Chương 12: Cảm biến

CHƯƠNG 12: CẢM BIẾN

Mục tiêu của chương:

 Hiểu nguyên lý hoạt động một số loại cảm biến thông dụng
 Biết sử dụng các cảm biến

Trong chương 11 đã trình bày khái quát về hệ thống đo lường cảm biến và
các khái niệm cơ bản liên quan đến cảm biến. Trong chương này sẽ tiếp tục trình
bày một số loại cảm biến thông dụng liên quan đến nhiệt độ, quang, chất lỏng,
chất rắn.

12.1 Đo đại lượng cơ học vật thể rắn.

12.1.1 Cảm biến đo lực, trọng lực, moment, áp suất.
Lực (N) tác động lên vật m (kg) gây ra gia tốc a (m/s2) được tính: F  ma
. Trọng lượng (kgf) là lực gây ra bởi sức hút trái đất lên vật m (kg) được
tính: W  mg với g: gia tốc trọng trường 9.80665 m/s2

1N  1kgm / s 2 ; 1kgf  9.80665 N

Khối lượng là đơn vị đo cơ bản, đo gia tốc dựa trên 2 đơn vị đo là chiều
dài và thời gian. Liên quan đến đo lực, moment (ngẫu lực, torque), trọng lượng
dựa trên các nguyên tắc sau:
 Cân bằng: cân bằng lực muôn đo với lực đã biết (quả cân, lực lò xo)
 Biến dạng: đo biến dạng của vật dưới tác dụng của lực (strain gage, áp điện)
 Di chuyển: đo sự di chuyển của vật suy ra lực.
 Gia tốc: đo gia tốc suy ra lực.
Strain gauge (Strain gage)

Hình 12.1: Strain gauge

213
Chương 12: Cảm biến

Strain gauge là một trong những cảm biến quan trọng được sử dụng trong
lĩnh vực địa kỹ thuật, đo mức độ biến dạng trên bất kỳ cấu trúc nào (đập, tòa nhà,
nhà máy hạt nhân, đường hầm, …). Điện trở của cảm biến thay đổi theo lực tác
dụng. Do đó, để đo các tham số như lực, áp suất, sức căng, trọng lượng, ... chỉ cần
đo thay đổi về điện trở.
Bất cứ đối tượng nào bị một lực bên ngoài tác động, đều có xu hướng thay
đổi hình dạng và kích thước. Do đó, thay đổi ứng suất hay khả năng chống chịu
của vật trong khi biến dạng. Cảm biến được gắn vào vật bằng keo dính. Sự biến
dạng vật thể làm cho cảm biến bị biến dạng, làm thay đổi điện trở. Sự thay đổi
điện trở này được đo bằng cầu Wheatstone. Độ biến dạng được xác định bởi hệ
số gauge (GF - Gauge Factor).
R / RG
GF  (12.1)

Trong đó: R : sự thay đổi điện trở gây ra bởi lực,
RG : điện trở lúc không bị biến dạng
L 2  L1
 ; (12.2)
L1
với: L1 là chiều dài ban đầu của dây và
L2 là chiều dài mới sau khi tác dụng ngoại lực.
Strain gauge phụ thuộc điện trở dây dẫn, nói cách khác phụ thuộc vào chiều dài
cũng như diện tích mặt cắt:
R  l / S . (12.3)
Đối với strain gauge lá kim loại thông thường, hệ số thường nhỏ hơn 2
Bất kỳ strain gauge đều có một dải dẫn dài, mỏng được sắp xếp theo mô
hình zig-zag của các đường song song. Lý do việc sắp xếp theo kiểu zig-zag,
không làm tăng độ nhạy, vì tỷ lệ phần trăm thay đổi đối với toàn bộ dải dẫn là
giống nhau cho bất kỳ tác động nào.

214
 Chương 12: Cảm biến

Bảng 12.1: Hệ số GF một số vật liệu

Vật liệu Thành phần Hệ số gage
Constantan 45% Ni, 55% Cu 2.0
Isoelastic 36% Ni, 8% Cr, 0.5% Mo, Fe 3.5
Nichrome 89% Ni, 20% Cr 2.5
Iridium - Platinum 5% Ir, 95% Pt 5.1
Platin - Tungsten 92% Pt, 8%W 4.1
Bán dẫn 150

Trong thực tế, sự thay đổi biến dạng của một vật thể là một lượng rất nhỏ
chỉ có thể đo được bằng cách sử dụng Cầu Wheatstone. Mạch cầu Wheatstone ở
hình 12.2.
Khi R1/R2 = R4/R3, điện áp đầu ra Vo bằng 0 và cầu được cho là cân bằng. Do
đó, bất kỳ thay đổi nào trong các giá trị của R1, R2, R3 và R4 sẽ làm thay đổi điện
áp đầu ra. Nếu thay thế điện trở R4 bằng cảm biến biến dạng, một thay đổi nhỏ
trong điện trở cũng sẽ thay đổi điện áp đầu ra VEX.

Hình 12.2: Cầu Wheatstone

 R3 R2 
VO   — * VEX (12.5)
 R3  R 4 R1  R 2 
Ngõ ra điện áp SV của Strain gauge có thể tính gần đúng, với EV là điện áp cầu
đo:
GF .
SV  EV (12.5)
4

215
Chương 12: Cảm biến

Hình 12.3: Minh họa sự thay đổi điện trở của strain gauge [10]
Load cells
Lực hay trọng lực cần đo tác dụng vào khối kim loại đàn hồi làm biến dạng
khối đó. Bằng cách dán strain gauge vào vật đàn hồi, đo được biến dạng từ đó suy
ra lực, trọng lượng. Các nhà sản xuất tạo ra loadcell phụ vụ cho mục đích này.
Khối đàn hồi bằng nhôm hay thép không gỉ được xử lý đặc biệt, trên đó dán 4
strain gauge làm từ lá kim loại mỏng, mắc theo kiểu mạch cầu.
Hình 12.4: Khi kéo/nén điện trở của strain gauge 1 và 4 giảm/tăng, còn điện
trở của strain gauge 2 và 3 không đổi, dùng để cân bằng cầu và bù ảnh hưởng của
nhiệt độ. Trong mạch cầu có thể có từ 1 đến 4 strain gauge tích cực.

Hình 12.4: Load cell 2 strain gauge tích cực

216
 Chương 12: Cảm biến

Hình 12.5: Load cell 4 strain gauge tích cực [10]

Có rất nhiều loại Strain gauge load cell như hình 2.38.

Hình 12.6: Các loại load cell thông dụng [10]

12.1.2 Đo vị trí
Cảm biến vị trí phát hiện vị trí của một vật có nghĩa là vật đó được tham
chiếu từ một số điểm hoặc vị trí cố định. Những loại cảm biến này cung cấp thông
tin phản hồi về vị trí cho người dùng.
Phương pháp để xác định vị trí, sử dụng một trong hai cách: khoảng cách
giữa hai điểm như khoảng cách di chuyển hoặc di chuyển ra xa từ một số điểm cố
định hoặc bằng cách xoay (chuyển động góc). Ví dụ, vòng quay của bánh xe robot
để xác định khoảng cách di chuyển dọc theo mặt đất. Dù bằng cách nào, cảm biến
vị trí có thể phát hiện chuyển động của một vật thể theo đường thẳng bằng cách
sử dụng cảm biến tuyến tính hoặc bằng chuyển động góc.
Potentiometer (chiết áp)

Hình 12.7: Potentiometer

Potentiometer được sử dụng phổ biến nhất trong tất cả các cảm biến vị trí,
chiết áp một cảm biến vị trí rẻ tiền và dễ sử dụng. Có một tiếp điểm được liên kết
217
Chương 12: Cảm biến

với một trục cơ học có thể là góc (quay) hoặc tuyến tính (loại trượt) khi chuyển
động, làm cho giá trị điện trở hai đầu nối thay đổi tạo ra tín hiệu điện đầu ra có
mối quan hệ tỷ lệ giữa vị trí thực tế trên rãnh và giá trị điện trở. Nói cách khác, tỷ
lệ thuận với vị trí.

Hình 12.8: Cấu trúc Potentiometer

Tín hiệu đầu ra (Vout) từ chiết áp được lấy từ kết nối ở giữa khi di chuyển
dọc theo đường điện trở và tỷ lệ thuận với vị trí góc của trục.

Hình 12.9: Mạch cảm biến dùng Potentiometer [8]

Trong khi cảm biến vị trí chiết áp điện trở có nhiều ưu điểm: giá rẻ, công
nghệ thấp, dễ sử dụng, v.v., cảm biến vị trí cũng có nhiều nhược điểm: hao mòn
do bộ phận chuyển động, độ chính xác thấp, độ lặp lại thấp và đáp ứng tần số hạn
chế. Nhưng nhược điểm chính sử dụng chiết áp làm cảm biến vị trí: phạm vi
chuyển động của thanh trượt (và do đó tín hiệu đầu ra thu được) bị giới hạn ở kích
thước vật lý của chiết áp được sử dụng. Ví dụ, một chiết áp xoay vòng đơn thường
chỉ có một vòng quay cơ học cố định trong khoảng từ 0o đến tối đa khoảng 240o
đến 330o.

218
 Chương 12: Cảm biến

Inductive Position Sensors

Linear Variable Differential Transformer (Biến áp vi sai tuyến tính LVDT)
Một loại cảm biến vị trí không gặp phải các vấn đề hao mòn cơ học là biến
áp vi sai biến đổi tuyến tính viết tắt LVDT. Đây là một cảm biến vị trí loại cảm
ứng hoạt động theo nguyên tắc tương tự như biến áp AC được sử dụng để đo
chuyển động. Linh kiện rất chính xác để đo chuyển vị tuyến tính và có đầu ra tỷ
lệ thuận với vị trí của lõi di động.
Về cơ bản, LVDT có ba cuộn dây được quấn trên một ống rỗng, một cuộn
tạo thành cuộn sơ cấp và hai cuộn dây còn lại giống hệt nhau, được nối với nhau
thành chuỗi nhưng lệch pha 180o ở hai bên của cuộn sơ cấp.
Lõi sắt từ mềm có thể di chuyển được (được gọi là phần ứng cơ học) được kết nối
với vật được đo, trượt hoặc di chuyển lên xuống bên trong thân hình ống của
LVDT.
Một điện áp tham chiếu AC nhỏ gọi là tín hiệu kích thích, (2 - 20V rms, 2
- 20kHz) được đặt vào cuộn sơ cấp, từ đó tạo ra tín hiệu EMF vào hai cuộn dây
thứ cấp liền kề (nguyên lý biến áp).
Nếu phần ứng lõi từ sắt mềm nằm chính xác ở trung tâm của ống và cuộn
dây, thì vị trí null, hai phần tử cảm ứng trong hai cuộn thứ cấp triệt tiêu lẫn nhau
khi chúng lệch pha 180o, do đó điện áp đầu ra kết quả bằng không. Khi lõi được
dịch chuyển một chút sang một bên từ vị trí không, điện áp cảm ứng ở một trong
các phụ sẽ trở nên lớn hơn so với bên thứ cấp khác và một tín hiệu sẽ được tạo ra.
Cực của tín hiệu đầu ra phụ thuộc vào hướng và sự dịch chuyển của lõi di
chuyển. Chuyển động của lõi sắt mềm từ vị trí null trung tâm càng lớn thì tín hiệu
đầu ra sẽ càng lớn. Kết quả là điện áp vi sai ngõ ra thay đổi tuyến tính với vị trí
lõi. Do đó, tín hiệu đầu ra từ loại cảm biến vị trí này có cả biên độ là hàm tuyến
tính của sự dịch chuyển lõi và cực tính biểu thị hướng chuyển động.
Pha của tín hiệu đầu ra có thể được so sánh với pha kích thích cuộn sơ cấp cho
phép bộ khuếch đại cảm biến AD592 LVDT biết một nửa cuộn dây của lõi từ tính
và từ đó biết hướng di chuyển.

219
Chương 12: Cảm biến

Hình 12.10: Cấu trúc LVDT [8]

Khi phần ứng được di chuyển từ đầu này sang đầu kia qua vị trí trung tâm,
điện áp đầu ra thay đổi từ cực đại về 0 và trở lại cực đại một lần nữa nhưng trong
quá trình này thay đổi góc pha bằng 180 độ. Điều này cho phép LVDT tạo ra tín
hiệu AC đầu ra có cường độ đại diện cho lượng chuyển động từ vị trí trung tâm
và góc pha đại diện cho hướng chuyển động của lõi.
Một ứng dụng điển hình của cảm biến biến áp vi sai biến đổi tuyến tính
(LVDT) là một bộ chuyển đổi áp suất, là áp suất được đo đẩy vào một màng ngăn
để tạo ra một lực. Lực sau đó được chuyển đổi thành tín hiệu điện áp có thể đọc
được bằng cảm biến.
Ưu điểm của biến áp vi sai biến đổi tuyến tính, hay so với chiết áp điện trở
là tuyến tính, đầu ra điện áp có độ chính xác rất tốt, độ phân giải tốt, độ nhạy cao

220
 Chương 12: Cảm biến

cũng như hoạt động không ma sát. LVDT cũng được đóng gói cẩn thận để sử dụng
trong nhiều môi trường khác nhau.
Inductive Proximity Sensors (Cảm biến tiệm cận cảm ứng)

Hình 12.11: Proximity Sensors

Một loại cảm biến vị trí cảm ứng khác được sử dụng phổ biến là Cảm biến
tiệm cận cảm ứng còn được gọi là cảm biến dòng điện Eddy. Mặc dù không thực
sự đo chuyển vị hoặc xoay góc, chủ yếu được sử dụng để phát hiện sự hiện diện
của một vật thể ở phía trước hoặc trong một khoảng cách gần, do đó tên là cảm
biến độ tiệm cận.
Cảm biến tiệm cận, là cảm biến vị trí không tiếp xúc sử dụng từ trường để
phát hiện như cảm biến từ đơn giản nhất. Trong một cảm biến cảm ứng, một cuộn
dây được quấn quanh lõi sắt trong trường điện từ để tạo thành một vòng cảm ứng.
Khi vật liệu sắt từ được đặt trong trường dòng xoáy được tạo ra xung quanh
cảm biến cảm ứng, chẳng hạn như tấm kim loại sắt từ hoặc vít kim loại, độ tự cảm
của cuộn dây thay đổi đáng kể. Mạch phát hiện của cảm biến tiệm cận phát hiện
sự thay đổi này tạo ra điện áp đầu ra. Do đó, các cảm biến tiệm cận điện cảm hoạt
động theo nguyên lý điện của Định luật Faraday.
Một cảm biến tiệm cận cảm ứng có bốn thành phần chính: bộ tạo dao động
tạo ra trường điện từ, cuộn dây tạo ra từ trường, mạch phát hiện phát hiện bất kỳ
thay đổi nào trong trường khi một vật đi vào và mạch đầu ra tạo ra tín hiệu đầu ra.
Có loại thường đóng (NC) hoặc thường mở (NO).
Cảm biến tiệm cận cảm ứng cho phép phát hiện các vật kim loại ở phía
trước đầu cảm biến mà không có bất kỳ tiếp xúc vật lý nào. Điều này dễ sử dụng
trong môi trường bẩn hoặc ẩm ướt. Phạm vi cảm biến của các cảm biến tiệm cận
rất nhỏ, thường là 0.1mm đến 12mm.

221
Chương 12: Cảm biến

Hình 12.12: Câu trúc Proximity Sensors [8]

Cũng như các ứng dụng công nghiệp, cảm biến tiệm cận cảm ứng cũng
thường được sử dụng để kiểm soát lưu lượng giao thông bằng cách thay đổi đèn
giao thông tại các nút giao và đường giao nhau. Các vòng dây cảm ứng hình chữ
nhật của dây được chôn vào mặt đường nhựa.
Khi một chiếc xe hơi hoặc phương tiện giao thông đường bộ khác đi qua
vòng cảm ứng, thân kim loại của xe sẽ thay đổi độ tự cảm của vòng và kích hoạt
cảm biến từ đó cảnh báo cho bộ điều khiển đèn giao thông rằng có một chiếc xe
đang chờ.
Nhược điểm chính của các loại cảm biến vị trí này là cảm nhận được một
vật kim loại ở phía trên, bên dưới hoặc bên cạnh, không phát hiện các vật thể phi
kim mặc dù cảm biến tiệm cận điện dung và cảm biến tiệm cận siêu âm có thể
phát hiện. Các cảm biến vị trí từ tính thường bao gồm: công tắc, cảm biến hiệu
ứng Hall và cảm biến biến đổi.
Rotary Encoders
Encoders là một loại cảm biến vị trí khác giống với chiết áp được trình bày
nhưng là thiết bị quang không tiếp xúc được sử dụng để chuyển đổi vị trí góc của
trục quay thành mã dữ liệu tương tự hoặc số. Nói cách khác, chuyển đổi chuyển
động cơ học thành tín hiệu điện.

222
 Chương 12: Cảm biến

Tất cả các Encoder hoạt động trên cùng một nguyên tắc cơ bản. Ánh sáng
từ nguồn sáng LED hoặc hồng ngoại được truyền qua một đĩa, được mã hóa độ
phân giải cao, tạo ra mã: mã nhị phân, mã Gray hoặc BCD. Bộ thu quét đĩa khi
quay và mạch điện tử xử lý thông tin chuyển thành số dưới dạng các xung đầu ra
nhị phân, sau đó được đưa đến các bộ đếm hoặc bộ điều khiển xác định vị trí góc
thực của trục.
Có hai loại Encoder: Incremental Encoders (Encoder tương đối hay
Encoder gia tăng) và Absolute Position Encoders (Encoder tuyệt đối).

Hình 12.13: Đĩa Encoder

Incremental Encoder
Incremental Encoder còn được gọi là Encoder tương đối. Đầu ra của là
một chuỗi các xung sóng vuông được tạo ra bởi sự sắp xếp các vạch trong suốt và
tối cách đều nhau trên bề mặt của đĩa, di chuyển hoặc xoay qua nguồn sáng. Bộ
encoder tạo ra một luồng các xung sóng vuông, khi được tính, chỉ ra vị trí góc của
trục quay.
Bộ encoder tương đối có hai đầu ra riêng biệt. Hai đầu ra này được dịch chuyển ở
90o lệch pha với nhau theo hướng quay của trục.
Số lượng các phân đoạn hoặc khe trong suốt và tối trên đĩa xác định độ phân giải
của thiết bị. Các đĩa được mã hóa thông thường có độ phân giải lên tới 256 xung
hoặc 8 bit mỗi vòng quay.
Bộ encoder tương đối đơn giản nhất được gọi là máy đo tốc độ. Có một đầu ra
sóng vuông duy nhất và thường được sử dụng trong các ứng dụng đơn hướng
trong đó chỉ yêu cầu thông tin vị trí hoặc tốc độ cơ bản. Bộ encoder tương đối có

223
Chương 12: Cảm biến

hai sóng vuông đầu ra thường được gọi là kênh A và kênh B, lệch nhau từ 90o do
đó tạo ra hai đầu ra tín hiệu sin và cos riêng biệt.

Hình 12.14: Hoạt động của Encoder tương đối [8]

Đĩa quang được sử dụng trong các bộ mã hóa vị trí quay là hình tròn, sau
đó độ phân giải của đầu ra sẽ được đưa ra: 360 / n, trong đó n bằng số lượng phân
đoạn trên đĩa được mã hóa.
Ví dụ, số lượng phân đoạn cần thiết để cung cấp bộ mã hóa tăng dần độ phân giải
1o sẽ là: 1o = 360 / n, do đó, n = 360 cửa sổ, …. Ngoài ra, hướng quay được xác
định bằng cách lưu ý kênh nào tạo ra đầu ra đầu tiên, kênh A hoặc kênh B cho hai
hướng quay, A dẫn B hoặc B dẫn A. Cách sắp xếp này được hiển thị ở hình 12.15.
Một nhược điểm chính của bộ encoder tương đối khi được sử dụng làm cảm
biến vị trí: yêu cầu các bộ đếm bên ngoài để xác định góc tuyệt đối của trục trong
một vòng quay cho trước. Nếu nguồn bị tắt trong giây lát hoặc nếu bộ mã hóa bị
mất xung do nhiễu hoặc đĩa bẩn, dẫn đến sẽ tạo ra lỗi. Một cách khắc phục nhược
điểm này là sử dụng bộ mã hóa vị trí tuyệt đối.

224
 Chương 12: Cảm biến

Hình 12.15: Xung ngõ ra của encoder tương đối [8]

Absolute Position Encoder (Encoder tuyệt đối)

Hình 12.16: Đĩa encoder 4 bit [8]

225
Chương 12: Cảm biến

Bộ encoder vị trí tuyệt đối phức tạp hơn, cung cấp một mã đầu ra duy nhất
cho mỗi vị trí xoay duy nhất cho biết cả vị trí và hướng. Đĩa được mã hóa bao
gồm nhiều rãnh đồng tâm, sáng và tối. Mỗi rãnh độc lập đọc đồng thời một giá trị
vị trí được mã hóa duy nhất cho từng góc di chuyển. Số lượng rãnh trên đĩa tương
ứng với độ phân giải nhị phân bit bit của bộ encoder, do đó, bộ encoder tuyệt đối
12 bit sẽ có 12 rãnh và cùng một giá trị được mã hóa chỉ xuất hiện một lần trên
mỗi vòng quay.
Một ưu điểm chính của bộ encoeder tuyệt đối là bộ nhớ không bay hơi, vẫn
giữ được vị trí chính xác của bộ mã hóa mà không cần phải quay về vị trí ban đầu
nếu bị mất điện.
12.1.3 Đo vận tốc
Để đo vận tốc của đối tượng di chuyển có nhiều phương pháp tùy thuộc vào
đối tượng cụ thể. Ví dụ: đo vận tốc của băng tải có thể dùng các bộ encoder đo
tốc độ của motor từ đó suy ra vận tốc băng tải. Hay có thể dùng cảm biến tiệm
cận để đo tốc độ quay của đĩa, hay bánh xe, ….
Nếu không thể gắn cảm biến vào vật hay đối tượng cần đo vận tốc. Một
phương pháp chung để biết được vận tốc của đối tượng: cần xác định khoảng di
chuyển S của đối tượng trong một khoảng thời gian T . Như vậy, phải xác định
2 vị trí của vật so với điểm mốc tại 2 thời điểm khác nhau.
Trong phần này đưa ra phương pháp đo vị trí dùng sóng phản xạ: dùng tia
laser hay sóng siêu âm.
Tia laser chiếu vào mục tiêu. Sau đó, xung phản xạ khỏi mục tiêu và quay
trở lại thiết bị gửi. Nguyên lý này dựa trên thực tế là ánh sáng laser truyền đi với
tốc độ khá ổn định trong bầu khí quyển Trái đất. Để tính toán khoảng cách, hệ
thống laser sẽ phát đi liên tục những tia laser trong một khoảng thời gian ngắn để
có các khoảng cách khác nhau. Bằng cách so sánh những kết quả khoảng cách thu
được này, hệ thống có thể tính toán chính xác tốc độ đối tượng. Sai số đo phụ
thuộc vào hướng của mặt phản xạ tia.

226
 Chương 12: Cảm biến

Đối với cảm biến siêu âm cũng tương tự: đo khoảng cách dựa vào thời gian
T từ khi phát chùm tia siêu âm đến khi nhận được chùm sóng phản xạ:
vT
D , v: vận tốc âm thanh, D: khooảng cách. (12.6)
2
Phương pháp này phù hợp khi đo vận tốc hay khoảng cách xa.
12.2 Đo nhiệt độ

Loại cảm biến được sử dụng phổ biến nhất trong tất cả các cảm biến, dùng
phát hiện nhiệt độ hoặc nhiệt.
Các loại cảm biến nhiệt độ rất đa dạng từ loại ON / OFF đơn giản đến điều
khiển hệ thống sưởi ấm, nước nóng đến các loại chất bán dẫn có độ nhạy cao có
thể điều khiển quá trình phức tạp.
Cảm biến nhiệt độ đo lượng năng lượng nhiệt hoặc thậm chí độ lạnh được
tạo ra bởi một vật thể hoặc hệ thống, cho phép chúng ta phát hiện bất kỳ thay đổi
vật lý nào đối với nhiệt độ, tạo ra đầu ra tương tự hoặc số.
Có nhiều loại cảm biến nhiệt độ khác nhau và có các đặc điểm khác nhau
tùy thuộc vào ứng dụng thực tế của chúng. Cảm biến nhiệt độ bao gồm hai loại
cơ bản:
 Các loại cảm biến nhiệt độ tiếp xúc: những loại cảm biến nhiệt độ này được
yêu cầu phải tiếp xúc vật lý với đối tượng cần theo dõi sự thay đổi nhiệt độ.
Có thể được sử dụng để phát hiện chất rắn, chất lỏng hoặc chất khí trong
một phạm vi nhiệt độ rộng.
 Các loại cảm biến nhiệt độ không tiếp xúc: những loại cảm biến nhiệt độ
này sử dụng đối lưu và bức xạ để theo dõi sự thay đổi nhiệt độ. Có thể được
sử dụng để phát hiện các chất lỏng và khí phát ra năng lượng bức xạ khi
nhiệt tăng và lạnh xuống trong dòng đối lưu hoặc phát hiện năng lượng
bức xạ được truyền từ một vật thể dưới dạng bức xạ hồng ngoại (mặt trời).
Hai loại cảm biến nhiệt độ tiếp xúc hoặc không tiếp xúc cũng có thể được chia
thành ba nhóm cảm biến sau: điện cơ, điện trở và điện tử

227
Chương 12: Cảm biến

12.2.1 Thermostat

Hình 12.17: Thermostat on/off

Thermostat là công tắc nhiệt độ cơ điện loại tiếp xúc, về cơ bản bao gồm
hai kim loại khác nhau như niken, đồng, vonfram hoặc nhôm, …, được liên kết
với nhau để tạo thành một dải kim loại. Tốc độ giãn nở tuyến tính khác nhau của
hai kim loại khác nhau tạo ra chuyển động uốn cơ học khi dải chịu nhiệt.
Dải kim loại dùng cơ học để vận hành một công tắc điện trong điều khiển nhiệt
tĩnh và được sử dụng rộng rãi để kiểm soát các bộ phận làm nóng nước nóng trong
nồi hơi, lò nung, bể chứa nước nóng cũng như trong xe hệ thống tản nhiệt.

Hình 12.18: Bi-metallic Thermostat [8]

Bộ điều nhiệt bao gồm hai kim loại nhiệt khác nhau được dán lại với nhau. Khi
trời lạnh, các tiếp điểm được đóng lại và dòng điện đi qua bộ điều chỉnh nhiệt.
Khi trời nóng, một kim loại sẽ nở ra nhiều hơn kim loại kia và dải kim loại liên
kết uốn cong lên (hoặc xuống) mở các tiếp điểm ngăn dòng điện chạy qua.
Có hai loại dải kim loại chính dựa chủ yếu vào chuyển động khi chịu sự thay đổi
nhiệt độ: hoạt động tức thời ON / OFF, hoặc OFF / ON trực tiếp trên các điểm
228
 Chương 12: Cảm biến

tiếp xúc điện thay đổi vị trí khi nhiệt độ thay đổi. Tuy nhiên, loại ON/OFF có dãi
kim loại dài hơn và mỏng hơn phù hợp hơn trong đồng hồ đo nhiệt độ, ….
Mặc dù có phạm vi hoạt động rộng, một nhược điểm chính của Thermostat khi
được sử dụng làm cảm biến nhiệt độ, là có phạm vi trễ lớn từ khi tiếp điểm điện
mở cho đến khi đóng lại. Ví dụ: nhiệt độ được đặt 20oC nhưng Thermostat không
thể mở khi đến 22oC hoặc đóng lại khi đến 18oC. Vì phạm vi dao động nhiệt độ
khá cao. Các bộ Thermostat trên thị trường có các vít điều chỉnh nhiệt độ cho phép
đặt nhiệt độ và độ trễ với mong muốn chính xác hơn.
12.2.2 Thermistor
Thermistor là một loại cảm biến nhiệt độ khác, có tên là sự kết hợp của các
từ THERM (nhiệt) và res-ISTOR (điện trở). Nhiệt điện trở là một loại điện trở đặc
biệt: thay đổi điện trở khi tiếp xúc với những thay đổi về nhiệt độ.
Nhiệt điện trở thường được làm từ vật liệu gốm như oxit nickel, mangan hoặc
cobalt phủ thủy tinh khiến chúng dễ bị hỏng. Ưu điểm chính của nhiệt điện trở so
với các loại khác là tốc độ phản ứng nhanh khi có thay đổi về nhiệt độ, độ chính
xác và độ lặp lại.

Hình 12.19: Mạch đo nhiệt độ có ngõ ra điên áp

Có 2 loại nhiệt điện trở: loại nhiệt điện trở có hệ số nhiệt độ âm, (NTC - Negative
Temperature Coefficient), giá trị điện trở giảm xuống khi nhiệt độ tăng, được dùng
nhiều hơn và loại có hệ số nhiệt độ dương, (PTC - Positive Temperature
Coefficient), giá trị điện trở tăng lên với sự gia tăng nhiệt độ.

229
Chương 12: Cảm biến

Nhiệt điện trở là thiết bị điện trở thụ động, cho nên phải mắc mạch để tạo ra một
điện áp có thể đo được như hình 12.19. Nhiệt điện trở có giá trị điện trở là 10KΩ
ở 25oC và giá trị điện trở là 100Ω ở 100oC. Tính điện áp rơi trên điện trở nhiệt và
điện áp đầu ra (Vout) cho cả hai nhiệt độ khi được kết nối nối tiếp với điện trở
1kΩ, nguồn điện 12V?
Ở 25oC:
 R2   1k 
Vout   V    12V   1.09V
 R1  R2   10k  1k 
Ở 100oC:
 R2   1k 
Vout   V    12V   10.9V
 R1  R2   100  1k 
Bằng cách thay đổi giá trị điện trở cố định của R2 (trong ví dụ 1kΩ), có thể đạt
được đầu ra điện áp tại điểm đặt nhiệt độ định trước, ví dụ đầu ra 5V ở 60oC và
bằng cách thay đổi mức điện áp đầu ra cụ thể có thể đo được trong một phạm vi
nhiệt độ rộng hơn.
Cần lưu ý rằng nhiệt điện trở là các linh kiện phi tuyến và giá trị điện trở ở
nhiệt độ phòng là khác nhau giữa các nhiệt điện trở khác nhau, chủ yếu là do các
vật liệu bán dẫn được tạo ra. Nhiệt điện trở, có sự thay đổi theo hàm mũ với nhiệt
độ và do đó có hằng số nhiệt độ Beta (β) có thể được sử dụng để tính toán điện
trở cho bất kỳ điểm nhiệt độ nào.
Tuy nhiên, khi được sử dụng với một điện trở nối tiếp như trong mạch phân chia
điện áp hoặc bố trí kiểu cầu Wheatstone, dòng điện thu được đáp ứng với điện áp
đặt vào mạch chia áp/mạch cầu là tuyến tính với nhiệt độ. Sau đó, điện áp đầu ra
trên điện trở trở thành tuyến tính với nhiệt độ.
12.2.3 Resistive Temperature Detectors (RTD)
Một loại cảm biến nhiệt điện trở khác là RTD. RTD cảm biến là các cảm
biến nhiệt độ chính xác được chế tạo từ các kim loại dẫn điện có độ tinh khiết cao
như bạch kim, đồng hoặc niken vào cuộn dây và có điện trở thay đổi theo nhiệt

230
 Chương 12: Cảm biến

độ, tương tự như nhiệt điện trở. RTD có một màng mỏng bạch kim được dán trên
đế gốm trắng.
Nhiệt điện trở có hệ số nhiệt độ dương (PTC) nhưng không giống như Thermistor,
đầu ra của RTD tuyến tính tạo ra các phép đo nhiệt độ rất chính xác.

Hình 12.20: Resistive Temperature Detectors (RTD)

Tuy nhiên, RTD có độ nhạy nhiệt rất kém, sự thay đổi nhiệt độ chỉ tạo ra sự thay
đổi đầu ra rất nhỏ, ví dụ 1Ω/oC.
RTD mới phổ biến hơn được làm từ bạch kim và được gọi là nhiệt điện trở
bạch kim hoặc PRT (Platinum Resistance Thermometer). Cảm biến PT100, có giá
trị điện trở tiêu chuẩn 100Ω ở 0oC. Do Platinum đắt tiền nên một trong những
nhược điểm chính của loại linh kiện này là giá thành.
Giống như nhiệt điện trở, RTD, phải tạo một dòng điện không đổi qua cảm biến
nhiệt độ, thu được điện áp đầu ra tăng tuyến tính theo nhiệt độ. Một RTD thông
thường có điện trở cơ bản khoảng 100Ω ở 0oC, tăng lên khoảng 140Ω ở 100oC
với dải nhiệt độ hoạt động trong khoảng từ -200 đến + 600oC.
Bởi vì RTD là một điện trở, cần tạo một dòng điện đi qua RTD và thu điện áp ở
đầu ra. Tuy nhiên, bất cứ sự thay đổi điện trở nào do nhiệt, khi dòng điện chạy
qua RTD, luôn có lỗi trong giá trị thu được. Để tránh điều này, RTD thường được
kết nối vào mạng Cầu Wheatstone có thêm dây kết nối để bù hoặc kết nối với
nguồn dòng không đổi.
12.2.4 Thermocouple (Cặp nhiệt điện)
Cặp nhiệt điện cho đến nay là loại được sử dụng phổ biến nhất trong tất cả
các loại cảm biến nhiệt độ. Cặp nhiệt điện phổ biến do tính đơn giản, dễ sử dụng
và tốc độ phản ứng với sự thay đổi nhiệt độ, chủ yếu là do kích thước nhỏ. Cặp
nhiệt điện cũng có phạm vi nhiệt độ rộng nhất trong tất cả các cảm biến nhiệt độ
từ dưới -200oC đến hơn 2000oC.

231
Chương 12: Cảm biến

Cặp nhiệt điện là cảm biến nhiệt điện về cơ bản bao gồm hai điểm nối của các kim
loại khác nhau, chẳng hạn như đồng và constantan được hàn hoặc uốn với nhau.
Một điểm nối được giữ ở nhiệt độ không đổi gọi là điểm nối tham chiếu (lạnh),
trong khi điểm còn lại là điểm nối (nóng). Khi hai điểm nối ở nhiệt độ khác nhau,
một điện áp được tạo ra được sử dụng để đo nhiệt độ như hình 12.21.

Hình 12.21: Cấu trúc Thermocouple

Nguyên lý hoạt động của một cặp nhiệt điện rất đơn giản. Khi hợp nhất với nhau,
điểm nối của hai kim loại khác nhau như đồng và constantan tạo ra hiệu ứng nhiệt
điện điện tử, tạo ra một vài millivolts (mV). Chênh lệch điện áp giữa hai điểm nối
được gọi là hiệu ứng “Seebeck effect” do một gradient nhiệt độ được tạo ra dọc
theo các dây dẫn, sinh ra một sức điện động emf. Điện áp đầu ra một cặp nhiệt
điện là một hàm sự thay đổi nhiệt độ.
Nếu cả hai mối nối đều ở cùng nhiệt độ thì sự khác biệt điện thế giữa hai mối nối
là 0, nói cách khác, không có đầu ra điện áp là V1 = V2. Tuy nhiên, khi các điểm
nối được kết nối trong một mạch và ở cả hai nhiệt độ khác nhau, đầu ra điện áp sẽ
liên quan đến sự chênh lệch nhiệt độ giữa hai điểm nối, V1 - V2. Sự khác biệt về
điện áp này sẽ tăng theo nhiệt độ cho đến khi đạt được mức điện áp cực đại và
được xác định bởi các đặc tính của hai kim loại khác nhau được sử dụng.
Các cặp nhiệt điện có thể được chế tạo từ nhiều loại vật liệu khác nhau cho
phép đo nhiệt độ cực từ -200oC đến hơn 2000oC. Lựa chọn về vật liệu và phạm vi
nhiệt độ, các tiêu chuẩn quốc tế với mã màu cặp nhiệt điện để cho phép người
dùng chọn cảm biến cặp nhiệt điện chính xác cho một ứng dụng cụ thể. Mã màu
của Anh cho cặp nhiệt điện tiêu chuẩn được đưa ở bảng 12.2.
232
 Chương 12: Cảm biến

Ba vật liệu cặp nhiệt điện phổ biến nhất được sử dụng để đo nhiệt độ là Sắt-
Constantan (Loại J), Đồng-Constantan (Loại T) và Niken-Crom (Loại K). Điện
áp đầu ra từ một cặp nhiệt điện rất nhỏ, chỉ một vài millivolt (mV) khi sự thay đổi
nhiệt độ 10oC và do đầu ra điện áp nhỏ này thường cần một dạng khuếch đại.
Bảng 12.2: Thermocouple Colour Codes

12.2.5 Cảm biến nhiệt vi mạch

Hình 12.22: Cảm biến nhiệt độ - Bán dẫn

Cảm biến nhiệt vi mạch là những loại cảm biến được chế tạo từ những chất bán
dẫn nên có thể gọi cảm biến nhiệt bán dẫn. Nguyên lý hoạt động dựa trên mức
233
Chương 12: Cảm biến

độ phân cực của các lớp P-N tuyến tính với nhiệt độ môi trường. Với sự phát triển
của ngành công nghệ bán dẫn đã cho ra đời rất nhiều loại cảm biến nhiệt tích hợp
nhiều ưu điểm: độ chính xác, chống nhiễu, hoạt động ổn định, mạch điện xử lý
đơn giản, giá hợp lý, ….

Các cảm biến loại này dưới hình dạng diode, dạng như IC như: LM35, LM335,
LM45: nhiệt độ thay đổi sẽ cho ra điện áp thay đổi. Điện áp này được phân áp từ
một điện áp chuẩn có trong mạch. Hiện nay, IC cảm biến nhiệt có chuẩn truyền
thông 1-wire (DS18B20) mở ra một xu hướng mới trong sản xuất cảm biến.
Vì được chế tạo từ các thành phần bán dẫn nên cảm biến nhiệt bán dẫn kém
bền, không chịu nhiệt độ cao. Nếu vượt ngưỡng bảo vệ có thể làm hỏng cảm biến.
Cảm biến bán dẫn mỗi loại chỉ tuyến tính trong một giới hạn nào đó, ngoài dải
này cảm biến sẽ mất tác dụng. Quan tâm đến tầm đo của loại cảm biến này để đạt
được sự chính xác. Loại cảm biến này kém chịu đựng trong môi trường khắc
nghiệt: ẩm cao, hóa chất có tính ăn mòn, rung sốc va chạm mạnh.
Một số loại cảm biến nhiệt thông dụng:
LM35: cảm biến nhiệt độ có điện áp đầu ra tuyến tính tương ứng với nhiệt độ C.
Thang đo từ -55°C đến 150°C. Độ chính xác: 0.5oC (ở 25oC).
Ngõ ra điện áp của LM35: VOUT = 10 mV/°C × T, trong đó: T (°C).
Tùy theo mạch ứng dụng của LM35 mà thang đo có thể thay đổi như hình 12.23,
hình 12.24, hình 12.25.

Hình 12.23: Sơ đồ mạch của LM35 có thang đo khác nhau

234
 Chương 12: Cảm biến

Hình 12.24: LM35 kết nối mạch R-C damper

Hình 12.25: Nhiệt độ LM35 được chuyển sang dạng số

DS18B20: cảm biến số DS18B20 cho phép đo nhiệt độ từ -55°C đến +125°C
chính xác đến ± 0.5°C, ngõ ra số 9 bit đến 12 bit. Có chức năng báo động với các
điểm kích hoạt trên và dưới. DS18B20 giao tiếp bus 1 dây với một bộ vi xử lý
trung tâm. Sơ đồ mạch kết nối với bộ vi điều khiển như hình 12.26, hình 12.27.

Hình 12.26: DS18B20 ở chế độ “parasite power”

Hình 12.27: DS18B20 dùng nguồn ngoài

235
Chương 12: Cảm biến

Module đo nhiệt độ, độ ẩm DHTXX: Những cảm biến này rất cơ bản và chậm,
nhưng rất tốt cho những người có sở thích muốn thu thập dữ liệu. Các cảm biến
DHT được làm từ hai phần, cảm biến độ ẩm điện dung và nhiệt điện trở
(http://adafru.it/aHD). Ngoài ra bên trong còn có một chip chuyển đổi tương tự
sang số với nhiệt độ và độ ẩm.

Hình 12.28: Kết nối DHT11 với MCU

Bus 1 dây được sử dụng để liên lạc giữa MCU và DHT. Dữ liệu bao gồm phần
nguyên và phần thập phân. DHTXX gửi bit dữ liệu cao trước.
DATA = Dữ liệu RH phần nguyên 8 bit + Dữ liệu RH thập phân 8 bit + Dữ liệu
T phần nguyên 8 bit + Dữ liệu T thập phân 8 bit + Tổng kiểm tra 8 bit
Nếu việc truyền dữ liệu là đúng, tổng kiểm tra phải là 8 bit cuối cùng của "Dữ liệu
RH phần nguyên 8 bit + 8 bit thập phân RH dữ liệu + dữ liệu T phần nguyên 8 bit
+ dữ liệu T thập phân 8 bit ".
Ví dụ: nhận được 40 bit dữ liệu:
0011 0101 0000 0000 0001 1000 0000 0000 0100 1101
 Độ ẩm: 0011 0101 = 35H = 53%
 Nhiệt độ: 0001 1000 = 18H = 24°C
 8 bit checksum: 0011 0101 + 0000 0000 + 0001 1000 + 0000 0000 =
0100 1101

236
 Chương 12: Cảm biến

12.2.6 Nhiệt kế bức xạ (hỏa kế - pyrometer)

Nhiệt kế bức xạ (hỏa kế) là loại thiết bị chuyên dụng dùng để đo nhiệt độ
của những môi trường mà các cảm biến thông thường không thể tiếp xúc được (lò
nung thép, hóa chất ăn mòn mạnh, khó đặt cảm biến).
Hỏa kế các loại: Hỏa kế bức xạ, hỏa kế cường độ sáng, hỏa kế màu sắc.
Hoạt động dựa trên nguyên tắc các vật mang nhiệt sẽ có hiện tượng bức xạ năng
lượng. Và năng lượng bức xạ sẽ có một bước sóng nhất định. Hỏa kế sẽ thu nhận
bước sóng này và phân tích để cho ra nhiệt độ của vật cần đo.
Mọi vật ở nhiệt độ trên 0oK đều bức xạ năng lượng: ở nhiệt độ thấp, năng
lượng bức xạ thuộc vùng hồng ngoại; khi nhiệt độ tăng, tần số bức xạ dời về phía
ánh sáng nhìn thấy; ở nhiệt độ 1000oF bức xạ trong vùng áng sáng màu đỏ, nhiệt
độ cao ánh sáng trở thành trắng.
Tùy theo thông số của nhà sản xuất mà hỏa kế có các tầm đo khác nhau,
tuy nhiên đa số hỏa kế đo ở khoảng nhiệt độ cao. Vì đặc điểm không tiếp xúc trực
tiếp với vật cần đo nên mức độ chính xác của hỏa kế không cao, chịu nhiều ảnh
hưởng của môi trường xung quanh (góc độ đo, rung tay, ánh sáng môi trường).
Nhiệt kế bức xạ có hệ thống quang học tập trung bức xạ từ vật muốn đo ở xa lên
cảm biến quang hay nhiệt, tín hiệu từ cảm biến sẽ được xử lý để biểu thị nhiệt độ.

Hình 12.29: Sơ đồ cấu tạo pyrometer

237
Chương 12: Cảm biến

Hình 12.30: Pyrometer

12.3 Đo đại lượng cơ học chất lỏng

Lưu lượng kế là cảm biến đo không thể thiếu để đo lưu lượng của chất khí,
chất lỏng, hay hỗn hợp khí-lỏng trong các ứng dụng công nghiệp như thực phẩm-
nước giải khát, dầu mỏ- khí đốt, hóa chất-dược phẩm,… Việc chọn lựa cảm biến
đo lưu lương loại nào cho ứng dụng cụ thể thường dựa vào đặc tính chất lỏng (độ
nhớt, độ đậm đặc, …), dạng dòng chảy (chảy tầng, chuyển tiếp, chảy hỗn loạn,
…) và yêu cầu về độ chính xác phép đo. Các yếu tố khác như các hạn chế về cơ
khí và kết nối đầu ra cũng sẽ ảnh hưởng đến quyết định chọn lựa này. Độ chính
xác của lưu lượng kế còn phụ thuộc vào cả môi trường đo xung quanh. Các ảnh
hưởng của áp suất, nhiệt độ, chất lỏng/khí hay bất kỳ tác động bên ngoài nào đều
có thể ảnh hưởng đến kết quả đo.
Cảm biến đo lưu lượng trong công nghiệp được lắp đặt ở môi trường nhiễu
cao và thường bị xung áp. Điều này đòi hỏi các cảm biến đo lưu lượng phải hoạt
động bình thường cả với xung điện áp và bù được nhiễu để đảm bảo đưa ra tín
hiệu đo với độ chính xác cao. Các cảm biến lưu lượng được phân làm bốn nhóm
chính dựa vào nguyên lý hoạt động: cảm biến lưu lượng dựa vào chênh lệch áp
suất, cảm biến lưu lượng điện từ, cảm biến lưu lượng Coriolis, cảm biến lưu lượng
siêu âm.
12.3.1 Cảm biến lưu lượng dựa vào chênh lệch áp suất
Lưu lượng kế loại này hoạt động dựa vào nguyên lý Bernoulli. Tức là sự
chênh lệch áp suất xảy ra tại chỗ thắt ngẫu nhiên nào đó trên đường chảy, dựa vào
sự chênh áp suất này để tính toán ra vận tốc dòng chảy. Cảm biến lưu lượng loại
238
 Chương 12: Cảm biến

này thường có dạng lỗ orifice, ống pitot và ống venture. Hình 2.50 thể hiện loại
cảm biến tâm lỗ orifice, lỗ này tạo ra nút thắt trên dòng chảy. Khi chất lỏng chảy
qua lỗ này, theo định luật bảo toàn khối lượng, vận tốc của chất lỏng ra khỏi lỗ
tròn lớn hơn vận tốc của chất lỏng đến lỗ đó. Theo nguyên lý Bernoulli, điều này
có nghĩ là áp suất ở phía mặt vào cao hơn áp suất mặt ra. Tiến hành đo sự chênh
lệch áp suất này cho phép xác định trực tiếp vận tốc dòng chảy. Dựa vào vận tốc
dòng chảy sẽ tính được lưu lượng thể tích dòng chảy.
Chênh lệch áp suất trước và sau lỗ tròn Δp = p1-p2; lưu lượng thể tích Q được xác
định từ biểu thức Q2=KΔp, p1 - áp suất trước tấm lỗ, p2 - áp suất sau tấm lỗ, K -
hệ số, phụ thuộc vào tỷ trọng chất lỏng, đường kính ống và lỗ orifice.

Hình 12.31: Cảm biến lưu lượng chênh lệch áp suất kiểu lỗ tròn (orifice)
12.3.2 Cảm biến lưu lượng điện từ

Cảm biến lưu lượng điện từ hoạt động dựa vào định luật điện từ Faraday và
được dùng để đo dòng chảy của chất lỏng có tính dẫn điện. Hai cuộn dây điện từ
để tạo ra từ trường (B) đủ mạnh cắt ngang mặt ống dẫn chất lỏng (hình 12.32).
Theo định luật Faraday, khi chất lỏng chảy qua đường ống sẽ sinh ra một điện áp
cảm ứng. Điện áp này được lấy ra bởi hai điện cực đặt ngang đường ống. Tốc độ
của dòng chảy tỷ lệ trực tiếp với biên độ điện áp cảm ứng đo được.

239
Chương 12: Cảm biến

Cuộn dây tạo ra từ trường B có thể được kích hoạt bằng nguồn AC hoặc
DC. Khi kích hoạt bằng nguồn AC - 50Hz, cuộn dây sẽ được kích thích bằng tín
hiệu xoay chiều. Điều này có thuận lợi là dòng tiêu thụ nhỏ hơn so với việc kích
hoạt bằng nguồn DC. Tuy nhiên phương pháp kích hoạt bằng nguồn AC nhạy cảm
với nhiễu. Do đó, nó có thể gây ra sai số tín hiệu đo. Hơn nữa, sự trôi lệch điểm
“không” thường là vấn đề lớn đối với hệ đo được cấp nguồn AC và không thể căn
chỉnh được. Bởi vậy, phương pháp kích hoạt bằng nguồn xung DC cho cuộn dây
từ trường là giải pháp mang lại hiệu quả cao. Nó giúp giảm dòng tiêu thụ và giảm
nhẹ các vấn đề bất lợi gặp phải với nguồn AC.

E=K.D.B.v (12.7)
Trong đó: B - từ trường, D - chiều dài chất dẫn điện (khoảng cách 2 điện cực đo
điện áp cảm ứng), v - vận tốc dòng chảy, K - hệ số.

Hình 12.32: Cảm biến lưu lượng điện từ: điến áp cảm ứng
12.3.3 Cảm biến lưu lượng Coriolis
Đây là nhóm cảm biến đo lưu lượng khá phổ biến. Chúng thực hiện đo trực
tiếp lưu lượng khối lượng của dòng chất lỏng chảy qua ống dẫn. Sự lắp đặt có thể
thực hiện bởi ống thẳng đơn, hay ống đôi có đoạn cong (hình 12.33). Cấu trúc của
ống thẳng đơn thì dễ dàng khi chế tạo, lắp đặt và bảo trì - bảo dưỡng nhưng thiết
bị đo loại này rất nhạy cảm với nhiễu và tác động bên ngoài. Cấu trúc của ống đôi

240
 Chương 12: Cảm biến

cong cho phép loại bỏ được nhiễu tác động vào kết quả đo vì hai ống dẫn dòng
chảy dao động ngược pha nhau nên sẽ triệt tiêu được nhiễu.

Hình 12.33: Cảm biến lưu lượng Coriolis ống đôi dạng cong Delta
Đối với cảm biến đo lưu lượng Coriolis, hai ống dẫn chất lỏng chảy qua
được cho dao động ở tần số cộng hưởng đặc biệt bởi từ trường mạnh bên ngoài.
Khi chất lỏng bắt đầu chảy qua các ống dẫn chất lỏng, nó tạo ra lực Coriolis. Dao
động rung của các ống dẫn cùng với chuyển động thẳng của chất lỏng, tạo ra hiện
tượng xoắn trên các ống dẫn này. Hiện tượng xoắn này là do tác động của lực
Coriolis ở hướng đối nghịch với hướng bên kia của các ống dẫn và sự cản trở của
chất lỏng chảy trong ống dẫn đến phương chuyển động thẳng đứng.

Hình 12.34: Hoạt động của cảm biến lưu lượng Coriolis khi chất lỏng đứng im
(No flow) và chất lỏng di chuyển (Flow)
Các sensor điện cực đặt cả phía dòng chảy vào (Inlet pickoff) và phía dòng
chảy ra trên thành ống để xác định sai lệch thời gian về sự dịch pha (Δt) của tín
hiệu vào (Inlet pickoff signal) và tín hiệu ra (Outlet pickup signal). Sự dịch pha
này (Δt) được dùng để xác định trực tiếp lưu tốc khối lượng dòng chảy qua ống.

241
Chương 12: Cảm biến

Hình 12.34 minh họa hoạt động của cảm biến lưu lượng Coriolis khi chất lỏng
đứng im (No flow) và chất lỏng di chuyển (Flow).
12.3.4 Cảm biến lưu lượng siêu âm
Cảm biến lưu lượng siêu âm dựa vào hiệu ứng Doppler được thể hiện trên
hình 12.35. Cảm biến này bao gồm bộ phát và bộ thu. Bộ phát thực hiện lan truyền
sóng siêu âm với tần số f1=0.5-10MHz vào trong chất lỏng với vận tốc là v. Giả
sử rằng hạt vật chất hoặc các bọt trong chất lỏng di chuyển với cùng vận tốc.
Những hạt vật chất này phản xạ sóng lan truyền đến bộ thu với một tần số f2. Sai
lêch giữa tần số phát ra và tần số thu về của sóng cao tần được dùng để đo vận tốc
dòng chảy. Bởi vì loại cảm biến lưu lượng siêu âm này yêu cầu hiệu quả phản xạ
của hạt vật chất trong chất lỏng, nên nó không làm việc được với các chất lỏng
một pha, tinh khiết.
Lưu lượng thể tích: Q=K.Δ(f1, f2) (12.8)
Trong đó: f1 - tần số sóng phát, f2 - tần số sóng thu về,
K - hệ số, phụ thuộc góc tới/phản xạ, vị trí vật chất phản xạ, mặt cắt
ngang

Hình 12.35: Cảm biến lưu lượng siêu âm dựa trên hiệu ứng Doppler
Cảm biến siêu âm xuyên thẳng (transit-time). Cảm biến loại này (hình
12.36) có thể cho phép đo lưu lượng đối với chất lỏng/khí rất sạch (không lẫn tạp
chất). Cấu tạo của nó bao gồm một cặp thiết bị biến đổi sóng siêu âm lắp dọc hai
bên thành ống dẫn dòng chảy, đồng thời làm với trục của dòng chảy một góc xác
định trước. Mỗi thiết bị biến đổi bao gồm bộ thu và bộ phát, chúng phát và nhận
tín hiệu chéo nhau (thiết bị này phát thì thiết bị kia thu). Dòng chảy trong ống gây
242
 Chương 12: Cảm biến

ra sự sai lệch thời gian của chùm sóng siêu âm khi di chuyển ngược dòng và xuôi
dòng chảy. Đo giá trị sai lệch về thời gian của chùm sóng xuyên qua dòng chảy
này cho phép ta xác định vận tốc dòng chảy. Sự sai lệch thời gian này vô cùng
nhỏ (nano-giây), do đó cần phải dùng thiết bị điện từ, điện tử có độ chính xác cao
để thực hiện phép đo, hoặc tiến hành đo trực tiếp thời gian này.

Hình 12.36: Cảm biến lưu lượng siêu âm xuyên thẳng

Lưu lượng thể tích: Q=K(t1-t2)/(t1t2), trong đó:
t1 - thời gian sóng xuyên qua dòng chảy xuôi dòng,
t2 - thời gian sóng xuyên qua dòng chảy ngược dòng,
K - hằng số, phụ thuộc chiều dài đường âm thanh, tỉ số giữa trục và đường
tâm, hình dạng dòng chảy, mặt cắt ngang.
12.4 Đo đại lượng quang
Cảm biến ánh sáng là thiết bị quang điện chuyển đổi năng lượng ánh sáng
(photon) hoặc hồng ngoại thành tín hiệu điện (điện tử).
Cảm biến ánh sáng tạo ra tín hiệu đầu ra biểu thị cường độ ánh sáng bằng
cách đo năng lượng bức xạ tồn tại trong một dải tần ánh sáng: có tần số từ tần số
hồng ngoại đến ánh sáng có thể nhìn thấy được và đến vùng phổ ánh sáng cực
tím.
Cảm biến ánh sáng là một thiết bị thụ động giúp chuyển đổi năng lượng
ánh sáng nhìn thấy hoặc các phần hồng ngoại của quang phổ thành tín hiệu điện.
Cảm biến ánh sáng thường được gọi là cảm biến quang điện tử vì cảm biến chuyển
đổi năng lượng ánh sáng (photon) thành điện (điện tử).

243
Chương 12: Cảm biến

Các cảm biến quang điện có thể được nhóm thành hai loại chính: những
loại tạo ra điện khi được chiếu sáng, chẳng hạn như Photo-voltaics hoặc Photo-
emissives, v.v., và những loại thay đổi tính chất điện của chúng như Photo-
resistors hay Photo-conductors. Điều này dẫn đến việc phân loại cảm biến như
sau:
 Photo-emissives cells (các tế bào phát quang): các tế bào quang giải phóng
các electron tự do từ một vật liệu nhạy với ánh sáng như Caesium va chạm
một photon có đủ năng lượng. Lượng năng lượng của các photon có được
phụ thuộc vào tần số của ánh sáng: tần số càng cao thì năng lượng của các
photon chuyển đổi năng lượng ánh sáng thành năng lượng điện càng nhiều.
 Photo-conductive Cells (các tế bào dẫn quang): những tế bào quang điện
này thay đổi điện trở khi chịu ánh sáng. Hiện tượng quang dẫn là kết quả
từ ánh sáng chiếu vào vật liệu bán dẫn điều khiển dòng điện chạy qua nó.
Do đó, nhiều ánh sáng làm tăng dòng điện tạo một điện áp tương ứng. Vật
liệu quang dẫn phổ biến nhất là Cadmium Sulphide được sử dụng trong tế
bào quang điện LDR.
 Photo-voltaic Cells: những tế bào quang này tạo ra một emf (electromotive
force) tỷ lệ với năng lượng ánh sáng bức xạ nhận được, tương tự như hiệu
ứng quang dẫn. Năng lượng ánh sáng rơi vào hai vật liệu bán dẫn ghép vào
nhau tạo ra điện áp xấp xỉ 0.5V. Vật liệu quang điện phổ biến nhất là
Selenium được sử dụng trong pin mặt trời.
 Photo-junction Devices: các linh kiện quang này chủ yếu là các thiết bị bán
dẫn như photodiode hoặc phototransistor sử dụng ánh sáng để điều khiển
dòng điện tử và lỗ trống qua lớp tiếp xúc P-N. Các linh kiện quang được
thiết kế cho ứng dụng phát hiện và sự hấp thu ánh sáng phụ thuộc bước
sóng của ánh sáng tới.
12.4.1 Photoresistor
Một cảm biến ánh sáng quang dẫn không tạo ra điện mà chỉ thay đổi tính
chất vật lý khi chịu năng lượng ánh sáng. Loại linh kiện quang dẫn phổ biến nhất

244
 Chương 12: Cảm biến

là Photoresistor có điện trở thay đổi đáp ứng với thay đổi về cường độ ánh sáng.
Tế bào quang dẫn thường được sử dụng gọi là điện trở phụ thuộc ánh sáng hoặc
LDR (Light Dependent Resistor).

Hình 12.37: LDR

Điện trở phụ thuộc ánh sáng (LDR) được chế tạo từ một vật liệu bán dẫn
tiếp xúc như cadmium sulphide làm thay đổi điện trở từ vài nghìn Ohms trong
bóng tối thành chỉ vài trăm Ohms khi ánh sáng chiếu vào bằng cách tạo ra các cặp
electron-lỗ trống.

Hình 12.38: Mô tả đặc tính LDR

245
Chương 12: Cảm biến

Các vật liệu được sử dụng làm chất nền bán dẫn bao gồm chì sunfua (PbS),
chì selenide (PbSe), indium antimonide (InSb). Phát hiện ánh sáng trong phạm vi
hồng ngoại được sử dụng phổ biến nhất là Cadmium Sulphide (CdS).
Trong hình 12.38: điện trở của tế bào khi không được chiếu sáng (điện trở tối) rất
cao ở khoảng 10MΩ, rơi vào khoảng 100Ω khi được chiếu sáng đầy đủ (điện trở
sáng).
Mạch chia áp hình 12.39 được áp dụng để biến sự thay đổi điện trở thành sự thay
đổi điện áp để đưa vào các chip vi điều khiển để xử lý.

Hình 12.39: Mạch chia áp có LDR

Hình 12.40: Mạch cảm biến ánh sáng

Một mạch khác như hình 12.40 được dùng để tự động điều khiển đóng hay
ngắt relay khi ánh sáng thay đổi được so sánh với mức ngưỡng đặt trước.

246
 Chương 12: Cảm biến

Photojunction Devices cơ bản là các cảm biến ánh sáng PN-Junction hoặc
các cảm biến được chế tạo từ các mối nối PN bán dẫn silicon rất nhạy với ánh
sáng và có thể phát hiện mức ánh sáng nhìn thấy và mức ánh sáng hồng ngoại.
Các Photojunction Devices được chế tạo đặc biệt để cảm nhận ánh sáng và có 2
loại chính: Photodiode và Phototransistor.
12.4.2 Photodiode.
Cấu trúc của cảm biến ánh sáng Photodiode tương tự như của diode tiếp
giáp PN thông thường, ngoại trừ vỏ ngoài của diode là trong suốt hoặc có một
thấu kính để tập trung ánh sáng vào lớp tiếp xúc PN để tăng độ nhạy. Lớp tiếp xúc
sẽ phản ứng với ánh sáng có bước sóng dài hơn như ánh sáng đỏ và hồng ngoại
thay vì ánh sáng nhìn thấy.

Hình 12.41: Photodiode

Đặc tính điện áp (Đường cong I/V) của photodiode không có ánh sáng (chế
độ tối) rất giống diode tín hiệu hay diode chỉnh lưu. Khi photodiode phân cực
thuận, dòng điện tăng theo cấp số nhân, giống như đối với một diode bình thường.
Khi áp dụng phân cực ngược, một dòng bão hòa ngược nhỏ xuất hiện gây ra sự
gia tăng của vùng suy giảm.
Dòng tối của photodiodes (0 lux) là khoảng 10uA đối với diode geranium
và 1uA đối với diode loại silicon. Khi ánh sáng chiếu vào lớp tiếp xúc, nhiều cặp
lỗ trống/electron được hình thành và dòng rò tăng lên. Dòng rò này tăng khi độ
rọi của lớp tiếp xúc tăng.
Do đó, dòng photodiodes tỷ lệ thuận với cường độ ánh sáng rơi vào tiếp giáp PN.
Một ưu điểm chính của photodiod khi được sử dụng làm cảm biến ánh sáng là
phản ứng nhanh của chúng đối với sự thay đổi mức độ ánh sáng, nhưng một nhược

247
Chương 12: Cảm biến

điểm của loại photodevice này là dòng điện tương đối nhỏ ngay cả khi được chiếu
sáng đầy đủ.
Mạch hình 12.43 chuyển đổi dòng điện thành điện áp sử dụng bộ khuếch đại
opamp. Điện áp đầu ra Vout = IP * Rƒ và tỷ lệ với các đặc tính cường độ ánh sáng
của photodiode.

Hình 12.42: Đặc tính Photodiode [8]

Hình 12.43: Mạch khuyếch đại photodiode

248
 Chương 12: Cảm biến

Photodiodes là các cảm biến ánh sáng thường được sử dụng trong máy ảnh,
đồng hồ đo ánh sáng, ổ đĩa CD và DVD, điều khiển từ xa TV, máy quét, máy fax,
máy photocopy, …. và khi được tích hợp vào các mạch khuếch đại hoạt động như
máy dò phổ hồng ngoại, mạch phát hiện chuyển động báo trộm và nhiều hệ thống
quét laser và định vị, …
12.4.3 Phototransistor
Phototransistor như hình 12.44 về cơ bản là một photodiode có khuếch đại.
Cảm biến ánh sáng Phototransistor có collector – base, lớp PN phân cực ngược.

Hình 12.44: Photo transistor

Hình 12.45: Đặc tính phototransistor [8]

249
Chương 12: Cảm biến

Các phototransistors hoạt động giống như photodiode, nhạy hơn nhiều so
với photodiode với dòng điện lớn hơn 50 đến 100 lần so với photodiode tiêu chuẩn
và bất kỳ BJT NPN thông thường nào cũng có thể dễ dàng chuyển đổi thành cảm
biến ánh sáng phototransistor bằng cách kết nối một diode quang giữa cực C và
cực B.
12.4.4 Solar Cell (pin mặt trời)
Solar Cell là dạng thông dụng nhất của Photovoltaic Cells, chuyển đổi năng
lượng ánh sáng trực tiếp thành năng lượng điện DC dưới dạng điện áp hoặc dòng
điện. Tuy nhiên, không giống như các linh kiện quang khác solar cell hoạt động
tốt nhất khi sử dụng năng lượng bức xạ của mặt trời.
Pin mặt trời được sử dụng trong nhiều loại ứng dụng khác nhau để cung cấp nguồn
năng lượng thay thế pin thông thường, sử dụng cung cấp năng lượng cho vệ tinh
và hiện tại là một trong những nguồn cung cấp năng lượng tái tạo.
Các Photovoltaic Cells được chế tạo từ các mối nối PN silicon đơn tinh thể,
giống như các tế bào quang điện có vùng nhạy sáng rất lớn nhưng được sử dụng
không có sự phân cực ngược. Có các đặc điểm giống như một photodiode rất lớn
khi ở trong bóng tối.
Khi được chiếu sáng, năng lượng ánh sáng làm cho các electron chạy qua
tiếp giáp PN và một pin mặt trời riêng lẻ có thể tạo ra điện áp mạch mở khoảng
0,58V (580mV). Các tế bào năng lượng mặt trời có một bên dương và một bên
âm giống như pin.

Hình 12.46: Đặc tính solar cell [8]

250
 Chương 12: Cảm biến

Các pin mặt trời riêng lẻ có thể được kết nối với nhau thành chuỗi để tạo ra
các tấm pin mặt trời làm tăng điện áp đầu ra hoặc kết nối song song với nhau để
tăng dòng điện. Các tấm pin mặt trời có sẵn trên thị trường được tính theo Watts.
Lượng điện từ pin mặt trời phụ thuộc vào cường độ ánh sáng, kích thước của tế
bào và hiệu suất thường rất thấp khoảng 15 đến 20%. Để tăng hiệu quả tổng thể
của tế bào, các tế bào năng lượng mặt trời có bán trên thị trường, sử dụng silicon
đa tinh thể hoặc silic vô định hình, không có cấu trúc tinh thể và có thể tạo ra dòng
điện từ 20mA đến 40mA mỗi cm2.
Các vật liệu khác được sử dụng trong việc tạo các tế bào quang điện bao
gồm Gallium Arsenide, Copper Indium Diselenide và Cadmium Telluride. Các
vật liệu này đều có đáp ứng dải phổ khác nhau, và do đó, có thể điều chỉnh để tạo
ra điện áp đầu ra ở các bước sóng ánh sáng khác nhau.
Cảm biến quang (Photoelectric Sensors) được ứng dụng rộng rãi trong hầu hết
các nhà máy công nghiệp để phát hiện từ xa vật thể, đo lường khoảng cách hoặc
tốc độ di chuyển của đối tượng,... Dựa vào bố trí của bộ thu phát, có thể phân loại
như sau:
 Cảm biến quang thu phát độc lập (Through Beam)

Hình 12.47: Cảm biến quang thu phát độc lập [9]

251
Chương 12: Cảm biến

 Cảm biến quang thu phát chung – Phản xạ gương (Retro

Replective)

Hình 12.48: Cảm biến quang thu phát chung – Phản xạ gương [9]

 Cảm biến quang thu phát chung – Khuyếch tán (Diffuse

Replective)

Hình 12.49: Cảm biến quang thu phát chung – Khuyếch tán [9]

252
 Chương 12: Cảm biến

 Cảm biến quang loại phản xạ giới hạn (Limited Reflective)

Hình 12.50: Cảm biến quang loại phản xạ giới hạn [9]
 Cảm biến quang - loại khe

Hình 12.51: Cảm biến quang - loại khe

 Cảm biến quang – loại phát hiện màu

Hình 12.52: Cảm biến quang – loại phát hiện màu [9]

253
Chương 12: Cảm biến

BÀI TẬP
Cho biết thông số, phân tích mạch điện tử của module cảm biến sau:
1. Module DHTXX
2. Module MQXXX
3. Module cảm biến PIR.
4. Module cảm biến áp suất không khí.
5. Module cảm biến siêu âm

254