변압기 1,2 차측 차단기 설치
NFPA-79
5) 변압기 보호 - 차단전류 TR 정격의 115% ~ 125% 설계하고 1,2 차측 지락/누전
KS C IEC
차단 기능이 있어야함
61558-2-4
- 전력 Monitoring System 구축
- 권선 및 변압기 외함 내부 온도 센서 장착하고 발열 감시 및
차단 방식에 대해서는 사전 협의 요함
- 온도센서 설정값 도달시 Alarm 발생
- 변압기 외함 Fan 장착 및 고장 Alarm 기능 탑재
- B 종 온도상승 조건을 만족하여야 함
※ 부속서 참조
- 정전 및 전압강하대책 AC Power Box 설계반영 (Power Vaccine)
6) GPS(
- “GPS : 일반부하 / UPS : Control 부하” 설계반영
일반),VDP/
- UPS 사용량은 최소화, 3 상 30A 이하 되도록 최소화
UPS 전원
※ 생산설비 현장 상황에 따라 협의를 통해 전원 설계 변경 가능
설계
4.1.2. 차단기/개폐기 선정
- 과부하/단락전류 차단, 유지보수 개폐기능을 만족하여야 함

- 과전류 차단 시 기계기구의 정격전류 115%이상 125%이하 선정 KEC212.3.4
※ Main/Sub 차단기는 2 차측 합성부하의 최대값을 정격전류 IEC60364-4-
대신 사용 할 수 있으며, 설계 근거를 제출해야 함. 단, 43
1) 과부하
차단기 2 차 부하가 TR 인 경우 TR 정격전류를 기준으로 함 NFPA 79
차단기
※ 설비 특성 상 실사용 부하용량으로 차단기 선정해야 할 경우 SEMI S22
전기담당부서와 사전 협의를 통하여 사용 가능함 IEC60947-2,
- 부하 용량이 작아 기준을 만족하기 어려운 경우에는 정격에서 UL489
가장 근접한 높은 값을 사용 할 것
28

일
- 규정된 누전차단기 (ELCB, GFCI, RCD) 사용

- 가변형 ELCB 는 설정값을 도면에 표기하고 차단기에 설정값
Label 을 부착할것, 조정부분은 설정변경 불가토록 봉인처리
IEC60947-2
- 누전차단기 및 Controller 의 설정값을 변경한 경우 동작 Test
IEC61000-4
2) 누전 차단기 실시하고, Test 결과 및 변경점은 도면함에 보관 할 것
산업안전보건
- 누전차단기 감도전류 보호 협조 설계 할 것 [Report 제출]
법 304 조
※ 예: ELCB(200mA)→ELCB(100mA)→ELCB(50mA)→ELCB(30mA) 보호
- 콘센트용 ELCB 는 감도전류 30mA 이하, 0.03s 이내 사용
(삭제)※전기설비기술기준 및 판단기준 제 41 조
- Main 전원에 Fuse 사용시 Bolt 체결 Type 적용
3) Fuse - MCCB 후단에 속단형 Fuse 를 사용시 보호 협조 설계가 되야
사용 조건 하며 적정 용량을 선정 할 것.
- Spare Part 장비 내 Storage Unit 보관
- 차단기 보호협조 설계 되어 있을 것 [Report 제출]

4) Power Box 내 - 차단기는 적정한 정격 차단전류 능력을 보유 할 것
UL508A/
차단기 - 요구되는 SCCR 기준을 만족하지 못한 경우 해당 설비의 최대
IEC 61439-1
보호협조 단락전류에 대한 설계 데이터 제출
4.1.3. 전기부품 선정
- 기계기구의 정격전류 125% 이상 150%이하 선정
단, 차단기류는 115%이상 125%이하 선정
- 150%이상~300%이하 사용시는 전기담당부서와 사전 협의
단, Heater 용 Cable 은 정격의 150%이상 180%이하 선정
- 실부하 정격 ＜ 차단기 ≤ 전기부품 ≤ Cable 순으로 선정
- 전기부품 인증 품은 CE 또는 NRTL, KC 규격을 득한 제품을
NRTL
사용 [Report 제출]
CE
1)전기부품선정 - 부품간 최소 거리는 부품사용 설명서에 준하는 이격 거리를
IEC61000-6-4
만족
IEC61000-6-2
- 콘덴서를 사용할 경우에는 용량 산출 근거, 부품의 인증서 및
사양, 부품 수명 및 관리 방법을 제출하여야 하며 외함에는
잔류전압 경고 스티커 부착
- 설비에 사용되는 PC 는 반드시 산업용 환경에 대한 장해 및
내성 기준에 적합한 제품을 사용
- 인쇄회로기판의 재질은 국제공인(FM 4910, UL 2360)된 난연성
재질을 사용하고, 성적서 제출
- 인쇄회로기판은 RESISTANCE, DIODE, THYRISTOR,
TRANSFORMER, CAPACITOR 등과 같은 각 소자 마다 과부하,
과전류 및 단락(SHORT) 등 이상에 대한 보호장치 또는
보호회로(PROTECTION CIRCUIT)를 설치
- 저전압 지침(LVD, LOW VOLTAGE DIRECTIVE)에 해당되는 IEC61010-1
2) PCB 안전기준 인쇄회로기판인 경우에는 LVD 인증을 취득한 제품을 IEC60950-1
사용
(삭제)그외 PCB 기준은 ESH 일반사양서에 따른다.
- 저전압 지침 적용대상에 해당되지 않는 인쇄회로기판(DC 75V
미만, AC 50V 미만)도 측정기관으로부터 시험을 실시하여
성적서 제출
- 각각의 PCB 에 식별할 수 있는 명칭 기재
3) Cable - 차단기 Ring Lug Type 적용 (Main 및 Sub 간선 차단기)
체결 방식 - 단자대 Ring Lug Type 또는 Cage Clamp Type 적용
※단,Cage Clamp Type 은 작업 영역은 Maker 작업으로 한정
29

일
- 전력 케이블 단말부 절연 Tube 적용

- Bolt Size 별 토크 기준 및 작업자 정보 제출 [Report 제출]
- 케이블 단말 작업시 도체 심선 손실이 없을 것
※ 케이블 단말 작업의 상세기준은 부속서 참조
- 전기공급기준 2 차배선 차단기 300[A] 이상 또는 Bus-Bar
접속용 Terminal Lug 는 2Hole 사용을 원칙으로 한다.
※ Bus Bar 사용시 단락 방지 장치를 장착 하고(상간 베리어등)
고정 애자 각상당 2point 이상 시공한다.
① Terminal Lug 압착은 아래 기준에 준하여 실시한다.(
연선기준)
단면적이 22㎟ 이상의 전선은 유압압착기를 사용한다.
② 사각형 배꼽다이스로 배꼽압착하는 것을 원칙으로 한다.
③ Terminal Lug 와 Cable 間 도체가 노출되는 구간은 2mm
이하로 유지하고, 꺽이는 구간이라도 7mm 이하를 만족하여야
한다.
- L1: Brown, L2: Black, L3: Gray
- N : Blue, G: Green
4) 상(相)
- Sticker 및 절연 Tube 적용하고 양단의 색상은 동일 할 것
색상구분
※ 해외법인의 경우 해당 국가에서 특별하게 요구하는 기준에
대해서는 그 기준을 우선적으로 준수
- 난연 인증품 사용 [UL94V-0,VW-1,FT-1,FM4910] [Report 제출]
- Terminal 노출부 절연되도록 설치
- 온도 변화 시 육안으로 상태 확인 가능하고 고온상태에서 색상
변형후 원복되지 않는 비가역형 제품을 사용하여야 한다 UL94V-0
5) 절연 Tube
- 전체 반투명 또는 부분투명 제품으로 뒤로 탈피가 가능해야 함 VW-1
- Numbering 절연 Tube 시험 인증된 난연성 [VW-1] 사용 할 것. FT-1
- 수축 Tube (Shrink Tube)나 Plastic Cap Tube 사용불가
- 발열 및 화재예방을 다른 방책 및 대안으로 제작할 경우에는
사전협의 후 허가를 득하여 구현 할 것
- Connector 의 충전부(Live Parts)는 착탈 시 감전위험이

없도록 최소 IP2X 이상 보호 할 것.
- 접지회로를 갖는 것이어야 하며, 삽입 시 접지회로가 먼저
접속하고, 분리 시는 접지회로가 마지막에 분리되어야 함.
6) 커넥터 - 커넥터의 금속 하우징 접지 회로에 연결 될 것 IEC61984
안전기준 - 16A 이상 커넥터는 비분리 전제로 설계되거나, 차단장치 IEC60664-1
Off 시에만 착탈가능하도록 Interlock 될 것.
- 실수 또는 비의도적 분리 방지 위한 고정장치 제공 할 것
- 2 개 이상의 커넥터 사용 시 오삽입 방지 기구 또는 식별표시
- 외부 인/출입 커넥터는 Flexible 전선관 사용
7) 개폐 서지 - 낙뢰 및 개폐서지로부터 피해를 예방하기 위해 서지보호장치 KOSHA GUIDE

(Surge) (SPD) 설치 E112-2011
보호장치 - 서지 보호 장치는 전원 입력 차단기(Main Breaker)2 차측에
접속 KSC
- 전원 입력 차단기가 2 개 이상인 경우에는 각각의 입력 차단기 IEC61643-11
2 차측에 설치
- 서지보호장치의 배선 길이는 가능한 짧고 직선적으로 설치 KSC
- 전압 보호 레벨 등 자세한 사항은 부속서 참고 IEC61643-12
- 내부 소자의 폭발 또는 화재가 발생할 경우 외부로 유출되지
않도록 충분한 기계적 강도를 갖는 외함 사용
- 내부에 과전류 보호기능과 과열보호기능의 단로기를 사용해야
하며 이들의 동작 상태를 육안으로 확인 할수 있어야 함
- 열 보호기능 소자는 주변 온도 80℃~100℃ 범위에서는
정상적으로 작동 되어야 하며, 120℃감지시에는 회로를
차단하여야 함
- 설비에 대한 내전압 시험을 하는 경우에는 서지보호장치를
설비에서 분리한 후에 실시
30

일
- 개폐서지 보호 장치는 보호 대상 장치의 단자 사이에 접속

- 서지 보호 장치는 S-Mark 또는 CE-Marking 를 취득한 제품사용
- 서지 보호 장치 동작에 대한 눈관리 라벨 부착
4.1.4. 비상정지 스위치(EMO/EMS)
SEMI-S2
1) 상세설계 - ESH 일반사양서에 따른다
NFPA-79
4.1.5. Power Box 설계

- Power Box 는 수전반,제어반,보조 판넬 등 전기 부품을
설치하는 모든 판넬을 포함하며, 유지 보수 접근성 및
편리성을 위해 설비와 별도로 설치
- Power Box 견시창을 설치할 경우에는 최소 크기로 설치하고,
두께는 3T 이상, 재질은 난연 인증 인증 받은 PC 사용
(PolyCarbonate)
- Power Box 외함 및 내부 재질은 금속판 사용
- Main 전원 공급 확인용 표시등(수전 Lamp)을 설치하여야 하며
공급 전원은 주전원 차단장치의 1 차측에서 인가
- Power Box 내 하단부에 전기 Hook Up 단자대(Terminal
Block)를 설치하고, 전기부서에서 공급하는 Cable 과
설비제작사에서 시설하는 단자대와 Main 차단기간 연결
Cable 의 시공 편의성 및 곡률 반경을 고려하여 충분한 공간
확보
1) Power Box 의
- Hook up Cable 인입구는 Power Box 하부 입선 구조로
설계,제작
제작하고 전자적 평형을 고려하여 동일 인입구를 사용하여야 IEC 60204-33
및 초기
하며 Hook Up Cable 인입구 단면은 Cable 피복이 손상되지
열화 진단에
않도록 보호조치를 하여야 함 SEMI-S2
관한 지침
- 설비의 전원인입계통마다 전용의 전원차단장치를 설치해야 함
- 모든 충전부 IP2X(12mm)를 만족하여야 함
- 투명 Cover 는 활선부 열화상 점검時 Open 가능한 구조일 것
※ 여닫이/슬라이딩 도어 적용하고, 고정장치 있어야 함
※ 적용이 어려울 경우 탈착형, 또는 12mm 홀 타공 가능
단, 활선부 접촉변이 위를 바라보는 활선부는 홀 타공 불가
하며, 탈착형 커버는 절연 처리된 손나사로 고정되야 함
- 모든 체결부위는 규정 토크로 체결하고 I-Marking 실시
- 설비 반입 전 전류통전 Test 실시하여 접속부 열화진단 할 것
[Report 제출]
- 설비 반입 전 전류통전 Test 를 통해 Main 차단기 접속부
열화 진단 실시[Report 제출]
- Power Box Door 로 인한 협착, 충돌사고가 발생하지 않도록
방지대책 설계 반영
- Power Box 의 외함(Door,덮개 등)은 지정된 자만 취급할수
있도록 할 것
- Main 차단기 투입 시 Door 열리지 않도록 Interlock 설치
SEMI-S2.
- 발열점검 시 지정된 자가 수동으로 Interlock 해제 가능하도록
11 장,17 장
구성
- 외부조작핸들(Pad Lock)은 Release 가능 제품 사용
2) Interlock SEMI-S22.9
- Release Switch 를 사용할 경우 금속재질 사용
System 장
- Main 차단기는 Pad Lock or Handler 설치하여 Off LOTO
가능토록 구성
IEC60947-5-1
- Power Box 다중 Door 를 적용할 경우 외부조작 핸들이 설치된
Door 가 열린후 다른 Door 가 열리는 구조 적용
ISO14119
- 주 전원 차단장치의 LOTO 손잡이는 Power Box 의 Door 를
연(Open) 상태에서 차단장치로부터 분리되어서는 안됨
- Interlock 은 일반 Tool 로 쉽게 무효화 되지 않아야 함
31

일
- 장비상부, FFU, Chamber, Power Box 등 각각 부품에 대해

IPX2 이상 낙수피해 대책 적용
※ 단, 배기 및 공조에 영향을 미치는 경우에는 협의를 통해
3) 보호등급 IPX2 미적용 가능 IEC60204-1
(IP Rating) - Power Box 상부로 Cable 인입시 Flexible 전선관 또는 전용 UL94V-0
전선관을 이용 인입 처리
- 그 외 개방 부위는 END Cap 처리, Bolt 처리, Packing 처리 등
적합한 마감처리가 되어야 함
- 장비의 표시 Lamp 류는 LED 로 사용하며 주전원차단기 1 차측
전원 사용
- 내부조명은 LED Type, Door Close 시 자동 Off 구성 또는
4) PowerBox
동등하게 Off 시킬 수 있는 구조로 시설 NFPA-79
조명부분
- Lamp 의 전원 차단기를 Lamp 의 Switch 로 사용 불가
- Lamp 설치가 불가할 경우 외부에 적정 조도 확보 및
유지보수 Manual 제공
NFPA-79
5) PowerBox (11.4)
- 도면의 작성법 및 필요 기재 사항은 부속서 참조
도면함 및 IEC60204
- 제조사는 발주처에 도면을 작성하고 제공
도면의 제공 IEC61082
IEC62027
- Power Box 후면에 전기기기가 있는 경우
IEC60204-33
1.5M↑간격, Open 95˚ ↑확보, 0.9M↓너비 Space 확보
6) PowerBox
- 사면을 기준으로 각 모서리에 적절한 고정장치 있을 것.
설치 조건 KOShA GUIDE
- 설비 하중이나 정상운전 중 진동에 의해 이동하지 않아야 함.
E-114-2011
- 상세 시행 기준은 부속서 참조
- 설비의 Fan 은 고장 시 UI 화면 Warning Alarm 기능이 있고,
7) Fan 설치에 고장시 교체 가능한 구조로 시설
관한 지침 - Fan 설치 위치는 Cooling 효과가 최적화 되도록 설계 반영
- 두 개 이상의 전원 또는 두 개 이상의 전원을 공급받는 장치가 NFPA-79
8) 설비 이원화 있는 경우 각각의 전원은 물리적으로 구분되는 접속 배선함 (13.1)
전원공급지침 또는 단자대를 사용하여 분리시공 IEC61010
- 내부작업시 감전을 방지하기 위해 경고표지 있을 것 (4.4.2.8)
9)화재감지장치 - Power Box 에는 화재감시 장치로 연기 감지기와 온도센서를 SEMI-S14
(연기 감지기+ 설치하고 UI 화면에 Warning Alarm 제공
온도 센서) - Power Box 내부 온도를 측정하는 Digital 온도센서를 Power
Box 외부에서 볼 수 있도록 설치하거나 모니터 또는 TOUCH
화면에서 확인할 수 있도록 설치
- 온도센서는 Controller 와 일체형 또는 분리형을 사용
- 온도센서 분리형중 Sensing 부가 노출되는 경우 Sensing 부
끝이 둥근형을 설치
- 온도 센서와 연기 감지기는 주전원함, 분전함, 제어함, PC
Rack 등을 포함하여 전기,전자 기계기구가 설치된 모든 Power
Box 에 설치
- 연기 감지기와 온도센서 Alarm Reset 은 관리자가 Power Box
Open 하여 확인 후 설치 된 감지기 직접 Reset 방식이고
Remote Reset 기능은 제거되어야 하며 Reset 방법을 감지기
가까운 곳에 표시해야 함
- 연기 감지기 동작 Test 실시 [Report 제출]
- 온도센서는 상부 배기 Fan 30cm 이내 설치
※ 단,하부 배기의 경우는 Simulation 을 실시하여 온도가 가장
높은 부위에 설치한다.
- 온도센서와 연기 감지기는 UPS 전원 반영
단, UPS 공급 불가시에는 전기담당부서와 협의하고 근거자료
제출
(협의를 통해 GPS/VDP 메인차단기 1 차측 설치 가능)
- 연기감지기 기능 불능 상태 발생시 UI 화면에 Warning
Alarm 을 제공해야 함
32

일
- 전기장치는 설비 내외부 “감전 주의” 경고 표지 부착

10)SafetyLabel - 문고리 상부 부착하고, 공간 협소한 경우 측면 부착 가능 SEMI-S1
- 표지양식은 ESH 일반사양서 기준을 준수
11) 설비상부
- ESH 일반사양서에 따른다 SEMI-S10
안전고리
(삭제) - 의도하지 않은 외부 충격 또는 힘에 의해 자연적으로
닫히지 않도록 Locking Style 의 Door Stay 장착 할 것.
12) PowerBox - 지지하중(N) 392N [40kgf] 이상
Locking - Power Box 의 Panel Door 는 개방 후, 의도하지 않은 외부의
Style Door 충격 또는 힘에 의해 자연적으로 닫혀 작업자 협착, 충돌 사고
Stay 위험 있는 곳에는 Locking Style 적용
단, 위험없는 Power Box 의 경우 제조설비 특성 조건에 맞게
설비제작사 에서 방지대책을 수립
- Power Box 정면에서 잘 보이는 곳에, 외함 외부 또는
IEC60204-1
13) 기기 명판 외함과 바로 인접한 기기에 부착되어야 한다.
NFPA-79
- 명판의 재질 및 필요 기재 사항은 부속서 참조
- 각 전기부품 및 전기배관 등에는 Label 부착하여 전원점 또는

14) From-To 연결점 확인이 가능하여야 한다.
Label - 일반전원은 백색, UPS 전원은 노란색 Label 사용 할 것
- Label 필요 기재 사항은 부속서 참조
- 전원이 상시 통전 중인 부분에는 완전 밀폐형 보호 Cover 를
설치하고, “상시 통전 中”경고 라벨 부착
- “상시 통전 中”안전 표지는 1 차 및 2 차배선에 직접
부착하는 방법으로 설치
15) 상시 통전
- Main 차단기(GPS,UPS,VDP)가 Off 하여도 전기가 통하는 주
전원 관리
전원 차단장치 1 차측에서 부하(load)까지 모든 배선은 주황색
(Orange) 사용
- Main 터미널블록 Main 차단기 1 차측 까지의 Cable 은 검정색
(Black)을 사용
4.1.6. 배선 및 그 외 지침
- EN IEC 60204-1 제 17.3 항 IEC 61082 규격에 따라 도면을 작성 NFPA-79
- "회로도의 기능 다이어그램 내의 주요 신호이동 방향은 IEC60204-1
1) Wire &
왼쪽에서 오른쪽으로, 그리고 위에서 아래로 이다." 로 정하고 SEMI-S22
Cable
있으므로 Cable 결선 Rule 은 In/Output 은 Top→Bottom, IEC61082-1
Left→Right 순으로 공급 (7.3.1 항)
- Cable 길이는 연결점간 적정 길이를 맞추어 재단
- 적정길이 초과 또는 사용하지 않는 Cable 을 Tray 또는 설비
2) Cable 길이 상부, 내부에 말아 놓지 말 것
및 시공 - 간선에 해당하는 전원 Cable 을 중간 접속하는 경우에는
반드시 Termical Block 사용
- 커넥터는 전원과 말단 부하의 연결에만 사용 가능
- Power Box 내부 하부에 Main 전원 Hook Up 단자대(Terminal
Block)를 설치하고, 시공을 위해 충분한 공간을 확보
3) Terminal
- Cable 허용전류에 적합한 Terminal Block 사용
Block 시공
- MCCB, ELCB, Terminal Block 에서 Cable 연결할 경우
1 Point 에 2 Wire 를 초과할 수 없음
33

일
- Tray 단면적 30% 이내 포설, 전원/통신/배관 분리시공

※ 배관은 반드시 분리
4) Tray
※ 전원/통신은 격벽 또는 후크밴드 분류 가능
시공기준
- Tray 시공 필요시 사전에 전기담당부서에 의뢰
- Maker 에서 Tray 시공시 작업 SOP 제출 및 품질 검증 받을 것
- Cable 인입지점에서 개폐기 단자까지 전원공급 Cable 이 기준
5) Power Box 내 곡률 반경을 준수할 수 있도록 충분한 여유공간을 확보 NFPA-79
Cable 인입 - 곡률 반경 기준은 부속서 참조 IEC60204-1
지침 - 생산정비 전기 2 차배선 인입구 기준은 전기부서(시공) 기준을 SEMI-S22
따를 것
6) Sub
- 외부 Cable 인입 시 Flexible 전선관 / Duct 등 Cable 이
Power Box 및
보호되는 상태에서 인입 처리 SEMI-S22
부대장비 내
- 마감처리는 Cable Locker, Cable Grand 등으로 밀봉
Cable 인입
- 전기부품의 연결점 Bolt 는 규정 Torque 로 체결하고 체결확인
I-Marking 실시 하며 최종적으로 적색(Red) 한가지 색으로
표시 되어야 함
- Bus-Bar 사용시 온도 테이프 부착 (55℃포함 비가역형)
7) 전기 접속부 온도 테이프 색상변화에 대한 눈관리 라벨 부착
체결처리지침 - Bus Bar 사용시 도체부는 상표시가 가능한 색상의 절연 Tube
또는 Tape 으로 보호하고 접속면의 Tube 또는 Tape 은 제거
(삭제)- 자체 표준 SOP 가 있을 경우 협의하에 시행하되 사고
발생시 공통사양을 따른다.
- 사용 중 전기 통전 부위 온도는 55℃ 이하 되도록 설계
8) 관리 및 - 제조사는 설비의 Setting 정보 및 유지보수에 관한 정보가
운영 지침 정리된 Manual 을 제공
- System 설정시간은 GPS 시간에 연계
- 콘센트 전원은 누전 및 과부하 차단 될 수 있도록 시설
- 누전차단기는 감도전류 30mA, 0.03 초 이내 제품을 사용하고,
별도의 누전 동작 인디케이터를 가지고 CE/UL/KS C 4613 중 1
개 이상의 규격인증을 취득해야 함
단, 150~600V 교류 전압 부하에는 필수 적용하고 150V 이하
콘센트 전원에 대해서는 정격감도전류 30mA 이하, 동작시간
0.1 초 이내 사용 가능
(삭제)누전차단기 오동작 가능성 있는 부하의 경우 협의 후
적용
- 각 콘센트는 개별로 전용의 차단기를 설치
- 단독부하의 용량은 7A 미만, 멀티 콘센트의 총 부하 합계 용량
은 10A 이하로 사용
- 미사용 분은 캡으로 마감처리 산업안전보건
9) Socket
- 설비 내 생산부하 전원공급용 멀티 콘센트는 설계된 부하 법 304 조
Outlet
전용으로 사용하고, 전용 콘센트 표기 및 일반부하 연결금지 한국전기설비
(Consent)
- 멀티 콘센트는 4 구 이하로 사용하고 직렬접속(문어발) 금지하 규정 211.1
며, 과부하 차단 기능 및 메인 스위치 설치
- 상위계통 누전차단기 + 하위계통 CP 조합으로 누전차단기 이하
여러개의 콘센트를 분기 시공하는 경우에는 연결되는 부하의
특성과 중요도를 감안하여 부하 그룹을 선정하고, 각 부하
그룹마다 개별의 상위계통 누전차단기가 설치 될 수 있도록
분리 설계
- 콘센트에는 정격전압 및 정격전류값을 표시
- 콘센트에는 사용부하 용도 눈관리 라벨을 부착
(삭제)※ 중요/비중요/서비스로 묶어서 각 부하간 영향을
최소화하거나, Unit 단위로 묶어서 피해 규모를 제한 할 수
있음.
※ 부하 분리 컨셉은 현업 기술파트의 확인 받을 것.
34

일
- Power Box 및 전기,전자기계기구(전기부품)는 난연성

Certified Material 을 사용하여야 하며 부품 LIST 제출 시 각
VW-1
인증규격을 기입하여 제출
UL94V-0
10) 난연성제품 - 난연성 Cable : VW-1, FT-1, IEC 60332-1,-2
V-1, V-2
※ VCT, VCTF Cable 사용불가
UL900,FM4910
- 난연성 전기부품: UL94V-0, V-1,V-2, FM4910
※ Plastic 판재, 단자, PCB, 절연 TUBE, Numbering Tube 등
- 전원선과 제어선(Signal)은 별도 분리 시공
- 제어선은 Noise 차단을 위해 금속 Duct 또는 Shield 처리된
11)물성이 다른
Band 사용
Materials
- 전기/제어 외 배관은 반드시 물리적으로 분리
시공방안
- 차폐 밴드를 사용하여 분리할 경우 차폐 밴드는 반드시 접지
하여야 함
- Heater 의 전원 계통은 [ELB→MC→SSR/SCR→EOCR→HEATER]
적용
- 각 상 동시에 제어 가능토록 SSR/SCR 을 설치
단상 SSR/SCR 경우에도 각 상마다 내부소자에 의해 동시에
제어가 가능한 제품을 사용 (한 상 제어 SSR/SCR 사용금지)
- SSR/SCR 내부에 EOCR 기능이 내장되어 있는 경우는 별도로
EOCR 을 설치하지 않아도 되나 근거자료 제출
- SSR/SCR 는 사용부하의 1.25 배 이상 용량으로 설계하고, MC
부품 용량은 사용부하의 1.25 배 이상으로 설계
- SSR/SCR Heat-Sink 에는 별도 온도 Sensor 를 설치
- Sensor 일체형 SSR/SCR 을 사용하거나 별도의 온도 Sensor 를
추가
- SSR/SCR Heat-Sink 온도 Sensor 의 1 차 설정온도(60℃) 도달시
1 차 Alarm 이 발생하고 2 차 설정온도(80℃) 도달시 Heater MC
접점을 Off
- SSR/SCR 의 구성이 SSR/SCR+방열판+FAN 으로 구성될 경우 FAN
회전 정지시 전원이 차단되도록 회로를 구성하거나 동작상태가
Monitoring 되어야 함
단, 사용 조건에 따라 안전상의 문제가 없을경우
전기담당부서와 협의하고 기술자료를 제출하여 Heater MC Off
12) Heater 조건을 변경할수 있음
사용 설비의 - ELB(누전차단기)는 부하의 정격용량의 1.15 ~ 1.25 배로 설계
안전대책 - 과온(OVER-TEMP)보호를 위해 SSR/SCR 은 ON/OFF 제어, MC Off,
차단기 Trip 구조 반영
- Heater 과온방지용 온도 Sensor 와 온도 Controller 고장 및
이상동작에 의한 과온 발생에 대한 대책을 수립하고 적용
- Heater 3 중방어 Concept 적용
- Heater Interlock 해제 방지 기능 적용
- CABLE 의 정격허용전류는 과전류보호장치의 정격전류보다 크게
산정
- Heater 단자대까지의 Cable 은 허용온도가 높은 규격을 사용
- Heater 전원 인입부는 국제공인된 난연성 재질(UL2360 또는
FM4910)로 설치
- Heater 외함은 반드시 접지하고 불연성 재질 사용
- Heater 온도 및 전원이상 상태를 Monitoring 할 수 있도록
구성
- Heater 과온시 주변 설비 화재 확산이 안되는 구조로 설계
- Heater 의 발열이 전원연결 단자까지 전도되지 않도록 비발열
구간을 설계 반영하여 제작
- Heater 고정 Bolt 또는 주변 Bolt 에 대해서는 열팽창에 의한
마모를 방지하기 위하여 내열 Type 사용
- Heater 의 단선감시기능이 있어야 함
35

일
4.1.7. 접지 System
- 충전부와 노출된 도전부 사이의 절연파괴로 인한 감전사고를
방지하기 위하여 노출 도전부는 접지
- 전기장치와 기계의 노출된 모든 도전부는 보호본딩 접지회로에
연결(모든 금속제 외함은 접지)
- 모든 케이블의 금속덕트는 반드시 보호본딩 접지 회로에
연결시키고 차폐선(Shield-Cable)은 외함에 가능한 짧고 굵게
연결
- 전기장치에 부착되는 문, 덮개 등은 보호본딩 접지 회로와
전기적으로 연속성이 있어야 하며 접지해야 함
Door 접지 연속성은 NFPA-79, IEC60204-33, SEMI-S22 의
지침을 따라야 함
- 절연파괴시 오작동방지를 위하여 제어용 변압기 2 차측을
보호접지 회로에 접속
- 접지 단자는 Ring Type 단자 사용하고 I-Marking 실시
NFPA-79
- 접지선은 반드시 접지 단자대와 1 점 접지 적용
접지 System IEC60204-33
- 설비의 접지 단자대(Earth-Bar)는 눈에 잘 띄는 위치에
SEMI-S22
설치해야 하며 충분한 여유를 가져야 함(10%이상)
- 접지 Bus Bar 또는 접속 단자에 식별기호 또는 접지표식 부착
- 접지 단자대(Earth-Bar)는 바닥면 전체를 외함에 부착
- 장비 접지 도체는 녹색+노란색의 접지선을 사용
- 접지 단자대(Earth-Bar) 바닥 고정부에는 전기판넬 페인트를
제거시 접지 단자대 바닥 접촉면 동일하게 페인트를 제거
- 접지선에 대한 Numbering 은 개별적으로 적용
(전선 Numbering,PE,E 등 불가)
- 접지선 설치는‘단자대-접지선-평화셔-스프링와셔’순서로
설치
- 접지 단자대(Earth-Bar) 재질은 동(구리)을 사용하고 도금하여
설치
- 설치 Unit 과 Unit 간 접지(Bonding) 실시
4.1.8. 기타 시공 기준
- 부대설비 전기시공은 Power Box 에 준하여 설계/제작
- 폭발 위험성이 있는 장소이거나 폭발 위험성이 있는 물질을
사용하는 Power Box 은 방폭 설계에 따른 방폭 인증품을 사용 NFPA497
기타 시공 기준
- 해당 설비 및 그와 관련되는 구간에 대해서 방폭지역의 등급에 EN1127-1
적합한 방폭 시공을 하여야 함
- 공통사양과 상이한 부분은 전기담당부서와 사전 협의
4.1.9. 고조파 대책
IEEE. Std
1) 제작 기준 - 고조파 관리기준은 IEEE. Std 519-2014 기준 적용 519-2014
36

일
- 운전중 전압 고조파는 전압 총합 왜형률[Vthd](%) 8% 이내

2) 고조파 IEC61000-3-2
- 운전중 전류 고조파는 전류 총수요 왜형률 [Itdd] 15% 이내 IEC61000-3-12
관리기준
[Report 제출]
4.1.10. 설비인증 관리기준

- 모든 설비는 S-MARK, CE-MARKING(DOC 제외), SEMI-S2-최신규격
中 하나 이상의 안전 MARK 를 반드시 취득 SEMI-S2, S22
대한민국을 제외한 해외사업장에 납품되는 설비도 동일함 NFPA-79,
단, 설비가 설치되는 국가에서 특별하게 요구하는 기준과 안전 SEMI-S10
설비인증
MARK 가 있는 경우는 그 기준과 안전 MARK 를 우선적으로 준수 ISO 12100,
관리기준
- 표준품의 설비 및 장비는 SDC 인증제품을 구매하여야 함 ISO 13849-1
- Maker 는 SDC 가 요구하는 인증 기준을 숙지하고, 미비된 IEC 60204-1
인증사항은 SDC 측에 통보하고 조치방안 사전 협의 Common Spec'
- 요구되는 인증사항은 인증서를 제출하여 증명
37

일
4.2. Power Failure Design
4.2.1. Voltage Sag 내성기준

Voltage Sag
- Drop 100%, 1 초↓전압강하에 설비정지 및 품질 Issue 없을 것 IEC61000-4-11
내성기준
4.2.2. Power Vaccine Test

Power Vaccine - Power Vaccine Test 실시 할 것 [Report 제출]
Test - 상세 조건은 사양서 참조
4.2.3. Hard Ware Operation 지침

- 장비 내 일반 전원 계통(GPS)은 1 초 초과 정전 후 복전 시
Hard Ware
재기동 되지 않도록 자동 투입 방지가 되어야 함
Operation 지침
- 상세 조건은 사양서 참조
4.2.4. Back Up 전원 사용 지침
Back Up 전원
- 장비 단독의 전압 보상 장치(UPS,AVC 등) 사용 불가
사용 지침
4.2.5. EMC(EMI/EMS) 대책
EMC(EMI/EMS) - 각 설비 Maker 는 SDC 의 EMC 규격에 맞도록 제작하고, EMC IEC 61000
대책 인증기관에서 시험한 시험결과 Report 제출 EN 55011
4.2.6. 증명 자료 제출
- Power Failure Design 설계 및 적용 관련자료 제출
증명 자료 제출
- 상세 제출 내역은 사양서 참조
4.2.7. 협의 및 부속서
- 명확하지 않거나 또는 중의적인 문구에 대한 해석이 필요한
협의 및 부속서 경우, 또는 Power Failure Design 대체 사양 적용시에는
반드시 전기담당부서와 협의 후 결정
38

일
5. 부속서
5.1. Equipment Installation
5.1.1. 설비전원사양
5.1.1.1. 일반 전원(GPS), VDP 전원
1) GPS,VDP Main 계통 구성
- Main 차단기 – SPD – 전력계 – (Noise Filter) – Main MC
Main 차단기는 반드시 설비 보호용 누전차단기를 사용 한다.

(삭제)Main 또는 상위 계통 누전차단기 적용시는 중감도형/시연형 제품을 사용하며
계통상 누전차단기가 중복 사용될 경우에는 보호협조 설계 반영 한다.
단, Noise 발생등의 오동작으로 인한 설비 복구 및 생산 피해가 예상되는 부하는
협의를 통해 ELD 등 누전 경보 장치 사용 가능하다.(협의된 내용은 서면 또는
전자문서로 제출, 증빙하여야 한다.)
누전발생시 또는 배선용 차단기 Trip 시 UI 화면에 Warning Alarm 을 제공해야하며,
차단기 OFF 시 알람 발생되면 안된다. 전원 차단점 및 누전점이 제조 통합관리
System (FDC-Fault Detection&Classification)으로 실시간 모니터링 되어야 한다.
([체크시트] SDC 생산설비 전기 Common Spec_V011 참고)
모든 공급 전원 Point(Hook up)의 소비전력과 공급 전압은 FEMS(Factory Energy
Monitoring System)에 실시간 모니터링 되어야 한다.
전력 품질 확인용 전력량계는 “[사양서]SDC 에너지 공통”에서 규정하는 사양을
만족하며 전압, 전류 고조파를 확인할 수 있는 제품을 사용하여야 한다.
(고조파 관리기준 5.1.9 항, IEEE. Std 519-2014, IEC 61000-3-2, IEC 61000-3-12 참조)
모든 설비는 누설전류(저항성,용량성)를 최소화하여 설계해야하며 전기담당부서 요청
시 저항성 또는 용량성 누설전류의 설계치에 대한 기술 자료를 제출하여야 한다.
Main 전원 계통의 Noise-Filter 설치 여부는 전자파 시험 대책이 추가로 필요한 경우에
설치한다. 단, Main 전원 Box 내부에 설치할 수 있는 공간은 미리 확보해야 하며
설치하지 않을 경우 기술 자료를 제출한다.
(삭제)2) VDP Main 계통 구성

Main 차단기는 반드시 설비 보호용 누전차단기를 사용한다.
Main 또는 상위 계통 누전차단기 적용시는 중감도형/시연형 제품을 사용하며
협의를 통해 ELD 등 누전 경보 장치 사용 가능하다. (협의된 내용은 서면 또는
VDP 전원은 GPS Trip 시 동시 Trip 되어야 하며 누전 발생시 UI 화면에 Warning Alarm 을
제공해야 한다. (전원 차단점 및 누전점이 제조 통합관리 System 으로 실시간
모니터링이 되어야 한다)
구분 기준
39

일
1) 440V ± 10% (60㎐, 3 상), 208V ± 10% (60㎐, 3 상 /단상)

2) 2 선 또는 3 선식 + 접지선 (중성선 없음(삭제)(120V 미 공급))
3) 상 구분을 위해 [L1:갈색, L2:검정, L3:회색, 접지:녹/황색]을
공통(국내) 도면에 표기하고, 제작된 설비와 일치해야 한다.
4) 전류 불균형(Current Unbalance): 설비 100% 운전시 상간 전류
편차 10 % 이내 만족할 것 [Report 제출]
※ Report 내용 : 자체 테스트 or 부하 LIST (상별 용량표기 必)
SSL,SDD,SDT, 1) 440V ± 10% (50㎐, 3 상), 208V ± 10% (50㎐, 3 상/단상)

SSM(중국) 2) 2 선 또는 3 선식 + 접지선 (중성선 없음(삭제)(120V 미 공급))
1) 380V ± 10% (50㎐, 3 상), 208V ± 10% (50㎐, 3 상/단상)
SDV(베트남)
1) 415V ± 10% (50㎐, 3 상), 208V ± 10% (50㎐, 3 상/단상)
SDN(인도)
2) 2 선 또는 3 선식 + 접지선 (중성선은 없음)
※ 국내/외 VDP 전원 사용 시 전기부서와 사전 협의한다.
※ 해외법인의 법적 기준이 본 사양서와 상이한 경우 전기부서과 사전 협의후
적용한다.
5.1.1.2. UPS 전원
1) UPS Main 계통 구성
- Main 차단기 – SPD – 전력계 – (Noise Filter) – (필요에 따라 MC 장착)
단, UPS 공급 계통에 구동부하를 시설하는 경우 개별 MC 장착하여야 한다
Main 차단기는 반드시 설비 보호용 누전차단기를 사용 한다.

협의를 통해 ELD 등 누전 경보 장치 사용 가능하다. (협의된 내용은 서면 또는
누전 발생시 UI 화면에 Warning Alarm 을 제공해야하며, 차단기 OFF 시 누전알람
발생되면 안된다. 전원 차단점 및 누전점이 제조 통합관리 System
(FDC-Fault Detection&Classification)으로 실시간 모니터링 되어야 한다.
([체크시트] SDC 생산설비 전기 Common Spec_V011 참고)
모든 공급 전원 Point(Hook up)의 소비전력과 공급 전압은 FEMS(Factory Energy
Monitoring System)에 실시간 모니터링 되어야 한다.
전력 품질 확인용 전력량계는 “[사양서]SDC 에너지 공통”에서 규정하는 사양을
만족하며 전압, 전류 고조파를 확인할 수 있는 제품을 사용하여야 한다.
(고조파 관리기준 5.1.9 항, IEEE. Std 519-1992, IEC 61000-3-2, IEC 61000-3-11 참조)
모든 설비는 누설전류(저항성,용량성)를 최소화하여 설계해야하며 전기담당부서 요청
시 저항성 또는 용량성 누설전류의 설계치에 대한 기술 자료를 제출하여야 한다.
Main 전원 계통의 Noise-Filter 설치 여부는 전자파 시험 대책이 추가로 필요한 경우에
설치한다. 단, Main 전원 Box 내부에 설치할 수 있는 공간은 미리 확보해야 하며
설치하지 않을 경우 기술 자료를 제출한다.
구분 기준
40

일
1) 208V ± 10% (60㎐, 3 상 /단상)

3) 상 구분을 위해 [L1:갈색, L2:검정, L3:회색]을 도면에 표기하고,
공통(국내) 제작된 설비와 일치해야 한다.
4) 전류 불균형(Current Unbalance): 설비 100% 운전시 상간 전류
편차 10 % 이내 만족할 것 [Report 제출]
※ Report 내용 : 자체 테스트 or 부하 LIST (상별 용량표기 必)
SSL,SDD,SDT, 1) 208V ± 10% (50㎐, 3 상/단상)

SSM(중국) 2) 2 선 또는 3 선식 + 접지선 (중성선 없음(삭제)(120V 미 공급))
1) 208V ± 10% (50㎐, 3 상/단상)
SDV(베트남)
1) 208V ± 10% (50㎐, 3 상/단상)
SDN(인도)
2) 2 선 또는 3 선식 + 접지선 (중성선은 없음)
5.1.1.3. 변동율
설비는 아래 전원 조건에서 모든 운전상태에 대한 정상적인 운전을 보장해야 한다.
※관련근거 : EN/IEC60204-1 Safety of machinery, 4.3.2 AC Supplies
1) 전압(Voltage): Nominal 전압의 0.9 - 1.1

2) 주파수(Frequency): Nominal 주파수의 0.99 - 1.01
3) 고조파(Harmonics): Distortion ≤ 10% of Vrms (2nd~5th) + 2% of Vrms (6th~30th)
제 2 고조파~제 5 고조파의 합이 선간 전압(총 실효 값)의 10%를 넘지 않고,
제 6 고조파~제 30 고조파의 합은 선간 전압(총 실효 값)의 2%를 넘지 않는 전원.
4) 전압 불균형(Voltage Unbalance): Negative And Zero ≤ 2 % of Positive
3 상 전원 기준 역상 및 영상전압 둘 다 정상 성분의 2%를 넘지 않은 전원.
5.1.1.4. 변압기 전원공급
전원공급
【입력전원】
- 국내 440V, 208V
- 중국 208V, 440V
- 베트남 208V, 380V
- 인도 415V, 208V
- Facility Substation (3W+1 E)
[그림 5.1.1.4]
5.1.1.5. 변압기 보호
1) 일반사양
- 변압기의 Spec 은 본 공통사양과 KS C IEC 61558-2-4 “전력용 변압기, 전원 공급
장치 및 유사 기기의 안전-제 2 부：범용 절연 변압기의 개별 요구 사항”에 따라
제작 및 시험되어야 한다.
※ 변압기 제작사의 관련 규격 시험 성적서(IEC 61558-2-4) 제출 할 것
- 단자대 타입 복권 변압기를 사용하여야 한다.
(삭제) - 권선의 전표면이 수지 또는 수지를 포함한 절연재료로 되어진 Mold
변압기를 사용하여야 한다.
41

일
(삭제) - 생산설비 변압기의 정의는 ESH 일반사양서에 따른다

- 생산설비용 변압기란 전자 상호 유도작용을 이용하여 교류 전압을 높이거나
낮추는 장치로서 용량이 10KVA 이상으로 설치된 장치를 말한다.
- 설비 변압기는 UL, CE 와 같은 안전 마크를 취득한 제품을 사용한다.
- 설비용 변압기를 외함으로 별도 설치하는 경우 5.1.5 항 “Power Box 설계”
지침에 따라 제작,설치한다.
단, 5.1.5.1 5)항의 전류통전 Test 는 변압기 별도로 실시하지 아니한다.
(삭제)[그림 5.1.1.5] 변압기 사례
2) (삭제)SDC 측 공급전압(일반: 440V 또는 208V, UPS: 208V) 이외의 전압

사용을 위한 변압기를 설치하는 경우 권선 1 차, 2 차 측 분리 절연되어야 한다.
[그림 5.1.1.5-1 참조]
[그림 5.1.1.5-1 Isolation Transformer]
3) 변압기 입력과 출력측에는 차단기를 설치하고 차단기의 차단전류는 변압기

정격의 115% ~125%으로 설계 하여야 한다.차단기의 전류 정격은 SEMI-S22, NFPA-
79 에 따른다. [그림 5.1.1.5-2 참조]
1 차 또는 2 차측 지락/누전 발생시 차단 기능이 있어야 한다.
지락/누전 방지를 위해 과부하 및 누전을 감시하는 장치를 사용한다.
[그림 5.1.1.5-2]
4) 1 차측 전압과 전류를 확인할 수 있도록 “[사양서]SDC 에너지 공통”에 준하는

전력 Monitoring System 을 구축한다.
5) 변압기의 발열 감시를 위해 외함 내부 기류를 감시하는 온도센서 1 개이상,
권선의 온도를 감시하는 센서 1 개이상 설치해야 하며 각각의 온도 센서는
실시간으로 확인이 가능해야 한다.
온도센서는 저압 권선 상부에 매립하여 감지하도록 한다.
다수의 온도 센서중 1 개이상 설정값 도달시 Alarm 을 발생하여야 하며
FDC(Fault Dection & Classification)에 온도값을 보고하여야 한다.
변압기 발열 감시 및 차단 방식에 대해서는 사전에 전기부서에 협의하고
제출하여야 한다.
6) 변압기 외함에는 급기,배기 Fan 각각 1 개 이상씩 설치한다.
Power Box 기준과 동일하게 Fan 고장에 대한 Alarm 기능이 있어야 한다.
7) (삭제)F 종 절연에 B 종 온도상승 조건을 만족하여야 한다.
42

일
(삭제) 8) 그외 변압기 기준은 ESH 일반사양서에 따른다.
5.1.1.6. GPS(일반),VDP/ UPS 전원 설계

1) 정전 또는 전압강하대책을 장비 Power Box 설계에 반영한다.
2) GPS(일반)전원을 권장하고, 불필요한 UPS 전원 사용은 억제한다.
장비가 "GPS(일반)전원 Load 부하"와 " UPS 전원 Control 전원"의 이원화 전원을
사용하는 경우 UPS 사용량은 가급적 3 상 30A ↓가 되도록 최소화한다.
[표 5.1.1.6-1,-2 참조]
3) UPS 3 상 30A↑사용 시 부하 List 제출하여 전기부서 검토 및 승인을 받아야 한다.
[표 5.1.1.6.-1 생산설비 전원구성 기준]

구분 GPS(일반)전원 UPS 전원 VDP 전원
동력,전열부하 대용량 부하군
제어 전원
(재기동이 가능한 부하) (재기동이 불가한 부하)
Inverter PLC,Safety,Computer RF Generator
Pump(Dry,TMP,Cryo,etc), 통신,허브,Sensor UV Lamp
Chiller,Heater,Blower,EFU, AP Plasma 제어 Camera
부하 Fan,Ionizer 전자접촉기(제어전원) AP Plasma 구동
Motor Driver Laser,Index
(Servo,Linear,etc)
파우더 고착 Pump, Scrubber
Robot,기타 Controller
1) Robot 의 전원공급은 분리가 불가할 경우 제어 전원과 구동 전원을 UPS 또는 VDP 전원으로

일원화 한다.
2) 생산설비 전원사양이 Facility UPS(Uninterrupted Power Supply)만으로 구성 된
설비는 순간전압강하 대책을 강구하지 않는다.
3) 非 생산설비는 순간전압강하 대책을 강구하지 않는다.(본 장비 부대설비는 제외)
(적용 예: 마스크 세정기, CST 세정기, Roll 보관함, Roll 검사기 등은 제외)
4) 생산설비 단독의 전압보상장치(UPS,VDP)는 설치하지 않는다.
단, Facility UPS/VDP 전원 공급이 불가능한 경우에 한해서 협의를 통해 적용 가능 하다.
5) 일반전원 회로에 순간전압강하(1 초 이하), 정전(1 초 초과)을 감시가 가능하도록
Hardware(정전검출 타이머) or Software 회로를 구성해야 한다.
※ 단, UPS 미사용 부하의 경우 Hardware(정전검출 타이머)로 회로 구성할 것
6) Motor Driver 는 원점기억(현재위치) 기능 내장형 제품 사용하여야 한다.
※ 단, 생산설비 현장 상황에 따라 협의를 통해 전원 설계 변경 가능함
[표 5.1.1.6.-2 모듈설비 전원구성 기준]

구분 GPS(일반)전원 UPS 전원
Motor Drive 구동전원 PLC, Safety, Computer
(Servo,Linear,Stepping,etc) Motor Drive 제어전원
RF Generator (Servo,Linear,Stepping,etc)
UV Lamp 통신, 허브, Sensor, Camera, Laser
부하 Pump(Dry,TMP,Cryo,etc) 비상시 확인용 배전반 LAMP
Scrubber,Chiller,Heater 전자접촉기(제어전원)
Blower,EFU,Fan,Ionizer
43

일
1) Robot 의 전원공급은 분리가 불가할 경우 제어 전원과 구동 전원을 UPS 전원으로 일원화 한다.
2) 설비 PC 및 구동모터 제어전원은 UPS 공급, 그 외 전체부하는 GPS 전원 공급
3) 일반전원 공급부하 경우 순간전압강하가 발생하더라도 즉시 엔지니어 수동복구가
가능토록 설계 할 것.
4) 생산설비 단독의 전압보상장치(UPS,VDP)는 설치하지 않는다.
단, Facility UPS/VDP 전원 공급이 불가능한 경우에 한해서 협의를 통해 적용 가능 하다.
5) GPS(일반)전원 회로에 순간전압강하(1 초 이하), 정전(1 초 초과)을 감시가 가능하도록
Hardware(정전검출 타이머) or Software 회로를 구성애햐 한다.
※ 단, UPS 미사용 부하의 경우 Hardware(정전검출 타이머)로 회로 구성할 것
6) Motor Drive 는 원점기억(현재위치) 기능 내장형 제품을 적용하여야 한다.
※ 단, 생산설비 현장 상황에 따라 협의를 통해 전원 설계 변경 가능
5.1.2. 차단기/ 개폐기 선정

5.1.2.1.과부하 차단기
1) 전선 및 기계기구 과부하, 단락 보호 자동 차단 및 유지보수 개폐기능을 가지며
Main and Sub 전원차단 및 기계기구 전원차단을 목적으로 설치한다.
2) 과전류 차단 시 부하용량의 115% 이상 125% 이하로 선정 해야 한다.
단, 125%이상 선정시에는 반드시 전기담당부서와 사전 협의하고 기술적 근거 자료
또는 협의내용을 전자문서로 제출하여야 한다.
(KEC212.3.4, IEC60364-4-43, IEC60947-2, SEMI S22, NFPA79, UL489)
※ 기계류 특성에 따라 전동기 등 기동 전류를 감안한 경우 부하 LIST 에
해당 설계 사유를 표기하여 확인 가능하도록 한다.
3) 가변형 MCCB 는 설정값을 도면에 표기하고 차단기에 설정값 Label 을 부착한다.
조정부분은 투명 커버 또는 투명 라벨 테이프 등을 사용하여 설정값 확인은
가능하되 설정값 변경이 불가능하게 봉인 처리해야 한다. [그림 5.1.2.1 참조]
[그림 5.1.2.1]
4) 부하용량은 기계기구의 정격전류 또는 2 차측 합성부하의 최대전류값을 사용 할

수 있다. 합성부하의 경우 설계 근거(부하용량,운전률,돌입전류 등)를 제출하여
증명하여야 한다.단, 차단기 2 차 부하가 변압기인 경우 변압기의 정격전류를
부하용량으로 한다.
5) 부하 용량이 작아 기준을 만족하기 어려운 경우에는 정격에서 가장 근접한 높은
값을 사용 한다.
5.1.2.2.누전 차단기
[표 5.1.2.2]
구분 ELCB GFCI RCD
누전차단, 누전차단, 누전차단,
기능
감전보호 감전보호 감전보호
설치위치 제한없음 Sub Unit Only Sub Unit Only
44

일
Trip 차단 Trip 차단 Trip 차단

설치조건
보호 협조 보호 협조 보호 협조
IEC60947-2, UL 508 IEC61000-4 IEC61000-4
부가기능
(차단기 설계 지침) (EMC 대책) (EMC 대책)
1) 가변형 ELCB 는 설정값을 도면에 표기하고 차단기에 설정값 Label 을 부착한다.
조정부분은 투명 커버 또는 투명 라벨 테이프 등을 사용하여 설정값 확인은
가능하되 설정값 변경이 불가능하게 봉인 처리해야 한다. (내용 수정필요)
2) 누전차단기 및 Controller 의 설정값을 변경한 경우에는 누전 검출 동작 Test 를
반드시 실시하고, 설정값 변경사항과 Test 결과를 도면함에 보관하여야 한다.
3) 보호 협조 설계 방식은 상, 중, 하 형태로 순차적 보호가 되도록 설계해야 한다.
※ 예: ELCB(200mA)→ELCB(100mA)→ELCB(50mA)→ELCB(30mA) 보호
콘센트용 ELCB 는 감도전류 30mA 이하, 0.03s 이내 적용 할 것 : 인체감전보호
(산업안전보건기준에 관한 규칙 304 조)
5.1.2.3.Fuse 사용 조건
1) 주 전원 측 체결 방식은 Clip Type 이 아닌 Screw 체결 Type 을 사용하여야 한다.
[그림 5.1.2.3 참조]
[사용불가 ×] [사용가능 ○]
[그림. 5.1.2.3]
2) MCCB 설치하고 후단에 속단형 Fuse 를 사용 할 경우 보호협조가 이루어 질 수

있도록, 적정 용량 선정할 것.(MCCB 먼저 동작하면 안됨)
3) Spare Part 는 장비 내 Storage Unit 에 보관토록 한다
5.1.2.4.Power Box 내 차단기 보호협조 및 정격 차단전류

1) Main/Sub 차단기 間 보호협조 설계 되어 있어야 한다.[차단기 LIST 제출]
2) 차단기의 정격 차단전류(Icu)는 아래 사항을 만족하여야 한다. 만약 요구기준을
만족하지 못한다면 설비의 최대 단락전류에 대한 설계 데이터를 제출해야 한다.
[표 5.1.2.4] 정격차단전류 최소 기준치
정격차단전류(Icu)
정격전류
220 V 440V
50A 이하 5 [kA] 10 [kA]
50A 초과~100A 이하 10 [kA] 20 [kA]
100A 초과~250A 이하 20 [kA] 30 [kA]
250A 초과 30 [kA] 40 [kA]
※ CP 는 2.5[kA] 이상
5.1.3. 전기부품 선정
5.1.3.1. 전기부품 선정
1) 전기부품의 선정은 기계기구의 정격전류 125% 이상 150%이하로 한다.
150% 초과 ~ 300% 이상 사용시는 전기담당부서와 사전 협의해야 한다.
45

일
단, 차단기류는 5.1.2.1 항에 따르며 Heater 용 Cable 은 정격의 1.5~1.8 배

적용한다. (실부하 정격 ＜ 차단기 ≤ 전기부품 ≤ Cable)
※ 전기부품 : 전기의 공급과 제어에 관계된 모든 기계 기구류
((삭제)MCCB, ELB 등 차단기류, MC, Noise Filter, 각종
Controller,
케이블, 스위치, SMPS, SCR, SSR 등)
2) NFPA-79 규정에 따라 사용하고, CE, NRTL 또는 KC 규격을 득한 제품을
사용토록한다.
전기부품 LIST 제출 시 Standard Number 제출한다. [표 5.1.3.1. 참조]
※ NRTL : CSA, CCL, CSL, FM, ITSNA/ETL, MET, NSF, QPS, SGSUS,
SWRI, TUVPTL, TUVAM, TUVPSG, TUV, UL 인증품 [표 5.8.1. 참조]
3) 부품간 최소 거리는 부품사용 설명서에 준하는 이격 거리를 만족하여야 한다
- 목적: 열전도 부품 열화가속 방지.
- 관련 제품: Magnetic Contact, Relay, Driver, SMPS 등 자체 열 발산 제품 류
그림 5.1.3.1-2 예를 참조하여 부착 할 것
[표 5.1.3.1-1]
Item Maker Model Spec’ 규격(Standard No)
ELCB **** **** 400A UL489
※ 관련표준
- 60947-1: Low-Voltage Switchgear and Controlgear
- 60947-2: Part 2: Circuit-Breakers
- 60947-3: Part 3: Switches, Disconnectors, Switch-Disconnectors and Fuse
Combination Units
- 60947-4: Part 4: Contactors and Motor-Starters
- 60947-5: Part 5: Control-Circuit Devices and Switching Elements
- 60947-6: Part 6: Multiple Function Equipment
- 60947-7: Part 7: Ancillary Equipment
*1: 공기순환방향, *2: 최소 75mm, *3:최소 75mm, *4: 최소 20mm 이상 이격하여야 함

※ 본 수치는 예시로 실제 적용 이격거리는 부품사용 설명서를 준수할 것!!!
[그림 5.1.3.1-2]
4) 콘덴서를 사용할 경우에는 용량 산출 근거, 부품의 인증서 및 사양, 부품 수명

및 관리 방법을 제출하여야 하며 외함에는 잔류전압 경고 스티커를 부착한다.
5) 설비에 사용되는 PC 는 반드시 산업용 환경에 대한 전자기 장해 및 내성기준에
적합한 제품을 사용해야 한다.
※관련 근거
- IEC 61000-6-4(산업용 환경에 대한 전자기 장해 기준)
- IEC 61000-6-2(산업용 환경에 대한 전자기 내성 기준)
46

일
5.1.3.2 . PCB 안전기준

1) 인쇄회로기판의 재질은 국제공인(FM4910 또는 UL2360)된 난연성 재질을 사용하고,
성적서를 제출한다.
※ UL 인증은 UL94V-0 의 난연등급을 만족해야 한다.
2) 인쇄회로기판은 RESISTANCE, DIODE, THYRISTOR, TRANSFORMER, CAPACITOR
등과 같은 각 소자마다 과부하, 과전류 및 단락(SHORT) 등 이상에 대한
보호장치 또는 보호회로(PROTECTION CIRCUIT)를 설치한다.
3) 저전압 지침(LVD, LOW VOLTAGE DIRECTIVE)에 해당되는 인쇄회로기판인
경우에는 LVD 인증을 취득한 제품을 사용하여야 한다.
(삭제)그외 PCB 기준은 ESH 일반사양서에 따른다.
4) 저전압 지침 적용대상에 해당되지 않는 직류(DC) 75V 미만 및 교류(AC) 50V 미만의
인쇄회로기판도 측정기관으로부터 시험을 실시하여 성적서를 제출한다.
- IEC61010-1, IEC60950-1 에서 규정하는 시험을 실시하며 실시하지 않는 시험이 있는
경우 그 사유를 성적서에 기재한다.
5) 인쇄회로기판에 모델명 등과 같이 식별할 수 있는 명칭을 기재한다.
5.1.3.3 . Cable 체결 방식
1) Cable 의 체결은 사용개소마다 적합한 방식으로 시행 할 것. [표 5.1.3.3-1 참조]
2) Cable 단말부에는 심선 절손이 없어야 한다. [그림 5.1.3.3-2 참조]
3) Bolt Size 별 토크 기준 및 작업자 정보(외주사명 또는 작업자명)를 제출한다.
[표 5.1.3.3-1]
구분 Ring Lug Cage Clamp Pin Type
설치조건 Main & Sub Sub 간선 제어
설치종류 Power, Signal Power, Signal Signal
I-Marking I-Marking 작업 SOP
Check
Torque Driver/ Wrench Special Tool Driver
절연 Tube 절연 Tube Numbering Tube
절연방식
[5.1.3.4~5 항 참조] [5.1.3.4~5 항 참조] 또는 이와 동등한 것
사용개소 차단기, 단자대 단자대 SMPS,PCB
※ Plastic Cap 사용 불가하며, Cage Clamp 작업 영역은 Maker 작업으로 한정 한다.
[그림 5.1.3.3-2] Bad Case 예시
4) 터미널은 KS, IEC 규격품을 사용해야 하며, 전면부가 납땜으로 용접된 제품을
5) 전기공급기준 2 차배선 차단기 300[A] 이상 또는 Bus-Bar 접속용 Terminal Lug 는
2Hole 사용을 원칙으로 한다.
※ Bus Bar 사용시 단락 방지 장치를 장착 하고(상간 베리어등) 고정 애자 각상당
2point 이상 시공한다.
47

일
6) Terminal Lug 압착은 아래 기준에 준하여 실시한다.(연선기준)

[그림 5.1.3.3-3 참조]
- 단면적이 22㎟ 이상의 전선은 유압압착기를 사용한다.
- 사각형 배꼽다이스로 배꼽압착하는 것을 원칙으로 한다.
- Terminal Lug 와 Cable 間 도체가 노출되는 구간은 2mm 이하로 유지하고,
꺽이는 구간이라도 7mm 이하를 만족하여야 한다.
[그림 5.1.3.3-3]
5.1.3.4 . 상(相) 색상구분

L1: Brown, L2: Black, L3: Gray, N: Blue, G(접지): Green 이며
눈관리 Sticker 및 절연 Tube 에 적용하고 양단의 색상은 동일하여야 한다.
※ 해외법인의 경우 해당 국가에서 특별하게 요구하는 기준에 대해서는 그 기준을
우선적으로 준수하여야 한다.
※ 차단기 및 부품에는 각 Part Marking 과 Base 에도 동일한 Marking 을 실시할 것
(삭제)※ Cable 의 색상은 ESH 사양서 기준을 따른다.
※ Hook up 접속점(단자대 등)에 대한 눈관리를 위해 각 상을 표시한다
[그림 5.1.3.4 참조]
[그림 5.1.3.4] 예시
5.1.3.5 . 절연 Tube
1) 난연 인증을 받은 제품을 사용하여야 한다. [UL94V-0, VW-1, FT-1, FM 4910]
2) 절연 Tube 는 Cable Terminal 노출부가 절연이 되도록 설치해야 한다.
3) 온도 변화 시 육안으로 상태 확인 가능하고 고온상태에서 색상 변형후 원복되지
않는 비가역형 제품을 사용하여야 한다.
4) 전체가 반투명하여 내부가 비쳐보이거나, 일부분만 투명으로 제작된 제품을
사용하여 설치 조건에서 압착 상태 확인 및 뒤로 탈피가 가능한 제품을 사용해야
한다. [그림 5.1.3.5 참조]
[그림 5.1.3.5 ]
전체 반투명 또는
불투명 (사용불가)
부분 투명 (사용가능)
48

일
5) Numbering 절연 Tube 시험 인증된 난연성[VW-1] 제품 사용 할 것.

※ 전원 라인 사용 불가, DC 전원 라인만 적용 가능.
6) 만약 Terminal Point 체결 부위에 발열 및 화재예방을 다른 방책 및 대안으로
제작할 경우에는 사전 협의하여 System 을 구현하여야 한다.
7) 수축 Tube (Shrink Tube)나 Plastic Cap Tube 는 단말상태를 확인하는 것이
불가하므로 사용해서는 안된다.
5.1.3.6 . 커넥터 안전기준

1) Connector (Plug/Socket Combinations)의 충전 부(활선 부: Live Parts)는 착탈
시 감전위험이 없도록 최소 IP2X 이상으로 보호한다.
2) Connector 는 접지회로를 갖는 것이어야 하며, 삽입 시 접지회로가 먼저
접속하고, 분리시는 접지회로가 마지막에 분리되는 구조이어야 한다.
3) Connector 의 금속 Housing 은 접지회로에 연결되어야 한다.
4) Connector 는 실수 또는 비의도적인 분리를 방지하기 위하여 고정장치를
제공하여야 한다. 만약 동일한 전기장치에 2 개 이상의 Connector 사용하는
경우에는 오삽입을 방지할 수 있도록 기구적인 장치를 제공하거나 분명한
식별표시를 하여야 한다.
5) 운전 중 착탈이 가능한 Connector 는 착탈 시 충분한 부하차단용량(Load-Breaking
Capacity)을 가져야 한다. 16A 정격 이상의 Connector 는 볼트 또는 그에 준하는
고정 조치 후 폐기 또는 이전 외에는 분리하지 않는 것을 전제로 설계되거나,
차단장치가 Off 위치에 있어야만 착탈 가능하도록 Interlock 설계되어야 한다.
6) Connector 는 IEC 61984 시험 인증품이어야 하고, Connector 의 각 Pin 또는
접지된 금속 Housing 과의 연면 거리(Creepage)와 공간거리(Clearance)는
IEC60664-1 을 만족하여야 한다.
7) 가정용으로 인증된 Connector 는 제어회로에 사용하여서는 아니 된다.
8) 설비 또는 분전반 외부에서 인입 또는 인출되는 Connector 사용시 Cable 외부
노출 이 없도록 Flexible 전선관을 이용 처리하고 마감처리는 Cable Locker,
Cable Grand 및 밀봉처리 한다. [그림 5.1.3.6 참조]
[그림 5.1.3.6]
49

일
5.1.3.7 . 개폐 서지(Surge) 및 낙뢰 보호장치 (KOSHA GUIDE E112-2011, IEC61643-11,IEC61643-12)

1) 낙뢰 및 개폐서지로부터 피해를 예방하기 위해 서지보호장치 (SPD : Surge
Protective Device)을 설치한다.
2) 서지 보호 장치는 전원 입력 차단기(Main Breaker)2 차측에 접속 되도록 한다.
3) 전원 입력 차단기가 2 개 이상인 경우에는 각각의 입력 차단 2 차측에 설치해야
한다.
4) 서지보호장치의 배선 길이는 가능한 짧고 직선적으로 설치해야 한다.
5) 서지 보호장치 전압 보호 레벨(Voltage Protective Level)은 1.5KV 이상이며,
허용 방전 전류는 다음을 만족 하여야 한다.
설비 정격전류 공칭방전전류 최대방전전류
100A 미만 10 kA 20 kA
100A 이상 20 kA 40 kA
200A 이상 40 kA 80 kA
6) 내부 소자의 폭발 또는 화재가 발생할 경우 외부로 유출 또는 확산되지 않도록

충분한 기계적 강도를 갖는 외함을 사용해야 한다.
7) 내부에 과전류 보호 기능과 과열보호기능의 단로기를 사용해야 하며, 이들의 동작
상태를 외부에서 알 수 있도록 표시하여야 한다.
8) 열 보호기능 소자는 주변 온도 80℃~100℃ 범위에서는 정상적으로 작동 되어야
하며, 120℃감지시에는 회로를 차단하여야 한다.
9) 설비에 대한 내전압 시험을 하는 경우에는 서지보호장치를 설비에서 분리한 후에
실시 한다.
10) 개폐서지 보호 장치는 보호 대상 장치의 단자 사이에 접속 되도록 한다.
11) 서지 보호 장치는 S-Mark 또는 CE-Marking 를 취득한 제품을 사용해야 한다.
12) 서지 보호 장치 동작에 대한 눈관리 라벨을 부착한다.
5.1.4. 비상정지 스위치(EMO/EMS)

5.1.4.1.상세설계 : ESH 일반사양서에 따른다.
5.1.5. Power Box 설계

5.1.5.1.Power Box 의 설계,제작 및 초기 열화 진단에 관한 지침
1) Power Box 는 수전반,제어반,보조 판넬 등 전기 부품을 설치하는 모든 판넬을
포함하며, 유지 보수 접근성 및 편리성을 위해 설비와 별도로 설치하여야 한다.
2) Power Box 견시창을 설치할 경우에는 최소 크기로 설치하고, 두께는
3T 이상으로 하고, 재질은 난연 인증 인증 받은 PC(PolyCarbonate)로 한다.
※ PC 에 대한 난연 인증 등급은 UL94V-0 또는 FM4910 이상이어야 한다.
※ IEC 60204-33 반도체/디스플레이 제조장비의 안전지침 준수
3) Power Box 외함 및 내부 재질은 금속판이어야 한다.
4) Main 전원 공급 확인용 표시등(수전 Lamp)을 설치하여야 하며 공급 전원은 주전원
차단장치의 1 차측에서 인가한다.
5) Power Box 내 하단부에 전기 Hook Up 단자대(Terminal Block)를 설치하고,
전기부서에서 공급하는 Cable 과 설비제작사에서 시설하는 단자대와 Main
차단기간 연결 Cable 의 시공 편의성 및 곡률 반경을 고려하여 충분한 공간을
확보하여야 한다.
6) Hook up Cable 인입구는 Power Box 하부 입선 구조로 제작하고 전자적 평형을
고려하여 동일 인입구를 사용하여야 하며 Hook Up Cable 인입구 단면은 Cable
피복이 손상되지 않도록 보호조치를 하여야 한다.
7) 설비의 전원인입계통마다 전용의 전원차단장치를 설치해야 한다.
50

일
8) Power Box 는 IP2X 를 만족해야 하며, 차단장치를 차단시킨 후에도 충전되어 있는

모든 부분은 IP2X 이상의 보호등급으로 직접 접촉되는 것을 방지해야 한다.
9) 활선부는 투명 Cover 로 보호하고 열화상 점검 時 Open 가능한 구조여야 한다.
10) 투명 Cover 는 기본적으로 여닫이 또는 슬라이딩 도어를 적용하고, 비점검시에는
외력이 가해져도 IP2X 를 만족하도록 고정장치가 설치되어 있어야 한다. 구조상
적용이 어려울 경우 탈착형, 12mm 홀 타공 처리한다. 단, 충전부 접촉면이 위를
바라보는 활선부는 이물 침입을 방지하기 위해 홀 타공해서는 안되며, 탈착형
커버는 절연 처리된 손나사로 고정되야 한다.
11) 출하 시 설비의 모든 체결부위는 Bolt Size 별 규정된 Torque 로 체결되었는지
확인한 후 I-Marking 을 하여야 하고 Warranty 내 체결불량으로 인한 문제가
발생하지 않음을 보증하여야 한다.
12) 설비 반입 전 전류통전 Test 를 통해 Main 차단기 접속부 열화 진단을 실시하고,
그 결과를 제출한다. 전류통전 Test 는 아래와 같은 절차로 실시한다.
① 부하기 또는 대전류 시험기를 설치한다. 진단범위는 설비의 전원 인입단부터
노이즈필터를 포함한 각 개별 부하 차단기 직전단까지이다. [그림 5.1.5.1-1]
② 차단기 정격전류의 80%에 해당하는 전류를 20 분 이상 인가한다.
③ 각 포인트의 온도를 측정하고, 고온 발생 포인트(55℃ 이상) 또는 동일
포인트내 상간 편차(5 ℃미만)가 없는 것을 확인한다.
④ [표 5.1.5.1-2]의 양식을 사용하여 측정결과를 정리한다.
[그림 5.1.5.1-1] 전류통전 Test
51

일
[표 5.1.5.1-2] 전류통전 Test Report

“생산설비 전기 Common Spec 검수평가 Sheet – 4)품질 Test”참조
13) Power Box 의 Door 는 개방 후, 의도하지 않은 외부의 충격 또는 힘에 의해 작업자
협착, 충돌 사고가 발생하지 않도록 설비제작사에서 방지 대책을 수립한다.
5.1.5.2.Interlock System
1) Safety Interlock System 규정에 따라 상세설계는 SEMI-S2.11 장에 의함.
2) Power Box 의 외함(Door,덮개 등)은 지정된 이외의 자가 취급할 수 없도록
구성하여야 한다.
3) Power Box Door 는 Main 차단기 투입 시 열리지 않도록 Door Interlock 기능을
가져야 하며, (삭제)유지 보수 및 발열 점검시에는 지정된 자가 수동으로 Interlock
해제 가능하도록 구성하여야 한다.
4) 외부조작핸들(Pad Lock)은 Release 가능한 제품을 사용해야 하며, Release Switch 를
사용할 경우 재질은 금속이어야 한다.
5) Main 차단기는 Pad Lock 또는 Handler 설치하여 Off Lock LOTO 가능토록 한다.
(On-Lock Type 사용 불가)
Power Box 에 다중 Door 를 적용할 경우 외부조작 핸들이 설치된 Door 가 열린 후 다른
Door 가 열리는 구조이어야 한다.
또한 SEMI-S2 .17 장 위험 에너지 격리부분에 부합하여야 한다. [그림 5.1.5.2-1 참조]
[Handler] [Pad Lock]

[그림. 5.1.5.2-1]
6) Power Box 의 Main 전원차단기의 LOTO 손잡이와 관련하여 SEMI S22

52

일
9.3.9 항이 정하는 다음의 요구사항을 만족하여야 한다

- 주 전원 차단장치의 LOTO 손잡이는 Power Box 의 Door 를 연(Open)
상태에서도 주 전원 차단장치로부터 분리되어서는 아니 된다.
[사용가능 ○] [사용불가 ×]
[그림. 5.1.5.2-2]
7) 안전 Interlock 도어 스위치는 다음의 사항을 만족해야 한다.

- 접점구조는 Direct Opening Mechanism 구조 이어야 한다(IEC 60947-5-1)
- 도어스위치 본체는 일반 TOOL 로 쉽게 무효화가 되어서는 안 된다.
(ISO 14119:2013 3.8 항)
- 작업자가 Interlock 장치를 무효화 할 수 있는 가능성을 최소화 할 수
있도록 설계자는 고려하여 설치해야 한다. (ISO 14119:2013 7.2 항)
5.1.5.3 .보호 등급[IP]

1) 낙수 피해 예방을 위해 장비 상부, FFU, Chamber, Power Box 의 각각의 부품에
대해 IPX2 이상 대책을 세워 IEC60204-1 및 IEC60529 에 따른다.
※ 단, 배기 및 공조에 영향을 미치는 경우에는 협의를 통해 IPX2 미적용 가능
2) Power Box 상부로 Cable 인입 시 Flexible 전선관 또는 전용 전선관을 이용 인입
처리한다 [그림 5.1.5.3 참조]
3) 낙수 피해 대책으로 설비 상부 Connector 류, 타공 Hole, Cover 고정부 등은
Packing 처리, END Cap 처리, Bolt 처리 등 적합한 마감처리 되어야 한다.
[그림 5.1.5.3]
5.1.5.4.Power Box 조명부분

1) 장비 및 Power Box 의 표시 Lamp(삭제)및 조작 Lamp 류는 LED 로하며 공급 전원은
주전원 차단장치의 1 차측에서 인가한다.
2) Power Box 에는 내부 조명(LED Type, Door Close 시 자동 Off 구성 또는
동등하게 Off 시킬 수 있는 구조)을 설치 해야 하며 Lamp 전원차단기를 Lamp 의
Switch 로 사용할수 없다. 그외 추가 설치 관련 기준은 NFPA-79 기기 및 장비의
부분 조명 설계에 따른다.
53

일
3) Lamp Color(Yellow, White 등)에 대해서는 현업 기술부서와 협의하여 적용.

단, Lamp 설치가 불가 설비는 외부에 적정 조도 확보되고 유지보수 Manual 이
제공되어야 한다.
5.1.5.5. 도면의 제공
1) 도면 필요 기재 사항은 Revision, Drawing Number, Check, Design, Approval,
Torque Report, 부품 List 가 기재되어 있어야 하며, Clean Paper 재질이여야
한다.
2) NFPA 79 11.4 외함, 도어 및 개방 부 설계에 따른다.
3) 도면 작성 및 제공- EN/IEC 60204-1 제 17.3 항에 의해 설비업체(manufacturer)는
IEC 61082, IEC 62027 규격에 따라 도면을 작성하여 제공하여야 한다.
4) 도면 작성법- NFPA79 제 17.3 항에 의하면 동 규격 제 17.4 항-제 17.10 까지와 부록
D (Appendix D)에 따른다.
5) 전기 도면 작성 순서는 다음과 같다.
(1)제목(Title) → (2)도면목록(Drawing list) → (3)설비사양(Specification) →
(4)기호(Symbol) 및 약어(Abbreviations)표시 → (5)부품 목록(Part List) → (6)
배치도(조작반, 센서, 모터 등 표시) → (7)주조작반 및 각 항목(Item)별 조작반
→ (8)계통도(단선도, Block-Diagram) → (9)케이블 정격 용량표 → (10)동력
회로 → (11)조작 회로 → (12)비상 정지 회로 → (13) 접지 회로(특히 접지에
관련된 것은 각 항목에 필히 표시) → (14) 각 항목(Item)별 PLC 구성 및 입출력
카드(Card) → (15)터미널 박스(TB Box)
6) 도면의 기본 작성 방법은 아래와 같다.
- 도면은 위에서 아래로, 좌에서 우로 작성하여야 한다.
- 도면은 도면명과 페이지 번호가 있어야 한다.
- 도면은 좌표 표시가 되어야 한다.
- 전선 표시의 끝이 어디와 연결되었는지 도면 페이지 번호와 좌표를
표시하여 추적성이 확보되어야 한다.
- 주 전원 공급 전원 사양을 기재한다.(단상/3 상,전압,주파수,피상전력)
- 회로도에 부하 및 차단기 용량, 배선의 종류, 색상, 굵기를 표기한다.
- 제출된 도면에는 설계자, 검토자, 승인자의 성명 및 일자가 기재되어야 한다.
- 사용되는 부품의 실제 Image 를 해당 도면에 추가하거나 부품 목록에 Image 를
삽입한다.
7) 전기도면은 해당 부서 자체 보관 한다.
5.1.5.6.Power Box 의 설치 조건
1) Power Box 는 IEC60204-33 (1.5M↑간격,Open 95˚↑확보, 0.9M↓ 너비) 지침으로
Space 를 확보하여야 한다.
※ 전기작업시의 작업공간 확보에 관한 기술지침 준수(KOSHA GUIDE E-114-2011)
2) Power Box(부대장비 포함)은 설치 시 사면을 기준으로, 각 모서리에 적절한
고정장치가 있어야하며, 고정강도는 설비 하중 또는 정상 운전 중 진동에 의해
이동하지 않는 수준이어야 한다.(내진설계 반영)
5.1.5.7.Fan 설치에 관한 지침
1) Power Box 에는 발열관리를 위한 Fan 이 설치되어 있어야 한다.
2) Power Box, 설비 내, 외부의 Fan 은 고장 시 UI 화면 Warning Alarm
기능이 있어야 한다.
3) 각 Fan 은 고장 시 교체 가능한 구조로 시설되어야 한다.
4) 급,배기 Fan 의 위치는 Power Box 내부 Cooling 효과가 최적화 되도록 설계한다.
54

일
5.1.5.8.설비 이원화 전원 공급 지침
1) Power Box 내 두 개 이상의 전원 또는 두 개 이상의 전원을 공급 받는 독립적인
분리 장치가 있는 경우, 각각의 전원 연결은 물리적으로 구분되는
접속 배선함 또는 단자대를 사용하여 분리시공 되어야 한다.
※ 관련 근거: NFPA-79 14.1.3. (전략) 각각 다른 전압의 도체끼리는 격벽으로
분리되거나 가장 높은 도체의 전압을 기준으로 절연되어야 한다.
2) 1)의 조건에 해당되는 Power Box 는 전원의 종류와 설치 상태에 적합한 경고
표지가 부착하여, 내부 작업시 착오가 발생하지 않도록 경고하여야 한다.
[그림 5.1.5.8 참조]
[그림 5.1.5.8]
※ 관련 지침은 ESH 지침이 우선시되며 지침과 상이한 부분이 있다면 관련부서와
협의하고, 협의된 내용은 서면 또는 전자문서로 제출, 증빙하여야 한다.
5.1.5.9.화재 감지 장치 (연기 감지기 + 온도센서)

1) Power Box 에는 화재 감시를 위한 연기 감지기와 온도센서를 설치하고 UI 화면에
Warning Alarm 을 제공해야 한다.
Power Box 내부 온도를 측정하는 Digital 온도센서를 Power Box 외부에서 볼 수
있도록 설치하거나 모니터 또는 TOUCH 화면에서 확인할 수 있도록 설치 한다.
연기 감지의 방식은 광전식 또는 공기흡입형 제품을 사용 할 수 있다.
[그림 5.1.5.9-1 참조]
2) 온도센서는 Controller 와 일체형 또는 분리형을 사용한다.
3) 온도센서 분리형중 Sensing 부가 노출되는 경우 Sensing 부 끝이 둥근형을
설치한다.
4) 온도 센서와 연기 감지기는 주전원함, 분전함, 제어함, PC Rack 등을 포함하여
전기,전자 기계기구가 설치된 모든 Power Box 에 설치 한다.
단, 설치하기 어려운 경우에는 사전에 전기담당부서와 협의한다.
5) 연기 감지기와 온도센서 Alarm Reset 은 지정된 자가 Power Box Open 하여 확인 후
설치된 감지기 직접 Reset 하는 방식이어야 하고 Remote Reset 기능은 제거되어야
하며 Reset 방법을 감지기 가까운 곳에 표시해야 한다.
6) 설치된 연기 감지기는 Alarm/Reset Test 를 실시하고 보고서를 제출 해야 한다.
[그림 5.1.5.9-1]
7) 전기판넬 내부 온도를 측정하는 Digital 온도센서를 상부 배기 Fan 30cm 이내에
설치하고, Power Box 외부에서 온도확인 및 Alarm 온도설정이 가능해야 한다. UI
화면에는 Warning Alarm 을 제공해야 하며, 온도가 현재온도 +3℃ 이상인 경우
Alarm 발생 및 메시지 표시해야 한다. [그림 5.1.5.9-2 참조]
단,하부 배기의 경우는 Simulation 을 실시하여 온도가 가장 높은 부위에
온도센서를 설치한다.
55

일
[그림 5.1.5.9-2]근거 실험 Data

8) 온도센서와 연기감지기는 UPS 전원 반영한다. 단, UPS 공급 불가시에는 전기
담당부서와 협의하고 근거 자료를 제출한다.(협의를 통해 GPS/VDP 메인차단기
1 차측 설치 가능)
9) 연기감지기 기능 불능 상태 발생시 UI 화면에 Warning Alarm 을 제공해야 한다
5.1.5.10.Safety Label
1) Power Box 및 전기장치 내,외부에는 감전 위험 경고 표지가 부착되어야 한다.
부착위치는 문고리 상부이며 공간이 협소할 경우 측면에 부착한다.
2) 표지양식은 ESH 일반사양서 기준을 우선 준수하여야 한다. [그림 5.1.5.10 참조]
[그림 5.1.5.10]
※ 관련 지침은 ESH 지침이 우선시되며 지침과 상이한 부분이 있다면 관련부서와
협의하고, 협의된 내용은 서면 또는 전자문서로 제출, 증빙하여야 한다.
5.1.5.11.설비 상부 안전 고리
ESH 일반사양서에 따른다.
5.1.5.12.Power Box Locking Style Door Stay

(삭제) 1) Power Box 의 Panel Door 는 개방 후, 의도하지 않은 외부의 충격 또는
힘에 의해 자연적으로 닫히지 않도록 Locking Style 의 Door Stay 를 장착하여야
한다. Door Stay 의 지지하중은 392N[40kgf] 이상으로 한다. [그림 5.1.5.12
참조]
(삭제) 2) 착탈식 Panel 과 같이 Door Stay 를 설치할 수 없는 구조거나, 고정되는
경우 불합리가 발생하는 경우는 작업시 협착 또는 감전 방지에 대한 내용을
유지보수 Manual 에 작성하여 운용하도록 한다.
1) Power Box 의 Panel Door 는 개방 후, 의도하지 않은 외부의 충격 또는 힘에
의해 자연적으로 닫혀 작업자 협착, 충돌 사고 위험 있는 곳에는 Locking Style
의 Door Stay 를 적용 한다. 단, 위험이 없는 Power Box 의 경우 설비 특성
조건에 맞게 제작사에서 방지대책을 수립한다.
5.1.5.13.기기 명판
기기 명판은 IEC60204-1.16.4 기기 표시, NFPA-79 17.4 기기의 명판 자료근거에
의해 제작한다. Power Box 정면에서 잘 보이는 곳에, 외함 외부 또는 외함과
바로 인접한 기기에 부착하되어야 한다. 명판에는 다음과 같은 정보가 명시되어야
하며 지워지는 일이 없도록 내구성 있게 Marking 한다.
56

일
1) 공급 업체의 상호 또는 상표
2) 해당 시, 일련 번호
3) 정격 전압, 상의 수, 주파수 (AC 의 경우)
4) 장치의 차단기 용량, 각 공급 장치 운전전류 (전부하 전류)
5) 제공된 경우 단락 회로 및 지락 보호 장치의 최대 암페어 정격.
6) Power Box 단락 회로 전류 정격
7) 전기 다이어그램 번호 또는 전기 도면의 Index 번호
5.1.5.14.From-To Label
1) 각 부하, 차단기, MC, Relay, 동력 간선 케이블 등에는 From-To Label 을
부착하여 현장에서 기기의 전원점 또는 연결점 확인이 가능해야 한다.
2) 일반전원은 백색, UPS 전원은 노란색, 그외 전원에는 청색 라벨을 사용하고,
글자색상은 검정색으로 하고, 라벨의 내용은 [그림 5.1.5.15 참조]하여 작성한다.
단, Yellow Zone 의 일반전원은 검정바탕에 흰색 글자색상을 적용한다.
(From) Tag Name ELB #1

(From) Model Name → SEC-ELCB-50A
(To) Tag Name Lamp #1
[그림 5.1.5.15]
※ 상기 예는 최소한의 충족 요건이며, 형태는 협의하여 구현 가능함.
5.1.5.15.상시 통전 전원 관리
1) 전원이 상시 통전 중인 부분에는 완전 밀폐형 보호 Cover 를 설치하고, “상시
통전 中” 경고 라벨을 부착한다.
2) “상시 통전 中” 안전 표지는 1 차 및 2 차배선에 직접 부착하는 방법으로
설치한다.
3) 주전원 차단장치를 OFF 하여도 전압이 인가되어 있는 주차단장치 1 차측에서 부하
(load)까지 모든 Cable 의 색상은 주황색(Orange)으로 한다.
단, Main 단자대(Hook Up Terminal Block)에서 주전원 차단장치 1 차측 까지의
Cable 은 주황색(Orange)을 사용하지 아니한다.
5.1.6. 배선 및 그 외 지침
5.1.6.1.Wire & Cable
1) EN IEC 60204-1 제 17.3 항에 의하면 "제작사는 사용자에게 IEC 61082 규격에 따라
도면을 작성하여 제공하여야 하며 NFPA79 제 17.3 항에 의하면 동 규격 제 17.4 항-
제 17.10 까지와 부록 D (Appendix D)에 제작사는 사용자에게 제공하는 도면 작성
방법을 참조 할 것
2) IEC 61082-1 규격 제 7.3.1 항에 의하면 "회로도의 기능 다이어그램 내의 주요
신호 이동 방향은 왼쪽에서 오른쪽으로, 그리고 위에서 아래로 이다." 로 정하고
있으므로 Cable 결선 Rule 은 In/Output 은 Top→Bottom, Left→Right 순으로
공급하여야 한다. [표 5.1.6.1 참조]
[표 5.1.6.1]
체결 Flow Input Output
수직 Top Bottom
수평 Left Right
57

일
5.1.6.2. Cable 길이 및 시공
1) Cable 은 연결점 간의 적정 길이를 맞추어 재단한다. (삭제)[적정길이의 1.5M
초과 불가]
2) 적정 길이 초과된 Cable 또는 사용하지 않는 Cable 을 Tray 또는 설비 상부,
내부에 말아 놓지 않아야 한다.
3) 간선에 해당하는 전원 Cable 을 중간 접속 하는 경우에는 반드시 Terminal Block
을 사용해야 한다. 커넥터 또는 납땜은 중간접속 방법으로 허용되지 않는다.
4) 커넥터는 전원과 말단 부하에 연결시에만 사용 가능하며, 지침과 상이한 경우에는
전기담당부서와 협의한다.
5.1.6.3.Terminal Block 시공
1) Power Box 내부 하부에 Main 전원 Hook Up 단자대(Terminal Block)를 설치하고,
시공을 위해 충분한 공간을 확보한다.(5.1.5.1 Power Box 의 설계,제작 및 초기
열화 진단에 관한 지침 5)항 참고)
2) 케이블의 허용 전류에 적합한 Terminal Block 를 사용한다.
3) 차단기 및 Terminal Block 에 Cable 연결할 경우 1 Point 에 2 Wire 를 초과할 수
없다. [그림 5.1.6.3 참조]
[그림 5.1.6.3]
5.1.6.4.Tray 시공기준
1) Tray 단면적의 30% 이내 포설하고, 전원/통신/배관 분리 시공한다. 배관은 반드시
물리적으로 분리되어야 하며, 전원/통신은 격벽 또는 후크밴드로 분류 가능하다.
2) 설비 외부(2 차 배선)에 설치하는 Tray 는 전기담당부서에서 시공해야하며, 사전에
사내의뢰시스템에서 업무 의뢰하여 Set-Up 전에 자재확보 될 수 있도록 한다.
3) 3 차 배선 Maker 시공시 작업 SOP 작성하고 현장 품질검증 후 시공하도록 한다.
각 Tray 는 바닥 또는 설비 등에 고정된 자체적인 지지대를 가지고 있어야 하며,
근접한 배관, Tray 등 다른 설비물에 임의로 지지되어서는 안된다.
현장 불합리 적출 시 Turn On SOP 에 의거 Turn On 작업은 불허한다.
[그림 5.1.6.4 참조]
[Tray 시공 Process]
[그림 5.1.6.4]
58

일
5.1.6.5.Power Box 내 Cable 인입 지침

Power Box 는 Cable 인입지점에서 개폐기 단자까지 전원공급 Cable 이 기준 곡률
반경을 준수할 수 있도록 충분한 여유 공간을 확보하여야 하며, Cable 이 구부러지는
모든 지점 기준 곡률 반경은 NFPA-79, IEC 60204-1, SEMI-S22 의 Cable 곡률반경표에
따라야 한다. [표 5.1.6.6 참조]
생산장비 전기 2 차배선 인입구 기준은 전기담당부서 기준을 따른다.
(전기공사 시공표준 참조)
[표 5.1.6.6]
Cable Diameter or Thickness Of Flat Cable(D)
Application Mm
D ≤ 8 8＜D ≤ 20 D ≤ 20
Cable Drums 6d 6d 8d
Guide Rollers 6d 8d 8d
Festoon Systems 6d 6d 8d
All Others 6d 6d 8d
5.1.6.6.Sub Power Box 및 부대 장비 내 Cable 인입 지침

외부에서 Cable 인입 시는 Flexible 전선관 / Duct 등 Cable 이 보호되는 상태에서
인입 처리하고 마감처리는 Cable Locker, Cable Grand 등을 사용하여 밀봉처리 한다.
[그림 5.1.6.5 참조] [적정 인장력: 동력-35lb↑, 제어-20lb↑, SEMI-S22]
[그림 5.1.6.5]
5.1.6.7.전기 접속부 체결 처리 지침
1) 전기부품의 연결점 Bolt 는 규정 Torque 로 체결하고 체결확인 I-Marking 한다.
※ 작업방법 : Bolt Head 에서 단자대 Base 까지 일직선으로 작업
2) 작업 시기는 Torque 작업이 완료 된 시점에서 시행하며, 최종적으로 적색(Red)
한가지 색으로 표시되어야 한다.
※ 자체 표준 SOP 가 있을 시 전기담당부서와 협의하여 시행해야한다.
단, 작업 불량 및 사고 발생 시에는 본 지침을 따르도록 한다.
[그림 5.1.6.7 -1 참조]
[그림 5.1.6.7-1]
3) Bus-Bar 사용시 비가역형 온도 테이프 부착한다. (55℃포함)

온도상승에 의한 변화에 대해 설비 사용자가 인지 할 수 있도록 눈관리 라벨
59

일
부착한다.
(삭제)[그림 5.1.6.7-2] 온도 Tape 의 예
4) Bus Bar 사용시 도체부는 상표시가 가능한 색상의 절연 Tube 또는 Tape 으로
보호하고 접속면의 Tube 또는 Tape 은 제거한다.[그림 5.1.6.7-2 참조]
[그림 5.1.6.7-2]
5.1.6.8.관리 및 운영 지침
1) 전기설비 중 전기 통전 부위의 온도는 55℃ 이하가 되도록 설계한다.
(단, 변압기는 [IEC61558-1]에서 규정하는 허용온도 이하가 되도록 설계 한다.)
2) 설비 제조사는 User 측에 설비의 부품에 대한 Setting 정보 및 유지보수에 관한
정보가 정리된 Manual 을 제공하여야 한다. (Timer, Breaker, Safety Relay 류 등)
3) System 설정시간은 GPS 시간(Host Time 연계)에 맞춰 운영 관리하고,
System Down 또는 계획되지 않은 동작이 발생할 경우 원인 규명에 활용해야 한다.
5.1.6.9.Socket Outlet(Consent) 사용 방안
1) 콘센트 전원은 감전보호목적의 누전 및 과부하 차단 될 수 있도록 시설하고,
누전차단기 오동작 가능성 있는 부하는 전기담당부서와 협의 후 적용한다.
2) 콘센트용 누전차단기는 정격감도전류 30mA 이하, 동작시간은 0.03 초 이내
이내여야 한다. (한국전기설비규정 211.1 / 산업안전보건에 관한 규칙 제 304 조)
단, 150~600V 교류 전압 부하에는 필수 적용하고 150V 이하 콘센트 전원에
대해서는 정격감도전류 30mA 이하, 동작시간 0.1 초 이내 사용 가능하다.
3) 별도의 누전 동작 인디케이터를 가지고 CE / UL / KS C 4613 중 1 개 이상의
규격인증을 취득해야 한다.
4) 각 콘센트는 전용의 차단기를 가지고 접지형 타입을 사용해야 한다. 단독 부하의
용량은 7A 미만, 멀티 콘센트의 총 부하 합계 용량은 10A 이하로 사용한다.
5) 설비내 생산부하 전원 공급용 멀티 콘센트는 설계 부하 전용으로만 사용하고,
전용 콘센트 표기(일반부하 연결금지), 미사용 소켓은 캡으로 마감처리한다.
6) 설비내 멀티 콘센트는 4 구 이하로 사용하고, 직렬접속(문어발) 금지하며, 과부하
차단 기능 및 메인 스위치가 존재해야 한다.
7) 상위계통 누전차단기 + 하위계통 CP 조합으로 누전차단기 이하 여러개의 콘센트를
분기시공하는 경우에는 연결되는 부하의 특성과 중요도를 감안하여 부하 그룹을
선정하고, 각 부하 그룹마다 개별의 상위계통 누전차단기가 설치 될 수 있도록
분리 설계 하여야 한다.
※ 중요/비중요/서비스로 묶어서 각 부하간 영향을 최소화하거나, Unit 단위로
묶어서 피해 규모를 제한 할 수 있다.
※ 부하 분리 컨셉은 현업 기술파트의 확인을 받아야 한다.
8) 콘센트에는 정격전압 및 정격전류값을 표시해야 한다.
9) 콘센트에는 사용부하 용도 눈관리 라벨을 부착한다.
※ 해외 법인에 반입되는 설비의 경우 설치장소 국가의 언어를 기본으로 하고
60

일
제조사 국가의 언어 라벨도 추가 부착할 수 있다.
5.1.6.10.난연성 제품
Power Box 및 전기,전자기계기구(전기부품)는 난연성 Certified Material 을
사용하여야 하며 부품 LIST 제출 시 각 인증규격을 기입하여 제출한다.
1) 난연성 Cable : VW-1, FT-1, IEC 60332-1,-2
2) 난연성 전기부품: UL94V-0, V-1, FM4910
※ VCT, VCTF Cable 사용불가.
※ 전기부품 : Plastic 판재, 단자, PCB, 절연 TUBE, Numbering Tube 등
5.1.6.11.물성이 다른 Materials 시공방안

1) 전원선과 제어선(Signal)은 별도 분리하여 시공하여야 한다.
[그림 5.1.6.11]
2) 제어선은 Noise 를 차단하기 위하여 금속 Duct 또는 Shield 처리된 Band 를
사용한다.
※ Noise 차폐 Band 를 사용할 경우 Shield 는 반드시 접지 하여야 한다.
3) Air, Water, Vacuum, Gas, Chemical 류 등 물성이 다른 배관은 전기 Cable 과
물리적으로 분리하여 시공되어야 한다.
5.1.6.12.Heater 사용 설비의 안전 대책
1) Heater 의 전원 계통은 [ELB→MC→SSR/SCR→EOCR→HEATER]를 준수한다.
2) 각 상 동시에 제어 가능토록 SSR/SCR 을 설치해야 한다.
3) 단상 SSR/SCR 경우에도 각 상마다 내부소자에 의해 동시에 제어가 가능한
제품을 사용해야 한다. (한 상 제어 SSR/SCR 사용금지)
4) SSR/SCR 내부에 EOCR 기능이 내장되어 있는 경우는 별도로 EOCR 을
설치하지 않아도 되나 근거자료를 제출해야 한다.
5) SSR/SCR 는 사용부하의 1.25 배 이상 용량으로 설계하고, MC 부품 용량은
사용부하의 1.25 배 이상으로 설계한다.
6) SSR/SCR Heat-Sink 에는 별도 온도 Sensor 를 설치한다.
Sensor 일체형 SSR/SCR 을 사용하거나 별도의 온도 Sensor 를 추가한다.
SSR/SCR Heat-Sink 온도 Sensor 의 1 차 설정온도(60℃) 도달시 1 차 Alarm 이
발생하고 2 차 설정온도(80℃) 도달시 Heater MC 접점을 Off 시켜야 한다.
SSR/SCR 의 구성이 SSR/SCR+방열판+FAN 으로 구성될 경우 FAN 회전 정지시
전원이 차단되도록 회로를 구성하거나 동작상태가 Monitoring 되어야 한다.
단, 사용 조건에 따라 안전상의 문제가 없을경우 전기담당부서와 협의하고
기술자료를 제출하여 Heater MC Off 조건을 변경할수 있다.
7) ELB(누전차단기)는 부하의 정격용량의 1.15 ~ 1.25 배로 설계한다.
8) 과온(OVER-TEMP)보호를 위해 그림[5.1.6.12-1]과 같이 SSR/SCR 은 ON/OFF 제어,
MC Trip, 차단기 Trip 구조를 반영하여야 한다.
Heater 과온방지용 온도 Sensor 와 온도 Controller 고장 및 이상동작에 의한
과온 발생에 대한 대책을 수립하고 적용하여야 한다.
※ Heater 3 중방어 Concept
① 중방어 : Heater 운전온도 On/Off 제어
61

일
② 중방어 : Heater 1 차 과온 발생시 MC Trip

③ 중방어 : Heater 2 차 과온 발생시 차단기 Trip
9) Heater Interlock 임의 해제 방지 기능을 적용한다.
(삭제)9) 그 외 Heater 에 사용 설비에 대한 안전대책은 ESH 일반사양서에 따른다.
10) CABLE 의 정격허용전류는 과전류보호장치의 정격전류보다 크게 산정해야 한다.
정격부하전류 ＜ 과전류보호장치의 정격전류 ＜ CABLE 의 정격허용전류
11) Heater 단자대까지의 Cable 은 허용온도가 높은 규격을 사용하며 부하 정격의
1.5~1.8 배 적용한다.
12) Heater 전원 인입부는 국제공인된 난연성 재질(UL2360 또는 FM4910)로
설치한다.
13) Heater 외함은 반드시 접지하고 불연성 재질로 한다.
14) Heater 온도 및 전원이상 상태를 Monitoring 할 수 있도록 구성한다.
15) Heater 과온시 주변 설비 화재 확산이 안되는 구조로 설계 한다.
16) Heater 의 발열이 전원연결 단자까지 전도되지 않도록 비발열 구간을 설계
반영하여 제작 한다.
17) Heater 고정 Bolt 또는 주변 Bolt 에 대해서는 열팽창에 의한 마모를 방지하기
위하여 내열 Type 을 사용한다.
18) Heater 의 단선감시기능이 있어야 한다.
그림[5.1.6.12-1]
(삭제)그림[5.1.6.12-2]
5.1.7. 접지 System
충전부와 노출된 도전부 사이의 절연파괴로 인한 감전사고를 방지하기 위하여 노출
도전부는 접지해야 한다.
1) 전기장치와 기계의 노출된 모든 도전부는 보호본딩 접지회로에 연결되어야
한다.(모든 금속제 외함은 접지해야 한다.)
2) 모든 케이블의 금속덕트는 반드시 보호본딩 접지 회로에 연결시키고 차폐선
(Shield-Cable)은 외함에 가능한 짧고 굵게 연결시킨다.
3) 전기장치에 부착되는 문, 덮개 등은 보호본딩 접지 회로와 전기적으로 연속성이
있어야 하며 접지해야 한다.
Door 접지 연속성은 NFPA-79, IEC60204-33, SEMI-S22 의 지침을 따라야 한다.
4) 절연파괴시 오작동방지를 위하여 제어용 변압기 2 차측을 보호접지 회로에
접속해야 한다.
5) 접지 단자는 Ring Type 단자 사용하고 I-Marking 실시 하여야 한다.
6) 접지선은 반드시 접지 단자대와 1 점 접지를 하여야 한다.[그림 5.1.7-1 참조]
단자대와 1 점 접지 접지표시
62

일
[그림 5.1.7-1]
7) 설비의 접지 단자대(Earth-Bar)는 눈에 잘 띄는 위치에 설치해야 하며 충분한
여유를 가져야 한다.(10%이상)
8) 접지 Bus Bar 또는 접속 단자에 식별기호 또는 접지표식 부착 하도록 한다.
9) 접지 단자대(Earth-Bar)는 바닥면 전체를 외함에 부착한다.
10) 장비에 사용되는 접지 도체는 녹색+노란색의 접지선을 사용한다. [그림 5.1.7-2
참조]
11) 접지 단자대(Earth-Bar) 바닥 고정부에는 전기 판넬 페인트를 제거시 접지
단자대 바닥 접촉면 동일하게 페인트를 제거하여야 한다.
12) 접지선에 대한 Numbering 은 개별적으로 적용한다.(전선 Numbering,PE,E 등 불가)
(삭제)13) 기타 상세 사양은 ESH 일반사양서를 준수한다.
13) 접지선 설치는‘단자대-접지선-평화셔-스프링와셔’순서로 설치해야 한다.
14) 접지 단자대(Earth-Bar) 재질은 동(구리)을 사용하고 도금하여 설치하여야 한다.
15) 설치 Unit 과 Unit 간 접지(Bonding)를 실시한다.
, ,
[그림 5.1.7-2]
5.1.8. 기타 시공 기준
1) 부대설비의 전기 시공은 Power Box 에 준하여 설계 및 제작 하여야 한다.
2) 폭발 위험성이 있는 장소이거나 폭발 위험성이 있는 물질을 사용하는 Power Box
는 방폭 설계에 따른 방폭 인증품을 사용 하여야 한다. 또한 해당 설비 및 그와
관련되는 구간에 대해서 방폭지역의 등급에 적합한 방폭 시공을 하여야 한다.
3) 공통사양과 제품간 상이한 부분은 전기담당부서와 사전 협의 하여야 한다.
5.1.9. 고조파 대책
5.1.9.1.제작기준 : 고조파 관리기준은 IEEE. Std 519-2014 기준에 따른다.
5.1.9.2.고조파 관리기준
1) 고조파란 기본주파수의 정수배(2. 3. 4. 5. 6. 7. ...N ) 주파수를 갖는 전압,
전류를 말하며, 설비가동시 발생하는 고조파는 아래의 관리 기준에 적합한 것을
증명하여야 한다. ※IEC 61000-3-2(>16A), IEC 61000-3-12(16A~75A) 참조.
2) 전류 고조파 기준
[표 5.1.9.2-1] (120V~69,000V, 단위:%)
Individual Harmonic Order(Odd Harmonics)
최대 고조파전류 왜형율(최대 수요전류의 100 분위 기준)
개별 고조파 차수 (기수차수)a,b
63

일
ISC/IL 3≤H＜11 11≤H＜17 17≤H＜23 23≤H＜35 35≤H＜50 ITDD[%]
＜20c 4.0 2.0 1.5 0.6 0.3 5.0

20 ~ 50 7.0 3.5 2.5 1.0 0.5 8.0
50~100 10.0 4.5 4.0 1.5 0.7 12.0
100~1,000 12.0 5.5 5.0 2.0 1.0 15.0
＞1,000 15.0 7.0 6.0 2.5 1.4 20.0
※ a: 우수고조파는 위의 기수 고조파 제한치의 25%로 제한한다.
b: 하프웨이브 컨버터와 같이 dc offset 에 기인된 전류왜형율은 허용할 수 없다.
c: 모든 전력발생장치에 대해 적용한다. (short circuit ratio 와 무관)
. SCR: 단락비(Short Circuit Ratio)
. ISC: 단락전류(Short Circuit Current[A])
. ISC = (100/%Z) * (P/√3*V)
. IL: 부하전류(Load Current[A])
. TDD: Total Demand Distortion
. H: 고조파 차수
[표 5.1.9.2-2]
전압 개별 전압 왜형률(%) 전압 총합 왜형률[VTHD](%)
1.0kV 이하 5.0 8.0
5.1.10. 설비인증 관리기준

1) 모든 설비는 S-MARK, CE-MARKING(DOC 제외), SEMI-S2-최신규격 中 하나 이상의
안전 MARK 를 반드시 취득해야 한다. 대한민국을 제외한 해외사업장에 납품되는
설비도 동일하다.
단, 설비가 설치되는 국가에서 특별하게 요구하는 기준과 안전 MARK 가 있는 경우는
그 기준과 안전 MARK 를 우선적으로 준수한다.
2) 표준품의 설비 및 장비를 구매하는 경우는 SDC 가 규정하는 인증제품을 구매해야
하며, 해당 제품의 인증서 사본을 제출하여야 한다.
3) 동일모델의 경우 그 근거자료를 제출한 경우에만 안전 MARK 취득을 면제한다.
근거자료에는 설비 SIZE, LAY-OUT, 재질 등 기구사양, 전기사양, 부품의 수량,
안전회로 및 안전기능의 변경 등 변경사항을 빠짐없이 제출하여야 한다.
변경사항이 추후에 발견되는 경우에는 신규로 안전 MARK 를 취득한다.
4) Maker 및 Maker Set Up Engineer 는 SDC 가 요구하는 인증에 대한 기준을 숙지해야
하며, 미비된 인증사항에 대해서는 바로 SDC 측에게 통보하고 조치 방안에 대해
협의할 의무가 있다.
64

일
5.2. Power Failure Design
5.2.1. Voltage Sag 내성기준

Main Tool, 부대설비는 Voltage Sag [100% Drop, 1 초 이내]에 대해
설비정지 및 제품 품질 Issue 가 없어야 한다. [표 5.2.1-1, 그림 5.2.1-2 참조]
[표 5.2.1-1]
NO Voltage Sag Equipment Remark
모든 장비는 SEMI F47 내용을 기본으로 해야 한다

1)
(①20%, 1sec ②30%, 0.5sec ③50%, 0.2sec)
Main Equipment
Sag Depth 100%, Main Equipment Control
Pump (Dry, Turbo, Cryo, Etc)
2) Duration 1sec Power Will Be Supplied
Chillier/THC /Scrubber
※ 3phase All UPS By Samsung.
Etc Sub System
Sag Depth-Duration
①20%-1sec
RF Generator Out Of Voltage Sag
②70%-0.5sec
(O3 Gen/RPS/DC Power) Protection Area
3) Or 4) ③100%- 0.2sec
※ 3phase All
3) 항목 불만족 시 RF GEN’ Power 을 별도로 분리 구성한다.
3) 또는 4)항목 한가지만 시행 함.
※ 사양승인-Power Vaccine 사양에 관한 내용은 발주 시 전기담당부서 승인을 받아야 함.
[그림 5.2.1-2]
5.2.2. Power Vaccine Test Report
제작사는 5.2.1 항에서 요구하는 Voltage SAG 내성을 자체 또는 제 3 자 인증기관을 통한
테스트를 실시하여 검증하고 이에 대한 성능을 보증해야 한다. 제출하는 시험성적서
65

일
(Test Report)에는 최소한 다음 사항을 포함하여야 한다,
1) 시험성적서 발급 회사명
2) 설비의 명칭, 모델번호, 일련번호
3) 시험성적서가 적용되는 모델번호/일련번호의 범위
- 시험결과를 여러개의 모델이나 형식에 적용하는 경우 모든 적용 가능한 모델명칭과
형식명칭의 목록을 작성하고, 테스트 모델과 비교하여 변경점이 있는 경우 해당
변경점이 어떠한 이유로 내성에 영향이 없는지 설명되어야 한다. 또한 작성된
목록은 제조회사 대표자 서명기입 또는 직인날인하여 신뢰성을 보증해야 한다.
4) 시험일자 및 시험장소
5) 시험을 수행한 엔지니어와 시험에 참여한 엔지니어의 성명과 이력과 역할
6) 시험한 공칭전압과 주파수
7) 시험 운전 조건 (생산설비의 부하율 및 운전설정)
8) 사용한 시험장비
9) 시험 중 인가한 모든 Sag 의 목록과 시험 결과
- Sag 가 인가된 상(Phase), Sag 의 %와 인가시간
- 설비의 공정상태, Sag 중, Sag 후의 설비 상태에 관한 설명
- 경고 Alarm 발생 등 실제 성능과 무관한 사항도 모두 기입되어야 함
- 시험 Set-Up 사진, 설비사진, 시험환경 사진
10) 시험 결과에 기초한 권고사항과 결론
5.2.3. Hard Ware Operation 지침

1) 장비 내 일반 전원 계통(GPS)은 1 초 초과 정전 후 복전 시 재기동 되지 않도록 자동
투입 방지가 되어야 한다.(Magnetic Contact On/Off 회로 및 Safety PLC 또는 Safety
Relay) [그림 5.2.2 참조]
2) 제어 시스템의 안전과 관련된 부분은 그것이 실패하였을 때 사람의 생명 및 자산을
위험에 빠뜨리지 않는 Fail-Safe 기능을 반드시 수행해야 한다. 관련하여 하기
각 규격의 안전등급을 만족해야 하며 CE, UL, S-Mark 등의 인증을 받은 제품을
- EN ISO 13849-1 의 PL E, IEC/EN 62061 SIL 3
- Report 제출 : Special 부품에 대한 검증 (MC 내장형 MCCB)
[그림 5.2.2]
5.2.4. Back Up 전원 사용 지침
1) 장비 단독의 전압 보상 장치(UPS,VDP 등)는 사용을 불허한다. [그림 5.2.3 참조]
2) 제품의 특성에 의하여 반드시 사용이 필요한 경우 그 사유 및 유지관리계획 [
점검주기, 교체주기 등]을 작성하여 제출하고, 전기담당부서와 협의 후 결정한다.
66

일
[그림 5.2.3]
5.2.5. EMC(EMI/EMS) 대책
각 설비 Maker 는 SDC 의 EMC 규격에 맞도록 제작하고, EMC 인증기관에서 시험한 시험
결과 Report 를 제출하여야 하여 성능을 보증해야 한다. [표 5.2.4 참조]
[표 5.2.4]
규격 근거 항목 성능 평가 기준
EN/IEC61000-4-2 정전기 방전에 대한 내성(ESD) B
EN/IEC61000-4-3 전자파 방사내성 (Radiated Susceptibility) A
EN/IEC61000-4-4 전기적 빠른 과도현상 내성 (EFT/Burst) B
EN/IEC61000-4-5 서지내성 (Surge) B
EN/IEC61000-4-6 전자파 전도내성 (Conducted Susceptibility) A
EN/IEC61000-4-8 전원주파수 자기장 내성 A
EN/IEC61000-4-11 순시전압강하 및 순시 정전 내성 A
IEC61000-6-4 전도성 전자파 방출 (CE) 적합
/EN 55011 방사성 전자파 방출 (RE) 적합
◆ 성능 평가 기준
A 등급 - 시험 중 및 시험 후에 정한 사양 내에서 정상 동작해야 함.
B 등급 - 성능저하 있을 수 있으나 설정 값을 잃지 않고, 시험 후에는 정상 동작해야 함
C 등급 - 성능저하가 시험 후에도 지속되어 기기의 전원을 Reset 시켜야 되는 경우
5.2.6. 증명 자료 제출
Power Failure Design 설계 및 적용관련 자료를 장비 반입 前 (3 개월) 사전 SDC 측에
제출하고 협의하여야 하며, 위 항목과 상이 할 경우 사전 협의토록 하여야 한다.
1) 전기 Full 도면(Block, One Line, Sequence)
2) Power Failure Design H/W 및 S/W 설계사항
- Auto-Restart PLC, Timer Setting 등 설계 및 설정값 확인 방법
- H/W, S/W 설계에 의한 Main Unit ↔ Sub Unit 대응 관계 도해
3) Set-Up 시 현장에서 필요한 추가 작업 항목 및 작업 절차서
4) Power Vaccine Test Report
5.2.7. 협의 및 부속서
명확하지 않거나 또는 중의적인 문구에 대한 해석이 필요한 경우, 또는 Power Failure
Design 대체 사양 적용시에는 반드시 전기담당부서와 협의 후 결정한다.
5.3. IP 보호 등급 IEC 60529
[표 5.3. IP 보호등급 IEC 60529]
[IP2X]
67

일
[IPX2]
5.4. Cable 곡률반경
5.4.1. IEC 60204-1 기준

[표 5.4.1. Cable 곡률반경]
Cable Diameter or Thickness Of Flat Cable(D)
Application Mm
D ≤ 8 8＜D ≤ 20 D ≤ 20
Cable Drums 6d 6d 8d
Guide Rollers 6d 8d 8d
Festoon Systems 6d 6d 8d
All Others 6d 6d 8d
5.5. Power Box 보호등급 필요사유
5.5.1. SEMI-S2 13. 에너지 격리

Manual 상 Maintenance Electrical Work Type 2,3,4 활선 상황에서 허가된 자
Maintenance 시 IP 등급에 적용을 받고 TYPE1(불활성)는 OFF 시에 하므로 IP 등급과는
해당사항이 없어, 전원 차단상태에서도 설비와 인명의 안전을 보장하도록 IP 등급으로
별도 규정해야 함.
[표 5.5.1. SEMI-S2 13 절[에너지 격리]]
기준 Maintenance 시 IP 등급
Type 1 전원완전차단상태
Type 2 전원공급상태, 전원 회로는 커버나 절연되어있다
Type 3 전원공급상태, 전원회로노출, 접촉가능성, 30Vac, 60Vdc 미만
Type 4 전원공급상태, 전원회로노출, 접촉가능성, 30Vac, 60Vdc 이상, RF 전류노출
5.6. 난연 Test
5.6.1. PCB 난연 시험 예
[표 5.6.1]
Level USA(UL) CSA(FT) Europe(EN/IEC)
난연 성질 조금, 전혀 없음.
FR-00 케이블이 쉽게 발화 및 연소. - -
스스로 소화되지 않음.
30 초간 1 개의 가로 방향 불꽃 30 초간 1 개의 불꽃 테스트 1 분 불꽃 테스트(VDE 0472
FR-01 테스트(UL 62)에서 화염 또는 (FT2)에서 화염 Part 804)에 연소 또는 화염을
불꽃을 방출하지 않음 또는 불꽃을 방출하지 않음 방출하지 않음
68

일
케이블 직경에 따라 차등된

15 초간 5 개의 수직방향 불꽃 15 초간 5 개의 수직방향
시간 동안 불꽃에 노출 되었을
FR-02 테스트(UL VW-1)에서 화염 불꽃 테스트(FT1)에서 화염
때 (IEC 60332-1)스스로 소화
또는 불꽃을 방출하지 않음 또는 불꽃을 방출하지 않음
되어야 한다
20 분간 수직 Tray 테스트 20 분간 수직 Tray 테스트 20 분간 불꽃에 노출되어
FR-03 (UL)에서 손상 부위가 2.4m 를 (FT4)에서 손상 (IEC 60332-3-24) 손상부위가
초과하지 않음 부위가 1.5m 를 초과하지 않음 2.5m 를 초과하지 않음
20 분간 수직 Tray 화재 전파
20 분간 수직 Tray 화재 전파
테스트(FT4 - ST1 )에서 손상 20 분간 불꽃에 노출되어 (IEC
테스트(UL)에서 손상 부위가
FR-03.1 2.4m 를 초과하지 않고 연기가 부위가 2.4m 를 초과하지 않고 60332-3-25) 손상부위가 2.5m
연기가 95m2 초과하여 를 초과하지 않음
95m2 초과하여 방출되지 않음
방출되지 않음
입상 케이블의 UL 불꽃
테스트에서 화염이 3.6m 이상
FR-04 - -
확산되지 않고, 모든 부위의
측정온도가 454℃를 넘지 않음
20 분간 지상 케이블의 UL 20 분간 불꽃에 노출 되었을
최대 40 분의 불꽃 노출 테스트
불꽃테스트에서 피해 범위가 때 (FT6) 피해
(IEC 61034-2)에 노출되어
FR-05 1.5m 를 초과하지 않고, 최대 범위가 1.5m 를 초과하지
최소 빛 투과율 60%를 넘지
연기 광학 밀도가 0.50 을 않고, 최대 연기 광학 밀도가
않음
초과하지 않음 0.50 을 초과하지 않음
참고: 이 불꽃 표준은 일부 캐나다와 유럽의 테스트 기준이 정확히 미국 표준과 똑같지 않고 유사한
경우가 있어 참고용으로 활용 해야 함. 세부적인 시험 절차 및 비교 평가는 개별 표준 참조.
5.6.2. Cable 난연 시험 예
[표. 5.6.2]
IEC 60332-1,-2 기준 UL1581(VW-1)
600mm Cable 길이 455mm
1KW 불꽃 시험온도 500W 불꽃
시험소재의 수직 45 도 불꽃 위치 시험소재의 수직 20 도
D≤25 60 초 15 초간 간격
25＜D≤50 120 초 15 초씩 5 회로
50＜D≤75 240 초 불꽃지연 시간 점화
D≤75 480 초
※ D 는 CABLE 직경
CABLE 이 자연 소화하여야 한다 1 분 이상 견뎌야 하며
불꽃으로부터 파손되거나 탄화된 녹아 떨어지는 용해 물로부터
Test 시간
자국이 케이블 상부 고정부위로부터 시료 아래 놓은 솜을 점화시키지
50mm 이내가 되어야 한다 말아야 한다
69

일
[그림. 5.7.1 난연 시험 예]
70

일
5.7. NRTL [Nationally Recognized Testing Laboratory Program]
5.7.1. 규격인증 시험소

[표 5.7.1 규격 시험 인증 기관]
정보 주소 Mark
Canadian Standards 178 Rexdale Boulevard

Association (CSA) Etobicoke, Ontario M9W 1R3
Canada
One Distribution Center Circle,

Curtis-Straus LLC (CSL) Suite#1 Littleton, Massachusetts
01460United States
1151 Boston-Providence Turnpike

FM Approvals LLC (FM) Norwood, Massachusetts 02062
United States
International Association of 5001 East Philadelphia Street

Plumbing and Mechanical Ontario, CA 91761
Officials EGS (IAPMO) United States
545 East Algonquin Road, Suite F

Intertek Testing Services
Arlington Heights, Illinois 60005
NA, Inc. (ITSNA)
United States
914 West Patapsco Avenue

Canadian Standards
Baltimore, Maryland 21230
Association (CSA)
United States
1940 West Alexander Street

Nemko - CCL (CCL) Salt Lake City, Utah 84119
United States
789 North Dixboro Road

NSF International (NSF) Ann Arbor, Michigan 48105
United States
#16-211 Schoolhouse Street

QAI Laboratories, LTD (QAI) Coquitlam, British Columbia V3K 4X9
Canada
81 Kelfield Street, Unit 8

QPS Evaluation Services Inc. Toronto, Ontario, M9W 5A3
Canada
71

일
620 Old Peachtree Road

SGS North America, Inc. Suwanee, Georgia 30024
United States
6220 Culebra Road Post Office Drawer

Southwest Research Institute 28510 San Antonio, Texas 78238
United States
12 Commerce Road
TUV Rheinland of North
Newtown, Connecticut 06470
America, Inc
United States
2210 South Roosevelt Street

TUV Rheinland PTL, LLC Tempe, Arizona 85282
Unites States
10 Centennial Drive
TÜV SÜD America Inc. Peabody, Massachusetts 01960
United States
TÜV SÜD Product Services Ridlerstrasse 65

GmbH D-80339 Munich Germany
333 Pfingsten Road

Underwriters Laboratories
Northbrook, Illinois 60062
Inc. United States
72

(Tieng Han) ( Ç Ç - ) SDC Ư Ê ºñ Àü Â Common Spec - V011-0421 - v1.0

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일

Ver 011-0421 공통사양(전기부문)

생산설비 공통사양 (전기부문)

Samsung Display Co.,Ltd

・허가 없이 본 사양서의 내용에 대해서는 일부 혹은 전부를

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

제정 15.06.25 옥영훈 전기부문 공통사양 수정 및 Word Format 변경 001

개정 15.08.15 옥영훈 DS 사양 동기화 002

개정 15.09.15 심재윤 전기부문 공통사양 수정 003

개정 16.06.25 심재윤 탄화사고 대책 추가 004

개정 16.08.08 심재윤 사양 현실화 005

개정 16.08.13 김정대 사양 현실화 및 기준 구체화 006

항목별 상세 예시 및 기준 추가, 오류수정

개정 18.11.30 심재윤 경영진 지시사항/전기안전 사항 추가 V009-1118

개정 19.11.21 심재윤 사고 예방 / 기준 현실화 V010-1119

ESH 일반 사양서 SLIM 化 / Infra Rule 합리화

001~011 - ESH 일반 사양서 SLIM 化 / Rule

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

사용될 경우에는 보호협조 설계 반영 중복 사용될 경우에는 보호협조 설계 기준 추가

V011- 5.1.1.2 UPS 전원 5.1.1.2 UPS 전원

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

단, 구동 부하는 개별 MC 장착 단, UPS 공급 계통에 구동 부하를

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

V011- 5.1.1.4. 변압기 전원공급 5.1.1.4. 변압기 전원공급

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

7) F 종 절연에 B 종 온도상승 조건을 5) 변압기의 발열 감시를 위해 외함

V011- 5.1.2.1. 과부하 차단기 5.1.2.1. 과부하 차단기 규격

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

V011- 5.1.2.3. Fuse 사용 조건 5.1.2.3. Fuse 사용 조건

V011- 5.1.3.1 전기부품 선정 5.1.3.1 전기부품 선정

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

marking 과 Base 에도 동일한 marking 특별하게 요구하는 기준에 대해서는

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

눈관리 라벨을 부착한다.

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

한다. (Off 시 Loto 체결) 지정된 자가 수동으로 Interlock

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

6) 도면의 기본 작성 방법은 아래와

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

이내에 설치하고, Power Box 외부에서 둥근형을 설치한다.

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

차측에서 부하(load)까지 모든 Cable

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

V011- 5.1.6.8. 관리 및 운영 지침 5.1.6.8. 관리 및 운영 지침

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

V011- 5.1.6.11. 물성이 다른 Materials 5.1.6.11. 물성이 다른 Materials

2) 제어선은 Noise 차단을 위해

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

10) CABLE 의 정격허용전류는

13) 접지선 설치는‘단자대-접지선-

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

4.1. Equipment Installation.................................................................30

5.1. Equipment Installation.................................................................43

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

5.7. NRTL [Nationally Recognized Testing Laboratory Program]...............................78

삼성디스플레이 생산설비 전기부문에 대한 설계, 제작, 검수, 설계도서의 표준지침을

설계, 제작, 시험 및 검사는 개발 당시 적용된 규격에 따른다.

- EN/ISO 13849-1:2015: 기계안전-제어시스템의 안전관련부품 제 1 파트 설계용 일반원리

- EN/IEC 60204-1:2016/42/EC(기계류 지침): 기계안전-기계의 전기장치 제 1 파트

일반 ’21.04.30 / 이영준프로 / 전기기술팀

- EN/IEC 60204-33:2010 Ed. 1.0: 기계안전-기계의 전기장치 제 33 파트 반도체 제조장비용

- EN/IEC 61082-1:2014 전기공학 분야에서 사용되는 문서준비-제 1 파트: 규칙 (Preparation